JP2021169185A - Laminate, method for producing laminate, optical laminate and flexible display - Google Patents

Laminate, method for producing laminate, optical laminate and flexible display Download PDF

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JP2021169185A JP2020073249A JP2020073249A JP2021169185A JP 2021169185 A JP2021169185 A JP 2021169185A JP 2020073249 A JP2020073249 A JP 2020073249A JP 2020073249 A JP2020073249 A JP 2020073249A JP 2021169185 A JP2021169185 A JP 2021169185A
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Yukihiro Tokunaga
誠 佐藤
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Abstract

To provide a laminate that has high-level gas barrier properties despite its low-cost, simple structure, and also has high sterilization performance and high light transmittance.SOLUTION: A laminate has, on at least one side of a base material 1, A layer 2 containing silicon, a metal element and oxygen. The laminate has a spectral absorption rate of 15% or less at a wavelength 300 nm as measured with a spectrophotometer.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、高いガスバリア性が必要とされる食品、医薬・医療品の包装材料や、太陽電池、電子ペーパー、有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイなどの電子部品を保護するための積層体に関する。 The present invention relates to packaging materials for foods, pharmaceuticals and medical products that require high gas barrier properties, and laminates for protecting electronic components such as solar cells, electronic paper, and organic electroluminescence (EL) displays.

有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)素子や医薬品などは、水蒸気に接触することによって機能低下(発光特性の低下や材料の分解)を起こすため、それを抑制するために、封止用フィルム(封止用粘着シート)で封止することが提案されている(特許文献1〜3)。 Organic electroluminescence (organic EL) elements, pharmaceuticals, etc. cause functional deterioration (deterioration of light emitting characteristics and decomposition of materials) when they come into contact with water vapor. It has been proposed to seal with an adhesive sheet) (Patent Documents 1 to 3).

上記特許文献には、基材として防湿性を有するプラスチックフィルム、銅箔、アルミニウム箔、酸化ケイ素膜などの無機膜が積層されたプラスチックフィルムが記載されている。 The above patent document describes a plastic film having a moisture-proof property as a base material, and a plastic film in which an inorganic film such as a copper foil, an aluminum foil, and a silicon oxide film is laminated.

特開2013−54985号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-54985 特開2015−122170号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-122170 特開2016−186042号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-186042

しかしながら、上記特許文献のプラスチックフィルムでは、紫外領域での光線透過率が低く、医薬・医療用包装材料などに用いられた際、紫外線を用いた殺菌・除菌効果が乏しくなる、という問題があった。 However, the plastic film of the above patent document has a problem that the light transmittance in the ultraviolet region is low, and when it is used as a packaging material for medicines and medical treatments, the sterilization / sterilization effect using ultraviolet rays becomes poor. rice field.

また、防湿層として酸化ケイ素などからなる無機膜がよく知られているが、酸化ケイ素からなる無機膜は、水蒸気透過率を十分に小さくするには厚みを大きくする必要があり、厚みを大きくするとクラックが発生しやすくなったり、高コストになるという問題があった。上記観点から、上述した特許文献は、いずれも、殺菌性、低い水蒸気透過率、クラック発生の少なさ、および低コストを同時に満足するものではない。 Further, an inorganic film made of silicon oxide or the like is well known as a moisture-proof layer, but the thickness of the inorganic film made of silicon oxide needs to be increased in order to sufficiently reduce the water vapor transmittance. There are problems that cracks are likely to occur and the cost is high. From the above viewpoint, none of the above-mentioned patent documents simultaneously satisfy bactericidal properties, low water vapor permeability, low crack generation, and low cost.

本発明の課題は、かかる従来技術の背景に鑑み、低コストかつシンプルな構成でも高度なガスバリア性を有し、かつ高い殺菌性能および高い光線透過率を有する積層体を提供することである。 An object of the present invention is to provide a laminate having a high gas barrier property, a high sterilization performance, and a high light transmittance even with a low cost and a simple configuration in view of the background of the prior art.

本発明は、かかる課題を解決するために、次のような手段を採用する。すなわち、以下である。 The present invention employs the following means in order to solve such a problem. That is, it is as follows.

(1)基材の少なくとも片面に、ケイ素、金属元素および酸素を含むA層を有し、分光光度計により測定される波長300nmにおける分光吸収率が15%以下である積層体。 (1) A laminate having a layer A containing silicon, a metal element and oxygen on at least one surface of a base material, and having a spectral absorption rate of 15% or less at a wavelength of 300 nm measured by a spectrophotometer.

本発明によれば、低コストかつシンプルな構成でも高度なガスバリア性を有し、かつ高い殺菌性能を有する積層体を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a laminate having a high gas barrier property and a high sterilizing performance even with a low cost and a simple structure.

本発明の積層体の一例を示した断面図である。It is sectional drawing which showed an example of the laminated body of this invention. 本発明の積層体の一例を示した断面図である。It is sectional drawing which showed an example of the laminated body of this invention. 本発明の積層体を製造するための巻き取り式電子線蒸着装置を模式的に示す概略図である。It is the schematic which shows typically the winding type electron beam vapor deposition apparatus for manufacturing the laminated body of this invention. 本発明の積層体を製造するための材料配置を上部から模式的に表す図である。It is a figure which shows typically the material arrangement for manufacturing the laminated body of this invention from the upper part. 本発明の積層体を製造するための材料配置を横から模式的に表す図である。It is a figure which shows typically the material arrangement for manufacturing the laminated body of this invention from the side. 巻き取り式スパッタリング装置を模式的に示す概略図である。It is the schematic which shows typically the winding type sputtering apparatus. 本発明の光学積層体の一例を示した断面図である。It is sectional drawing which showed an example of the optical laminated body of this invention. 本発明の光学積層体の一例を示した断面図である。It is sectional drawing which showed an example of the optical laminated body of this invention.

以下に本発明の詳細を説明する。 The details of the present invention will be described below.

本発明の積層体の好ましい一態様は、基材の少なくとも片面に、ケイ素、金属元素および酸素を含むA層を有し、分光光度計により測定される波長300nmにおける分光吸収率が15%以下の積層体である。 A preferred embodiment of the laminate of the present invention has an A layer containing silicon, a metal element and oxygen on at least one surface of the base material, and has a spectral absorption rate of 15% or less at a wavelength of 300 nm measured by a spectrophotometer. It is a laminate.

このような態様とすることにより、低コストかつシンプルな構成でも高度なガスバリア性を有し、かつ高い殺菌性能および高い光線透過率を有する積層体を提供することができる。なお、本発明において、金属元素はケイ素以外の金属元素であることとする。 With such an embodiment, it is possible to provide a laminate having a high gas barrier property, a high sterilization performance, and a high light transmittance even with a low cost and a simple configuration. In the present invention, the metal element is a metal element other than silicon.

A層に含まれる金属元素は、ガスバリア性、光学特性の観点からマグネシウム、カルシウム、アルミニウム、およびガリウムからなる群より選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、マグネシウム、およびカルシウムより選ばれる少なくとも1種であることがより好ましく、成膜性の観点から、マグネシウムであることがさらに好ましい。 The metal element contained in the layer A is preferably at least one selected from the group consisting of magnesium, calcium, aluminum, and gallium from the viewpoint of gas barrier properties and optical properties, and at least one selected from magnesium and calcium. Is more preferable, and magnesium is further preferable from the viewpoint of film forming property.

A層に含まれるケイ素および金属元素の形態は、酸化物、窒化物、酸化窒化物、炭化物などに限定されないが、非晶質膜を形成することやガスバリア性の観点から、酸化物、窒化物、酸化窒化物および炭化物からなる群より選ばれる少なくとも1つの化合物として含有されていることが好ましく、酸化物、窒化物、および酸化窒化物からなる群より選ばれる少なくとも1つの化合物として含有されていることがより好ましい。その中でも、酸化マグネシウムおよび酸化ケイ素を含むことがさらに好ましい。A層にケイ素、金属元素および酸素を含んでいれば、その他の無機化合物が含まれていても構わない。 The morphology of silicon and metal elements contained in layer A is not limited to oxides, nitrides, nitride nitrides, carbides, etc., but from the viewpoint of forming an amorphous film and gas barrier properties, oxides and nitrides , Preferably contained as at least one compound selected from the group consisting of oxides, nitrides and carbides, and contained as at least one compound selected from the group consisting of oxides, nitrides and nitrides. Is more preferable. Among them, it is more preferable to contain magnesium oxide and silicon oxide. As long as the layer A contains silicon, a metal element, and oxygen, other inorganic compounds may be contained.

A層が酸素を含むとは、X線光電子分光法(XPS)で評価を行った場合に、SiO膜の換算厚みで、A層最表面からA層の厚みが1/2となる位置までアルゴンイオンエッチングを行った箇所において、酸素原子の含有比率が10.0atm%以上であることを言う。透明性や緻密性などの観点より、酸素原子の含有比率は20.0atm%以上であることが好ましく、40.0atm%以上であることがより好ましい。A層最表面はA層が基材と最も近接する面と反対面のことを指す。 The fact that layer A contains oxygen means that when evaluated by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), the equivalent thickness of the SiO 2 film is from the outermost surface of layer A to the position where the thickness of layer A is halved. It means that the content ratio of oxygen atoms is 10.0 atm% or more at the place where argon ion etching is performed. From the viewpoint of transparency and density, the oxygen atom content ratio is preferably 20.0 atm% or more, and more preferably 40.0 atm% or more. The outermost surface of the A layer refers to the surface opposite to the surface where the A layer is closest to the base material.

本発明において、分光光度計により測定される波長300nmにおける分光吸収率が15%以下であることが好ましい。波長300nmにおける分光吸収率が15%以下であることにより、紫外領域における透過率が良好となる。積層体で封止された内部の物質の殺菌・除菌効果を高める観点より、分光吸収率が15%以下であることが好ましく、分光吸収率が10%以下であることがより好ましく、8%以下であることがさらに好ましい。 In the present invention, it is preferable that the spectral absorption rate at a wavelength of 300 nm measured by a spectrophotometer is 15% or less. When the spectral absorption rate at a wavelength of 300 nm is 15% or less, the transmittance in the ultraviolet region becomes good. From the viewpoint of enhancing the bactericidal and sterilizing effect of the internal substance sealed with the laminate, the spectral absorption rate is preferably 15% or less, more preferably 10% or less, and 8%. The following is more preferable.

本発明において、分光光度計により測定される分光透過率が、波長300nmにおいて60%以上、波長550nmにおいて85%以上、波長780nmにおいて80%以上であることが好ましい。上記を満たすことで、紫外線の透過率が良好となり積層体で封止された内部の物質の殺菌・除菌効果が良好となる。 In the present invention, the spectral transmittance measured by the spectrophotometer is preferably 60% or more at a wavelength of 300 nm, 85% or more at a wavelength of 550 nm, and 80% or more at a wavelength of 780 nm. By satisfying the above, the transmittance of ultraviolet rays becomes good, and the sterilizing / sterilizing effect of the internal substance sealed with the laminate becomes good.

本発明の積層体をフレキシブルディスプレイなどの有機素子に使用した際に光取り出し効率を向上させる観点から、分光透過率は波長300nmで70%以上、波長550nmで88%以上、波長780nmで85%以上であることが好ましく、分光透過率は波長300nmで80%以上、波長550nmで90%以上、波長780nmで90%以上であることがさらに好ましい。特に、可視光領域における透過率として波長550nmおよび波長780nmの分光透過率が良好であることが好ましい。 From the viewpoint of improving the light extraction efficiency when the laminate of the present invention is used for an organic element such as a flexible display, the spectral transmittance is 70% or more at a wavelength of 300 nm, 88% or more at a wavelength of 550 nm, and 85% or more at a wavelength of 780 nm. The spectral transmittance is more preferably 80% or more at a wavelength of 300 nm, 90% or more at a wavelength of 550 nm, and 90% or more at a wavelength of 780 nm. In particular, it is preferable that the spectral transmittance at a wavelength of 550 nm and a wavelength of 780 nm is good as the transmittance in the visible light region.

本発明のA層は、陽電子ビーム法(薄膜対応陽電子消滅寿命測定法)(「陽電子計測の科学」(日本アイソトープ協会)I章1節,V章2節参照)により測定される平均寿命が0.935ns以下であることが好ましい。陽電子ビーム法は、陽電子消滅寿命測定法の一つであり、陽電子が試料に入射してから消滅するまでの時間(数百ps〜数十nsオーダー)を測定し、その消滅寿命から約0.1〜10nmの空孔の大きさ、数濃度、さらには大きさの分布に関する情報を非破壊的に評価する手法である。陽電子線源として放射性同位体(22Na)の代わりに陽電子ビームを用いる点が、通常の陽電子消滅法と大きく異なり、シリコンや石英基板上に製膜された数百nm厚程度の薄膜の測定を可能とした手法である。得られた測定値から非線形最小二乗プログラムPOSITRONFITにより、平均細孔半径や細孔の数濃度を求めることが出来る。サブnmオーダーの細孔や基本骨格に対応するものは、第3成分および第4成分の平均寿命を解析することで得られる。 The A layer of the present invention has an average lifetime of 0 as measured by the positron beam method (measurement of positron annihilation lifetime for thin films) (see "Science of positron measurement" (Japan Radioisotope Association), Chapter I, Section 1, Section V, Section 2). It is preferably .935 ns or less. The positron beam method is one of the methods for measuring the positron annihilation lifetime, and measures the time (several hundred ps to several tens of ns order) from when a positron is incident on a sample until it disappears. This is a non-destructive evaluation method for information on the size, number concentration, and size distribution of pores of 1 to 10 nm. The point that a positron beam is used instead of a radioisotope (22 Na) as a positron radiation source is significantly different from the usual positron annihilation method, and it is possible to measure a thin film with a thickness of several hundred nm formed on a silicon or quartz substrate. This is a possible method. From the obtained measured values, the average pore radius and the number concentration of pores can be obtained by the nonlinear least squares program POSITRONFIT. Those corresponding to sub-nm order pores and basic skeletons can be obtained by analyzing the average lifetimes of the third component and the fourth component.

ここで、第3成分とは、陽電子ビーム法による平均寿命の測定条件として3成分に対する解析を選択することにより得られた平均寿命をいい、第4成分とは、陽電子ビーム法による平均寿命の測定条件として4成分に対する解析を選択することにより得られた平均寿命をいう。POSITRONFITにより解析をする際には、逆ラプラス変換法に基づく分布解析プログラムCONTINを用いて算出した細孔半径分布曲線で得られたピーク数から、POSITRONFITの成分数を決定する。POSITRONFITから算出した平均細孔半径とCONTINの細孔半径分布曲線のピーク位置が一致していることで、解析が妥当であることを判断する。本発明でいう平均寿命は、第3成分の平均寿命のことを指す。 Here, the third component means the average life obtained by selecting the analysis for the three components as the measurement condition of the average life by the positron beam method, and the fourth component means the measurement of the average life by the positron beam method. It refers to the average life obtained by selecting the analysis for 4 components as a condition. When the analysis is performed by POSITRONFIT, the number of components of POSITRONFIT is determined from the number of peaks obtained by the pore radius distribution curve calculated by using the distribution analysis program CONTIN based on the inverse Laplace transform method. It is judged that the analysis is valid when the average pore radius calculated from POSITRONFIT and the peak position of the pore radius distribution curve of CONTIN match. The average life of the third component as used in the present invention refers to the average life of the third component.

平均寿命が0.935ns以下であることにより、A層が緻密であり、高いガスバリア性を発現することができる。ガスバリア性の観点から、陽電子ビーム法により測定される平均寿命は0.912ns以下であることが好ましく、0.863ns以下がより好ましい。また、平均寿命の下限は特に限定されないが、0.542ns以上であることが好ましい。平均寿命が0.542ns以上であることにより屈曲性を十分なものとすることができる。 When the average life is 0.935 ns or less, the layer A is dense and high gas barrier properties can be exhibited. From the viewpoint of gas barrier property, the average lifetime measured by the positron beam method is preferably 0.912 ns or less, more preferably 0.863 ns or less. The lower limit of the average life is not particularly limited, but is preferably 0.542 ns or more. When the average life is 0.542 ns or more, the flexibility can be made sufficient.

本発明で規定する、A層の陽電子ビーム法により測定される平均寿命が0.935ns以下とするためには、例えば算術平均粗さRaが3.0nm以下の基材上に、複合酸化物膜を適した組成比率で緻密に形成することにより達成される。ここでいう緻密に形成するとは、それぞれの酸化物が原子レベルで混ざり合い緻密なネットワークを形成している状態をいう。 In order for the average lifetime measured by the positron beam method of layer A specified in the present invention to be 0.935 ns or less, for example, a composite oxide film is placed on a substrate having an arithmetic mean roughness Ra of 3.0 nm or less. Is achieved by densely forming with a suitable composition ratio. The term "densely formed" as used herein means a state in which each oxide is mixed at the atomic level to form a dense network.

本発明のA層は、X線光電子分光により測定される酸素原子(O1s)のピークの半値幅が3.25eV以下であることが好ましい。半値幅は、ピークの最大値をFmaxとした場合、ピークの強度がFmax/2の時のピーク幅のことを言う。O1sのピークの半値幅が狭い方が均一な結合のネットワーク構造が形成されることから、緻密な膜となりやすい。結合の均一性、バリア性の観点より、3.00eV以下がより好ましく、2.75eV以下が更に好ましい。また、下限は特に限定されないが、1.65eV以上であることが好ましい。 In the layer A of the present invention, the half width of the peak of oxygen atoms (O1s) measured by X-ray photoelectron spectroscopy is preferably 3.25 eV or less. FWHM, if the maximum value of the peak was F max, the intensity of the peak refers to the peak width when the F max / 2. The narrower the half width of the peak of O1s, the more uniformly bonded network structure is formed, so that a dense film is likely to be formed. From the viewpoint of bond uniformity and barrier property, 3.00 eV or less is more preferable, and 2.75 eV or less is further preferable. The lower limit is not particularly limited, but is preferably 1.65 eV or higher.

本発明におけるA層の屈折率が2.0以下の積層体であることが好ましい。屈折率は波長550nmにおける屈折率のことを言う。A層の屈折率が2.0以下であることにより、紫外可視領域における反射や吸収が小さくなり透過性を高めることができる。同様の観点より、A層の屈折率は1.90以下であることが好ましく、1.80以下であることがより好ましい。 It is preferable that the layer A in the present invention is a laminated body having a refractive index of 2.0 or less. Refractive index refers to the refractive index at a wavelength of 550 nm. When the refractive index of the A layer is 2.0 or less, reflection and absorption in the ultraviolet-visible region are reduced, and transparency can be improved. From the same viewpoint, the refractive index of the A layer is preferably 1.90 or less, and more preferably 1.80 or less.

本発明のA層は、酸化マグネシウムおよび酸化ケイ素を含み、X線光電子分光に(XPS)より測定される、マグネシウム(Mg)原子濃度が5〜50(atm%)、ケイ素(Si)原子濃度が2〜30(atm%)、酸素(O)原子濃度が45〜70(atm%)の積層体であることが好ましい。なお、〜は、以上、以下を表す。 The A layer of the present invention contains magnesium oxide and silicon oxide, and has a magnesium (Mg) atomic concentration of 5 to 50 (atm%) and a silicon (Si) atomic concentration measured by (XPS) by X-ray photoelectron spectroscopy. It is preferably a laminate having 2 to 30 (atm%) and an oxygen (O) atom concentration of 45 to 70 (atm%). In addition, ~ represents the above and the following.

A層の組成比率はX線光電子分光法(XPS)により測定することができる。アルゴンイオンエッチングにより、A層の厚みが1/2となる位置までA層を除去して各元素の含有比率を測定する。 The composition ratio of layer A can be measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). By argon ion etching, the A layer is removed to a position where the thickness of the A layer is halved, and the content ratio of each element is measured.

A層は結晶層になりクラックが入りやすくなることを抑制する観点からマグネシウム原子濃度が50atm%以下、および/またはケイ素原子濃度が2atm%以上であることが好ましい。A層中のシリケート結合の割合を十分なものとし、緻密性を向上させてガスバリア性を発現する観点からマグネシウム原子濃度が5atm%以上、および/またはケイ素原子濃度が30atm%以下であることが好ましい。シリケート結合とは、ケイ素(Si)と金属(M)の酸素(O)を介した結合であり、Si−O−Mと記載することができる。マグネシウムやケイ素が酸化不足となり光線透過率が低下することを抑制する観点から、酸素原子濃度が45atm%以上であることが好ましい。また、酸素が過剰に取り込まれ空隙や欠陥が増加することを抑制し、ガスバリア性を発現する観点から、酸素原子濃度が70atm%以下であることが好ましい。 The magnesium atom concentration is preferably 50 atm% or less, and / or the silicon atom concentration is preferably 2 atm% or more from the viewpoint of preventing the A layer from becoming a crystal layer and easily cracking. It is preferable that the magnesium atom concentration is 5 atm% or more and / or the silicon atom concentration is 30 atm% or less from the viewpoint of making the ratio of silicate bonds in the layer A sufficient, improving the denseness and exhibiting gas barrier properties. .. The silicate bond is a bond between silicon (Si) and a metal (M) via oxygen (O), and can be described as Si—OM. The oxygen atom concentration is preferably 45 atm% or more from the viewpoint of suppressing the decrease in light transmittance due to insufficient oxidation of magnesium and silicon. Further, it is preferable that the oxygen atom concentration is 70 atm% or less from the viewpoint of suppressing excessive intake of oxygen and increasing voids and defects and exhibiting gas barrier properties.

上記観点から、本発明のA層の組成について、マグネシウム原子濃度が8〜35(atm%)、ケイ素原子濃度が6〜25(atm%)、酸素原子濃度が50〜65(atm%)であることがより好ましく、マグネシウム原子濃度が15〜30(atm%)、ケイ素原子濃度が8〜20(atm%)、酸素原子濃度が50〜65(atm%)であることがさらに好ましい。 From the above viewpoint, the composition of the A layer of the present invention has a magnesium atom concentration of 8 to 35 (atm%), a silicon atom concentration of 6 to 25 (atm%), and an oxygen atom concentration of 50 to 65 (atm%). More preferably, the magnesium atom concentration is 15 to 30 (atm%), the silicon atom concentration is 8 to 20 (atm%), and the oxygen atom concentration is 50 to 65 (atm%).

本発明のA層の組成について、マグネシウム(Mg)原子とケイ素(Si)原子の原子濃度(atm%)比率Mg/(Mg+Si)が、0.45〜0.80であることが好ましい。原子濃度(atm%)比率が、Mg/(Mg+Si)≧0.45であることにより、A層中のシリケート結合の割合を十分なものとし、緻密性を向上させてガスバリア性を発現することができる。原子濃度(atm%)比率がMg/(Mg+Si)≦0.80であることにより、A層中に結晶部が存在することを抑制し、クラックが入りやすくなることを抑えることができる。同様の観点より、原子濃度(atm%)比率Mg/(Mg+Si)は0.50〜0.78がより好ましく、0.55〜0.76がさらに好ましい。 Regarding the composition of the A layer of the present invention, the atomic concentration (atm%) ratio Mg / (Mg + Si) of magnesium (Mg) atom and silicon (Si) atom is preferably 0.45 to 0.80. When the atomic concentration (atm%) ratio is Mg / (Mg + Si) ≥ 0.45, the ratio of silicate bonds in the layer A can be made sufficient, the density can be improved, and gas barrier properties can be exhibited. can. When the atomic concentration (atm%) ratio is Mg / (Mg + Si) ≦ 0.80, it is possible to suppress the presence of a crystal portion in the A layer and prevent cracks from easily forming. From the same viewpoint, the atomic concentration (atm%) ratio Mg / (Mg + Si) is more preferably 0.50 to 0.78, and even more preferably 0.55 to 0.76.

本発明におけるA層の厚みは、透過型電子顕微鏡(TEM)およびX線反射率法(XRR法)による評価で得ることができる。A層の厚みは5nm以上が好ましく、10nm以上がより好ましい。厚みが5nmよりも薄いと層として形成されない領域が発生し、十分なガスバリア性が確保できない場合がある。また、A層の厚みは500nm以下が好ましく、300nm以下がより好ましい。A層の厚みが500nmよりも厚いとクラックが入りやすくなったり耐屈曲性や延伸性が低下したりする場合がある。 The thickness of layer A in the present invention can be obtained by evaluation by a transmission electron microscope (TEM) and an X-ray reflectivity method (XRR method). The thickness of the A layer is preferably 5 nm or more, more preferably 10 nm or more. If the thickness is thinner than 5 nm, a region that is not formed as a layer may occur, and sufficient gas barrier properties may not be ensured. The thickness of the A layer is preferably 500 nm or less, more preferably 300 nm or less. If the thickness of the layer A is thicker than 500 nm, cracks may easily occur and the bending resistance and stretchability may decrease.

本発明の積層体は、水蒸気透過度が5.0×10−2g/m/day未満であることが好ましい。高いガスバリア性が要求される有機素子やフレキシブルディスプレイ用途に使用される観点から、本発明の積層体の水蒸気透過度は1.0×10−2g/m/day未満であることがより好ましい。また水蒸気透過度の下限は特に限定されないが、膜が必要以上に緻密になるとクラックが生じやすくなることから、本発明の積層体の水蒸気透過度は1.0×10−4g/m/day以上であることが好ましい。 The laminate of the present invention preferably has a water vapor transmission rate of less than 5.0 × 10-2 g / m 2 / day. From the viewpoint of being used in organic devices and flexible display applications that require high gas barrier properties, the water vapor transmission rate of the laminate of the present invention is more preferably less than 1.0 × 10-2 g / m 2 / day. .. The lower limit of the water vapor transmission rate is not particularly limited, but if the film becomes denser than necessary, cracks are likely to occur. Therefore, the water vapor transmission rate of the laminate of the present invention is 1.0 × 10 -4 g / m 2 /. It is preferably day or more.

[A層の製造方法]
A層の形成方法については、特に限定はなく、真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスターイオンビーム法、イオンプレーティング法、原子層堆積法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることができる。製造コスト、環境負荷、ガスバリア性等の観点から、真空蒸着法を用いることが好ましい。
[Manufacturing method of layer A]
The method for forming the A layer is not particularly limited, and is a vacuum deposition method, a sputtering method, a reactive sputtering method, a molecular beam epitaxy method, a cluster ion beam method, an ion plating method, an atomic layer deposition method, a plasma polymerization method, and a large method. A pressure plasma polymerization method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method and the like can be used. From the viewpoint of manufacturing cost, environmental load, gas barrier property, etc., it is preferable to use the vacuum deposition method.

巻き取り式蒸着装置(図3)によるA層の形成方法の一例を示す。電子線(EB)蒸着法により、基材1の表面にA層として、材料BとCの化合物薄膜を設ける。まず、蒸着材料として、2〜5mm程度の大きさの顆粒状の材料Bと材料Cを図4,5のように交互に配置する。交互に配置する際の面積比率は、A層の狙い膜組成やEB照射方法等に応じて配置する。その際の配置する材料毎の幅は、10〜100mmであることが好ましい。100mmより大きいと材料BとCの幅方向における組成比や膜質のバラつきが大きくなりやすい。10mm未満であると材料を配置する際の作業性が低下する可能性がある。幅方向の組成比や膜質のバラつき、作業性などの観点より20〜80mmであることがより好ましい。また、蒸着材料は顆粒に限らず、角形やタブレット型などの成形体などの形状のものを用いてもよい。また、材料Bと材料Cを予め焼結した複合材料を用いてもよい。蒸着材料が吸湿していると材料中の水分がA層中に取り込まれ、所望の膜組成や物性が得られなくなる可能性があることから、材料を使用前に加熱による脱水処理を行うことが好ましい。巻き取り室4の中で、巻き出しロール5に前記基材1のA層を設ける側の面がハースライナー10に対向するようにセットし、巻き出し、ガイドロール6,7,8を介して、メインドラム9に通す。次に、真空ポンプにより、蒸着装置60内を減圧し、5.0×10−3Pa以下を得る。到達真空度は5.0×10−3Pa以下が好ましい。到達真空度が5.0×10−3Paより大きいと残留ガスがA層中に取り込まれ、所望の膜組成や物性が得られなくなる可能性がある。メインドラム9の温度は一例として、−15℃に設定する。基材の熱負けを防ぐ観点から、20℃以下が好ましく、より好ましくは0℃以下である。次に、加熱源として一台の電子銃(以下、EB銃)12を用い、材料B、C表面を均一に加熱する。EB銃は加速電圧10kVでEB蒸着により前記基材1の表面上にA層を形成する。A層の厚みは、EB銃の加速電流、フィルム搬送速度により調整する。その後、ガイドロール14,15,16を介して巻き取りロール17に巻き取る。 An example of the method of forming the A layer by the take-up type vapor deposition apparatus (FIG. 3) is shown. A compound thin film of materials B and C is provided as a layer A on the surface of the base material 1 by an electron beam (EB) vapor deposition method. First, as the vapor deposition material, granular material B and material C having a size of about 2 to 5 mm are alternately arranged as shown in FIGS. 4 and 5. The area ratio when the layers are alternately arranged is arranged according to the target film composition of the A layer, the EB irradiation method, and the like. At that time, the width of each material to be arranged is preferably 10 to 100 mm. If it is larger than 100 mm, the composition ratio and the film quality in the width direction of the materials B and C tend to vary greatly. If it is less than 10 mm, workability when arranging the material may decrease. It is more preferably 20 to 80 mm from the viewpoint of composition ratio in the width direction, variation in film quality, workability, and the like. Further, the vapor deposition material is not limited to granules, and a molded body such as a square or tablet may be used. Further, a composite material obtained by pre-sintering the material B and the material C may be used. If the vapor-deposited material absorbs moisture, the moisture in the material may be taken into the layer A, and the desired film composition and physical properties may not be obtained. Therefore, the material may be dehydrated by heating before use. preferable. In the take-up chamber 4, the unwinding roll 5 is set so that the surface of the base material 1 on which the A layer is provided faces the hearth liner 10, and the unwinding roll is unwound via the guide rolls 6, 7, and 8. , Pass through the main drum 9. Next, the pressure inside the vapor deposition apparatus 60 is reduced by a vacuum pump to obtain 5.0 × 10 -3 Pa or less. The ultimate vacuum is preferably 5.0 × 10 -3 Pa or less. If the ultimate vacuum degree is larger than 5.0 × 10 -3 Pa, residual gas may be taken into the A layer, and the desired film composition and physical properties may not be obtained. The temperature of the main drum 9 is set to −15 ° C. as an example. From the viewpoint of preventing heat loss of the base material, the temperature is preferably 20 ° C. or lower, more preferably 0 ° C. or lower. Next, one electron gun (hereinafter, EB gun) 12 is used as a heating source to uniformly heat the surfaces of the materials B and C. The EB gun forms an A layer on the surface of the base material 1 by EB vapor deposition at an acceleration voltage of 10 kV. The thickness of the A layer is adjusted by the acceleration current of the EB gun and the film transport speed. After that, it is wound on the winding roll 17 via the guide rolls 14, 15 and 16.

[基材]
本発明に用いられる基材は、柔軟性を確保する観点からフィルム形態を有することが好ましい。
[Base material]
The base material used in the present invention preferably has a film form from the viewpoint of ensuring flexibility.

本発明に用いられる基材の素材は、ポリエステル、アクリル、ポリカーボネート、セルロースエステル、オレフィン、環状オレフィン、ポリプロピレン、ポリエチレンなどが挙げられる。本発明の態様を満足するためには、UV吸収性の小さい基材を用いることが好ましい。具体的には、本発明に用いられる基材の分光光度計により測定される波長300nmにおける分光吸収率が15%以下であることが好ましい。同様の観点より、波長300nmにおける分光吸収率が10%以下であることがより好ましい。そのような観点から、基材はオレフィン、環状オレフィン、ポリプロピレン、ポリエチレンが好ましい。ガスバリア性、ディスプレイ用途に用いられる観点より、環状オレフィンがより好ましい。 Examples of the material of the base material used in the present invention include polyester, acrylic, polycarbonate, cellulose ester, olefin, cyclic olefin, polypropylene, polyethylene and the like. In order to satisfy the aspect of the present invention, it is preferable to use a base material having low UV absorption. Specifically, it is preferable that the spectral absorption rate at a wavelength of 300 nm measured by the spectrophotometer of the substrate used in the present invention is 15% or less. From the same viewpoint, it is more preferable that the spectral absorption rate at a wavelength of 300 nm is 10% or less. From such a viewpoint, the base material is preferably olefin, cyclic olefin, polypropylene, or polyethylene. Cyclic olefins are more preferable from the viewpoint of gas barrier properties and use in display applications.

環状オレフィン樹脂フィルムは、環状オレフィン樹脂(COP)あるいは環状オレフィン共重合樹脂(COC)を主成分とする樹脂フィルムである。ここで、主成分とするとは
樹脂フィルムを構成する樹脂成分のうち、COPあるいはCOCの構成比率が50質量%以上であることを意味するものであり、好ましくは60質量%以上であり、より好ましくは80質量%以上であり、さらに好ましくは90質量%以上であり、特に好ましくは95質量%以上である。
The cyclic olefin resin film is a resin film containing a cyclic olefin resin (COP) or a cyclic olefin copolymer resin (COC) as a main component. Here, the main component means that the composition ratio of COP or COC among the resin components constituting the resin film is 50% by mass or more, preferably 60% by mass or more, more preferably. Is 80% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, and particularly preferably 95% by mass or more.

基材のA層を形成する側の表面には、密着性や平滑性を良くするためにコロナ処理、プラズマ処理、紫外線処理、イオンボンバード処理、溶剤処理、有機物もしくは無機物またはそれらの混合物で構成されるアンカーコート層の形成処理、等の前処理が施されていてもよい。また、A層を形成する側の反対側には、基材の巻き取り時の滑り性の向上や基材の耐擦傷性を目的として、有機物や無機物あるいはこれらの混合物のコーティング層が積層されていてもよい。 The surface of the base material on the side forming the A layer is composed of corona treatment, plasma treatment, ultraviolet treatment, ion bombard treatment, solvent treatment, organic or inorganic substances, or a mixture thereof in order to improve adhesion and smoothness. Pretreatment such as formation treatment of an anchor coat layer may be performed. Further, on the opposite side of the side forming the A layer, a coating layer of an organic substance, an inorganic substance, or a mixture thereof is laminated for the purpose of improving the slipperiness when winding the base material and the scratch resistance of the base material. You may.

本発明に使用する基材の厚みは特に限定されないが、柔軟性を確保する観点から500μm以下が好ましく、引張りや衝撃に対する強度を確保する観点から5μm以上が好ましい。さらに、フィルムの加工やハンドリングの容易性から基材の厚みは10μm以上、150μm以下がより好ましい。 The thickness of the base material used in the present invention is not particularly limited, but is preferably 500 μm or less from the viewpoint of ensuring flexibility, and preferably 5 μm or more from the viewpoint of ensuring strength against tension and impact. Further, the thickness of the base material is more preferably 10 μm or more and 150 μm or less from the viewpoint of ease of processing and handling of the film.

[アンカーコート層]
本発明の積層体は、アンカーコート層を有していてもよい。前記アンカーコート層は、一方の面が前記基材と接し、他方の面が前記A層と接していることが好ましい。さらにアンカーコート層は、芳香族環構造を有するポリウレタン化合物を架橋して得られる構造を含んでいることがより好ましい。基材上に突起や傷などの欠点が存在する場合、前記欠点を起点に基材上に積層するA層にもピンホールやクラックが発生してガスバリア性や耐屈曲性が損なわれる場合があるため、アンカーコート層を設けることが好ましい。また、基材とA層との熱寸法安定性差が大きい場合もガスバリア性や屈曲性が低下する場合があるため、アンカーコート層を設けてもよい。
[Anchor coat layer]
The laminate of the present invention may have an anchor coat layer. It is preferable that one surface of the anchor coat layer is in contact with the base material and the other surface is in contact with the A layer. Further, it is more preferable that the anchor coat layer contains a structure obtained by cross-linking a polyurethane compound having an aromatic ring structure. If there are defects such as protrusions and scratches on the base material, pinholes and cracks may also occur in the A layer laminated on the base material starting from the above defects, and the gas barrier property and bending resistance may be impaired. Therefore, it is preferable to provide an anchor coat layer. Further, even when the difference in thermal dimensional stability between the base material and the layer A is large, the gas barrier property and the flexibility may be lowered, so that an anchor coat layer may be provided.

アンカーコート層の厚みは、200nm以上、4,000nm以下が好ましく、300nm以上、2,000nm以下がより好ましく、500nm以上、1,000nm以下がさらに好ましい。アンカーコート層の厚みが200nmより薄くなると、基材上に存在する突起や傷などの欠点の悪影響を抑制できない場合がある。アンカーコート層の厚みが4,000nmより厚くなると、アンカーコート層の平滑性が低下して前記アンカーコート層上に積層するA層表面の凹凸形状も大きくなり、積層される蒸着膜が緻密になりにくく、ガスバリア性の向上効果が得られにくくなる場合がある。ここでアンカーコート層の厚みは、透過型電子顕微鏡(TEM)による断面観察画像から測定することが可能である。 The thickness of the anchor coat layer is preferably 200 nm or more and 4,000 nm or less, more preferably 300 nm or more and 2,000 nm or less, and further preferably 500 nm or more and 1,000 nm or less. If the thickness of the anchor coat layer is thinner than 200 nm, it may not be possible to suppress the adverse effects of defects such as protrusions and scratches existing on the base material. When the thickness of the anchor coat layer is thicker than 4,000 nm, the smoothness of the anchor coat layer is lowered, the uneven shape of the surface of the A layer laminated on the anchor coat layer is also increased, and the vapor deposition film to be laminated becomes dense. It is difficult, and it may be difficult to obtain the effect of improving the gas barrier property. Here, the thickness of the anchor coat layer can be measured from a cross-sectional observation image by a transmission electron microscope (TEM).

アンカーコート層の算術平均粗さRaは、10nm以下であることが好ましい。Raを10nm以下にすると、アンカーコート層上に均質なA層を形成しやすくなり、ガスバリア性の繰り返し再現性が向上するため好ましい。アンカーコート層の表面のRaが10nmより大きくなると、アンカーコート層上のA層表面の凹凸形状も大きくなり、蒸着膜が緻密になりにくく、ガスバリア性の向上効果が得られにくくなる場合があり、また、凹凸が多い部分で応力集中によるクラックが発生し易いため、ガスバリア性の繰り返し再現性が低下する原因となる場合がある。従って、本発明においては、アンカーコート層のRaを10nm以下にすることが好ましく、より好ましくは5nm以下である。本発明におけるアンカーコート層のRaは、原子間力顕微鏡(AFM)などを用いて測定することができる。 The arithmetic average roughness Ra of the anchor coat layer is preferably 10 nm or less. When Ra is set to 10 nm or less, a homogeneous layer A is easily formed on the anchor coat layer, and the reproducibility of gas barrier properties is improved, which is preferable. When Ra on the surface of the anchor coat layer is larger than 10 nm, the uneven shape of the surface of the A layer on the anchor coat layer also becomes large, the vapor-deposited film is difficult to become dense, and the effect of improving the gas barrier property may be difficult to obtain. In addition, cracks are likely to occur due to stress concentration in a portion having many irregularities, which may cause a decrease in reproducibility of gas barrier properties. Therefore, in the present invention, the Ra of the anchor coat layer is preferably 10 nm or less, more preferably 5 nm or less. Ra of the anchor coat layer in the present invention can be measured using an atomic force microscope (AFM) or the like.

本発明の積層体にアンカーコート層を適用する場合の塗布手段としては、例えばリバースコート法、グラビアコート法、ロッドコート法、バーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、スピンコート法などにより塗布することが好ましい。 When the anchor coat layer is applied to the laminate of the present invention, it is applied by, for example, a reverse coating method, a gravure coating method, a rod coating method, a bar coating method, a die coating method, a spray coating method, a spin coating method, or the like. Is preferable.

[光学積層体]
本発明の光学積層体は、積層体と、λ/4位相差フィルムと、直線偏光子層とを備える、光学積層体であることが好ましい。
[Optical laminate]
The optical laminate of the present invention is preferably an optical laminate including a laminate, a λ / 4 retardation film, and a linear polarizer layer.

λ/4位相差フィルムは、λ/4板として機能する、すなわち、入射光に対して進相軸と遅相軸との間にπ/2(=λ/4)の位相差を与えるフィルムである。λ/4位相差フィルムの550nmの波長での面内位相差Re(550)は、100nm〜180nmであることができ、好ましくは110nm〜170nmであり、さらに好ましくは120nm〜160nmであることが好ましい。 A λ / 4 retardation film is a film that functions as a λ / 4 plate, that is, gives a phase difference of π / 2 (= λ / 4) between the phase-advancing axis and the slow-phase axis with respect to incident light. be. The in-plane retardation Re (550) of the λ / 4 retardation film at a wavelength of 550 nm can be 100 nm to 180 nm, preferably 110 nm to 170 nm, and more preferably 120 nm to 160 nm. ..

λ/4位相差フィルムの厚みは、λ/4板として最も適切に機能し得るように設定され得る。つまり、厚みは、所望の面内位相差が得られるように設定され得る。厚みは、1μm〜80μmであることが好ましく、10μm〜60μmであることがより好ましく、30μm〜50μmであることがさらに好ましい。 The thickness of the λ / 4 retardation film can be set to best function as a λ / 4 plate. That is, the thickness can be set so as to obtain the desired in-plane phase difference. The thickness is preferably 1 μm to 80 μm, more preferably 10 μm to 60 μm, and even more preferably 30 μm to 50 μm.

λ/4位相差フィルムの材料としては、セルロース系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、環状オレフィンポリマー、液晶化合物の配向固化層などを例示することができる。中でもポリカーボネート系樹脂フィルム、コスト的に安価で均一なフィルムが入手可能であるため好ましく用いられる。製膜方法としては、溶剤キャスト法やフィルムの残留応力を小さくできる精密押出法などを用いることができるが、均一性の点で溶剤キャスト法が好ましく用いられる。延伸方法は、特に制限なく、均一な光学特性が得られるロール間縦一軸、テンター横一軸延伸など適用できる。 Materials for the λ / 4 retardation film include cellulose-based resin, polycarbonate-based resin, polyarylate-based resin, polyester-based resin, acrylic-based resin, polysulfone, polyether sulfone, cyclic olefin polymer, and orientation-solidified layer of liquid crystal compound. Can be exemplified. Among them, a polycarbonate-based resin film is preferably used because it is inexpensive and a uniform film is available. As the film forming method, a solvent casting method or a precision extrusion method capable of reducing the residual stress of the film can be used, but the solvent casting method is preferably used from the viewpoint of uniformity. The stretching method is not particularly limited, and can be applied to roll-to-roll longitudinal uniaxial stretching and tenter horizontal uniaxial stretching in which uniform optical characteristics can be obtained.

λ/4位相差フィルムは、位相差値が測定光の波長に応じて大きくなる逆波長分散性を示してもよく、位相差値が測定光の波長に応じて小さくなる正の波長分散特性を示してもよく、位相差値が測定光の波長によってもほとんど変化しないフラットな波長分散特性を示してもよい。 The λ / 4 retardation film may exhibit an inverse wavelength dispersibility in which the retardation value increases according to the wavelength of the measurement light, and a positive wavelength dispersion characteristic in which the retardation value decreases according to the wavelength of the measurement light. It may be shown, or may show a flat wavelength dispersion characteristic in which the phase difference value hardly changes with the wavelength of the measurement light.

λ/4位相差フィルムが逆波長分散性を示す場合には、視野角補償が向上するという効果がある。この場合、λ/4位相差フィルムの波長λでの面内位相差をRe(λ)と表記したときに、Re(450)/Re(550)<1およびRe(650)/Re(550)>1を満たすことができる。 When the λ / 4 retardation film exhibits anti-wavelength dispersibility, there is an effect that the viewing angle compensation is improved. In this case, when the in-plane retardation of the λ / 4 retardation film at the wavelength λ is expressed as Re (λ), Re (450) / Re (550) <1 and Re (650) / Re (550). > 1 can be satisfied.

本発明の直線偏光子層は、直線偏光機能を有するフィルムである。このような直線偏光子層としては例えば、吸収異方性を有する色素を吸着させた延伸フィルム、又は、吸収異方性を有する色素を塗布したフィルムである。吸収異方性を有する色素としては例えば、ヨウ素などの二色性色素であり、基材としては例えばポリビニルアルコール系樹脂である。 The linearly polarized light layer of the present invention is a film having a linearly polarized light function. Such a linear polarizer layer is, for example, a stretched film on which a dye having absorption anisotropy is adsorbed, or a film coated with a dye having absorption anisotropy. The dye having absorption anisotropy is, for example, a dichroic dye such as iodine, and the base material is, for example, a polyvinyl alcohol-based resin.

吸収異方性を有する色素を吸着させた延伸フィルムの製法の1例は、ポリビニルアルコール系樹脂フィルムを一軸延伸する工程、ポリビニルアルコール系樹脂フィルムを二色性色素で染色することにより、その二色性色素を吸着させる工程、二色性色素が吸着されたポリビニルアルコール系樹脂フィルムをホウ酸水溶液で処理する工程、およびホウ酸水溶液による処理後に水洗する工程を経て製造された偏光子の少なくとも一方の面に接着剤を介して透明保護フィルムで挟み込むことで作製される。 One example of a method for producing a stretched film in which a dye having absorption anisotropy is adsorbed is a step of uniaxially stretching a polyvinyl alcohol-based resin film, and dyeing the polyvinyl alcohol-based resin film with a bicolor dye to obtain the two colors. At least one of the polarizers produced through a step of adsorbing a sex dye, a step of treating a polyvinyl alcohol-based resin film on which a bicolor dye is adsorbed with a boric acid aqueous solution, and a step of washing with water after treatment with a boric acid aqueous solution. It is produced by sandwiching the surface with a transparent protective film via an adhesive.

直線偏光子層の厚さは5〜40μmが好ましく、5〜30μmとすることがより好ましい。また、直線偏光子層を保護する観点からの一方面又は両面は、トリアセチルセルロース等の保護フィルムを有していることが好ましい。 The thickness of the linear polarizing element layer is preferably 5 to 40 μm, more preferably 5 to 30 μm. Further, from the viewpoint of protecting the linear polarizer layer, it is preferable that one side or both sides has a protective film such as triacetyl cellulose.

円偏光を得るための構成として、λ/4位相差フィルムの進相軸と、直線偏光子層の透過軸とが45°で交差するように、λ/4位相差フィルムおよび直線偏光子層を配置することが好ましい。 As a configuration for obtaining circularly polarized light, the λ / 4 retardation film and the linear polarizing element layer are provided so that the phase-advancing axis of the λ / 4 retardation film and the transmission axis of the linear polarizing element layer intersect at 45 °. It is preferable to arrange it.

図7のような光学積層体において、ガスバリア性を備える積層体に加えて、λ/4位相差フィルムおよび直線偏光子層によって直線偏光を円偏光に変換する機能を付与することができる。 In the optical laminate as shown in FIG. 7, in addition to the laminate having gas barrier properties, a function of converting linearly polarized light into circularly polarized light can be provided by a λ / 4 retardation film and a linearly polarizing element layer.

本発明の光学積層体は、積層体と、λ/2位相差フィルムを備える、光学積層体である。λ/2位相差フィルムは、λ/2板として機能する、すなわち、入射光に対して進相軸と遅相軸との間にπ(=λ/2)の位相差を与えるフィルムである。λ/2位相差フィルムの波長550nmでの面内位相差Re(550)は、220nm〜320nmであることが好ましく、より好ましくは240nm〜300nmであり、さらに好ましくは250nm〜280nmである。 The optical laminate of the present invention is an optical laminate including a laminate and a λ / 2 retardation film. The λ / 2 retardation film is a film that functions as a λ / 2 plate, that is, gives a phase difference of π (= λ / 2) between the phase-advancing axis and the slow-phase axis with respect to the incident light. The in-plane retardation Re (550) of the λ / 2 retardation film at a wavelength of 550 nm is preferably 220 nm to 320 nm, more preferably 240 nm to 300 nm, and even more preferably 250 nm to 280 nm.

λ/2位相差フィルムの厚みは、λ/2板として最も適切に機能し得るように設定され得る。つまり、厚みは、所望の面内位相差が得られるように設定され得る。具体的には、厚みは、1μm〜80μmであることが好ましく、10μm〜60μmであることがより好ましく、30〜50μmであることがさらに好ましい。 The thickness of the λ / 2 retardation film can be set to best function as a λ / 2 plate. That is, the thickness can be set so as to obtain the desired in-plane phase difference. Specifically, the thickness is preferably 1 μm to 80 μm, more preferably 10 μm to 60 μm, and even more preferably 30 to 50 μm.

λ/2位相差フィルムの材料や製法は、λ/4位相差フィルムと同様とすることができる。 The material and manufacturing method of the λ / 2 retardation film can be the same as that of the λ / 4 retardation film.

図8のような光学積層体では、λ/2位相差フィルムを所定角度で設けることにより、光学積層体に逆波長分散性を付与することができる。 In the optical laminate as shown in FIG. 8, the inverse wavelength dispersibility can be imparted to the optical laminate by providing the λ / 2 retardation film at a predetermined angle.

[封止樹脂層]
本発明における封止樹脂層は、少なくとも封止樹脂を含む層である。かかる封止樹脂としては、ゴム系ポリマー、ポリオレフィン系ポリマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、(メタ)アクリル系ポリマー、ポリエステル系ポリマーおよびシリコーン系ポリマーからなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂を含有することが好ましい。
[Encapsulating resin layer]
The sealing resin layer in the present invention is a layer containing at least a sealing resin. Such a sealing resin contains at least one resin selected from the group consisting of rubber-based polymers, polyolefin-based polymers, styrene-based thermoplastic elastomers, (meth) acrylic-based polymers, polyester-based polymers, and silicone-based polymers. Is preferable.

上記封止樹脂の中でも、水蒸気透過率を小さくするという観点から、ゴム系ポリマー、ポリオレフィン系ポリマーおよびスチレン系熱可塑性エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂を含有することが好ましい。 Among the sealing resins, it is preferable to contain at least one resin selected from the group consisting of rubber-based polymers, polyolefin-based polymers and styrene-based thermoplastic elastomers from the viewpoint of reducing the water vapor permeability.

ゴム系ポリマーは、天然ゴム又は合成ゴム等のゴム弾性を有するものである。例えば、天然ゴム、ブタジエン単独重合体(ブタジエンゴム)、クロロプレン単独重合体(クロロプレンゴム)、イソプレン単独重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体(ニトリルゴム)、エチレン−プロピレン−非共役ジエン三元共重合体、イソブチレン系重合体、またはこれらを変性したものが挙げられる。ゴム系ポリマーの中でも、イソブチレン系重合体が好ましい。 The rubber-based polymer has rubber elasticity such as natural rubber or synthetic rubber. For example, natural rubber, butadiene homopolymer (butadiene rubber), chloroprene homopolymer (chloroprene rubber), isoprene homopolymer, acrylonitrile-butadiene copolymer (nitrile rubber), ethylene-propylene-non-conjugated diene ternary common weight. Combined, isobutylene-based polymers, or modified ones thereof can be mentioned. Among the rubber-based polymers, isobutylene-based polymers are preferable.

イソブチレン系重合体は、主鎖および/または側鎖に、イソブチレン由来の繰り返し単位を有する重合体をいう。イソブチレン由来の繰り返し単位の含有比率は、50質量%以上が好ましく、60質量%以上がより好ましく、70質量%以上が特に好ましい。上限の含有比率は99質量%程度である。 Isobutylene-based polymers refer to polymers having isobutylene-derived repeating units in the main chain and / or side chains. The content ratio of the repeating unit derived from isobutylene is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and particularly preferably 70% by mass or more. The upper limit content ratio is about 99% by mass.

イソブチレン系重合体としては、イソブチレン単独重合体(ポリイソブチレン)、イソブチレン−イソプレン共重合体(ブチルゴム)、イソブチレン−nブテン共重合体、イソブチレン−ブタジエン共重合体、およびこれらの重合体を臭素化または塩素化して得られるハロゲン化重合体などが挙げられる。これらの中でも、イソブチレン−イソプレン共重合体(ブチルゴム)が好ましい。 Examples of isobutylene-based polymers include isobutylene homopolymers (polyisobutylene), isobutylene-isoprene copolymers (butyl rubber), isobutylene-n butene copolymers, isobutylene-butadiene copolymers, and bromination or bromination of these polymers. Examples thereof include a halogenated polymer obtained by chlorination. Among these, an isobutylene-isoprene copolymer (butyl rubber) is preferable.

ゴム系ポリマーの数平均分子量(Mn)は、5万〜300万の範囲が好ましく、10万〜200万の範囲がより好ましく、15万〜150万の範囲が特に好ましい。ゴム系ポリマーの数平均分子量(Mn)が上記範囲内であることで、水蒸気透過率の小さい封止フィルムが得られる。 The number average molecular weight (Mn) of the rubber-based polymer is preferably in the range of 50,000 to 3 million, more preferably in the range of 100,000 to 2 million, and particularly preferably in the range of 150,000 to 1.5 million. When the number average molecular weight (Mn) of the rubber-based polymer is within the above range, a sealing film having a low water vapor transmittance can be obtained.

ゴム系ポリマーの数平均分子量(Mn)は、テトラヒドロフランを溶媒として用いてゲルパーミエーションクロマトグラフィーを行い、標準ポリスチレン換算値として求めることができる。 The number average molecular weight (Mn) of the rubber-based polymer can be determined as a standard polystyrene-equivalent value by performing gel permeation chromatography using tetrahydrofuran as a solvent.

ポリオレフィン系ポリマーは、主鎖および/または側鎖に、オレフィン系モノマー由来の繰り返し単位を有する重合体であり、オレフィン系モノマー単独重合体や共重合体、あるいはこれらを変性したものが挙げられる。 The polyolefin-based polymer is a polymer having a repeating unit derived from an olefin-based monomer in the main chain and / or side chain, and examples thereof include an olefin-based monomer homopolymer, a copolymer, or a modified product thereof.

かかるオレフィン系モノマーとしては、プロピレン、1−ブテン、4−メチル−1−ペンテン、3−メチル−1−ブテン、1−ヘキセン、1−オクテン等の炭素数3〜20のα−オレフィン、あるいはシクロブテン、テトラシクロドデセン、ノルボルネン等の炭素数4〜20の環状オレフィンが挙げられる。 Examples of such olefin-based monomers include α-olefins having 3 to 20 carbon atoms such as propylene, 1-butene, 4-methyl-1-pentene, 3-methyl-1-butene, 1-hexene and 1-octene, or cyclobutene. , Tetracyclododecene, norbornene and other cyclic olefins having 4 to 20 carbon atoms.

スチレン系熱可塑性エラストマーは、スチレン由来の繰り返し単位を有する重合体もしくは該重合体を変性したものである。例えば、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体および該共重合体の水素添加物であるスチレン−エチレン−ブテン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体および該共重合体の水素添加物であるスチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−ブタジエン共重合体(スチレンブタジエンゴム)、スチレン−イソプレン共重合体、スチレン−イソブチレンジブロック共重合体、スチレン−イソブチレン−スチレントリブロック共重合体等が挙げられる。 The styrene-based thermoplastic elastomer is a polymer having a repeating unit derived from styrene or a modified polymer. For example, a styrene-butadiene-styrene block copolymer and a hydrogen additive of the copolymer, a styrene-ethylene-butene-styrene block copolymer, a styrene-isoprene-styrene block copolymer, and hydrogen of the copolymer. Additives styrene-ethylene-propylene-styrene block copolymer, styrene-butadiene copolymer (styrene butadiene rubber), styrene-isoprene copolymer, styrene-isobutyrene block copolymer, styrene-isobutylene-styrene tri Block copolymers and the like can be mentioned.

(メタ)アクリル系ポリマーは、主鎖および/または側鎖に、(メタ)アクリル系モノマー由来の繰り返し単位を有する重合体である。例えば、(メタ)アクリル系モノマーの単独重合体もしくは共重合体、またはこれらを変性したものが挙げられる。ここで、「(メタ)アクリル」は、アクリルまたはメタクリルを意味する。 A (meth) acrylic polymer is a polymer having a repeating unit derived from a (meth) acrylic monomer in the main chain and / or side chain. For example, homopolymers or copolymers of (meth) acrylic monomers, or modified ones thereof can be mentioned. Here, "(meth) acrylic" means acrylic or methacryl.

(メタ)アクリル系ポリマーにおける(メタ)アクリル系モノマー由来の繰り返し単位の含有比率は、50質量%以上が好ましく、60質量%以上がより好ましく、70以上が特に好ましい。上限の含有比率は99質量%程度である。 The content ratio of the repeating unit derived from the (meth) acrylic monomer in the (meth) acrylic polymer is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and particularly preferably 70 or more. The upper limit content ratio is about 99% by mass.

(メタ)アクリル系モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル等のアルキル基の炭素数が1〜20の(メタ)アクリル酸エステル、あるいは(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸ヒドロキシメチル等の反応性官能基を有する(メタ)アクリル系モノマーが挙げられる。 Examples of the (meth) acrylic monomer include alkyls such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate. Examples thereof include (meth) acrylic acid esters having 1 to 20 carbon atoms in the group, and (meth) acrylic monomers having reactive functional groups such as (meth) acrylic acid and hydroxymethyl (meth) acrylate.

ポリエステル系ポリマーは、多価カルボン酸とポリオールとの重縮合により得られる重合体またはこれを変性したものである。かかる多価カルボン酸としては、例えば、フタル酸、イソフタル酸、オルソフタル酸、コハク酸、アジピン酸、セバシン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、トリメリット酸等が挙げられる。ポリオールとしては、エチレングリコール、プロピレングリコール等の脂肪族アルコールや、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリエーテルポリオールが挙げられる。 The polyester-based polymer is a polymer obtained by polycondensation of a polyvalent carboxylic acid and a polyol, or a modified product thereof. Examples of such polyvalent carboxylic acids include phthalic acid, isophthalic acid, orthophthalic acid, succinic acid, adipic acid, sebacic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, trimellitic acid and the like. Examples of the polyol include aliphatic alcohols such as ethylene glycol and propylene glycol, and polyether polyols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol.

シリコーン系ポリマーは、主鎖および/または側鎖に、(ポリ)シロキサン構造を有する重合体またはこれを変性したものである。かかるシリコーン系ポリマーとしては、例えば、ジメチルポリシロキサン、メチルフェニルポリシロキサン、メチルハイドロジェンポリシロキサン等が挙げられる。 Silicone-based polymers are polymers having a (poly) siloxane structure in the main chain and / or side chains, or modified thereof. Examples of such silicone-based polymers include dimethylpolysiloxane, methylphenylpolysiloxane, and methylhydrogenpolysiloxane.

封止樹脂層は、上述した封止樹脂を単独もしくは複数種組み合わせて用いることができる。封止樹脂層における封止樹脂の含有量は、封止樹脂層の固形分総量100質量%に対して、25〜90質量%の範囲が好ましく、30〜80質量%の範囲がより好ましく、40〜70質量%の範囲が特に好ましい。 As the sealing resin layer, the above-mentioned sealing resins can be used alone or in combination of two or more. The content of the sealing resin in the sealing resin layer is preferably in the range of 25 to 90% by mass, more preferably in the range of 30 to 80% by mass, and more preferably 40, based on 100% by mass of the total solid content of the sealing resin layer. The range of ~ 70% by mass is particularly preferable.

封止樹脂層は、さらに粘着付与樹脂を含有することが好ましい。かかる粘着付与樹脂としては、例えば、脂環族系石油樹脂、脂環族系水添石油樹脂、芳香族系石油樹脂、およびロジン系樹脂が挙げられる。これらの粘着付与樹脂の中でも脂環族系石油樹脂が好ましく、さらに脂環族系水添石油樹脂の中でも、水素添加テルペン系樹脂、水素添加エステル系樹脂、C5系石油樹脂の水素添加樹脂、C9系石油樹脂の水素添加樹脂が好ましい。 The sealing resin layer preferably further contains a tackifier resin. Examples of such tackifier resins include alicyclic petroleum resins, alicyclic hydrogenated petroleum resins, aromatic petroleum resins, and rosin resins. Among these tackifier resins, alicyclic petroleum resins are preferable, and among alicyclic hydrogenated petroleum resins, hydrogenated terpene resins, hydrogenated ester resins, hydrogenated C5 petroleum resins, C9 A hydrogenated resin of a petroleum resin is preferable.

封止樹脂層における粘着付与樹脂の含有量は、封止樹脂層の固形分総量100質量%に対して、5〜60質量%の範囲が好ましく、10〜50質量%の範囲がより好ましく、15〜40質量%の範囲が特に好ましい。 The content of the tackifier resin in the sealing resin layer is preferably in the range of 5 to 60% by mass, more preferably in the range of 10 to 50% by mass, based on 100% by mass of the total solid content of the sealing resin layer. The range of ~ 40% by mass is particularly preferable.

封止樹脂と粘着付与樹脂との質量比(封止樹脂/粘着付与樹脂)は、20/80〜95/5であることが好ましく、30/70〜90/10であることがより好ましい。 The mass ratio of the sealing resin to the tackifying resin (sealing resin / tackifying resin) is preferably 20/80 to 95/5, and more preferably 30/70 to 90/10.

封止樹脂層は、架橋構造が形成されていてもよい。架橋構造が形成されることで、封止樹脂層は、十分な凝集力を有するものとなり、接着性により優れ、かつ、水蒸気透過率がより低いものとなる。 The sealing resin layer may have a crosslinked structure. By forming the crosslinked structure, the sealing resin layer has a sufficient cohesive force, is excellent in adhesiveness, and has a lower water vapor permeability.

封止樹脂層中に架橋構造を形成する際は、接着剤等における公知の架橋構造形成方法を利用することができる。例えば、水酸基やカルボキシル基を有する封止樹脂を用いる場合、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤等の架橋剤を用いることで、架橋構造を形成することができる。 When forming a crosslinked structure in the sealing resin layer, a known crosslinked structure forming method such as an adhesive can be used. For example, when a sealing resin having a hydroxyl group or a carboxyl group is used, a crosslinked structure is formed by using a crosslinking agent such as an isocyanate-based crosslinking agent, an epoxy-based crosslinking agent, an aziridine-based crosslinking agent, or a metal chelate-based crosslinking agent. Can be done.

封止樹脂層は、さらに、エポキシ樹脂を含有することが好ましい。かかるエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、芳香族グリシジルアミン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン構造を有するエポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、ビスフェノールのジグリシジルエーテル化物、ナフタレンジオールのジグリシジルエーテル化物、フェノール類のグリシジルエーテル化物、アルコール類のジグリシジルエーテル化物等が挙げられる。 The sealing resin layer preferably further contains an epoxy resin. Examples of such epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, phosphorus-containing epoxy resin, and aromatic glycidyl amine. Type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, aliphatic chain epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, phenol aralkyl type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, epoxy resin having dicyclopentadiene structure , Epoxy resin having a butadiene structure, diglycidyl etherified product of bisphenol, diglycidyl etherified product of naphthalene diol, glycidyl etherified product of phenols, diglycidyl etherified product of alcohols and the like.

上記エポキシ樹脂の中でも、耐熱性を向上させるという観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、芳香族グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく用いられる。 Among the above epoxy resins, from the viewpoint of improving heat resistance, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, aromatic glycidylamine type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, phenol aralkyl type Epoxy resins and epoxy resins having a dicyclopentadiene structure are preferably used.

封止樹脂層におけるエポキシ樹脂の含有量は、封止樹脂層の固形分総量100質量%に対して、0.1〜20質量%の範囲が好ましく、1〜15質量%の範囲がより好ましく、2〜10質量%の範囲が特に好ましい。 The content of the epoxy resin in the sealing resin layer is preferably in the range of 0.1 to 20% by mass, more preferably in the range of 1 to 15% by mass, based on 100% by mass of the total solid content of the sealing resin layer. The range of 2 to 10% by mass is particularly preferable.

封止樹脂層は、さらに、無機充填材を含有することが好ましい。かかる無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウムなどが挙げられる。これらの中でも、耐透湿性向上の観点から、タルクが特に好ましく用いられる。 The sealing resin layer preferably further contains an inorganic filler. Examples of such inorganic fillers include silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, boron nitride, aluminum borate, barium titanate, and titanic acid. Examples thereof include strontium, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium titanate, and calcium zirconate. Among these, talc is particularly preferably used from the viewpoint of improving moisture permeability.

また、封止樹脂層は、さらに、吸湿性金属酸化物を含有することができる。ここで、「吸湿性金属酸化物」とは、水分を吸収する能力をもち、吸湿した水分と化学反応して水酸化物になる金属酸化物を意味する。具体的には、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化ストロンチウム、酸化アルミニウム、酸化バリウム等から選ばれる1種か、或いは、2種以上の混合物若しくは固溶物である。上記吸湿性金属酸化物の中でも、吸湿性が高い点、コスト、原料の安定性の点から、酸化カルシウム、酸化マグネシウムが好ましい。また、封止樹脂層層は、さらに、紫外線吸収剤、酸化防止剤、帯電防止剤、可塑剤、充填剤、難燃剤、および防錆剤等を含有することができる。 In addition, the sealing resin layer can further contain a hygroscopic metal oxide. Here, the "hygroscopic metal oxide" means a metal oxide having an ability to absorb water and chemically reacting with the absorbed water to become a hydroxide. Specifically, it is one selected from calcium oxide, magnesium oxide, strontium oxide, aluminum oxide, barium oxide and the like, or a mixture or solid solution of two or more. Among the above hygroscopic metal oxides, calcium oxide and magnesium oxide are preferable from the viewpoints of high hygroscopicity, cost, and stability of raw materials. In addition, the sealing resin layer can further contain an ultraviolet absorber, an antioxidant, an antistatic agent, a plasticizer, a filler, a flame retardant, a rust preventive, and the like.

封止樹脂層の厚みは、5〜150μmの範囲が好ましく、10〜100μmの範囲がより好ましく、20〜80μmの範囲が特に好ましい。また、封止樹脂層は、水蒸気透過率が、40g/m/day以下であることが好ましく、30g/m/day以下であることがより好ましく、20g/m/day以下であることが特に好ましい。 The thickness of the sealing resin layer is preferably in the range of 5 to 150 μm, more preferably in the range of 10 to 100 μm, and particularly preferably in the range of 20 to 80 μm. Further, the sealing resin layer preferably has a water vapor transmittance of 40 g / m 2 / day or less, more preferably 30 g / m 2 / day or less, and 20 g / m 2 / day or less. Is particularly preferable.

封止樹脂層は、積層体のA層上に塗布して形成してもよいし、一旦離型フィルムに封止樹脂層を塗布した後、封止樹脂層の面と積層体のA層の面とを貼合してもよい。 The sealing resin layer may be formed by applying it on the A layer of the laminated body, or once the sealing resin layer is applied to the release film, the surface of the sealing resin layer and the A layer of the laminated body are formed. You may stick it to the surface.

[その他の層]
本発明の積層体の最表面の上、つまりA層の上には、ガスバリア性が低下しない範囲で耐擦傷性や耐薬品性、印刷性等の向上を目的としたオーバーコート層を形成してもよいし、素子等に貼合するための有機高分子化合物からなる封止樹脂層やフィルムをラミネートした積層構成としてもよい。また、光学特性を向上させるための低屈折率層を形成してもよい。なお、ここでいう最表面とは、基材上にA層が積層された後の、A層の表面をいう。
[Other layers]
An overcoat layer is formed on the outermost surface of the laminate of the present invention, that is, on the layer A, for the purpose of improving scratch resistance, chemical resistance, printability, etc. within a range in which the gas barrier property is not deteriorated. Alternatively, it may have a laminated structure in which a sealing resin layer or a film made of an organic polymer compound for bonding to an element or the like is laminated. Further, a low refractive index layer may be formed to improve the optical characteristics. The outermost surface here means the surface of the A layer after the A layer is laminated on the base material.

[積層体の用途]
本発明の積層体は高いUV透過性およびガスバリア性を有するため、殺菌性の求められる医薬品の包装材料などに好適に用いることが出来る。また、高い光線透過率とガスバリア性を両立する観点から、有機EL素子や有機光電管素子などの有機素子にも好適に用いることが出来る。加えて、後述するフレキシブルディスプレイにも好適に用いることが出来る。
[Use of laminate]
Since the laminate of the present invention has high UV transparency and gas barrier properties, it can be suitably used as a packaging material for pharmaceutical products that require bactericidal properties. Further, from the viewpoint of achieving both high light transmittance and gas barrier property, it can be suitably used for organic elements such as organic EL elements and organic phototube elements. In addition, it can be suitably used for a flexible display described later.

[フレキシブルディスプレイ]
本発明のフレキシブルディスプレイの好ましい一態様は、上記積層体もしくは光学積層体を用いたフレキシブルディスプレイである。本態様とすることで、フレキシブルディスプレイの耐久性が高く、また外観品位、色特性に優れるものとすることができる。
[Flexible display]
A preferred embodiment of the flexible display of the present invention is a flexible display using the above-mentioned laminated body or optical laminated body. According to this aspect, the durability of the flexible display is high, and the appearance quality and color characteristics can be excellent.

以下、本発明を実施例に基づき具体的に説明する。ただし、本発明は下記実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described based on examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

[評価方法]
(1)各層の厚み
断面観察用サンプルをマイクロサンプリングシステム((株)日立製作所製 FB−2000A)を使用してFIB法により(具体的には「高分子表面加工学」(岩森暁著)p.118〜119に記載の方法に基づいて)作製した。透過型電子顕微鏡((株)日立製作所製 H−9000UHRII)により、加速電圧300kVとして、20万倍で観察用サンプルの断面を観察し、積層体のA層の厚みを測定した。
[Evaluation method]
(1) Thickness of each layer A sample for cross-section observation is used by the FIB method using a microsampling system (FB-2000A manufactured by Hitachi, Ltd.) (Specifically, "Polymer Surface Processing" (written by Akira Iwamori) p. . 118-119). With a transmission electron microscope (H-9000UHRII manufactured by Hitachi, Ltd.), the cross section of the observation sample was observed at an acceleration voltage of 300 kV at a magnification of 200,000, and the thickness of the A layer of the laminated body was measured.

(2)A層の組成
積層体のA層の組成分析は、X線光電子分光法(XPS)により行った。A層表面から、A層の厚みが1/2となる位置までアルゴンイオンエッチングによりSiO換算厚みでエッチングを行った箇所にて、各元素の含有比率を測定した。分析で使用するピークは、マグネシウムは2s、ケイ素は2p、カルシウムは2p3/2、亜鉛は2p3/2、アルミニウムは2p、酸素は1sとした。
(2) Composition of layer A The composition of layer A of the laminated body was analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The content ratio of each element was measured at a position where etching was performed from the surface of the A layer to a position where the thickness of the A layer was halved to a thickness equivalent to SiO 2 by argon ion etching. Peaks for use in analysis, magnesium 2s, silicon 2p, calcium 2p 3/2, zinc 2p 3/2, aluminum 2p, oxygen was 1s.

XPSの測定条件は下記の通りとした。
・装置 :PHI5000VersaProbeII(アルバックファイ社製)
・励起X線 :monochromatic AlKα
・分析範囲 :φ100μm
・光電子脱出角度 :45°
・Arイオンエッチング :2.0kV、ラスターサイズ 2×2
酸素原子(O1s)ピークの半値幅は、測定装置付帯の解析ソフトMultipakにより算出される値とした。
The XPS measurement conditions were as follows.
-Device: PHI5000 VersaProbeII (manufactured by ULVAC-PHI)
-Excited X-ray: monochromatic AlKα
・ Analysis range: φ100 μm
・ Photoelectron escape angle: 45 °
-Ar ion etching: 2.0 kV, raster size 2 x 2
The half width of the oxygen atom (O1s) peak was set to a value calculated by the analysis software Multipak attached to the measuring device.

(3)水蒸気透過度(g/m/day)
積層体の水蒸気透過度は、温度40℃、湿度90%RH、測定面積50cmの条件で、英国、テクノロックス(Technolox)社製の水蒸気透過率測定装置(機種名:“DELTAPERM”(登録商標))を使用して測定した。サンプル数は水準当たり2サンプル行った。2サンプルの測定を行い得たデータを平均し、有効数字2桁とし、当該水準における平均値を求め、その値を水蒸気透過度(g/m/day)とした。
(3) Moisture vapor transmission rate (g / m 2 / day)
The water vapor transmission rate of the laminate is a water vapor transmission rate measuring device (model name: "DELTAPERM" (registered trademark) manufactured by Technolox, UK, under the conditions of a temperature of 40 ° C., a humidity of 90% RH, and a measurement area of 50 cm 2. )) Was measured. The number of samples was 2 samples per level. The data obtained by measuring the two samples were averaged to two significant figures, the average value at the relevant level was obtained, and the value was defined as the water vapor transmission rate (g / m 2 / day).

(4)陽電子寿命および細孔半径分布
陽電子寿命および細孔半径分布は、陽電子ビーム法(薄膜対応陽電子消滅寿命測定法)により測定を行った。測定するサンプルを15mm×15mm角のSiウェハに貼り付けて室温で真空脱気した後、測定を行った。測定条件は下記のとおりである。
・装置 :フジ・インバック製小型陽電子ビーム発生装置PALS200A
・陽電子線源 :22Naベースの陽電子ビーム
・γ線検出器 :BaF製シンチレータ+光電子増倍管
・装置定数 :255〜278ps,24.55ps/ch
・ビーム強度 :1keV
・測定深さ :0〜100nm付近(推定)
・測定温度 :室温
・測定雰囲気 :真空
・測定カウント数 :約5,000,000カウント
測定結果について、非線形最小二乗プログラムPOSITRONFITにより、3成分あるいは4成分解析を行った。
(4) Positron lifetime and pore radius distribution The positron lifetime and pore radius distribution were measured by the positron beam method (the positron annihilation lifetime measurement method for thin films). The sample to be measured was attached to a 15 mm × 15 mm square Si wafer and evacuated at room temperature, and then the measurement was performed. The measurement conditions are as follows.
・ Equipment: Small positron beam generator PALS200A manufactured by Fuji Invac
- positron source: 22 Na based positron beam-gamma ray detector: BaF 2 manufactured scintillator + photomultiplier and equipment constants: 255~278ps, 24.55ps / ch
・ Beam intensity: 1 keV
・ Measurement depth: around 0 to 100 nm (estimated)
-Measurement temperature: Room temperature-Measurement atmosphere: Vacuum-Measurement count number: Approximately 5,000,000 counts The measurement results were analyzed with three or four components by the non-linear least squares program POSITRONFIT.

(5)分光特性(分光透過率/分光吸収率)
分光光度計V−670(日本分光(株)製)および絶対反射率測定ユニットARSN−
733を用いて、波長300〜800nmの範囲の分光透過率、分光反射率を下記条件で測定した。分光吸収率は得られたデータから、100−(透過率+反射率)(%)の数式により算出した。
(5) Spectral characteristics (spectral transmittance / spectral absorption rate)
Spectrophotometer V-670 (manufactured by JASCO Corporation) and absolute reflectance measurement unit ARSN-
Using 733, the spectral transmittance and the spectral reflectance in the wavelength range of 300 to 800 nm were measured under the following conditions. The spectral absorption rate was calculated from the obtained data by a mathematical formula of 100- (transmittance + reflectance) (%).

得られたデータのうち、波長300nm、350nm、400nmにおける分光吸収率および波長300nm〜400nmの平均分光吸収率を評価した。また、波長400nm、550nm、780nmにおける分光透過率および波長400nm〜780nmの平均分光透過率を評価した。 Among the obtained data, the spectral absorption rates at wavelengths of 300 nm, 350 nm and 400 nm and the average spectral absorption rates at wavelengths of 300 nm to 400 nm were evaluated. Moreover, the spectral transmittance at wavelengths of 400 nm, 550 nm and 780 nm and the average spectral transmittance at wavelengths of 400 nm to 780 nm were evaluated.

・入射角度 :5°(サンプル平面に対する垂直方向を0°とする)
・測定波長 :300nm〜800nm
・バンド幅 :5.0nm
・データ取り込み間隔 :0.5nm
・走査速度 :1,000nm/min。
-Incident angle: 5 ° (0 ° is perpendicular to the sample plane)
-Measurement wavelength: 300 nm to 800 nm
-Bandwidth: 5.0 nm
・ Data acquisition interval: 0.5 nm
-Scanning speed: 1,000 nm / min.

(実施例1)
図3に示す構造の巻き取り式蒸着装置を使用し、電子線(EB)蒸着法により、基材上に、A層としてMgO+SiO層を厚み200nm狙いで設けた。基材としては、厚み50μmの環状オレフィン樹脂フィルム(日本ゼオン(株)の“ZeonorFilm”(登録商標)ZF14−050:300nmにおける分光吸収率0.2%)を用いた。
(Example 1)
Using a take-up type vapor deposition apparatus having the structure shown in FIG. 3, MgO + SiO 2 layers as A layer were provided on the base material by an electron beam (EB) vapor deposition method aiming at a thickness of 200 nm. As the base material, a cyclic olefin resin film having a thickness of 50 μm (“Zeonor Film” (registered trademark) ZF14-050 of Nippon Zeon Corporation, spectroscopic absorption rate of 0.2% at 300 nm) was used.

具体的な操作は以下の通りである。まず、蒸着材料として、2〜5mm程度の大きさの顆粒状の酸化マグネシウムMgO(純度99.9%)と二酸化ケイ素SiO(純度99.99%)を事前にそれぞれ100℃、8時間加熱を行った。続いて、それぞれの材料を図4,5のようにカーボン製ハースライナー10にセットした。材料の面積比率は、MgO:SiO=1:1となるようにした。巻き取り室4の中で、巻き出しロール5に前記基材1のA層を設ける側の面がハースライナー10に対向するようにセットし、巻き出し、ガイドロール6,7,8を介して、メインドラム9に通した。このとき、メインドラムは温度−10℃に制御した。次に、真空ポンプにより蒸着装置60内を減圧し、5.0×10−3Pa以下を得た。次に、加熱源として電子銃(以下、EB銃)12を用い、原子濃度(atm%)の比がMg:Si=2:1程度の膜組成比となるようにMgOとSiOの加熱比率を制御した。EB銃は加速電圧10kVとし、形成するA層の厚みが200nm程度となるように、加速電流とフィルム搬送速度を調整し、前記基材1の表面上にA層を形成した。その後、ガイドロール14,15,16を介して巻き取りロール17に巻き取った。 The specific operation is as follows. First, as a vapor deposition material, granular magnesium oxide MgO (purity 99.9%) and silicon dioxide SiO 2 (purity 99.99%) having a size of about 2 to 5 mm are heated in advance at 100 ° C. for 8 hours, respectively. went. Subsequently, each material was set in the carbon hearth liner 10 as shown in FIGS. 4 and 5. The area ratio of the material was set to MgO: SiO 2 = 1: 1. In the take-up chamber 4, the unwinding roll 5 is set so that the surface of the base material 1 on which the A layer is provided faces the hearth liner 10, and the unwinding roll is unwound via the guide rolls 6, 7, and 8. , Passed through the main drum 9. At this time, the temperature of the main drum was controlled to −10 ° C. Next, the pressure inside the vapor deposition apparatus 60 was reduced by a vacuum pump to obtain 5.0 × 10 -3 Pa or less. Next, using an electron gun (hereinafter, EB gun) 12 as a heating source, the heating ratio of MgO and SiO 2 is such that the ratio of atomic concentration (atm%) is about Mg: Si = 2: 1. Was controlled. The acceleration voltage of the EB gun was 10 kV, and the acceleration current and the film transfer speed were adjusted so that the thickness of the A layer to be formed was about 200 nm, and the A layer was formed on the surface of the base material 1. After that, it was wound on the winding roll 17 via the guide rolls 14, 15 and 16.

続いて、得られた積層体から試験片を切り出し、各種評価を実施した。結果を表1〜3に示す。 Subsequently, test pieces were cut out from the obtained laminate, and various evaluations were carried out. The results are shown in Tables 1-3.

(実施例2)
基材として、厚み23μmの環状オレフィン樹脂フィルムを用いた以外は、実施例1と同様にして、積層体を得た。結果を表1〜3に示す。
(Example 2)
A laminate was obtained in the same manner as in Example 1 except that a cyclic olefin resin film having a thickness of 23 μm was used as the base material. The results are shown in Tables 1-3.

(実施例3)
A層であるMgO+SiO層の形成において、原子濃度(atm%)の比がMg:Si=3:2程度の膜組成比となるようにMgOとSiOの加熱比率を制御した以外は、実施例1と同様にして、積層体を得た。結果を表1〜3に示す。
(Example 3)
In the formation of the MgO + SiO 2 layer, which is the A layer, the heating ratio of MgO and SiO 2 was controlled so that the atomic concentration (atm%) ratio was about Mg: Si = 3: 2. A laminate was obtained in the same manner as in Example 1. The results are shown in Tables 1-3.

(実施例4)
A層であるMgO+SiO層の形成において、原子濃度(atm%)の比がMg:Si=3:1程度の膜組成比となるようにMgOとSiOの加熱比率を制御した以外は、実施例1と同様にして、積層体を得た。結果を表1〜3に示す。
(Example 4)
In the formation of the MgO + SiO 2 layer, which is the A layer, the heating ratio of MgO and SiO 2 was controlled so that the atomic concentration (atm%) ratio was about Mg: Si = 3: 1. A laminate was obtained in the same manner as in Example 1. The results are shown in Tables 1-3.

(実施例5)
蒸着材料として、2〜5mm程度の大きさの顆粒状の酸化カルシウムCaO(純度99.9%)と2〜5mm程度の大きさの顆粒状の酸化ケイ素SiO(純度99.9%)を用い、A層であるCaO+SiO層の形成において、原子濃度(atm%)の比がCa:Si=3:2程度の膜組成比となるようにCaOとSiOの加熱比率を制御した以外は、実施例1と同様にして、積層体を得た。結果を表1〜3に示す。
(Example 5)
As the vapor deposition material, granular calcium oxide CaO (purity 99.9%) having a size of about 2 to 5 mm and granular silicon oxide SiO 2 (purity 99.9%) having a size of about 2 to 5 mm are used. In the formation of the CaO + SiO 2 layer, which is the A layer, the heating ratio of CaO and SiO 2 was controlled so that the ratio of atomic concentration (atm%) was about Ca: Si = 3: 2. A laminate was obtained in the same manner as in Example 1. The results are shown in Tables 1-3.

(実施例6)
A層であるMgO+SiO層の形成において、原子濃度(atm%)の比がMg:Si=6:1程度の膜組成比となるようにMgOとSiOの加熱比率を制御した以外は、実施例1と同様にして、積層体を得た。結果を表1〜3に示す。
(Example 6)
In the formation of the MgO + SiO 2 layer, which is the A layer, the heating ratio of MgO and SiO 2 was controlled so that the atomic concentration (atm%) ratio was about Mg: Si = 6: 1. A laminate was obtained in the same manner as in Example 1. The results are shown in Tables 1-3.

(実施例7)
A層であるMgO+SiO層の形成において、原子濃度(atm%)の比がMg:Si=1:1程度の膜組成比となるようにMgOとSiOの加熱比率を制御した以外は、実施例1と同様にして、積層体を得た。結果を表1〜3に示す。
(Example 7)
In the formation of the MgO + SiO 2 layer, which is the A layer, the heating ratio of MgO and SiO 2 was controlled so that the atomic concentration (atm%) ratio was about Mg: Si = 1: 1. A laminate was obtained in the same manner as in Example 1. The results are shown in Tables 1-3.

(比較例1)
基材として、厚み50μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製“ルミラー”(登録商標)P60:300nmにおける分光吸収率92.0%)を用いた以外は、実施例1と同様にして積層体を得た。結果を表1〜3に示す。
(Comparative Example 1)
A laminate was prepared in the same manner as in Example 1 except that a polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm (“Lumirror” (registered trademark) P60: 92.0% at 300 nm) having a thickness of 50 μm was used as a base material. Obtained. The results are shown in Tables 1-3.

(比較例2)
蒸着材料として、2〜5mm程度の大きさの顆粒状の二酸化ケイ素SiO(純度99.99%)を用い、仕切りの無いカーボン製ハースライナーにセットし、EB銃は加速電圧10kVとし、形成するA層の厚みが200nm程度となるように、加速電流とフィルム搬送速度を調整してA層を形成した以外は、実施例1と同様にして積層体を得た。結果を表1〜3に示す。
(Comparative Example 2)
As the vapor deposition material, granular silicon dioxide SiO 2 (purity 99.99%) having a size of about 2 to 5 mm is used, set in a carbon hearth liner without a partition, and the EB gun is formed with an acceleration voltage of 10 kV. A laminated body was obtained in the same manner as in Example 1 except that the A layer was formed by adjusting the acceleration current and the film transport speed so that the thickness of the A layer was about 200 nm. The results are shown in Tables 1-3.

(比較例3)
図6に示す巻き取り式スパッタリング装置を使用し、スパッタリング法により、基材上に、A層として酸化亜鉛と二酸化ケイ素と酸化アルミニウムの複合酸化物層(ZnO+SiO+Al層)を厚み150nm狙いで設けた。基材としては、厚み50μmの環状オレフィン樹脂フィルム(日本ゼオン(株)の“ZeonorFilm”(登録商標)ZF14−050:300nmにおける分光吸収率0.2%)を用いた。具体的な操作は以下の通りである。
(Comparative Example 3)
Using the take-up sputtering apparatus shown in FIG. 6, a composite oxide layer (ZnO + SiO 2 + Al 2 O 3 layer) of zinc oxide, silicon dioxide, and aluminum oxide was formed as layer A on the substrate by a sputtering method with a thickness of 150 nm. It was set up with the aim. As the base material, a cyclic olefin resin film having a thickness of 50 μm (“Zeonor Film” (registered trademark) ZF14-050 of Nippon Zeon Corporation, spectroscopic absorption rate of 0.2% at 300 nm) was used. The specific operation is as follows.

まず、スパッタ電極26に酸化亜鉛/二酸化ケイ素/酸化アルミニウムの組成質量比が77/20/3で焼結されたスパッタリングターゲットを設置した巻き取り式スパッタリング装置70の巻き取り室20の中で、巻き出しロール21に環状オレフィン樹脂フィルムのA層を設ける側の面がスパッタリング電極26に対向するようにセットし、巻き出し、巻き出し側ガイドロール22,23,24を介して、メインドラム25に通した。このとき、メインドラムは温度25℃に制御した。次に、真空ポンプにより巻き取り式スパッタリング装置70内を減圧し、1.0×10−3Pa以下を得た。続いて、減圧度2×10−1Paとなるように酸素ガス分圧10%としてアルゴンガスおよび酸素ガスを導入し、直流電源により投入電力2,000Wを印加することにより、アルゴン・酸素ガスプラズマを発生させ、A層を形成した。厚みは、フィルム搬送速度により調整した。その後、巻き取り側ガイドロール27,28,29を介して巻き取りロール30に巻き取った。続いて、得られた積層体から試験片を切り出し、各種評価を実施した。結果を表1〜3に示す。 First, it is wound in the winding chamber 20 of the winding type sputtering apparatus 70 in which a sputtering target sintered with a composition mass ratio of zinc oxide / silicon dioxide / aluminum oxide of 77/20/3 is installed on the sputtering electrode 26. The surface on the take-out roll 21 on which the A layer of the cyclic olefin resin film is provided is set so as to face the sputtering electrode 26, and is passed through the main drum 25 via the unwind-out side guide rolls 22, 23, 24. bottom. At this time, the temperature of the main drum was controlled to 25 ° C. Next, the pressure inside the take-up sputtering apparatus 70 was reduced by a vacuum pump to obtain 1.0 × 10 -3 Pa or less. Subsequently, argon gas and oxygen gas were introduced at a partial pressure of oxygen gas of 10% so as to have a decompression degree of 2 × 10 -1 Pa, and an input power of 2,000 W was applied by a DC power source to obtain an argon / oxygen gas plasma. Was generated to form the A layer. The thickness was adjusted by the film transport speed. After that, it was wound on the winding roll 30 via the winding side guide rolls 27, 28, 29. Subsequently, test pieces were cut out from the obtained laminate, and various evaluations were carried out. The results are shown in Tables 1-3.

Figure 2021169185
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Figure 2021169185
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実施例1〜4は、A層は酸化マグネシウムと二酸化ケイ素の緻密な複合酸化物膜を形成し、膜組成や基材厚みが異なる場合でも、水蒸気透過度が1.0×10−2(g/m/day)未満と良好であるうえ、波長300nmにおける分光吸収率が8%以下と良好である。また、実施例5は、A層は酸化カルシウムと二酸化ケイ素の複合酸化物膜を形成し、水蒸気透過度が1.5×10−2(g/m/day)と良好であるうえ、波長300nmにおける分光吸収率が8%以下と良好である。実施例6,7は、波長300nmにおける分光吸収率が8%以下と良好であるが、XPSにおけるO1sピークの半値幅が2.87eV以上と大きいことから、A層中の結合が不均一ありガスバリア性は7.6×10−2(g/m/day)以上である。 In Examples 1 to 4, the A layer forms a dense composite oxide film of magnesium oxide and silicon dioxide, and the water vapor permeability is 1.0 × 10-2 (g) even when the film composition and the base material thickness are different. It is good at less than / m 2 / day), and the spectral absorption rate at a wavelength of 300 nm is good at 8% or less. Further, in Example 5, the layer A forms a composite oxide film of calcium oxide and silicon dioxide, and the water vapor permeability is as good as 1.5 × 10-2 (g / m 2 / day), and the wavelength is also good. The spectral absorption rate at 300 nm is as good as 8% or less. In Examples 6 and 7, the spectral absorption rate at a wavelength of 300 nm is as good as 8% or less, but since the half width of the O1s peak in XPS is as large as 2.87 eV or more, the bond in the layer A is non-uniform and the gas barrier. The sex is 7.6 × 10-2 (g / m 2 / day) or more.

比較例1は、基材として、紫外領域に吸収を持つポリエチレンテレフタレート(PET)を用いていることから、波長300nmにおける分光吸収率が93.8%と非常に大きい結果、波長300nmにおける分光透過率が0%となる。また水蒸気透過度も環状オレフィン樹脂を用いた場合に比べて劣る。比較例2はSiO層の単一材料であり、分光特性は良好であるが、水蒸気透過度は実施例1〜7に劣る。比較例3はA層にZnO+SiO+Al層を用いており、水蒸気透過度は非常に良好である一方で、波長300nmにおける分光吸収率は18.2%であり、その結果、波長300nmにおける分光透過率が低下している。 In Comparative Example 1, since polyethylene terephthalate (PET) having absorption in the ultraviolet region was used as the base material, the spectral absorption rate at a wavelength of 300 nm was very large at 93.8%, and as a result, the spectral transmittance at a wavelength of 300 nm was very large. Is 0%. The water vapor transmission rate is also inferior to that when the cyclic olefin resin is used. Comparative Example 2 is a single material having two layers of SiO, and has good spectral characteristics, but its water vapor transmission rate is inferior to that of Examples 1 to 7. Comparative Example 3 uses a ZnO + SiO 2 + Al 2 O 3 layer on the A layer, while the water vapor permeability is very good, spectral absorption at a wavelength of 300nm is 18.2%, as a result, wavelength 300nm The spectral transmittance in is reduced.

本発明の積層体は高いUV透過性およびガスバリア性を有するため、殺菌性の求められる医療・医薬品の包装材料などに好適に用いることが出来る。また、高い光線透過率とガスバリア性を両立する観点から、有機EL素子や有機光電管素子などの有機素子にも好適に用いることが出来るが、用途はこれらに限定されるものではない。 Since the laminate of the present invention has high UV transparency and gas barrier properties, it can be suitably used as a packaging material for medical / pharmaceutical products that requires bactericidal properties. Further, from the viewpoint of achieving both high light transmittance and gas barrier property, it can be suitably used for organic elements such as organic EL elements and organic phototube elements, but the application is not limited to these.

1 基材
2 A層
3 アンカーコート層
4,20 巻き取り室
5,21 巻き出しロール
6,7,8,22,23,24 巻き出し側ガイドロール
9,25 メインドラム
10 ハースライナー
11 蒸着材料
12 電子銃
13 電子線
14,15,16,27,28,29 巻き取り側ガイドロール
17,30 巻き取りロール
18 蒸着材料B
19 蒸着材料C
26 スパッタリング電極
31 封止樹脂層
32 λ/4位相差フィルム
33 直線偏光子層
34 λ/2位相差フィルム
50 積層体
60 巻き取り式電子線(EB)蒸着装置
70 巻き取り式スパッタリング装置
80 光学積層体
1 Base material 2 A layer 3 Anchor coat layer 4, 20 Winding chamber 5, 21 Unwinding roll 6, 7, 8, 22, 23, 24 Unwinding side guide roll 9, 25 Main drum 10 Haas liner 11 Deposited material 12 Electron gun 13 Electron wire 14, 15, 16, 27, 28, 29 Winding side guide roll 17, 30 Winding roll 18 Deposited material B
19 Thin-film deposition material C
26 Sputtering electrode 31 Encapsulating resin layer 32 λ / 4 retardation film 33 Linear polarizer layer 34 λ / 2 retardation film 50 Laminated body 60 Rewind-type electron beam (EB) vapor deposition equipment 70 Rewind-type sputtering equipment 80 Optical lamination body

Claims (15)

基材の少なくとも片面に、ケイ素、金属元素および酸素を含むA層を有し、分光光度計により測定される波長300nmにおける分光吸収率が15%以下である積層体。 A laminate having a layer A containing silicon, a metal element, and oxygen on at least one surface of a base material, and having a spectral absorption rate of 15% or less at a wavelength of 300 nm measured by a spectrophotometer. 分光光度計により測定される分光透過率が、波長300nmにおいて60%以上、波長550nmにおいて85%以上、波長780nmにおいて80%以上である請求項1に記載の積層体。 The laminate according to claim 1, wherein the spectral transmittance measured by a spectrophotometer is 60% or more at a wavelength of 300 nm, 85% or more at a wavelength of 550 nm, and 80% or more at a wavelength of 780 nm. 前記A層は、陽電子ビーム法により測定される平均寿命が0.935ns以下である、請求項1または2に記載の積層体。 The laminate according to claim 1 or 2, wherein the layer A has an average lifetime of 0.935 ns or less as measured by the positron beam method. 前記A層は、X線光電子分光により測定される酸素原子(O1s)のピークの半値幅が3.25eV以下である請求項1〜3のいずれかに記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the layer A has a half-value width of a peak of oxygen atoms (O1s) measured by X-ray photoelectron spectroscopy of 3.25 eV or less. 前記A層の屈折率が2.0以下である請求項1〜4のいずれかに記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 4, wherein the refractive index of the A layer is 2.0 or less. 前記A層の金属元素がマグネシウム、カルシウム、アルミニウム、およびガリウムからなる群より選ばれる少なくとも1種である請求項1〜5のいずれかに記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 5, wherein the metal element of the layer A is at least one selected from the group consisting of magnesium, calcium, aluminum, and gallium. 前記A層が、酸化マグネシウムおよび酸化ケイ素を含み、X線光電子分光により測定されるマグネシウム(Mg)原子濃度が5〜50(atm%)、ケイ素(Si)原子濃度が2〜30(atm%)、酸素(O)原子濃度が45〜70(atm%)である、請求項1〜6のいずれかに記載の積層体。 The layer A contains magnesium oxide and silicon oxide, and has a magnesium (Mg) atomic concentration of 5 to 50 (atm%) and a silicon (Si) atomic concentration of 2 to 30 (atm%) measured by X-ray photoelectron spectroscopy. The laminate according to any one of claims 1 to 6, wherein the oxygen (O) atomic concentration is 45 to 70 (atm%). 前記A層は、マグネシウム(Mg)原子とケイ素(Si)原子の原子濃度(atm%)の比率Mg/(Mg+Si)が、0.45〜0.80である、請求項1〜7のいずれかに記載の積層体。 The A layer is any one of claims 1 to 7, wherein the ratio Mg / (Mg + Si) of the atomic concentration (atm%) of magnesium (Mg) atom and silicon (Si) atom is 0.45 to 0.80. The laminate described in. 前記基材の分光光度計により測定される波長300nmにおける分光吸収率が15%以下である、請求項1〜7のいずれかに記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 7, wherein the spectral absorption rate at a wavelength of 300 nm measured by the spectrophotometer of the base material is 15% or less. 前記基材が環状オレフィン系の樹脂フィルムである、請求項1〜9のいずれかに記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 9, wherein the base material is a cyclic olefin-based resin film. 前記A層の形成方法が真空蒸着法である、請求項1〜10のいずれかに記載の積層体の製造方法。 The method for producing a laminate according to any one of claims 1 to 10, wherein the method for forming the layer A is a vacuum vapor deposition method. 請求項1〜10のいずれかに記載の積層体と、λ/4位相差フィルムと、直線偏光子層とを備える、光学積層体。 An optical laminate comprising the laminate according to any one of claims 1 to 10, a λ / 4 retardation film, and a linear polarizer layer. λ/2位相差フィルムを備える請求項12に記載の光学積層体。 The optical laminate according to claim 12, further comprising a λ / 2 retardation film. 封止樹脂層を備える請求項12または13に記載の光学積層体。 The optical laminate according to claim 12 or 13, which includes a sealing resin layer. 請求項1〜10のいずれかに記載の積層体、もしくは請求項12〜14のいずれかに記載の光学積層体を用いたフレキシブルディスプレイ。 A flexible display using the laminate according to any one of claims 1 to 10 or the optical laminate according to any one of claims 12 to 14.
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