JP2021156690A - フィルム検出装置およびフィルム検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】不透明のシート上に重ねられた透明フィルムを正確に検出することができるフィルム検出装置を提供する。【解決手段】フィルム検査装置は、シート３２と透明フィルム３４とを備えた検査対象物３０に光を照射する照明装置１０と、検査対象物３０からの反射光１７ｂを受けて画像を生成する偏光カメラ２５と、偏光カメラ２５で生成された検査画像に基づいて透明フィルム３４を検出する画像処理部４７とを備える。照明装置１０は、光１７を発する光源１２と、光源１２から発せられた光１７を円偏光１７ａに変換する円偏光子１５とを備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、フィルム検出装置および検出方法に関し、特に不透明のシート上に重ねられた透明フィルムを検出するフィルム検出装置およびフィルム検出方法に関する。

商品の梱包方法として、台紙等の不透明なシート上の商品をプラスチック等の透明フィルムで覆うことにより商品を梱包する方法がある。この場合、商品の生産工程において、透明フィルムの状態、すなわち透明フィルムの貼り付け位置のずれや透明フィルムに欠陥があるか等を検査することがある。このように梱包される商品の例としてリップクリーム等の持ち運んで使用する日用品が挙げられる。

透明フィルムの状態を検査する方法として、シートおよび透明フィルムに光を照射し、シートおよび透明フィルムをカメラにより撮像し、画像処理によりシートと透明フィルムのエッジ部を検出する方法がある。

特開２００８−２１６１０５号公報 特開２００６−３８４７７号公報 特開２００９−２１６６３３号公報

しかしながら、上述の検査方法では、光は透明フィルムを透過してしまうため、透明フィルムは画像に明瞭には現れず、透明フィルムのエッジ部を検出できないことがあった。

そこで本発明は、不透明のシート上に重ねられた透明フィルムを正確に検出することができるフィルム検出装置およびフィルム検出方法を提供する。

一態様では、不透明のシート上に重ねられた透明フィルムを検出するフィルム検出装置であって、前記シートと前記透明フィルムとを備えた検査対象物に光を照射する照明装置と、前記検査対象物からの反射光を受けて画像を生成する偏光カメラと、前記偏光カメラで生成された検査画像に基づいて前記透明フィルムを検出する画像処理部とを備え、前記照明装置は、光を発する光源と、前記光源から発せられた前記光を円偏光に変換する円偏光子とを備えている、フィルム検出装置が提供される。

一態様では、前記照明装置は、前記偏光カメラの光軸上に配置されたハーフミラーをさらに備え、前記照明装置は、前記光源から発せられた前記光を前記ハーフミラーで反射させて前記検査対象物に導くように構成されており、前記偏光カメラの光軸と、前記検査対象物に照射される光の光軸は一致している。
一態様では、前記偏光カメラは、偏光角の異なる複数の偏光子を備え、前記複数の偏光子を通過した前記反射光から複数の画像を生成し、前記複数の画像から偏光度画像、または応力ひずみ画像を検査画像として生成するように構成されている。
一態様では、前記光源は、白色光を発するように構成されている。

一態様では、不透明のシートと前記不透明のシート上に重ねられた透明フィルムを備えた検査対象物に光を照射して、前記透明フィルムを検出するフィルム検出方法であって、光源から光を発し、前記光を円偏光に変換して前記検査対象物に照射し、偏光カメラによって、前記検査対象物からの反射光から検査画像を生成し、前記生成された検査画像に基づいて前記透明フィルムを検出する、フィルム検出方法が提供される。

一態様では、前記光を前記検査対象物に照射する工程は、前記偏光カメラの光軸上に配置されたハーフミラーで反射した前記光を前記検査対象物に導く工程を含み、前記偏光カメラの光軸と、前記検査対象物に照射される光の光軸は一致している。
一態様では、前記検査画像を生成する工程は、偏光角の異なる複数の偏光子を通過した前記反射光から複数の画像を生成し、前記複数の画像から偏光度画像を検査画像として生成する工程を含む。
一態様では、前記光は白色光である。

透明フィルムからの反射光の偏光の状態と、シートからの反射光の偏光の状態は異なっているため、偏光カメラは、透明フィルムとシートとの間のコントラストが大きい画像を生成することができる。したがって、透明フィルムのエッジが画像に現れ、フィルム検出装置は、正確に透明フィルムを検出することができる。

フィルム検出装置の一実施形態を示す模式図である。 図２（ａ）は、検査対象物の一例を示す斜視図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す検査対象物の平面図である。 光の振動方向を示す模式図である。 偏光カメラの一部を示す模式図である。 偏光子構造体を示す模式図である。 図６（ａ）は、正常な位置に透明フィルムが貼り付けられているときの検査対象物を示す模式図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）の検査対象物からの反射光を受けて生成された検査画像を示す模式図である。 図７（ａ）は、透明フィルムが正常な位置からずれて貼り付けられているときの検査対象物を示す模式図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の検査対象物からの反射光を受けて生成された検査画像を示す模式図である。 図８（ａ）は、フィルム検出装置の他の実施形態を示す模式図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）を上から見た図である。 図９（ａ）は、フィルム検出装置のさらに他の実施形態を示す模式図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）を上から見た図である。 図１０（ａ）は、フィルム検出装置のさらに他の実施形態を示す模式図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）を上から見た図である。

以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。図１はフィルム検出装置の一実施形態を示す模式図である。図１に示すように、フィルム検出装置は、検査対象物３０に光１７を照射する照明装置１０と、検査対象物３０からの反射光を受けて画像を生成する偏光カメラ２５と、偏光カメラ２５で生成された画像を処理する画像処理部４７と、を備えている。偏光カメラ２５は、検査対象物３０を向いて（下方を向いて）配置されている。照明装置１０は、偏光カメラ２５と検査対象物３０との間に配置されている。画像処理部４７は、偏光カメラ２５に電気的に接続されている。

図２（ａ）は、検査対象物３０の一例を示す斜視図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す検査対象物３０の平面図である。検査対象物３０は、シート３２と、シート３２上に重ねられた透明フィルム３４と、シート３２および透明フィルム３４によって梱包された商品３７と、を備えている。商品３７は、シート３２上に配置されており、透明フィルム３４に覆われている。透明フィルム３４は、シート３２との間に商品３７を挟んでシート３２に貼り付けられている。

シート３２は不透明であり、板状の形状を有している。シート３２の一例として、台紙が挙げられる。透明フィルム３４の一例として、透明なプラスチックフィルムが挙げられる。商品３７の例として、リップクリーム等の持ち運んで使用する日用品が挙げられる。

図１に示すように、本実施形態では、検査対象物３０は、コンベア４０によって搬送される。本実施形態では、コンベア４０の上方にフィルム検出装置が配置されている。フィルム検出装置は、コンベア４０によって搬送された検査対象物３０がフィルム検出装置の下方を通過するときに、検査対象物３０の画像を生成し、生成された画像に基づいてシート３２上の透明フィルム３４を検出する。

照明装置１０は、光１７を発する光源１２と、光源１２から発せられた光１７を円偏光に変換する円偏光子１５と、偏光カメラ２５と検査対象物３０との間に配置されたハーフミラー２０とを備えている。円偏光子１５は、光１７の進行方向に関して光源１２の前方に配置されている。照明装置１０は、光１７を円偏光に変換して検査対象物３０に照射する。ハーフミラー２０は、偏光カメラ２５の光軸ＡＸ１上に配置されている。

本実施形態では、照明装置１０は、光１７を、ハーフミラー２０で反射させて検査対象物３０に導くように構成されている。具体的には、ハーフミラー２０は、偏光カメラ２５の光軸ＡＸ１に対して傾いて配置されており、光源１２は、横向き、かつハーフミラー２０を向いて配置されている。光源１２は、横側から円偏光子１５を介してハーフミラー２０に光１７を照射するように構成されている。本実施形態の光１７は、白色光である。

光源１２から発せられた光１７は、円偏光子１５を透過することによって円偏光に変換される。円偏光に変換された光１７は、ハーフミラー２０に照射される。ハーフミラー２０に照射された光１７は、ハーフミラー２０で反射して検査対象物３０に垂直に入射する。検査対象物３０に照射される光１７（円偏光に変換された光１７）の振動方向は回転している。光１７は、検査対象物３０の全体に照射される。

検査対象物３０に照射された光１７は、検査対象物３０で反射し、ハーフミラー２０を透過する。ハーフミラー２０は、光源１２から照射された光１７を反射させ、その一方で、検査対象物３０で反射した光１７を透過させるように構成されている。検査対象物３０で反射した光１７の振動方向は、検査対象物３０に照射される光１７とは逆方向に回転している。以下、円偏光に変換された光１７（検査対象物３０に照射される光１７）を円偏光１７ａ、検査対象物３０で反射した光１７を反射光１７ｂと呼ぶことがある。

ハーフミラー２０を透過した光１７（反射光１７ｂ）は、偏光カメラ２５によって受けられる。照明装置１０は、偏光カメラ２５の光軸ＡＸ１と、検査対象物３０に照射される光１７（円偏光１７ａ）の光軸ＡＸ２と、が一致している、いわゆる同軸落射照明を構成している。照明装置１０を上述のように構成することにより、光源１２および円偏光子１５を、偏光カメラ２５に向かう反射光１７ｂの光路の外側に配置することができる。したがって、円偏光１７ａは、検査対象物３０の全体を均一に照明することができる。また、反射光１７ｂは光源１２および円偏光子１５には遮られないので、偏光カメラ２５は、検査対象物３０の全体を撮影することができる。

図３は、光１７の振動方向を示す模式図である。図３に示すように、光１７は、光源１２から発せられた直後は、全方向（図３の矢印Ａ，Ｂ，Ｃ方向）に振動している。光１７は、円偏光子１５を透過することによって円偏光１７ａに変換される。円偏光１７ａに変換された光１７は、振動方向を回転させながら進行する。円偏光１７ａの振動方向を図３の矢印Ｄで示す。本実施形態では、円偏光１７ａの振動方向は、右回転しているが、一実施形態では、円偏光１７ａの振動方向は、左回転していてもよい。

図４は、偏光カメラ２５の一部を示す模式図である。図４に示すように、偏光カメラ２５は、フォトダイオード等のイメージセンサ２９と、偏光子構造体２６とを備えている。偏光子構造体２６は、イメージセンサ２９の前方に配置されている。反射光１７ｂは、偏光子構造体２６を介してイメージセンサ２９によって受けられる。

図５は、偏光子構造体２６を示す模式図である。偏光子構造体２６は、偏光角の異なる複数の偏光子２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄを備えている。以下の説明では、偏光子２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄを総称して単に偏光子２７と呼ぶことがある。偏光子構造体２６は、イメージセンサ２９の複数の受光素子２９ａの数と同じ数の偏光子２７を備えており、各受光素子２９ａの前方に各偏光子２７が配置されている（図４参照）。したがって、偏光カメラ２５は、各偏光子２７を透過した光１７（反射光１７ｂ）を各受光素子２９ａで受けるように構成されている。

具体的には、偏光子構造体２６は、振動方向が回転している光１７（反射光１７ｂ）のうち、所定の方向に振動する光のみを透過させる複数の偏光子２７ａと、偏光角（偏光子２７が透過を許容する光１７の偏光方向）が偏光子２７ａの偏光角から４５度異なる複数の偏光子２７ｂと、偏光角が偏光子２７ａの偏光角から９０度異なる複数の偏光子２７ｃと、偏光角が偏光子２７ａの偏光角から１３５度異なる複数の偏光子２７ｄとを備えている。

偏光子２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄは、受光素子２９ａの配列に対応して上下左右に隣接して配列されている。すなわち各受光素子２９ａの前方には、偏光子２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄのうちのいずれか１つが配置されている。隣接する１つの偏光子２７ａ、１つの偏光子２７ｂ、１つの偏光子２７ｃ、および１つの偏光子２７ｄは、１組の偏光子組立体２８を形成している。偏光子組立体２８は上下左右に隣接して配列されている。各受光素子２９ａは、偏光子２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄのうちのいずれか１つを透過した光１７を受ける。

偏光カメラ２５は、偏光子２７を透過した反射光１７ｂから画像を生成する。本実施形態では、偏光カメラ２５は、４つの方向に偏光する反射光１７ｂから４つの画像を生成する。すなわち、偏光カメラ２５は、複数の偏光子２７ａを透過した光１７から第１画像を生成し、複数の偏光子２７ｂを透過した光１７から第２画像を生成し、複数の偏光子２７ｃを透過した光１７から第３画像を生成し、複数の偏光子２７ｄを透過した光１７から第４画像を生成する。

偏光カメラ２５によって生成される画像の明度は、各偏光子２７を透過した反射光１７ｂの偏光の強度によって変わる。言い換えれば、偏光カメラ２５によって生成される画像の明度は、偏光子２７の各偏光角における光１７の振動の大きさに依存する。例えば、偏光子２７ａの偏光角での光１７の振動よりも偏光子２７ｂの偏光角での光１７の振動のほうが大きい場合、偏光子２７ｂを透過した光１７から生成される第２画像は、偏光子２７ａを透過した光１７から生成される第１画像よりも明るくなる。

偏光カメラ２５は、複数の偏光子２７を通過した反射光１７ｂからそれぞれ生成された複数の画像を解析して検査画像を生成する画像解析部２５ａをさらに備えている。本実施形態では、画像解析部２５ａは上述の４つの画像（第１画像、第２画像、第３画像、および第４画像）から、１つの検査画像を生成する。一実施形態では、偏光カメラ２５は、４つの画像から偏光度（偏光の度合い）を計算し、偏光度を表現する偏光度画像を検査画像として生成する。偏光度画像のコントラストは、偏光度に依存する。すなわち、偏光度の差の大きい部分は、コントラストが大きくなる。

検査対象物３０に発生する応力の大きさによって、各偏光角における光１７には位相差が生じる。一実施形態では、偏光カメラ２５は、各偏光角における光１７の位相によって明度が変わる４つの画像を生成してもよい。偏光カメラ２５は、上記４つの画像から検査対象物３０に発生する応力を計算し、応力差を表現する応力ひずみ画像を検査画像として生成する。すなわち、応力差の大きい部分は、コントラストが大きくなる。

さらに一実施形態では、明度が偏光の強度に依存する上記４つの画像から検査対象物３０の面方向を推定し、面法線画像を検査画像として生成してもよい。さらに一実施形態では、明度が偏光の強度に依存する上記４つの画像から反射成分を計算し、反射除去画像または反射強調画像を検査画像として生成してもよい。さらに一実施形態では、明度が偏光の強度に依存する上記４つの画像から偏光状態を表現するための列ベクトルであるストークスベクトルを計算し、偏光子２７を透過した光の状態変化を表すストークスベクトル画像を生成してもよい。

透明フィルム３４からの反射光１７ｂと、シート３２からの反射光１７ｂの偏光の状態は異なっている。したがって、上記４つの画像のうちの少なくとも１つに現れる透明フィルム３４は、シート３２よりも明るく（または暗く）写る。偏光カメラ２５は、透明フィルム３４と、シート３２との偏光の状態の差異を利用することにより、透明フィルム３４と、シート３２との間のコントラストが大きい検査画像を生成することができる。したがって、検査画像には、透明フィルム３４のエッジが明確に現れる。

偏光カメラ２５は、第１画像、第２画像、第３画像、第４画像、および検査画像を画像処理部４７に送信する。画像処理部４７は、検査画像に基づいて透明フィルム３４（透明フィルム３４のエッジ）を検出する。画像処理部４７は、少なくとも１台のコンピュータから構成される。画像処理部４７は、プログラムが格納された記憶装置４７ａと、プログラムに含まれる命令に従って演算を実行する演算装置４７ｂを備えている。演算装置４７ｂは、記憶装置４７ａに格納されているプログラムに含まれている命令に従って演算を行うＣＰＵ（中央処理装置）またはＧＰＵ（グラフィックプロセッシングユニット）などを含む。記憶装置４７ａは、演算装置４７ｂがアクセス可能な主記憶装置（例えばランダムアクセスメモリ）と、データおよびプログラムを格納する補助記憶装置（例えば、ハードディスクドライブまたはソリッドステートドライブ）を備えている。

一実施形態では、画像解析部２５ａは、偏光カメラ２５の外側に配置されていてもよい。例えば、画像処理部４７が画像解析部２５ａを備えていていてもよい。この場合、偏光カメラ２５から第１画像、第２画像、第３画像、および第４画像が画像処理部４７に送信され、画像処理部４７は、第１画像、第２画像、第３画像、および第４画像から検査画像を生成する。

図６（ａ）は、正常な位置に透明フィルム３４が貼り付けられているときの検査対象物３０を示す模式図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）の検査対象物３０からの反射光を受けて生成された検査画像を示す模式図であり、図７（ａ）は、透明フィルム３４が正常な位置からずれて貼り付けられているときの検査対象物３０を示す模式図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の検査対象物３０からの反射光を受けて生成された検査画像を示す模式図である。図６（ｂ）および図７（ｂ）に示すように、フィルム検出装置は、透明フィルム３４と、シート３２との間のコントラストが大きい検査画像を生成することができるので、透明フィルム３４のエッジが明確になり、フィルム検出装置は、検出画像から正確に透明フィルム３４を検出することができる。

偏光子構造体２６は、偏光角の異なる４種類の偏光子２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄを備えているが、一実施形態では、偏光子構造体２６は、偏光角の異なる５種類以上の偏光子を備えていてもよい。一実施形態では、フィルム検出装置は、５種類以上の偏光子２７を通過した反射光１７ｂから５つ以上の画像を生成し、５つの画像から１つの検査画像を生成してもよい。

上述のように本実施形態の光１７は、白色光である。光１７として白色光以外の可視光を利用した場合、光１７の色とシート３２の色の組み合わせによって反射光１７ｂの強度が変化する。本実施形態のように、光１７として白色光を利用することによって、シート３２の色に起因する検査対象物３０からの反射光の強度の変化を低減させることができる。したがって、本実施形態のフィルム検出装置は、シート３２の色にかかわらず使用することができるので、多品種の検査対象物３０に適用することができる。一実施形態では、光１７は、赤外線であってもよい。

図８（ａ）は、フィルム検出装置の他の実施形態を示す模式図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）を上から見た図である。特に説明しない本実施形態の構成は、図１乃至図７を参照して説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。本実施形態のフィルム検出装置は、２つの照明装置１０を備えている。各照明装置１０は、ハーフミラー２０を備えていない。本実施形態の光源１２は、矩形状の照射面を有する面照明である。各照明装置１０は、光軸ＡＸ１に対して傾いて配置されており、検査対象物３０に対して斜めに光１７を照射する。本実施形態のフィルム検出装置においても、光源１２および円偏光子１５を、偏光カメラ２５に向かう反射光１７ｂの光路の外側に配置することができる。したがって、偏光カメラ２５は、検査対象物３０の全体を撮影することができる。

図９（ａ）は、フィルム検出装置のさらに他の実施形態を示す模式図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）を上から見た図である。特に説明しない本実施形態の構成は、図１乃至図７を参照して説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。本実施形態の照明装置１０は、偏光カメラ２５と、検査対象物３０との間に配置されており、ハーフミラー２０を備えていない。本実施形態の光源１２は、円環状の形状を有している。円偏光子１５は、光源１２の照射面に対応した円環状の形状を有している。照明装置１０は、検査対象物３０の上方から検査対象物３０に光１７を照射する。

光源１２は、偏光カメラ２５に向かう反射光１７ｂを貫通させる穴１２ａを有している。反射光１７ｂは、穴１２ａを通って偏光カメラ２５に受けられる。したがって、偏光カメラ２５は、検査対象物３０の全体を撮影することができる。

図１０（ａ）は、フィルム検出装置のさらに他の実施形態を示す模式図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）を上から見た図である。特に説明しない本実施形態の構成は、図１乃至図７を参照して説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。本実施形態の照明装置１０は、偏光カメラ２５と、検査対象物３０との間に配置されており、ハーフミラー２０を備えていない。本実施形態の光源１２は、偏光カメラ２５に向かう反射光１７ｂを貫通させる穴１２ａを有する面照明である。光源１２の照射面の全体は矩形状の形状を有している。円偏光子１５は、光源１２の照射面に対応した形状を有している。照明装置１０は、検査対象物３０の上方から検査対象物３０に光１７を照射する。

光源１２は、偏光カメラ２５に向かう反射光１７ｂを貫通させる穴１２ａを有している。反射光１７ｂは、穴１２ａを通って偏光カメラ２５に受けられる。したがって、偏光カメラ２５は、検査対象物３０の全体を撮影することができる。

図８乃至図１０を参照して説明した実施形態においてもフィルム検出装置は透明フィルム３４と、シート３２との間のコントラストが大きい画像を生成することができるが、照明装置１０を、図１を参照して説明した同軸落射照明とすることで、照明装置１０は、検査対象物３０の全体を均一に照明することができる。したがって、図１を参照して説明したフィルム検出装置は、より正確にフィルム３４のエッジを検出することができる画像を生成することができる。

上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうる。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。

１０ 照明装置
１２ 光源
１２ａ 穴
１５ 円偏光子
１７ 光
１７ａ 円偏光
１７ｂ 反射光
２０ ハーフミラー
２５ 偏光カメラ
２５ａ 画像解析部
２６ 偏光子構造体
２７ 偏光子
２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ 偏光子
２８ 偏光子組立体
２９ イメージセンサ
３０ 検査対象物
３２ シート
３４ 透明フィルム
３７ 商品
４０ コンベア
４７ 画像処理部

Claims (8)

1. 不透明のシート上に重ねられた透明フィルムを検出するフィルム検出装置であって、
   前記シートと前記透明フィルムとを備えた検査対象物に光を照射する照明装置と、
   前記検査対象物からの反射光を受けて画像を生成する偏光カメラと、
   前記偏光カメラで生成された検査画像に基づいて前記透明フィルムを検出する画像処理部とを備え、
   前記照明装置は、
   光を発する光源と、
   前記光源から発せられた前記光を円偏光に変換する円偏光子とを備えている、フィルム検出装置。
2. 前記照明装置は、前記偏光カメラの光軸上に配置されたハーフミラーをさらに備え、
   前記照明装置は、前記光源から発せられた前記光を前記ハーフミラーで反射させて前記検査対象物に導くように構成されており、
   前記偏光カメラの光軸と、前記検査対象物に照射される光の光軸は一致している、請求項１に記載のフィルム検出装置。
3. 前記偏光カメラは、偏光角の異なる複数の偏光子を備え、前記複数の偏光子を通過した前記反射光から複数の画像を生成し、前記複数の画像から偏光度画像、または応力ひずみ画像を検査画像として生成するように構成されている、請求項１または２に記載のフィルム検出装置。
4. 前記光源は、白色光を発するように構成されている請求項１乃至３のいずれか一項に記載のフィルム検出装置。
5. 不透明のシートと前記不透明のシート上に重ねられた透明フィルムを備えた検査対象物に光を照射して、前記透明フィルムを検出するフィルム検出方法であって、
   光源から光を発し、
   前記光を円偏光に変換して前記検査対象物に照射し、
   偏光カメラによって、前記検査対象物からの反射光から検査画像を生成し、
   前記生成された検査画像に基づいて前記透明フィルムを検出する、フィルム検出方法。
6. 前記光を前記検査対象物に照射する工程は、前記偏光カメラの光軸上に配置されたハーフミラーで反射した前記光を前記検査対象物に導く工程を含み、
   前記偏光カメラの光軸と、前記検査対象物に照射される光の光軸は一致している、請求項５に記載のフィルム検出方法。
7. 前記検査画像を生成する工程は、偏光角の異なる複数の偏光子を通過した前記反射光から複数の画像を生成し、前記複数の画像から偏光度画像を検査画像として生成する工程を含む、請求項５または６に記載のフィルム検出方法。
8. 前記光は白色光である、請求項５乃至７のいずれか一項に記載のフィルム検出方法。

Images