JP2021168273A - 電子線発生源、電子線照射装置、及びx線照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図8に示されるように、第1変形例における張力保持ユニット20Aは、可動体21A、筐体22A、ばね23、及び環状弾性体(給電経路部)25を備えている。可動体21Aは、左右方向に沿って延在する円柱状を呈している。可動体21Aの左側の端部には、フィラメント10の一方の端部が固定される。可動体21Aの右側の端部には、ばね23の他方の端部が連結される。可動体21Aは、軸線L上に設けられている。また、可動体21Aは、可動体21Aの重心位置が軸線L上に位置するように配置されている。可動体21Aは、導電材料によって形成されている。可動体21Aは、例えば、電気伝導性が良い材料として、銅合金、ステンレス等によって形成されている。
図9に示されるように、第2変形例における張力保持ユニット20Bは、可動体21B、筐体22B、ばね(張力保持部)26、及び箔材(給電経路部)27を備えている。可動体21Bは、フィラメント10の一方の端部に連結されている。可動体21Bは、円柱部21a、及び小径円柱部21dを有している。小径円柱部21dは、円柱部21aよりも小径の本体部21d1と、本体部21d1よりも小径の先端部21d2を備えている。本体部21d1は円柱部21aの左側の端部に連結され、先端部21d2は本体部21d1の左側の端部に連結されている。小径円柱部21dの先端部21d2の左側の端部には、フィラメント10の一方の端部が固定される。可動体21Bは、軸線L上に設けられている。また、可動体21Bは、可動体21Bの重心位置が軸線L上に位置するように配置されている。可動体21Bは、導電材料によって形成されている。可動体21Bは、例えば、ステンレス、銅、銅合金等の材料によって形成されている。
図10に示されるように、第3変形例における張力保持ユニット20Cは、第2変形例における張力保持ユニット20B(図9参照)の構成のうち、箔材27に代えて、第1変形例における張力保持ユニット20A(図8参照)の環状弾性体25を備える構成となっている。具体的には、張力保持ユニット20Cは、可動体21C、筐体22B、環状弾性体(給電経路部)25、及びばね26を備えている。可動体21Cの円柱部21aの外周面には、凹部21cが設けられている。円柱部21aの凹部21cには、環状弾性体25が嵌め込まれている。
図11に示されるように、第4変形例における張力保持ユニット20Dは、第2変形例における張力保持ユニット20B(図9参照)の構成に対し、絶縁リング(絶縁部材)28、及び絶縁リング(絶縁部材)29を更に備えている。すなわち、張力保持ユニット20Dは、可動体21B、筐体22B、ばね26、箔材27、絶縁リング28、及び絶縁リング29を備えている。
図12に示されるように、第5変形例における張力保持ユニット20Eは、第3変形例における張力保持ユニット20C(図10参照)の構成に対し、絶縁リング(絶縁部材)28、及び絶縁リング(絶縁部材)29を更に備えている。すなわち、張力保持ユニット20Eは、可動体21C、筐体22B、環状弾性体25、ばね26、絶縁リング28、及び絶縁リング29を備えている。絶縁リング28及び29は。第4変形例における絶縁リング28及び29と同じ構成である。
図13に示されるように、第6変形例における張力保持ユニット20Fは、実施形態における張力保持ユニット20の筐体22を、2つに分割したものである。具体的には、張力保持ユニット20Fは、可動体21、筐体22F、ばね23、及び箔材24を備えている。筐体22Fは、第1筐体部22k、及び第2筐体部22mを備えている。
図14に示されるように、第7変形例における張力保持ユニット20Gは、第1変形例における張力保持ユニット20Aの筐体22Aを、2つに分割したものである。具体的には、張力保持ユニット20Gは、可動体21A、筐体22G、ばね23、及び環状弾性体25を備えている。筐体22Gは、第1筐体部22n、及び第2筐体部22pを備えている。
次に、実施形態における張力保持ユニット20の可動体21の先端部にフィラメント10を固定する方法の一例について説明する。以下で説明するフィラメント10の固定方法は、上述した張力保持ユニットの種々の変形例にも適用可能である。図15に示されるように、可動体21の円柱部21aの先端面(他端面)には、軸線Lに沿って延在するボルト孔21fが設けられている。フィラメント10の先端部(一端側部)には、フィラメント固定部材40が取り付けられている。フィラメント固定部材40は、筒部41、及びフランジ部42を備えている。筒部41には、フィラメント10の先端部が通されて固定されている。ここでは、筒部41は、かしめられることによって、内周面でフィラメント10の先端部を挟み込み、フィラメント10に取り付けられていてもよい。フランジ部42は、筒部41の可動体21側の端部の外周面から、外側に向って張り出している。
Claims (13)
- 所望の軸線上において延在し、電子を放出する電子放出部と、
前記電子放出部の一方の端部に連結された可動部と、
前記可動部を前記軸線に沿って移動可能に支持する支持部と、
前記可動部に対して押圧力又は引張力を付与することによって、前記電子放出部の張力を保持する張力保持部と、を備え、
前記可動部及び前記張力保持部は、それぞれ前記軸線上に配置されている、電子線発生源。 - 前記張力保持部は、前記可動部が前記軸線に沿って移動するように前記可動部に対して前記押圧力又は引張力を付与する、請求項1に記載の電子線発生源。
- 前記可動部は、前記可動部の重心位置が前記軸線上に位置するように配置される、請求項1又は2に記載の電子線発生源。
- 前記電子放出部と前記張力保持部とは、互いに異なる部材からなる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子線発生源。
- 前記支持部は、前記張力保持部を内部に収容する内部空間を備えた筐体部を備える、請求項1〜4のいずれか一項に記載の電子線発生源。
- 前記筐体部は、前記電子放出部から前記張力保持部を直接見通せないように前記張力保持部を覆っている、請求項5に記載の電子線発生源。
- 前記筐体部は、前記軸線に沿って延在するとともに前記可動部を前記軸線に沿って移動可能に保持する可動部保持部を備える、請求項5又は6に記載の電子線発生源。
- 前記可動部保持部は、前記軸線に沿って延在する円柱状の貫通孔である、請求項7に記載の電子線発生源。
- 前記電子放出部は、直線状を呈している、請求項1〜8のいずれか一項に記載の電子線発生源。
- 前記電子放出部は、コイル状を呈するコイル状部を有する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の電子線発生源。
- 前記電子放出部の他方の端部及び前記張力保持部をそれぞれ支持する枠部を更に備える、請求項1〜10のいずれか一項に記載の電子線発生源。
- 請求項1〜11のいずれか一項に記載の電子線発生源と、
前記電子線発生源を収容する本体部と、
前記電子線発生源からの電子を前記本体部の外部に取り出すための電子取出部と、
を備えた電子線照射装置。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の電子線発生源と、
前記電子線発生源を収容する本体部と、
前記電子線発生源からの電子が入射することでX線を発生するX線発生部と、
前記X線を前記本体部の外部に取り出すためのX線取出部と、
を備えたX線照射装置。
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