JP2021150467A - 熱伝導シート - Google Patents
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Abstract
Description
また、様々な形状を有する半導体パッケージ等の発熱体に密着させるために、形状追従性のよい柔軟な熱伝導シートが望まれている。
例えば、特許文献1には、発熱性部品の放熱に有効に用いられる低硬度熱伝導性シリコーンゴムに関する発明が記載されている。
しかしながら、熱伝導シートのタック性により熱伝導シートが剥離シートに付着し、熱伝導シートを剥離シートから剥がすとき、カスが発生したり、熱伝導シートにスジが発生したりする場合があった。また、リワークのために熱伝導シートを剥離したとき、残渣が残るため、リワークのためには清掃、部品交換などの工程負荷が増すことがあった。
本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされたものであって、タック性が低く、柔軟性及び熱伝導性が優れている熱伝導シートを提供することを目的とする。
[1]熱伝導性板状フィラーを含む熱伝導シートであって、
前記熱電シートの厚さ方向に平行な断面において、前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度の角度分布を測定したとき、前記角度分布は+10〜+80°又は−10〜−80°の範囲内に角度分布のピークを有する、熱伝導シート。
[2]前記熱伝導性板状フィラーの長手方向の平均長さが5μm以上であり、かつアスペクト比が5以上である、上記[1]に記載の熱伝導シート。
[3]前記角度分布のピークの半値幅が80°以下である、上記[1]又は[2]に記載の熱伝導シート。
[4]プラス側の角度に前記角度分布のピークがある場合、前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの数に対して前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度がマイナスである熱伝導性板状フィラーの数の割合が30%未満であるか、又は、
マイナス側の角度に前記角度分布のピークがある場合、前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの数に対して前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度がプラスである熱伝導性板状フィラーの数の割合が30%未満である、上記[1]〜[3]のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
[5]前記熱伝導シートの厚さ方向に平行な断面において、前記熱伝導シートの深さ0.2mmより内部に存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度の角度分布を測定したとき、前記角度分布は−40〜+40°の範囲内に角度分布のピークを有する、上記[1]〜[4]のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
[6]前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度の角度分布の標準偏差が30以下である、上記[1]〜[5]のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
[7]熱伝導率が6W/mK以上である上記[1]〜[6]のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
[8]30%圧縮強度が1300kPa以下である、上記[1]〜[7]のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
[9]前記熱伝導シートにおける前記熱伝導性板状フィラーの含有量が40質量%以上である、上記[1]〜[8]のいずれか1つに記載の熱伝導シート。
本発明の熱伝導シートは、熱伝導性板状フィラーを含む熱伝導シートである。そして、本発明の熱伝導シートは、熱伝導シートの厚さ方向に平行な断面において、熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度の角度分布を測定したとき、その角度分布は+10〜+80°又は−10〜−80°の範囲内に角度分布のピークを有する。なお、熱伝導シートの厚さ方向に対して時計回りの方向をプラスの角度とし、反時計回りの方向をマイナスの角度とする。
熱伝導性板状フィラーを含有する熱伝導シートは、一般に、多く含有させなくても熱伝導性を高めるためことができるため、熱伝導シートの柔軟性を高くすることができる。また、本発明の熱伝導シートでは、熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーが、+10〜+80°又は−10〜−80°の範囲内に角度分布のピークを有するので、熱伝導シートのタック性を低減できるとともに、熱伝導性を良好にできる。
本発明の熱伝導シートにおける熱伝導性板状フィラーは熱伝導シート中に分散されている。熱伝導性板状フィラーの熱伝導率は特に限定されないが、好ましくは12W/m・K以上であり、より好ましくは15〜70W/m・K、さらに好ましくは25〜70W/m・Kである。
熱伝導性板状フィラーの材質としては、例えば、炭化物、窒化物、酸化物、水酸化物、金属、炭素系材料などが挙げられる。
炭化物としては、例えば、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化アルミニウム、炭化チタン、炭化タングステンなどが挙げられる。
窒化物としては、例えば、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化ホウ素ナノチューブ、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化クロム、窒化タングステン、窒化マグネシウム、窒化モリブデン、窒化リチウムなどが挙げられる。
酸化物としては、例えば、酸化鉄、酸化ケイ素(シリカ)、酸化アルミニウム(アルミナ)(酸化アルミニウムの水和物(ベーマイトなど)を含む。)、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化セリウム、酸化ジルコニウムなどが挙げられる。また、酸化物として、チタン酸バリウムなどの遷移金属酸化物などや、さらには、金属イオンがドーピングされている、例えば、酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズなどが挙げられる。
金属としては、例えば、銅、金、ニッケル、錫、鉄、または、それらの合金が挙げられる。
炭素系材料としては、例えば、黒鉛、ダイヤモンド、グラフェンなどが挙げられる。
上記した中でも、熱伝導性板状フィラーとしては、窒化ホウ素が好ましい。
なお、アスペクト比とは、熱伝導性板状フィラーの最大長さの最小長さ(最大長さに対して垂直方向)に対する比(最大長さ/最小長さ)であり、具体的には、熱伝導性板状フィラーの最大長さの厚みに対する比(最大長さ/厚み)である。熱伝導性板状フィラーのアスペクト比は走査型電子顕微鏡で、十分な数(例えば250個)の熱伝導性板状フィラーを観察して平均値として求めるとよい。
上述したように、本発明の熱伝導シートの熱伝導性板状フィラーの上述の角度分布におけるピークの位置は、例えば、後述の熱伝導シートの製造方法において、スライス工程の条件を変えることで、制御することができる。
又、マイナス側の角度に上述の角度分布のピークがある場合、熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度がプラスである熱伝導性板状フィラーの数をY2とする。この場合、割合(Y2/X)は30%未満であることが好ましい。
熱伝導性板状フィラーの長手方向と熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度が90°の場合、熱伝導性板状フィラーの長手方向と熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度がプラスであるか、マイナスであるかがわからないので、角度分布のピークがある側と反対側の角度とする。つまり、プラス側に角度分布のピークがある場合は、熱伝導性板状フィラーの長手方向と熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度が90°であるものは、−90°とする。一方、マイナス側に角度分布のピークがある場合は、熱伝導性板状フィラーの長手方向と熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度が90°であるものは、+90°とする。
なお、図1のx方向は後述の樹脂層の積層方向に対応する。z方向は厚さ方向に対応し、y方向は、x方向及びy方向と垂直をなす方向である。図1及び図2に示す熱伝導シート1の断面はz軸に平行である。
また、図3のグラフの横軸は、熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向Lとz方向とのなす角度θを示す。図3のグラフの縦軸は、熱伝導性板状フィラーの数nを示す。
熱伝導シート1の深さ0.2mmより内部の領域15に存在する熱伝導性板状フィラー2の長手方向とz方向とのなす角度の角度分布は−40〜+40°の範囲内に角度分布のピークを有することが好ましい。なお、符号3は、熱伝導シート1のマトリックスを示し、マトリックス3は、例えば、後述の樹脂である。
本発明の熱伝導シートは樹脂を含有することが好ましい。熱伝導シートの樹脂の種類は、特に制限されないが、柔軟性を良好とする観点から、エラストマー樹脂であることが好ましい。
エラストマー樹脂の種類としては、例えば、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、ポリブタジエンゴム、水素添加ポリブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン−ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、水素添加スチレン−イソプレンブロック共重合体、水素添加スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、アクリルゴム(なお、アクリルゴムとは、アクリル酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルを含むモノマーの重合物を意味する)等が挙げられる。
上記したエラストマー樹脂は、常温(23℃)かつ常圧(1気圧)で固体状のエラストマーであってもよいし、液状のエラストマーであってもよい。
エラストマー樹脂は、1種のみを用いてもよいし、複数種類を併用してもよい。
熱伝導シートの熱伝導性、柔軟性、取り扱い性を良好とする観点から、樹脂の粘度は、後述する熱伝導性フィラーの種類に応じて、適宜調整することが好ましい。
本発明の熱伝導シートには、必要に応じて、酸化防止剤、熱安定剤、着色剤、難燃剤、帯電防止剤、分解温度調整剤などの熱伝導シートに一般的に使用する添加剤を配合されてもよい。
本発明の熱伝導シートの熱伝導率は、熱伝導シートの放熱性を良好とする観点から、好ましくは6W/m・K以上であり、より好ましくは8W/m・K以上であり、さらに好ましくは10W/m・K以上である。また、熱伝導シートの熱伝導率は、通常、100W/m・K以下である。なお、本発明の熱伝導シートの熱伝導率は、後述の実施例に記載の方法で測定された値である。
本発明の熱伝導シートの30%圧縮強度は、熱伝導シートの柔軟性を良好とする観点から、好ましくは1300kPa以下であり、より好ましくは1000kPa以下、さらに好ましくは800kPa以下であり、よりさらに好ましくは700kPa以下である。また、熱伝導シートの30%圧縮強度は、通常50kPa以上である。なお、本発明の熱伝導シートの30%圧縮強度は、後述の実施例に記載の方法で測定された値である。
本発明の熱伝導シートの製造方法は、特に限定されないが、以下に説明するように、混練工程、積層工程、及びスライス工程を含む方法により製造することができる。
熱伝導性板状フィラー、樹脂及び添加剤などを混練して、熱伝導性樹脂組成物を作製する。
前記の混練は、例えば、熱伝導性板状フィラーと樹脂とを、プラストミル等の二軸スクリュー混練機や二軸押出機等を用いて、加熱下において混練することが好ましく、これにより、熱伝導性フィラーが樹脂中に均一に分散された熱伝導性樹脂組成物を得ることができる。
次いで、該熱伝導性樹脂組成物をプレスすることにより、シート状の樹脂層(熱伝導性樹脂層)を得ることができる。これにより、樹脂層の厚さ方向に対して、熱伝導性板状フィラーの長手方向が略垂直になるように、熱伝導性板状フィラーは配向する。
積層工程では、混練工程で得た樹脂層を積層してn層構造の積層体を作製する。積層方法としては、例えば、混練工程で作製した樹脂層をxi分割して積層し、xi層構造の積層体を作製後、必要に応じて、熱プレスを行い、その後、更に、必要に応じて、分割と積層と上述の熱プレスを繰り返して、幅がDμmでn層構造の積層体を作製する方法を用いることができる。
積層工程後の積層体の幅(Dμm)、熱伝導性板状フィラーの厚み(dμm)は、0.0005≦d/(D/n)≦1を満足することが好ましく、0.001≦d/(D/n)≦1を満足することがより好ましく、0.02≦d/(D/n)≦1を満足することがさらに好ましい。
このように、複数回の成形を行う場合には、各回における成形圧を、1回の成形で行う場合に比べて、小さくすることができるため、成形に起因する積層構造の破壊等の現象を回避することができる。
その他の積層方法として、例えば、多層形成ブロックを備える押出機を用い、上述の多層形成ブロックを調製して、共押出し成形により、n層構造で、かつ、厚さDμmの積層体を得る方法を用いることもできる。
具体的には、第1の押出機及び第2の押出機の双方に混練工程で得た熱伝導性樹脂組成物を導入し、第1の押出機及び第2の押出機から熱伝導性樹脂組成物を同時に押出す。第1の押出機及び第2の押出機から押出された熱伝導性樹脂組成物は、フィードブロックに送られる。フィードブロックでは、第1の押出機及び上記第2の押出機から押出された熱伝導性樹脂組成物が合流する。それによって、熱伝導性樹脂組成物が積層された2層体を得ることができる。次に、2層体を多層形成ブロックへと移送し、押出し方向に平行な方向であり、かつ積層面に垂直な複数の面に沿って2層体を複数に分割後、積層して、n層構造で、厚みDμmの積層体を作製することができる。このとき、1層当たりの厚み(D/n)は、多層形成ブロックを調整して所望の値とすることができる。
なお、樹脂層を積層するときは、樹脂層における熱伝導性板状フィラーの配向方向が一致するように樹脂層を積層することが好ましい。
積層工程で得た積層体を積層方向に対して平行方向にスライスすることにより、熱伝導シートを作製することができる。これにより、熱伝導シートの厚さ方向が積層方向に対して垂直である熱伝導シートを得ることができる。上述したように、樹脂層の厚さ方向に対して、熱伝導性板状フィラーの長手方向は略垂直であるので、熱伝導シートの厚さ方向は、熱伝導性板状フィラーの長手方向と略一致する。これにより、熱伝導シートの熱伝導率を高めることができる。
熱伝導シートの製造方法においては、樹脂を架橋する工程を行ってもよい。ただし、スライス工程により、熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向が容易に変わるようにするために、スライス工程の後に樹脂を架橋する工程を行うことが好ましい。架橋は、例えば、電子線、α線、β線、γ線等の電離性放射線を照射する方法、有機過酸化物を用いる方法等により行えばよい。シート面(シート表面)に電離性放射線を照射することが好ましく、電離性放射線の中でも、電子線が好ましい。電子線照射を行う場合の加速電圧は、例えば、200〜700kVが好ましく、250〜600kVがより好ましい。電子線照射の照射量は200〜800kGyが好ましく、250〜700kGyがより好ましい。
(1)樹脂
・液状エラストマー:株式会社クラレ製、商品名「L−1203」水添実施グレード
・窒化ホウ素 デンカ株式会社製、商品名「SGP」
形状:板状(鱗片状)
長手方向の平均長さ:45μm
アスペクト比:10
長辺方向熱伝導率:250W/m・K
厚み:1μm
(3)その他の添加剤
・サリチル酸誘導体 株式会社ADEKA社製、商品名「アデカスタブCDA−1」
・N,N'-ジ-2-ナフチル-p-フェニレンジアミン 大内新興化学工業株式会社製、商品名「ノクラック White」
<熱伝導性板状フィラーの長手方向と熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度の角度分布>
X線CT装置で熱伝導シートの表面から深さ0.2mmの領域を撮影し、再構成して熱伝導シートの表面から深さ0.2mmの領域の3次元像を得た。得られた画像のうち、MD方向に対して垂直な断面での断層像を取り出し、画像解析によって窒化ホウ素を抽出、その配向を解析した。
使用装置:リガク株式会社製 商品名「高分解能3DX線顕微鏡 nano3DX」
測定条件:ターゲット モリブデン
使用レンズ 540nm
ビニング 2
露光時間 20秒
撮影枚数 1000枚
サンプル形状:2.5mm×2.5mm×サンプル厚み
なお、撮影で得られる視野は直径1.8mm×高さ1.3mmの円柱状であった。
また、サンプルの切断面を避けて撮影した。
さらに、MDがy軸、TDがx軸、厚さ方向がz軸になるようにサンプルをセットした。
なお、「TD」は、後述の積層体の積層方向である。「MD」はTDに直交しかつシートに平行な方向である。なお、TDは、厚さ方向に対して垂直な方向であれば、積層方向でなくてもよい。
画像解析ソフト:Thermo Fisher Scientific社製 Avizo 2019.3 なお、拡張機能として、XFiberを使用した。
X線CT装置で得られた画像を以下の手順で解析した。
(i)画像連結:複数視野に渡るサンプルの場合は画像を連結する。
(ii)水平修正:Transform Editorを使用し、サンプルの表面が画像中で水平になるように調整し、Resample Transformed Imageを適用した。なお、Resample Transformed Imageでは、Modeをextendedに変更し、その他の条件は初期値とした。
(iii)測定スライス抽出:水平修正した画像にSegmentation Editorを使用し、xz平面(MD方向に対し垂直な断面)のスタック画像の中から中心部の一枚を全面選択しマスク画像とした。
(iv)2値化:水平修正した画像にInteractive Thresholdingを適用、マスク画像は前述のものを使用した。閾値は、窒化ホウ素のみが抽出されるよう調整した。
(v)配向解析:2値化した画像に、Cylinder Correlationを適用した。なお、Cylinder Correlationの条件は以下のとおりであった。
・Cylinder Length:30
・Anguler Sampling:5
・Mask Cylinder Radius:2.5
・Outer Cylinder Radius:1.5
・Inner Cylinder Radius:0
・その他は初期値
(vi)Cylinder Correlationを適用した画像に対し、Trace Correlation Linesを適用し、結果をXML形式で保存した。なお、Trace Correlation Linesの条件は以下の通りであった。
・Minimum Seed Correlation:65
・Minimum Continuation Quality:65
・Direction Coefficient:0.15
・Minimum Distance:1
・Minimum Length:30
・Length:10
・Angle:37
・Minimum Step Size(%):10
(vii)出力されたデータのOrientation ThetaはZ軸(熱伝導シートの厚さ方向)に対する窒化ホウ素の長手方向の角度を示し、窒化ホウ素の長手方向が熱伝導シートの厚さ方向(z軸)に沿っている場合は0°となり、直交する場合は90°となる。このOrientation Thetaのデータを用いて、窒化ホウ素の長手方向と熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度の角度分布を算出した。
(viii)これらの解析を、熱伝導シートの表面から深さ0.2mmの領域、及び熱伝導シートの深さ0.2mmより内部の領域で行った。
(ix)得られた角度分布から、角度分布のピーク位置、角度分布のピークの半値幅、窒化ホウ素の長手方向と熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度が所定範囲内にある窒化ホウ素の数、角度分布の標準偏差などを算出した。
得られた熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率を、レーザーフラッシュ法熱定数測定装置(NETZSCH社製「LFA447」)を用いて測定を行った。
得られた熱伝導シートの30%圧縮強度を、エー・アンド・ディ社製「RTG−1250」を用いて測定した。サンプル寸法を2mm×15mm×15mm、測定温度を23℃、圧縮速度を1mm/minとして測定を行った。
熱伝導シートを100mm×100mmの大きさに切断して、サンプルを作製した。室温下、得られたサンプルの上に剥離シート(PETフィルム(厚さ50μm)のエンボス加工品(PET原反:東レ株式会社製、エンボス加工:合同樹脂工業株式会社製、商品名「PG28N」))を密着させて24時間放置後、角度135°の状態を維持したままサンプルから剥離シートを剥離し、剥離シートの表面状態を評価した。
A:剥離シートの表面に剥がれたサンプルはなかった。
B:剥離シートの表面に剥がれたサンプルはあったが、剥離シートにおける剥がれたサンプルがあった部分の面積は30%未満であった。
C:剥離シートにおける剥がれたサンプルがあった部分の面積は30%以上であった。
100質量部の液状エラストマー、300質量部の窒化ホウ素、2.0質量部のアデカスタブCDA−1及び0.5質量部のノクラックWhiteからなる混合物を溶融混練後、プレスすることにより厚さ0.5mm、幅80mm、奥行き80mmのシート状の樹脂層を得た。次に積層工程として、得られた樹脂層を16等分して重ねあわせて総厚さ8mm、幅20mm、奥行き20mmの16層からなる積層体を得た。次いで、ワイヤソー(ジャパンファインスチール株式会社製、商品名「コアワイヤ」)を使用して、積層方向に平行にスライスし、厚さ2mm、幅8mm、奥行き20mmの熱伝導シートを得た。なお、積層体の積層方向が水平方向になるように積層体を設置し、ワイヤを上から下へ移動させることにより、積層体をスライスした積層体を構成する樹脂層の1層の厚みは0.5mm(500μm)であった。このスライスした積層体の両面に加速電圧525kVの電子線を600kGy照射してスライスした積層体を架橋して、実施例1の熱伝導シートを作製した。この熱伝導シートについて、窒化ホウ素の角度分布、熱伝導率、及び30%圧縮強度を測定し、剥離試験を行った。なお、ワイヤソーの条件は以下の通りである。評価結果を表1に示す。
<ワイヤソーの条件>
・使用したワイヤ:コアワイヤ(ジャパンファインスチール株式会社製。商品名「コアワイヤ」、材質:鉄鋼材、ワイヤ径:φ0.15mm)
・ワイヤ張力:50N
・熱伝導シートに対する押し付け力:20N
・ワイヤの上下運動の有無:なし
なお、ワイヤの上下運動が「有」の場合、ワイヤを上から下に移動させた後、さらに下から上に移動して積層体をスライスした。
積層体のスライスに使用したワイヤを0.15mmのワイヤ径のワイヤから0.25mmのワイヤ径のワイヤ(ジャパンファインスチール株式会社製、商品名「コアワイヤ」、材質:鉄鋼材)に変更した以外は、実施例1の熱伝導シートと同様な方法で、実施例2の熱伝導シートを作製した。この熱伝導シートの評価結果を表1に示す。
積層体のスライスに使用したワイヤを0.15mmのワイヤ径のワイヤから0.30mmのワイヤ径のワイヤ(ジャパンファインスチール株式会社製。商品名「コアワイヤ」、材質:鉄鋼材)に変更した以外は、実施例1の熱伝導シートと同様な方法で、実施例3の熱伝導シートを作製した。この熱伝導シートの評価結果を表1に示す。
ワイヤソーの上下運動を「なし」から「あり」に変更した以外は、実施例1の熱伝導シートと同様な方法で、実施例4の熱伝導シートを作製した。この熱伝導シートの評価結果を表1に示す。
積層体のスライスに使用したワイヤを0.15mmのワイヤ径のワイヤから0.30mmのワイヤ径のワイヤ(ジャパンファインスチール株式会社製、商品名「コアワイヤ」、材質:鉄鋼材)に変更し、ワイヤソーの上下運動を「なし」から「あり」に変更した以外は、実施例1の熱伝導シートと同様な方法で、実施例5の熱伝導シートを作製した。この熱伝導シートの評価結果を表1に示す。
積層体のスライスに使用したワイヤを0.15mmのワイヤ径のワイヤから0.10mmのワイヤ径のワイヤ(ジャパンファインスチール株式会社製、商品名「コアワイヤ」、材質:鉄鋼材)に変更した以外は、実施例1の熱伝導シートと同様な方法で、比較例1の熱伝導シートを作製した。この熱伝導シートの評価結果を表1に示す。
2 熱伝導性板状フィラー
3 マトリックス(樹脂)
10 積層体
11,12 熱伝導シートの表面
13,14 熱伝導シートの表面から深さ0.2mmの領域
15 熱伝導シートの深さ0.2mmより内部の領域
Claims (9)
- 熱伝導性板状フィラーを含む熱伝導シートであって、
前記熱伝導シートの厚さ方向に平行な断面において、前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度の角度分布を測定したとき、前記角度分布は+10〜+80°又は−10〜−80°の範囲内に角度分布のピークを有する、熱伝導シート。 - 前記熱伝導性板状フィラーの長手方向の平均長さが5μm以上であり、かつアスペクト比が5以上である、請求項1に記載の熱伝導シート。
- 前記角度分布のピークの半値幅が80°以下である、請求項1又は2に記載の熱伝導シート。
- プラス側の角度に前記角度分布のピークがある場合、前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの数に対して前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度がマイナスである熱伝導性板状フィラーの数の割合が30%未満であるか、又は、
マイナス側の角度に前記角度分布のピークがある場合、前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの数に対して前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度がプラスである熱伝導性板状フィラーの数の割合が30%未満である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の熱伝導シート。 - 前記熱伝導シートの厚さ方向に平行な断面において、前記熱伝導シートの深さ0.2mmより内部に存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度の角度分布を測定したとき、前記角度分布は−40〜+40°の範囲内に角度分布のピークを有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
- 前記熱伝導シートの表面から深さ0.2mmに存在する熱伝導性板状フィラーの長手方向と前記熱伝導シートの厚さ方向とのなす角度の角度分布の標準偏差が30以下である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
- 熱伝導率が6W/mK以上である請求項1〜6のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
- 30%圧縮強度が1300kPa以下である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
- 前記熱伝導シートにおける前記熱伝導性板状フィラーの含有量が40体積%以上である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の熱伝導シート。
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