CN113497211A - 用于制造显示设备的装置和制造显示设备的方法 - Google Patents

用于制造显示设备的装置和制造显示设备的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113497211A
CN113497211A CN202110198299.6A CN202110198299A CN113497211A CN 113497211 A CN113497211 A CN 113497211A CN 202110198299 A CN202110198299 A CN 202110198299A CN 113497211 A CN113497211 A CN 113497211A
Authority
CN
China
Prior art keywords
droplet
shape
controller
plane
drop
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110198299.6A
Other languages
English (en)
Inventor
韩政洹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of CN113497211A publication Critical patent/CN113497211A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
    • H01L27/12Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H01L27/1214Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
    • H01L27/1259Multistep manufacturing methods
    • H01L27/1292Multistep manufacturing methods using liquid deposition, e.g. printing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/015Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/0456Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits detecting drop size, volume or weight
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341Filling or closing of cells
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/015Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04535Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits involving calculation of drop size, weight or volume
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/015Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04561Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits detecting presence or properties of a drop in flight
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/015Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04586Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads of a type not covered by groups B41J2/04575 - B41J2/04585, or of an undefined type
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341Filling or closing of cells
    • G02F1/13415Drop filling process
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/20Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/12Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/12Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing

Abstract

提供用于制造显示设备的装置和制造显示设备的方法。所述用于制造显示设备的装置包括:滴排出单元,包括排出滴的喷嘴;至少一个传感器,感测投影到平面上的所述滴的外表面的局部形状和投影到所述平面上的所述滴的横截面形状中的至少一个,所述平面在从所述滴排出单元排出的所述滴的下落路径上;和控制器,基于由所述至少一个传感器感测的结果,计算所述滴的体积、所述滴的下落速度、所述滴从所述喷嘴排出的排出角度以及所述滴的所述下落路径中的至少一个。

Description

用于制造显示设备的装置和制造显示设备的方法
相关申请的交叉引用
本申请要求2020年3月18日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10-2020-0033303的优先权和权益,其全部内容通过引用并入本文。
技术领域
一个或多个实施例涉及装置和方法,并且更具体地涉及用于制造显示设备的装置和制造显示设备的方法。
背景技术
移动电子装置被广泛地使用。就移动电子装置而言,近来不仅诸如移动电话的小型电子装置被广泛地使用,而且平板个人计算机(PC)也被广泛地使用。
为了支持各种功能,移动电子装置可以包括显示设备以向用户提供诸如图像的视觉信息。近来,由于驱动显示设备的零件已经小型化,所以显示设备在电子装置中的比例可逐渐增加,并且可从平坦状态弯折成具有预定角度的结构也在开发中。
为了制造这种显示设备,可以形成各种层。在这种情况下,该各种层中的至少一层可以通过使用头部在基板上滴液滴而被形成。在这种情况下,为了实现显示设备的精确图像,可能需要通过使用头部将液滴准确地供应到期望位置。
应当理解,本技术部分的该背景部分地旨在提供用于理解该技术的有用背景。然而,本技术部分的该背景还可能包括并非本领域技术人员在本文公开的主题的对应有效提交日期之前所知晓或了解的部分的想法、构思或认识。
发明内容
通常,在例如液滴的滴落在基板上的情况下,可以在液滴下落到基板上之后测量液滴的体积,以计算液滴的体积和液滴的其它参数。在这种情况下,可能不知道液滴的准确体积,并且可能需要单独的膜测试台来测量液滴的体积,这可能需要大的空间和高的成本。一个或多个实施例包括用于制造显示设备的装置和制造该显示设备的方法,其可以在简化结构并降低成本的同时准确地测量液滴。
另外的方面将部分地在下面的描述中阐述并且部分地将由该描述而明显,或者可以通过实践本公开所呈现的实施例而获知。
根据一实施例,一种用于制造显示设备的装置可以包括:滴排出单元,包括排出滴的喷嘴;至少一个传感器,感测投影到平面上的所述滴的外表面的局部形状和投影到所述平面上的所述滴的横截面形状中的至少一个,所述平面在从所述滴排出单元排出的所述滴的下落路径上;和控制器,基于由所述至少一个传感器感测的结果,计算所述滴的体积、所述滴的下落速度、所述滴从所述喷嘴排出的排出角度以及所述滴的所述下落路径中的至少一个。
所述至少一个传感器可以包括共聚焦显微镜或彩色共聚焦线传感器。
所述至少一个传感器可以包括多个传感器,并且所述多个传感器可以沿着所述滴的所述下落路径彼此间隔开。
所述装置可以进一步包括使从所述至少一个传感器发射的激光弯折并且使从所述滴反射的激光弯折的反射单元。
所述多个传感器中的预定数量的传感器可以感测所述滴的所述外表面的所述局部形状,并且所述多个传感器中的另一预定数量的传感器可以感测所述滴的所述横截面形状。
所述至少一个传感器可以包括多个传感器,并且所述多个传感器中的预定数量的传感器和所述多个传感器中的另一预定数量的传感器可以相对于所述滴的移动路径布置在相反的方向上。
所述多个传感器中的预定数量的传感器可以感测所述滴的所述外表面的所述局部形状,并且所述多个传感器中的另一预定数量的传感器可以感测所述滴的所述横截面形状。
所述控制器可以通过将由所述至少一个传感器感测的所述滴的所述外表面的所述局部形状相对于所述滴的所述下落路径旋转来计算所述滴的三维形状,并且可以基于所述滴的所述三维形状来计算所述滴的所述体积。
所述至少一个传感器可以以预定的时间间隔感测所述滴,并且所述控制器可以通过连接所述滴的中心来计算所述滴的所述下落路径或所述滴的所述排出角度。
所述平面可以垂直于所述滴的所述下落路径。所述至少一个传感器可以以预定的时间间隔感测下落在所述平面上的所述滴的所述外表面的所述局部形状。
所述控制器可以将所述滴的所述外表面的所述局部形状转换成在所述平面上的平面形状,并且所述控制器可以基于所述滴的所述平面形状来计算所述滴的三维形状。
所述至少一个传感器可以在所述滴下落时以预定的时间间隔感测所述滴,并且所述控制器可以基于所述滴在预定时间段内已经移动的距离来计算所述滴的所述下落速度。
所述装置可以进一步包括容纳从所述喷嘴排出的所述滴的容纳单元。
所述至少一个传感器可以被布置在垂直于所述滴的移动路径的方向上。
根据一实施例,一种制造显示设备的方法可以包括:排出滴;感测投影到在所述滴的下落路径上的平面上的所述滴的外表面的局部形状和所述滴的横截面形状中的至少一个;和基于所述滴的所述外表面的所述局部形状和所述滴的所述横截面形状中的至少一个,计算所述滴的体积、所述滴的下落速度、所述滴的所述下落路径和所述滴的排出角度中的至少一个。
所述方法可以进一步包括:基于所述滴的所述外表面的所述局部形状和所述滴的所述横截面形状中的至少一个,计算所述滴的三维形状。
所述方法可以进一步包括:以预定的时间间隔计算所述滴的所述三维形状。
所述方法可以进一步包括:通过连接所述滴的所述三维形状的中心来计算所述滴的所述排出角度和所述滴的所述下落路径中的至少一个。
所述平面可以垂直于所述滴的所述下落路径。所述方法可以进一步包括:感测在所述平面上的所述滴的所述外表面的所述局部形状;和基于所述滴的所述外表面的所述局部形状,计算在所述平面上的所述滴的平面形状。
所述方法可以进一步包括:以预定的时间间隔感测在所述平面上的所述滴的所述外表面的所述局部形状,并计算所述滴的所述平面形状。
所述方法可以进一步包括:基于以所述预定的时间间隔计算的所述滴的所述平面形状,计算所述滴的三维形状。
所述平面可以包括所述滴的所述下落路径。所述方法可以进一步包括:感测投影到所述平面上的所述滴的所述横截面形状;和通过将所述滴的所述横截面形状相对于所述滴的所述下落路径旋转来计算所述滴的三维形状。
所述方法可以进一步包括:感测在包括所述滴的所述下落路径的平面上的所述滴的所述外表面的所述局部形状;和基于所述滴的所述外表面的所述局部形状,计算在包括所述下落路径的所述平面上的所述滴的所述横截面形状。
所述方法可以进一步包括:通过将所述滴的所述横截面形状相对于所述滴的所述下落路径旋转来计算所述滴的三维形状。
根据一实施例,一种制造显示设备的方法可以包括:排出滴;感测投影到在所述滴的下落路径上的平面上的所述滴的外表面的局部形状和所述滴的横截面形状中的至少一个;基于所述滴的所述外表面的所述局部形状和所述滴的所述横截面形状中的至少一个,计算所述滴的体积、所述滴的下落速度、所述滴的所述下落路径和所述滴的排出角度中的至少一个;和基于所述滴的所述体积、所述滴的所述下落速度、所述滴的所述下落路径和所述滴的所述排出角度中的至少一个,控制所述滴的排出量和排出速度中的至少一个。
本公开的某些实施例的上述和其它方面、特征和优点将从以下描述、附图和权利要求变得更加明显。
该一般方面可以通过系统、方法、计算机程序或系统、方法、计算机程序的组合来实现。
附图说明
本公开的实施例的上述和其它方面、特征和优点将从结合附图的以下描述变得更加明显,附图中:
图1为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的透视图;
图2为图1中示出的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图;
图3A为图2中示出的第一位置处的液滴的局部形状的主视图;
图3B为通过图3A中示出的液滴的局部形状计算的液滴的三维形状的透视图;
图4A为图2中示出的第二位置处的液滴的局部形状的主视图;
图4B为通过图4A中示出的液滴的局部形状计算的液滴的三维形状的透视图;
图5A为图2中示出的第三位置处的液滴的局部形状的主视图;
图5B为通过图5A中示出的液滴的局部形状计算的液滴的三维形状的透视图;
图5C为从图2中示出的液滴排出单元排出的液滴的下落路径和液滴降落在显示基板上的点的透视图;
图6为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图;
图7为由图6中示出的传感器单元测量的液滴与测量表面之间的关系的透视图;
图8为由图6中示出的传感器单元感测的液滴的平面形状的透视图;
图9为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图;
图10A至图10C为由图9中示出的传感器单元感测的液滴的横截面形状的侧视图;
图11为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图;
图12为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图;
图13为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图;
图14为由根据一个或多个实施例的用于制造显示设备的装置制造的显示设备的平面图;并且
图15为图14中示出的显示设备的示意性横截面视图。
具体实施方式
现在将详细参考实施例,实施例的示例在附图中例示,在附图中相同的附图标记始终指代相同的元件。在这点上,实施例可以具有不同的形式,并且不应被解释为限制于本文阐述的描述。相应地,下面通过参考附图仅描述实施例以说明该描述的各个方面。
为了描述本公开的实施例,与描述不相关的一些零件可能未被提供,并且在整个说明书中,相同的附图标记指代相同的元件。
如本文所使用的,术语“和/或”包括一个或多个相关列出的项目的任意和所有组合。在整个本公开中,表述“a、b和c中的至少一个”表示仅a、仅b、仅c、a和b两者、a和c两者、b和c两者、a、b和c的全部或其变型。
术语“和”和“或”可以在结合或分离的意义下使用,并且可以理解为等同于“和/或”。在说明书和权利要求中,短语“……中的至少一个”旨在包括“从…的组中选择的至少一个”的含义,以用于其含义和解释的目的。例如,“A和B中的至少一个”可以理解为表示“A、B或A和B”。
因为各种修改可以应用于本公开并且一个或多个实施例可以被实现,所以实施例将在附图中示出并且在详细描述中被详细描述。参考下面借助附图详细描述的实施例,本公开的效果和特征以及实现该公开的方法将明显。然而,本公开不限于下面公开的实施例,并且可以以各种形式实现。
在下文中,将通过参考附图说明本公开的实施例来详细描述本公开。附图中相同的附图标记表示相同的元件,并且省略其多余的说明。
将理解,尽管术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种部件,但是这些部件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个部件与另一部件区分开。例如,在不脱离所附权利要求书的范围的情况下,在一个实施例中被称为第一元件的第一元件在另一实施例中可以被称为第二元件。
在下面的描述中,以单数形式使用的表述包含复数形式的表述,除非其在上下文中具有明显不同的含义。
在下面的描述中,将理解,诸如“包括”、“具有”和“包含”的术语旨在表示说明书中公开的特征、数字、步骤、动作、元件、零件或其组合的存在,并不旨在排除可存在或可添加一个或多个其它特征、数字、步骤、动作、元件、零件或其组合的可能性。
在下面的描述中,将理解,当诸如层、膜、区域或板的元件被称为在另一元件“上”时,该元件可以直接在另一元件上,或者在其上可以存在中间元件。
当层、膜、区、基板或区域或元件被称为在另一层、膜、区、基板或区域或元件“上”时,它可以直接在另一膜、区、基板或区域或元件上,或者在它们之间可以存在中间膜、区、基板或区域或元件。相反,当层、膜、区、基板或区域或元件被称为“直接”在另一层、膜、区、基板或区域或元件“上”时,在它们之间可以不存在中间层、膜、区、基板或区域。此外,当层、膜、区、基板或区域或元件被称为在另一层、膜、区、基板或区域或元件“下方”时,它可以直接在另一层、膜、区、基板或区域或元件下方,或者在它们之间可以存在中间层、膜、区、基板或区域或元件。相反,当层、膜、区、基板或区域或元件被称为“直接”在另一层、膜、区、基板或区域或元件“下方”时,在它们之间可以不存在中间层、膜、区、基板或区域或元件。此外,“之上”或“上”可以包括定位在物体上或下方,并且不一定暗示基于重力的方向。
为了易于描述,空间相对术语“下方”、“之下”、“下”、“上方”、“上”等可以在本文中用于描述如附图中例示的一个元件或部件与另一元件或部件之间的关系。将理解,除了附图中示出的定向之外,空间相对术语旨在包含设备在使用或操作中的不同定向。例如,在附图中例示的设备被翻转的情况下,位于另一设备“下方”或“之下”的设备可被放置在另一设备“上方”。相应地,例示性术语“下方”可以包括上位置和下位置两者。设备也可以被定向在其它方向上,并且因此空间相对术语可以根据定向被不同地解释。
为了便于说明,可能夸大附图中的元件的尺寸。换句话说,由于为了便于说明而任意地例示附图中元件的尺寸和厚度,所以下面的实施例不限于此。
另外,术语“重叠”或“重叠的”表示第一物体可以在第二物体的上方或下方或一侧,反之亦然。另外,术语“重叠”可以包括层叠、堆叠、面对、在……之上延伸、覆盖或部分覆盖或者本领域普通技术人员将认识和理解的任何其它合适的术语。术语“面对”表示第一元件可以与第二元件直接或间接相对。在第三元件介于第一元件和第二元件之间的情况下,尽管第一元件和第二元件仍然彼此面对,但是第一元件和第二元件可被理解为彼此间接相对。当元件被描述为与另一元件“不重叠”时,这可以包括:元件彼此间隔开、彼此偏移或彼此分开或本领域普通技术人员将认识和理解的任何其它合适的术语。
在说明书中,诸如“A和/或B”的表述表示A、B或A和B。另外,诸如“A和B中的至少一个”的表述表示A、B或A和B。
在下面的实施例中,当部件被称为“在平面上”时,理解为从顶部观察部件,并且当部件被称为“在示意性横截面上”时,理解为该部件被垂直切割并从侧面观察。
将理解,当层、区或部件被称为“连接”或“联接”到另一层、区或部件时,它可以“直接连接”或“直接联接”到另一层、区或部件,和/或可以“间接连接”或“间接联接”到另一层、区或部件且其它层、区或部件介于它们之间。例如,将理解,当层、区或部件被称为“电连接”或“电联接”到另一层、区或部件时,它可以“直接电连接”或“直接电联接”到另一层、区或部件,并且可以“间接电连接”或“间接电联接”到另一层、区或部件且其它层、区或部件介于它们之间。
另外,当元件被称为与另一元件“接触”或“被接触”到另一元件等时,该元件可以与另一元件“电接触”或“物理接触”;或者与另一元件“间接接触”或“直接接触”。
考虑到所讨论的测量和与特定量的测量相关联的误差(即,测量系统的限制),本文所用的“大约”或“近似”包括所述值并且意味着在由本领域普通技术人员确定的该特定值的可接受的偏差范围内。例如,“大约”可能意味着在一个或多个标准偏差内,或者在所述值的±30%、20%、10%、5%之内。
在以下示例中,X轴、Y轴和Z轴不限于直角坐标系的三个轴,可以在更宽泛的意义上解释。例如,X轴、Y轴和Z轴可以彼此垂直,或者可以代表彼此不垂直的不同方向。
如本文所使用的,术语“单元”或“模块”表示如在附图中例示并且在说明书中描述的结构或元件。然而,本公开不限于此。术语“单元”或“模块”不限于附图中例示的单元或模块。
除非另有定义,本文使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与实施例所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。此外,将进一步理解,诸如在通常使用的字典中定义的术语之类的术语应被解释为具有与其在相关领域的上下文中的含义一致的含义,并且将不在理想化或过度正式的意义上被解释,除非在本文中明确如此定义。
在某一实施例可以被不同地实现的情况下,特定过程顺序可以与所描述的顺序不同地执行。例如,两个连续地描述的过程可以基本上同时执行或者以与所描述的顺序相反的顺序执行。
图1为根据一实施例的用于制造显示设备的装置100的透视图。图2为图1中示出的用于制造显示设备的装置100的一部分的透视图。
参见图1和图2,用于制造显示设备的装置100可以包括支撑单元110、台架120、移动单元130、滴排出单元、传感器单元(也被称为传感器)150、容纳单元160和控制器180。在本公开的实施例中,液滴排出单元140被提供作为滴排出单元的示例。
支撑单元110可以包括平台111、引导构件112、基板移动构件113和基板旋转构件114。
平台111可以包括用于对准显示基板S的无线条标记(未示出)。
这里,显示基板S可以为正被制造的显示设备。显示基板S可以包括玻璃或聚合物树脂,例如,诸如聚醚砜、聚芳酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚酰亚胺、聚碳酸酯(PC)、三醋酸纤维素(TAC)、醋酸丙酸纤维素。
引导构件112可以被布置或设置在相对侧上彼此间隔开,且基板移动构件113在它们之间。引导构件112的长度可以大于显示基板S的边缘的长度。在这种情况下,引导构件112的长度和显示基板S的边缘的长度可以在图1的Y方向上被测量。
台架120可以被布置或设置在引导构件112上。在一实施例中,引导构件112可以包括恒定轨道,以允许台架120在引导构件112的纵向方向上线性移动。作为示例,引导构件112可以包括线性运动轨道。
基板移动构件113可以被布置或设置在平台111上。基板移动构件113可以在引导构件112的纵向方向上延伸。例如,参见图1,基板移动构件113可以在Y方向上延伸。另外,基板移动构件113可以包括轨道,以允许基板旋转构件114线性移动。作为示例,基板移动构件113可以包括线性运动轨道。
基板旋转构件114可以被布置或设置为能在基板移动构件113上旋转。在基板旋转构件114旋转的情况下,基板旋转构件114上的显示基板S可以旋转。在一实施例中,基板旋转构件114可以绕与平台111的一个表面垂直的旋转轴线旋转,显示基板S可以被安置在平台111的该一个表面上。应当理解,垂直可以包括基本垂直。在基板旋转构件114绕与平台111的安置有显示基板S的一个表面垂直的旋转轴线旋转的情况下,基板旋转构件114上的显示基板S也可以绕与平台111的安置有显示基板S的一个表面垂直的旋转轴线旋转。在这种情况下,基板旋转构件114可以在显示基板S被安置之后固定显示基板S。例如,基板旋转构件114可以包括真空吸盘、静电吸盘(ESC)或粘合吸盘中的一种。
台架120可以被布置或设置在引导构件112上。例如,台架120可以被布置或设置在引导构件112上,引导构件112被布置或设置在相对侧上彼此间隔开,且基板移动构件113在它们之间。
台架120可以在引导构件112的纵向方向上移动。在一实施例中,台架120可以手动地线性移动,或者可以包括马达、汽缸等以自动地线性移动。例如,台架120可以包括沿着线性运动轨道移动的线性运动块,并且因此可以自动地线性移动。
移动单元130可以在台架120上线性移动。例如,台架120可以包括恒定轨道,以允许移动单元130线性移动。在这种情况下,滴排出单元可以被布置或设置在移动单元130上,并且可以在移动单元130移动的情况下与移动单元130一起移动。
移动单元130和滴排出单元可以以各种方式布置或设置。例如,可以分别提供一个移动单元130和一个滴排出单元,例如液滴排出单元140。在这种情况下,液滴排出单元140可以包括一个头部和至少一个喷嘴,该至少一个喷嘴被布置或设置在头部上以排出滴,例如液滴DR。
作为示例,可以提供多个液滴排出单元140,并且可以提供一个移动单元130。在这种情况下,多个液滴排出单元140可以被布置或设置在一个移动单元130上,以随着移动单元130的移动同时移动。在这种情况下,每个液滴排出单元140可以包括至少一个具有至少一个喷嘴的头部。
作为示例,可以分别提供多个移动单元130和多个液滴排出单元140。在这种情况下,一个液滴排出单元140可以被布置或设置在一个移动单元130上,或者一些或预定数量的液滴排出单元140可以被布置或设置在一个移动单元130上,液滴排出单元140中的其它液滴排出单元可以被布置或设置在另外的移动单元130上。
在下文中,为了便于描述,将主要详细描述一个液滴排出单元140被布置或设置在一个移动单元130上的情况。
移动单元130可以包括多个移动单元130。在这种情况下,移动单元130可以被布置或设置为使得移动单元130的数量对应于液滴排出单元140的数量。例如,移动单元130可以包括第一移动单元131、第二移动单元132和第三移动单元133。
第一移动单元131和第二移动单元132之间的距离可以与第二移动单元132和第三移动单元133之间的距离相同或相似。在一实施例中,第一移动单元131和第二移动单元132之间的距离可以不同于第二移动单元132和第三移动单元133之间的距离。在这种情况下,第一移动单元131至第三移动单元133可以彼此独立地移动。
移动单元130可以在台架120上线性移动。作为示例,移动单元130可以在台架120的纵向方向上移动。例如,第一移动单元131、第二移动单元132和第三移动单元133中的至少一个可以在x方向或-x方向上移动。
在一实施例中,移动单元130可以手动线性移动。在一实施例中,移动单元130可以包括例如马达、汽缸以自动线性移动。例如,移动单元130可以包括沿着线性运动轨道移动的线性运动块。
液滴排出单元140可以被布置或设置在移动单元130中。例如,第一液滴排出单元141可以被布置或设置在第一移动单元131中。作为另一示例,第二液滴排出单元142可以被布置或设置在第二移动单元132中。作为另一示例,第三液滴排出单元143可以被布置或设置在第三移动单元133中。
液滴排出单元140可以将液滴DR排出到显示基板S或容纳单元160。在这种情况下,液滴DR可以为红色墨、绿色墨或蓝色墨,其中颜料颗粒被混合在液晶、取向溶液或溶剂中。在一实施例中,液滴DR可以为与有机发光二极管显示设备的发光层相对应的聚合物或低分子量有机材料。另外,在一实施例中,液滴DR可以包括在本公开的精神和范围内的包含诸如量子点材料等的无机颗粒的溶液。
从第一液滴排出单元141、第二液滴排出单元142和第三液滴排出单元143独立供应的液滴DR的量可以被调节。在这种情况下,第一液滴排出单元141、第二液滴排出单元142和第三液滴排出单元143中的每一个可以电连接到控制器180。相应地,分别从第一液滴排出单元141、第二液滴排出单元142和第三液滴排出单元143排出的液滴DR的量可以通过控制器180被调节。在这种情况下,第一液滴排出单元141至第三液滴排出单元143中的至少一个可以包括至少一个排出一个液滴DR的喷嘴。在这种情况下,在提供喷嘴的情况下,至少一个喷嘴可以将液滴DR提供到图15中示出的开口19OP中。例如,一个喷嘴可以将液滴DR提供到一个开口19OP中。在一实施例中,至少两个喷嘴可以将液滴DR提供到一个开口19OP中。
传感器单元150可以测量从液滴排出单元140排出的液滴DR的外表面的局部形状或相对于液滴DR的任意表面而言的液滴DR的横截面形状。传感器单元150可以具有各种形式。例如,传感器单元150可以为共聚焦显微镜、干涉显微镜或彩色共聚焦线传感器。例如,共聚焦显微镜可以利用不同的深度获得物体的二维图像,并且可以基于该二维图像重构物体的三维结构。例如,在本公开的精神和范围内,共聚焦显微镜可以例如为彩色共聚焦显微镜、彩色线共聚焦显微镜。干涉显微镜可以观察并定量地测量例如物体的微观结构的不均匀性的变化、相变。物体可以是要被测量的物体,从而物体可以是液滴,但是本公开不限于此。例如,滴可以是液滴或流体滴。例如,在本公开的精神和范围内,干涉显微镜可以例如为激光干涉显微镜、白光干涉显微镜。在下文中,为了便于描述,将主要详细描述传感器单元150可以包括彩色共聚焦线传感器的情况。
在一实施例中,一个传感器单元150可以被提供以一次感测多个液滴DR。在一实施例中,多个传感器单元150可以被提供并被布置或设置,使得一个传感器单元150对应于一个液滴排出单元140,以感测从一个液滴排出单元140排出的液滴DR。在一实施例中,多个传感器单元150可以被提供,该多个传感器单元150中的一个可以感测从一些或预定数量的液滴排出单元140排出的至少一个液滴DR,该多个传感器单元150中的另一个可以感测从其它液滴排出单元140中排出的至少一个液滴DR。在下文中,为了便于描述,将主要详细描述多个传感器单元150可以被提供并且一个传感器单元150感测从一个液滴排出单元140排出的液滴DR的情况。
在一实施例中,传感器单元150可以被布置或设置为固定在平台111上。在这种情况下,多个传感器单元150可以被提供,并且每个传感器单元150可以被布置或设置为对应于每个液滴排出单元140。在一实施例中,尽管未示出,但是传感器单元150可以能滑动地布置或设置在平台111上。在这种情况下,传感器单元150的数量可以小于液滴排出单元140的数量,并且传感器单元150的位置可以改变以对应于要测量的液滴排出单元140的位置。
容纳单元160可以被布置或设置在引导构件112之间。在这种情况下,在要测量从液滴排出单元140下落的液滴DR的情况下,容纳单元160可以临时存储液滴DR。容纳单元160可以被布置或设置在平台111上。在一实施例中,容纳单元160可以被布置或设置在平台111下方。在这种情况下,可以在平台111的可以布置或设置容纳单元160的部分中形成孔。
基于由传感器单元150测量的结果,控制器180可以计算液滴DR的三维形状、液滴DR的下落速度、液滴DR的下落路径和液滴DR的排出角度中的至少一个。液滴DR的下落路径可以为液滴DR从喷嘴向基板(例如,显示基板S)移动的下落路径。另外,控制器180可以完全控制用于制造显示设备的装置100。
用于制造显示设备的装置100可以通过将液滴DR供应到显示基板S而在显示基板S上形成有机材料层。在这种情况下,用于制造显示设备的装置100需要将正被供应到显示基板S的液滴DR准确地供应到显示基板S。为了确定这一点,在每个液滴排出单元140被布置或设置为对应于容纳单元160之后,传感器单元150可以在液滴DR被排出到容纳单元160时感测液滴DR。在一实施例中,每个液滴排出单元140可以将液滴DR排出到显示基板S,并且传感器单元150可以感测液滴DR。另外,在一实施例中,尽管未在附图中示出,但是液滴排出单元140可以将液滴DR供应到测试基板(未示出),并且传感器单元150可感测液滴DR,测试基板被安置在独立地提供在可以布置或设置基板旋转构件114或容纳单元160的部分中的支撑板等上,并且具有与显示基板S相同或相似的形状。然而,在下文中,为了便于描述,将主要详细描述液滴排出单元140将液滴DR排出到容纳单元160并且传感器单元150感测液滴DR的情况。
传感器单元150可以感测液滴排出单元140和容纳单元160之间的液滴DR。在这种情况下,传感器单元150可以感测液滴DR的外表面的局部形状。例如,传感器单元150可以将激光照射到在液滴DR的下落路径上的第一平面SF1上,并且可以感测从液滴DR反射并返回的激光,第一平面SF1可以平行于图2的Y-Z平面。应当理解,平行可以包括基本平行。例如,第一平面SF1可以包括液滴DR的下落路径。
作为示例,在液滴DR从液滴排出单元140下落的情况下,液滴DR的位置在每个时间段都可改变。例如,在从液滴排出单元140下落之后刚经过第一时间段之后的第一位置PO1处的液滴DR可以由于与液滴排出单元140的喷嘴的吸引力而具有较长的尾部。另外,在从液滴排出单元140下落之后刚经过第二时间段之后的第二位置PO2处的液滴DR可以具有比第一位置PO1处的液滴DR的尾部短的尾部。在从液滴排出单元140下落之后刚经过第三时间段之后的第三位置PO3处的液滴DR可以具有比第二位置PO2处的液滴DR的尾部短的尾部,因此,液滴DR可能看起来几乎像球。
如上所述,传感器单元150可以在第一时间段、第二时间段和第三时间段感测液滴DR。在这种情况下,液滴DR开始从液滴排出单元140下落的时间与第一时间段之间的间隔、第一时间段与第二时间段之间的间隔和第二时间段与第三时间段之间的间隔可以相同或相似。在一实施例中,传感器单元150可以以预定的时间间隔感测液滴DR。例如,传感器单元150可以通过以一定或预定的时间间隔感测液滴DR来随着时间感测下落的液滴DR的位置。
控制器180可以通过如上所述感测的液滴DR的外表面的局部形状来计算液滴DR的三维形状。在这种情况下,控制器180可以基于液滴DR的三维形状来计算液滴DR的体积。另外,控制器180可以基于由传感器单元150在各个时间感测到的液滴DR的位置来计算液滴DR的下落路径。通过将液滴DR的下落路径连接到液滴DR首先被排出的点并且计算液滴排出单元140的喷嘴的纵向方向与下落路径之间的角度,控制器180可以计算液滴DR的排出角度。控制器180可以基于液滴DR在各个时间的位置来计算液滴DR的速度。
控制器180可以基于液滴DR的体积、液滴DR的下落路径、液滴DR的排出角度和液滴DR的排出速度中的至少一个来控制液滴排出单元140和移动单元130中的至少一个。
例如,控制器180可以调节从液滴排出单元140排出的液滴DR的量,或者可以调节液滴DR的排出速度。另外,液滴排出单元140的位置通过移动单元130被改变以改变液滴DR的排出角度和液滴DR的下落路径,从而液滴DR可以降落在显示基板S上的准确位置处。在一实施例中,可以根据液滴DR的排出角度或液滴DR的下落路径来清洗液滴排出单元140,或者可以控制显示基板S的移动速度或液滴排出单元140的移动速度。上述控制方法将在下面被详细描述。
相应地,用于制造显示设备的装置100和制造该显示设备的方法可以将准确量的液滴DR准确地供应到显示基板S上的准确位置。
另外,用于制造显示设备的装置100和制造该显示设备的方法可以制造精确的显示设备。
在下文中,将详细描述上述的测量液滴DR的下落路径、液滴DR的下落速度、液滴DR的排出角度和液滴DR的体积的方法。
图3A为图2中示出的第一位置PO1处的液滴DR的局部形状的主视图。图3B为通过图3A中示出的液滴DR的局部形状计算出的液滴DR的三维形状的透视图。在下文中,与图1和图2的那些附图标记相同的附图标记表示相同的元件。
参见图3A和图3B,在液滴DR从液滴排出单元140排出并且在第一时间内位于第一位置PO1的情况下,传感器单元150可以感测第一位置PO1处的液滴DR的布置或设置在第一平面SF1上的横截面的外表面的一部分。在这种情况下,因为从传感器单元150发射的激光到达的距离可以根据激光的颜色而不同,所以传感器单元150可以通过感测撞击液滴DR并且被反射并返回的激光的波长来感测从传感器单元150到液滴DR的外表面的距离。在这种情况下,传感器单元150可以被布置或设置在垂直于液滴DR的下落路径的方向上。例如,传感器单元150可以被布置或设置在液滴DR的下落路径的侧表面(即,图3A的Y轴方向)上。
如图3A所示,传感器单元150可以感测液滴DR的可以包括液滴DR的下落路径或者可以平行于液滴DR的下落路径而布置或设置在第一平面SF1上的外表面的一部分。
控制器180可以基于由传感器单元150感测到的结果来计算液滴DR的三维形状。作为示例,在一实施例中,控制器180可以将连接由传感器单元150感测到的液滴DR的外部形状的一部分(即,液滴DR的外表面的局部形状)的两端的线假定为中心线CL。在一实施例中,中心线CL可以是平行于与显示基板S的一个表面垂直的直线的任意直线,液滴DR降落在显示基板S的该一个表面上。在一实施例中,中心线CL可以与液滴DR的下落路径相同或相似,或者可以平行于液滴DR的下落路径。在这种情况下,液滴DR的下落路径可以平行于与显示基板S的一个表面垂直的直线。
在一实施例中,控制器180可以基于液滴DR的外部形状的一部分(即,液滴DR的外表面的局部形状)来计算在第一平面SF1上的液滴DR的横截面形状。控制器180可以通过将液滴DR的外部形状的一部分基于如上所述的中心线CL旋转来计算液滴DR的三维形状。
控制器180可以存储如上所述的液滴DR的三维形状。在这种情况下,控制器180可以计算液滴DR的第一中心CE1。在这种情况下,在本发明的精神和范围内,例如,第一中心CE1可以为液滴DR的三维形状的重心、液滴DR的三维形状的几何中心。
在这种情况下,控制器180可以使用图2的X轴、Y轴和Z轴相交的虚拟点作为参考点来计算液滴DR在图2的X轴、Y轴和Z轴上的位置。例如,控制器180可以将液滴DR从其下落的液滴排出单元140的喷嘴的末端的中心设定为参考点,并且可以将该中心与以上计算出的液滴DR的第一中心CE1进行比较,以检查液滴DR的第一中心CE1从参考点到X轴、Y轴和Z轴的移动量。在这种情况下,控制器180可以计算在Y轴方向上从参考点到液滴DR的第一中心CE1的距离。另外,控制器180可以基于由传感器单元150感测到的结果来计算液滴DR的第一中心CE1,然后计算在X轴方向上液滴DR的第一中心CE1与参考点之间的距离。另外,控制器180可以计算在Z轴方向上液滴DR的第一中心CE1与参考点之间的距离。控制器180可以如上所述计算每个距离,然后计算并存储液滴DR的第一中心CE1相对于参考点的X坐标、Y坐标和Z坐标。
图4A为图2中示出的第二位置PO2处的液滴DR的局部形状的主视图。图4B为通过图4A中示出的液滴DR的局部形状计算出的液滴DR的三维形状的透视图。在下文中,与图1和图2的那些附图标记相同的附图标记表示相同的元件。
参见图4A和图4B,在液滴DR被排出之后经过第二时间段的情况下,液滴DR可以进一步从第一位置PO1下落并且位于第二位置PO2处。传感器单元150可以感测第二位置PO2处的液滴DR。在这种情况下,由传感器单元150执行的感测方法可以与上述方法相同或相似。在这种情况下,由传感器单元150感测的液滴DR的表面的一部分被形成在其上的第一平面SF1可以与图3A和图3B中示出的第一平面SF1相同或相似或平行。
控制器180可以计算由传感器单元150感测的第二位置PO2处的液滴DR的三维形状。在这种情况下,计算液滴DR的三维形状的方法可以与上述方法相同或相似。
控制器180可以计算第二位置PO2处的液滴DR的三维形状,然后存储第二位置PO2处的液滴DR的三维形状。在这种情况下,液滴DR的三维形状的存储可以连接到控制器180,并且可以通过可以单独提供的存储器(未示出)来执行。另外,控制器180可以由上面计算出的液滴DR的三维形状来计算第二位置PO2处的液滴DR的第二中心CE2。
在这种情况下,关于第二位置PO2处的液滴DR的第二中心CE2,控制器180可以计算在Z轴、X轴和Y轴方向上相对于参考点的位置。作为示例,控制器180可以如上所述计算每个距离,然后计算并存储液滴DR的第二中心CE2相对于参考点的X坐标、Y坐标和Z坐标。这种计算方法可以类似于上述第一中心CE1的计算方法,因此,将省略其详细描述。
图5A为图2中示出的第三位置PO3处的液滴DR的局部形状的主视图。图5B为通过图5A中示出的液滴DR的局部形状计算出的液滴DR的三维形状的透视图。图5C为从图2中示出的液滴排出单元140排出的液滴的下落路径和液滴降落在显示基板S上的点的透视图。在下文中,与图1和图2的那些附图标记相同的附图标记表示相同的元件。
参见图5A至图5C,液滴DR可以在从液滴排出单元140排出之后的第三时间到达第三位置PO3。在这种情况下,传感器单元150可以感测到达第三位置PO3的液滴DR。因为由传感器单元150执行的感测第三位置PO3处的液滴DR的方法与上述方法相同或相似,所以将省略其详细描述。在这种情况下,传感器单元150可以感测液滴DR的表面的形成在第一平面SF1上的一部分。在这种情况下,第一平面SF1可以与上述图3A和图3B以及图4A和图4B中示出的第一平面SF1相同或相似或基本平行。
控制器180可以基于由传感器单元150感测的结果来计算第三位置PO3处的液滴DR的三维形状。另外,控制器180可以计算液滴DR的三维形状的中心。在这种情况下,第三位置PO3处的液滴DR的三维形状可以与球基本相同或相似。
在如上所述的第一位置PO1、第二位置PO2和第三位置PO3处计算出液滴DR的三维形状的情况下,控制器180可以计算每个位置处的液滴DR的体积。例如,控制器180可以通过使用作为中心线CL的连接每个位置处的液滴DR的平面形状的一部分的末端的直线形成三维形状并计算该三维形状的体积,来计算每个位置处的液滴DR的体积。
另外,控制器180可以基于液滴DR从一个位置移动到另一位置的时间以及该一个位置与该另一位置之间的距离来计算液滴DR的下落速度。例如,控制器180可以基于液滴排出单元140的喷嘴的末端在Z轴方向上到第一位置PO1的距离和移动该距离所花费的时间来计算液滴DR的下落速度。另外,控制器180可以利用第一位置PO1和第二位置PO2之间在Z轴方向上的距离以及液滴DR从第一位置PO1下落到第二位置PO2的时间来计算液滴DR的下落速度。控制器180可以利用第二位置PO2和第三位置PO3之间在Z轴方向上的距离以及液滴DR从第二位置PO2下落到第三位置PO3的时间来计算液滴DR的下落速度。控制器180可以通过将如上所述计算出的下落速度进行算术平均来计算液滴DR的平均下落速度。
控制器180可以通过连接每个位置处的液滴DR的中心以形成虚拟直线并将该直线连接到可以从液滴排出单元140排出液滴DR的点来计算液滴DR的下落路径。另外,控制器180可以通过将在中心线CL和液滴DR的下落路径之间形成的角度确定为液滴DR的排出角度并计算该排出角度来计算液滴DR的排出角度。在一实施例中,控制器180可以将任意直线与液滴DR的下落路径之间的角度确定为液滴DR的排出角度,该任意直线垂直于液滴排出单元140的喷嘴的端面,液滴DR从液滴排出单元140的喷嘴排出。
在这种情况下,控制器180可以分别在X轴方向和Y轴方向上计算液滴排出单元140的液滴DR的排出角度和液滴DR的下落路径。例如,如上所述,基于第一中心CE1、第二中心CE2和第三中心CE3的各自位置,控制器180可以计算液滴DR在X轴方向或Y轴方向上从液滴排出单元140的喷嘴的末端排出的角度。作为示例,如上所述,控制器180可以通过连接液滴DR相对于参考点的X轴坐标和Y轴坐标来计算液滴DR的排出角度和液滴DR的下落路径。
通过上述过程,控制器180可以计算液滴DR的三维形状、液滴DR的体积、液滴DR的下落速度、液滴DR的下落路径以及液滴DR的排出角度中的至少一个。
此后,如上所述,控制器180可以基于以上描述精确地控制液滴排出单元140。
在使用一个喷嘴将液滴DR供应到像素限定层19(参见图15)的一个开口19OP的情况下,控制器180可以将测量的液滴DR的体积与预定的设定体积进行比较。在确定测量的液滴DR的体积小于设定体积的情况下,控制器180可以控制液滴排出单元140以将从液滴排出单元140排出的液滴DR的量从液滴DR的现有量增加。另一方面,在确定测量的液滴DR的体积大于设定体积的情况下,控制器180可以控制液滴排出单元140以将从液滴排出单元140排出的液滴DR的量从液滴DR的现有量减少。另外,在测量的液滴DR的体积与设定体积相同或相似的情况下,控制器180可以控制液滴排出单元140保持当前状态。在这种情况下,在预定的设定体积为待供应到像素限定层19的一个开口19OP的液滴DR的总量的情况下,控制器180还可以基于测量的液滴DR的量来调节液滴排出单元140排出液滴DR的时间。
另一方面,在使用至少两个喷嘴将液滴DR供应到像素限定层19的一个开口19OP的情况下,控制器180可以计算从每个喷嘴排出的液滴DR的体积。在这种情况下,控制器180可以控制待使用至少两个喷嘴中的至少一个喷嘴提供的液滴DR,以对应于设定体积,该设定体积为待供应到像素限定层19的一个开口19OP的液滴DR的预定总量。例如,控制器180可以调节从至少两个喷嘴中的一个喷嘴排出的液滴DR的体积以对应于上述设定体积,从而对应于液滴DR的预定总量,并且可以停止另一个喷嘴的操作。在一实施例中,控制器180可以分别控制从至少两个喷嘴排出的液滴DR的体积,以对应于液滴DR的预定总量。另外,在一实施例中,控制器180可以仅操作三个或更多喷嘴中的一些或预定数量的喷嘴并且可以不操作其它喷嘴,以对应于液滴DR的预定总量。例如,在使用三个喷嘴将液滴DR供应到像素限定层19的一个开口19OP的情况下,在待供应到像素限定层19的一个开口19OP的液滴DR的预定总量为20mm3,从三个喷嘴中的一个喷嘴排出的液滴DR的量为9mm3,从三个喷嘴中的另一个喷嘴排出的液滴DR的量为10mm3,并且从三个喷嘴中的再一个喷嘴排出的液滴DR的量为11mm3的情况下,控制器180可以操作三个喷嘴中的该一个喷嘴和该再一个喷嘴,并且可以不操作三个喷嘴中的最后一个喷嘴。如上所述,预定量的液滴DR可以被准确地提供到像素限定层19的每个开口19OP。在一实施例中,在可以使用多个喷嘴的情况下,从每个喷嘴排出液滴DR的时间被不同地控制,使得待供应到像素限定层19的一个开口19OP的液滴DR的总量可以匹配预定值。
控制器180可以将计算出的液滴DR的下落速度(或平均下落速度)与预定的设定速度进行比较。在这种情况下,控制器180可以基于如上所述的下落速度来控制显示基板S的移动速度或液滴排出单元140的移动速度。例如,在计算出的液滴DR的下落速度(或平均下落速度)小于预定的设定速度的情况下,控制器180可以在液滴排出单元140执行将液滴DR排出到显示基板S的过程的情况下将显示基板S的移动速度或液滴排出单元140的移动速度控制为快于预定的设定移动速度。另一方面,在计算出的液滴DR的下落速度(或平均下落速度)大于预定的设定速度的情况下,控制器180可以在液滴排出单元140执行将液滴DR排出到显示基板S的过程的情况下将显示基板S的移动速度或液滴排出单元140的移动速度控制为慢于预定的设定移动速度。相应地,可以通过上述过程将液滴DR排出到准确的位置。
在液滴DR被排出到显示基板S并被供应到像素限定层19的开口19OP的情况下,显示基板S或液滴排出单元140可以被移动。在这种情况下,控制器180可以如上所述通过将液滴DR的下落路径与预定的下落路径进行比较来控制显示基板S或液滴排出单元140的移动。
作为示例,控制器180可以将液滴DR的下落路径与预定的下落路径进行比较。在这种情况下,控制器180可以从液滴DR的下落路径计算在显示基板S或液滴排出单元140的移动方向上的下落路径。控制器180可以基于上述下落路径来计算液滴DR降落在显示基板S上的点。作为示例,控制器180可以确定上面计算出的液滴DR降落在显示基板S上的点是否在穿过预定的设定点D0并且平行于显示基板S或液滴排出单元140的移动方向(即,图5C的Y轴方向)的任意直线上。
在确定计算出的液滴DR降落的点在该任意直线上的情况下,控制器180可以将计算出的液滴DR降落的点与预定的设定点D0进行比较。例如,在由控制器180计算出的液滴DR降落的点为图5C中示出的第一降落点D1的情况下,控制器180可以使显示基板S或液滴排出单元140的移动速度慢于预定的设定移动速度。另一方面,在计算出的液滴DR降落的点为图5C中示出的第二降落点D2的情况下,控制器180可以使显示基板S或液滴排出单元140的移动速度快于预定的设定移动速度。
在确定计算出的液滴DR降落的点不在该任意直线上的情况下,控制器180可以使液滴排出单元140被清洗。例如,在计算出的液滴DR降落的点为图5C中示出的第三降落点D3和第四降落点D4的情况下,控制器180可以使液滴排出单元140被清洗。在一实施例中,控制器180可以控制移动单元130以调节液滴排出单元140的位置,使得计算出的液滴DR降落的点在该任意直线上。
控制器180可以将计算出的液滴DR的排出角度与预定的设定排出角度进行比较。在这种情况下,控制器180可以分别在X轴方向和Y轴方向上计算液滴DR的排出角度。在这种情况下,在计算出的液滴DR的排出角度在图5C的X轴方向(该X轴方向为不同于显示基板S或液滴排出单元140的移动方向的方向)上的情况下,控制器180可以控制液滴排出单元140被洗涤。在这种情况下,尽管在附图中未示出清洗液滴排出单元140的方法,但是在本公开的精神和范围内,例如,可以使用刷子、清洗溶液来清洗液滴排出单元140。
在计算出的液滴DR的排出角度不在图5C的X轴方向(该X轴方向为不同于显示基板S或液滴排出单元140的移动方向的方向)上的情况下,控制器180可以将在图5C的Y轴方向(该Y轴方向为显示基板S或液滴排出单元140的移动方向)上计算出的液滴DR的排出角度与预定的设定角度进行比较。在这种情况下,在计算出的液滴DR的排出角度为图5C中示出的第一排出角度θ1的情况下,控制器180可以将显示基板S的移动速度或液滴排出单元140的移动速度控制为慢于预定的设定移动速度。另一方面,在计算出的液滴DR的排出角度为图5C中示出的第二排出角度θ2的情况下,控制器180可以将显示基板S的移动速度或液滴排出单元140的移动速度控制为快于预定的设定移动速度。相应地,通过上述控制,液滴DR可以根据液滴DR的排出角度降落在显示基板S上的准确位置处。
上述控制可以被单独地或组合地执行。例如,在液滴DR的三维形状、液滴DR的体积、液滴DR的下落速度、液滴DR的下落路径和液滴DR的排出角度中的至少两个与预定的值的不同情况下,控制器180可以通过以复杂的方式控制用于制造显示设备的装置的各个元件来使液滴DR降落在显示基板S上的准确位置处。
图6为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图。图7为由图6中示出的传感器单元测量的液滴DR与测量表面之间的关系的透视图。图8为由图6中示出的传感器单元感测的液滴DR的平面形状的透视图。
参见图6至图8,用于制造显示设备的装置可以与参见图1和图2描述的装置相似。在这种情况下,传感器单元150可以为彩色共聚焦线传感器。
传感器单元150可以将激光照射到在液滴DR的下落路径上且垂直于液滴DR的下落路径的任意第二平面SF2(例如,与图6的XY平面平行的平面)上,并且可以使用可以被反射并且可以返回的激光来感测液滴DR的平面形状的一部分(即,液滴DR的外表面的局部形状)。在这种情况下,基于由传感器单元150感测的结果,控制器180可以计算在液滴DR穿过基本垂直于液滴DR的下落路径的任意第二平面SF2的情况下第二平面SF2和液滴DR彼此重叠的形状。
作为示例,在传感器单元150将激光照射到液滴DR上的情况下,撞击液滴DR的激光可以再次返回到传感器单元150,并且因此,传感器单元150可以感测返回的激光的波长。控制器180可以通过分析传感器单元150感测的结果来计算液滴DR的外部形状的一部分DR-1A。控制器180可以确定液滴DR的外部形状的该部分DR-1A为液滴DR在液滴DR可以与第二平面SF2重叠处的整个平面形状DR-1B的一半。相应地,控制器180可以通过液滴DR的外部形状的该部分DR-1A来计算液滴DR的与第二平面SF2重叠的整个平面形状DR-1B。例如,控制器180可以将液滴DR的外表面的局部形状转换成液滴DR在第二平面SF2上的平面形状。
可以如上所述计算的液滴DR的与第二平面SF2重叠的整个平面形状DR-1B可以由传感器单元150随着时间以一定或预定的时间间隔测量。在液滴DR被排出之后经过一定或预定的时间段的情况下,传感器单元150可以通过以一定或预定的时间间隔发射激光来顺序地感测液滴DR在第二平面SF2上的形状。
感测的结果可以被传送到控制器180,并且控制器180可以随着时间顺序地堆叠液滴DR在第二平面SF2上的平面形状。控制器180可以基于液滴DR的平面形状计算液滴DR的三维形状。例如,如图8所示,控制器180可以堆叠根据时间间隔的液滴DR的第一平面形状DR-1至液滴的第N平面形状DR-N(其中,N为自然数)。
在液滴DR的N个平面形状如图8所示被堆叠的情况下,控制器180可以通过连接液滴DR的平面形状的外轮廓来计算液滴DR的三维形状。在完成液滴DR的三维形状的计算的情况下,控制器180可以计算液滴DR的体积。
控制器180可以基于如上所述计算出的液滴DR的体积来控制从液滴排出单元140排出的液滴DR的量。可替代地,控制器180可以基于计算出的液滴DR的体积确定液滴排出单元140的至少两个喷嘴中的待操作的喷嘴。另外,控制器180可以通过调节液滴排出单元140的排出速度来控制待降落在显示基板S上的液滴DR的总量。
相应地,用于制造显示设备的装置和制造该显示设备的方法可以调节供应到显示基板S的液滴DR的总量。
图9为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图。图10A至图10C为由图9中示出的传感器单元感测的液滴DR的横截面形状的侧视图。
参见图9至图10C,用于制造显示设备的装置(未示出)可以与参考图1和图2描述的装置相似。
传感器单元150可以为共聚焦显微镜或干涉显微镜。在这种情况下,传感器单元150可以感测下落的液滴DR的投影在第三平面SF3上的平面形状。例如,传感器单元150可以感测液滴DR在第三平面SF3上的横截面形状。第三平面SF3可以在液滴DR的下落路径上。在这种情况下,根据液滴DR的下落路径,第三平面SF3的位置可以彼此相同或相似或平行。
如图10A所示,传感器单元150可以感测液滴DR在第一位置PO1、第二位置PO2和第三位置PO3中的每个处的横截面形状。在这种情况下,传感器单元150可以通过以一定或预定的时间间隔操作来分别感测在每个位置处的液滴DR的横截面形状。在一实施例中,传感器单元150可以连续地感测液滴DR的横截面形状。
控制器180可以基于由传感器单元150感测的液滴DR的横截面形状来计算在每个位置处的液滴DR的三维形状。在这种情况下,控制器180可以将液滴DR的形状假定为旋转体的形状。另外,控制器180可以将与穿过液滴DR在每个位置处的横截面形状并且可以基本垂直于显示基板S的上表面的直线平行的任意直线假定为中心线CL。在一实施例中,控制器180可以将液滴DR的下落路径假定为中心线CL。
控制器180可以使液滴DR的横截面形状基于如上所述的中心线CL旋转。控制器180可以将通过旋转形成的液滴DR的形状确定为液滴DR的三维形状。
控制器180可以分别在第一位置PO1、第二位置PO2和第三位置PO3处执行上述操作。另外,在液滴DR处于第一位置PO1至第三位置PO3的情况下,控制器180可以计算液滴DR的中心(未示出)。在这种情况下,由于计算液滴DR的中心的方法与参考图3A至图5B描述的方法相同或相似,所以将省略其详细描述。
在液滴DR的位置、液滴DR的三维形状和液滴DR的中心如上所述被确定的情况下,控制器180可以计算液滴DR的体积、液滴DR的下落路径、液滴DR的下落速度和液滴DR的排出角度中的至少一个。在这种情况下,由于由控制器180执行的计算液滴DR的体积、液滴DR的下落路径、液滴DR的下落速度和液滴DR的排出角度中的至少一个的方法与上述方法相同或相似,所以将省略其详细描述。
控制器180可以基于如上所述计算出的液滴DR的体积、液滴DR的下落路径、液滴DR的下落速度和液滴DR的排出角度中的至少一个来控制液滴排出单元140或显示基板S的移动速度。
作为示例,在确定计算出的液滴DR的体积大于预定的设定体积的情况下,控制器180可以通过减少从液滴排出单元140排出的液滴DR的量来减少在相同时间段内降落在显示基板S上的液滴DR的量。另一方面,在确定计算出的液滴DR的体积小于预定的设定体积的情况下,控制器180可以通过增加从液滴排出单元140排出的液滴DR的量来增加在相同时间段内降落在显示基板S上的液滴DR的量。在一实施例中,控制器180可以通过将计算出的液滴DR的体积与待供应到像素限定层19的一个开口19OP的液滴DR的总量进行比较来控制从液滴排出单元140排出液滴DR的时间。另外,在一实施例中,在使用至少两个喷嘴将液滴DR供应到像素限定层19的一个开口19OP的情况下,如上所述,控制器180可以调节从每个喷嘴供应的液滴DR的体积,仅使用一些或预定数量的喷嘴来供应液滴DR,并且控制从每个喷嘴供应液滴DR的时间。
控制器180可以通过在测量液滴DR的下落路径或液滴DR的排出角度之后计算液滴DR降落在显示基板S上的点来调节液滴排出单元140的位置。在一实施例中,使用液滴DR的下落路径或液滴DR的排出角度,控制器180可以控制显示基板S的移动速度或液滴排出单元140的移动速度,或者可以如上所述控制液滴排出单元140被清洗。
相应地,用于制造显示设备的装置和制造该显示设备的方法可以精确地控制和排出液滴DR,从而将液滴DR精确地供应到显示基板S上的准确位置。
图11为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图。
参见图11,用于制造显示设备的装置可以与参考图1和图2描述的装置相似。
多个传感器单元150A、150B、150C可以被提供。在这种情况下,该多个传感器单元150A、150B、150C可以沿各种方向布置或设置。例如,该多个传感器单元150A、150B、150C中的一个可以基本垂直于液滴DR的下落路径布置或设置。该多个传感器单元150A、150B、150C中的另一个可以基本平行于液滴DR的下落路径布置或设置。
例如,该多个传感器单元150A、150B、150C可以包括位于其中心的第一传感器单元150A以及被布置或设置为与第一传感器单元150A间隔开的第二传感器单元150B和第三传感器单元150C。在这种情况下,第二传感器单元150B和第三传感器单元150C可以被布置或设置为彼此面对。
用于制造显示设备的装置可以包括分别对应于第二传感器单元150B和第三传感器单元150C布置或设置的第二反射单元170B和第三反射单元170C。在这种情况下,第二反射单元170B和第三反射单元170C可以分别反射从第二传感器单元150B和第三传感器单元150C发射的激光,并且可以将从液滴DR反射的激光分别引导到第二传感器单元150B和第三传感器单元150C。第二反射单元170B和第三反射单元170C可以为镜子形式。
第一传感器单元150A、第二传感器单元150B和第三传感器单元150C可以感测不同位置处的液滴DR。例如,在液滴DR处于第二位置PO2的情况下,第一传感器单元150A可以感测液滴DR。在液滴DR处于第一位置PO1的情况下,第二传感器单元150B可以感测液滴DR。在液滴DR处于第三位置PO3的情况下,第三传感器单元150C可以感测液滴DR。
如上所述的第一传感器单元150A至第三传感器单元150C可以为共聚焦显微镜、干涉显微镜和彩色共聚焦线传感器中的一种。在一实施例中,第一传感器单元150A至第三传感器单元150C中的至少一个可以为共聚焦显微镜、干涉显微镜和彩色共聚焦线传感器中的一种,并且第一传感器单元150A至第三传感器单元150C中的其它传感器单元可以为共聚焦显微镜、干涉显微镜和彩色共聚焦线传感器中的其它种。另外,在一实施例中,第一传感器单元150A至第三传感器单元150C可以为共焦显微镜、干涉显微镜和彩色共聚焦线传感器中的不同设备。
如上所述的第一传感器单元150A至第三传感器单元150C可以感测液滴DR在每个位置处投影到任意平面上的平面形状的一部分或液滴DR的横截面形状。在这种情况下,控制器(未示出)可以基于由每个传感器单元感测的结果来计算液滴DR在每个位置处的三维形状。控制器可以基于计算出的三维形状来计算液滴DR的体积。另外,控制器可以基于液滴DR在每个位置处的中心来计算液滴DR的下落路径、液滴DR的下落速度和液滴DR的排出角度中的至少一个。
相应地,用于制造显示设备的装置和制造该显示设备的方法可以精确地控制和排出液滴DR,从而将液滴DR精确地供应到显示基板S上的准确位置。
图12为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图。
参见图12,用于制造显示设备的装置(未示出)可以与图11中示出的装置相似。
除了第一传感器单元150A、第二传感器单元150B和第三传感器单元150C之外,还可以包括可以相对于液滴DR的下落路径倾斜布置或设置的第四传感器单元150D和第五传感器单元150E。在这种情况下,第四传感器单元150D和第五传感器单元150E可以分别对应于第四反射单元170D和第五反射单元170E布置或设置,以将激光照射到液滴DR的下落路径上。
在这种情况下,第一传感器单元150A至第五传感器单元150E可以被布置或设置在不同的高度。例如,第一传感器单元150A至第五传感器单元150E可以被布置或设置为在液滴排出单元140和容纳单元160之间彼此间隔开。在这种情况下,第一传感器单元150A至第五传感器单元150E可以感测穿过由液滴排出单元140和容纳单元160之间的空间分成的每个空间的液滴DR。
如上所述的第一传感器单元150A至第五传感器单元150E中的至少一个可以为如上所述的彩色共聚焦线传感器、共焦显微镜和干涉显微镜中的至少一种。
在这种情况下,第一传感器单元150A至第五传感器单元150E中的每个可以感测液滴DR在每个位置处投影到任意平面上的平面形状的一部分和液滴DR的横截面形状中的至少一个。
控制器180可以通过基于感测的结果计算液滴DR在每个位置处的三维形状来计算液滴DR在每个位置处的体积。
另外,控制器180可以通过计算每个液滴DR的三维形状的中心来计算每个液滴DR的下落速度、下落路径和排出角度中的至少一个。
基于如上计算出的液滴DR的体积、液滴DR的下落速度,液滴DR的下落路径和液滴DR的排出角度中的至少一个,控制器180可以调节液滴排出单元140,使得在液滴排出单元140供应液滴DR的情况下,液滴DR精确地降落在显示基板(未示出)上。
相应地,用于制造显示设备的装置和制造该显示设备的方法可以精确地控制和排出液滴DR,从而将液滴DR精确地供应到显示基板S上的准确位置。
图13为根据一实施例的用于制造显示设备的装置的一部分的透视图。
参见图13,用于制造显示设备的装置(未示出)可以与参考图12描述的装置相似。
在这种情况下,多个传感器单元150A、150B、150C、150D、150E、150F可以被提供,并且该多个传感器单元150A、150B、150C、150D、150E、150F可以包括第一传感器单元150A、第二传感器单元150B、第三传感器单元150C、第四传感器单元150D、第五传感器单元150E和第六传感器单元150F。在这种情况下,第一传感器单元150A至第三传感器单元150C可以以与参考图10描述的方式相同或相似的方式布置或设置。第四传感器单元150D可以被布置或设置为面对第一传感器单元150A,第五传感器单元150E可以被布置或设置成与第二传感器单元150B相对,并且第六传感器单元150F可以布置或设置成与第三传感器单元150C相对。在这种情况下,第一传感器单元150A和第四传感器单元150D可以感测穿过相同或相似区域的液滴DR。另外,第二传感器单元150B和第五传感器单元150E可以感测穿过相同或相似区域的液滴DR,并且第三传感器单元150C和第六传感器单元150F可以感测穿过相同或相似区域的液滴DR。在这种情况下,由第一传感器单元150A和第四传感器单元150D感测的区域、由第二传感器单元150B和第五传感器单元150E感测的区域以及由第三传感器单元150C和第六传感器单元150F感测的区域可以彼此不同,并且可以被彼此连续地提供或可以被彼此间隔开。
在可以如上所述布置或设置第一传感器单元150A至第六传感器单元150F的情况下,第五反射单元170E和第六反射单元170F可以被布置或设置为对应于第五传感器单元150E和第六传感器单元150F。在这种情况下,第五反射单元170E和第六反射单元170F可以分别将从第五传感器单元150E和第六传感器单元150F发射的激光引导到液滴DR的下落路径上。
在这种情况下,在相同或相似区域中感测液滴DR的传感器单元可以具有相同或相似或不同的形式。作为示例,在传感器单元彼此不同的情况下,第一传感器单元150A和第四传感器单元150D中的一个可以为彩色共聚焦线传感器,并且第一传感器单元150A和第四传感器单元150D中的另一个可以为共聚焦显微镜或干涉显微镜。第二传感器单元150B和第五传感器单元150E中的一个可以为彩色共聚焦线传感器,并且第二传感器单元150B和第五传感器单元150E中的另一个可以为共聚焦显微镜或干涉显微镜。另外,第三传感器单元150C和第六传感器单元150F中的一个可以为彩色共聚焦线传感器,并且第三传感器单元150C和第六传感器单元150F中的另一个可以为共聚焦显微镜或干涉显微镜。
在这种情况下,由各个传感器单元感测的结果可以被发送到控制器180。控制器180可以基于由各个传感器单元感测的结果来计算液滴DR在每个区域中的三维形状。在这种情况下,控制器180可以通过组合由可以被布置或设置为彼此面对并且感测通过相同或相似区域的液滴DR的传感器单元感测的结果来计算液滴DR的三维形状。例如,控制器180可以通过对通过被从一个区域感测而计算的液滴DR的三维形状进行平均来计算液滴DR的三维形状。
控制器180可以基于如上所述感测穿过每个区域的液滴DR的结果来计算液滴DR的三维形状、液滴DR的体积、液滴DR的下落路径和液滴DR的排出角度中的至少一个。
控制器180可以基于如上所述的结果控制液滴排出单元140。
相应地,用于制造显示设备的装置和制造该显示设备的方法可以精确地控制和排出液滴DR,从而将液滴DR精确地供应到显示基板S上的准确位置。
在一实施例中,制造显示设备的方法可以包括:排出滴(例如,液滴DR);感测投影到在滴的下落路径上的平面上的滴的外表面的局部形状和滴的横截面形状中的至少一个;和基于滴的外表面的局部形状和滴的横截面形状中的至少一个,计算滴的体积、滴的下落速度、滴的下落路径和滴的排出角度中的至少一个。在一实施例中,该方法可以进一步包括:基于滴的外表面的局部形状和滴的横截面形状中的至少一个,计算滴的三维形状;以预定的时间间隔计算滴的三维形状;和通过连接滴的三维形状的中心来计算滴的排出角度和滴的下落路径中的至少一个。在一实施例中,该方法可以进一步包括:感测在垂直于滴的下落路径的平面上的滴的外表面的局部形状;基于滴的外表面的局部形状,计算在垂直于下落路径的平面上的滴的平面形状;以预定的时间间隔感测在垂直于滴的下落路径的平面上的滴的外表面的局部形状,并计算滴的平面形状;和基于以预定的时间间隔计算的滴的平面形状,计算滴的三维形状。在一实施例中,该方法可以进一步包括:感测在包括滴的下落路径的平面上的滴的外表面的局部形状;基于滴的外表面的局部形状,计算在包括下落路径的平面上的滴的横截面形状;和通过将滴的横截面形状相对于滴的下落路径旋转来计算滴的三维形状。
图14为由根据一个或多个实施例的用于制造显示设备的装置制造的显示设备1的平面图。图15为图14中示出的显示设备的示意性横截面图。
参见图14,显示设备1可以包括显示区域DA和非显示区域NDA,非显示区域NDA可以围绕显示区域DA或者可以与显示区域DA相邻。显示区域DA可以至少包括像素PX以及电连接到像素PX的数据线DLn和扫描线SL。参见图14和图15,显示设备1可以包括显示基板S。除了中间层和公共电极23之外,显示基板S可以包括基板10和显示层DL的层。
显示层DL和薄膜封装层TFE可以被布置或设置在基板10上。显示层DL可以包括像素电路层PCL和显示元件层DEL。
基板10可以包括玻璃或聚合物树脂,例如,诸如聚醚砜、聚芳酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚酰亚胺、聚碳酸酯、三醋酸纤维素、醋酸丙酸纤维素。
阻挡层(未示出)可以包括在显示层DL和基板10之间。阻挡层(该阻挡层为防止外部异物渗透的阻挡层)可以为包括诸如氮化硅(SiNX,x>0)和氧化硅(SiOX,x>0)的无机材料的单层或多层。
像素电路层PCL可以被布置或设置在基板10上。在图15中,示出像素电路层PCL可以包括布置或设置在薄膜晶体管TFT和薄膜晶体管TFT的元件下方和/或上方的缓冲层11、第一栅绝缘层13a、第二栅绝缘层13b、层间绝缘层15和平坦化绝缘层17。
缓冲层11可以包括诸如氮化硅、氮氧化硅和氧化硅的无机绝缘材料,并且可以为包括上述无机绝缘材料的单层或多层。
薄膜晶体管TFT可以包括半导体层12,并且半导体层12可以包括多晶硅。可替代地,半导体层12可以例如包括非晶硅、氧化物半导体、有机半导体。半导体层12可以包括沟道区12c以及分别布置或设置在沟道区12c的两侧的漏极区12a和源极区12b。栅电极14可以与沟道区12c重叠。
栅电极14可以包括低电阻金属材料。栅电极14可以包括例如包括钼(Mo)、铝(Al)、铜(Cu)、钛(Ti)的导电材料,并且可以由包括上述材料的多层或单层形成。
在本公开的精神和范围内,半导体层12和栅电极14之间的第一栅绝缘层13a可以包括氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNX)、氮氧化硅(SiON)、氧化铝(Al2O3)和氧化钛(TiO2)、氧化钽(Ta2O5)、氧化铪(HfO2)、氧化锌(ZnO2)等。
第二栅绝缘层13b可以被提供或设置以覆盖栅电极14或与栅电极14重叠。类似于第一栅绝缘层13a,在本公开的精神和范围内,栅电极14上的第二栅绝缘层13b可以包括SiO2、SiNX、SiON、Al2O3和TiO2、Ta2O5、HfO2、ZnO2等。
存储电容器Cst的上电极Cst2可以被布置或设置在第二栅绝缘层13b上。上电极Cst2可以与在其下方的栅电极14重叠。在这种情况下,与其间的第二栅绝缘层13b重叠的栅电极14和上电极Cst2可以形成存储电容器Cst。例如,栅电极14可以用作存储电容器Cst的下电极Cst1。
类似地,存储电容器Cst和薄膜晶体管TFT可以被形成或设置为彼此重叠。在一实施例中,存储电容器Cst可以被形成或设置为不与薄膜晶体管TFT重叠。
上电极Cst2可以包括Al、铂(Pt)、钯(Pd)、银(Ag)、镁(Mg)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)、钙(Ca)、Mo、Ti、钨(W)和/或铜(Cu),并且可以为上述材料的单层或多层。
层间绝缘层15可以覆盖上电极Cst2或与上电极Cst2重叠。在本发明的精神和范围内,层间绝缘层15可以包括SiO2、SiNX、SiON、Al2O3和TiO2、Ta2O5、HfO2、ZnO2等。层间绝缘层15可以为包括上述无机绝缘材料的单层或多层。
漏电极16a和源电极16b可以分别位于或被设置在层间绝缘层15上。漏电极16a和源电极16b可以包括具有良好导电性的材料。漏电极16a和源电极16b可以包括例如包括Mo、Al、Cu、Ti的导电材料,并且可以由包括上述材料的多层或单层形成。在一实施例中,漏电极16a和源电极16b可以具有Ti/Al/Ti的多层结构。
平坦化绝缘层17可以包括有机绝缘层。平坦化绝缘层17可以包括有机绝缘材料,例如,诸如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)或聚苯乙烯(PS)的市售聚合物、具有酚基基团的聚合物衍生物、丙烯酸基聚合物、酰亚胺基聚合物、芳基醚聚合物、酰胺基聚合物、氟基聚合物、对二甲苯基聚合物、乙烯醇基聚合物及其混合物。
显示元件层DEL可以被布置或设置在具有上述结构的像素电路层PCL上。显示元件层DEL可以包括有机发光二极管OLED,并且有机发光二极管OLED的像素电极21可以通过平坦化绝缘层17的接触孔电连接到薄膜晶体管TFT。
像素PX可以包括有机发光二极管OLED和薄膜晶体管TFT。每个像素PX可以通过有机发光二极管OLED发射例如红光、绿光或蓝光,或者红光、绿光、蓝光或白光。
像素电极21可以包括导电氧化物,诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟(In2O3)、氧化铟镓(IGO)或氧化铝锌(AZO)。在一实施例中,像素电极21可以包括反射层,该反射层包括Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr或其化合物。在一实施例中,像素电极21可以包括在上述反射层上方或下方的包括ITO、IZO、ZnO或In2O3的层。
具有可以暴露像素电极21的中心部分的开口19OP的像素限定层19可以被布置或设置在像素电极21上。像素限定层19可以包括有机绝缘材料和/或无机绝缘材料。开口19OP可以限定从有机发光二极管OLED发射的光的发光区域(在下文中,称为发光区域EA)。例如,开口19OP的宽度可以对应于发光区域EA的宽度。
发光层22可以被布置或设置在像素限定层19的开口19OP中。发光层22可以包括发射预定颜色的光的聚合物或低分子量有机材料。在一实施例中,发光层22可以包括量子点材料。发光层22可以通过使用根据本公开的实施例的用于制造显示设备的装置排出液滴而被形成。
尽管未示出,但是第一功能层和第二功能层可以分别被布置或设置在发光层22下方和发光层22上。例如,第一功能层可以包括空穴传输层(HTL),或者可以包括HTL和空穴注入层(HIL)。为布置或设置在发光层22上的元件的第二功能层是可选的。第二功能层可以包括电子传输层(ETL)和/或电子注入层(EIL)。第一功能层和/或第二功能层可以为以与稍后描述的公共电极23相同或相似的方式被形成或设置为完全覆盖基板10或与基板10重叠的公共层。
公共电极23可以由具有低功函数的导电材料形成。例如,公共电极23可以包括(半)透明层,该(半)透明层包括Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、锂(Li)、Ca或其合金。可替代地,公共电极23可以包括在包括上述材料的(半)透明层上的诸如ITO、IZO、ZnO或In2O3的层。
在一实施例中,薄膜封装层TFE可以包括至少一个无机封装层和至少一个有机封装层。在一实施例中,在图15中,示出薄膜封装层TFE可以包括顺序地堆叠的第一无机封装层31、有机封装层32和第二无机封装层33。
第一无机封装层31和第二无机封装层33中的每个可以包括一种或多种无机材料,例如氧化铝、氧化钛、氧化钽、氧化铪、氧化锌、氧化硅、氮化硅和氧氮化硅。有机封装层32可以包括聚合物基材料。在本公开的精神和范围内,聚合物基材料的示例可以包括例如丙烯酸基树脂、环氧基树脂、聚酰亚胺、聚乙烯。在一实施例中,有机封装层32可以包括丙烯酸酯。
在一实施例中,薄膜封装层TFE可以具有其中基板10和为透明构件的上基板通过密封构件彼此联接以密封基板10和上基板之间的内部空间的结构。在这种情况下,吸湿剂或填充剂可以位于或被设置在内部空间中。密封构件可以为密封剂,并且在一实施例中,密封构件可以由通过激光固化的材料形成。例如,密封构件可以为玻璃料。作为示例,密封部件可以由诸如聚氨酯基树脂、环氧基树脂和丙烯酸基树脂的有机密封剂或诸如硅的无机密封剂形成。例如,可以将聚氨酯丙烯酸酯等用作聚氨酯基树脂。例如,可以将丙烯酸丁酯、丙烯酸乙基己酯等用作丙烯酸基树脂。密封构件可以由通过热被固化的材料形成。
包括触摸电极的触摸电极层(未示出)可以被布置或设置在薄膜封装层TFE上,并且光学功能层(未示出)可以被布置或设置在触摸电极层上。触摸电极层可以根据例如触摸事件的外部输入获得坐标信息。光学功能层可以减小从外部朝显示设备1入射的光(外部光)的反射率和/或提高从显示设备1发射的光的颜色纯度。在一实施例中,光学功能层可以包括相位延迟器和偏振器。相位延迟器可以是膜型或液晶涂层型的,并且可以包括λ/2相位延迟器和/或λ/4相位延迟器。偏振器也可以是膜型或液晶涂层型的。膜型可以包括可拉伸的合成树脂膜,并且液晶涂层型可以包括以预定布置布置或设置的液晶。相位延迟器和偏振器中的每个可以包括保护膜。
在一实施例中,光学功能层可以包括黑色矩阵和滤色器。可以考虑从显示设备1的每个像素PX发射的光的颜色来布置或设置滤色器。每个滤色器可以包括红色、绿色或蓝色的颜料或染料。可替代地,除上述颜料或染料之外,每个滤色器还可以包括量子点。可替代地,一些或预定数量的滤色器可以不包括上述颜料或染料,并且可以包括诸如氧化钛的散射颗粒。可以通过使用根据本公开的实施例的用于制造显示设备的装置排出液滴来形成上述滤色器。
在一实施例中,光学功能层可以包括相消干涉结构。相消干涉结构可以包括布置或设置在不同层上的第一反射层和第二反射层。分别从第一反射层和第二反射层反射的第一反射光和第二反射光可彼此相消地干涉,并且相应地,可以降低外部光反射率。
粘合构件可以被布置或设置在触摸电极层和光学功能层之间。本领域中已知的一般粘合剂可以被用作粘合构件,而没有任何限制。粘合构件可以是压敏粘合剂(PSA)。
如上所述,已经参考附图中示出的实施例描述了本公开,但是实施例仅为示例。本领域普通技术人员将理解,可以在其中对实施例进行各种修改。因此,本公开的技术范围应当由所附权利要求的技术精神来限定。
根据一个或多个实施例的用于制造显示设备的装置和制造该显示设备的方法可以制造能够实现精确图像的显示设备。
根据一个或多个实施例的用于制造显示设备的装置和用于制造该显示设备的方法可以实时准确地且精确地测量液滴。
应当理解,本文描述的实施例应仅在描述性意义上考虑,并且不是为了限制的目的。每个实施例中的特征或方面的描述通常应被认为可用于其它实施例中的其它类似特征或方面。尽管已经参考附图描述了一个或多个实施例,但是本领域普通技术人员将理解,在不脱离由所附权利要求所限定的精神和范围的情况下,可以在其中进行各种形式和细节上的改变。

Claims (10)

1.一种用于制造显示设备的装置,所述装置包括:
滴排出单元,包括排出滴的喷嘴;
至少一个传感器,感测投影到平面上的所述滴的外表面的局部形状和投影到所述平面上的所述滴的横截面形状中的至少一个,所述平面在从所述滴排出单元排出的所述滴的下落路径上;和
控制器,基于由所述至少一个传感器感测的结果,计算所述滴的体积、所述滴的下落速度、所述滴从所述喷嘴排出的排出角度以及所述滴的所述下落路径中的至少一个。
2.根据权利要求1所述的装置,其中所述至少一个传感器包括共聚焦显微镜或彩色共聚焦线传感器。
3.根据权利要求1所述的装置,其中所述控制器:
通过将由所述至少一个传感器感测的所述滴的所述外表面的所述局部形状相对于所述滴的所述下落路径旋转来计算所述滴的三维形状,并且
基于所述滴的所述三维形状来计算所述滴的所述体积。
4.根据权利要求1所述的装置,其中
所述至少一个传感器以预定的时间间隔感测所述滴,并且
所述控制器通过连接所述滴的中心来计算所述滴的所述下落路径或所述滴的所述排出角度。
5.根据权利要求1所述的装置,其中所述平面垂直于所述滴的所述下落路径,
其中所述至少一个传感器以预定的时间间隔感测下落在所述平面上的所述滴的所述外表面的所述局部形状,并且其中
所述控制器将所述滴的所述外表面的所述局部形状转换成在所述平面上的平面形状,并且
所述控制器基于所述滴的所述平面形状来计算所述滴的三维形状。
6.根据权利要求1所述的装置,其中
所述至少一个传感器在所述滴下落时以预定的时间间隔感测所述滴,并且
所述控制器基于所述滴在预定时间段内已经移动的距离来计算所述滴的所述下落速度。
7.一种制造显示设备的方法,所述方法包括:
排出滴;
感测投影到在所述滴的下落路径上的平面上的所述滴的外表面的局部形状和所述滴的横截面形状中的至少一个;和
基于所述滴的所述外表面的所述局部形状和所述滴的所述横截面形状中的至少一个,计算所述滴的体积、所述滴的下落速度、所述滴的所述下落路径和所述滴的排出角度中的至少一个。
8.根据权利要求7所述的方法,进一步包括:
基于所述滴的所述外表面的所述局部形状和所述滴的所述横截面形状中的至少一个,计算所述滴的三维形状;
以预定的时间间隔计算所述滴的所述三维形状;和
通过连接所述滴的所述三维形状的中心来计算所述滴的所述排出角度和所述滴的所述下落路径中的至少一个。
9.根据权利要求7所述的方法,其中所述平面垂直于所述滴的所述下落路径,并且
其中所述方法进一步包括:
感测在所述平面上的所述滴的所述外表面的所述局部形状;
基于所述滴的所述外表面的所述局部形状,计算所述平面上的所述滴的平面形状;
以预定的时间间隔感测在所述平面上的所述滴的所述外表面的所述局部形状,并计算所述滴的所述平面形状;和
基于以所述预定的时间间隔计算的所述滴的所述平面形状,计算所述滴的三维形状。
10.根据权利要求7所述的方法,其中所述平面包括所述滴的所述下落路径,并且
其中所述方法进一步包括:
感测在所述平面上的所述滴的所述外表面的所述局部形状;
基于所述滴的所述外表面的所述局部形状,计算在所述平面上的所述滴的所述横截面形状;和
通过将所述滴的所述横截面形状相对于所述滴的所述下落路径旋转来计算所述滴的三维形状。
CN202110198299.6A 2020-03-18 2021-02-22 用于制造显示设备的装置和制造显示设备的方法 Pending CN113497211A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2020-0033303 2020-03-18
KR1020200033303A KR20210117386A (ko) 2020-03-18 2020-03-18 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113497211A true CN113497211A (zh) 2021-10-12

Family

ID=77748527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110198299.6A Pending CN113497211A (zh) 2020-03-18 2021-02-22 用于制造显示设备的装置和制造显示设备的方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20210296375A1 (zh)
JP (1) JP2021146339A (zh)
KR (1) KR20210117386A (zh)
CN (1) CN113497211A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115817016A (zh) * 2023-01-30 2023-03-21 苏州希盟科技股份有限公司 一种喷墨打印状态检测装置及方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210089291A (ko) * 2020-01-07 2021-07-16 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20210130901A (ko) * 2020-04-22 2021-11-02 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 장치

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3966034B2 (ja) * 2002-03-14 2007-08-29 セイコーエプソン株式会社 吐出パターンデータ生成方法および吐出パターンデータ生成装置
JP3770252B2 (ja) * 2003-02-27 2006-04-26 ソニー株式会社 液体吐出装置及び液体吐出方法
JP4093167B2 (ja) * 2003-10-15 2008-06-04 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
DE102005010847B4 (de) * 2005-03-07 2007-08-02 Rea Elektronik Gmbh Vorrichtung zur Messung einer austretenden Flüssigkeit
JP4437805B2 (ja) * 2006-09-13 2010-03-24 シャープ株式会社 インク吐出装置及びインク吐出制御方法
KR20110065098A (ko) * 2009-12-09 2011-06-15 삼성전자주식회사 잉크젯 프린팅 장치의 잉크토출특성조절방법 및 구동방법
CN105073434B (zh) * 2012-12-27 2017-12-26 科迪华公司 用于打印油墨体积控制以在精确公差内沉积流体的方法和系统
JP2014131846A (ja) * 2013-01-07 2014-07-17 Seiko Epson Corp 検査方法
JP2015170828A (ja) * 2014-03-11 2015-09-28 富士フイルム株式会社 プラズマエッチング方法およびパターン化基板の製造方法
JP6329425B2 (ja) * 2014-05-02 2018-05-23 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
DE112016000229T5 (de) * 2015-01-13 2017-09-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Tropfraten-Messvorrichtung, Tropfraten-Controller, Tropfinfusionsvorrichtung, und Flüssigkeitstropfen-Volumenmessvorrichtung
US10336062B2 (en) * 2016-03-14 2019-07-02 Board Of Regents, The University Of Texas System Systems and methods for precision inkjet printing
US11009338B2 (en) * 2017-04-04 2021-05-18 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Liquid droplet measurement method and liquid droplet measurement device, and method and apparatus for manufacturing device
KR102156301B1 (ko) * 2018-09-06 2020-09-15 (주)에스티아이 잉크젯 인쇄 방법 및 잉크젯 인쇄 장치
KR20200131421A (ko) * 2019-05-14 2020-11-24 세메스 주식회사 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법
KR20200144198A (ko) * 2019-06-17 2020-12-29 삼성디스플레이 주식회사 잉크 액적 부피 측정장치와, 그것을 이용한 잉크 액적 부피 측정방법과, 그 잉크 액적 부피 측정장치를 활용하는 박막층 형성장치 및, 상기 박막층 형성장치를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법
KR20210089291A (ko) * 2020-01-07 2021-07-16 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20210130901A (ko) * 2020-04-22 2021-11-02 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115817016A (zh) * 2023-01-30 2023-03-21 苏州希盟科技股份有限公司 一种喷墨打印状态检测装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210117386A (ko) 2021-09-29
JP2021146339A (ja) 2021-09-27
US20210296375A1 (en) 2021-09-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113497211A (zh) 用于制造显示设备的装置和制造显示设备的方法
US11974490B2 (en) Apparatus for manufacturing a display device
US11552138B2 (en) Display device including component areas with corresponding transmission areas
US20220140041A1 (en) Display device
US20180006096A1 (en) Organic light-emitting display apparatus
US20220199951A1 (en) Display apparatus and method of providing the same
US20220183196A1 (en) Apparatus and method for manufacturing display device
US11796372B2 (en) Apparatus for manufacturing display apparatus, method of measuring droplet, and method of manufacturing display apparatus
US20120256186A1 (en) Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same
CN217847960U (zh) 显示设备
US20220219284A1 (en) Apparatus and method for manufacturing display device
KR20210133370A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
CN219108132U (zh) 用于制造显示装置的装置
US20220216451A1 (en) Apparatus and method for manufacturing display device
US20240094246A1 (en) Inspection device for display apparatus and inspection method for display apparatus
US20220293893A1 (en) Method of manufacturing display apparatus
US20240034041A1 (en) Method and apparatus for manufacturing display device
US20230232653A1 (en) Display panel
KR20220002793A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
US20230320178A1 (en) Display panel, method of manufacturing the display panel, and electronic apparatus including the display panel
US20230075636A1 (en) Display device, and apparatus and method of manufacturing the display device
KR20230171347A (ko) 표시 장치
KR20220160153A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR20230155656A (ko) 표시 장치의 검사 방법 및 표시 장치의 검사 장치
KR20240059759A (ko) 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination