JP2021136386A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】簡便な構造でありながら、蓋体の開閉時のパーティクル汚染を防ぐことができる基板収納容器を提供する。【解決手段】容器本体１０と蓋体２０とを備える基板収納容器１であって、容器本体１０は、開口端部１００の内壁面に形成され、開口Ｏが蓋体２０により閉塞されているときに、蓋体２０との接触面を密閉するシール部１２０と、開口Ｏが蓋体２０から開放されているときに、シール部１２０よりも開口Ｏ側に設けられたガス噴出孔１３０ｓからガスが噴き出し可能な少なくとも１つのガス噴出部１９０とを備える基板収納容器１を提供する。【選択図】図１

Description

本発明は、基板収納容器に関する。

半導体製造プロセス等において、ウェーハ等の基板を搬送するキャリアとしてＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ）等の基板収納容器が用いられている。かかる基板収納容器は、基板が収納された容器本体の開口を蓋体によって閉塞して、搬送する。そして、ＦＩＭＳ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ）システム等において、ロードポート（ＬＰ）に設けられた開閉機構等によって蓋体が容器本体から取り外され、容器本体の開口からウェーハを搬出入する。例えば、特許文献１には、このようなシステムにおいて内部の清浄化を行うパージ機構を有するＦＩＭＳシステムが開示されている。

特許第４２６４１１５号公報

このように、基板収納容器を蓋体によって閉塞した状態（蓋体によって容器内部が閉じられた状態）において、その容器内をパージすることは行われるが、かかる整流技術は、容器本体の開口が開放された状態（蓋体を開けた状態）で行われるものではない。よって、基板収納容器の内部をガスパージしたとしても、蓋体の開閉時に、容器本体の開口から容器内部に粉塵（パーティクル）が侵入することを防ぐことはできない。このようなパーティクルの侵入により、基板収納容器の内部のクリーン度が下がってしまうという問題がある。

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、簡便な構造でありながら、蓋体の開閉時のパーティクル汚染を防ぐことができる基板収納容器を提供することを主な目的とする。

本発明者らは、上述した目的を達成するために鋭意検討した結果、開口を介して基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉塞する蓋体と、を備える基板収納容器について、容器本体は、開口端部の内壁面に形成され、開口が蓋体により閉塞されているときに、蓋体との接触面を密閉するシール部と、開口が蓋体から開放されているときに、シール部よりも開口側の内壁面に設けられたガス噴出孔からガスが噴き出し可能な、少なくとも１つのガス噴出部と、を備えることに知見を得て、本発明を完成させるに至った。

すなわち、本発明は以下のとおりである。

（１）
開口を介して基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉塞する蓋体と、を備える基板収納容器であって、前記容器本体は、開口端部の内壁面に形成され、前記開口が前記蓋体により閉塞されているときに、前記蓋体との接触面を密閉するシール部と、前記開口が前記蓋体から開放されているときに、前記シール部よりも開口側の前記内壁面に設けられたガス噴出孔からガスが噴き出し可能な、少なくとも１つのガス噴出部と、を備える、基板収納容器。
（２）
前記ガス噴出孔は、前記容器本体の前記開口を構成する少なくとも１辺に設けられている、（１）の基板収納容器。
（３）
前記ガス噴出孔が、前記１辺の長さの１／３以上の長さとなるように延設されている、（２）の基板収納容器。
（４）
前記ガス噴出孔は、前記１辺の端部に形成されたスリットである、（２）又は（３）の基板収納容器。
（５）
前記ガス噴出部は、前記ガスを、垂直面に対して０°以上４５°以下の傾斜角度で、前記開口よりも外側に向けて噴き出す、（１）〜（４）のいずれかの基板収納容器。
（６）
前記ガス噴出部は、前記ガス噴出孔から連続的に前記ガスを噴き出すことにより、前記容器本体の内部と外部とを遮断するガスカーテンを形成する、（１）〜（５）のいずれかの基板収納容器。
（７）
前記ガス噴出部は、前記ガスが供給されるガス導入部と、前記ガス導入部より導入された前記ガスを、前記ガス噴出孔まで誘導する中空流路が形成された本体部と、を備える、（１）〜（６）のいずれかの基板収納容器。
（８）
前記ガス噴出部の前記本体部は、前記容器本体の外壁面に係合可能な係合部を備え、前記ガス噴出孔は、前記外壁面に形成されており、前記中空流路から導入された前記ガスが、前記ガス噴出孔より噴出可能である、（７）の基板収納容器。

本発明によれば、簡便な構造でありながら、蓋体の開閉時のパーティクル汚染を防ぐことができる基板収納容器を提供することができる。

図１は、第１の実施形態に係る基板収納容器の容器本体の斜視図である。 図２は、第１の実施形態に係る基板収納容器の蓋体の正面図である。 図３は、図１の容器本体を底面から見た斜視図である。 図４は、図１の容器本体をＡ面で切断した断面図である。 図５は、図１の容器本体をＡ面で切断した斜視図である。 図６は、図５の容器本体を底面から見た拡大斜視図である。 図７は、図５のＢ面における切断面の部分拡大図である。 図８は、図５のガス噴出部のガスの流れを説明する概略図である。 図９は、図５のガス噴出部のガスの流れを説明する概略図である。 図１０は、本体部の組み立ての一例を説明する斜視図である。 図１１は、本体部の斜視図である。 図１２は、図１１の本体部をＣ面で切断した斜視図である。 図１３は、フィルターを本体部に装着する状態を示す斜視図である。 図１４は、接続部材を本体部に装着する状態を示す斜視図である。 図１５は、ガス噴出部の組み立て方法の一例を説明する斜視図である。 図１６は、ガス噴出部の斜視図である。 図１７は、ガス噴出部の容器本体への取り付け方法の一例を説明する概略図である。 図１８は、ガス噴出部からガスが噴き出す状態の一例を説明する模式図である。 図１９は、ガスが噴き出す状態の別の一例を説明する模式図である。 図２０は、第２の実施形態に係る基板収納容器の容器本体の斜視図である。 図２１は、図２０の容器本体をＤ面で切断した斜視図である。 図２２は、図２０の容器本体を底面から見た斜視図である。

以下、図面を参照しながら本発明を実施するための形態（以下、単に「本実施形態」という。）について詳細に説明する。以下の本実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨の範囲内で適宜に変形して実施できる。

なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。

さらに、本明細書において、「略」を付した用語は、当業者の技術常識の範囲内でその「略」を除いた用語の意味を示すものであり、「略」を除いた意味自体をも含むものとする。

以下、本実施形態に係る基板収納容器の一例について説明する。

図１は、第１の実施形態に係る基板収納容器の容器本体の斜視図であり、図２は、第１の実施形態に係る基板収納容器の蓋体の正面図である。そして、図３は、図１の容器本体を底面から見た斜視図であり、図４は、図１の容器本体をＡ面で切断した断面図であり、図５は、図１の容器本体をＡ面で切断した斜視図である。なお、以下の説明では、例えば、図１、図３、及び図４において、Ｘ軸に沿った方向をＸ軸方向、Ｙ軸に沿った方向をＹ軸方向、Ｚ軸に沿った方向をＺ軸方向と呼ぶ場合がある。

基板収納容器１は、容器本体１０と、蓋体２０と、を備えており、容器本体１０に形成された開口Ｏから、ウェーハ等の基板（不図示）の出し入れを行う。例えば、基板を開口Ｏから容器本体１０の内部に入れた後、開口Ｏを蓋体２０によって閉塞することで（すなわち、蓋体２０を閉じて）、基板を基板収納容器１に収納する。また、収納された基板を基板収納容器１から取り出す際には、開口Ｏを閉塞している蓋体２０を開けて、開口Ｏから基板を取り出す。

基板の形状は、特に限定されず、例えば、矩形状、円形状等であってもよい。矩形状の基板である場合、その大きさは特に限定されないが、例えば、２５０ｍｍ×２５０ｍｍ〜６５０ｍｍ×６５０ｍｍのものが挙げられる。また、キャリアパネルの寸法である６２５ｍｍ×６１５ｍｍや、封止パネルの寸法である６００ｍｍ×６００ｍｍ等のものが挙げられる。そして、円形状の基板である場合、その大きさは特に限定されないが、例えば、７７５μｍの厚さを有するφ３００ｍｍのシリコンウェーハ等が挙げられる。

容器本体１０は、前面に開口Ｏが設けられており、底面１３０、天面１４０、左側面１６０、右側面１５０及び背面１７０によって構成されている。そして、開口Ｏは、底面１３０、天面１４０、左側面１６０、及び右側面１５０によって囲まれた領域であり、これらの開口端部１００によって構成される。すなわち、容器本体１０は、前面（Ｙ軸方向参照）に開口Ｏが形成されている。そして、容器本体１０は、右側面１５０及び左側面１６０に、それぞれグリップ部１８０が設けられている。例えば、人がこのグリップ部１８０を手で把持することによって、基板収納容器１を搬送することができる。あるいは、容器搬送装置等のロボットアーム等がこのグリップ部１８０を把持することによって、基板収納容器１を搬送する構成であってもよい。

容器本体１０は、その内壁に、基板を収納するための支持部１１０が設けられている。具体的には、容器本体１０の右側面１５０及び左側面１６０に、それぞれ支持部１１０が設けられている。これにより、容器本体１０の内部に複数枚の基板が略水平（Ｘ軸方向−Ｙ軸方向参照）に収納されるとともに、容器本体１０の垂直方向（Ｚ軸方向参照）に整列配置される。そして、基板の出し入れの際には、ロードポート（ＬＰ）等の蓋体開閉装置に容器本体１０が搭載されたりする。また、基板を収納する支持部として、容器本体１０の背面１７０に支持部１１１が設けられていてもよく、支持部１１０，１１１により基板を支持する形態としてもよい。

容器本体１０は、開口端部１００の内壁面に形成され、開口Ｏが蓋体２０により閉塞されているとき（蓋体２０を閉めたとき）に、蓋体２０との接触面を密閉するシール部１２０を備える。このシール部１２０には、例えば、ガスケットシール等を用いることができる。これにより、蓋体２０によって開口Ｏが閉塞される際に、高い気密性を確保することができ、外部からのパーティクルの侵入を防ぐことができる。

容器本体１０は、開口Ｏが蓋体２０から開放されているとき（蓋体２０を開けたとき）に、シール部１２０よりも開口Ｏ側の開口端部１００の内壁面に設けられたガス噴出孔１３０ｓからガスが噴き出し可能な、少なくとも１つのガス噴出部１９０を備える。これにより、蓋体２０の開閉時に、ガス噴出部１９０からガスを噴き出させることで、外部からのパーティクルの侵入を防ぐことができる。

ガス噴出孔１３０ｓは、容器本体１０の開口Ｏを構成する少なくとも１辺（例えば、開口端部１００のいずれか１辺）において、シール部１２０よりも開口Ｏ側（例えば、図１及び図３の場合、容器本体１０の前方方向、すなわちＹ軸の正方向参照）に設けられていればよい。ガス噴出孔１３０ｓの数は、特に限定されず、パーティクルの侵入防止の効果、及びＦＩＭＳ等の標準規格等を考慮して、決定することができる。例えば、開口端部１００の１辺に複数のガス噴出孔１３０ｓが形成されていてもよい。あるいは、２辺以上の開口端部１００において、それぞれ１以上のガス噴出孔１３０ｓが形成されていてもよい。

ガス噴出孔１３０ｓの形状や大きさは、特に限定されず、パーティクルの侵入防止の効果、及びＦＩＭＳ等の標準規格等を考慮して、決定することができる。ガス噴出孔１３０ｓは、例えば、孔、スリット等であってもよい。孔の場合、間欠的に形成された孔（間欠孔）であってもよい。スリットの場合、ガスカーテンが形成可能である観点から、線状（ラインスリット）であることが好ましい。ガスカーテンを形成する場合、容器本体１０の内部へのパーティクルの侵入を一層効果的に防ぐことができ、容器本体１０の内部について高い清浄度を維持することができる。

ガス噴出孔１３０ｓが形成された１辺における、ガス噴出孔１３０ｓの長さの割合（ガス噴出孔１３０ｓの長さ／１辺長）は、１／３以上であることが好ましく、１／２以上であることがより好ましく、２／３以上であることが更に好ましく、１であること（１辺の略全長にわたって形成されていること）がより更に好ましい。ガス噴出孔１３０ｓをこのような長さとなるよう延設することで、ガスカーテンを形成する場合、容器本体１０の内部へのパーティクルの侵入を一層効果的に防ぐことができ、容器本体１０の内部について高い清浄度を維持することができる。

ガス噴出孔１３０ｓは、開口端部１００の内壁面に形成されるものである。したがって、例えば、ガス噴出部１９０が、後述する取り付け式の本体部１９５を備える場合には、ガス噴出孔１３０ｓとして、既存の基板収納容器（例えば、ＦＯＳＢ等）の開口端部１００の壁面を穿孔するだけでよいため、簡便な構造であり、かつ、既存の基板収納容器を使用することができる。

続いて、ガス噴出部１９０の構成及びガスの流れについて説明する。

図６は、図５の容器本体を底面から見た拡大斜視図であり、図７は、図５のＢ面における切断面の部分拡大図であり、図８は、図５のガス噴出部のガスの流れを説明する概略図であり、図９は、図５のガス噴出部のガスの流れを説明する概略図である。

ガス噴出部１９０は、枠体１９１及びカバー１９２を有する本体部１９５と、本体部１９５と容器本体１０の底面１３０との接続領域に配置されているパッキン１９４と、外部から気体が供給されるガス導入部１９３と、を備える（図６、図７等参照）。容器本体１０の底面１３０には、ガス噴出孔１３０ｓが形成されており、本体部１９５には、ガス噴出孔１３０ｓと接続可能な形状であるスリット１９１ｓが形成されている。スリット１９１ｓとガス噴出孔１３０ｓとは連通接続されていることが好ましい。そして、接続領域において高い気密性を確保する観点から、スリット１９１ｓとガス噴出孔１３０ｓとの接続領域には、パッキン１９４が配置されていることが好ましい。パッキン１９４の材料は、かかる気密性が確保できるものであればよく、例えば、ゴム等の弾性体を用いることができる。また、本体部１９５は、枠体１９１とカバー１９２とを重ね合わせることにより、その内部に中空流路Ｈが形成される。

なお、図示はしないが、中空以外の構造として、多孔質部材（微細孔等）等の構造とすることによって、ガスの流路を確保してもよい。多孔質構造である場合、基板収納容器１の洗浄時に水等が侵入することを効果的に防止することができる。

ガスは、ガス導入部１９３から供給され（矢印Ｆ１）、本体部１９５の内部に形成されている中空流路Ｈにより、本体部１９５のスリット１９１ｓまで送り出される。そして、スリット１９１ｓに接続されているガス噴出孔１３０ｓから容器本体１０の底面１３０から、上方に向けてガスが噴き出される（図６、図７等参照）。

ガス噴出孔１３０ｓは、シール部１２０よりも外側に位置する（図７等参照）。そのため、蓋体２０が、容器本体１０の開口Ｏを閉塞している状態（蓋体２０を閉めた状態）では、シール部１２０が蓋体２０と接しており、かつ、ガス噴出孔１３０ｓが蓋体２０によって遮断されている。そのため、蓋体２０を閉めた状態のときは、高い気密性を確保できる。そして、容器本体１０の開口Ｏが開放された状態（蓋体２０を開けた状態）では、ガス噴出孔１３０ｓからガスが上方に噴き出すことにより、パーティクルが開口Ｏから容器本体１０の内部に侵入することを防ぐことができる。

開口Ｏからのパーティクルの侵入を防止する観点から、ガス噴出孔１３０ｓからガスを噴き出すことによりガスカーテンを形成することが好ましい。ここでいうガスカーテンとは、所定の空間に気流を形成することによって、この気流を境界とする各空間でのパーティクル等の移動を遮断するものである。ガスカーテンを形成する場合、ガス噴出孔１３０ｓから連続的にガスを噴き出すことにより、容器本体１０の内部と外部とを遮断するガスカーテンを形成させることが好ましい。

ガス導入部１９３に供給されたガス（矢印Ｆ１、図６、図９等参照）は、本体部１９５の内部に形成された中空流路Ｈを経由して（矢印Ｆ２、図８、図９等参照）、スリット１９１ｓの近傍まで誘導される。そして、スリット１９１ｓを経由して（矢印Ｆ３、図８、図９等参照）、容器本体１０の底面１３０に形成されているガス噴出孔１３０ｓから、上方へと噴出される（矢印Ｆ３、図８、図９等参照）。その際、パッキン１９４によって、スリット１９１ｓ及びガス噴出孔１３０ｓの接続面の気密性が維持されているため、ガスがスリット１９１ｓ及びガス噴出孔１３０ｓの接続面から吹き出すことを防止できる。

ガスの種類は、特に限定されず、空気、窒素等の不活性ガス等が挙げられる。本実施形態において、このガスは容器本体１０の内部をパージするためのものではなく、蓋体２０の開閉時に容器本体１０の開口Ｏからパーティクルが侵入することを防ぐために噴き出させるものである。そのため、経済性の観点から、空気が好ましい。

続いて、ガス噴出部１９０の組み立てについて説明する。

図１０は、本体部の組み立ての一例を説明する斜視図であり、図１１は、本体部の斜視図であり、図１２は、図１１の本体部をＣ面で切断した斜視図である。

まず、枠体１９１及びカバー１９２を嵌合させて、本体部１９５とする（図１０、図１１等参照）。枠体１９１は、後述するように容器本体１０と係合可能な係合部１９７を備える。カバー１９２の表面には、開孔１９２ｈが形成されている。この開孔１９２ｈは、後述するように、ガスを中空流路Ｈに導入するガス導入部１９３を構成する孔である。そして、枠体１９１及びカバー１９２を互いに嵌め込むことで、中空流路Ｈが形成された本体部１９５とする（図１２等参照）。ここでは一例として、枠体１９１及びカバー１９２から本体部１９５を組み立てる態様を示したが、本体部１９５は別体であることに限定されず、例えば、中空流路Ｈが形成された一体成形物であってもよい。

図１３は、フィルターを本体部に装着する状態を示す斜視図である。

次に、必要であれば、本体部１９５の開孔１９２ｈにフィルター１９６を装着してもよい（図１３等参照）。ただし、この開孔１９２ｈ（後述するガス導入部１９３）より導入されるガスは、容器本体１０の内部をパージするためのものではなく、容器本体１０の開孔１９２ｈからパーティクルが侵入することを防ぐためのものであるから、必ずしもフィルターを設ける必要はない。フィルター１９６を使用する場合、その材質、種類、形状等は、特に限定されず、公知のものを使用することができる。例えば、大気中の粉塵粒子を除去可能なフィルター（例えば、ＨＥＰＡフィルター、準ＨＥＰＡフィルター、ＵＬＰＡフィルター等）を使用することができる。

図１４は、接続部材を本体部に装着する状態を示す斜視図である。

続いて、本体部１９５の開孔１９２ｈに、接続部材１９３ｉを装着する。図１４では、フィルター１９６を装着した後に、その上から接続部材１９３ｉを装着する場合を例示しているが、フィルター１９６を装着しない場合は、開孔１９２ｈに直接接続部材１９３ｉを装着する。これにより、ガス導入部１９３が本体部１９５に構成される。

接続部材１９３ｉは、ガスをガス噴出部１９０に供給するための部材であり、気密性が要求される。かかる観点から、接続部材１９３ｉとしては、気密性が確保できる部材であることが好ましく、例えば、ゴム等の弾性体を用いることができる。

図１５は、ガス噴出部の組み立て方法の一例を説明する斜視図である。

さらに、本体部１９５にパッキン１９４を装着する。図１５では、本体部１９５の開孔１９２ｈが形成されていない面（すなわち、ガス噴出部１９０を容器本体１０の底面１３０に装着する際に、底面１３０と対向する面）に、パッキン１９４を装着する。

図１６は、ガス噴出部の斜視図であり、図１７は、ガス噴出部の容器本体への取り付け方法の一例を示す斜視図である。

このようにして組み立てられたガス噴出部１９０において、その本体部１９５は、容器本体１０の外壁面に係合可能な係合部１９７を備える。そして、容器本体１０のガス噴出孔１３０ｓは、その外壁面に形成されており、中空流路Ｈから導入されたガスが、ガス噴出孔１３０ｓより噴出可能な構成である。ここでは、一例として、容器本体１０の底面１３０にガス噴出孔１３０ｓが形成され、本体部１９５の係合部１９７がその底面１３０に係合可能である態様を示したが、かかる態様に限定されない。すなわち、外壁面は、底面１３０、天面１４０、右側面１５０、及び左側面１６０のいずれかであればよい。そして、係合部１９７が、容器本体１０の天面１４０、右側面１５０、及び左側面１６０のいずれかに係合可能な構成であればよい。また、中空流路Ｈから送り出されたガスが、ガス噴出孔１３０ｓより噴出可能な構成の具体例としては、本体部１９５のスリット１９１ｓが、容器本体１０のガス噴出孔１３０ｓと接続可能な形状である構成等が挙げられる（図６、図７等参照）。

ガス噴出部１９０を既存の基板収納容器（例えば、ＦＯＳＢ等）に取り付ける場合、基板収納容器の壁面（例えば、底面）を穿孔してガス噴出孔１３０ｓを設け、ガス噴出部１９０の係合部１９７と係合可能な係合受け部（例えば、係合孔１３１等）を基板収納容器の外壁面に設ければよい。したがって、既存の基板収納容器に大掛かりな改造を施すことなく、ガス噴出部１９０を取り付けることができる。また、取り付け式の本体部１９５は大掛かりな構造でないこと等から、ＦＩＭＳ等の標準規格に及ぼす影響も少なく、汎用性に優れる。

例えば、ＦＯＳＢ等の基板収納容器には、ＦＩＭＳ等の標準規格への適格性が求められるところであるが、標準規格への適格性が不十分な基板収納容器は、ロードポート（ＬＰ）による蓋体の開閉時及び基板の搬出入時に、ロボットアーム等が接触し、パーティクルを発生させてしまう。このような不具合を発生させない観点から、基板収納容器は、寸法等の設計上の制約が厳しいという問題がある。かかる観点からも、ＦＩＭＳ等の標準規格に適合した既存の基板収納容器を用いることができ、かつ、大掛かりな構造にする必要がない本実施形態に係る基板収納容器１は、好適である。

ここまでは、一例として、容器本体１０の底面１３０の開口端部１００にのみガス噴出部１９０を設けた場合について説明してきたが、本実施形態に係る基板収納容器１は、かかる構成に限定されない。例えば、容器本体１０の底面１３０、天面１４０、右側面１５０、及び左側面１６０のいずれか１面以上の開口端部１００に、ガス噴出孔１３０ｓを設けることができる。さらには、ガス噴出部１９０を、これらの面の２面以上に設けてもよい。例えば、底面１３０及び天面１４０等のように、対向する２面にガス噴出部１９０をそれぞれ設けてもよい。

図１８は、ガス噴出部からガスが噴き出す状態の一例を説明する模式図であり、図１９は、ガスが噴き出す状態の別の一例を説明する模式図である。

本実施形態に係る基板収納容器１は、ガス噴出部１９０から噴出されるガスの噴出角度を調節することができる。外部から容器本体１０の内部へのパーティクルの侵入を防ぐ観点から、ガス噴出部１９０は、ガスを、垂直面ｌ（例えば、図１８の破線参照）に対して０°以上４５°以下の傾斜角度で、開口Ｏよりも外側（例えば、図１及び図３の場合、容器本体１０の前方方向、すなわちＹ軸の正方向参照）に向けて噴き出すことが好ましい。

例えば、図１８は、ガス噴出部１９０のスリット１９１ｓから、底面１３０のガス噴出孔１３０ｓに向けて、ガスが略垂直（すなわち、傾斜角度＝０°）に送り出され、引き続きガス噴出孔１３０ｓから略垂直（すなわち、傾斜角度＝０°）で噴き出す状態を示している。この場合、ガスは、垂直面ｌに対して略０°の傾斜角度で噴き出している。よって、容器本体１０の開口Ｏにおいて、下方から上方に向けてガスカーテンを形成する。

図１９は、ガス噴出部１９０のスリット１９１ｓから、底面１３０のガス噴出孔１３０ｓに向けてガスが、略垂直（すなわち、傾斜角度θ）に送り出され、ガス噴出孔１３０ｓから前方に向けて傾斜角度θで噴き出す状態を示している。傾斜角度θの傾斜付けは、例えば、ガス噴出部１９０のスリット１９１ｓを傾斜面とすることによって行うことができる。この場合、ガスは、垂直面ｌ（例えば、図１９の破線参照）に対して前方に向けて傾斜角度θで噴き出している。さらに、ガス噴出孔１３０ｓの面も傾斜面とすることで、傾斜付けの精度を一層向上させることができる。このようにして、容器本体１０の開口Ｏから前方に向けて傾斜角度θのガスカーテンを形成している。

傾斜角度θの下限は、０°より大きいことがより好ましく、５°以上であることが更に好ましい。また、傾斜角度θの上限は、４０°以下であることがより好ましく、３０°以下であることが更に好ましい。かかる傾斜角度であることにより、開口Ｏの外側から容器本体１０の内部へのパーティクルの侵入を一層効果的に防止できる。

図２０は、第２の実施形態に係る基板収納容器の容器本体の斜視図であり、図２１は、図２０の容器本体をＤ面で切断した斜視図であり、図２２は、図２０の容器本体を底面から見た斜視図である。

図２０及び図２１は、第２の実施形態に係る基板収納容器の容器本体３０を示しており、容器本体３０は、ガス噴出部１９０が底面１３０だけでなく、天面１４０の開口端部１００にも設けられている点で、第１の実施形態に係る基板収納容器１と相違する。そして、容器本体３０は、底面１３０に装着されたガス噴出部１９０にガスが供給され、そのガスが左側面１６０の開口端部１００に設けられた送気管１９８（図２２参照）を介して、天面１４０に装着されたガス噴出部１９０に送り出される。そして、天面１４０のガス噴出部１９０からもガスが噴き出される。

図２２に示すように、まず、ガスがガス導入部１９３に供給される（矢印Ｆ１等参照）。そして、ガスは、枠体１９１及びカバー１９２により形成された中空流路Ｈ（不図示）を経て、容器本体１０の底面１３０に設けられたガス噴出孔１３０ｓから上方に向けてガスが噴き出される（矢印Ｆ４等参照）。それと同時に、ガスは、中空流路Ｈ（不図示）から送気管１９８に向けて送り出される（矢印Ｆ２等参照）。そして、送気管１９８から容器本体１０の左側面１６０から天面１４０に向けて送り出され（矢印Ｆ５、Ｆ６等参照）、天面１４０に設けられたガス噴出孔１４０ｓから下方に向けてガスが噴き出される（矢印Ｆ７等参照）。

容器本体３０では、開口Ｏを構成する少なくとも対向する２つの面（例えば、底面１３０と天面１４０）にガス噴出部１９０が形成されており、上下からガスが噴き出される。そして、図２０〜図２２に示すように、ガス噴出孔１３０ｓ，１４０ｓが、線状のスリット（ラインスリット）である場合、上下からガスカーテンを形成することができる。このように、複数の面にガス噴出部１９０を設ける場合であっても、送気管１９８を開口端部１００のいずれかの面に設けるだけでよいので、簡便な構成でよい。

１：基板収納容器、１０，３０：容器本体、２０：蓋体、１００：開口端部、１１０，１１１：支持部、１２０：シール部、１３０：底面、１３０ｓ，１４０ｓ：ガス噴出孔（スリット）、１３１：係合孔、１４０：天面、１５０：右側面、１６０：左側面、１７０：背面、１８０：グリップ部、１９０：ガス噴出部、１９１：枠体、１９１ｓ：スリット、１９２：カバー、１９２ｈ：開孔、１９３：ガス導入部、１９３ｉ：接続部材、１９４：パッキン、１９５：本体部、１９６：フィルター、１９７：係合部、１９８：送気管、Ｏ：開口、Ｈ：中空流路

Claims (8)

1. 開口を介して基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉塞する蓋体と、を備える基板収納容器であって、
   前記容器本体は、
   開口端部の内壁面に形成され、前記開口が前記蓋体により閉塞されているときに、前記蓋体との接触面を密閉するシール部と、
   前記開口が前記蓋体から開放されているときに、前記シール部よりも開口側の前記内壁面に設けられたガス噴出孔からガスが噴き出し可能な、少なくとも１つのガス噴出部と、
   を備える、基板収納容器。
2. 前記ガス噴出孔は、前記容器本体の前記開口を構成する少なくとも１辺に設けられている、
   請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記ガス噴出孔が、前記１辺の長さの１／３以上の長さとなるように延設されている、
   請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記ガス噴出孔は、前記１辺の端部に形成されたスリットである、
   請求項２又は３に記載の基板収納容器。
5. 前記ガス噴出部は、前記ガスを、垂直面に対して０°以上４５°以下の傾斜角度で、前記開口よりも外側に向けて噴き出す、
   請求項１〜４のいずれか一項に記載の基板収納容器。
6. 前記ガス噴出部は、前記ガス噴出孔から連続的に前記ガスを噴き出すことにより、前記容器本体の内部と外部とを遮断するガスカーテンを形成する、
   請求項１〜５のいずれか一項に記載の基板収納容器。
7. 前記ガス噴出部は、
   前記ガスが供給されるガス導入部と、
   前記ガス導入部より導入された前記ガスを、前記ガス噴出孔まで誘導する中空流路が形成された本体部と、
   を備える、
   請求項１〜６のいずれか一項に記載の基板収納容器。
8. 前記ガス噴出部の前記本体部は、前記容器本体の外壁面に係合可能な係合部を備え、
   前記ガス噴出孔は、前記外壁面に形成されており、前記中空流路から導入された前記ガスが、前記ガス噴出孔より噴出可能である、
   請求項７に記載の基板収納容器。

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