JP2021139361A - Turbo molecular pump, and method for manufacturing stator disk for turbo molecular pump - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、周囲にわたって分配されて配置された複数のロータブレードを備えた1つのロータと、周囲にわたって分配されて配置された複数のステータブレードを備える少なくとも1つのステータディスクを有し、ロータが、回転軸を中心として回転してポンプ作用を発生させるために駆動可能であり、ポンプ作用を発生させるためにロータがステータディスクと協働し、ステータディスクのステータブレードが、ロータの回転軸に対して垂直に延在するディスク平面に関して斜めに整向されているターボ分子ポンプに関する。 The present invention comprises one rotor with a plurality of rotor blades distributed and arranged around the periphery and at least one stator disk with a plurality of stator blades distributed and arranged around the periphery. It can be driven to rotate around a rotating shaft to generate pumping action, the rotor cooperates with the stator disk to generate pumping action, and the stator blades of the stator disk are relative to the rotating shaft of the rotor. With respect to a turbomolecular pump oriented diagonally with respect to a vertically extending disk plane.
本発明は、ターボ分子ポンプ用の、周囲にわたって分配されて配置された複数のステータブレードを備えたステータディスクを製造するための方法にも関する。 The present invention also relates to a method for manufacturing a stator disk with a plurality of stator blades distributed and arranged around a turbo molecular pump.
ターボ分子ポンプ用のステータディスクは、通常は、中実材料から切削により製造、例えばミーリング加工又は鋸引き加工されるか、板金から製造される。板金からの製造の場合、ステータブレードは、典型的に、打ち抜かれ、次いで曲げによりディスク平面に関して斜めに整向される。ディスク平面は、組み立てられたポンプの場合、ロータの回転軸に対して垂直に延在するものであり、例えばステータディスクの少なくとも1つのカラーによって規定されている。 Stator discs for turbo molecular pumps are typically made by cutting from solid materials, such as milling or sawing, or from sheet metal. In the case of manufacturing from sheet metal, the stator blades are typically punched and then bent to align diagonally with respect to the disk plane. In the case of an assembled pump, the disk plane extends perpendicular to the axis of rotation of the rotor and is defined, for example, by at least one collar of the stator disk.
板金からのステータディスクの製造は、特にコスト的に有利であるが、性能が同等の場合、板金から製造されたステータディスク用の方が切削により製造されたステータディスク用よりも多くの軸方向の取付けスペースが必要であるとの欠点を備える。その理由は、異なる製造方法が、ステータブレードの異なる形状を生じさせることである。 Manufacture of stator discs from sheet metal is particularly cost-effective, but for comparable performance, the stator discs made from sheet metal have more axial orientations than the stator discs made by cutting. It has the disadvantage of requiring mounting space. The reason is that different manufacturing methods give rise to different shapes of the stator blades.
本発明の課題は、板金から製造されたステータディスクの軸方向の取付けスペースを、特に真空性能を制限することなく減少させることである。 An object of the present invention is to reduce the axial mounting space of a stator disk manufactured from sheet metal without particularly limiting the vacuum performance.
これに関連して明らかなアプローチは、ステータブレードを単純に「少ない傾斜で」形成すること、即ちその角度をディスク平面に関して減少させることにある。但し、これは、ステータディスクのポンプ作用に、従って真空性能に著しい影響を及ぼす。 A clear approach in this regard is to simply form the stator blades "with less tilt", i.e. reduce their angle with respect to the disk plane. However, this has a significant effect on the pumping action of the stator disc and thus on the vacuum performance.
課題は、むしろ、請求項1に記載の特徴を備えたターボ分子ポンプによって、特に、少なくとも1つのステータブレードが、少なくとも一方の軸方向の端部に平坦化部を備えることによって、解決される。 Rather, the problem is solved by a turbomolecular pump having the characteristics of claim 1, in particular by having at least one stator blade provided with a flattening portion at at least one axial end.
これにより、ステータブレードの材料は、特に正確に、一方でステータブレードの軸方向の取付けスペースを規定し、他方でポンプ性能に関して比較的小さい役割を演じる、特に少なくとも実質的にポンプ活性作用を備えないところを平坦化されている。加えて、このような平坦化は、簡単な手段によって発生させ得るので、本発明は、取付けスペースの最適化を、少なくとも実質的に一定のポンプ性能でも、構造的に特に簡単な手段によって可能にする。 Thereby, the material of the stator blades, particularly accurately, on the one hand defines the axial mounting space of the stator blades and, on the other hand, plays a relatively small role in pump performance, especially at least substantially without pumping activity. However, it is flattened. In addition, since such flattening can occur by simple means, the present invention allows optimization of mounting space by structurally particularly simple means, at least with substantially constant pump performance. do.
平坦化は、材料の除去又は材料の排除によって発生させることができる。これについては、他の個所で詳細に立ち入る。 Flattening can be caused by removal of material or removal of material. We'll go into more detail about this elsewhere.
「軸方向」との用語は、一般にロータの回転軸もしくはそれに対して平行な方向を指している。従って、軸方向の端部は、軸方向で、直立したポンプ内でのステータブレードの最高点又は最低点に存在する。回転軸に対しては、典型的にポンプ方向も少なくとも実質的に平行であるので、ステータディスクの軸方向の端部は、特に上流側の端部と下流側の端部を構成する。 The term "axial" generally refers to the axis of rotation of the rotor or a direction parallel to it. Thus, the axial end is axially located at the highest or lowest point of the stator blades in the upright pump. Since the pump direction is typically at least substantially parallel to the axis of rotation, the axial end of the stator disc constitutes, in particular, an upstream end and a downstream end.
少なくとも1つのステータブレードは、例えば一方の軸方向の端部にだけ平坦化部を備えるか、例えば対向する2つの軸方向の端部にそれぞれ1つの平坦化部を設けることができる。 At least one stator blade may be provided with, for example, only one axial end with a flattening portion, or, for example, one flattening portion at each of two opposing axial ends.
1つの実施形態によれば、平坦化部が、少なくとも実質的に平坦な面を含むこと、が企図されている。このような面は、簡単な手段によって生成することができ、従って、簡単な方法で比較的大きい省取付けスペースを可能にする。 According to one embodiment, it is intended that the flattening portion comprises at least a substantially flat surface. Such surfaces can be created by simple means, thus allowing relatively large mounting space in a simple way.
面は、好ましくは少なくとも実質的にディスク平面に対して平行に延在することができる。これは、特に大きい省取付けスペースを可能にする。 The surface can preferably extend at least substantially parallel to the disk plane. This allows for a particularly large mounting space.
更に好ましくは、平坦化部は、ステータブレードの全長にわたって延在することができる。ステータブレードの長さは、少なくとも実質的に半径方向のその広がりに一致し、「半径方向」との記載は、ロータの回転軸に関する。 More preferably, the flattening portion can extend over the entire length of the stator blade. The length of the stator blades at least substantially coincides with its spread in the radial direction, and the description "radial" refers to the axis of rotation of the rotor.
全般的に、軸方向の端部は、ステータブレードの上流側の端部又は下流側の端部であり得る。しかしながらまた、ステータブレードの上流側の端部と下流側の端部の両方が、平坦化部を備えることも可能である。この場合、2倍の省取付けスペースを達成することができる。 In general, the axial end can be the upstream end or the downstream end of the stator blades. However, it is also possible that both the upstream and downstream ends of the stator blades are provided with flattening portions. In this case, it is possible to achieve twice the mounting space.
好ましくは、ステータディスクの複数又は全てのステータブレードが、特に相応の軸方向の端部に、即ち全てが上流側の端部及び/又は下流側の端部に、1つの平坦化部を備えることができる。ターボ分子ポンプは、しばしば複数のステータディスクを備える。ここでは、複数又は全てのステータディスクが平坦化部を有するステータブレードを備える場合が、特に有利である。 Preferably, the plurality or all stator blades of the stator disc are provided with one flattening portion, particularly at the corresponding axial end, i.e., all at the upstream end and / or downstream end. Can be done. Turbo molecular pumps often include multiple stator discs. Here, it is particularly advantageous that a plurality or all of the stator discs include a stator blade having a flattened portion.
本発明の課題は、それを追求した独立請求項に記載されたステータディスクを製造するための方法によっても解決される。これは、ターボ分子ポンプ用の、特に前記形式のターボ分子ポンプ用の、周囲にわたって分配されて配置された複数のステータブレードを備えたステータディスクを製造するために使用され、ステータディスクが板金から製造されること、ステータディスクのステータブレードが、板金の延在平面に関して斜めに整向されること、及び、少なくとも1つのステータブレードが、少なくとも一方の端部において、板金の延在平面に対する法線に関して平坦化されること、を含む。一般に、本発明は、このように製造されたステータディスクを備えたターボ分子ポンプ用の相応の製造方法も含む。 The problem of the present invention is also solved by the method for manufacturing a stator disk described in the independent claim pursuing it. It is used to make a stator disk with multiple stator blades distributed and arranged around it, for turbo molecular pumps, especially for turbo molecular pumps of the type described above, where the stator disk is made from sheet metal. The stator blades of the stator disk are oriented diagonally with respect to the extending plane of the sheet metal, and at least one stator blade is at least one end with respect to the normal to the extending plane of the sheet metal. Including being flattened. In general, the present invention also includes a suitable manufacturing method for turbo molecular pumps with a stator disc thus manufactured.
板金の延在平面は、好ましくは、特にポンプが組み立てられたときに回転軸に対して垂直なディスク平面に一致する。特に、ステータブレードの整向時に、ステータブレードを支持するカラーは、板金の延在平面内に残っている。この場合、カラーの延在平面を引き合いにだすことができる。法線は、特にポンプが組み立てられた時のロータの回転軸に対して平行に整向されている。 The extending plane of the sheet metal preferably coincides with the disc plane perpendicular to the axis of rotation, especially when the pump is assembled. In particular, when the stator blades are oriented, the collar supporting the stator blades remains in the extending plane of the sheet metal. In this case, the extension plane of the color can be referred to. The normals are oriented parallel to the axis of rotation of the rotor, especially when the pump is assembled.
発展形によれば、平坦化が、成形、特に冷間成形及び/又はプレスを含むこと、が企図されている。この場合、特に、ステータブレードは、面で曲げられるのではなく、実質的にステータディスクの横断面内で圧縮される。全般的に特に、材料は、流動的に及び/又は押出成形によって変形される。一般に好ましくは、ステータブレードの材料は、特に軸方向の端部に隣接する領域が隆起するように、押し付けられる。基本的に、平坦化をするため、例えば成形力及び/又はプレス力は、少なくとも実質的に法線もしくはロータの回転軸に対して平行にステータブレードもしくは端部に加えることができる。平坦化中、ステータブレードは、好ましくは平坦化部とは反対側の平坦側部に、好ましくは面で支持することができる。 According to the evolution, flattening is intended to include molding, especially cold molding and / or pressing. In this case, in particular, the stator blades are not bent at the surface, but are substantially compressed within the cross section of the stator disk. In general, in particular, the material is fluidly and / or deformed by extrusion. Generally preferably, the material of the stator blades is pressed so that the region adjacent to the axial end in particular is raised. Basically, for flattening, for example, forming and / or pressing forces can be applied to the stator blades or ends at least substantially parallel to the normal or the axis of rotation of the rotor. During flattening, the stator blades can preferably be supported on a flat side opposite to the flattened portion, preferably on a surface.
選択的又は付加的に、例えば、平坦化部を機械加工又は例えば研削によって生成することも可能である。 It is also possible to selectively or additionally produce, for example, the flattened portion by machining or, for example, grinding.
全般的に、平坦化は、特にステータブレードの横断面の角部で行なうことができる。一般に、好ましくは当該角部において材料部分がその位置から除去される、即ち成形により移動されるか、例えば切削によりステータブレードから分離されるかのどちらかである。除去すべき材料部分は、好ましくは横断面が少なくとも実質的に三角形である。平坦化部の前記の面は、特にこの三角形の1つの辺を、即ち特にステータブレードの横断面に対してステータブレードの面重心に向いた辺を規定する。 In general, flattening can be done especially at the corners of the cross section of the stator blades. In general, it is preferred that the material portion be removed from its position at the corner, i.e., either moved by molding or separated from the stator blade by, for example, cutting. The material portion to be removed is preferably at least substantially triangular in cross section. The surface of the flattening portion defines, in particular, one side of this triangle, that is, a side that faces the center of gravity of the surface of the stator blade, particularly with respect to the cross section of the stator blade.
一般に、ステータブレードは、特に、法線に関して平坦化された端部と同じ方向に向いた第1の平坦側部及び/又はこの方向とは反対方向に向いた第2の平坦側部を備える。ポンプ方向に関して、特に、ポンプ方向で上もしくは第1の側部と、ポンプ方向で下もしくは第2の側部のことである。平坦側部が一般に斜めに整向されているが、法線に沿った両反対方向の一方に向いていることが、即ち平坦側部は、相応の方向に向いていることが、わかる。 In general, the stator blades particularly include a first flat side that points in the same direction as the flattened end with respect to the normal and / or a second flat side that faces in the opposite direction. With respect to the pump direction, in particular, the upper or first side portion in the pump direction and the lower or second side portion in the pump direction. It can be seen that the flat side is generally oriented diagonally, but is oriented in one of the opposite directions along the normal, that is, the flat side is oriented in the corresponding direction.
1つの実施形態によれば、平坦化は、ステータブレードの材料が特に主として第1の平坦側部の方向に特に流れるように移動されることを含むこと、が企図されている。前記のターボ分子ポンプに関して、これは、特に、ステータブレードが、第1の平坦側部において、ロータの回転軸に関して平坦化された端部と同じ方向に材料蓄積部を備えることを意味する。これは、特に突出部及び/又はビードを構成すること、及び/又は、平坦化部の直近に配置すること、ができる。第1の平坦側部は、特に、直立したポンプ内のブレードの上側及び/又は上流側の平坦側部であり、特に、当該端部は、上流側の端部である。しかしながらまた、例えば、下流側の端部を平坦化することもでき、特に材料蓄積部は、下流側の平坦側部において発生される。 According to one embodiment, flattening is intended to include moving the material of the stator blades, especially primarily in the direction of the first flat side, so as to flow. With respect to the turbo molecular pump described above, this means that, in particular, the stator blades, on the first flat side, feature a material storage section in the same direction as the flattened end with respect to the rotor axis of rotation. This can specifically constitute a protrusion and / or a bead and / or be placed in the immediate vicinity of the flattening portion. The first flat side is, in particular, the upper and / or upstream flat side of the blade in an upright pump, and in particular, the end is the upstream end. However, it is also possible, for example, to flatten the downstream end, and in particular the material storage portion is generated on the downstream flat side.
例えば一般に、ステータブレードは、打ち抜きによって成形すること及び/又は曲げによって斜めに整向することができる。平坦化は、例えば付加的な方法ステップであること又は付加的な方法ステップの一部であることも、基本的に成形及び/又は整向を備えた方法ステップ内に設けることもできる。基本的に、平坦化は、特に、打ち抜き及び/又は髷の前、間及び/又は後に行なうことができる。 For example, in general, the stator blades can be formed by punching and / or oriented obliquely by bending. The flattening can be, for example, an additional method step or part of an additional method step, or can be provided within a method step that is essentially molded and / or oriented. Basically, flattening can be done, in particular, before, during and / or after punching and / or mage.
本発明の別の態様は、請求項11に記載のターボ分子ポンプを提案する。例えば、前記形式に応じて形成及び/又は製造することができる又は製造可能であり得、周囲にわたって分配されて配置された複数のロータブレードを備えた1つのロータと、周囲にわたって分配されて配置された複数のステータブレードを備える少なくとも1つのステータディスクを有し、ロータが、回転軸を中心として回転してポンプ作用を発生させるために駆動可能であり、ポンプ作用を発生させるためにロータがステータディスクと協働する。ステータディスクのステータブレードは、ロータの回転軸に対して垂直に延在するディスク平面に関して斜めに整向され、ステータブレードは、少なくとも1つのカラー、特に内側カラー及び/又は外側カラーによって支持される。カラーは、少なくとも1つのステータブレードに関して軸方向に偏心して配置されている。特に、カラーは、ステータディスクの全てのステータブレードに関して軸方向に偏心して配置することができる。 Another aspect of the present invention proposes the turbo molecular pump according to claim 11. For example, one rotor with a plurality of rotor blades that can be formed and / or can be manufactured or can be manufactured according to the above type and are distributed and arranged around the periphery and distributed and arranged around the periphery. It has at least one stator disk with a plurality of stator blades, the rotor can be driven to rotate about a rotation axis to generate pumping action, and the rotor is driven to generate pumping action. Collaborate with. The stator blades of the stator discs are oriented obliquely with respect to the disc plane extending perpendicular to the rotor axis of rotation, and the stator blades are supported by at least one collar, particularly the inner and / or outer collars. The collars are arranged axially eccentrically with respect to at least one stator blade. In particular, the collar can be arranged axially eccentrically with respect to all the stator blades of the stator disc.
即ち、カラーは、特にブレードの軸方向の中心の高さにではなく、これに対して軸方向に位置ズレさせられて配置されている。偏心配置は、組立ての、特にポンプの解体の簡素化可能にする。ステータディスクは、カラーの偏心配置によってポンプから簡単に取り外すことができる。 That is, the collar is arranged so as to be displaced in the axial direction with respect to the height of the center of the blade in the axial direction. The eccentric arrangement allows simplification of assembly, especially pump disassembly. The stator disc can be easily removed from the pump due to the eccentric arrangement of the collars.
特にステータディスクが解体のために半径方向に2つのロータディスクの間から導出されるもしくは組立てのために2つのロータディスクの間に導入されるこのような配置の場合−この場合、ステータディスクは、特に少なくとも2つの分離可能なリングセグメントを備える−は、これにより、カラーを位置ズレさせた軸方向の側で、それ以外のステータ要素、特にスペーサリングとの衝突の危険が軽減される。何故なら、その場合そこでは、ステータブレードが、軸方向に短いからである。確かに、これにより理論的には他方の軸方向の側では衝突の危険が高まるかもしれないが、大抵は、当該ステータディスクが「順番に」取り外すためのものである時に、この他方の軸方向の側にこのような要素、特にスペーサリングが配置されていないことは、所定の組立て順序を可能にする。 Especially in the case of such an arrangement in which the stator discs are radially derived from between the two rotor discs for disassembly or introduced between the two rotor discs for assembly-in this case, the stator discs are In particular, the-with at least two separable ring segments reduces the risk of collision with other stator elements, especially spacer rings, on the axial side where the collar is misaligned. This is because, in that case, the stator blades are axially short. Indeed, this may theoretically increase the risk of collision on the other axial side, but most often when the stator disc is intended to be removed "in order", this other axial. The absence of such elements, especially spacer rings, on the side of the allows for a given assembly sequence.
好ましくは、カラー、カラーとそれぞれのステータブレードの間の結合箇所及び/又はカラーの軸方向の中心が、ポンプ方向に関してステータブレードの軸方向の中心の前又は後に配置されていること、を企図することができる。直立したポンプの場合、これは、特にステータブレードの軸方向の中心の上もしくは下の配置に一致する。 Preferably, it is intended that the coupling point between the collar, collar and each stator blade and / or the axial center of the collar is located before or after the axial center of the stator blade with respect to the pump direction. be able to. For upright pumps, this is especially consistent with the axially centered top or bottom placement of the stator blades.
ステータディスクは、例えば外側カラー及び/又は内側カラーを備えることができる。基本的に、ステータディスクの外側カラー及び内側カラーは、同じ又は異なった軸方向の高さに配置することができる。「外側」及び「内側」との用語は、ここでは、ロータの回転軸に関し、即ち半径方向外側及び半径方向内側を意味する。 The stator disc can include, for example, an outer collar and / or an inner collar. Basically, the outer and inner collars of the stator disc can be placed at the same or different axial heights. The terms "outside" and "inside" here mean with respect to the axis of rotation of the rotor, i.e., radially outside and radially inside.
いくつかの実施形態の場合、カラーは、複数の、特に全てのステータブレードに関して軸方向に偏心して配置されている。これは、好ましくはカラー全体及び/又は外側カラー及び/又は内側カラーに対して当て嵌まる。一般に、ステータブレードは、特に軸方向同じ高さに配置することができる。 In some embodiments, the collars are arranged axially eccentrically with respect to a plurality of, especially all stator blades. This is preferably true for the entire collar and / or the outer and / or inner collar. In general, the stator blades can be arranged at the same height, especially in the axial direction.
基本的に、カラーは、例えばリング状に、特に連続的にリング状に又は複数のリングセグメントによって形成することができる。例えば、内側カラーは、連続的にリング状に、外側カラーは、複数のリングセグメントによって、形成することができる。この場合、ステータディスク自体を好ましくはリングセグメントから製造することができることを考慮すべきであり、即ち「連続的」は、その場合ステータディスクの当該リングセグメントに関する。 Basically, the collar can be formed, for example, in a ring shape, especially in a continuous ring shape or by a plurality of ring segments. For example, the inner collar can be formed in a continuous ring shape and the outer collar can be formed by a plurality of ring segments. In this case, it should be considered that the stator disc itself can preferably be manufactured from the ring segment, i.e., "continuous" in that case relates to the ring segment of the stator disc.
ステータディスクは、一般に好ましくは板金から、特に打抜き及び/又は曲げによって製造することができる。一般に、ステータディスクは、例えば少なくとも2つの部分リング、特にハーフリングから構成することができる。 Stator discs can generally be manufactured from sheet metal, especially by punching and / or bending. In general, the stator disc can consist of, for example, at least two partial rings, particularly halflings.
ここで説明したターボ分子ポンプ及び製造方法が、ここで説明した他方のターボ分子ポンプもしくは製造方法の実施形態及び個々の特徴によって個々に及び組み合わせて有利に発展させ得ることがわかる。 It can be seen that the turbomolecular pumps and manufacturing methods described herein can be advantageously developed individually and in combination depending on the embodiments and individual characteristics of the other turbomolecular pumps or manufacturing methods described herein.
以下で、本発明を、模範的に有利な実施形態により添付図を参照して説明する。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings in an exemplary advantageous embodiment.
図1に示したターボ分子ポンプ111は、入口フランジ113によって包囲されたポンプ入口115を有し、このポンプ入口に、それ自体周知のように、図示してないレシピエントを接続することができる。レシピエントからのガスは、ポンプ入口115を介してレシピエントから吸い込まれ、ポンプを経てポンプ出口117へ移送することができ、このポンプ出口には、例えば回転ベーンポンプのような予備真空ポンプを接続することができる。
The turbo
入口フランジ113は、図1による真空ポンプの整向時に、真空ポンプ111のハウジング119の上端を構成する。ハウジング119は、下部121を有し、この下部の横に、電子機器ハウジング123が配置されている。電子機器ハウジング123内に、例えば真空ポンプ内に配置された電気モータ125を作動させるために、真空ポンプ111の電気及び/又は電子部品が収納されている(図3も参照)。電子機器ハウジング123には、アクセサリ用の複数のポート127が設けられている。加えて、例えばRS485規格によるデータインタフェース129と電力供給ポート131が電子機器ハウジング123に配置されている。
The
このように取り付けられた電子機器ハウジングを備えるのではなく、外部の駆動電子機器に接続されるターボ分子ポンプも存在する。 There are also turbo molecular pumps that are connected to external drive electronics rather than having such an attached electronics housing.
ターボ分子ポンプ111のハウジング119には、特に張水弁の形態の張水入口133が設けられ、この張水入口を介して、真空ポンプ111は、張水をすることができる。更にまた、下部121の領域には、掃気ガスポートとも呼ばれるシールガスポート135が配置され、掃気ガスポートを介して、掃気ガスが、ポンプによって移送されるガスから電気モータ125(例えば図3参照)を保護するために、モータスペース137−このモータスペース内で、電気モータ125は真空ポンプ111内に収納されている−へ導入することができる。更にまた、下部121内には、2つの冷却剤ポート139が配置され、これら冷却剤ポートの一方は、冷却剤用の入口として設けられ、他方の冷却剤ポートは、冷却剤用の出口として設けられ、この冷却剤は、冷却のために真空ポンプ内に導入することができる。他の既存のターボ分子真空ポンプ(図示してない)は、空気冷却だけで作動させられる。
The
真空ポンプの下側141は、スタンド面として使用することができるので、真空ポンプ111は、下側141の上に立った状態で作動させることができる。しかしながら、真空ポンプ111は、入口フランジ113を介してレシピエントに固定され、これにより、ある程度吊り下がった状態で作動されてもよい。加えて、真空ポンプ111は、図1に示したものとは違うように整向されている時でも作動させ得るように構成することができる。下側141が下を向くのではなく、横に向くか、上を向くように整向して配置することができる真空ポンプの実施形態を実現することもできる。この場合、基本的に、任意の角度が可能である。
Since the
特にここに図示したポンプよりも大きい他の既存のターボ分子真空ポンプ(図示してない)は、直立状態で作動させることはできない。 In particular, other existing turbomolecular vacuum pumps (not shown) that are larger than the pumps shown here cannot be operated in an upright position.
図2に図示した下側141には、更に、種々のボルト143が配置され、これらボルトによって、ここではそれ以上は特定されていない真空ポンプの部品が互いに固定されている。例えば、軸受カバー145は、下側141に固定されている。
Further,
加えて、下側141には、固定孔147が配置され、これら固定孔を介して、ポンプ111は、例えば載置面に固定することができる。これは、特に個々に図示したポンプよりも大きい他の既存のターボ分子真空ポンプの場合は可能でない。
In addition, fixing
図2〜5には、冷却剤ライン148が図示され、この冷却ライン内を、冷却剤ポート139を介して導入及び導出される冷却剤が循環できる。
A
図3〜5の断面図が示すように、真空ポンプは、ポンプ入口115に存在するプロセスガスをポンプ出口117へ移送するために複数のプロセスガスポンプ段を有する。
As the cross-sectional views of FIGS. 3-5 show, the vacuum pump has a plurality of process gas pump stages for transferring the process gas present at the
ハウジング119内に、ロータ149が配置され、このロータは、回転軸151を中心として回転可能なロータシャフト153を備える。
A
ターボ分子ポンプ111は、ロータシャフト153に固定された複数の半径方向のロータディスク155と、ロータディスク155の間に配置されかつハウジング119に固定されたステータディスク157を有する、ポンプに有効に互いに直列に介装された複数のターボ分子ポンプ段を有する。この場合、ロータディスク155と隣接するステータディスク157が、それぞれ1つのターボ分子ポンプ段を構成する。ステータディスク157は、スペーサリング159によって互いに所望の軸方向の間隔を置いて保持されている。
The turbo
加えて、真空ポンプは、半径方向に互いに入れ子式に配置され、ポンプに有効に互いに直列に介装されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段を備えない他の既存のターボ分子真空ポンプが存在する。 In addition, the vacuum pumps have Holbeck pump stages that are radially spaced apart from each other and effectively interleaved with each other in the pump. There are other existing turbomolecular vacuum pumps that do not have a Holbeck pump stage.
ホルベックポンプ段のロータは、ロータシャフト153に配置された1つのロータハブ161と、ロータハブ161に固定されかつこのロータハブによって支持された2つのシリンダシェル状のホルベックロータスリーブ163,165を有し、これらホルベックロータスリーブは、回転軸151に対して同軸に整向され、半径方向に互いに入れ子式に介装されている。更に、2つのシリンダシェル状のホルベックステータスリーブ167,169が設けられ、これらホルベックステータスリーブも同様に回転軸151に対して同軸に整向され、半径方向に見て互いに入れ子式に介装されている。
The rotor of the Holbeck pump stage has one
ホルベックポンプ段のポンプ活性表面は、シェル面によって、即ち半径方向の内面及び/又は外面、ホルベックロータスリーブ163,165及びホルベックステータスリーブ167,169によって構成されている。外側のホルベックステータスリーブ167の半径方向の内面は、半径方向のホルベックギャップ171を形成しつつ外側のホルベックロータスリーブ163の半径方向の外面に対向し、この半径方向の外面と共に、ターボ分子ポンプの後に続く第1のホルベックポンプ段を構成する。外側のホルベックロータスリーブ163の半径方向の内面は、半径方向のホルベックギャップ173を形成しつつ内側のホルベックステータスリーブ169の半径方向の外面に対置し、この半径方向の外面と共に第2のホルベックポンプ段を構成する。内側のホルベックステータスリーブ169の半径方向の内面は、半径方向のホルベックギャップ175を形成しつつ内側のホルベックロータスリーブ165の半径方向の外面に対向し、この半径方向の外面と共に第3のホルベックポンプ段を構成する。
The pump active surface of the Holbeck pump stage is composed of shell surfaces, i.e., radial inner and / or outer surfaces, Holbeck rotor sleeves 163,165 and Holbeck stator sleeves 167,169. The radial inner surface of the outer
ホルベックロータスリーブ163の下端に、その介在により半径方向外側に位置するホルベックギャップ171を中央のホルベックギャップ173と接続する、半径方向に延在する通路を設けることができる。加えて、内側のホルベックステータスリーブ169の上端に、その介在により中央のホルベックギャップ173を半径方向内側に位置するホルベックギャップ175と接続する、半径方向に延在する通路を設けることができる。これにより、互いに入れ子式に介装されたホルベックポンプ段は、互いに直列に介装される。更に、半径方向内側に位置するホルベックロータスリーブ165の下端に、出口117への接続通路179を設けることができる。
At the lower end of the
ホルベックステータスリーブ167,169の前記ポンプ活性表面は、それぞれ、回転軸151を中心として螺旋状に軸方向に延在する複数のホルベック溝を備えるが、ホルベックロータスリーブ163,165の対向するシェル面は、平滑に形成され、ホルベック溝内の真空ポンプ111を作動させるためのガスを推進する。
The pump-active surfaces of the
ロータシャフト153を回転可能に軸受けするために、転がり軸受181がポンプ出口117の領域に設けられ、永久磁石軸受183が、ポンプ入口115の領域に設けられている。
In order to rotatably bearing the
転がり軸受181の領域で、ロータシャフト153に、転がり軸受181に向かって増加する外径を有する円錐形のスプレーナット185が設けられている。スプレーナット185は、作動媒体蓄積器の少なくとも1つのワイパと滑り接触している。他の既存のターボ分子真空ポンプ(図示してない)の場合、スプレーナットの代わりに、スプレーボルトを設けることができる。従って異なる構成が可能であるので、これに関連して「スプレー先端」との用語も使用される。
In the area of rolling
作動媒体蓄積器は、上下に積み重ねられた複数の吸湿性のディスク187を有し、これらディスクは、転がり軸受181用の作動媒体、例えば潤滑剤を吸収している。
The working medium accumulator has a plurality of
真空ポンプ111の作動中、作動媒体は、毛管作用によって作動媒体蓄積器からワイパを介して回転するスプレーナット185へ伝達され、遠心力のために、スプレーナット185に沿ってスプレーナット185の外径が大きくなる方向に転がり軸受181に向かって移送され、そこで、作動媒体は、例えば潤滑機能を満足する。転がり軸受181と作動媒体蓄積器は、真空ポンプ内で桶状のインサート189と軸受カバー145によって包囲されている。
During operation of the
永久磁石軸受183は、ロータ側の軸受半体191とステータ側の軸受半体193を有し、これら軸受半体は、軸方向に上下に積み重ねられた複数の永久磁石リング195,197から成るそれぞれ1つのリングスタックを有する。リング磁石195,197は、互いに半径方向の軸受ギャップ199を形成しつつ対向し、ロータ側のリング磁石195は、半径方向外側に配置され、ステータ側のリング磁石197は、半径方向内側に配置されている。軸受ギャップ199内に存在する磁場は、リング磁石195,197の間に、ロータシャフト153の半径方向の軸受けを生じさせる磁気的反発力を惹起する。ロータ側のリング磁石195は、ロータシャフト153のキャリヤ部分201によって支持され、このキャリヤ部分は、リング磁石195を半径方向外側から包囲する。ステータ側のリング磁石197は、ステータ側のキャリヤ部分203によって支持され、このキャリヤ部分は、リング磁石197を経て延在し、ハウジング119の半径方向のブレース205に懸架されている。回転軸151に対して平行に、ロータ側のリング磁石195は、キャリヤ部分201と連結されたカバー要素207によって固定されている。ステータ側のリング磁石197は、回転軸151に対して平行に、1つの方向に、キャリヤ部分203と結合された固定リング209並びにキャリヤ部分203と結合された固定リング211によって固定されている。加えて、固定リング211とリング磁石197の間に、皿バネ213を設けることができる。
The
磁石軸受内に、緊急もしくは安全軸受215が設けられ、この緊急もしくは安全軸受は、真空ポンプ111の標準的な作動中に、接触することなく空転し、ステータに対して相対的にロータ149が過度に半径方向に変位した時に初めて、ロータ149用の半径方向ストッパを構成するために係合するが、これは、ステータ側の構造物とロータ側の構造物の衝突が防止されるために行なわれる。安全軸受215は、無潤滑の転がり軸受として形成され、ロータ149及び/又はステータと共に、安全軸受215が標準的なポンプ作動中に解放されていることを生じさせる半径方向のギャップを構成する。安全軸受215が係合する半径方向の変位は、安全軸受215が真空ポンプの標準的な作動中には係合しないように十分大きく、同時に、ステータ側の構造物とロータ側の構造物の衝突が全ての状況下で防止されるように十分小さく、設定されている。
An emergency or
真空ポンプ111は、ロータ149を回転駆動するための電気モータ125を有する。電気モータ125のアンカーは、ロータ149によって構成され、このロータのロータシャフト153は、モータステータ217を経て延在する。モータステータ217を経て延在するロータシャフト153の部分には、半径方向外側に又は埋設されて、永久磁石装置を配置することができる。モータステータ217とモータステータ217を経て延在するロータ149の部分との間に、中間スペース219が配置され、この中間スペースは、半径方向のモータギャップを有し、このモータギャップを介して、モータステータ217と永久磁石装置は、駆動トルクを伝達するために磁気的影響を受け得る。
The
モータステータ217は、ハウジング内で、電気モータ125のために設けられたモータスペース137内に固定されている。シールガスポート135を介して、掃気ガスとも呼ばれかつ例えば空気又は窒素であり得るシールガスがモータスペース137内へ達し得る。シールガスを介して、電気モータ125は、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食作用成分、から保護することができる。モータスペース137は、ポンプ出口117を介して真空引きすることもでき、即ちモータスペース137内は、少なくともほぼ、ポンプ出口117に接続された予備真空ポンプによって生じさせられた真空圧力が支配する。
The
加えて、ロータハブ161とモータスペース137を画成する壁221との間には、特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対するモータスペース217の良好なシールを達成するために、それ自体周知のいわゆるラビリンスシール223を設けることができる。
In addition, the
図6〜11は、ステータブレードもしくはステータディスクを著しく概略的な図で示す。図1〜5のターボ分子ポンプ111のステータディスク157は、本発明に従って形成することができ、即ち、本発明は、図1〜5によって説明したようにターボ分子ポンプ内で使用することができる。
6-11 show the stator blades or stator discs in a remarkably schematic view. The
図6及び7は、従来技術を図解するために使用される。両者とも、ステータブレード20を横断面で、即ちステータブレードの延在方向に対して横の切断平面で示す。この延在方向は、ポンプ内でロータの回転磁気に関して半径方向に延在する。ロータの回転軸は、図6〜11内では、破線21で示されている。即ち、図示した横断面の切断平面は、ここに図示してないロータの、ここで及び別の図で垂直に延在する回転軸21に対して平行に延在する。従って、ブレード20は、回転軸21に対して垂直に延在しかつ図示した横断面で水平に延在する平面(図示してない)に対して傾斜している。即ち、図6及び7では(及び図8及び9でも)、特に、それぞれ半径方向外方に向いた、水平に対して傾斜させたブレード20の切断面を見ている。換言すると、これは全ての図6〜11に対して当て嵌まるが、いわば、それぞれのブレード20の平坦側部に沿った半径方向に見ており、図10及び11は、特に、ロータの回転軸に関する展開図を示すように簡素化されている。
6 and 7 are used to illustrate the prior art. In both cases, the
しばしば、ターボ分子ポンプのステータディスクは、中実材料からミーリング加工されている。図6のステータブレード20は、切削により、例えばミーリング加工及び/又は鋸引き加工によって製造されている。この場合、典型的に、平坦なディスクは、複数のブレードが残るように中実材料から鋸引き加工もしくはミーリング加工される。この製造方法に基づいて、ステータブレード20は、回転軸21に対して垂直な、従って水平に延在する、回転軸21に関して軸方向の平坦な端部22及び24を備える。これら端部は、特に、ミーリングもしくは鋸引き過程の前のディスクの通常は平たんな端面から生じる。
Often, turbomolecular pump stator discs are milled from solid materials. The
コストの理由から、ステータディスクを板金から打抜きプロセスで製造することが、有利であり得る。図7は、周知の板金から製造されたステータブレード20を図解するが、このステータブレードは、典型的に、まず平坦な板金から打抜きによって成形され、次いで曲げによってここに図示した斜めの向きにもたらされる。特にこの製造方法から、回転軸21に関して軸方向の端部22及び24が、図6のステータブレード20の場合がそうであるように、平坦ではなく、実質的に角立っていることが生じる。即ち、図7のステータブレード20は、特に実質的に矩形の横断面を備え、矩形の角は、ステータブレード20の軸方向の端部22及び24を構成する。
For cost reasons, it may be advantageous to manufacture the stator discs from sheet metal by a punching process. FIG. 7 illustrates a
従って、個々のブレードの横断面形状は、製造方法に依存して異なる:図6のミーリング又は鋸引きされたブレード20は、横断面が平行四辺形状である。板金から打抜かれた図7のブレード20は、横断面が矩形状である。
Therefore, the cross-sectional shape of the individual blades varies depending on the manufacturing method: the milled or sawed
異なった横断面形状に基づいて、図7のブレード20は、ポンプ作用が同じでも図6のものよりも大きい取付けスペース備える。換言すれば、軸方向ギャップが同じもしくは軸方向の全高が同じでも図7のブレード20もしくはステータディスクのポンプ実効全高が小さい。
Based on the different cross-sectional shapes, the
特に、ステータディスクを既存のポンプにおいて置換すること、即ち既存のポンプ構造を本発明の課題に応じて改善すること、が目標である場合、軸方向にはある程度のスペースしか使用可能でない。即ち、目標は、最終的には、板金から製造されたステータブレードの輪郭を、特に図6でのようなミーリングされた輪郭にできるだけ近づくように変更することである。 In particular, if the goal is to replace the stator disc with an existing pump, i.e. to improve the existing pump structure according to the challenges of the present invention, only some space is available in the axial direction. That is, the goal is ultimately to change the contour of the stator blades made from sheet metal to be as close as possible to the milled contour, especially as in FIG.
例えば別の成形ステップにより、特に打ち抜き過程で、軸方向の端部において突出する(特に真空技術的に重要でない)矩形横断面の材料三角形だけが平坦化されるので、ブレード輪郭は、今や平行四辺形形状に近づく。これにより、ポンプ作用を圧下させることなしに、軸方向に僅かな取付けスペースしか無駄にしない。これは、以下で更に詳細に説明する。 The blade contour is now parallelogram because, for example, another forming step flattens only the material triangle of the rectangular cross section that protrudes at the axial end (not particularly vacuum technically important), especially during the punching process. Get closer to the shape. This wastes only a small amount of mounting space in the axial direction without reducing the pumping action. This will be described in more detail below.
図8には、矩形の横断面を備えた別のステータブレード20が、図7に比して拡大して図示されている。好ましくは、軸方向の端部22は、ステータブレード20の上流側の端部であり得、軸方向の端部24は、下流側の端部であり得る。
FIG. 8 shows another
図示した横断面の実質的に三角形の領域26がマーキングされている。この領域26内のステータブレード20の材料は、ステータブレード20もしくはステータディスクのポンプ作用のために十分に些細で、即ち不要である。明確化のために、ポンプ方向28は、ここでは矢印によってマーキングされている。ポンプ方向28は、特にここには図示してないロータの回転軸21に対して平行に延在する。
A substantially
ポンプ作用にとって決定的であるのは、むしろステータブレード20の下流側のここでは下の平坦側部30である。即ち、例えば図8に認められるように、領域26は、ポンプ作用を発揮することなく軸方向の取付けスペースを占める。
What is decisive for pumping action is rather the lower
従って、図9のステータブレード20は、軸方向の端部22に本発明による平坦化部32を備える。この平坦化部により、過剰な材料を備えた領域26は、明らかに小さくなり、特に、ステータブレード20並びに当該ステータディスクの軸方向の全高が縮小される。
Therefore, the
平坦化部32は、ここでは、ステータブレード20の三次元的な広がりに関して少なくとも実質的に平坦な面として形成されている。特に、平坦化部32もしくは面は、ステータブレード20の半径方向の広がり全体にわたって、即ち半径方向の長さ全体にわたって延在する。平坦化部32の面は、この実施形態では、たーぶ分子ポンプのロータの回転軸21に対して垂直に延在する。軸方向の取付けスぺースの利得は、図9に投影した場合、図8内の三角形の上の先端に対する面の軸方向の間隔に一致する。この三角形は、図9では破線で示され、上流側のその先端は、22’で指示されている。
The flattening portion 32 is formed here as a surface that is at least substantially flat with respect to the three-dimensional spread of the
平坦化部32は、異なった形式で形成することができる。従って、軸方向の端部22は、例えば研削することができる。図9では、ステータブレード22が、研削によってではなく、成形、即ち押出成形によって平坦化されたものとして図解されている。この場合、成形力は、特に実質的にディスク平面に対して垂直もしくはロータの回転軸21に対して平行に、図9では上から下に向かって加えられた。領域26もしくはステータブレード20の材料は、図8で三角形として示された領域26から横に突出する領域内で隆起するように、しかも、ステータブレード20の軸方向の全高が、結果としてビード34が生じるにもかかわらず増大しないよう、平坦化部32の横に隆起するように、成形されている。成形過程時に、ステータブレード20は、好ましくは平坦側部30に沿って面で支持された。
The flattening portion 32 can be formed in different forms. Therefore, the
ビード34は、ここでは上流側の平坦側部でありかつ端部22と同じ軸方向に向いた平坦側部36に配置されている。加えて、ビード34は、平坦化部32に直接的に隣接して配置されている。
The
ビード34は、少なくとも実質的に、ステータブレード20のポンプ作用に影響を及ぼさないように配置されている。何故なら、ポンプ作用は、実質的に下流側の平坦側部30によって決まるからである。しかしながら、比較すると、図9で過剰な材料を備えた領域26が図8のものよりも軸方向に明らかに小さいことがわかる。従って、平坦化部32は、簡単にステータブレード20もしくはステータディスクの軸方向の取付けスペースを縮小することができ、しかも、ポンプ性能に負の影響を及ぼすことはない。
The
図9のステータブレード20の場合、最終的に、別の成形ステップによって、過剰な材料もしくは領域26のものは、もはや干渉しない、即ち軸方向の取付けスペース及びポンプ作用に関して干渉しない領域に押しやられる。好ましくは、材料は、ここではもはや干渉しない平坦側部36のような流体技術的背面に押しやられる。平坦化による利得が大きいほど、ブレード角度は平らになる。例えば予備真空領域に設けることができるような約10°のブレード角度の場合、過剰なもしくは干渉する三角形は、全高1/3までになり得る。
In the case of the
特に図8及び9でステータブレード20のサイズ比がスケールに忠実ではなく、図説にために適合させてある。特に、実際のステータブレード20の矩形横断面の長さ、即ち平坦側部30及び36の幅は、図示したよりも平坦化部に比べて著しく大きい。
In particular, in FIGS. 8 and 9, the size ratio of the
基本的に、下流側の端部24も、平坦化部を備えることができるが、しかしながらこれは、図示されていない。その点で、ディスクもしくはブレード20の下側の干渉する三角形を押しのけることも可能である。
Basically, the
図10には、1つのカラー40並びにこのカラー40と結合された複数のステータブレード20を有するステータディスク38が簡素化されて図示されている。カラー40は、例えば内側カラー及び/又は外側カラーであり得る。
FIG. 10 shows a
カラー40は、従来技術では慣例であるようにステータブレード20に関して軸方向の中心に配置されている。
The
図11は、カラー40がステータブレード20に関して軸方向に偏心して配置された本発明によるステータディスク38を図解する。図11では模範的に上から下に向かって延在するポンプ方向28に関して、カラー40は、全体として、またその軸方向の中心がステータブレードの軸方向の中心の後もしくは下流に配置されている。カラー40とステータブレード20の結合箇所は、カラー40の軸方向の高さに存在し、従って、同様にステータブレード20の軸方向の中心の後に配置されている。
FIG. 11 illustrates a
従って、ブレード平面、即ち軸方向のブレード中心点の平面は、カラー49に関して中心に位置決めされているのではなく、軸方向に移動され、従って非対称である。これにより、ディスク38は、解体時には簡単に再び取り外すことができる。何故なら、図11で下のブレード部分の他の部品との衝突の確立が低減されるからである。
Thus, the blade plane, the plane of the axial blade center point, is axially moved and therefore asymmetrical rather than centered with respect to the collar 49. As a result, the
図10及び11のステータディスク38は、例えば板金から製造することができ、ここでは先の尖った軸方向の端部22及び24を備えて、図7及び8と同様に図示されている。図10及び11では、軸方向もしくは回転軸21が更にまた図6〜9でのように垂直に延在する。従って、ここでもブレード20は、回転軸21に対して垂直に延在するディスク平面(図示されていない)−このディスク平面内にカラー40が位置し、従って、このディスク平面は水平に延在する−に対して傾斜している。図10及び11では、図6〜9とは違って、カラーが外側カラーである場合には、ブレード20の切断面ではなく、カラー40の半径方向外を向いた側を見ている。
The
特に軸方向の取付けスペースを節約するために、軸方向の端部22及び/又は24も平坦化部、例えば図9に図示したような平坦化部を備え得ることがわかる。
It can be seen that the
111 ターボ分子ポンプ
113 入口フランジ
115 ポンプ入口
117 ポンプ出口
119 ハウジング
121 下部
123 電子機器ハウジング
125 電気モータ
127 アクセサリポート
129 データインタフェース
131 電力供給ポート
133 張水入口
135 シールガスポート
137 モータスペース
139 冷却剤ポート
141 下側
143 ボルト
145 軸受カバー
147 固定孔
148 冷却剤ライン
149 ロータ
151 回転軸
153 ロータシャフト
155 ロータディスク
157 ステータディスク
159 スペーサリング
161 ロータハブ
163 ホルベックロータスリーブ
165 ホルベックロータスリーブ
167 ホルベックステータスリーブ
169 ホルベックステータスリーブ
171 ホルベックギャップ
173 ホルベックギャップ
175 ホルベックギャップ
179 接続通路
181 転がり軸受
183 永久磁石軸受
185 スプレーナット
187 ディスク
189 インサート
191 ロータ側の軸受半体
193 ステータ側の軸受半体
195 リング磁石
197 リング磁石
199 軸受ギャップ
201 キャリヤ部分
203 キャリヤ部分
205 半径方向のブレース
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 皿バネ
215 緊急もしくは安全軸受
217 モータステータ
219 中間スペース
221 壁
223 ラビリンスシール
20 ステータブレード
21 回転軸
22 軸方向の端部
24 軸方向の端部
26 領域
28 ポンプ方向
30 平坦側部
32 平坦化部
34 ビード
36 平坦側部
38 ステータディスク
40 カラー
111 Turbo
Claims (15)
ステータディスク(38,157)が板金から製造されていること、及び、少なくとも1つのステータブレード(20)が、少なくとも一方の軸方向の端部(22,24)に平坦化部(32)を備えること、を特徴とするターボ分子ポンプ(111)。 At least one stator disk (38,157) with one rotor (149) with multiple rotor blades distributed and arranged around the perimeter and multiple stator blades (20) distributed and arranged around the perimeter. The rotor can be driven to rotate about a rotation shaft (21, 151) to generate a pumping action, and the rotor (149) cooperates with the stator disk to generate a pumping action. , The turbo molecular pump (20) in which the stator blades (20) of the stator discs (38,157) are oriented obliquely with respect to the disc plane extending perpendicular to the rotation axis (21,151) of the rotor (149). 111)
The stator discs (38,157) are made from sheet metal, and at least one stator blade (20) has a flattening portion (32) at at least one axial end (22,24). A turbo molecular pump (111) characterized by that.
ステータディスク(38,157)が板金から製造されること、ステータディスク(38,157)のステータブレード(20)が、板金の延在平面に関して斜めに整向されること、及び、少なくとも1つのステータブレード(20)が、少なくとも一方の端部(22,24)において、板金の延在平面に対する法線に関して平坦化されること、を特徴とする方法。 A stator disk having a plurality of stator blades (20) distributed and arranged around the turbo molecular pump (111), particularly for the turbo molecular pump according to any one of claims 1 to 6. 38,157) In the method for manufacturing
The stator disc (38,157) is manufactured from sheet metal, the stator blades (20) of the stator disc (38,157) are oriented diagonally with respect to the extending plane of the sheet metal, and at least one stator. A method characterized in that the blade (20) is flattened at at least one end (22, 24) with respect to the normal to the extending plane of the sheet metal.
ステータブレード(20)が、少なくとも1つのカラー(40)、特に内側カラー及び/又は外側カラーによって支持され、カラー(40)が、少なくとも1つのステータブレード(20)、特にステータディスク(38,157)の全てのステータブレード(20)に関して軸方向に偏心して配置されていること、を特徴とするターボ分子ポンプ(111)。 At least one stator disk (38,157) with one rotor (149) with multiple rotor blades distributed and arranged around the perimeter and multiple stator blades (20) distributed and arranged around the perimeter. The rotor can be driven to rotate about the rotation shaft (21, 151) to generate a pumping action, and the rotor (149) cooperates with the stator disk to generate a pumping action. , The stator blades (20) of the stator disks (38,157) are oriented obliquely with respect to the disk plane extending perpendicular to the rotation axis (21,151) of the rotor (149), particularly claim. A turbo molecular pump (111) according to any one of 1 to 6 and / or a turbo molecular pump having a stator disk manufactured or can be manufactured by the method according to any one of claims 7 to 10. 111)
The stator blades (20) are supported by at least one collar (40), especially the inner and / or outer collars, and the collar (40) is at least one stator blade (20), especially the stator discs (38,157). The turbo molecular pump (111) is characterized in that it is arranged eccentrically in the axial direction with respect to all the stator blades (20) of the above.
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