JP2021167980A - 迷光が低減された集束光を有するフィルタアレイ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学フィルタ要素のアレイを含む、光学フィルタアレイ(10)を備える、装置が、開示され、各光学フィルタ要素は、少なくとも1対の対向する台形側壁と、互いに平行ではない、少なくとも1対の対向する側壁とを含む、側壁によって接続される対向する互いに平行な主面を有し、フィルタ要素の対向する互いに平行な主面は、集合的に、光学フィルタアレイの光学入口および出口開口を画定し、干渉フィルタを含む。さらに、そのようなフィタアレイを照明する方法も開示される。
【選択図】図1
Description
本願は、2015年11月3日に出願された米国仮特許出願第62/250,272号に対する優先権を主張するものである。この特許出願の完全な開示は、その全体が参照により本明細書中に援用される。
本明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
装置であって、
光学フィルタ要素のアレイを備える光学フィルタアレイを備え、
各光学フィルタ要素は、少なくとも1つの対の対向する台形側壁と、互いに平行ではない少なくとも1つの対の対向する側壁とを含む側壁によって接続された対向する互いに平行な主面を有し、
前記フィルタ要素の対向する互いに平行な主面は、集合的に、前記光学フィルタアレイの光学入口開口および光学出口開口を画定し、干渉フィルタを含む、
装置。
(項目2)
各フィルタ要素は、1対の対向する台形端側壁と、互いに平行ではない1対の対向する長側壁とを含む側壁を伴うストリップである、項目1に記載の装置。
(項目3)
前記フィルタ要素の長側壁と平行な長軸を有する線形または円筒形光源をさらに備える、項目2に記載の装置。
(項目4)
各フィルタ要素は、各対の対向する台形側壁が互いに平行ではない2対の対向する台形側壁を含む、項目1に記載の装置。
(項目5)
収束光または発散光を発生させるように構成される光学システムをさらに備え、各フィルタ要素の少なくとも1つの対の対向する側壁は、前記収束光または発散光の局所角度と整合される、項目1に記載の装置。
(項目6)
前記フィルタアレイの最外フィルタ要素以外のフィルタ要素の主面は、前記光学入口開口および光学出口開口の一方において、前記光学入口開口および光学出口開口の他方より大きい面積を有する、項目1に記載の装置。
(項目7)
前記光学フィルタ要素は、異なる干渉フィルタによって画定される異なる光学フィルタタイプの複数の光学フィルタ要素を備える、項目1に記載の装置。
(項目8)
前記光学フィルタ要素の干渉フィルタは、通過帯域フィルタまたはノッチフィルタを備える、項目1に記載の装置。
(項目9)
方法であって、
項目1に記載の光学フィルタアレイを提供するステップと、
前記フィルタ要素の側壁の側壁角度に適合する局所角度を有する収束光または発散光で前記光学フィルタアレイを照明するステップと、
を含む、方法。
(項目10)
装置であって、
前記光学フィルタアレイの最外光学フィルタ要素ではない内部光学フィルタ要素のアレイを備える、光学フィルタアレイを備え、
各内部光学フィルタ要素は、少なくとも1つの対の対向する台形側壁と、互いに平行ではない少なくとも1つの対の対向する側壁とを含む側壁によって接続されたより大きいおよびより小さい対向する互いに平行な主面を含み、
前記内部光学フィルタ要素のより大きい主面は、前記光学フィルタアレイの発散開口を備え、前記内部光学フィルタ要素のより小さい主面は、前記光学フィルタアレイの収束開口を備える、装置。
(項目11)
各内部光学フィルタ要素は、1対の対向する台形端側壁と、互いに平行ではない1対の対向する長側壁とを伴うストリップである、項目10に記載の装置。
(項目12)
各内部光学フィルタ要素は、各対の対向する台形側壁が互いに平行ではない2対の対向する台形側壁を含む、項目10に記載の装置。
(項目13)
前記発散開口において前記光学フィルタアレイに進入し、前記収束開口において前記光学フィルタアレイから退出する収束光を発生させる光学システムをさらに備える、項目10に記載の装置。
(項目14)
前記収束開口において前記光学フィルタアレイに進入し、前記発散開口において前記光学フィルタアレイから退出する発散光を発生させる光学システムをさらに備える、項目10に記載の装置。
であって、本場所における側壁は、10oとして好適に選定される。(周囲が、1と異なるnambientを伴う油またはある他の材料である場合、スネルの法則は、nambientsin(θ)=nfesin(θfe)に一般化する。フィルタ要素は、最初に、平行六面体フィルタ要素をダイスカットし、次いで、個々のダイスカットされたフィルタ要素を研磨し、側壁角度を形成すること等によって、種々の方法で加工されてもよい。代替として、ダイスカットは、好適に角度付けられた切断ソーまたは角度付けられたウエハ搭載ジグを採用することができる。
Claims (15)
- 光学フィルタ要素のアレイを備える光学フィルタアレイを備える装置であって、
前記光学フィルタ要素のアレイは、前記光学フィルタアレイの最外光学フィルタ要素ではない内部光学フィルタ要素のアレイを含み、
少なくとも各内部光学フィルタは、2つの対の対向する台形側壁として構成される4つの台形側壁によって境界を定められる基板を備え、
前記光学フィルタアレイの少なくとも各内部光学フィルタ要素は、各対の前記対向する台形側壁が互いに平行ではない前記2つの対の対向する台形側壁によって接続された対向する互いに平行な主面を有し、
各内部光学フィルタ要素の対向する互いに平行な主面は、より大きいおよびより小さい対向する互いに平行な主面を含み、
前記内部光学フィルタ要素の前記より大きい主面は、前記光学フィルタアレイの発散開口を備え、前記内部光学フィルタ要素の前記より小さい主面は、前記光学フィルタアレイの収束開口を備え、
前記対向する互いに平行な主面の一方または両方は、干渉フィルタ層スタックを含み、前記干渉フィルタ層スタックは、前記4つの台形側壁によって境界を定められかつ、前記台形側壁によって画定される対応する形状を有し、
前記光学フィルタ要素の各台形側壁は、前記台形側壁における前記光学フィルタ要素の材料内の発散光または収束光(L)の局所角度を考慮する側壁角度を有する、装置。 - 前記アレイの少なくとも各内部光学フィルタ要素は、角錐台の形状を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記光学フィルタアレイの前記光学フィルタ要素の前記基板は、前記光学フィルタアレイの動作光学範囲にわたって好適な透明度を有する光透過性材料を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記干渉フィルタ層スタックは、異なる屈折率値を伴う2つ以上の材料の交互層を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記干渉フィルタ層スタックは、
酸化タンタルおよび二酸化ケイ素の交互層、または、
チタンおよび二酸化チタン
のうちの1つを備える、請求項4に記載の装置。 - 収束光または発散光を発生させるように構成される光学システムをさらに備え、各フィルタ要素の各対の対向する側壁は、前記発散光または収束光の前記局所角度と整合される、請求項1に記載の装置。
- 前記内部光学フィルタ要素の前記主面は、長方形の形状を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記光学フィルタ要素は、異なる干渉フィルタ層スタックによって画定される異なる光学フィルタタイプの複数の光学フィルタ要素を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記光学フィルタアレイの前記最外光学フィルタ要素は、直線周界側壁を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記光学フィルタ要素の前記干渉フィルタ層スタックは、通過帯域フィルタまたはノッチフィルタを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記光学フィルタアレイは、フィルタプレートから切断されたブロックを備える、請求項1に記載の装置。
- 前記発散開口において前記光学フィルタアレイに進入し、前記収束開口において前記光学フィルタアレイから退出する収束光を発生させる光学システムをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記収束開口において前記光学フィルタアレイに進入し、前記発散開口において前記光学フィルタアレイから退出する発散光を発生させる光学システムをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 請求項1に記載の光学フィルタアレイを提供することと、
前記光学フィルタ要素の前記台形側壁の側壁角度に適合する局所角度を有する収束光または発散光で前記光学フィルタアレイを照明することと、
を含む方法。 - 前記照明することは、2次元で発散または収束する光ビームによる、請求項14に記載の方法。
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