JP2021123761A - 3次元積層造形装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上記の電子光学系制御部は、積層造形データに基づいて、ステージの鉛直方向における位置ごとに、粉末層に対する造形用ビームの照射位置(造形座標)を設定する処理と、ステージの鉛直方向における位置ごとに、造形用ビームの照射位置に補正値を加算して補正照射位置を算出する処理と、ステージの鉛直方向における位置ごとに、造形用ビームが補正照射位置に照射されるように電子光学系を制御する処理と、を実行する。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
本発明は、粉末層が形成されるステージの降下位置ごとに、ステージの造形面に垂直な方向に対する当該ステージの位置ずれ量(造形物の歪み)を測定及び記憶する。そして、その位置ずれ量を補正する値を、実際の積層造形時の電子ビームを照射する位置に反映する。それにより、粉末層上の溶融及び凝固する位置が本来(設計時)の位置からずれていくことを解決する。以下、本発明の第1の実施形態に係る3次元積層造形装置の構成例について図1及び図を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る3次元積層造形装置の構成例を示す断面図である。図2は、3次元積層造形装置のステージ支持体が移動範囲の最下端(本実施形態では最上端からの距離約600mm)まで移動した状態を示した断面図である。図1及び図2において、3次元積層造形装置1のステージ5の移動方向(鉛直方向)をZ方向とし、Z方向に垂直な第1の方向をX方向、Z方向及びX方向に垂直な第2の方向をY方向とする。
図3は、Z駆動機構の例を示す正面図である。図3は、造形枠4の筒状体4a側からZ駆動機構12Aを見た状態を表したものである。
3次元積層造形装置1は、積層造形の開始時に、ヒータにより造形枠4の筒状体4aを加熱する。造形枠4の筒状体4aが過熱されることにより、ステージ5及び周囲の雰囲気が余熱される。次に、Z駆動機構12A,12Bにより、造形枠4のつば部4bの上面よりZ方向にΔZ分下がった位置にステージ5を移動する。このΔZが、その後に敷き詰められる金属粉末9(粉末層)のZ方向の厚さに相当する。次に、ホッパ51によりZ駆動機構支持部8及びステージ5の上面に金属粉末9を供給し、スキージング装置52を移動させて金属粉末9を均すことで、厚さΔZ分の金属粉末9をステージ5に敷き詰める。
図4は、3次元積層造形装置1の制御系(造形制御装置30)を示すブロック図である。
図5は、電子光学系制御部37の内部構成例を示すブロック図である。電子光学系制御部37は、メイン制御部371、積層造形データ転送部372、造形座標設定部373、補正値設定部374、歪み補正テーブル375、加算部376、及び走査偏向回路377を備える。
電子光学系2の荷電粒子鏡筒は、電子ビームを構成する電子を放出する荷電粒子源61と、中間レンズ62と、対物レンズ64とを備える。中間レンズ62は、例えば4極レンズから構成され、電場又は磁場を用いて電子ビームにレンズ作用させる。対物レンズ64は、電場又は磁場を用いて、中間レンズ62からレンズ作用を受けた電子ビームをステージ5上の粉末層(試料面)に収束させる。
ここで、造形座標の補正値を設定する方法について図6及び図7を参照して説明する。
そして、電子光学系制御部37は、積層造形データ50に基づいて、ステージ5の鉛直方向における位置(Z座標)ごとに、粉末層に対する造形用ビームの照射位置(造形座標)を設定する処理と、ステージ5の鉛直方向における位置ごとに、造形用ビームの照射位置に補正値を加算して補正照射位置を算出する処理と、ステージ5の鉛直方向における位置ごとに、造形用ビームが補正照射位置に照射されるように電子光学系を制御する処理と、を実行する。
第1の実施形態では、電子光学系制御部37が、電子ビーム照射の際に読み込んだ積層造形データ50に対し、ステージ5の高さ位置ごとの歪み量に基づく補正値を反映し、積層造形を行う。これに対し、第2の実施形態は、ステージ5の高さ位置ごとの歪み補正量を反映した補正積層造形データを予め用意しておき、この補正積層造形データを使用して造形する例である。
Claims (3)
- ステージと、
前記ステージを鉛直方向に駆動する駆動機構と、
前記ステージ上に粉末試料を供給して粉末層を形成する粉末層形成部と、
目的の造形物を形成するための積層造形データに基づいて、前記造形物の高さ方向の位置に応じて前記粉末層に造形用ビームを照射する電子光学系と、
前記電子光学系を制御する電子光学系制御部と、を備え、
前記粉末層の形成と前記造形用ビームの照射を繰り返す3次元積層造形装置であって、
前記電子光学系制御部は、前記積層造形データに基づいて、前記ステージの鉛直方向における位置ごとに、前記粉末層に対する前記造形用ビームの照射位置を設定する処理と、前記ステージの鉛直方向における位置ごとに、前記造形用ビームの照射位置に補正値を加算して補正照射位置を算出する処理と、前記ステージの鉛直方向における位置ごとに、前記造形用ビームが前記補正照射位置に照射されるように前記電子光学系を制御する処理と、を実行する
3次元積層造形装置。 - 前記補正値は、予め前記照射位置を補正しない状態で造形することにより作成した造形物の鉛直方向に垂直な方向の歪み量に基づいて設定される
請求項1に記載の3次元積層造形装置。 - 少なくとも前記ステージの鉛直方向上の2つの位置に対する前記補正値を備えた歪み量補正テーブル、を備える
請求項2に記載の3次元積層造形装置。
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