JP2021130546A - 基板供給装置、基板供給方法、基板収納装置、基板回収方法、及び、昇降装置 - Google Patents

Abstract

【課題】マガジンの搬入及び搬出を自動化する基板供給装置を提供する。【解決手段】基板供給装置は、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを搬入方向に移送する搬入コンベアと、前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジンを載せて上下に移動可能な第１リフトと、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第１リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベアと、上下に移動可能な第２リフトと、を備え、前記第２リフトは、無人搬送車から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する。【選択図】図１

Description

本開示は、基板供給装置、基板供給方法、基板収納装置、基板回収方法、及び、昇降装置に関する。

マガジン内に収納されている基板を１枚ずつ次の工程に供給する基板供給装置が知られている。また、前工程から搬送されてきた基板を１枚ずつマガジンに収納する基板収納装置が知られている（特許文献１）。

特開平４−３６４０９７号公報

近年、製造効率の向上及び人手不足への対応等のために、工場の自動化が進められている。しかしながら、上述したような従来の基板供給装置及び基板収納装置は、人手によるマガジンの搬入及び搬出を前提とした構成である。

本開示は、マガジンの搬入及び搬出に関する作業の少なくとも一部を自動化する基板供給装置、基板供給方法、基板収納装置、基板収納方法及び昇降装置の提供を目的とする。

本開示に係る基板供給装置は、基板を供給する基板供給装置であって、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを搬入方向に移送する搬入コンベアと、前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジンを載せて上下に移動可能な第１リフトと、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第１リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベアと、上下に移動可能な第２リフトと、を備え、前記第２リフトは、無人搬送車から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する。

本開示に係る基板供給方法は、基板を供給する基板供給方法であって、搬入コンベアが、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを搬入方向へ移送し、第１リフトが、前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジンを載せて移動し、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられた搬出コンベアが、前記第１リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向へ移送し、第２リフトが、無人搬送車から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する。

本開示に係る昇降装置は、基板を供給する基板供給装置に接続される昇降装置であって、上下に移動可能なリフトと、前記リフトを駆動する駆動部と、を備え、前記駆動部は、前記リフトが無人搬送車から、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せた前記リフトを、前記基板供給装置が備える搬入コンベアの高さ位置に移動させる。

本開示に係る基板収納装置は、基板を収納する基板収納装置であって、前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを搬入方向に移送する搬入コンベアと、前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて上下に移動可能な第１リフトと、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第１リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベアと、上下に移動可能な第２リフトと、を備え、前記第２リフトは、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置に移動する。

本開示に係る基板収納方法は、基板を収納する基板収納方法であって、搬入コンベアが、前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを搬入方向へ移送し、第１リフトが、前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて昇降し、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられた搬出コンベアが、前記第１リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向へ移送し、第２リフトが、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置に移動する。

本開示に係る昇降装置は、基板を収納する基板収納装置に接続される昇降装置であって、上下に移動可能なリフトと、前記リフトを駆動する駆動部と、を備え、前記駆動部は、前記基板収納装置が備える搬出コンベアから、前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せた前記リフトを、無人搬送車の高さ位置に移動させる。

本開示によれば、マガジンの搬入及び搬出に関する作業の少なくとも一部を自動化する基板供給装置、基板供給方法、基板収納装置、基板収納方法及び昇降装置を提供できる。

実施の形態１に係る基板供給装置及びＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）の構成の第１例を示す図 実施の形態１に係る基板供給装置及びＡＧＶの構成の第２例を示す図 実施の形態１に係る基板供給装置及びＡＧＶの構成の第３例を示す図 実施の形態１に係る基板供給装置の動作の一例を説明するフローチャート 図４に示す第２リフトの搬入動作の一例を説明するフローチャート 図４に示す第２リフトの搬出動作の一例を説明するフローチャート 実施の形態２に係る基板供給装置及びＡＧＶの構成の第１例を示す図 実施の形態２に係る基板供給装置及びＡＧＶの構成の第２例を示す図 実施の形態２に係る第２リフト及び第３リフトによる搬入及び搬出動作の一例を説明するフローチャート 実施の形態３に係る基板収納装置及びＡＧＶの構成の第１例を示す図 実施の形態３に係る基板収納装置及びＡＧＶの構成の第２例を示す図 実施の形態３に係る基板収納装置及びＡＧＶの構成の第３例を示す図 実施の形態３に係る基板収納装置の動作の一例を説明するフローチャート 図１３に示す第２リフトの搬入動作の一例を説明するフローチャート 図１３に示す第２リフトの搬出動作の一例を説明するフローチャート 実施の形態４に係る基板収納装置の構成の第１例を示す図 実施の形態４に係る基板収納装置の構成の第２例を示す図 実施の形態４に係る第２リフト及び第３リフトによる搬入及び搬出動作の一例を説明するフローチャート 実施の形態５に係る制御システムの構成例を示す図

以下、図面を適宜参照して、本開示の実施の形態について、詳細に説明する。ただし、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、すでによく知られた事項の詳細説明及び実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、添付図面及び以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらにより特許請求の記載の主題を限定することは意図されていない。

（実施の形態１）
実施の形態１では基板供給装置について説明する。基板供給装置は、ローダーといった他の用語に読み替えられてもよい。

図１、図２及び図３は、実施の形態１に係る基板供給装置及びＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）の構成例を示す図である。なお、説明の便宜上、図１、図２及び図３に示すように、図面の右から左に向かう軸をＸ軸、紙面の奥から手前に向かう軸をＹ軸、紙面の下から上に向かう軸をＺ軸とする。また、Ｘ軸の正方向を「左」、Ｘ軸の負方向を「右」、Ｚ軸の正方向を「上」、Ｚ軸の負方向を「下」と称する場合がある。なお、これらの方向に係る表現は、説明の便宜上用いられるものであって、当該構造の実使用時における姿勢を限定する意図ではない。これは、図７、図８、図１０、図１１、図１２、図１６、図１７においても同様である。

ＡＧＶ１０は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア１１１を上面に備える。コンベア１１１は、例えばモータによって駆動する。ＡＧＶ１０は、基板２０が収納されたマガジン３０である収納マガジン３０Ａをコンベア１１１に載せて、基板供給装置１００Ａの場所まで自動的に走行する。ＡＧＶ１０は、基板２０が未収納のマガジン３０である空マガジン３０Ｂを基板供給装置１００Ａから受け取って、コンベア１１１に載せて、所定の場所（例えば、実施の形態２に係る基板収納装置１００Ｂの場所）まで自動的に走行する。なお、ＡＧＶ１０は、無人搬送車といった他の用語に読み替えられてもよい。ＡＧＶ１０の例としては、ライントレース式ＡＧＶまたは自律走行式ＡＧＶが挙げられる。

基板供給装置１００Ａは、収納マガジン３０Ａから基板２０を１枚ずつ取り出して、搬送レール４０上に載せる装置である。搬送レール４０は、載せられた基板２０を、次の作業装置へ搬送する装置（例えばコンベア）である。

基板供給装置１００Ａは、搬入コンベア１０１、第１ストッパ１０２、搬出コンベア１０３、第２ストッパ１０４、第１リフト１０５、基板プッシャー１０６、第２リフト１０７、及び、駆動部１５０を備える。

搬入コンベア１０１は、１又は複数の基板２０が収納されたマガジン３０である収納マガジン３０Ａを、搬送レール４０に近づく方向である搬入方向（Ｘ軸の正方向）に移送する装置である。搬入コンベア１０１は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成される。搬入コンベア１０１は、例えばモータによって駆動する。

第１ストッパ１０２は、搬入コンベア１０１における、第１リフト１０５の手前に設けられる。第１ストッパ１０２は、第１リフト１０５が搬入コンベア１０１の高さ位置に存在しない場合、搬入コンベア１０１の面（ＸＹ面）よりも上に上昇する。これにより、収納マガジン３０Ａは、第１ストッパ１０２に阻止されて、第１リフト１０５に移送されない。第１ストッパ１０２は、第１リフト１０５が搬入コンベア１０１の高さ位置に存在する場合、搬入コンベア１０１の面よりも下に下降する。これにより、収納マガジン３０Ａは、第１リフト１０５に移送される。

搬出コンベア１０３は、基板２０が搬送レール４０に排出された後のマガジン３０である空マガジン３０Ｂを、搬送レール４０から遠ざかる方向である搬出方向（Ｘ軸の負方向）に移送する装置である。なお、空マガジン３０Ｂは、すべての基板２０が完全に排出されたマガジン３０に限らず、排出されなかった基板２０が一部残っているマガジン３０も含んでよい。搬出コンベア１０３は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成される。搬出コンベア１０３は、例えばモータによって駆動する。搬出コンベア１０３は、搬入コンベア１０１の上方に設けられる。ただし、搬出コンベア１０３は、搬入コンベア１０１の下方に設けられてもよい。また、例えば、図１に示すように、搬出コンベア１０３は、当該搬出コンベア１０３の長手方向の両端が、搬入コンベア１０１の長手方向（Ｘ軸方向）の両端と揃うように配置される。

第２ストッパ１０４は、搬出コンベア１０３における、第２リフト１０７の手前に設けられる。第２ストッパ１０４は、第２リフト１０７が搬出コンベア１０３の高さ位置に存在しない場合、搬出コンベア１０３の面（ＸＹ面）よりも上に上昇する。これにより、空マガジン３０Ｂは、第２ストッパ１０４に阻止されて、第２リフト１０７に移送されない。第２ストッパ１０４は、第２リフト１０７が搬出コンベア１０３の高さ位置に存在する場合、搬出コンベア１０３の面よりも下に下降する。これにより、空マガジン３０Ｂは、第２リフト１０７に移送される。

第１リフト１０５は、搬入コンベア１０１及び搬出コンベア１０３の一端（図１では左端）と、搬送レール４０との間に設けられ、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能（つまり昇降可能）な装置である。第１リフト１０５は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア１１４を上面に備える。コンベア１１４は、例えばモータによって駆動する。

第１リフト１０５は、搬入コンベア１０１の高さ位置に移動し、搬入コンベア１０１から、収納マガジン３０Ａを受け取る。このとき、第１リフト１０５のコンベア１１４は、受け取った収納マガジン３０Ａが搬入方向（Ｘ軸の正方向）に移送され、中央付近に停止するよう駆動する。

第１リフト１０５は、収納マガジン３０Ａを載せて、当該収納マガジン３０Ａの１つの基板収納棚の高さが、基板プッシャー１０６の高さと揃う位置に移動して停止する。第１リフト１０５は、収納マガジン３０Ａの各基板収納棚の高さに対して、この移動及び停止を繰り返す。

第１リフト１０５は、基板プッシャー１０６によってすべての基板２０が排出された後の空マガジン３０Ｂを載せて、搬出コンベア１０３の高さ位置に移動する。そして、第１リフト１０５は、搬出コンベア１０３の高さ位置において、空マガジン３０Ｂを搬出コンベア１０３へ移送する。このとき、第１リフト１０５のコンベア１１４は、載せられた空マガジン３０Ｂが搬出方向（Ｘ軸の負方向）に移送されるよう駆動する。

基板プッシャー１０６は、搬送レール４０の上方に設けられ、第１リフト１０５に載置された収納マガジン３０Ａ内の１つの基板２０を、搬送レール４０に向けて押し出す装置である。例えば、第１リフト１０５が、収納マガジン３０Ａの１つの基板収納棚の高さが基板プッシャー１０６の高さと揃う位置に移動して停止したタイミングで、基板プッシャー１０６は、次の動作を行う。すなわち、基板プッシャー１０６は、当該基板収納棚に収納された基板２０に向かってスライドし、当該基板２０を搬送レール４０に押し出す。これにより、基板２０は、搬送レール４０上に載置される。

第２リフト１０７は、搬入コンベア１０１及び搬出コンベア１０３の第１リフト１０５が設けられた側とは反対側の端（図１では右端）に設けられ、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能（つまり昇降可能）な装置である。第２リフト１０７は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア１１５を上面に備える。コンベア１１５は、例えばモータによって駆動する。

第２リフト１０７は、ＡＧＶ１０の高さ位置に移動し、ＡＧＶ１０から収納マガジン３０Ａを受け取る（図１参照）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、受け取った収納マガジン３０Ａが搬入方向（Ｘ軸の正方向）に移送され、中央付近に停止するよう駆動する。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを載せて、搬入コンベア１０１の高さ位置まで移動する。そして、第２リフト１０７は、搬入コンベア１０１の高さ位置において、収納マガジン３０Ａを搬入コンベア１０１に移送する（図２参照）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、載せられた収納マガジン３０Ａが搬入方向（Ｘ軸の正方向）に移送されるよう駆動する。

第２リフト１０７は、搬出コンベア１０３の高さ位置に移動し、搬出コンベア１０３から、空マガジン３０Ｂを受け取る（図３参照）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、受け取った空マガジン３０Ｂが搬出方向（Ｘ軸の負方向）に移送され、中央付近に停止するよう駆動する。

第２リフト１０７は、空マガジン３０Ｂを載せてＡＧＶ１０の高さ位置に移動し、当該空マガジン３０ＢをＡＧＶ１０に移送する（図３参照）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、載せられた空マガジン３０Ｂが搬出方向（Ｘ軸の負方向）に移送されるよう駆動する。

駆動部１５０は、第２リフト１０７及びコンベア１１５を、上述したように駆動させる機構である。なお、駆動部１５０は、構成要素１０１〜１０６を、上述したように駆動させてもよい。

なお、第２リフト１０７、コンベア１１５及び駆動部１５０は、独立した昇降装置１４０であってもよい。この場合、昇降装置１４０は、構成要素１０１〜１０６を備える装置（例えばローダー）に接続されて使用されてよい。そして、駆動部１５０は、第２リフト１０７及びコンベア１１５を、上述したように駆動させてよい。

図４は、基板供給装置１００Ａの動作の一例を説明するフローチャートである。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａの搬入動作を行う（Ｓ１０１）。なお、当該搬入動作の詳細については後述する（図５参照）。

搬入コンベア１０１は、第２リフト１０７から受け取った収納マガジン３０Ａを移送する。上昇した第１ストッパ１０２は、その移送された収納マガジン３０Ａを、第１リフト１０５の手前に停止させる（Ｓ１０２）。

第１リフト１０５は、搬入コンベア１０１の高さ位置まで移動（下降）する（Ｓ１０３）。

第１ストッパ１０２は降下し、搬入コンベア１０１は、収納マガジン３０Ａを第１リフト１０５に移送する（Ｓ１０４）。このとき、第１リフト１０５のコンベア１１４は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。

第１リフト１０５は、収納マガジン３０Ａを載せて、収納マガジン３０Ａの１つの基板収納棚の高さ位置が基板プッシャー１０６の高さ位置と揃う位置まで移動（上昇）する（Ｓ１０５）。

基板プッシャー１０６は、Ｓ１０５の高さ位置の基板収納棚の基板２０を押し出す（Ｓ１０６）。押し出された基板２０は、収納マガジン３０Ａから排出され、搬送レール４０に載せられる。

第１リフト１０５及び基板プッシャー１０６は、収納マガジン３０Ａ内のすべての基板２０が排出されるまで、Ｓ１０５及びＳ１０６の動作を繰り返す（Ｓ１０７：ＮＯ）。

収納マガジン３０Ａ内のすべての基板２０が排出された後（Ｓ１０７：ＹＥＳ）、第１リフト１０５は、空マガジン３０Ｂを載せて、搬出コンベア１０３の高さ位置まで移動（上昇）する（Ｓ１０８）。

第１リフト１０５は、空マガジン３０Ｂを搬出コンベア１０３へ移送する（Ｓ１０９）。このとき、第１リフト１０５のコンベア１１４は、搬出方向（Ｘ軸の負方向）に駆動する。

搬出コンベア１０３は、第１リフト１０５から受け取った空マガジン３０Ｂを移送する。上昇した第２ストッパ１０４は、その移送された空マガジン３０Ｂを、第２リフト１０７の手前に停止させる（Ｓ１１０）。

第２リフト１０７は、空マガジン３０Ｂの搬出動作を行う（Ｓ１１１）。なお、当該搬出動作の詳細については後述する（図６参照）。

図５は、図４に示す第２リフト１０７の搬入動作（Ｓ１０１）の一例を説明するフローチャートである。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを載せたＡＧＶ１０が到着した場合、ＡＧＶ１０の高さ位置まで移動する（Ｓ２０１）。

第２リフト１０７は、ＡＧＶ１０から収納マガジン３０Ａを受け取る（Ｓ２０２）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを載せて、搬入コンベア１０１の高さ位置まで移動する（Ｓ２０３）。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを、搬入コンベア１０１に移送する（Ｓ２０４）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。

以上の動作により、ＡＧＶ１０が運んできた収納マガジン３０Ａを、自動的に搬入コンベア１０１に載せることができる。

図６は、図４に示す第２リフト１０７の搬出動作（Ｓ１１１）の一例を説明するフローチャートである。

第２リフト１０７は、マガジン３０を載せていないＡＧＶ１０が到着した場合、搬出コンベア１０３の高さ位置まで移動する（Ｓ３０１）。

第２ストッパ１０４は降下し、搬出コンベア１０３は、空マガジン３０Ｂを第２リフト１０７に移送する（Ｓ３０２）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬出方向（Ｘ軸の負方向）に駆動する。

第２リフト１０７は、空マガジン３０Ｂを載せて、ＡＧＶ１０の高さ位置まで移動する（Ｓ３０３）。

第２リフト１０７は、空マガジン３０ＢをＡＧＶ１０に移送する（Ｓ３０４）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬出方向（Ｘ軸の負方向）に駆動する。

以上の動作により、搬出コンベア１０３を流れる空マガジン３０Ｂを、自動的にＡＧＶ１０に載せることができる。

なお、上述した図４〜図６の動作は、基板供給装置１００Ａが備える制御装置（図示しない）によって制御されてよい。制御装置は、プロセッサ、メモリ及び通信Ｉ／Ｆ（Interface）を備えてよい。そして、これらの構成要素が協調動作することにより、制御装置は、上述した制御を実現してよい。

（実施の形態２）
実施の形態２では、実施の形態１にて説明した基板供給装置１００Ａが、さらに第３リフトを備える構成を説明する。なお、実施の形態１にて説明済みの構成要素については、同じ参照番号を付し、説明を省略する場合がある。

図７及び図８は、実施の形態２に係る基板供給装置１００Ａ及びＡＧＶ１０の構成例を示す図である。

基板供給装置１００Ａは、搬入コンベア１０１、第１ストッパ１０２、搬出コンベア１０３、第２ストッパ１０４、第１リフト１０５、基板プッシャー１０６、第２リフト１０７、第３リフト１０８、及び、駆動部１５０を備える。

第３リフト１０８は、第２リフト１０７の上方に設けられ、上下方向に移動可能（つまり昇降可能）な装置である。第３リフト１０８は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア１１６を上面に備える。コンベア１１６は、例えばモータによって駆動する。また、ＡＧＶ１０の高さ位置は、搬出コンベア１０３の高さ位置と揃っている。

駆動部１５０は、第２リフト１０７、第３リフト１０８、及び、コンベア１１５、１１６を、上述したように駆動させる機構である。なお、駆動部１５０は、構成要素１０１〜１０６を、上述したように駆動させてもよい。

実施の形態２では、第２リフト１０７が、ＡＧＶ１０から収納マガジン３０Ａを受け取って、搬入コンベア１０１へ移送し、第３リフト１０８が、搬出コンベア１０３から空マガジン３０Ｂを受け取って、ＡＧＶ１０へ移送する。

なお、第２リフト１０７、第３リフト１０８、コンベア１１５、１１６及び駆動部１５０は、独立した昇降装置１４０であってもよい。この場合、昇降装置１４０は、構成要素１０１〜１０６を備える装置（例えばローダー）に接続されて使用されてよい。そして、駆動部１５０は、第２リフト１０７、第３リフト１０８及びコンベア１１５、１１６を、上述したように駆動させてよい。

図９は、第２リフト１０７及び第３リフト１０８による搬入及び搬出動作の一例を説明するフローチャートである。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを載せたＡＧＶ１０が到着した場合、ＡＧＶ１０の高さ位置まで移動する（Ｓ４０１）。

第２リフト１０７は、ＡＧＶ１０から収納マガジン３０Ａを受け取る（Ｓ４０２）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを載せて、搬入コンベア１０１の高さ位置まで移動する（Ｓ４０３）。

第３リフト１０８は、搬出コンベア１０３及びＡＧＶ１０の高さ位置まで移動する（Ｓ４０４）。なお、図８に示すように、Ｓ４０３とＳ４０４の動作は一緒に行われてもよい。

第３リフト１０８は、搬出コンベア１０３から空マガジン３０Ｂを受け取り（Ｓ４０５）、受け取った空マガジン３０ＢをＡＧＶ１０に移送する（Ｓ４０６）。このとき、第３リフト１０８のコンベア１１６は、搬出方向（Ｘ軸の負方向）に駆動する。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを、搬入コンベア１０１に移送する（Ｓ４０７）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。なお、図８に示すように、Ｓ４０７の動作は、Ｓ４０６の動作と一緒に行われてもよい。あるいは、Ｓ４０７の動作は、搬入コンベア１０１に収納マガジン３０Ａを載せるスペースが存在する場合に行われてもよい。

以上の処理によれば、第２リフト１０７による収納マガジン３０Ａの搬入と、第３リフト１０８による空マガジン３０Ｂの搬出とを一緒に実行できるので、実施の形態１と比較して、マガジンの搬入及び搬出を効率的に行うことができる。

また、第３リフト１０８に空マガジン３０Ｂを載せておき、第２リフト１０７に収納マガジン３０Ａを載せておくことができるので、基板供給装置１００Ａにおける空マガジン３０Ｂ及び収納マガジン３０Ａの保持可能数が向上する。

（実施の形態３）
実施の形態３では基板収納装置について説明する。基板収納装置は、アンローダーといった他の用語に読み替えられてもよい。なお、実施の形態１から２にて説明済みの構成要素については、同じ参照番号を付し、説明を省略する場合がある。

図１０、図１１及び図１２は、実施の形態３に係る基板収納装置及びＡＧＶの構成例を示す図である。

ＡＧＶ１０は、空マガジン３０Ｂを載せて、基板収納装置１００Ｂの場所まで自動的に走行する。ＡＧＶ１０は、収納マガジン３０Ａを基板収納装置１００Ｂから受け取って、所定の場所（例えば、実施の形態１に係る基板供給装置１００Ａの場所）まで自動的に走行する。

基板収納装置１００Ｂは、搬送レール４０から搬送された基板２０を１枚ずつ空マガジン３０Ｂに収納する装置である。搬送レール４０は、作業装置によって作業された基板２０を、基板収納装置１００Ｂに搬送する装置（例えばコンベア）である。

基板収納装置１００Ｂは、搬入コンベア１０１、第１ストッパ１０２、搬出コンベア１０３、第２ストッパ１０４、第１リフト１０５、基板プッシャー１０６、及び、第２リフト１０７を備える。

搬入コンベア１０１は、空マガジン３０Ｂを、搬送レール４０に近づく方向である搬入方向（Ｘ軸の正方向）に移送する装置である。なお、搬入コンベア１０１は、実施の形態１で説明した搬入コンベア１０１と同様の構成であってよい。

第１ストッパ１０２は、搬入コンベア１０１における、第１リフト１０５の手前に設けられる。第１ストッパ１０２は、第１リフト１０５が搬入コンベア１０１の高さ位置に存在しない場合、搬入コンベア１０１の面（ＸＹ面）よりも上に上昇する。これにより、空マガジン３０Ｂは、第１ストッパ１０２に阻止されて、第１リフト１０５に移送されない。第１ストッパ１０２は、第１リフト１０５が搬入コンベア１０１の高さ位置に存在する場合、搬入コンベア１０１の面よりも下に下降する。これにより、空マガジン３０Ｂは、第１リフト１０５に移送される。

搬出コンベア１０３は、搬送レール４０から搬送された基板２０が収納された後のマガジンである収納マガジン３０Ａを、搬送レール４０から遠ざかる方向である搬出方向（Ｘ軸の負方向）に移送する装置である。搬出コンベア１０３は、実施の形態１で説明した搬出コンベア１０３と同様の構成であってよい。搬出コンベア１０３は、搬入コンベア１０１の下方に設けられる。ただし、搬出コンベア１０３は、搬入コンベア１０１の上方に設けられてもよい。また、例えば、図１０に示すように、搬出コンベア１０３は、当該搬出コンベア１０３の長手方向の両端が、搬入コンベア１０１の長手方向の両端と揃うように配置される。

第２ストッパ１０４は、搬出コンベア１０３における、第２リフト１０７の手前に設けられる。第２ストッパ１０４は、第２リフト１０７が搬出コンベア１０３の高さ位置に存在しない場合、搬出コンベア１０３の面（ＸＹ面）よりも上に上昇する。これにより、収納マガジン３０Ａは、第２ストッパ１０４に阻止されて、第２リフト１０７に移送されない。第２ストッパ１０４は、第２リフト１０７が搬出コンベア１０３の高さ位置に存在する場合、搬出コンベア１０３の面よりも下に下降する。これにより、収納マガジン３０Ａは、第２リフト１０７に移送される。

第１リフト１０５は、搬入コンベア１０１及び搬出コンベア１０３の一端（図１０では左端）と、搬送レール４０との間に設けられ、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能（つまり昇降可能）な装置である。第１リフト１０５は、実施の形態１と同様の構成であってよい。

第１リフト１０５は、搬入コンベア１０１の高さ位置に移動し、搬入コンベア１０１から、空マガジン３０Ｂを受け取る。

第１リフト１０５は、空マガジン３０Ｂを載せて、当該空マガジン３０Ｂの１つの基板収納棚の高さが基板プッシャー１０６の高さと揃う位置に移動して停止する。第１リフト１０５は、空マガジン３０Ｂの各基板収納棚の高さに対して、この移動及び停止を繰り返す。

第１リフト１０５は、基板プッシャー１０６によって各基板収納棚に基板２０が収納された後の収納マガジン３０Ａを載せて、搬出コンベア１０３の高さ位置に移動する。そして、第１リフト１０５は、搬出コンベア１０３の高さ位置において、収納マガジン３０Ａを搬出コンベア１０３に移送する。

基板プッシャー１０６は、搬送レール４０を流れてきた基板２０を、第１リフト１０５に載置された空マガジン３０Ｂの１つの基板収納棚に向けて押し出す装置である。例えば、第１リフト１０５が、空マガジン３０Ｂの１つの基板収納棚の高さが基板プッシャー１０６の高さと揃う位置に移動して停止したタイミングで、基板プッシャー１０６は、次の動作を行う。すなわち、基板プッシャー１０６は、当該基板収納棚に向かってスライドし、搬送レール４０を流れてきた基板２０を当該基板収納棚に向けて押し出す。これにより、搬送レール４０を流れてきた基板２０は、空マガジン３０Ｂ内の１つの基板収納棚に収納される。

第２リフト１０７は、搬入コンベア１０１及び搬出コンベア１０３の第１リフト１０５が設けられた側とは反対側の端（図１０では右端）に設けられ、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能（つまり昇降可能）な装置である。第２リフト１０７は、実施の形態１と同様の構成であってよい。

第２リフト１０７は、ＡＧＶ１０の高さ位置に移動し、ＡＧＶ１０から空マガジン３０Ｂを受け取る（図１０参照）。

第２リフト１０７は、空マガジン３０Ｂを載せて、搬入コンベア１０１の高さ位置まで移動する。そして、第２リフト１０７は、搬入コンベア１０１の高さ位置において、空マガジン３０Ｂを搬入コンベア１０１に移送する（図１０参照）。

第２リフト１０７は、搬出コンベア１０３の高さ位置に移動し、搬出コンベア１０３から、収納マガジン３０Ａを受け取る（図１１参照）。そして、第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを載せて、ＡＧＶ１０の高さ位置に移動し、収納マガジン３０ＡをＡＧＶ１０に移送する（図１２参照）。

駆動部１５０は、第２リフト１０７及びコンベア１１５を、上述したように駆動させる機構である。なお、駆動部１５０は、構成要素１０１〜１０６を、上述したように駆動させてもよい。

なお、第２リフト１０７、コンベア１１５及び駆動部１５０は、独立した昇降装置１４０であってもよい。この場合、昇降装置１４０は、構成要素１０１〜１０６を備える装置（例えばアンローダー）に接続されて使用されてよい。そして、駆動部１５０は、第２リフト１０７及びコンベア１１５を、上述したように駆動させてよい。

図１３は、基板収納装置１００Ｂの動作の一例を説明するフローチャートである。

第２リフト１０７は、空マガジン３０Ｂの搬入動作を行う（Ｓ５０１）。なお、当該搬入動作の詳細については後述する（図１４参照）。

搬入コンベア１０１は、第２リフト１０７から受け取った空マガジン３０Ｂを移送する。上昇した第１ストッパ１０２は、その移送された空マガジン３０Ｂを、第１リフト１０５の手前に停止させる（Ｓ５０２）。

第１リフト１０５は、搬入コンベア１０１の高さ位置まで移動（上昇）する（Ｓ５０３）。

第１ストッパ１０２は降下し、搬入コンベア１０１は、空マガジン３０Ｂを第１リフト１０５に移送する（Ｓ５０４）。このとき、第１リフト１０５のコンベア１１４は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。

第１リフト１０５は、空マガジン３０Ｂを載せて、空マガジン３０Ｂの１つの基板収納棚の高さ位置が基板プッシャー１０６の高さ位置と揃う位置まで移動（下降）する（Ｓ５０５）。

基板プッシャー１０６は、搬送レール４０を流れてくる基板２０を押し出す（Ｓ５０６）。押し出された基板２０は、Ｓ５０５の高さ位置の基板収納棚に収納される。

第１リフト１０５及び基板プッシャー１０６は、空マガジン３０Ｂ内のすべての基板収納棚に基板２０が収納されるまで、Ｓ１０５及びＳ１０６の動作を繰り返す（Ｓ５０７：ＮＯ）。

空マガジン３０Ｂ内のすべての基板収納棚に基板２０が収納された後（Ｓ５０７：ＹＥＳ）、第１リフト１０５は、収納マガジン３０Ａを載せて、搬出コンベア１０３の高さ位置まで移動（下降）する（Ｓ５０８）。

第１リフト１０５は、収納マガジン３０Ａを搬出コンベア１０３へ移送（Ｓ５０９）。このとき、第１リフト１０５のコンベア１１４は、搬出方向（Ｘ軸の負方向）に駆動する。

搬出コンベア１０３は、第１リフト１０５から受け取った収納マガジン３０Ａを移送する。上昇した第２ストッパ１０４は、その移送された収納マガジン３０Ａを、第２リフト１０７の手前に停止させる（Ｓ５１０）。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａの搬出動作を行う（Ｓ５１１）。なお、当該搬出動作の詳細については後述する（図１５参照）。

図１４は、図１３に示す第２リフト１０７の搬入動作（Ｓ５０１）の一例を説明するフローチャートである。

第２リフト１０７は、空マガジン３０Ｂを載せたＡＧＶ１０が到着した場合、ＡＧＶ１０の高さ位置まで移動する（Ｓ６０１）。

第２リフト１０７は、ＡＧＶ１０から空マガジン３０Ｂを受け取る（Ｓ６０２）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。

第２リフト１０７は、空マガジン３０Ｂを載せて、搬入コンベア１０１の高さ位置まで移動する（Ｓ６０３）。なお、第２リフト１０７の高さ位置がＡＧＶ１０の高さ位置と揃っている場合、この移動は省略されてもよい。

第２リフト１０７は、空マガジン３０Ｂを、搬入コンベア１０１に移送する（Ｓ６０４）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。

以上の動作により、ＡＧＶ１０が運んできた空マガジン３０Ｂを、自動的に搬入コンベア１０１に載せることができる。

図１５は、図１３に示す第２リフト１０７の搬出動作（Ｓ５１１）の一例を説明するフローチャートである。

第２リフト１０７は、マガジン３０を載せていないＡＧＶ１０が到着した場合、搬出コンベア１０３の高さ位置まで移動する（Ｓ７０１）。

第２ストッパ１０４は降下し、搬出コンベア１０３は、収納マガジン３０Ａを第２リフト１０７に移送する（Ｓ７０２）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬出方向（Ｘ軸の負方向）に駆動する。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを載せて、ＡＧＶ１０の高さ位置まで移動する（Ｓ７０３）。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０ＡをＡＧＶ１０に移送する（Ｓ７０４）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬出方向（Ｘ軸の負方向）に駆動する。

以上の動作により、搬出コンベア１０３を流れる収納マガジン３０Ａを、自動的にＡＧＶ１０に載せることができる。

なお、上述した図１３〜図１５の動作は、基板収納装置１００Ｂが備える制御装置（図示しない）によって制御されてよい。制御装置は、プロセッサ、メモリ及び通信Ｉ／Ｆを備えてよい。そして、これらの構成要素が協調動作することにより、制御装置は、上述した制御を実現してよい。

（実施の形態４）
実施の形態４では、実施の形態３にて説明した基板収納装置１００Ｂが、さらに第３リフト１０８を備える構成を説明する。なお、実施の形態１から３にて説明済みの構成要素については、同じ参照番号を付し、説明を省略する場合がある。

図１６及び図１７は、実施の形態４に係る基板収納装置１００Ｂの構成例を示す図である。

基板収納装置１００Ｂは、搬入コンベア１０１、第１ストッパ１０２、搬出コンベア１０３、第２ストッパ１０４、第１リフト１０５、基板プッシャー１０６、第２リフト１０７、及び、第３リフト１０８を備える。

第３リフト１０８は、第２リフト１０７の上方に設けられ、上下方向に移動可能（つまり昇降可能）な装置である。第３リフト１０８は、ベルト、チェーン又はローラ等によって構成されたコンベア１１６を備える。コンベア１１６は、例えばモータによって駆動する。また、ＡＧＶ１０の高さ位置は、搬入コンベア１０１の高さ位置と揃っている。

駆動部１５０は、第２リフト１０７、第３リフト１０８、及び、コンベア１１５、１１６を、上述したように駆動させる機構である。なお、駆動部１５０は、構成要素１０１〜１０６を、上述したように駆動させてもよい。

実施の形態４では、第３リフト１０８が、ＡＧＶ１０から空マガジン３０Ｂを受け取って、搬入コンベア１０１へ移送し、第２リフト１０７が、搬出コンベア１０３から収納マガジン３０Ａを受け取って、ＡＧＶ１０へ移送する。

なお、第２リフト１０７、第３リフト１０８、コンベア１１５、１１６及び駆動部１５０は、独立した昇降装置１４０であってもよい。この場合、昇降装置１４０は、構成要素１０１〜１０６を備える装置（例えばアンローダー）に接続されて使用されてよい。そして、駆動部１５０は、第２リフト１０７、第３リフト１０８及びコンベア１１５、１１６を、上述したように駆動させてよい。

図１８は、第２リフト１０７及び第３リフト１０８による搬入及び搬出動作の一例を説明するフローチャートである。

第３リフト１０８は、空マガジン３０Ｂを載せたＡＧＶ１０が到着した場合、搬入コンベア１０１及びＡＧＶ１０の高さ位置まで移動する（Ｓ８０１）。

第２リフト１０７は、搬出コンベア１０３の高さ位置まで移動する（Ｓ８０２）。なお、図１６に示すように、Ｓ８０１とＳ８０２の動作は一緒に行われてもよい。

第３リフト１０８は、ＡＧＶ１０から空マガジン３０Ｂを受け取る（Ｓ８０３）。このとき、第３リフト１０８のコンベア１１６は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。

第２リフト１０７は、搬出コンベア１０３から、収納マガジン３０Ａを受け取る（Ｓ８０４）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬出方向（Ｘ軸の負方向）に駆動する。なお、図１６に示すように、Ｓ８０３とＳ８０４の動作は一緒に行われてもよい。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０Ａを載せて、Ｓ８０１にて到着したＡＧＶ１０の高さ位置まで移動（上昇）する（Ｓ８０５）。このとき、図１７に示すように、第３リフト１０８も一緒に移動（上昇）してよい。

第２リフト１０７は、収納マガジン３０ＡをＡＧＶ１０に移送する（Ｓ８０６）。このとき、第２リフト１０７のコンベア１１５は、搬出方向（Ｘ軸の負方向）に駆動する。

第３リフト１０８は、空マガジン３０Ｂを載せて、搬入コンベア１０１の高さ位置まで移動する（Ｓ８０７）。

第３リフト１０８は、空マガジン３０Ｂを、搬入コンベア１０１に移送する（Ｓ８０８）。このとき、第３リフト１０８のコンベア１１６は、搬入方向（Ｘ軸の正方向）に駆動する。なお、Ｓ８０８の動作は、搬入コンベア１０１に空マガジン３０Ｂを載せるスペースが存在する場合に行われてもよい。

以上の動作によれば、第３リフト１０８による空マガジン３０Ｂの搬入と、第２リフト１０７による収納マガジン３０Ａの搬出とを一度に実行できるので、実施の形態３と比較して、マガジン３０の搬入及び搬出を効率的に行うことができる。

また、第３リフト１０８に空マガジン３０Ｂを載せておき、第２リフト１０７に収納マガジン３０Ａを載せておくことができるので、基板収納装置１００Ｂにおける空マガジン３０Ｂ及び収納マガジン３０Ａの保持可能数が向上する。

（実施の形態５）
実施の形態５では、実施の形態１から４で説明した基板供給装置１００Ａ、基板収納装置１００Ｂ及びＡＧＶ１０の挙動を制御する制御システム２００について説明する。なお、実施の形態１から４にて説明済みの構成要素については、同じ参照番号を付し、説明を省略する場合がある。

図１９は、実施の形態５に係る制御システムの構成例を示す図である。

制御システム２００は、所定の通信ネットワークＮを介して、工場内に配置された基板供給装置１００Ａ、基板収納装置１００Ｂ、及びＡＧＶ１０と、様々な情報を送受信できる。通信ネットワークＮは、有線ＬＡＮ（Local Area Network）、無線ＬＡＮ、又は、それらの組み合わせによって構成されてよい。制御システム２００は、１又は複数のサーバ装置によって構成されてよい。制御システム２００は、プロセッサ、メモリ、ストレージ及び通信Ｉ／Ｆ等を備えてよい。制御システム２００が提供する機能は、これらの構成要素が協調動作することによって実現されてよい。

例えば、制御システム２００は、基板供給装置１００Ａの搬入コンベア１０１に収納マガジン３０Ａが載置されていない場合（つまり収納マガジン３０Ａの提供を要する場合）、ＡＧＶ１０に対して、当該基板供給装置１００Ａへ収納マガジン３０Ａを運搬するよう指示する。この指示を受けたＡＧＶ１０は、収納マガジン３０Ａを載せて当該基板供給装置１００Ａの場所に自動的に移動し、当該基板供給装置１００Ａに収納マガジン３０Ａを提供する。

例えば、制御システム２００は、基板供給装置１００Ａの搬出コンベア１０３に空マガジン３０Ｂが載置されている場合（つまり空マガジン３０Ｂの回収を要する場合）、ＡＧＶ１０に対して、当該基板供給装置１００Ａから空マガジン３０Ｂを回収するよう指示する。この指示を受けたＡＧＶ１０は、何も載せずに当該基板供給装置１００Ａまで自動的に移動し、当該基板供給装置１００Ａから空マガジン３０Ｂを回収する。

例えば、制御システム２００は、基板収納装置１００Ｂの搬入コンベア１０１に空マガジン３０Ｂが載置されていない場合（つまり空マガジン３０Ｂの提供を要する場合）、ＡＧＶ１０に対して、当該基板収納装置１００Ｂへ空マガジン３０Ｂを運搬するよう指示する。この指示を受けたＡＧＶ１０は、空マガジン３０Ｂを載せて当該基板供給装置１００Ａの場所に自動的に移動し、当該基板収納装置１００Ｂに空マガジン３０Ｂを提供する。

例えば、制御システム２００は、基板収納装置１００Ｂの搬出コンベア１０３に収納マガジン３０Ａが載置されている場合（つまり収納マガジン３０Ａの回収を要する場合）、ＡＧＶ１０に対して、当該基板収納装置１００Ｂから収納マガジン３０Ａを回収するよう指示する。この指示を受けたＡＧＶ１０は、何も載せずに当該基板収納装置１００Ｂの場所に自動的に移動し、当該基板収納装置１００Ｂから収納マガジン３０Ａを回収する。

工場内において、マガジン３０が載置される上面の高さ位置が互いに異なるＡＧＶ１０が存在する場合、制御システム２００は、基板供給装置１００Ａ又は基板収納装置１００Ｂの場所に向かわせるＡＧＶ１０の高さ位置を示す情報を、当該基板供給装置１００Ａ又は基板収納装置１００Ｂに対して送信してよい。これにより、基板供給装置１００Ａ又は基板収納装置１００Ｂは、第２リフト１０７（及び第３リフト１０８）の高さ位置を、到着するＡＧＶ１０の高さ位置に揃えることができる。

（本開示のまとめ）
本開示に係る基板（２０）を供給する基板供給装置（１００Ａ）は、前記基板が収納されたマガジン（３０）である収納マガジン（３０Ａ）を搬入方向に移送する搬入コンベア（１０１）と、前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジン（３０Ｂ）を載せて上下に移動可能な第１リフト（１０５）と、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第１リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベア（１０３）と、上下に移動可能な第２リフト（１０７）と、を備え、前記第２リフトは、無人搬送車（１０）から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する。

この構成によれば、第２リフトが、無人搬送車から受け取った収納マガジンを載せて搬入コンベアの高さ位置まで移動するので、収納マガジンを搬入コンベアの高さ位置まで移動させる作業を自動化できる。

前記第２リフトは、前記無人搬送車から受け取った前記収納マガジンを前記搬入コンベアに移送するコンベアを備えてよい。

この構成によれば、第２リフトのコンベアが、無人搬送車から受け取った収納マガジンを搬入コンベアに移送するので、収納マガジンを無人搬送車から搬入コンベアに乗せ換える作業を自動化できる。

前記第２リフトは、前記搬出コンベアから前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動してよい。

この構成によれば、第２リフトが、搬出コンベアから受け取った空マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置まで移動するので、空マガジンを無人搬送車の高さ位置に移動させる作業を自動化できる。

前記第２リフトは、前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備えてよい。

この構成によれば、第２リフトのコンベアが、搬出コンベアから受け取った空マガジンを無人搬送車に移送するので、空マガジンを搬出コンベアから無人搬送車に乗せ換える作業を自動化できる。

前記第２リフトは、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動した場合、前記収納マガジンを前記搬入コンベアへ移送し、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動した場合、前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備えてよい。

この構成によれば、第２リフトのコンベアが、収納マガジンを搬入コンベアへ移送し、空マガジンを無人搬送車へ移送するので、収納マガジンを無人搬送車から搬入コンベアに乗せ換える作業、及び、空マガジンを搬出コンベアから無人搬送車に乗せ換える作業を自動化できる。

前記第２リフトの上方に設けられ、上下に移動可能な第３リフト（１０８）をさらに備え、前記第３リフトは、前記搬出コンベアから前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動してよい。前記第３リフトは、前記搬出コンベアから受け取った前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備えてよい。

この構成によれば、第２リフトによる収納マガジンの搬入と、第３リフトによる空マガジンの搬出とを一緒に実行できるので、マガジンの搬入及び搬出を効率的に行うことができる。

本開示に係る基板（２０）を収納する基板収納装置（１００Ｂ）は、前記基板が収納されていないマガジン（３０）である空マガジン（３０Ｂ）を搬入方向に移送する搬入コンベア（１０１）と、前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて上下に移動可能な第１リフト（１０５）と、前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第１リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベア（１０３）と、上下に移動可能な第２リフト（１０７）と、を備え、前記第２リフトは、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車（１０）の高さ位置に移動する。

この構成によれば、第２リフトが、搬出コンベアから受け取った収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置まで移動するので、収納マガジンを無人搬送車の高さ位置まで移動させる作業を自動化できる。

前記第２リフトは、前記搬出コンベアから受け取った前記収納マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備えてよい。

この構成によれば、第２リフトのコンベアが、搬出コンベアから受け取った収納マガジンを無人搬送車に移動するので、収納マガジンを搬出コンベアから無人搬送車に乗せ換える作業を自動化できる。

前記第２リフトは、前記無人搬送車から前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動してよい。

この構成によれば、第２リフトが、無人搬送車から受け取った空マガジンを載せて搬入コンベアの高さ位置まで移動するので、空マガジンを搬入コンベアの高さ位置に移動させる作業を自動化できる。

前記第２リフトは、前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備えてよい。

この構成によれば、第２リフトのコンベアが、無人搬送車から受け取った空マガジンを搬入コンベアに移送するので、空マガジンを無人搬送車から搬入コンベアに乗せ換える作業を自動化できる。

前記第２リフトは、前記収納マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動した場合、前記収納マガジンを前記無人搬送車へ移送し、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動した場合、前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備えてよい。

この構成によれば、第２リフトのコンベアが、収納マガジンを無人搬送車へ移送し、空マガジンを搬入コンベアへ移送するので、収納マガジンを搬出コンベアから無人搬送車に乗せ換える作業、及び、空マガジンを無人搬送車から搬入コンベアに乗せ換える作業を自動化できる。

前記第２リフトの上方に設けられ、上下に移動可能な第３リフト（１０８）をさらに備え、前記第３リフトは、前記無人搬送車から前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動してよい。前記第３リフトは、前記無人搬送車から受け取った前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備えてよい。

この構成によれば、第３リフトによる空マガジンの搬入と、第２リフトによる収納マガジンの搬出とを一度に実行できるので、マガジンの搬入及び搬出を効率的に行うことができる。

以上、添付図面を参照しながら実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても本開示の技術的範囲に属すると了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。

本開示の技術は、基板供給装置及び基板収納装置に有用である。

１０ ＡＧＶ
２０ 基板
３０ マガジン
３０Ａ 収納マガジン
３０Ｂ 空マガジン
４０ 搬送レール
１００Ａ 基板供給装置
１００Ｂ 基板収納装置
１０１ 搬入コンベア
１０２ 第１ストッパ
１０３ 搬出コンベア
１０４ 第２ストッパ
１０５ 第１リフト
１０６ 基板プッシャー
１０７ 第２リフト
１０８ 第３リフト
１１１、１１４、１１５、１１６ コンベア
１４０ 昇降装置
１５０ 駆動部
２００ 制御システム
Ｎ 通信ネットワーク

Claims (18)

1. 基板を供給する基板供給装置であって、
   前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを搬入方向に移送する搬入コンベアと、
   前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジンを載せて上下に移動可能な第１リフトと、
   前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第１リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベアと、
   上下に移動可能な第２リフトと、を備え、
   前記第２リフトは、無人搬送車から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する、
   基板供給装置。
2. 前記第２リフトは、前記無人搬送車から受け取った前記収納マガジンを前記搬入コンベアに移送するコンベアを備える、
   請求項１に記載の基板供給装置。
3. 前記第２リフトは、前記搬出コンベアから前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動する、
   請求項１に記載の基板供給装置。
4. 前記第２リフトは、前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備える、
   請求項３に記載の基板供給装置。
5. 前記第２リフトは、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動した場合、前記収納マガジンを前記搬入コンベアへ移送し、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動した場合、前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備える、
   請求項１に記載の基板供給装置。
6. 前記第２リフトの上方に設けられ、上下に移動可能な第３リフトをさらに備え、
   前記第３リフトは、前記搬出コンベアから前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動する、
   請求項１又は２に記載の基板供給装置。
7. 前記第３リフトは、前記搬出コンベアから受け取った前記空マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備える、
   請求項６に記載の基板供給装置。
8. 基板を供給する基板供給方法であって、
   搬入コンベアが、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを搬入方向へ移送し、
   第１リフトが、前記搬入コンベアから受け取った前記収納マガジン、又は、前記基板が排出された後のマガジンである空マガジンを載せて移動し、
   前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられた搬出コンベアが、前記第１リフトから受け取った前記空マガジンを搬出方向へ移送し、
   第２リフトが、無人搬送車から前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する、
   基板供給方法。
9. 基板を供給する基板供給装置に接続される昇降装置であって、
   上下に移動可能なリフトと、
   前記リフトを駆動する駆動部と、を備え、
   前記駆動部は、前記リフトが無人搬送車から、前記基板が収納されたマガジンである収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せた前記リフトを、前記基板供給装置が備える搬入コンベアの高さ位置に移動させる、
   昇降装置。
10. 基板を収納する基板収納装置であって、
    前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを搬入方向に移送する搬入コンベアと、
    前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて上下に移動可能な第１リフトと、
    前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられ、前記第１リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向に移送する搬出コンベアと、
    上下に移動可能な第２リフトと、を備え、
    前記第２リフトは、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置に移動する、
    基板収納装置。
11. 前記第２リフトは、前記搬出コンベアから受け取った前記収納マガジンを前記無人搬送車へ移送するコンベアを備える、
    請求項１０に記載の基板収納装置。
12. 前記第２リフトは、前記無人搬送車から前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する、
    請求項１１に記載の基板収納装置。
13. 前記第２リフトは、前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備える、
    請求項１２に記載の基板収納装置。
14. 前記第２リフトは、前記収納マガジンを載せて前記無人搬送車の高さ位置に移動した場合、前記収納マガジンを前記無人搬送車へ移送し、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動した場合、前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備える、
    請求項１０に記載の基板収納装置。
15. 前記第２リフトの上方に設けられ、上下に移動可能な第３リフト、をさらに備え、
    前記第３リフトは、前記無人搬送車から前記空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せて前記搬入コンベアの高さ位置に移動する、
    請求項１０又は１２に記載の基板収納装置。
16. 前記第３リフトは、前記無人搬送車から受け取った前記空マガジンを前記搬入コンベアへ移送するコンベアを備える、
    請求項１５に記載の基板収納装置。
17. 基板を収納する基板収納方法であって、
    搬入コンベアが、前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを搬入方向へ移送し、
    第１リフトが、前記搬入コンベアから受け取った前記空マガジン、又は、前記基板が収納された後のマガジンである収納マガジンを載せて昇降し、
    前記搬入コンベアの上方又は下方に設けられた搬出コンベアが、前記第１リフトから受け取った前記収納マガジンを搬出方向へ移送し、
    第２リフトが、前記搬出コンベアから前記収納マガジンを受け取った場合、前記収納マガジンを載せて無人搬送車の高さ位置に移動する、
    基板収納方法。
18. 基板を収納する基板収納装置に接続される昇降装置であって、
    上下に移動可能なリフトと、
    前記リフトを駆動する駆動部と、を備え、
    前記駆動部は、前記基板収納装置が備える搬出コンベアから、前記基板が収納されていないマガジンである空マガジンを受け取った場合、前記空マガジンを載せた前記リフトを、無人搬送車の高さ位置に移動させる、
    昇降装置。

Images