JP2021146339A - 表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法 - Google Patents

表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】液滴を吐出するノズルを含む液滴吐出部と、液滴の落下時、液滴吐出部から落下する液滴の落下経路上に配置された仮想の任意の平面を設定し、この任意の平面に投影された液滴の外面の一部の形状、または、この任意の平面に投影された液滴の断面形状を感知する感知部と、感知部で感知された結果に基づいて、液滴の体積、液滴の落下速度、ノズルから液滴を吐出する吐出角度及びノズルから基板に移動する液滴の落下経路のうちの少なくとも１つを算出する制御部と、を含む。【選択図】図１sann

Description

本発明は、装置及び方法に係り、さらに詳細には、表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法に関する。
移動性を基盤とする電子機器が幅広く使用されている。移動用電子機器には、モバイルフォン(mobile phone;携帯電話端末またはスマートホンなど)といった小型電子機器以外にも、最近には、タブレットＰＣが広く使用されている。
そのような移動型電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージまたは映像といった視覚情報をユーザに提供するために表示装置を含む。最近、表示装置を駆動するためのその他の部品が小型化されることにより、表示部が電子機器で占める比重が徐々に増加しつつあり、平らな状態で所定の角度を有するように折り曲げられる構造も開発されている。
そのような表示装置を製造するために、多様な層を形成することができる。この際、多様な層のうち、少なくとも１つは、ヘッドを通じて液滴を基板に落として形成することができる。そのような場合、表示装置の精密なイメージ具現のためには、ヘッドを通じて、正確に液滴を所望の位置に供給する必要がある。
韓国特許第10-0975647号公報 特開2006-023275号公報 特開2018-532138号公報
一般に基板上に液滴を落とす場合、液滴の体積などを算出するために、基板に落下した後、液滴の体積を測定した。そのような場合、液滴の正確な体積を知ることができず、液滴の体積を測定するために別途の試験用テーブルまたはフィルムが必要なので、多くのスペース及び費用が必要である。本発明の実施例は、構造と費用を簡素化しつつ、液滴を正確に測定する表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法を提供する。
本発明の一実施例は、液滴を吐出するノズルを含む液滴吐出部と、前記液滴の落下時、前記液滴吐出部から落下する前記液滴の落下経路上に配置された仮想の任意の平面を設定し、この任意の平面に投影された前記液滴の外面の一部の形状、または、この任意の平面に投影された前記液滴の断面形状を感知する感知部と、前記感知部で感知された結果に基づいて、前記液滴の体積、前記液滴の落下速度、前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出角度、及び、前記ノズルから前記基板へと移動する前記液滴の落下経路のうちの少なくとも１つを算出する制御部と、を含む表示装置の製造装置を開示する。
本実施例において、前記感知部は、共焦点顕微鏡または共焦点センサーを含んでもよい。
本実施例において、前記感知部は、複数個備えられ、複数個の前記感知部は、前記液滴の落下経路に沿って互いに離隔して配列されうる。
本実施例において、前記複数個の感知部のうちの少なくとも１つに対応して配置され、前記感知部から放出されるレーザを折り曲げ、前記液滴に反射された光を折り曲げる反射部をさらに含んでもよい。
本実施例において、前記複数個の感知部のうちの一部は、前記液滴の外面の一部の形状を感知し、前記複数個の感知部のうちの他の一部は、任意の一面に対する前記液滴の断面形状を感知することができる。
本実施例において、前記感知部は、複数個備えられ、前記複数個の感知部のうちの一部と、前記複数個の感知部のうちの他の一部とは、前記液滴の移動経路を中心に互いに反対方向に配置されてもよい。
本実施例において、前記複数個の感知部のうち、一部は、前記液滴外面の一部形状を感知し、前記複数個の感知部のうち、他の一部は、任意の一の平面に対する前記液滴の断面形状を感知することができる。
本実施例において、前記制御部は、前記感知部で感知された前記液滴の外面の一部の形状を、前記液滴の落下経路を基準に回転させた、前記液滴の立体形状を算出し、前記液滴の立体形状に基づいて、前記液滴の体積を算出することができる。
本実施例において、前記感知部は、一定の時間間隔で前記液滴を感知し、前記制御部は、前記感知部で感知された前記液滴の中心を連結して、前記液滴の落下経路または前記液滴の吐出角度を算出することができる。
本実施例において、前記感知部は、前記液滴の落下方向に垂直な平面上で、落下する１つの前記液滴の外面の一部の形状を一定の時間間隔で感知することができる。
本実施例において、前記制御部は、前記感知部で感知された前記液滴の外面の一部の形状を、前記液滴の落下方向に対して垂直な平面上で、平面形状に変換し、前記液滴の平面形状に基づいて、前記液滴の３次元形状を算出することができる。
本実施例において、前記感知部は、１滴の前記液滴の落下時、一定の時間間隔で前記液滴を感知し、前記制御部は、一定時間の間における前記液滴の移動距離に基づいて、前記液滴の落下速度を算出することができる。
本実施例において、前記ノズルから吐出される液滴を収納する収納部をさらに含んでもよい。
本実施例において、前記感知部は、前記液滴の移動経路に対して垂直の方向を向くように配列されうる。
本発明の他の実施例は、液滴を吐出する段階と、落下する液滴の落下経路上にて任意の平面に投影された前記液滴の外面の一部の形状、及び、前記液滴の断面のうちの少なくとも１つを感知する段階と、感知された前記液滴の外面の一部の形状及び前記液滴の断面のうちの少なくとも１つに基づいて、前記液滴の体積、前記液滴の落下速度、前記液滴の落下経路及び前記液滴の吐出角度のうちの少なくとも１つを算出する段階と、を含む表示装置の製造方法を開示する。
本実施例において、前記液滴の外面の一部の形状、及び、前記液滴の断面のうちの少なくとも１つに基づいて、前記液滴の３次元形状を算出する段階をさらに含んでもよい。
本実施例において、前記液滴の３次元形状を一定の時間間隔で算出する段階をさらに含んでもよい。
本実施例において、互いに離隔された前記液滴の３次元形状の中心を連結して、前記液滴の吐出角度及び前記液滴の落下経路のうちの少なくとも１つを算出する段階をさらに含んでもよい。
本実施例において、前記液滴の落下経路に垂直な平面上における前記液滴の外面の一部の形状を感知する段階と、前記液滴の外面の一部の形状に基づいて、前記落下経路に垂直な平面上における前記液滴の断面形状を算出する段階と、をさらに含んでもよい。
本実施例において、前記落下経路に垂直な平面上における前記液滴の外面の一部の形状を一定の時間間隔で感知する段階をさらに含んでもよい。
本実施例において、一定の時間間隔で算出された前記液滴の断面形状に基づいて、前記液滴の３次元形状を算出する段階をさらに含んでもよい。
本実施例において、前記液滴の落下経路を含む一平面に投影された前記液滴の断面を感知する段階と、前記液滴の断面を、前記液滴の落下経路を基準に回転させて、前記液滴の３次元形状を算出する段階と、をさらに含んでもよい。
本実施例において、前記液滴の落下経路を含む平面上における前記液滴の外面の一部の形状を感知する段階と、前記液滴の外面の一部の形状に基づいて、前記落下経路を含む平面上における前記液滴の断面形状を算出する段階と、をさらに含んでもよい。
本実施例において、前記液滴の断面形状を、前記液滴の落下経路を基準に回転させて、前記液滴の３次元形状を算出する段階をさらに含んでもよい。
本発明のさらに他の実施例は、液滴を吐出する段階と、落下する液滴の落下経路上にて、任意の平面に投影された前記液滴の外面の一部の形状及び前記液滴の断面のうちの少なくとも１つを感知する段階と、感知された前記液滴の外面の一部の形状及び前記液滴の断面のうちの少なくとも１つに基づいて、前記液滴の体積、前記液滴の落下速度、前記液滴の落下経路及び前記液滴の吐出角度を算出する段階と、前記液滴の体積、前記液滴の落下速度、前記液滴の落下経路及び前記液滴の吐出角度のうちの少なくとも１つに基づいて、前記液滴の吐出量及び吐出速度のうちの少なくとも１つを制御する段階と、を含む、表示装置の製造方法を開示する。
前述したところ以外の他の側面、特徴、及び利点が、以下の図面、特許請求の範囲及び発明の詳細な説明から明確になるであろう。
そのような一般的で具体的な側面が、システム、方法、コンピュータプログラム、またはあるシステム、方法、コンピュータプログラムの組合わせを使用して実施されうる。
本発明の実施例に係わる表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法は、精密なイメージを具現可能な表示装置を製造することができる。
本発明の実施例に係わる表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法は、液滴をリアルタイムで正確かつ精密に測定することができる。
本発明の一実施例による表示装置の製造装置を示す斜視図である。 図１に図示された表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。 図２に図示された第１位置に配置された液滴の一部形状を示す正面図である。 図３Ａに図示された液滴の一部形状を通じて算出された液滴の３次元形状を示す斜視図である。 図２に図示された第２位置に配置された液滴の一部形状を示す正面図である。 図４Ａに図示された液滴の一部形状を通じて算出された液滴の３次元形状を示す斜視図である。 図２に図示された第３位置に配置された液滴の一部形状を示す正面図である。 図５Ａに図示された液滴の一部形状を通じて算出された液滴の３次元形状を示す斜視図である。 図２に図示された液滴吐出部から吐出された液滴の落下経路及びディスプレイ基板に着弾した地点を示す斜視図である。 本発明の他の実施例による表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。 図６に図示された液滴と感知部で測定する測定面の関係を示す斜視図である。 図６に図示された感知部を通じて感知された液滴の複数個の平面形状を示す斜視図である。 本発明のさらに他の実施例による表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。 図９に図示された感知部を通じて感知された液滴の断面形状を示す側面図である。 図９に図示された感知部を通じて感知された液滴の断面形状を示す側面図である。 図９に図示された感知部を通じて感知された液滴の断面形状を示す側面図である。 本発明のさらに他の実施例による表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。 本発明のさらに他の実施例による表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。 本発明のさらに他の実施例による表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。 本発明の実施例による表示装置の製造装置を通じて製造された表示装置を示す平面図である。 図１４に図示された表示装置を示す断面図である。
本発明は、多様な変換を加えて様々な実施例を有することができるところ、特定の実施例を図面に例示し、詳細な説明に詳しく説明する。本発明の効果及び特徴、そしてそれらを達成する方法は、図面と共に詳細に後述されている実施例を参照すれば、明確になるであろう。しかし、本発明は、後述する実施例に限定されるものではなく、多様な形態によっても具現される。
以下、添付された図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明し、図面を参照して説明するとき、同一であるか、対応する構成要素は、同一である図面符号を付し、これについての重複説明は省略する。
以下の実施例において、第１、第２などの用語は、限定的な意味ではなく１つの構成要素を他の構成要素と区別する目的として使用された。
以下の実施例において、単数表現は、文脈上、明白に異なって意味しない限り、複数の表現を含む。
以下の実施例において、「含む。」または「有する。」などの用語は、明細書上に記載された特徴、または構成要素が存在することを意味し、１つ以上の他の特徴、または構成要素が付け加えられる可能性を予め排除するものではない。
以下の実施例において、膜、領域、構成要素などの部分が他の部分の上にまたは上部にあるとするとき、他の部分の直上にある場合だけではなく、その中間に他の膜、領域、構成要素などが介在されている場合も含む。
図面では、説明の便宜上、構成要素がその大きさが誇張または縮小されうる。例えば、図面に示された各構成の大きさ及び厚さは、説明の便宜上、任意に示したものであって、本発明が必ずしも図示されたところに限定されない。
以下の実施例において、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、直交座標系上の３軸に限定されず、これを含む広い意味と解釈されてもよい。例えば、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、互いに直交してもよいが、互いに直交しない互いに異なる方向を指称してもよい。
ある実施例が異なって具現可能な場合に、特定の工程順序は、説明される順序と異なって行われてもよい。例えば、連続して説明される２つの工程が実質的に同時に行われてもよく、説明される手順と逆順に行われてもよい。
図１は、本発明の一実施例による表示装置の製造装置を示す斜視図である。図２は、図１に図示された表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。
図１及び図２を参考にすれば、表示装置の製造装置１００は、支持部１１０、ガントリー１２０、移動部１３０、液滴吐出部１４０、感知部１５０、収納部１６０、及び制御部１８０を含んでもよい。
支持部１１０は、ステージ１１１、ガイド部材１１２、基板移動部材１１３及び基板回転部材１１４を含んでもよい。
ステージ１１１は、ディスプレイ基板Ｓを整列するためのオンラインマーク（図示せず）を含んでもよい。
ここで、ディスプレイ基板Ｓは、製造中の表示装置でありうる。ディスプレイ基板Ｓは、ガラスであるか、ポリエーテルスルホン(polyethersulfone)、ポリアリレート(polyarylate)、ポリエーテルイミド(polyetherimide)、ポリエチレンナフタレート(polyethylene naphthalate)、ポリエチレンテレフタレート(polyethylene terephthalate)、ポリフェニレンスルフィド(polyphenylene sulfide)、ポリイミド(polyimide)、ポリカーボネート（ＰＣ）、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）、セルロースアセテートプロピオネート(cellulose acetate propionate)のような高分子樹脂を含んでもよい。
ガイド部材１１２は、基板移動部材１１３を挟んで両側に離隔して配置されうる。ガイド部材１１２の長さは、ディスプレイ基板Ｓのエッジ長よりもさらに長くいのでありうる。ここで、ガイド部材１１２の距離とディスプレイ基板Ｓのエッジ長は、図１のＹ方向に測定されうる。
ガイド部材１１２には、ガントリー１２０が配置されうる。一実施例において、ガイド部材１１２は、ガントリー１２０がガイド部材１１２の長手方向に沿って線形運動可能に一定のレールを含んでもよい。特に、ガイド部材１１２は、リニアモーションレール(Linear motion rail)を含んでもよい。
基板移動部材１１３は、ステージ１１１上に配置されうる。基板移動部材１１３は、ガイド部材１１２の長手方向に沿って延びうる。例えば、図１を参照すれば、基板移動部材１１３は、Ｙ方向に沿って延びうる。また、基板移動部材１１３は、基板回転部材１１４が線形移動可能にレールを含んでもよい。特に、基板移動部材１１３は、リニアモーションレール(Linear motion rail)を含んでもよい。
基板回転部材１１４は、基板移動部材１１３上で回転可能に配置されうる。基板回転部材１１４が回転されれば、基板回転部材１１４上に配置されたディスプレイ基板Ｓが回転されうる。一実施例において、基板回転部材１１４は、ディスプレイ基板Ｓが載置されるステージ１１１の一面に垂直な回転軸を中心に回転することができる。基板回転部材１１４は、ディスプレイ基板Ｓが載置されるステージ１１１の一面に垂直な回転軸を中心に回転すれば、基板回転部材１１４上に配置されたディスプレイ基板Ｓもディスプレイ基板Ｓが載置されるステージ１１１の一面に垂直な回転軸を中心に回転することができる。このような場合、基板回転部材１１４は、ディスプレイ基板Ｓが載置された後、ディスプレイ基板Ｓを固定させうる。例えば、基板回転部材１１４は、真空チャック、ＥＳＣチャック(静電チャック；electrostatic chuck)、または粘着チャックのうちの、１つを含んでもよい。
ガントリー１２０は、ガイド部材１１２上に配置されてもよい。すなわち、ガントリー１２０は、基板移動部材１１３を挟んで両側に離隔して配置されたガイド部材１１２上に配置されてもよい。
ガントリー１２０は、ガイド部材１１２の長手方向に沿って移動することができる。一実施例において、ガントリー１２０は、手動で線形運動するか、モータシリンダ（電動シリンダ；例えば、ステッピングモータやサーボモータと、ボールねじとを含む）などを備えて自動的に線形運動することができる。例えば、ガントリー１２０は、リニアモーションレールに沿って移動するリニアモーションブロック(Linear motion block)を含んで自動的に線形運動することができる。
移動部１３０は、ガントリー１２０上で線形運動することができる。例えば、ガントリー１２０は、移動部１３０が線形運動可能に一定のレールを含んでもよい。この際、液滴吐出部１４０は、移動部１３０上に配置され、移動部１３０の運動時に移動部１３０と共に移動しうる。
移動部１３０と液滴吐出部１４０は、多様な方式によって配置されうる。例えば、移動部１３０と液滴吐出部１４０は、それぞれ１つずつ備えられてもよい。そのような場合、液滴吐出部１４０は、１つのヘッドと、ヘッドに配置されて液滴ＤＲを吐出する少なくとも１つ以上のノズルとを含んでもよい。
他の例において、液滴吐出部１４０が複数個備えられ、移動部１３０は、１つが備えられてもよい。ここで、複数個の液滴吐出部１４０は、１つの移動部１３０上に配置されて、移動部１３０の運動によって同時に移動可能である。そのような場合、各液滴吐出部１４０は、少なくとも１つ以上のノズルを備えた少なくとも１つ以上のヘッドを含んでもよい。
さらに他の例において、移動部１３０と液滴吐出部１４０は、それぞれ複数個が備えられてもよい。ここで、１つの移動部１３０上には、１つの液滴吐出部１４０が配置されるというのであるか、または、１つの移動部１３０上には、複数個の液滴吐出部１４０のうちの、一部が配置され、他の移動部１３０上には、複数個の液滴吐出部１４０のうちの、他の一部が配置されるというのでもよい。
以下では、説明の便宜上、１つの移動部１３０に、１つの液滴吐出部１４０が配置される場合を中心に、詳細に説明する。
移動部１３０は、複数個を含んでもよい。そのような場合、移動部１３０の個数は、液滴吐出部１４０の個数に対応して配置されてもよい。例えば、移動部１３０は、第１移動部１３１、第２移動部１３２、及び第３移動部１３３を含んでもよい。
第１移動部１３１と第２移動部１３２との間の間隔は、第２移動部１３２と第３移動部１３３との間の間隔と同一となるように離隔して配置されうる。他の実施例において、第１移動部１３１と第２移動部１３２との間の間隔と、第２移動部１３２と第３移動部１３３との間の間隔は、互いに異なってもよい。前記のような場合、第１移動部１３１ないし第３移動部１３３は、互いに独立して運動することができる。
移動部１３０は、ガントリー１２０上で線形運動することができる。具体的に、移動部１３０は、ガントリー１２０の長手方向に沿って移動することができる。例えば、第１移動部１３１、第２移動部１３２、及び第３移動部１３３のうちの、少なくとも１つは、ｘ方向または−ｘ方向（ｘ方向の逆向き）に沿って移動することができる。
一実施例において、移動部１３０は、手動で線形運動することができる。他の実施例において、移動部１３０は、モータ、シリンダなどを備え、自動的な線形運動が可能である。例えば、移動部１３０は、リニアモーションレールに沿って移動するリニアモーションブロック(Linear motion block)を含んでもよい。
液滴吐出部１４０は、移動部１３０に配置されうる。例えば、第１液滴吐出部１４１は、第１移動部１３１に配置されうる。他の例で、第２液滴吐出部１４２は、第２移動部１３２に配置されうる。さらに他の例において、第３液滴吐出部１４３は、第３移動部１３３に配置されうる。
液滴吐出部１４０は、ディスプレイ基板Ｓまたは収納部１６０に液滴ＤＲを吐出することができる。ここで、液滴ＤＲは、液晶(Liquid Crystal)、配向液、または、溶媒に顔料粒子が混合された赤色、緑色、青色などのインクでありうる。他の実施例において、液滴ＤＲは、有機発光表示装置の発光層に該当する高分子または低分子有機物でありうる。さらに他の実施例として、液滴ＤＲは、量子ドットの材料といった無機物粒子を含む溶液を含んでもよい。
第１液滴吐出部１４１、第２液滴吐出部１４２、及び第３液滴吐出部１４３は、それぞれ独立して供給する液滴ＤＲの量が調節されうる。ここで、第１液滴吐出部１４１、第２液滴吐出部１４２、及び第３液滴吐出部１４３は、制御部１８０とそれぞれ電気的に連結される。したがって、第１液滴吐出部１４１、第２液滴吐出部１４２、及び第３液滴吐出部１４３は、制御部１８０によって、吐出される液滴ＤＲの量がそれぞれ調節されうる。前記のような場合、第１液滴吐出部１４０ないし第３液滴吐出部１４０のうちの、少なくとも１つは、１つの液滴ＤＲを吐出する少なくとも１つ以上のノズルを含んでもよい。そのような場合であって、ノズルが複数個備えられる場合、複数個のノズルのうちの、少なくとも１つのノズルは、図１５に図示された開口部１９ＯＰの内部に液滴ＤＲを提供することができる。例えば、１つのノズルが１つの開口部１９ＯＰの内部に液滴ＤＲを提供することができる。他の実施例として、少なくとも２個以上のノズルが１つの開口部１９ＯＰの内部に液滴ＤＲを提供することができる。
感知部１５０は、液滴吐出部１４０から吐出された液滴ＤＲの外面の一部の形状または任意の一面に対する液滴ＤＲの断面形状を測定することができる。このような感知部１５０は、多様な形態でありうる。例えば、感知部１５０は、共焦点顕微鏡(Confocal microscope)、干渉顕微鏡(Interferometric microscope)、または共焦点ラインセンサー(Chromatic confocal line sensor)を含んでもよい。ここで、共焦点顕微鏡(Confocal microscope)は、対象物について、互いに異なる深さに複数個の２次元イメージが得られ、それに基づいて、対象物の３次元構造を再構成する顕微鏡である。共焦点顕微鏡では、例えば、Chromatic Confocal Microscope, Chromatic Line Confocal Microscopeなどでありうる。干渉顕微鏡(Interferometric microscope)は、対象物の微細構造凹凸の変化、位相の変化などを観察して定量測定する顕微鏡である。干渉顕微鏡としては、例えば、レーザ干渉顕微鏡(Laser Interferometric Microscope)、白色光干渉顕微鏡(White light interferometric microscope)などでありうる。以下では、説明の便宜上、感知部１５０は、共焦点ラインセンサーを含む場合を中心に詳細に説明する。
一実施例として、感知部１５０は、１つが備えられて一回に複数個の液滴ＤＲを感知することができる。他の実施例として、感知部１５０は、複数個備えられ、１つの感知部１５０が１つの液滴吐出部１４０に対応して配置され、１つの液滴吐出部１４０から吐出される液滴ＤＲを感知することも可能である。他の実施例として、感知部１５０は、複数個備えられ、複数個の感知部１５０のうちの１つは、複数個の液滴吐出部１４０のうちの一部から吐出される、少なくとも１つ以上の液滴ＤＲを感知し、複数個の感知部１５０のうちの他の１つは、複数個の液滴吐出部１４０のうちの他の一部から吐出される、少なくとも１つ以上の液滴ＤＲを感知することも可能である。以下では、説明の便宜上、感知部１５０は、複数個備えられ、１つの感知部１５０が、１つの液滴吐出部１４０から吐出される液滴ＤＲを感知する場合を中心に、詳細に説明する。
一実施例として、感知部１５０は、ステージ１１１上に固定されるように配置されてもよい。そのような場合、感知部１５０は、複数個備えられ、各感知部１５０は、各液滴吐出部１４０に対応するように配列されうる。他の実施例として、感知部１５０は、図面に図示されていないが、ステージ１１１に摺動可能に配置されてもよい。そのような場合、感知部１５０の個数は、液滴吐出部１４０の個数以下でもあり、測定しようとする液滴吐出部１４０の位置に対応するように感知部１５０の位置が可変しうる。
収納部１６０は、ガイド部材１１２同士の間に配置されてもよい。ここで、収納部１６０は、液滴吐出部１４０から落下する液滴ＤＲを測定する場合、液滴ＤＲを一時的に保存することができる。そのような収納部１６０は、ステージ１１１上に配置されてもよい。他の実施例として、収納部１６０は、ステージ１１１の下面に配置されてもよい。そのような場合、ステージ１１１には、収納部１６０が配置された部分にホールが形成されうる。
制御部１８０は、感知部１５０で測定された結果に基づいて液滴ＤＲの３次元形状、液滴ＤＲの落下速度、液滴ＤＲの落下経路、及び液滴ＤＲの吐出角度のうちの、少なくとも１つを算出することができる。また、制御部１８０は、表示装置の製造装置１００の全体を制御することができる。
前記のような表示装置の製造装置１００は、液滴ＤＲをディスプレイ基板Ｓに供給してディスプレイ基板Ｓに有機物層を形成することができる。この際、表示装置の製造装置１００において、ディスプレイ基板Ｓに供給される液滴ＤＲを、ディスプレイ基板Ｓの各所定位置に正確な量となるように供給することが必要である。それを確認するために、各液滴吐出部１４０を収納部１６０に対応して配置した後、液滴ＤＲを収納部１６０に吐出しつつ、感知部１５０で液滴ＤＲを感知することができる。他の実施例として、各液滴吐出部１４０は、ディスプレイ基板Ｓに液滴ＤＲを吐出し、感知部１５０は、そのような液滴ＤＲを感知することも可能である。さらに他の実施例として、図面に図示されていないが、基板回転部１１４または収納部１６０が配置された部分にて、ディスプレイ基板Ｓと同じ形態を有するテスト基板（図示せず）が、別途に備えられる支持プレートなどに載置され、このテスト基板（図示せず）に、液滴吐出部１４０から液滴ＤＲを供給し、感知部１５０でそのような液滴ＤＲを感知するということも可能である。但し、以下では、説明の便宜上、液滴吐出部１４０は、液滴ＤＲを収納部１６０に吐出し、感知部１５０は、そのような液滴ＤＲを感知するという場合を中心に、詳細に説明する。
感知部１５０は、液滴吐出部１４０と収納部１６０との間の液滴ＤＲを感知することができる。そのような場合、感知部１５０は、液滴ＤＲの外面の一部の形状を感知することができる。例えば、感知部１５０は、液滴ＤＲの外面形状のうちの、図２のＸ−Ｚ平面に平行な第１平面ＳＦ１へと向かってレーザ光を照射し、そのようなレーザ光が液滴ＤＲに反射して戻ってくるところを感知することができる。
具体的に、液滴吐出部１４０から液滴ＤＲが落下すれば、液滴ＤＲは、それぞれの時間に応じて、位置が可変しうる。例えば、液滴吐出部１４０から落下した直後、第１時間が経過して第１位置ＰＯ１に配置された液滴ＤＲは、液滴吐出部１４０のノズルとの引力によって尾部が長く形成されうる。また、液滴吐出部１４０から落下した直後、第２時間が経過して第２位置ＰＯ２に配置された液滴ＤＲは、第１位置ＰＯ１に配置された液滴ＤＲよりも尾部がさらに縮まる。液滴吐出部１４０から落下した直後、第３時間が経過して第３位置ＰＯ３に配置された液滴ＤＲは、第２位置ＰＯ２に配置された液滴ＤＲよりも尾部がさらに縮まり、ほとんど球に近くなる。
感知部１５０は、前記のように第１時間、第２時間、及び第３時間において液滴ＤＲを感知することができる。この際、液滴ＤＲが液滴吐出部１４０からの落下開始時間の間の間隔、第１時間、第１時間と第２時間との間隔、及び第２時間と第３時間との間隔は、互いに同一でありうる。すなわち、感知部１５０は、一定時間間隔で液滴ＤＲを感知することで、落下する液滴ＤＲの位置を経時的に感知することができる。
前記のように感知された液滴ＤＲの外面の一部の形状を通じて制御部１８０は、液滴ＤＲの３次元形状を算出することができる。この際、制御部１８０は、液滴ＤＲの３次元形状に基づいて液滴ＤＲの体積を算出することができる。また、制御部１８０は、感知部１５０で感知された各時間による液滴ＤＲの位置に基づいて、液滴ＤＲの落下経路を算出することも可能である。制御部１８０は、液滴ＤＲの落下経路を、液滴ＤＲが最初に吐出される地点と連結し、液滴吐出部１４０のノズルの長手方向と落下経路が形成する角度を算出することで、液滴ＤＲの吐出角度を算出することも可能である。制御部１８０は、各時間による液滴ＤＲの位置に基づいて液滴ＤＲの速度を算出することも可能である。
制御部１８０が前記のような液滴ＤＲの体積、液滴ＤＲの落下経路、液滴ＤＲの吐出角度及び液滴ＤＲの吐出速度のうち、少なくとも１つに基づいて液滴吐出部１４０及び移動部１３０のうち、少なくとも１つを制御することができる。
例えば、液滴吐出部１４０から吐出される液滴ＤＲの量を調節するか、液滴ＤＲの吐出速度を調節することができる。また、移動部１３０を通じて液滴吐出部１４０の位置を可変させることで、液滴ＤＲの吐出角度及び液滴ＤＲの落下経路を可変して、液滴ＤＲがディスプレイ基板Ｓの正確な位置に着弾させうる。他の実施例として、液滴ＤＲの吐出角度、または液滴ＤＲの落下経路によって液滴吐出部１４０を洗浄するか、ディスプレイ基板Ｓの移動速度、または液滴吐出部１４０の移動速度を制御することができる。前記のような制御方法の詳細については、後述する。
したがって、表示装置の製造装置１００及び表示装置の製造方法は、ディスプレイ基板Ｓに正確な量の液滴ＤＲを正確な位置に供給することができる。
また、表示装置の製造装置１００及び表示装置の製造方法は、精密な表示装置を製造することができる。
以下では、前述した液滴ＤＲの落下経路、液滴ＤＲの落下速度、液滴ＤＲの吐出角度及び液滴ＤＲの体積を測定する方法について詳細に説明する。
図３Ａは、図２に図示された第１位置に配置された液滴についての一部の形状を示す正面図である。図３Ｂは、図３Ａに図示された液滴の一部の形状を通じて算出された液滴の３次元形状を示す斜視図である。以下、図１及び図２と同一である図面符号は、同一の部材を示す。
図３Ａ及び図３Ｂを参考にすれば、液滴ＤＲが液滴吐出部１４０から吐出され、第１時間に第１位置ＰＯ１に配置される場合、感知部１５０は、第１平面ＳＦ１に配置された第１位置ＰＯ１に配置された液滴ＤＲの断面のうち、外面の一部を感知することができる。この際、感知部１５０は、感知部１５０から放出されたレーザの色によって、到逹する距離が互いに異なるので、液滴ＤＲに衝突して反射されてくるレーザの波長を感知することで、感知部１５０から液滴ＤＲの外面までの距離を感知することができる。そのような場合、感知部１５０は、液滴ＤＲの落下経路に対して垂直の方向を向くように配列されうる。すなわち、感知部１５０は、液滴ＤＲの落下経路の側面（例えば、図３ＡのＸ軸方向）に配置されてもよい。
感知部１５０は、図３Ａに図示されように液滴ＤＲの落下経路を含むか、または、液滴ＤＲの落下経路に平行である、第１平面ＳＦ１に配置された液滴ＤＲの外面の一部を感知することができる。
制御部１８０は、感知部１５０で感知された結果に基づいて液滴ＤＲの３次元形状を算出することができる。具体的に、一実施例として、制御部１８０は、感知部１５０で感知された液滴ＤＲの外面の形状の一部における両端を互いに連結する線を中心線ＣＬと仮定してもよい。他の実施例として、中心線ＣＬは、液滴ＤＲが着弾するディスプレイ基板Ｓの一面に垂直な直線に対して平行な任意の直線でありうる。他の実施例として、中心線ＣＬは、液滴ＤＲの落下経路と同一であるか、液滴ＤＲの落下経路に平行でありうる。そのようである場合、液滴ＤＲの落下経路は、ディスプレイ基板Ｓの一面に垂直な直線と平行でありうる。
制御部１８０は、前記のような中心線ＣＬを基準に、液滴ＤＲの外面形状の一部を回転することで、液滴ＤＲの３次元形状を算出することができる。
制御部１８０は、前記のような液滴ＤＲの３次元形状を保存することができる。この際、制御部１８０は、液滴ＤＲの第１中心ＣＥ１を算出することも可能である。そのような場合、中心ＣＥ１は、液滴ＤＲの３次元形状の重心、３次元形状の幾何学的中心などでありうる。
前記のような場合、制御部１８０は、図２のＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸が出合う仮想の地点を基準点とした、図２のＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸上の液滴ＤＲの位置を算出することができる。例えば、制御部１８０は、液滴ＤＲが落下する液滴吐出部１４０のノズルの先端部の中心を基準点に設定し、前記で算出された液滴ＤＲの第１中心ＣＥ１と比べて、液滴ＤＲの第１中心ＣＥ１が、基準点からＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸に如何ほど動いたかについて確認可能である。そのような場合、制御部１８０は、Ｙ軸方向における、基準点から液滴ＤＲの第１中心ＣＥ１までの距離を算出することができる。また、感知部１５０で感知された結果に基づいて液滴ＤＲの第１中心ＣＥ１を算出した後、制御部１８０は、Ｘ軸方向における、液滴ＤＲの第１中心ＣＥ１と基準点との間の距離を算出することができる。また、制御部１８０は、Ｚ軸方向における、液滴ＤＲの第１中心ＣＥ１と基準点との間の距離を算出することができる。制御部１８０は、前記のような各距離を算出した後、基準点に対する、液滴ＤＲの第１中心ＣＥ１のＸ、Ｙ、Ｚ座標を算出して保存することができる。
図４Ａは、図２に示す第２位置ＰＯ２に配置された液滴についての一部の形状を示す正面図である。図４Ｂは、図４Ａに図示されたとおりの、液滴の一部の形状を用いて算出された、液滴の３次元形状を示す斜視図である。以下、図１及び図２と同一である図面符号は、同一の部材を示す。
図４Ａ及び図４Ｂを参考にすれば、液滴ＤＲが吐出された後、第２時間になると、液滴ＤＲは、第１位置ＰＯ１からさらに落下して第２位置ＰＯ２に配置されうる。感知部１５０は、第２位置ＰＯ２に配置された液滴ＤＲを感知することができる。この際、感知部１５０が感知する方法は、前記説明と同一でありうる。そのようである場合、感知部１５０が感知する液滴ＤＲについての表面の一部が映し出される第１平面ＳＦ１は、前記図３Ａ及び図３Ｂに図示された第１平面ＳＦ１と同じ平面であるか、または、これと平行な平面でありうる。
制御部１８０は、感知部１５０で感知された、第２位置ＰＯ２に配置された液滴ＤＲについての３次元形状を算出することができる。この際、液滴ＤＲの３次元形状を算出する方法は、前記説明と同一または類似のものでありうる。
第２位置ＰＯ２に配置された液滴ＤＲについての３次元形状を算出した後、制御部１８０は、第２位置ＰＯ２での液滴ＤＲの３次元形状を保存することができる。この際、液滴ＤＲの３次元形状の保存は、制御部１８０に連結され、別途に備えられた保存部（図示せず）を通じて保存されてもよい。また、制御部１８０は、前記で算出した液滴ＤＲの３次元形状から、第２位置ＰＯ２での液滴ＤＲの第２中心ＣＥ２を算出することができる。
前記のような場合、制御部１８０は、第２位置ＰＯ２での液滴ＤＲの第２中心ＣＥ２に対する基準点に係わる、Ｚ軸、Ｘ軸、及びＹ軸の方向への位置を算出することができる。特に、制御部１８０は、前記のような各距離を算出した後、基準点に係わる、液滴ＤＲの第２中心ＣＥ２のＸ、Ｙ、Ｚ座標を算出して保存することができる。このような算出方式は、前述した第１中心ＣＥ１の算出方式と類似したのもでありうるので、詳細な説明は、省略する。
図５Ａは、図２に示す第３位置に配置された液滴についての一部の形状を示す正面図である。図５Ｂは、図５Ａに図示されたとおりの、液滴の一部の形状を用いて算出された、液滴の３次元形状を示す斜視図である。図５Ｃは、図２に示す液滴吐出部から吐出された液滴についての落下経路及びディスプレイ基板への着弾地点を示す斜視図である。以下、図１及び図２と同一である図面符号は、同一の部材を示す。
図５Ａないし図５Ｃを参考にすれば、液滴ＤＲは、液滴吐出部１４０から吐出された後、第３時間になると、第３位置ＰＯ３に到逹することができる。この際、感知部１５０は、第３位置ＰＯ３に到逹した液滴ＤＲを感知することができる。感知部１５０が第３位置ＰＯ３での液滴ＤＲを感知する方法は、前記説明と同一または類似しているので、詳細な説明は省略する。このように感知するにあたり、感知部１５０は、第１平面ＳＦ１に映し出された液滴ＤＲの表面の一部を感知することができる。この際、第１平面ＳＦ１は、前述した図３Ａ及び図３Ｂ、図４Ａ及び図４Ｂに図示された第１平面と同じ平面であるか、または、平行な平面でありうる。
感知部１５０で感知された結果に基づいて制御部１８０は、第３位置ＰＯ３での液滴ＤＲの３次元形状を算出することができる。また、制御部１８０は、液滴ＤＲの３次元形状の中心を算出することができる。そのような場合、第３位置ＰＯ３での液滴ＤＲの３次元形状は、球とほぼ同一または類似したものでありうる。
前記のように第１位置ＰＯ１、第２位置ＰＯ２、及び第３位置ＰＯ３における液滴ＤＲの３次元形状を算出すれば、制御部１８０は、各位置で液滴ＤＲの体積を算出することができる。例えば、制御部１８０は、各位置での液滴ＤＲの平面形状における一部の端部を互いに連結した直線を、中心線ＣＬとして３次元形状を作り、そのような３次元形状の体積を算出することで、各位置での液滴ＤＲの体積を算出することができる。
また、制御部１８０は、各位置から他の位置に液滴ＤＲが移動する際、時間と、移動した距離（位置同士の間の距離）とに基づいて液滴ＤＲの落下速度を算出することができる。すなわち、制御部１８０は、Ｚ軸方向における、液滴吐出部１４０のノズルの先端部から第１位置ＰＯ１までの距離と、そのような距離を移動するのにかかる所要時間に基づいて、液滴ＤＲの落下速度を算出することができる。また、制御部１８０は、Ｚ軸方向における、第１位置ＰＯ１と第２位置Ｐ０２のとの間の距離と、第１位置Ｐ０１から第２位置ＰＯ２まで液滴ＤＲが落下した時間とによって、液滴ＤＲの落下速度を算出することができる。また、制御部１８０は、Ｚ軸方向における、第２位置ＰＯ２と第３位置Ｐ０３との間の距離と、第２位置Ｐ０２から第３位置ＰＯ３まで液滴ＤＲが落下した時間によって、液滴ＤＲの落下速度を算出することができる。制御部１８０が、前記のように算出された落下速度を算術平均し、液滴ＤＲの平均落下速度を算出することも可能である。
制御部１８０は、各位置での液滴ＤＲの中心を互いに連結して仮想の直線を作り、そのような直線と、液滴吐出部１４０の液滴ＤＲが吐出される地点とを連結することで、液滴ＤＲの落下経路を算出することも可能である。また、制御部１８０は、中心線ＣＬと液滴ＤＲの落下経路が形成する角度を、液滴ＤＲの吐出角度と判断し、そのような角度を計算することで、液滴ＤＲの吐出角度を算出することができる。他の実施例として、制御部１８０は、液滴ＤＲが吐出される液滴吐出部１４０のノズルの先端面に垂直な任意の直線と、液滴ＤＲの落下経路との間の角度を、液滴ＤＲの吐出角度と判断することも可能である。
前記のような場合、制御部１８０は、液滴吐出部１４０における液滴ＤＲの吐出角度と、液滴ＤＲの経路を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にて、それぞれ算出することができる。例えば、前述したように、液滴ＤＲの第１中心ＣＥ１、第２中心ＣＥ２、及び第３中心ＣＥ３のそれぞれの位置に基づいて、制御部１８０は、Ｘ軸方向またはＹ軸方向へと、液滴吐出部１４０のノズル端から、液滴ＤＲがＸ軸方向またはＹ軸方向に吐出される角度を算出することができる。特に、制御部１８０は、前述したように基準点に対する液滴ＤＲのＸ、Ｙ軸座標を互いに連結することで、液滴ＤＲの吐出角度と液滴ＤＲの落下経路を算出することができる。
制御部１８０は、前記のような過程を通じて液滴ＤＲの３次元形状、液滴ＤＲの体積、液滴ＤＲの落下速度、液滴ＤＲの落下経路及び液滴ＤＲの吐出角度のうちの、少なくとも１つを算出することができる。
以後、制御部１８０は、前述したように前記のような内容に基づいて液滴吐出部を精密に制御することができる。
１つのノズルを通じて画素区画膜１９の１つの開口部１９ＯＰに液滴ＤＲを供給する場合、制御部１８０は、測定された液滴ＤＲの体積と既設定の設定体積を比較することができる。測定された液滴ＤＲの体積が設定体積未満であると判断されれば、制御部１８０は、液滴吐出部１４０から吐出する液滴ＤＲの量を以前よりも増加させるように、液滴吐出部１４０を制御することができる。一方、測定された液滴ＤＲの体積が設定体積を超過したと判断されれば、制御部１８０は、液滴吐出部１４０から吐出される液滴ＤＲの量を以前よりも減少させるように液滴吐出部１４０を制御することができる。また、測定された液滴ＤＲの体積が設定体積と同一であれば、制御部１８０は、現状を維持するように、液滴吐出部１４０を制御することができる。この際、既設定の設定体積は、画素区画膜１９の１つの開口部１９ＯＰに供給されなければならない液滴ＤＲの総量である場合、測定された液滴ＤＲの量を基準に、液滴吐出部１４０から液滴ＤＲを吐出する時間を調節することも可能である。
一方、少なくとも２個以上のノズルを通じて画素区画膜１９の１つの開口部１９ＯＰに液滴ＤＲを供給する場合、制御部１８０は、各ノズルから吐出される液滴ＤＲの体積を算出することができる。そのような場合、制御部１８０は、画素区画膜１９の１つの開口部１９ＯＰに供給されなければならない既設定の液滴ＤＲの総量である設定体積に対応するように、少なくとも２個以上のノズルのうち、少なくとも１つ以上のノズルを通じて液滴ＤＲを提供するように制御することができる。例えば、制御部１８０は、既設定の液滴ＤＲの総量に対応するように、少なくとも２個以上のノズルのうちの１つのノズルから吐出される液滴ＤＲの体積を、前述したところと対応するように調節し、他のノズルの作動は中止させうる。他の実施例として、制御部１８０は、既設定の液滴ＤＲの総量に対応されるように少なくとも２個以上のノズルから吐出される液滴ＤＲの体積をそれぞれ制御することも可能である。さらに他の実施例として、既設定の液滴ＤＲの総量に対応して、３個以上のノズルのうち、一部だけ作動させ、他の一部は作動させなくともよい。例えば、画素区画膜１９の１つの開口部１９ＯＰに３個のノズルが液滴ＤＲを提供するとき、画素区画膜１９の１つの開口部１９ＯＰに供給されなければならない既設定の液滴ＤＲの総量が２０ｍｍ3であって、３個のノズルのうちの１つから吐出される液滴の量が９ｍｍ3であり、３個のノズルのうちの他の１つから吐出される液滴ＤＲの量が１０ｍｍ3であり、３個のノズルのうちの、さらに他の１つから吐出される液滴ＤＲの量が１１ｍｍ3であるという場合、３個のノズルのうちの１つと、３個のノズルのうちの、さらに他の１つとを作動させ、３個のノズルのうちの他の１つは作動させなくともよい。前記のようにすることで、画素区画膜１９の各開口部１９ＯＰに既設定の量の液滴ＤＲを正確に提供することができる。他の実施例として、複数個のノズルを使用する場合、各ノズルから液滴ＤＲを吐出する時間を互いに異ならせて制御することで、画素区画膜１９の１つの開口部１９ＯＰに供給されなければならない液滴ＤＲの総量を、既設定の値と一致させることも可能である。
制御部１８０は、算出された液滴ＤＲの落下速度（または、平均落下速度）と既設定の設定速度を比較することができる。この際、制御部１８０は、前記のような落下速度に基づいて、ディスプレイ基板Ｓの移送速度または液滴吐出部１４０の移動速度を制御することができる。例えば、算出された液滴ＤＲの落下速度（または、平均落下速度）が既設定の設定速度未満である場合、制御部１８０は、液滴吐出部１４０がディスプレイ基板Ｓに液滴ＤＲを吐出する工程を行う際に、ディスプレイ基板Ｓの移送速度または液滴吐出部１４０の移動速度を、既設定の設定移動速度よりも速くなるように制御することができる。一方、算出された液滴ＤＲの落下速度（または、平均落下速度）が既設定の設定速度を超過する場合、制御部１８０は、液滴吐出部１４０がディスプレイ基板Ｓに液滴ＤＲを吐出する工程を行う際に、ディスプレイ基板Ｓの移動速度または液滴吐出部１４０の移送速度を既設定の設定移動速度よりも遅くなるように制御することができる。したがって、前記のような過程を通じて液滴ＤＲを正確な位置に吐出することが可能である。
液滴ＤＲをディスプレイ基板Ｓに吐出して、画素区画膜１９の開口部１９ＯＰに液滴ＤＲを供給する場合、ディスプレイ基板Ｓまたは液滴吐出部１４０を移動させうる。この際、制御部１８０は、前記のように液滴ＤＲの落下経路と既設定の落下経路とを比較して、ディスプレイ基板Ｓまたは液滴吐出部１４０の移動を制御することができる。
具体的に、制御部１８０は、液滴ＤＲの落下経路と既設定の落下経路とを比較することができる。この際、制御部１８０は、液滴ＤＲの落下経路のうち、ディスプレイ基板Ｓまたは液滴吐出部１４０の移動方向の落下経路を算出することができる。前記のような落下経路に基づいて制御部１８０は、ディスプレイ基板Ｓに液滴ＤＲが着弾される地点を算出することができる。特に、制御部１８０は、前記で算出されたディスプレイ基板Ｓ上の液滴ＤＲの着弾地点が、既設定の設定地点Ｄ0を通りつつ、ディスプレイ基板Ｓまたは液滴吐出部１４０の移動方向（例えば、図５ＣのＹ軸方向）と平行である、任意の直線上に配置されるか否かを判断することができる。
算出された液滴ＤＲの着弾地点が前記任意の直線に配置されていると判断されれば、制御部１８０は、算出された液滴ＤＲの着弾地点を既設定の設定地点Ｄ0と比較することができる。例えば、制御部１８０で算出された液滴ＤＲの着弾地点が図５Ｃに図示された第１着弾地点Ｄ1である場合、制御部１８０は、ディスプレイ基板Ｓまたは液滴吐出部１４０の移動速度を、既設定の設定移動速度よりも遅くすることができる。一方、算出された液滴ＤＲの着弾地点が図５に図示された第２着弾地点Ｄ2である場合、制御部１８０は、ディスプレイ基板Ｓまたは液滴吐出部１４０の移動速度を既設定の設定移動速度よりも速くすることができる。
算出された液滴ＤＲの着弾地点が前記の任意の直線に配置されていないと判断されれば、制御部１８０は、液滴吐出部１４０を洗浄させうる。例えば、算出された液滴ＤＲの着弾地点が、図５Ｃに図示された第３着弾地点Ｄ3及び第４着弾地点Ｄ4である場合、制御部１８０は、液滴吐出部１４０を洗浄させうる。他の実施例として、算出される液滴ＤＲの着弾地点が、前記の任意の直線上に配置されるように、制御部１８０は、液滴吐出部１４０の位置について、移動部１３０を制御して調節することができる。
制御部１８０は、算出された液滴ＤＲの吐出角度と、既設定の設定吐出角度とを比較することができる。この際、制御部１８０は、算出された液滴ＤＲの吐出角度を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に、それぞれ算出することができる。前記のような場合、算出された液滴ＤＲの吐出角度が、ディスプレイ基板Ｓまたは液滴吐出部１４０の移動方向ではない方向である、図５ＣのＸ軸方向に、所定の値を超える角度を有する場合、制御部１８０は、液滴吐出部１４０を洗浄するように制御することができる。この際、液滴吐出部１４０の洗浄方法は、図示されていないが、ブラシを用いる方式、または洗浄液が収容されたタンクから洗浄液を噴射する方式などを通じて洗浄されうる。
算出された液滴ＤＲの吐出角度が、ディスプレイ基板Ｓまたは液滴吐出部１４０の移動方向ではない方向である図５ＣのＸ軸方向に、所定の値を超える角度を有さない場合、制御部１８０は、ディスプレイ基板Ｓまたは液滴吐出部１４０の移動方向である、図５ＣのＹ軸方向にて算出された液滴ＤＲの吐出角度を、既設定の設定角度と比較することができる。そのような場合、算出された液滴ＤＲの吐出角度が、図５Ｃに図示された第１吐出角度θ1を有する場合、制御部１８０は、ディスプレイ基板Ｓの移動速度または液滴吐出部１４０の移動速度が、既設定の設定移動速度よりも遅くなるように制御することができる。一方、算出された液滴ＤＲの吐出角度が、図５Ｃに図示された第２吐出角度θ2を有する場合、制御部１８０は、ディスプレイ基板Ｓの移動速度または液滴吐出部１４０の移動速度が、既設定の設定移動速度よりも速くなるように制御することができる。したがって、前記のような制御を通じて、液滴ＤＲの吐出角度に応じて液滴ＤＲを、ディスプレイ基板Ｓの正確な位置に着弾させることが可能である。
前記のような制御は、個別的に行われても、複合的に行われてもよい。すなわち、制御部１８０は、液滴ＤＲの３次元形状、液滴ＤＲの体積、液滴ＤＲの落下速度、液滴ＤＲの落下経路及び液滴ＤＲの吐出角度のうちの、少なくとも２つ以上が、既設定の値と互いに異なる場合、前記表示装置の製造装置の各構成要素を複合的に制御することで、液滴ＤＲをディスプレイ基板Ｓ上の正確な位置に着弾させることが可能である。
図６は、本発明の他の実施例による表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。図７は、図６に図示された液滴と、感知部で測定する測定面との関係を示す斜視図である。図８は、図６に図示された感知部を通じて感知された液滴についての、複数個のスライス平面の形状を示す斜視図である。
図６ないし図８を参考にすれば、表示装置の製造装置１００は、前記図１及び図２で説明したところと類似している。ここで、感知部１５０は、共焦点ラインセンサーを含んでもよい。
感知部１５０は、液滴ＤＲの落下経路に垂直な任意の第２平面（ＳＦ２、例えば、図６のＸ−Ｙ平面に平行な平面）にレーザを照射し、反射されてくるレーザを通じて、液滴ＤＲのスライス平面の形状の一部を感知することができる。そのような場合、感知部１５０で感知された結果に基づいて、制御部１８０は、液滴ＤＲの落下経路に垂直な任意の第２平面ＳＦ２を通過するとき、第２平面ＳＦ２と液滴ＤＲとが互いに重なり合う部分（スライス平面）の形状を算出することができる。
具体的に、感知部１５０でレーザを液滴ＤＲに照射すれば、液滴ＤＲに衝突したレーザは、再び感知部１５０に戻り、戻ってきたレーザの波長を感知部１５０で感知することができる。制御部１８０は、感知部１５０で感知された結果を分析して、液滴ＤＲの外面形状一部ＤＲ−１Ａを算出することができる。そのような制御部１８０は、液滴ＤＲの外面形状の一部ＤＲ−１Ａを、液滴ＤＲが第２平面ＳＦ２と重なり合う液滴ＤＲについての全体のスライス平面形状ＤＲ−１Ｂの半分であると判断することができる。したがって、制御部１８０は、液滴ＤＲの外面形状の一部ＤＲ−１Ａを用いて、第２平面ＳＦ２と重なり合う液滴ＤＲの全体の平面形状ＤＲ−１Ｂを算出することができる。
前記のように算出された、第２平面ＳＦ２と重なり合う液滴ＤＲについての全体のスライス平面形状ＤＲ−１Ｂは、経時的に感知部１５０が一定の時間間隔で測定されうる。例えば、感知部１５０は、液滴ＤＲが吐出された後、一定時間が経過すれば、一定の時間間隔でレーザを放出して、液滴ＤＲの第２平面ＳＦ２での形状を順次に感知することができる。
感知した結果は、制御部１８０に伝送され、制御部１８０は、経時的な第２平面ＳＦ２における液滴ＤＲのスライス平面形状を順次に積層することができる。例えば、制御部１８０は、図８のように時間間隔によって液滴ＤＲの第１平面形状ＤＲ−１ないし第Ｎ平面形状（ここで、Ｎは、自然数）を積層することができる。
制御部１８０は、図８のようにＮ個の、液滴ＤＲのスライス平面形状が積層されれば、液滴ＤＲのスライス平面形状の外面（周縁）を互いに連結し、液滴ＤＲの３次元形状を算出することができる。制御部１８０は、液滴ＤＲの３次元形状の算出が完了すれば、液滴ＤＲの体積を算出することができる。
前記のように算出された液滴ＤＲの体積に基づいて制御部１８０は、液滴吐出部１４０から吐出する液滴ＤＲの量を制御することができる。または、算出された液滴ＤＲの体積に基づいて、制御部１８０は、液滴吐出部１４０の少なくとも２個以上のノズルのうち、作動させねばならないノズルを決定することも可能である。また、制御部１８０は、液滴吐出部１４０の吐出速度を調節することで、以後のディスプレイ基板Ｓに着弾される液滴ＤＲの全体量を制御することも可能である。
したがって、表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法は、ディスプレイ基板Ｓに供給される液滴ＤＲを調節することができる。
図９は、本発明のさらに他の実施例による表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。図１０Ａないし図１０Ｃは、図９に図示された感知部を通じて感知された液滴の断面形状を示す側面図である。
図９ないし図１０Ｃを参考にすれば、表示装置の製造装置（図示せず）は、図１及び図２で説明したところと類似している。
感知部１５０は、共焦点顕微鏡または干渉顕微鏡を含みうる。そのような場合、感知部１５０は、落下する液滴ＤＲについての第３平面ＳＦ３（例えば、図９のＸ−Ｚ平面に平行な平面）に投影された平面形状を感知することができる。すなわち、感知部１５０は、第３平面ＳＦ３に配置された、液滴ＤＲの断面形状を感知することができる。ここで、液滴ＤＲの落下経路に応じて、第３平面ＳＦ３の位置は、同一であるか、互いに平行でありうる。
感知部１５０は、図１０Ａないし図１０Ｃに図示されたように液滴ＤＲの第１位置ＰＯ１、第２位置ＰＯ２及び第３位置ＰＯ３のそれぞれにて、液滴ＤＲの断面形状を感知することができる。そのような場合、感知部１５０は、一定の時間間隔で作動することで、各位置にて液滴ＤＲの位置を別個に感知することができる。他の実施例として、感知部１５０は、持続的に液滴ＤＲの断面形状を感知することも可能である。
制御部１８０は、各位置において、感知部１５０で感知された液滴ＤＲの断面形状に基づいて液滴ＤＲの３次元形状を算出することができる。この際、制御部１８０は、液滴ＤＲの形状を回転体の形状と仮定する。また、制御部１８０は、各位置での液滴ＤＲの断面形状を通過しつつ、ディスプレイ基板Ｓの上面に対して垂直な直線に平行である、任意の直線を中心線ＣＬと仮定することができる。他の実施例として、制御部１８０は、液滴ＤＲの落下経路を中心線ＣＬと仮定することも可能である。
制御部１８０は、前記のような中心線ＣＬを基準に、液滴ＤＲの断面形状を回転させることができる。制御部１８０は、回転して作られた液滴ＤＲの形状を、液滴ＤＲの３次元形状と判断する。
制御部１８０は、前記のような作業を、第１位置ＰＯ１、第２位置ＰＯ２及び第３位置ＰＯ３にて、それぞれ遂行することができる。また、制御部１８０は、第１位置ＰＯ１ないし第３位置ＰＯ３に液滴ＤＲが配置される際に、液滴ＤＲの中心（図示せず）を算出することができる。ここで、液滴ＤＲの中心を算出する方法は、前記図３Ａないし図５Ｂでの説明と同一または類似しているので、詳細な説明は省略する。
前記のように、各位置において液滴ＤＲの位置、液滴ＤＲの３次元形状、液滴ＤＲの中心が決定されれば、制御部１８０は、液滴ＤＲの体積、液滴ＤＲの落下経路、液滴ＤＲの落下速度、及び液滴ＤＲの吐出角度のうちの、少なくとも１つを算出することができる。この際、制御部１８０が液滴ＤＲの体積、液滴ＤＲの落下経路、液滴ＤＲの落下速度、及び液滴ＤＲの吐出角度のうち、少なくとも１つを算出する方法は、前記説明と同一または類似しているので、詳細な説明は省略する。
制御部１８０は、前記のように算出された液滴ＤＲの体積、液滴ＤＲの落下経路、液滴ＤＲの落下速度、及び液滴ＤＲの吐出角度のうち、少なくとも１つに基づいて液滴吐出部４０または、ディスプレイ基板Ｓの移動速度を制御することができる。
具体的に、算出された液滴ＤＲの体積が既設定の設定体積を超過すると判断されれば、制御部１８０は、液滴吐出部１４０で吐出される液滴ＤＲの量を減らすことで、同一時間内にディスプレイ基板Ｓ上に着弾される量を減らすことができる。一方、算出された液滴ＤＲの体積が既設定の設定体積以下であると判断されれば、制御部１８０は、液滴吐出部１４０から吐出される液滴ＤＲの量を増やすことで、同一時間内に、ディスプレイ基板Ｓに着弾される液滴ＤＲの量を増やすことができる。他の実施例として、算出された液滴ＤＲの体積と画素区画膜１９の１つの開口部１９ＯＰに供給せねばならない液滴ＤＲの総量を比較して、液滴吐出部１４０から液滴ＤＲが吐出される時間を調節することも可能である。さらに他の実施例として、少なくとも２個以上のノズルを通じて画素区画膜１９の１つの開口部１９ＯＰに液滴ＤＲを供給する場合、前述したように各ノズルから供給される液滴ＤＲの体積を調節するか、、複数個のノズルのうちの一部のノズルのみを介して液滴ＤＲを供給するか、または、各ノズルでの液滴ＤＲ供給時間などを制御することができる。
制御部１８０は、液滴ＤＲの落下経路や液滴ＤＲの吐出角度を測定した後、液滴ＤＲがディスプレイ基板Ｓに着弾される地点を算出して液滴吐出部１４０の位置を調整することも可能である。他の実施例として、制御部１８０は、液滴ＤＲの落下経路や液滴ＤＲの吐出角度を通じて、前述したようにディスプレイ基板Ｓの移動速度または液滴吐出部１４０の移動速度を制御するか、液滴吐出部１４０の洗浄を遂行するように制御することができる。
したがって、表示装置の製造装置１００及び表示装置の製造方法は、液滴ＤＲを精密に制御して吐出可能なので、ディスプレイ基板Ｓの正確な位置に精密に液滴を供給することができる。
図１１は、本発明のさらに他の実施例による表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。
図１１を参考にすれば、表示装置の製造装置１００は、図１及び図２で説明したところと類似するのでありうる。
感知部１５０は、複数個備えられてもよい。この際、複数個の感知部１５０は、多様な方向を向くように配列されうる。例えば、複数個の感知部１５０のうちの１つは、液滴ＤＲの落下経路に対して垂直の方向を向くように配列されうる。複数個の感知部１５０のうちの他の１つは、液滴ＤＲの落下経路に対して平行の方向を向くように配列されうる。
すなわち、複数個の感知部１５０は、中央に配置される第１感知部１５０Ａ、第１感知部１５０Ａから離隔して配置された第２感知部１５０Ｂ及び第３感知部１５０Ｃを含んでもよい。この際、第２感知部１５０Ｂと第３感知部１５０Ｃは、互いに対向して配置されてもよい。
表示装置の製造装置１００は、第２感知部１５０Ｂ及び第３感知部１５０Ｃにそれぞれ対応して配置された第２反射部１７０Ｂ及び第３反射部１７０Ｃを含みうる。ここで、第２反射部１７０Ｂ及び第３反射部１７０Ｃは、それぞれ第２感知部１５０Ｂ及び第３感知部１５０Ｃから放出されたレーザを反射させ、また、液滴ＤＲによって反射されたレーザを、それぞれ第２感知部１５０Ｂ及び第３感知部１５０Ｃに案内することができる。このような第２反射部１７０Ｂ及び第３反射部１７０Ｃは、ミラー(Mirror)状でありうる。
第１感知部１５０Ａ、第２感知部１５０Ｂ、及び第３感知部１５０Ｃは、互いに異なる位置で液滴ＤＲを感知することができる。例えば、第１感知部１５０Ａは、第２位置ＰＯ２に液滴ＤＲが配置される際に、液滴ＤＲを感知することができる。第２感知部１５０Ｂは、第１位置ＰＯ１に液滴ＤＲが配置される際に、液滴ＤＲを感知することができる。第３感知部１５０Ｃは、第３位置ＰＯ３に液滴ＤＲが配置される際に、液滴ＤＲを感知することができる。
前記のような第１感知部１５０Ａないし第３感知部１５０Ｃは、共焦点顕微鏡(Confocal microscope)、干渉顕微鏡(Interferometric microscope)または共焦点ラインセンサー(Chromatic confocal line sensor)のうちの１つを含みうる。他の実施例として、第１感知部１５０Ａないし第３感知部１５０Ｃのうちの少なくとも１つは、共焦点顕微鏡(Confocal microscope)、干渉顕微鏡(Interferometric microscope)または共焦点ラインセンサー(Chromatic confocal line sensor)のうちの１つを含み、第１感知部１５０Ａないし第３感知部１５０Ｃのうちの残りのものは、共焦点顕微鏡(Confocal microscope)、干渉顕微鏡(Interferometric microscope)または共焦点ラインセンサー(Chromatic confocal line sensor)のうちの他の１つを含むのでありうる。さらに他の実施例として、第１感知部１５０Ａないし第３感知部１５０Ｃは、共焦点顕微鏡(Confocal microscope)、干渉顕微鏡(Interferometric microscope)または共焦点ラインセンサー(Chromatic confocal line sensor)のうちの、互いに異なる装置を含むのでありうる。
前記のような第１感知部１５０Ａないし第３感知部１５０Ｃは、第１ないし第３の各位置（高さ区間）にて、任意の平面に投影された、液滴ＤＲの平面形状の一部または液滴ＤＲの断面形状を感知することができる。そのような場合、各感知部で感知された結果に基づいて、制御部（図示せず）は、各位置における液滴ＤＲの３次元形状を算出することができる。このことを通じて、前記制御部は、液滴ＤＲの体積を算出することができる。また、前記制御部は、第１ないし第３の各位置の高さ区間における液滴ＤＲの中心の位置の把握に基づいて、液滴ＤＲの落下経路、液滴ＤＲの落下速度、液滴ＤＲの吐出角度のうちの少なくとも１つを算出することができる。
したがって、表示装置の製造装置１００及び表示装置の製造方法は、液滴ＤＲを精密に制御して吐出することが可能なので、ディスプレイ基板Ｓの正確な位置に、精密に液滴を供給することができる。
図１２は、本発明のさらに他の実施例による表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。
図１２を参考にすれば、表示装置の製造装置（図示せず）は、図１１に図示されたところと類似するのでありうる。
感知部１５０は、第１感知部１５０Ａ、第２感知部１５０Ｂ、及び第３感知部１５０Ｃの他に、液滴ＤＲの落下経路に対して傾斜して配列される、第４感知部１５０Ｄと第５感知部１５０Ｅを含みうる。そのような場合、第４感知部１５０Ｄ及び第５感知部１５０Ｅは、第４反射部１７０Ｄ及び第５反射部１７０Ｅに対応して配置されて、液滴ＤＲの落下経路にレーザを照射することができる。
前記のような場合、第１感知部１５０Ａないし第５感知部１５０Ｅは、互いに異なる高さにて感知を行うように配列されうる。例えば、第１感知部１５０Ａないし第５感知部１５０Ｅの感知箇所は、液滴吐出部１４０と収納部１６０との間に、互いに離隔して配列されうる。ここで、第１感知部１５０Ａないし第５感知部１５０Ｅは、液滴吐出部１４０と収納部１６０との間を上下方向に複数個の空間（高さ区間）に分けた場合の、それぞれの空間（高さ区間）を通過する液滴ＤＲを感知することができる。
前記のような第１感知部１５０Ａないし第５感知部１５０Ｅのうちの少なくとも１つは、前述したところのように共焦点ラインセンサー、共焦点顕微鏡、及び干渉顕微鏡のうちの少なくとも１つを含みうる。
前記のような場合、第１感知部１５０Ａないし第５感知部１５０Ｅは、それぞれ、各位置（各高さ区間）における、任意の平面に投影された、液滴ＤＲの平面形状の一部または液滴ＤＲの断面形状のうちの少なくとも１つを感知することができる。
感知された結果に基づいて、制御部１８０は、各位置（各高さ区間）での液滴ＤＲの３次元形状を算出し、各位置での液滴ＤＲの体積を算出することができる。
また、制御部１８０は、各液滴ＤＲの３次元形状の中心を算出し、各液滴ＤＲの落下速度、液滴ＤＲの落下経路、及び液滴ＤＲの吐出角度のうちの少なくとも１つを算出することができる。
このように算出された液滴ＤＲの体積、液滴ＤＲの落下速度、液滴ＤＲの落下経路、及び液滴ＤＲの吐出角度のうちの、少なくとも１つに基づいて、制御部１８０は、ディスプレイ基板（図示せず）に液滴吐出部１４０でもって液滴ＤＲを供給する際に、精密に着弾されるように液滴吐出部１４０の吐出の動作を調節することができる。
したがって、表示装置の製造装置１００及び表示装置の製造方法は、液滴ＤＲを精密に制御して吐出可能なので、ディスプレイ基板Ｓの正確な位置に、精密に液滴を供給することができる。
図１３は、本発明のさらに他の実施例による、表示装置の製造装置の一部を示す斜視図である。
図１３を参考にすれば、表示装置の製造装置（図示せず）は、図１２で説明したところと類似するのでありうる。
ここで、感知部１５０は複数個備えられ、複数個の感知部１５０は、第１感知部１５０Ａ、第２感知部１５０Ｂ、第３感知部１５０Ｃ、第４感知部１５０Ｄ、第５感知部１５０Ｅ、第６感知部１５０Ｆを含みうる。そのような場合、第１感知部１５０Ａないし第３感知部１５０Ｃは、前記図１０のところで説明したのと同様に配列されうる。第４感知部１５０Ｄは、第１感知部１５０Ａと対向して配置され、第５感知部１５０Ｅは、第２感知部１５０Ｂに対向して配置され、第６感知部１５０Ｆは、第３感知部１５０Ｃに対向して配置されるのでありうる。ここで、第１感知部１５０Ａと第４感知部１５０Ｄは、同一領域（同一の高さ区間）を通過する液滴ＤＲを感知することができる。また、第２感知部１５０Ｂと第５感知部１５０Ｅは、同一領域（同一の高さ区間）を通過する液滴ＤＲを感知し、第３感知部１５０Ｃと第６感知部１５０Ｆは、同一領域（同一の高さ区間）を通過する液滴ＤＲを感知するのでありうる。前記のような場合、第１感知部１５０Ａと第４感知部１５０Ｄが感知する領域（第２の高さ区間）、第２感知部１５０Ｂと第５感知部１５０Ｅとが感知する領域（第１の高さ区間）、及び、第３感知部１５０Ｃと第６感知部１５０Ｆとが感知する領域（第３の高さ区間）は、互いに異なる領域であり、互いに連続しているか、互いに離隔されている領域でありうる。
前記のように第１感知部１５０Ａないし第６感知部１５０Ｆが配列される場合、第５感知部１５０Ｅ及び第６感知部１５０Ｆに対応して、それぞれ、第５反射部１７０Ｅ及び第６反射部１７０Ｆが配置されうる。ここで、第５反射部１７０Ｅ及び第６反射部１７０Ｆは、それぞれ第５感知部１５０Ｅ及び第６感知部１５０Ｆから放出されたレーザなどを、液滴ＤＲの落下経路上に案内することができる。
前記のような場合、同一領域（同一の高さ区間）にある液滴ＤＲを感知する感知部は、互いに同一の形態であるか、互いに異なる形態でありうる。特に、複数個の感知部が互いに異なる形態のものである場合、第１感知部１５０Ａ及び第４感知部１５０Ｄのうちの１つは、共焦点ラインセンサーを含み、第１感知部１５０Ａ及び第４感知部１５０Ｄのうちの他の１つは、共焦点顕微鏡または干渉顕微鏡を含むのでありうる。第２感知部１５０Ｂ及び第５感知部１５０Ｅのうちの１つは、共焦点ラインセンサーを含み、第２感知部１５０Ｂ及び第５感知部１５０Ｅのうちの他の１つは、共焦点顕微鏡または干渉顕微鏡を含むのでありうる。また、第３感知部１５０Ｃ及び第６感知部１５０Ｆのうちの１つは、共焦点ラインセンサーを含み、第３感知部１５０Ｃ及び第６感知部１５０Ｆのうちの他の１つは、共焦点顕微鏡または干渉顕微鏡を含むのでありうる。
前記のような場合、各感知部で感知された結果は、制御部１８０に伝送されうる。制御部１８０は、各感知部で感知された結果に基づいて、各領域（高さ区間）における液滴ＤＲの３次元形状を算出することができる。この際、制御部１８０は、互いに対向して配置される、互いに同一の領域（高さ区間）を通過する液滴を感知する２つの感知部でもって感知された結果を組み合わせて、液滴ＤＲの３次元形状を算出することができる。例えば、制御部１８０は、１つの領域（高さ区間）にて感知されて算出された液滴ＤＲの３次元形状を、互いに平均して液滴ＤＲの３次元形状を算出することも可能である。
前記のように、各領域にて、通過する液滴ＤＲを感知した結果に基づいて、制御部１８０は、液滴ＤＲの３次元形状、液滴ＤＲの体積、液滴ＤＲの落下経路、及び液滴ＤＲの吐出角度のうちの、少なくとも１つを算出することができる。
制御部１８０は、前記のような結果に基づいて、液滴吐出部１４０を制御することができる。
したがって、表示装置の製造装置１００及び表示装置の製造方法は、液滴ＤＲを精密に制御して吐出可能なので、ディスプレイ基板Ｓの正確な位置に、精密に液滴を供給することができる。
図１４は、本発明の実施例による表示装置の製造装置を通じて製造された表示装置を示す平面図である。図１５は、図１４に図示された表示装置を示す断面図である。
図１４及び図１５を参考にすれば、表示装置１は、ディスプレイ基板Ｓを含みうる。このようなディスプレイ基板Ｓは、基板１０と、表示層ＤＬのうちの、中間層（発光層２２）及び共通電極２３を除いた層とを含むのでありうる。
基板１０上には、表示層ＤＬ、及び薄膜封止層ＴＦＥが配置されうる。表示層ＤＬは、画素回路層ＰＣＬ及び表示要素層ＤＥＬを含みうる。
基板１０は、ガラスであるか、ポリエーテルスルホン(polyethersulfone)、ポリアリレート(polyarylate)、ポリエーテルイミド(polyetherimide)、ポリエチレンナフタレート(polyethylene naphthalate)、ポリエチレンテレフタレート(polyethylene terephthalate)、ポリフェニレンスルフィド(polyphenylene sulfide)、ポリイミド(polyimide)、ポリカーボネート(polycarbonate)、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート(cellulose acetate propionate)のような高分子樹脂を含みうる。
表示層ＤＬと基板１０との間には、バリア層（図示せず）をさらに含んでもよい。このバリア層は、外部異物の浸透を防止するバリア層であり、シリコン窒化物（ＳｉＮx、ｘ＞０）、シリコン酸化物（ＳｉＯx、ｘ＞０）といった無機物を含む単層膜または積層膜でありうる。
基板１０上には、画素回路層ＰＣＬが配置される。図１５は、画素回路層ＰＣＬが、薄膜トランジスタＴＦＴ及び薄膜トランジスタＴＦＴの構成要素の下方（基板１０の側）または／及び上方（基板１０とは逆の側）に配置されるバッファ層１１、第１ゲート絶縁層１３ａ、第２ゲート絶縁層１３ｂ、層間絶縁層１５及び平坦化絶縁層１７を図示する。
バッファ層１１は、シリコン窒化物、シリコン酸窒化物、及びシリコン酸化物といった無機絶縁物を含んでもよく、前述した無機絶縁物を含む単層膜または積層膜でありうる。
薄膜トランジスタＴＦＴは、半導体層１２を含み、半導体層１２は、ポリシリコンを含んでもよい。または、半導体層１２は、非晶質(amorphous)シリコンを含んだり、酸化物半導体を含んだり、有機半導体などを含んだりするのでありうる。半導体層１２は、チャネル領域１２ｃ及びチャネル領域１２ｃの両側にそれぞれ配置されたドレイン領域１２ａ及びソース領域１２ｂを含んでもよい。ゲート電極１４は、チャネル領域１２ｃと重なり合うことができる。
ゲート電極１４は、低抵抗金属物質を含んでもよい。ゲート電極１４は、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）などを含む導電物質を含んでもよく、前記の材料を含む積層膜または単層膜によっても形成されうる。
半導体層１２とゲート電極１４との間の第１ゲート絶縁層１３ａは、シリコン酸化物（ＳｉＯ2）、シリコン窒化物（ＳｉＮx）、シリコン酸窒化物（ＳｉＯＮ）、アルミニウム酸化物（Ａｌ2Ｏ3）、チタン酸化物（ＴｉＯ2）、タンタル酸化物（Ｔａ2Ｏ5）、ハフニウム酸化物（ＨｆＯ2）、または亜鉛酸化物（ＺｎＯ2）といった無機絶縁物を含んでもよい。
第２ゲート絶縁層１３ｂは、前記ゲート電極１４を覆うように備えられてもよい。第２ゲート絶縁層１３ｂは、前記第１ゲート絶縁層１３ａと同様に、シリコン酸化物（ＳｉＯ2）、シリコン窒化物（ＳｉＮx）、シリコン酸窒化物（ＳｉＯＮ）、アルミニウム酸化物（Ａｌ2Ｏ3）、チタン酸化物（ＴｉＯ2）、タンタル酸化物（Ｔａ2Ｏ5）、ハフニウム酸化物（ＨｆＯ2）、または亜鉛酸化物（ＺｎＯ2）といった無機絶縁物を含んでもよい。
第２ゲート絶縁層１３ｂの上方（基板１０とは逆の側）には、ストレージキャパシタＣｓｔの上部電極Ｃｓｔ２が配置されうる。上部電極Ｃｓｔ２は、その下方（基板１０の側）のゲート電極１４と重なり合う。ここで、第２ゲート絶縁層１３ｂを挟んで重なり合うゲート電極１４及び上部電極Ｃｓｔ２は、ストレージキャパシタＣｓｔを形成することができる。すなわち、ゲート電極１４は、ストレージキャパシタＣｓｔの下部電極Ｃｓｔ１として機能することができる。
このようにストレージキャパシタＣｓｔと薄膜トランジスタＴＦＴとが重なり合って形成されうる。一部実施例において、ストレージキャパシタＣｓｔは、薄膜トランジスタＴＦＴと重畳なり合わないようにも形成されうる。
上部電極Ｃｓｔ２は、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、マグネシウム（Ｍｇ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ネオジム（Ｎｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、クロム（Ｃｒ）、カルシウム（ＣＡ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、及び／または銅（Ｃｕ）を含んでもよく、前述した物質の単層膜または積層膜でありうる。
層間絶縁層１５は、前記上部電極Ｃｓｔ２を覆うことができる。層間絶縁層１５は、シリコン酸化物（ＳｉＯ2）、シリコン窒化物（ＳｉＮx）、シリコン酸窒化物（ＳｉＯＮ）、アルミニウム酸化物（Ａｌ2Ｏ3）、チタン酸化物（ＴｉＯ2）、タンタル酸化物（Ｔａ2Ｏ5）、ハフニウム酸化物（ＨｆＯ2）、または亜鉛酸化物（ＺｎＯ2）などを含んでもよい。層間絶縁層１５は、前述した無機絶縁物を含む単層膜または積層膜でありうる。
ドレイン電極１６ａ及びソース電極１６ｂは、それぞれ層間絶縁層１５上に位置してもよい。ドレイン電極１６ａ及びソース電極１６ｂは、伝導性に優れた材料を含んでもよい。ドレイン電極１６ａ及びソース電極１６ｂは、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）などを含む導電物質を含んでもよく、前記の材料を含む積層膜または単層膜によって形成されうる。一実施例において、ドレイン電極１６ａ及びソース電極１６ｂは、Ｔｉ／Ａｌ／Ｔｉの三層の積層構造を有することができる。
平坦化絶縁層１７は、有機絶縁層を含みうる。平坦化絶縁層１７は、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）やポリスチレン（ＰＳ）のような汎用の高分子、フェノール系基を有する高分子誘導体、アクリル系高分子、イミド系高分子、アリールエーテル系高分子、アミド系高分子、フッ素系高分子、ｐ−キシレン系高分子、ビニルアルコール系高分子、及びそれらのブレンドといった有機絶縁物を含みうる。
前述した構造の画素回路層ＰＣＬ上には、表示要素層ＤＥＬが配置される。表示要素層ＤＥＬは、有機発光ダイオードＯＬＥＤを含むが、有機発光ダイオードＯＬＥＤの画素電極２１は、平坦化絶縁層１７のコンタクトホールを通じて薄膜トランジスタＴＦＴと電気的に連結されうる。
画素ＰＸは、有機発光ダイオードＯＬＥＤ及び薄膜トランジスタＴＦＴを含みうる。各画素ＰＸは、有機発光ダイオードＯＬＥＤを通じて、例えば、赤色、緑色、または青色の光を放出するか、赤色、緑色、青色、または白色の光を放出する。
画素電極２１は、インジウム錫酸化物(ITO; indium tin oxide)、インジウム亜鉛酸化物(IZO; indium zinc oxide)、亜鉛酸化物(ZnO; zinc oxide)、インジウム酸化物(In2O3: indium oxide)、インジウムガリウム酸化物(IGO; indium gallium oxide)、またはアルミニウム亜鉛酸化物(AZO; aluminum zinc oxide)といった導電性酸化物を含んでもよい。他の実施例において、画素電極２１は、銀（Ａｇ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ネオジム（Ｎｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、クロム（Ｃｒ）またはそれらの化合物を含む反射膜を含みうる。他の実施例において、画素電極２１は、前述した反射膜の上方及び／または下方にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ2Ｏ3で形成された膜をさらに含んでもよい。
画素電極２１上には、画素電極２１の中央部を露出させる開口１９ＯＰを有する画素区画膜１９が配置される。画素区画膜１９は、有機絶縁物及び／または、無機絶縁物を含んでもよい。開口１９ＯＰは、有機発光ダイオードＯＬＥＤから放出される光の発光領域（以下、発光領域と称する、ＥＡ）の範囲を決定することができる。例えば、開口１９ＯＰの幅が発光領域ＥＡの幅に該当する。
画素区画膜１９の開口１９ＯＰには、発光層２２が配置されうる。発光層２２は、所定色相の光を放出する高分子または低分子有機物を含んでもよい。他の実施例として、発光層２２は、量子点物質を含んでもよい。そのような発光層２２は、本発明の実施例である表示装置の製造装置でもって液滴を吐出して形成されうる。
図示されていないが、発光層２２の下方と上方には、それぞれ、第１機能層及び第２機能層が配置されうる。第１機能層は、例えば、ホール輸送層(HTL: Hole Transport Layer)を含んだり、ホール輸送層及びホール注入層(HIL: Hole Injection Layer)を含んだりしてもよい。第２機能層は、発光層２２上に配置される構成要素であって、選択的(optional)である。第２機能層は、電子輸送層(ETL: Electron Transport Layer)及び／または電子注入層(EIL: Electron Injection Layer)を含んでもよい。第１機能層及び／または第２機能層は、後述する共通電極２３と同様に、基板１０を全体としてカバーするように形成される共通層でありうる。
共通電極２３は、仕事関数の低い導電性物質からなりうる。例えば、共通電極２３は、銀（Ａｇ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ネオジム（Ｎｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、クロム（Ｃｒ）、リチウム（Ｌｉ）、カルシウム（Ｃａ）、またはそれらの合金などを含む（半）透明層（例えば、少なくとも部分的にメッシュ状または格子状のパターンをなす金属層）を含みうる。または、共通電極２３は、前述した物質を含む（半）透明層上にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ2Ｏ3といった透明導電層をさらに含んでもよい。
一実施例において、薄膜封止層ＴＦＥは、少なくとも１つの無機封止層及び少なくとも１つの有機封止層を含み、一実施例として、図１５は、薄膜封止層ＴＦＥが順次に積層された第１無機封止層３１、有機封止層３２、及び第２無機封止層３３を含むことを図示する。
第１無機封止層３１及び第２無機封止層３３は、アルミニウム酸化物、チタン酸化物、タンタル酸化物、ハフニウム酸化物、亜鉛酸化物、シリコン酸化物、シリコン窒化物、シリコン酸窒化物のうち、１つ以上の無機物を含んでもよい。有機封止層３２は、ポリマー(polymer)系の物質を含んでもよい。ポリマー系の素材としては、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド及びポリエチレンなどを含んでもよい。一実施例において、有機封止層３２は、アクリレート(acrylate)を含んでもよい。
他の実施例において、薄膜封止層ＴＦＥは、基板１０及び透明な部材である上部基板が、表示領域を囲む周縁部の密封部材によって結合され、基板１０と上部基板との間の内部空間が密封される構造でありうる。ここで、内部空間には、吸湿剤や充填材などが位置してもよい。密封部材は、シーラントでありうるのであり、他の実施例において、密封部材は、レーザによって硬化される物質で構成されうる。例えば、密封部材は、フリット(frit)でありうる。具体的に、密封部材は、有機シーラントであるウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、または、無機シーラントであるシリコンなどからなってもよい。ウレタン系樹脂としては、例えば、ウレタンアクリレートなどを使用することができる。アクリル系樹脂としては、例えば、ブチルアクリレート、エチルヘキシルアクリレートなどを使用することができる。一方、密封部材は、熱によって硬化される物質で構成される。
薄膜封止層ＴＦＥ上には、タッチ電極を含むタッチ電極層（図示せず）が配置され、タッチ電極層上には、光学的機能層（図示せず）が配置されうる。タッチ電極層は、外部の入力、例えば、タッチイベントによる座標情報を獲得することができる。光学的機能層は、外部から表示装置１に向かって入射する光（外光）の反射率を減少させ、及び／または表示装置１から放出される光の色純度を向上させうる。一実施例において、光学的機能層は、位相遅延子(retarder)及び偏光子(polarizer)を含んでもよい。位相遅延子は、フィルムタイプまたは液晶コーティングタイプでありうるのであり、λ／２位相遅延子及び／またはλ／４位相遅延子を含んでもよい。偏光子も、フィルムタイプまたは液晶コーティングタイプである。フィルムタイプは、延伸型合成樹脂フィルムを含み、液晶コーティングタイプは、所定の配列によって配列された液晶を含んでもよい。位相遅延子及び偏光子は、保護フィルムをさらに含んでもよい。
他の実施例において、光学的機能層は、ブラックマットリックスと複数のカラーフィルターとを含んでもよい。複数のカラーフィルターは、表示装置１の画素のそれぞれから放出される光の色相を考慮して配列されうる。複数のカラーフィルターは、それぞれ、赤色、緑色、または青色の顔料や染料を含みうる。または、複数のカラーフィルターは、それぞれが、前述した顔料や染料以外に量子ドットをさらに含んでもよい。または、複数のカラーフィルターのうちの一部は、前述した顔料や染料を含まずに、酸化チタンのような散乱粒子を含みうる。前記のようなカラーフィルターは、本発明の実施例である表示装置の製造装置でもって、液滴を吐出して形成されうる。
他の実施例において、光学的機能層は、相殺干渉構造物を含んでもよい。相殺干渉構造物は、互いに異なる層上に配置された第１反射層と第２反射層を含んでもよい。第１反射層及び第２反射層でそれぞれ反射された第１反射光及び第２反射光は、相殺干渉され、それにより、外光反射率が減少しうる。
前記タッチ電極層及び光学的機能層の間には、接着部材が配置されうる。前記接着部材は、当該技術分野に知られた通常のものを制限なしに採用することができる。前記接着部材は、感圧性接着剤(pressure sensitive adhesive, PSA)でもある。
以上、本発明は、図面に図示された一実施例を参照して説明したが、それらは、例示的なものに過ぎず、当該分野で通常の知識を有する者であれば、それにより、多様な変形及び実施例の変形が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的な保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決定されねばならない。
好ましい具体的な形態において、背景、及び解決手段などは、下記のとおりである。
有機発光表示装置の発光層やカラーフィルターなどのパターンを形成するにあたり、インクジェット方式により液滴を、所定の箇所（特には画素区画膜の各開口または各画素ドット領域）に吐出して着弾させることが行われている。
吐出による供給量を正確にコントロールすることが、所定の色濃度などを得る上で重要である。そこで、従前は、テスト基板などへ吐出して、その重量変化を正確に測定することなどが行われていた。
近年、特許文献１〜２のように、落下する液滴をカメラやレーザーにより捉えることも提案されている。
しかし、液滴の三次元の輪郭、及び、これに基づく液滴の体積を正確かつ迅速に、かつ、少ない設備及びコストで捉えることは容易でなかった。
本件発明者らは鋭意検討する中で、特許文献３に示されるような、共焦点顕微鏡または共焦点センサーを採用するという着想を得た。
そして、この着想を具体化すべく、具体例において、下記Ａ１〜Ａ３のとおりとした。また、より具体的には、Ｂ１〜Ｂ３のいずれかとし、好ましくは、Ｃ１〜Ｃ３の少なくともいずれかとすることができる。
Ａ１ 液滴の落下経路における複数の高さ区間を、それぞれの、感知部（150;特には共焦点顕微鏡または共焦点センサー）で捉える。このようにして、液滴の落下時に、液滴の輪郭を、順次、それぞれの感知部(150)により捉える。
Ａ２ このような感知部による感知に基づき、落下の各時点（各高さ区間）における、液滴の三次元の輪郭を推定して構成する。
Ａ３ そして、このような三次元の輪郭に基づき、各時点（各高さ区間）における液滴の中心（重心または幾何学的中心）の位置を把握し、これに基づき、落下速度、吐出角度などを把握する。
Ｂ１ 落下経路と、感知部（150）の感知端部とを含む仮想の平面SF1を設定し（図２）、感知部（150）により、液滴が仮想の平面SF1上にてなす輪郭のうち、感知部側の半分（図２及び３Ａの右半部）を捉える。そして、このような半分の平面輪郭を、落下経路のまわりに回転させることで、液滴の三次元の輪郭を構成する（図３Ｂ）。
Ｂ２ 落下経路に垂直な仮想の平面SF2を設定し（図７）、液滴がSF2によって切られて形成される多数のスライス平面を捉える（図８）。そして、このように得られた一連のスライス平面を用いて、液滴の三次元の輪郭を構成する。
Ｂ３ 落下経路を含むとともに、これと感知部(150)とを結ぶ線に垂直となるような仮想の平面SF3を設定し（図９）、この仮想の平面により液滴を切る断面を、感知部(150)により捉える。そして、この感知に基づき、落下経路まわりの回転により、液滴の三次元の輪郭を構成する。
Ｃ１ 短い落下経路をより多くの感知部(150)により捉えることができるように、適宜に反射ミラーといった、レーザ光などの光を折り曲げるための手段を用いる（図１１〜１２）。このようにして、特には、感知部(150)について、水平方向、垂直方向、及び斜め方向を向くように配置することができる。
Ｃ２ 落下経路における同一の高さ区間を、形態の異なる複数の感知部により捉えることができ、特には、共焦点顕微鏡と、干渉顕微鏡とにより捉えることができる（図１３，[0159]）。
Ｃ３ 液滴が供給される基板、またはこのためのステージと、吐出部140と、一方の方向に相対移動させるにあたり、着弾地点が、目的としていた箇所からどれだけ相対移動の方向にずれるかににより、相対移動の速度を調製する（図５Ｃ）。また、相対移動の方向に対して垂直の方向に過度にずれた場合（図５Ｃ）には、洗浄により液滴を除去する。この後、再度、液滴の供給を行う。
１ 表示装置
１０ 基板
１００ 表示装置の製造装置
１１０ 支持部
１２０ ガントリー
１３０ 移動部
１４０ 液滴吐出部
１５０ 感知部
１６０ 収納部
１７０ 制御部

Claims (10)

  1. 液滴を吐出するノズルを含む液滴吐出部と、
    前記液滴の落下時、前記液滴吐出部から落下する前記液滴の落下経路上に配置された仮想の任意の平面を設定し、この任意の平面に投影された前記液滴の外面の一部の形状、または、この任意の平面に投影された前記液滴の断面形状を感知する感知部と、
    前記感知部で感知された結果に基づいて、前記液滴の体積、前記液滴の落下速度、前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出角度、及び、前記ノズルから前記基板へと移動する前記液滴の落下経路のうちの少なくとも１つを算出する制御部と、を含む、表示装置の製造装置。
  2. 前記感知部は、共焦点顕微鏡または共焦点センサーを含む、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
  3. 前記制御部は、前記感知部で感知された前記液滴の外面の一部の形状を前記液滴の落下経路を基準にして回転させた、前記液滴の立体形状を算出し、前記液滴の立体形状に基づいて前記液滴の体積を算出する、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
  4. 前記感知部は、一定の時間間隔で前記液滴を感知し、前記制御部は、前記感知部でもって順次に感知された前記液滴の中心を互いに連結して前記液滴の落下経路または前記液滴の吐出角度を算出する、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
  5. 前記感知部は、前記液滴の落下方向に対して垂直な平面上にて、落下する１つの前記液滴の外面の一部の形状を一定の時間間隔で感知し、
    前記制御部は、前記感知部で感知された前記液滴の外面の一部の形状を、前記液滴の落下方向に垂直な平面上にて平面形状に変換し、前記液滴の平面形状に基づいて前記液滴の３次元形状を算出する、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
  6. 前記感知部は、１つの前記液滴の落下時、一定の時間間隔で前記液滴を感知し、
    前記制御部は、一定時間の間、前記液滴の移動距離に基づいて前記液滴の落下速度を算出する、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
  7. 液滴を吐出する段階と、
    落下する液滴の落下経路上にて任意の平面に投影された前記液滴の外面の一部の形状及び前記液滴の断面のうちの少なくとも１つを感知する段階と、
    感知された、前記液滴の外面の一部の形状、及び、前記液滴の断面のうちの少なくとも１つに基づいて、前記液滴の体積、前記液滴の落下速度、前記液滴の落下経路及び前記液滴の吐出角度のうちの少なくとも１つを算出する段階と、を含む、表示装置の製造方法。
  8. 前記液滴の外面の一部の形状、及び、前記液滴の断面のうちの少なくとも１つに基づいて、前記液滴の３次元形状を算出する段階と、
    前記液滴の３次元形状を一定の時間間隔で算出する段階と、
    互いに離隔された前記液滴の３次元形状の中心を連結して、前記液滴の吐出角度及び前記液滴の落下経路のうち、少なくとも１つを算出する段階と、をさらに含む、請求項７に記載の表示装置の製造方法。
  9. 前記液滴の落下経路に垂直な平面上における前記液滴の外面の一部の形状を感知する段階と、
    前記液滴の外面の一部の形状に基づいて前記落下経路に垂直な平面上における前記液滴の断面形状を算出する段階と、
    前記落下経路に垂直な平面上における前記液滴の外面の一部の形状を一定の時間間隔で感知する段階と、
    一定の時間間隔で算出された前記液滴の断面形状に基づいて、前記液滴の３次元形状を算出する段階と、をさらに含む、請求項７に記載の表示装置の製造方法。
  10. 前記液滴の落下経路を含む平面上にて前記液滴の外面の一部の形状を感知する段階と、
    前記液滴の外面の一部の形状に基づいて前記落下経路を含む平面上における前記液滴の断面形状を算出する段階と、
    前記液滴の断面形状を、前記液滴の落下経路を基準に回転させて、前記液滴の３次元形状を算出する段階と、をさらに含む、請求項７に記載の表示装置の製造方法。
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