JP2021136824A - モータ制御装置、モータ制御システム、およびモータ制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】加減速時における減速機に起因する振動を逐次抑制し、安定的な駆動を実現可能なモータ制御装置、モータ制御システム、およびモータ制御方法を提供すること。【解決手段】モータ制御装置は、第一のモータ、および第二のモータを用いて一つの被駆動部を駆動する駆動装置を制御するモータ制御装置であって、第一の指令値を用いて第一のモータを駆動する第一の制御部と、第一の指令値とは異なる第二の指令値を用いて第二のモータを駆動する第二の制御部と、第一の指令値と第二の指令値との差分の基となる補正値を駆動装置に発生する振動量に応じて設定する設定部とを有する。【選択図】図２

Description

本発明は、モータ制御装置、モータ制御システム、およびモータ制御方法に関する。

産業用ロボットや工作機械には精密位置決めが求められており、ノンバックラッシやバックラッシの少ない減速機として、波動歯車減速機やサイクロ減速機等が用いられている。しかし、一般的にこれらの減速機は高価である。ここで、バックラッシとは、減速機を構成する歯車同士の噛み合い箇所における隙間のことであり、歯車を滑らかに回転させるために意図的に設けられている。一方、安価な減速機として、平歯車を組み合わせた平歯車減速機があるが、一般的な平歯車減速機はバックラッシが大きいため、位置決め精度の悪化や、駆動中の振動や騒音へと繋がる。平歯車を組み合わせた安価な平歯車減速機を使用しつつバックラッシを抑制する方法として、一つの被駆動体を駆動するために二つのモータを制御する方法が提案されている。この方法では、二つのモータに対する駆動指令値の間に所定の差を持たせることで、歯車同士の噛み合いにおける隙間を減少させ、バックラッシを抑制している。また、二つのモータに対する駆動指令値差の持たせ方により、減速機の剛性を見かけ上、変えることができる。二つのモータに対する駆動指令値の差が小さいときは、歯車間の噛み合いが弱い状態なので剛性が低い状態、二つのモータに対する駆動指令値の差が大きいときは、歯車間の噛み合いが強い状態なので剛性が高い状態になる。

一つの被駆動体を駆動するために二つのモータを制御するモータ制御装置では、加減速時に発生するトルクにより、一方のモータのバックラッシを抑制するためのトルクが相対的に小さくなり、減速機の見かけ上の剛性が低下することで振動が発生することがある。特許文献１には、動作プロファイルから加減速時に発生するトルクを推定し、バックラッシを抑制するためのトルクを補正することで、減速機の見かけ上の剛性を落とさないようにし、振動を抑制するモータ制御装置が提案されている。

特許第５６９８７７７号公報

特許文献１のモータ制御装置では、動作プロファイルから加減速時に発生するトルクを推定する必要があるが、正確に発生するトルクを求めるためには、モータ制御装置や、接続されている負荷の慣性モーメント等を正確にモデル化しておく必要がある。また、振動を効果的に抑制するためには、動的な負荷変動にも対応することが求められる。さらに、特許文献１のモータ制御装置では、フィードフォワード的に振動を抑制するため、発生した振動を抑制することができない。そのため、ロボットアームのようなモデル化が難しく、かつ負荷変動が比較的大きい用途では、バックラッシを抑制するためのトルクの補正が十分ではなくなり、減速機の見かけ上の剛性が低下することにより発生する振動を十分に抑制できなくなる。一方、減速機の見かけ上の剛性を常に高くしておくことは、電動モータが発生できるトルクは有限であるため、負荷の大きい被駆動体を駆動できない、または高い加速度で被駆動体を駆動できない等の弊害が生じる。そのため、電動モータが発生できるトルク、および駆動時の負荷トルクや加速トルクに鑑みて、減速機の剛性設定を決定する必要がある。

本発明は、加減速時における減速機に起因する振動を逐次抑制し、安定的な駆動を実現可能なモータ制御装置、モータ制御システム、およびモータ制御方法を提供することを目的とする。

本発明の一側面としてのモータ制御装置は、第一のモータ、および第二のモータを用いて一つの被駆動部を駆動する駆動装置を制御するモータ制御装置であって、第一の指令値を用いて第一のモータを駆動する第一の制御部と、第一の指令値とは異なる第二の指令値を用いて第二のモータを駆動する第二の制御部と、第一の指令値と第二の指令値との差分の基となる補正値を駆動装置に発生する振動量に応じて設定する設定部とを有することを特徴とする。

本発明によれば、加減速時における減速機に起因する振動を逐次抑制し、安定的な駆動を実現可能なモータ制御装置、モータ制御システム、およびモータ制御方法を提供することができる。

第１実施形態の駆動装置の概略を示す斜視図である。 第１実施形態のモータ制御システムの制御ブロック図である。 第１実施形態のオフセット演算部の制御ブロック図である。 第１実施形態の駆動時における被駆動部の振動を示すグラフである。 第２実施形態の駆動装置の概略を示す斜視図である。 第２実施形態のオフセット演算部の制御ブロック図である。 第３実施形態のオフセット演算部の制御ブロック図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
［第１実施形態］
図１は、本実施形態の駆動装置１００の概略を示す斜視図である。駆動装置１００は、第一のモータ１０、第二のモータ２０、および被駆動部３０を有する。

第一のモータ１０は、電動モータ１１と、電動モータ１１を駆動するモータドライバ１２と、電動モータ１１の位置を検出するモータ位置検出器１３と、電動モータ１１の出力を被駆動部３０に伝達する歯車１４とを有する。モータ位置検出器１３により検出される電動モータ１１の位置は、第一のモータ１０の位置Ｐ_ｍ１としてフィードバック制御に使用される。

第二のモータ２０は、電動モータ２１と、電動モータ２１を駆動するモータドライバ２２と、電動モータ２１の位置を検出するモータ位置検出器２３と、電動モータ２１の出力を被駆動部３０に伝達する歯車２４とを有する。モータ位置検出器２３により検出される電動モータ２１の位置は、第二のモータ２０の位置Ｐ_ｍ２としてフィードバック制御に使用される。

被駆動部３０は、歯車１４および歯車２４から伝達されるトルクにより駆動される歯車３１と、歯車３１に固定された出力シャフト３２とを有する。

なお、駆動装置１００には、第一のモータ１０と第二のモータ２０とを固定すると共に、被駆動部３０を回転可能に固定する不図示の本体ベースが設けられている。

また、駆動装置１００には、第一のモータ１０および第二のモータ２０の駆動制御を行うと共に、出力シャフト３２に取り付けられた不図示の被駆動体（負荷）を所望の位置や速度で動作できるように制御する後述する制御コントローラ２００が接続される。

また、本実施形態では、第一および第二のモータ１０，２０と被駆動部３０に歯車を設けているが、高い減速比を得るために、第一および第二のモータ１０，２０と被駆動部３０との間のトルク伝達経路に歯車を追加で設けてもよい。歯車の数が多くなると、歯車間の隙間による遊びが増え、バックラッシ量は増加する。本実施形態では、バックラッシ抑制制御を有効にすることで、バックラッシ量の大きさによらずバックラッシの影響を抑制することが可能となるため、バックラッシによる性能低下を考慮することなく、自由度の高い減速比の設計が可能となる。

以下、本実施形態の駆動装置１００のバックラッシ抑制制御の方法について説明する。本実施形態では、第一のモータ１０を正転方向へ駆動し、第二のモータ２０を第一のモータ１０と同じ駆動力で逆転方向へ駆動することで、被駆動部３０を静止させた状態でバックラッシ抑制状態を実現することができる。また、第一のモータ１０に設定する駆動力と第二のモータ２０に設定する駆動力との間に差を持たせることで、バックラッシを抑制しながら被駆動部３０を駆動することができる。

図２は、本実施形態のモータ制御システム１の制御ブロック図である。モータ制御システム１は、駆動装置１００と、駆動装置１００を制御する制御コントローラ（モータ駆動装置）２００とを有する。位置教示データ３００は、被駆動部３０の駆動目標位置であり、不図示のティーチングペンダントやパーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の入力装置を用いて操作者により設定される。

制御コントローラ２００は、軌道生成部２１０、第一のモータ制御部（第一の制御部）２２１、第二のモータ制御部（第二の制御部）２２２、およびバックラッシ抑制指令演算部２３０を有する。制御コントローラ２００は、位置教示データ３００を基に被駆動部３０を所望の位置や速度で動作できるように制御する。

軌道生成部２１０は、位置教示データ３００を用いて被駆動部３０における位置軌道Ｐｏｓ_ｒｅｆ、および速度軌道Ｖｅｌ_ｒｅｆを演算する。位置軌道Ｐｏｓ_ｒｅｆ、および速度軌道Ｖｅｌ_ｒｅｆを動作軌道という。位置軌道Ｐｏｓ_ｒｅｆと第一のモータ１０の位置Ｐ_ｍ１との偏差Ｐ_ｄｆ１、および位置軌道Ｐｏｓ_ｒｅｆと第二のモータ２０の位置Ｐ_ｍ２との偏差Ｐ_ｄｆ２はそれぞれ、第一のモータ制御部２２１、および第二のモータ制御部２２２に入力される。速度軌道Ｖｅｌ_ｒｅｆは、バックラッシ抑制指令演算部２３０に入力される。

第一のモータ制御部２２１は、偏差Ｐ_ｄｆ１が抑制されるようにフィードバック制御され、第一のモータ１０の制御指令値Ｖ_ＦＢ１を出力する。第二のモータ制御部２２２は、偏差Ｐ_ｄｆ２が抑制されるようにフィードバック制御され、第二のモータ２０の制御指令値Ｖ_ＦＢ２を出力する。なお、本実施形態ではフィードバック制御は一般的なＰＩＤ制御であり、偏差に対して比例・積分・微分を組み合わせた演算がされる。

バックラッシ抑制指令演算部２３０は、第一および第二のモータ１０，２０で速度軌道Ｖｅｌ_ｒｅｆを実現するための速度制御指令値Ｖ_ｆｆおよびバックラッシ抑制の大きさにより減速機の見かけ上の剛性を決定するオフセット指令値（補正値）Ｖ_ｏｓを生成する。また、バックラッシ抑制指令演算部２３０は、速度制御指令値Ｖ_ｆｆとオフセット指令値Ｖ_ｏｓとを加算したものを第一のモータ１０のバックラッシ抑制指令値Ｖ_ＢＬ１として生成する。さらに、バックラッシ抑制指令演算部２３０は、速度制御指令値Ｖ_ｆｆからオフセット指令値Ｖ_ｏｓを減算したものを第二のモータ２０のバックラッシ抑制指令値Ｖ_ＢＬ２として生成する。これにより、第一のモータ１０のバックラッシ抑制指令値Ｖ_ＢＬ１と、第二のモータ２０のバックラッシ抑制指令値Ｖ_ＢＬ２との差分によりバックラッシ抑制が可能となる。また、オフセット指令値Ｖ_ｏｓを駆動時の振動量に応じて変化させることにより、振動量に応じて減速機の見かけ上の剛性を変えることができる。なお、オフセット指令値Ｖ_ｏｓは、バックラッシ抑制指令演算部２３０に実装されたオフセット演算部２３１で演算される。

第一のモータ制御部２２１は、制御指令値Ｖ_ＦＢ１とバックラッシ抑制指令値Ｖ_ＢＬ１との加算値であるドライバ指令値（第一の指令値）Ｖ_ＰＷＭ１をモータドライバ１２に入力する。モータドライバ１２は、ＰＷＭ（Ｐｕｌｓｅ Ｗｉｄｔｈ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）制御等によりモータを駆動する電圧を制御する方式等を用いて電動モータ１１の駆動制御を行う。

第二のモータ制御部２２２は、制御指令値Ｖ_ＦＢ２とバックラッシ抑制指令値Ｖ_ＢＬ２との加算値であるドライバ指令値（第二の指令値）Ｖ_ＰＷＭ２をモータドライバ２２に入力する。モータドライバ２２は、電動モータ２１の駆動制御を行う。

制御コントローラ２００は、ドライバ指令値Ｖ_ＰＷＭ１，Ｖ_ＰＷＭ２を用いて第一のモータ１０および第二のモータ２０を制御することにより、被駆動部３０を駆動する。

なお、本実施形態において、被駆動部３０が正転駆動するとき、制御指令値Ｖ_ＦＢ１は出力されるが、制御指令値Ｖ_ＦＢ２の出力はゼロとする。一方、被駆動部３０が反転駆動するとき、制御指令値Ｖ_ＦＢ２は出力されるが、制御指令値Ｖ_ＦＢ１の出力はゼロとする。これは、第一のモータ１０と第二のモータ２０を共に位置フィードバック制御をすることにより発生する制御的な不安定を避けるための方法の一つであり、本発明はこれに限定されない。

また、本実施形態では位置フィードバックのみを実装した場合を説明したが、速度フィードバックや電流フィードバックを実装したマイナーループ系を構成してもよい。

図３は、本実施形態のオフセット演算部（設定部）２３１の制御ブロック図である。オフセット演算部２３１は、第一のモータ１０の位置Ｐ_ｍ１と、第二のモータ２０の位置Ｐ_ｍ２とが入力され、減速機の見かけ上の剛性を決定するオフセット指令値Ｖ_ｏｓを出力する。

本実施形態では、オフセット演算部２３１はまず、第一のモータ１０の位置Ｐ_ｍ１と第二のモータ２０の位置Ｐ_ｍ２との偏差にハイパスフィルタ２３２を通過させることにより、振動量Ｐ_ｂを算出する。次に、オフセット演算部２３１は、オフセット指令値Ｖ_ｏｓの最大値を決定するための演算を行う。オフセット指令値Ｖ_ｏｓを大きく設定することにより、減速機の見かけ上の剛性を上げることができる。一方、各電動モータが発生できるトルクは有限であることから、オフセット指令値Ｖ_ｏｓを大きく設定することにより、負荷の大きい被駆動体を駆動することができない、または高い加速度で被駆動体を駆動できない等の弊害が生じる。そのため、各電動モータが発生できるトルク、および駆動時の負荷トルクや加速トルクに鑑みて、オフセット指令値Ｖ_ｏｓの最大値を決める必要がある。本実施形態では、不図示のメモリに記憶された、各電動モータの最大トルク、駆動時の最大速度と加速度、および被駆動部３０に接続されている負荷を用いて、オフセット指令値Ｖ_ｏｓの最大値Ｖ_{ｏｓＭＡＸ}が決定される。

振動−オフセット指令マップ２３３は、振動量Ｐ_ｂとオフセット指令値Ｖ_ｏｓとの相関関係を定義したマップを有している。振動−オフセット指令マップ２３３を用いることでオフセット演算部２３１の出力であるオフセット指令値Ｖ_ｏｓが出力される。振動−オフセット指令マップ２３３は、振動量Ｐ_ｂが大きくなるとオフセット指令値Ｖ_ｏｓも大きくなる相関関係を設定したマップである。すなわち、振動量Ｐ_ｂが大きくなるにつれてオフセット指令値Ｖ_ｏｓが大きくなり、減速機の剛性を上げることができる。これにより、駆動時に発生した振動を抑制することが可能となる。なお、オフセット指令値Ｖ_ｏｓの最大値は前述の通り最大値Ｖ_{ｏｓＭＡＸ}に制限される。

次に、図４を参照して、本実施形態の効果を説明する。図４は、第一のモータ１０に対するドライバ指令値Ｖ_ＰＷＭ１と第二のモータ２０に対するドライバ指令値Ｖ_ＰＷＭ２との時系列駆動プロファイル、および駆動時における被駆動部３０の振動を示している。図４（ａ）は、オフセット指令値Ｖ_ｏｓを一定にした従来制御のデータである。図４（ｂ）は、本実施形態のオフセット指令値Ｖ_ｏｓを振動量に応じて変化させる場合のデータである。なお、被駆動部３０の振動は、不図示の外部センサを用いて測定したものである。

図４（ａ）では、駆動時の第一のモータ１０に対するドライバ指令値Ｖ_ＰＷＭ１と第二のモータ２０に対するドライバ指令値Ｖ_ＰＷＭ２との差分は常に一定であるため、加減速時に大きな振動が発生している。図４（ｂ）では、加減速時の振動量が大きくなる箇所で、第一のモータ１０に対するドライバ指令値Ｖ_ＰＷＭ１と第二のモータ２０に対するドライバ指令値Ｖ_ＰＷＭ２との差分が大きくなる。つまり、振動に応じてオフセット指令値Ｖ_ｏｓを設定している。これにより、減速機の見かけ上の剛性が向上するため、振動を抑制することができる。

以上説明したように、本実施形態の構成によれば、駆動時の振動量に応じて第一のモータ１０、および第二のモータ２０の駆動力の差分の持たせ方を変化させることで、減速機の見かけ上の剛性を変化させることができる。これにより、減速機に起因する振動を逐次抑制し、安定的な駆動を実現することが可能となる。
［第２実施形態］
第１実施形態では、振動量Ｐ_bは、第一のモータ１０の位置Ｐ_ｍ１、および第二のモータ２０の位置Ｐ_ｍ２を用いて算出される。しかしながら、被駆動部３０の振動は、減速機が非線形性を有しているため、第一のモータ１０の位置Ｐ_ｍ１、および第二のモータ２０の位置Ｐ_ｍ２を用いても正確に算出することはできない。そこで、本実施形態の駆動装置１００は、振動量Ｐ_bを被駆動部３０の振動を用いて算出するために、被駆動部３０の位置を計測する機械位置検出センサ（検出部）３３を有する。なお、本実施形態の説明をするにあたり、第１実施形態と実質的に同一の機能を有する構成部に関しては、同一の記号を付与し、説明を省略する。

図５は、本実施形態の駆動装置１００の概略を示す斜視図である。本実施形態の駆動装置１００には、第１実施形態の駆動装置１００に対して、被駆動部３０の位置を計測する機械位置検出センサ３３が追加されている。機械位置検出センサ３３は、光学式のエンコーダであり、スケール３４、およびスケール３４に対向して配置された検出器３５を有する。スケール３４は出力シャフト３２に固定されており、検出器３５は不図示のベースに固定されている。このような構成を有することで、機械位置検出センサ３３は、被駆動部３０の位置を直接検出することができ、被駆動部３０の振動を検出することができる。なお、機械位置検出センサ３３は、磁気式、または静電容量式のエンコーダであってもよい。

図６は、本実施形態のオフセット演算部２３１の制御ブロック図である。本実施形態では、オフセット演算部２３１には、位置軌道Ｐｏｓ_ｒｅｆと、被駆動部３０の位置Ｐ_ｇとが入力される。これにより、オフセット演算部２３１は、位置軌道Ｐｏｓ_ｒｅｆと被駆動部３０の位置Ｐ_ｇとの偏差にハイパスフィルタ２３２を通過させることにより、振動量Ｐ_ｂを算出する。その後、第１実施形態と同様の処理を行うことにより、駆動時の振動に応じたオフセット指令値Ｖ_ｏｓを生成することが可能となる。これにより、振動に応じて減速機の剛性を変えることができるため、駆動時の振動を抑制することが可能となる。

さらに、本実施形態では、被駆動部３０に機械位置検出センサ３３を搭載していることから、被駆動部３０の振動を正確に検出することが可能となる。そのため、被駆動部３０の位置Ｐ_ｇから求めた振動により、減速機の見かけの剛性を変化させることができ、より高精度に減速機に起因する振動を抑制することで、より安定的な動作を実現することができる。特に、減速機を構成する歯車を多段化し、減速比を上げた際に、減速機の非線形性が大きくなるため、本実施形態のように機械位置検出センサ３３で被駆動部３０の挙動を直接計測する方法は有用である。
［第３実施形態］
産業用の水平多関節ロボットや垂直多関節ロボット等のロボットアームでは、ロボットアームの姿勢や、ロボットアームのエンドエフェクタで把持しているワークの重量により、ロボットアームの各関節にかかる負荷は大きく変動する。これに伴い、減速機の剛性特性が変化するため、第１実施形態や第２実施形態のように、振動量Ｐ_ｂとオフセット指令値Ｖ_ｏｓと相関関係を定義したマップを用いても、減速機に起因する振動を高精度に抑制することが困難となる場合がある。本実施形態は、負荷変動の大きい使用環境においても、減速機に起因する振動を高精度に抑制することを目的とする。なお、本実施形態の説明をするにあたり、第１実施形態と第２実施形態で実質的に同一の機能を有する構成部に関しては、同一の記号を付与し、説明を省略する。

本実施形態では、水平多関節ロボットや垂直多関節ロボット等のロボットアームの関節軸に、本実施形態のモータ制御装置１が搭載されているものとする。ロボットアームを製品組立等の産業用用途で使用する場合、ロボットアームの動作は一般的に繰り返し動作となる。そのため、動作時に発生した振動量Ｐ_ｂと減速機の剛性を可変する係数であるオフセット指令値Ｖ_ｏｓとの関係を学習器により学習することで、ロボットアームの動作速度や負荷状態に応じた、振動量Ｐ_ｂを最小化するオフセット指令値Ｖ_ｏｓを設定可能である。

図７は、本実施形態のオフセット演算部２３１の制御ブロック図である。本実施形態のオフセット演算部２３１は、第２実施形態のオフセット演算部２３１に対して、振動−オフセット指令マップ２３３の代わりに、学習器（学習部）２３４を有する。

学習器２３４は、ロボットアームの動作ごとの振動量Ｐ_ｂとオフセット指令値Ｖ_ｏｓとの関係を記憶するメモリを有し、振動量Ｐ_ｂとオフセット指令値Ｖ_ｏｓとの関係を用いて、振動量Ｐ_ｂを最小にするオフセット指令値Ｖ_ｏｓを繰り返し学習し出力する。

ロボットアーム等の関節にかかる負荷の変動が大きいアプリケーションにおいて、本実施形態における学習を実行することで、動作や負荷に応じて減速機の見かけ上の剛性を変化させ、振動を抑制した駆動を実現することができる。その結果、第１実施形態および第２実施形態におけるモータ制御装置１をロボットアーム等のアプリケーションに適用した場合に比べ、高精度に減速機起因の振動を抑制することができ、より安定的な動作を実現することが可能となる。その結果、振動を抑えるために駆動加速度の抑制や、振動が収まるまで整定待ちを行う必要がなくなるため、産業用用途においては、組立のサイクルタイム短縮につながる。
［その他の実施例］
本発明は、上述の実施例の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の組合せ、変形及び変更が可能である。

１０ 第一のモータ
２０ 第二のモータ
３０ 被駆動部
１００ 駆動装置
２００ 制御コントローラ（モータ制御装置）
２２１ 第一のモータ制御部（第一の制御部）
２２２ 第二のモータ制御部（第二の制御部）
２３１ オフセット演算部（設定部）

Claims (7)

1. 第一のモータ、および第二のモータを用いて一つの被駆動部を駆動する駆動装置を制御するモータ制御装置であって、
   第一の指令値を用いて前記第一のモータを駆動する第一の制御部と、
   前記第一の指令値とは異なる第二の指令値を用いて前記第二のモータを駆動する第二の制御部と、
   前記第一の指令値と前記第二の指令値との差分の基となる補正値を前記駆動装置で発生する振動量に応じて設定する設定部とを有することを特徴とするモータ制御装置。
2. 前記補正値は、前記被駆動部の動作速度と加速度、および前記被駆動部に接続されている負荷を用いて最大値が決定される正の値であることを特徴とする請求項１に記載のモータ制御装置。
3. 前記設定部は、前記補正値を前記第一のモータの位置と前記第二のモータの位置とに基づく前記振動量に応じて設定することを特徴とする請求項１又は２に記載のモータ制御装置。
4. 前記被駆動部の位置を検出する検出部を更に有し、
   前記設定部は、前記補正値を前記検出部により検出された前記被駆動部の位置に基づく前記振動量に応じて設定することを特徴とする請求項１又は２に記載のモータ制御装置。
5. 前記設定部は、前記振動量に応じた前記補正値を学習する学習部を備えることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のモータ制御装置。
6. 第一のモータ、および第二のモータを用いて一つの被駆動部を駆動する駆動装置と、
   請求項１乃至５の何れか一項に記載のモータ制御装置とを有することを特徴とするモータ制御システム。
7. 第一のモータ、および第二のモータを用いて一つの被駆動部を駆動する駆動装置を制御するモータ制御方法であって、
   前記駆動装置で発生する振動量に応じて補正値を設定するステップと、
   第一の指令値を用いて前記第一のモータを駆動するステップと、
   前記第一の指令値とは異なる第二の指令値を用いて前記第二のモータを駆動するステップとを有し、
   前記補正値は、前記第一の指令値と前記第二の指令値との差分の基であることを特徴とするモータ制御方法。
   

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