JP2021123604A - 仮固定粘着シート - Google Patents

Abstract

【課題】溶剤と接触することで被着体から容易に剥離し得る仮固定粘着シートを提供する。【解決手段】少なくとも一方の表面に高低差が０．５μｍ以上である凹部１が存在する粘着剤層（Ｘ）２を有し、溶剤接触剥離性を有する、仮固定粘着シート１０。前記粘着剤層（Ｘ）２の表面の輪郭の一箇所から他の箇所まで連続的に結合した前記凹部１が存在する、前記仮固定粘着シート１０。粘着剤層（Ｘ）２の凹部１が存在する表面の粘着力が、０．０１〜１２．００Ｎ／２５ｍｍである、仮固定粘着シート１０。【選択図】図１

Description

本発明は、仮固定粘着シートに関する。より具体的には、溶剤との接触により自己剥離性を発現する仮固定粘着シートに関する。

粘着シートは、部材を半永久的に固定する用途だけでなく、建材、内装材、電子部品等を加工したり検査したりする際に対象となる部材を仮固定するために使用される場合がある。
一例として、半導体装置の製造過程では、半導体ウェハの加工や半導体チップのような電子デバイス用材料を使用する際に、仮固定用シートとして粘着シートが用いられている。このように、粘着シートを電子デバイス用材料等の被着体に貼付して使用した後、使用後の粘着シートを剥離する場合には、前記被着体に対して過度な負荷をかけずにできることが望ましい。
同様に、粘着シートを、例えば、保護フィルム等の保護材、壁紙、各種ラベル用途等としての使用等も挙げられる。被着体に貼付した粘着シートに対して負荷をかけずに、被着体から剥離することが可能になれば、粘着シートに起因して生じる被着体の汚染、変形、破損等の不具合の低減及び防止が期待できる。
このように、被着体に粘着シートを一時的に貼付して用いる場合、当該粘着シートには、貼付時における十分な粘着力の発現と、剥離時における優れた剥離性とが要求されている。
本明細書中、前述のとおり、粘着シートの貼付対象となる各種部材を半永久的に固定する用途だけでなく、一時的に固定するために用いられる粘着シートを、「仮固定粘着シート」とも称する。

例えば、特許文献１には、ホモポリマーのガラス転移温度が、それぞれ、特定の範囲を満たす（メタ）アクリレート及び脂環式（メタ）アクリレートと、光重合開始剤を含有することを特徴とする仮固定用接着剤組成物、並びに、当該仮固定用接着剤組成物を用いて、部材を仮固定し、該加工された部材を有機溶剤に浸漬して前記組成物の硬化体を取り外す、部材の仮固定方法が開示されている。
また、例えば、特許文献２には、脆質材料が両面に粘着剤層を有する両面粘着シートを介して硬質板に固定されたユニットを形成し、前記硬質板から脆質材料を剥離する工程を含む加工方法において、前記ユニットを前記粘着剤と不溶又は難溶の液体中に浸漬させて、両面粘着シートと脆質材料との界面、又は、両面粘着シートと硬質板との界面に前記液体を侵入させた後、前記ユニットの端部より脆質材料を剥がすことを特徴とする脆質材料の加工方法が開示されている。

特開２０１５−１０８０４４号公報 特開２００３−３３８４７５号公報

ところで、近年、特許文献１及び２中に開示されているような粘着シートを各種製品の製造工程で用いる場合、生産性向上の観点から、前記粘着シートを溶剤等に浸漬した後、前記粘着シートを被着体から剥離するまでに要する時間の短縮化が求められている。
また、前述したような生産工程以外で使用される粘着シートにおいても、剥離時における作業性向上の観点等から、剥離処理時間の短縮化が要求されている。
このような観点から、本発明は、溶剤と接触することで被着体から容易に剥離し得る仮固定粘着シートを提供することを目的とする。

本発明者は、少なくとも一方の表面に凹部が存在する特定の粘着剤層（Ｘ）を有する仮固定粘着シートが前記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、下記［１］〜［９］を提供する。
［１］ 少なくとも一方の表面に凹部が存在する粘着剤層（Ｘ）を有し、溶剤接触剥離性を有する、仮固定粘着シート。
［２］ 前記凹部の高低差が０．５μｍ以上である、前記［１］に記載の仮固定粘着シート。
［３］ 粘着剤層（Ｘ）を平面視した場合、粘着剤層（Ｘ）の表面の輪郭の一箇所から他の箇所まで連続的に結合した前記凹部が存在する、前記［１］又は［２］に記載の仮固定粘着シート。
［４］ 粘着剤層（Ｘ）を溶剤中に浸漬させる前の前記粘着剤層（Ｘ）の凹部が存在する表面の粘着力が、０．０１〜１２．００Ｎ／２５ｍｍである、前記［１］〜［３］のいずれか１つに記載の仮固定粘着シート。
［５］ 粘着剤層（Ｘ）が、アクリル系粘着剤組成物により形成される、前記［１］〜［４］のいずれか１つに記載の仮固定粘着シート。
［６］ 基材を有する、前記［１］〜［５］のいずれか１つに記載の仮固定粘着シート。
［７］ 電子デバイス用材料を支持体に仮固定することに用いる、前記［１］〜［６］のいずれか１つに記載の仮固定粘着シート。
［８］ 前記電子デバイス用材料が、電子デバイス用ウェハである、前記［７］に記載の仮固定粘着シート。
［９］ 電子デバイス用材料の加工及び／又は検査に用いられる、前記［１］〜［８］のいずれか１つに記載の仮固定粘着シート。

本発明によれば、溶剤と接触することで被着体から容易に剥離し得る仮固定粘着シートを提供できる。

本発明の仮固定粘着シートの構成の一例を示す断面模式図であって、粘着剤層（Ｘ）の表面に存在する凹部が判別できるような面で切断した断面模式図である。 本発明の仮固定粘着シートの構成の一例を示す断面模式図であって、粘着剤層（Ｘ）の表面に存在する凹部が判別できるような面で切断した断面模式図である。 本発明の仮固定粘着シートの構成の一例を示す断面模式図であって、粘着剤層（Ｘ）の表面に存在する凹部が判別できるような面で切断した断面模式図である。 本発明の仮固定粘着シートの構成の一例を示す断面模式図であって、粘着剤層（Ｘ）の表面に存在する凹部が判別できるような面で切断した断面模式図である。 実施例における仮固定粘着シートの溶剤（有機溶媒又は水）接触剥離性評価サンプルの断面模式図であって、粘着剤層（Ｘ）の表面に存在する凹部が判別できるような面で切断した断面模式図である。 本発明の仮固定粘着シートの一例を示す平面模式図である。 本発明の仮固定粘着シートの一例を示す平面模式図である。 本発明の仮固定粘着シートが有してもよい剥離材の構成の一例を示す断面模式図であって、剥離材の表面に存在する凸部が判別できるような面で切断した剥離材の断面模式図である。 本実施態様の一例である実施例１で作製した仮固定粘着シートの凹部の高低差及び幅を確認した際の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像の一例である。 本実施態様の一例である実施例１及び１３で作製した仮固定粘着シートを作製する際に用いた剥離材１の凸部の高低差及び幅を確認した際の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像の一例である。 本実施態様の一例である実施例１で作製した仮固定粘着シートの凹部のパターン形状を確認した際の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像の一例である。 本実施態様の一例である実施例１及び１３で作製した仮固定粘着シートを作製する際に用いた剥離材１の凸部のパターン形状を確認した際の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像の一例である。 本実施態様の一例である実施例１３で作製した仮固定粘着シートの凹部の高低差及び幅を確認した際の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像の一例である。 本実施態様の一例である実施例１３で作製した仮固定粘着シートの凹部のパターン形状を確認した際の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像の一例である。

［仮固定粘着シート］
本発明の仮固定粘着シートは、少なくとも一方の表面に凹部が存在する粘着剤層（Ｘ）を有し、溶剤接触剥離性を有する。
本明細書中、仮固定粘着シート（以下、単に「粘着シート」ともいう。）が溶剤との接触に起因して発現する自己剥離を「溶剤接触剥離」といい、そのような性質を「溶剤接触剥離性」というものとする。
本発明の一態様において、粘着シートが「溶剤接触剥離性」を有するか否かの判断は、例えば、前記粘着シートの粘着剤層（Ｘ）の凹部を有する表面を、平滑面を有する被着体に貼付後、前記被着体から剥離する際に、粘着剤層（Ｘ）を２５℃の溶剤中に浸漬させることにより、２５分未満の時間で前記仮固定粘着シートを前記被着体から自己剥離することが可能であるか否かにより判断され、２５分未満の時間で自己剥離した場合は「溶剤接触剥離性」を有するものとする。
ここで、本明細書中、前記「自己剥離」とは、前記粘着シートを引き剥がす力を印加することなく、粘着シートが被着体から剥がれている状態となったり、剥がれ落ちたりすることを指し、また、そのような性質を「自己剥離性」というものとする。
また、本発明の一態様において、例えば、粘着シートが後述する「有機溶媒接触剥離性」又は「水接触剥離性」を有する場合、当該粘着シートは「溶剤接触剥離性」を有するものとする。

前記「溶剤」としては、粘着シートの用途に応じて適宜選択可能であるが、例えば、有機溶媒、又は水が挙げられる。

ここで、前記「有機溶媒」としては、粘着シートの用途に応じて適宜選択可能であるが、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトン、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、シクロヘキサン、ｎ−ヘキサン、トルエン、キシレン、ｎ−プロパノール、イソプロパノール等を好適に用いることができる。これらの中では、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、及び酢酸エチルからなる群より選ばれる１種以上をより好適に用いることができる。
また、本明細書中、前記粘着シートが有機溶媒との接触に起因して発現する「溶剤接触剥離性」を「有機溶媒接触剥離性」というものとする。
本発明の一態様において、粘着シートが「有機溶媒接触剥離性」を有するか否かの判断は、例えば、前記粘着シートの粘着剤層（Ｘ）の凹部を有する表面を、平滑面を有する被着体に貼付後、前記被着体から剥離する際に、粘着剤層（Ｘ）を２５℃の前記有機溶媒中に浸漬させることにより、２５分未満の時間で前記仮固定粘着シートを前記被着体から自己剥離することが可能であるか否かにより判断され、２５分未満の時間で自己剥離した場合は「有機溶媒接触剥離性」を有するものとする。
また、本発明の一態様において、粘着シートが「有機溶媒接触剥離性」を有するか否かの判断は、例えば、前記粘着シートの粘着剤層（Ｘ）の凹部を有する表面を、平滑面を有する被着体に貼付後、前記被着体から剥離する際に、粘着剤層（Ｘ）を２５℃のメチルエチルケトン中に浸漬させることにより、２５分未満の時間で前記仮固定粘着シートを前記被着体から自己剥離することが可能であるか否かにより判断され、２５分未満の時間で自己剥離した場合は「有機溶媒接触剥離性」を有するものとする。
本発明の一態様において、例えば、粘着シートが「有機溶媒接触剥離性」を有するか否かのより具体的な判断方法は、例えば、実施例に記載の方法で評価される有機溶媒接触剥離性評価により評価される。ここで、評価する粘着シートが両面粘着シートであって、一方の粘着剤層は有機溶媒接触剥離性を有する層、他方の粘着剤層は有機溶媒接触剥離性を有しない層とする態様である場合には、前記有機溶媒接触剥離性を有する層が、前述した評価により被着体から自己剥離すれば、当該粘着シートは有機溶媒接触剥離性を有するもの判断できる。

また、前記「水」には、本願の効果が奏される限り、水以外の液体又は固体を溶解させた「水溶液」の態様も含まれる。当該「水」としては、粘着シートの用途に応じて適宜選択可能であるが、水道水；イオン交換水、ＲＯ水、蒸留水等の純水；及び超純水；等を好適に用いることができ、純水及び超純水からなる群より選ばれる１種以上をより好適に用いることができる。
また、本明細書中、前記粘着シートが水との接触に起因して発現する自己剥離を「水接触剥離」といい、そのような性質を「水接触剥離性」というものとする。
本発明の一態様において、粘着シートが「水接触剥離性」を有するか否かの判断は、例えば、前記粘着シートの粘着剤層（Ｘ）の凹部を有する表面を、平滑面を有する被着体に貼付後、前記被着体から剥離する際に、粘着剤層（Ｘ）を２５℃の前記水中に浸漬させることにより、２５分未満の時間で前記仮固定粘着シートを前記被着体から自己剥離することが可能であるか否かにより判断され、２５分未満の時間で自己剥離した場合は「水接触剥離性」を有するものとする。
また、本発明の一態様において、粘着シートが「水接触剥離性」を有するか否かの判断は、例えば、前記粘着シートの粘着剤層（Ｘ）の凹部を有する表面を、平滑面を有する被着体に貼付後、前記被着体から剥離する際に、粘着剤層（Ｘ）を２５℃の純水中に浸漬させることにより、２５分未満の時間で前記仮固定粘着シートを前記被着体から自己剥離することが可能であるか否かにより判断され、２５分未満の時間で自己剥離した場合は「水接触剥離性」を有するものとする。
本発明の一態様において、粘着シートが「水接触剥離性」を有するか否かのより具体的な判断方法は、例えば、実施例に記載の方法で評価される水接触剥離性評価により評価される。ここで、評価する粘着シートが両面粘着シートであって、一方の粘着剤層は水接触剥離性を有する層、他方の粘着剤層は水接触剥離性を有しない層とする態様である場合には、前記水接触剥離性を有する層が、前述した評価により被着体から自己剥離すれば、当該粘着シートは水接触剥離性を有するもの判断できる。

また、「平滑面を有する被着体」とは、前記粘着シートが溶剤接触剥離性を有するか否かを規定する際に使用される被着体を規定しているに過ぎず、本発明の仮固定粘着シートの貼付対象となる被着体を規定しているわけではない。また、当該「平滑面を有する被着体」は、本発明の仮固定粘着シートを構成する一部ではない。
また、本発明の仮固定粘着シートの貼付対象となる被着体は、平滑面の有無は、特に限定されず、例えば、曲面からなる透光性の被着体であってもよい。
また、前記「平滑面を有する被着体」の「平滑面」とは、ＪＩＳ Ｂ０６０１：２００１で規定する中心線平均粗さ（Ｒａ_７５）が０．１μｍ以下の面のことを意味する。当該被着体の材料は、特に制限は無いが、上記規定の平滑面を有する被着体としやすいとの観点及び目視又はデシタル顕微鏡で粘着剤層との界面も観察し易いという観点から、ガラスが好ましい。

また、本明細書中、「エネルギー線」とは、電磁波又は荷電粒子線の中でエネルギー量子を有するものを意味し、その例として、紫外線、放射線、電子線等が挙げられる。紫外線は、例えば、紫外線源として無電極ランプ、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、ＵＶ−ＬＥＤ等を用いることで照射できる。電子線は、電子線加速器等によって発生させたものを照射できる。これらの中では、紫外線を好適に用いることができる。

本発明で用いられる粘着剤層（Ｘ）（以下、単に「層（Ｘ）」ともいう。）が溶剤に接触すると、層（Ｘ）と溶剤との親和性に起因して層（Ｘ）と被着体との界面へ溶剤が浸入する効果と、層（Ｘ）自体が溶剤を取り込んで膨潤する効果により層（Ｘ）と被着体との界面に溶剤が浸入する効果とが複合的に作用することで自己剥離が生じると考えられる。
そして、本発明で用いられる層（Ｘ）は、前記凹部を有することから、当該凹部に沿って溶剤が浸入し、前記粘着シートを平面視した際、当該粘着シートの外縁部からだけではなく、前記凹部が存在する箇所からも層（Ｘ）と被着体との界面に容易に溶剤が侵入できる。また、当該凹部からの溶剤の侵入によって層（Ｘ）が溶剤により膨潤する時間も短縮される。その結果、前記粘着シートが被着体から自己剥離可能となる程度にまで層（Ｘ）と被着体との界面に溶剤が浸入する時間が著しく短縮され、溶剤接触剥離性が著しく向上すると考えられる。
このような観点から、層（Ｘ）を溶剤に接触させる方法としては、層（Ｘ）と被着体との界面が溶剤の液面よりも下部に位置するように層（Ｘ）を溶剤に浸漬することが好ましく、層（Ｘ）を平面視した際に少なくとも層（Ｘ）との外周に位置する前記凹部が溶剤中に浸るように層（Ｘ）を溶剤に浸漬することがより好ましく、層（Ｘ）の全体が溶剤中に浸るように層（Ｘ）を溶剤に浸漬することが更に好ましい。

また、前記溶剤の温度は、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はないが、好ましくは０℃超１００℃未満、より好ましくは４℃以上５０℃未満、更に好ましくは５℃以上４０℃以下である。本発明の一態様である粘着シートは、常温（２５℃）の溶剤を用いた処理でも、十分な効果が得られる。すなわち、粘着シートと接触させる溶剤に対して、特に、加熱や冷却等の処理を行わない場合でも、溶剤接触剥離性を発現できることから、粘着シート使用時（剥離処理時）における作業性及び経済性にも優れる。

また、本発明の一態様である粘着シートは、後述する実施例に記載の方法で評価される溶剤（有機溶媒又は水）接触剥離性評価において、粘着シートを溶剤中に浸漬した際に被着体から自己剥離するまでに要する時間が、好ましくは２０分以下、より好ましくは１０分以下、更に好ましくは５分以下、より更に好ましくは１分以下、より更に好ましくは１分未満である。

また、本明細書中、好ましい数値範囲（例えば、含有量等の範囲）について、段階的に記載された下限値及び上限値は、それぞれ独立して組み合わせることができる。例えば、「好ましくは１０以上、より好ましくは３０以上、そして、好ましくは９０以下、より好ましくは６０以下」という記載から、「好ましい下限値（１０）」と「より好ましい上限値（６０）」とを組み合わせて、好適範囲を「１０以上、６０以下」とすることもできる。同様に、「好ましくは１０〜９０、より好ましくは３０〜６０」という記載から、「１０〜６０」とすることもできる。なお、特に言及しない限り、好ましい数値範囲として単に「１０〜９０」と記載する場合、１０以上９０以下の範囲を表す。
また、本明細書中、例えば、「（メタ）アクリル酸」とは、「アクリル酸」と「メタクリル酸」の双方を示し、「（メタ）アクリレート」とは、「アクリレート」と「メタクリレート」の双方を示し、「（メタ）アクリロイル基」とは、「アクリロイル基」と「メタクリロイル基」の双方を示し、他の類似用語も同様である。
また、本明細書中、粘着剤組成物中の「有効成分」とは、当該粘着剤組成物中に含まれる成分中、反応に直接関与しない溶媒（水や有機溶媒）を除いた常温（２５℃）で液体の成分、及び常温（２５℃）で固形である成分を指す。

以下に、本発明の実施態様に係る粘着シートの一例を、各図を用いて説明するが、本発明の粘着シートは、本発明の効果が発現する限り、以下の例に限定されるものではない。
図１〜図４は、それぞれ、本発明の粘着シートの構成の一例を示す、粘着シート１０、２０、３０及び４０の断面模式図であって、少なくとも一方の表面に凹部１が存在している層（Ｘ）２の、前記凹部１が判別できるような面で切断した断面模式図である。
例えば、図７の平面模式図に示す本発明の粘着シートの構成の一例である粘着シート７０について、Ａ−Ａ線で切断した場合には、図１〜図４に示すような断面模式図が得られる。

本発明の粘着シートの一態様としては、例えば、図１に示す粘着シート１０のように、層（Ｘ）２の単層からなる粘着シートが挙げられる。図１に示す粘着シートの場合、凹部１が存在する表面に、層（Ｘ）２を溶剤と接触させた際に剥離させたい被着体を貼付して用いることができる。また、図１に示す粘着シート１０において、層（Ｘ）２の両方の表面に凹部１が存在する粘着シートとしてもよく（図示せず）、層（Ｘ）２の片側の露出面及び両方の露出面上に剥離材を設けてもよい（図示せず）。

また、本発明の粘着シートの一態様としては、例えば、図２に示す粘着シート２０のように、基材３と、層（Ｘ）２とをこの順で積層した構造を有するものが挙げられる。基材３上に層（Ｘ）２を設けることで、粘着シートの形状安定性を向上させたり、粘着シートにコシを与えたりすることができることから、層（Ｘ）２から剥離材を除去する際や被着体から粘着シートを剥離する際の作業性を向上できる観点から好ましい。
図２に示す粘着シート２０において、層（Ｘ）２の基材３と接する表面側に凹部１が存在する粘着シートとしてもよく（図示せず）、層（Ｘ）２の基材３側及び基材３とは反対側の両方の表面に凹部１が存在する粘着シートとしてもよく（図示せず）、層（Ｘ）２の基材３とは反対側の表面及び／又は基材３の層（Ｘ）２とは反対側の表面上に剥離材を設けてもよい（図示せず）。

また、本発明の粘着シートの一態様としては、例えば、図３に示す粘着シート３０のように、基材３の両面に、層（Ｘ）２を積層した多層構造を有する両面粘着シートが挙げられる。図３に示す粘着シート３０において２つの層（Ｘ）２は、互いに同一の層（Ｘ）２であっても、異なる層（Ｘ）２であってもよい。また、図３に示す粘着シート３０においても、層（Ｘ）２の基材３と接する表面側に凹部１が存在する粘着シートとしてもよく（図示せず）、層（Ｘ）２の基材３側及び基材３とは反対側の両方の表面に凹部１が存在する粘着シートとしてもよい（図示せず）。
また、図３に示す粘着シート３０において、２つの層（Ｘ）２のうちの一方を、表面に凹部１を有しない層（Ｘ）２以外のその他の粘着剤層としてもよい（図示せず）。

また、本発明の粘着シートの一態様としては、例えば、図４に示す粘着シート４０のように、図３に示す粘着シート３０において、層（Ｘ）２の基材３とは反対側の表面上（露出面）に、剥離材４−１及び剥離材４−２を設けてもよい。
図４中、剥離材４−１は、層（Ｘ）２の凹部１と対をなす凸部４ａを有する剥離材であり、剥離材４−２は、凸部を有しない剥離材である。図４に示す粘着シート４０において、剥離材として両方ともに剥離材４−１を用いてもよく、両方ともに剥離材４−２を用いてもよい。ただし、粘着シート４０の保管及び／又は運搬時等に、層（Ｘ）２上の凹部１の形状を保持し易くする観点、並びに、後述する本発明の一態様である粘着シートの製造方法で説明するとおり、凹部１を形成し易くする観点からも、層（Ｘ）２の凹部１を有する表面には、層（Ｘ）２の凹部１と対をなす凸部４ａを有する剥離材４−１を設けることが好ましい。図１〜図３に示す粘着シート１０、２０及び３０において剥離材４を設ける場合も、同様である。

また、図５は、本願実施例における粘着シートの溶剤（有機溶媒又は水）接触剥離性評価サンプル１００の断面模式図を示している。図５に示す粘着シート５０は、粘着剤層（Ｘ）２と、基材３と、粘着剤層（Ｘ）以外の粘着剤層である粘着剤層（Ｚ）（以下、単に「層（Ｚ）」ともいう。）５とを、この順で積層した多層構造を有する両面粘着シートである。
図５に示す粘着シート５０において、層（Ｘ）２の凹部１は、被着体（ガラス板）１０１に接した際にも被着体１０１とは接触せず、当該凹部１内に沿って溶剤が浸入するため、例えば、当該凹部１を有しない層（Ｚ）５に比べて、層（Ｘ）２と被着体１０１との界面へ溶剤が侵入する時間及び層（Ｘ）２が溶剤により膨潤する時間が短縮できると考えられる。

また、図２に示す粘着シート２０において、基材３と層（Ｘ）２とは、図２に示すように、直接積層していてもよく、基材３と層（Ｘ）２との間に、他の層を介して積層していてもよい。ここで、「直接積層」とは、例えば、図２に示す粘着シート２０の場合、基材３と、層（Ｘ）２との間に、他の層を有さずに、２層が直接接触している構成を指す。
また、図３及び図４に示す粘着シート３０及び４０において、基材３と層（Ｘ）２とは、各図に示すように、３層が直接積層していてもよく、基材３といずれか一方の層（Ｘ）２との間、又は、基材３と両方の層（Ｘ）２との間に、他の層を介して積層していてもよい。
また、図５に示す粘着シート５０において、層（Ｘ）２と基材３と層（Ｚ）５とが、図５に示すように、３層が直接積層していてもよく、層（Ｘ）２と基材３との間、及び／又は、基材３と層（Ｚ）５との間が、他の層を介して積層していてもよい。
また、例えば、図１〜図５中に示すように、層（Ｘ）２が有する凹部１に対して、凹部１が存在しない箇所は、相対的に層（Ｘ）２が有する凸部２ａと称することもある。

＜粘着剤層（Ｘ）＞
前記粘着剤層（Ｘ）は、少なくとも一方の表面に凹部が存在する粘着剤層であり、好ましくは粘着性樹脂を含む粘着剤組成物により形成された層であり、より好ましくはアクリル系粘着剤組成物により形成された層である。
前記粘着性樹脂としては、例えば、ポリイソブチレン系樹脂等のゴム系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、オレフィン系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリビニルエーテル系樹脂等が挙げられ、これらの中では、好ましくはアクリル系樹脂である。
また、これらの粘着性樹脂が、２種以上の構成単位を有する共重合体である場合、当該共重合体の形態は、ブロック共重合体、ランダム共重合体、及びグラフト共重合体のいずれであってもよい。
これらの粘着性樹脂は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

（凹部）
前記層（Ｘ）が有する「凹部」とは、層（Ｘ）の凹部を有する表面を被着体に貼付した際に、当該被着体と接触しないように意図的に設けられた凹みを指す。
層（Ｘ）を平面視した場合における凹部の形状としては、前記粘着シートの用途により、適宜選択可能であり、定形であってもよく、不定形であってもよい。
層（Ｘ）を平面視した場合における凹部の形状が定形である場合、例えば、三角形、四角形（長方形、正方形、台形を含む。）、五角形、六角形等の多角形；当該多角形の角の一部又は全部に微小の丸みをつけた（「角丸（Ｒ）をつけた」ともいう。）形状；真円、楕円等の円形；半円、半楕円、Ｕ字形等の半円形；その他少なくとも３つの線（直線、曲線を含む）で囲まれる閉じた領域で表される形状及びこれらを組み合わせた図形から選ばれる１種以上の形状（以下、「独立した凹部形状」ともいう。）が挙げられる。

また、層（Ｘ）を平面視した場合における凹部の形状としては、層（Ｘ）の凹部を有する表面の輪郭と接する凹部を形成していることが好ましく、層（Ｘ）の凹部を有する表面の輪郭の任意の一箇所から他の箇所（輪郭に限らず層（Ｘ）の凹部が存在する平面上の任意の箇所）まで連続的に結合している凹部（以下、「連続した凹部形状」ともいう。）を形成していることがより好ましく、層（Ｘ）の凹部を有する表面の輪郭の任意の一箇所から前記輪郭の他の箇所まで連続的に結合している凹部を形成していることが更に好ましく、層（Ｘ）の凹部を有する表面の任意の一辺から他の一辺まで連続的に結合した凹部を形成していることがより更に好ましい。
前記凹部が、連続した凹部形状であることで、層（Ｘ）を平面視した場合における層（Ｘ）の外縁部（輪郭部）からより中心部に向かって溶剤が浸入し易くなり、その結果、粘着シートの溶剤接触剥離性が更に向上するため好ましい。

そのため、例えば、層（Ｘ）を平面視して、層（Ｘ）の凹部を有する表面の輪郭で描かれる図形の重心と前記輪郭上の任意の一点とを結ぶ最短の直線（以下、「重心までの最短距離」ともいう。）を２等分した場合における重心側の線分上（重心を含む）に、前記連続した凹部の少なくとも一部が存在することが好ましく、重心までの最短距離を３等分した場合における最も重心側に近い線分上（重心を含む）に、前記連続した凹部の少なくとも一部が存在していることがより好ましく、重心までの最短距離を５等分した場合における最も重心側に近い線分上（重心を含む）に、前記連続した凹部の少なくとも一部が存在していることが更に好ましい。
また、層（Ｘ）を平面視して、層（Ｘ）の凹部を有する表面の輪郭で描かれる図形の重心と前記輪郭上の任意の一点とを結ぶ最長の直線（以下、「重心までの最長距離」ともいう。）を２等分した場合における重心側の線分上（重心を含む）に、前記連続した凹部の少なくとも一部が存在することが好ましく、重心までの最長距離を３等分した場合における最も重心側に近い線分上（重心を含む）に、前記連続した凹部の少なくとも一部が存在していることがより好ましく、重心までの最長距離を５等分した場合における最も重心側に近い線分上（重心を含む）に、前記連続した凹部の少なくとも一部が存在していることが更に好ましい。

更に、層（Ｘ）は、前記重心までの最短距離上の好ましい位置に少なくとも一部が存在する連続した凹部と、前記重心までの最長距離上の好ましい位置に少なくとも一部が存在する連続した凹部との両方を有することがより更に好ましい。この場合、前述した重心までの最短距離上において連続した凹部の一部が存在する好適な位置と、重心までの最長距離上において連続した凹部の一部が存在する好適な位置とは、それぞれ独立に組み合わせることができる。例えば、重心までの最短距離を２等分した場合における最も重心側に近い線分上（重心を含む）に凹部の少なくとも一部が存在している連続した凹部と、重心までの最長距離を５等分した場合における最も重心側に近い線分上（重心を含む）に凹部の少なくとも一部が存在している連続した凹部とが存在する態様であってもよい。そして、それらの中でも、前述した各凹部の態様において、より程度が好ましい態様同士を組み合わせた態様がより更に好ましい。すなわち、前記連続した凹部の少なくとも一部が、より前記重心に近い位置まで存在している態様同士の組み合わせであることがより更に好ましい。

前記連続した凹部形状としては、例えば、層（Ｘ）の凹部を有する表面の任意の一箇所から他の一箇所又は複数箇所を結ぶ直線、曲線、ジグザグ、波線等の線状の形状が挙げられる。これらの中では好ましくは直線で構成される形状が好ましく、当該形状としては、例えば、後述するストライプ状、格子状の凹部が挙げられる。層（Ｘ）上には、これらの連続した凹部形状から選ばれる少なくとも１種以上を所定の間隔を空けて交差しないように配置したり、互いに交差するように配置することで、例えば、図６に示すストライプ状、図７に示す格子状、その他の幾何学的模様として凹部を設けることもできる。この場合、図７に示す格子状のように、凹部１によって囲まれる領域６が形成されていてもよく、当該領域６の形状としては、前述した独立した凹部形状で説明した各形状と同様の形状が挙げられる。なお、当該領域６は、前記凸部２ａでもある。
層（Ｘ）の表面上には、連続した凹部形状の一部が欠落して不連続な形状が存在していてもよく、連続した凹部形状と独立した凹部形状とが混在していてもよい。
層（Ｘ）を平面視した場合における凹部として取り得る各形状は、規則的に存在していてもよく、不規則に存在していてもよいが、図６又は７に示すようにパターン状に規則的に存在していることが好ましい。
なお、図７に示すような格子状の場合、同一の凹部形状（直線）が互いに交差して１つの凹部を形成しており、不連続となる箇所がないため、単一の凹部形状とみなすことができる。

また、層（Ｘ）を厚さ方向に切断した際の凹部の断面形状としては、切断面により変化する場合もあるため一概に特定することはできないが、例えば、三角形、四角形（長方形、正方形、台形を含む。）、五角形、六角形等の多角形；当該多角形の角の一部又は全部に微小の丸みをつけた（「角丸（Ｒ）をつけた」ともいう。）形状；半円、半楕円、Ｕ字形等の半円形；等が挙げられる。

前記凹部の高低差は、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はないが、好ましくは０．５μｍ以上であり、より好ましくは１．０μｍ以上、更に好ましくは３．０μｍ以上であり、そして、好ましくは５０．０μｍ以下、より好ましくは３０．０μｍ以下、更に好ましくは２５．０μｍ以下、より更に好ましくは２０．０μｍ以下である。
また、前記凹部の幅は、好ましくは１５０μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下、更に好ましくは７５．０μｍ以下、より更に好ましくは５０．０μｍ以下、より更に好ましくは３５．０μｍ以下である。また、前記凹部の幅の下限値は、特に制限はないが、好ましくは１．０μｍ、より好ましくは３．０μｍ、更に好ましくは５．０μｍである。
凹部の高低差及び幅は、それぞれ、実施例に記載の方法を用いて測定される値である。
前記好適範囲として記載される値について、例えば、「凹部の高低差が０．５μｍ以上」である場合とは、０．５μｍ以上の高低差を有する箇所が、凹部のいずれかの部分で存在していればよく、当該凹部の全領域にわたって０．５μｍ以上の高低差を有している必要はない。同様に、層（Ｘ）上に形状の異なる凹部が複数存在する場合でも、いずれかの凹部が０．５μｍ以上の高低差を有する箇所を有していればよく、全ての凹部が０．５μｍ以上の高低差を有している必要はない。
凹部の高低差及び幅は、実施例に記載の方法を用いて測定される値である。例えば、図１に示す距離１ｈが凹部の高低差に該当する。また、図１、図６及び図７に示す距離１ｗが凹部の幅に該当する。なお、一例として、実施例に記載の方法を用いて撮影された走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の画像である図９及び１３に示される凹部の断面画像を用いて説明すれば、図９及び１３中の距離１ｈが凹部の高低差に該当し、距離１ｗが凹部の幅に該当する。

また、凹部の形状は、例えば、後述するように、当該凹部と対となる凸部を有する剥離材上に、前記粘着剤組成物を塗布し、乾燥させることによって、前記剥離材表面上の凸部形状を、層（Ｘ）の表面に転写させることによって形成することができる。

層（Ｘ）上に、凹部が複数存在する場合、複数の凹部の形状は互いに同一でも異なっていてもよく、その場合、凹部の高低差及び幅は、それぞれ独立に、いずれも同一であっても異なっていてもよい。

また、凹部の縁間距離は、好ましくは５０．０μｍ以上、より好ましくは１００μｍ以上、更に好ましくは１５０μｍ以上であり、より更に好ましくは２００μｍ以上である。そして、好ましくは２，０００μｍ以下、より好ましくは１，５００μｍ以下、更に好ましくは１，０００μｍ以下である。
例えば、凹部が複数存在する図６の場合、当該凹部の縁間距離とは、任意の１の凹部の縁と当該凹部と最も近い他の凹部の縁との距離のうち最短の距離を示し、図６中の距離７ｆを指す。
また、例えば、図７に示す格子状の凹部の場合、当該凹部の縁間距離とは、格子を形成している凹部の任意の１辺の縁と当該辺と対向する１辺の縁との距離のうち最短の距離を示し、図７中の距離７ｆを指す。
また、凹部と凹部との最短ピッチは、好ましくは５０．０μｍ以上、より好ましくは１００μｍ以上、更に好ましくは１５０μｍ以上であり、より更に好ましくは２００μｍ以上である。そして、好ましくは２，０００μｍ以下、より好ましくは１，５００μｍ以下、更に好ましくは１，０００μｍ以下である。
例えば、凹部が複数存在する図６の場合、当該凹部の最短ピッチとは、任意の１つの凹部の縁と縁との最短距離の中間点から、当該凹部と最も近い他の凹部の縁と縁との最短距離の中間点までの距離のうち最短の距離を示し、図６中の距離７ｐを指す。
また、例えば、図７に示す格子状の凹部の場合、当該凹部の最短ピッチとは、格子の１辺を形成している凹部部分の縁と縁との最短距離の中間点から、当該１辺と対向する１辺を形成している他の凹部部分の縁と縁との最短距離の中間点までの距離のうちの最短の距離を示し、図７中の距離７ｐを指す。

また、層（Ｘ）の凹部が存在する表面の粘着力は、粘着シートの用途に応じて適宜設定されるが、層（Ｘ）を溶剤中に浸漬させる前の状態において、好ましくは０．０１〜１２．００Ｎ／２５ｍｍ、より好ましくは０．０５〜６．００Ｎ／２５ｍｍ、更に好ましくは０．０８〜３．００Ｎ／２５ｍｍである。
なお、本明細書において、粘着剤層の粘着力は、層（Ｘ）を溶剤中に浸漬させる前の粘着力であり、具体的には実施例に記載の方法により測定された値を意味する。

層（Ｘ）の厚さは、好ましくは５〜１５０μｍ、より好ましくは８〜１００μｍ、更に好ましくは１２〜７０μｍ、より更に好ましくは１５〜５０μｍである。ただし、層（Ｘ）の厚さは凹部の高低差よりも厚いことが好ましい。
層（Ｘ）の厚さが５μｍ以上であれば、十分な粘着力が得られ易くなり、仮固定時における被着体からの意図しない剥離、被着体の位置ズレ等を抑制しやすくなる。一方、層（Ｘ）の厚さが１５０μｍ以下であれば、粘着シートの取り扱いを容易にしやすくなる。

（アクリル系粘着剤組成物）
本発明の一態様である粘着シートに用いることができる前記粘着剤組成物としては、本発明の効果を損なわない範囲において、特に限定されないが、アクリルポリマー（Ａ）（以下、「成分（Ａ）」ともいう。）と、架橋剤（Ｂ）（以下、「成分（Ｂ）」ともいう。）とを含むアクリル系粘着剤組成物であることが好ましい。

ここで、前記溶剤として、有機溶媒を用いる場合、前記アクリル系粘着剤組成物は、成分（Ａ）である炭素−炭素二重結合を含む基の濃度が０ｍｍｏｌ／ｇ超であるアクリルポリマー（Ａ１）（以下、「成分（Ａ１）」ともいう。）と、成分（Ｂ）である成分（Ａ１）を架橋する架橋剤（Ｂ１）（以下、「成分（Ｂ１）」ともいう。）とを含むアクリル系粘着剤組成物（Ｒ１）（以下、「組成物（Ｒ１）」ともいう。）であることが好ましく、組成物（Ｒ１）は、更に、光重合開始剤（Ｃ）（以下、「成分（Ｃ）」ともいう。）を含むことが好ましい。
以下、前記組成物（Ｒ１）に含まれる各成分について説明する。

〔成分（Ａ１）：炭素−炭素二重結合を含む基の濃度が０ｍｍｏｌ／ｇ超であるアクリルポリマー（Ａ１）〕
成分（Ａ１）は、側鎖に炭素−炭素二重結合を含む基を有するアクリルポリマーである。
前記組成物（Ｒ１）が、炭素−炭素二重結合を含む基の濃度が０ｍｍｏｌ／ｇ超であるアクリルポリマー（Ａ１）を含むことで、得られる粘着シートの有機溶媒接触剥離性が向上する。これは、成分（Ａ１）が炭素−炭素二重結合を含む基を有する場合、成分（Ａ１）を含有する層（Ｘ）と被着体界面での界面接着強度が高くなり過ぎず、粘着シートの外縁部や凹部からの有機溶媒の侵入に起因する層（Ｘ）と被着体との界面への有機溶媒の侵入が十分に進行し易くなるためと考えられる。
一方、炭素−炭素二重結合を含む基の濃度が１．８０ｍｍｏｌ／ｇ以下であると、層（Ｘ）の有機溶媒による膨潤が抑制されにくくなり、層（Ｘ）の有機溶媒による膨潤に起因する層（Ｘ）と被着体界面への有機溶媒の侵入が十分に進行し易くなるため好ましい。
このような観点から、成分（Ａ）中、前記炭素−炭素二重結合を含む基の濃度は、好ましくは０．０５ｍｍｏｌ／ｇ以上、より好ましくは０．１０ｍｍｏｌ／ｇ以上、更に好ましくは０．２０ｍｍｏｌ／ｇ以上であり、そして、好ましくは１．８０ｍｍｏｌ／ｇ以下、より好ましくは１．５０ｍｍｏｌ／ｇ以下、更に好ましくは１．３０ｍｍｏｌ／ｇ以下である。

炭素−炭素二重結合を含む基としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、アリル基等が挙げられ、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
以下、本明細書中、「炭素−炭素二重結合を含む基」を、単に「炭素−炭素二重結合基」ともいう。

成分（Ａ１）は、アルキル（メタ）アクリレート（ａｍ１）（以下、「単量体（ａｍ１）」ともいう。）に由来する構成単位（ａ１）（以下、「構成単位（ａ１）」ともいう。）を有する。
そして、成分（Ａ１）は、好ましくは側鎖に炭素−炭素二重結合を含む基を有するアクリルポリマーであり、より好ましくは構成単位（ａ１）と、官能基を含有する単量体（ａｍ２）（以下、「単量体（ａｍ２）」ともいう。）由来の構成単位（ａ２）（以下、「構成単位（ａ２）」ともいう。）とを有するアクリル系共重合体（Ｐ）に、炭素−炭素二重結合基を有する重合性化合物（Ｑ）を反応させた反応物であるアクリルポリマーである。
前記アクリル系共重合体（Ｐ）は、塊状重合、溶液重合、乳化重合等の公知の重合方法を用いて製造することができる。また、前記アクリル系共重合体（Ｐ）の形態は、ブロック共重合体、ランダム共重合体、及びグラフト共重合体のいずれであってもよい。
なお、本明細書中、特に言及しない限り、炭素−炭素二重結合基を有する重合性化合物（Ｑ）は「単量体」に含めないものとする。

{アルキル（メタ）アクリレート（ａｍ１）}
前記単量体（ａｍ１）が有するアルキル基の炭素数としては、粘着特性の向上の観点から、好ましくは１〜２４、より好ましくは１〜１２、更に好ましくは２〜１０、より更に好ましくは２〜８である。
なお、単量体（ａｍ１）が有するアルキル基は、直鎖アルキル基であってもよく、分岐鎖アルキル基であってもよい。

単量体（ａｍ１）としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ｎ−デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
単量体（ａｍ１）としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、及びイソオクチル（メタ）アクリレートからなる群より選ばれる１種以上が好ましい。
これらの単量体（ａｍ１）は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

前記アクリル系共重合体（Ｐ）中の構成単位（ａ１）の含有量は、前記アクリル系共重合体（Ｐ）を構成する全構成単位１００質量％中、好ましくは６０〜９９質量％、より好ましくは６５〜９８質量％、更に好ましくは７０〜９６質量％である。
なお、当該アクリル系共重合体（Ｐ）中の構成単位（ａ１）の含有量は、前記アクリル系共重合体（Ｐ）を重合する際に用いる全単量体１００質量％中の前記単量体（ａｍ１）の含有量としても算出することができる。
また、成分（Ａ１）中の構成単位（ａ１）の含有量は、成分（Ａ１）を構成する全構成単位１００質量％中、好ましくは４０〜９９質量％、より好ましくは５０〜９８質量％、更に好ましくは６０〜９６質量％である。
なお、当該成分（Ａ１）中の構成単位（ａ１）の含有量は、成分（Ａ１）を合成する際に用いる全単量体と重合性化合物（Ｑ）との合計１００質量％中の前記単量体（ａｍ１）の含有量としても算出することができる。

また、本発明の一態様で用いることができる単量体（ａｍ１）として、少なくとも炭素数２以上のアルキル（メタ）アクリレートを含むことが好ましい。
前記炭素数２以上のアルキル（メタ）アクリレートとしては、アルキル基の炭素数が４〜８であるアルキル（メタ）アクリレートがより好ましく、ｎ−ブチル（メタ）アクリレートが更に好ましい。
本発明の一態様で用いることができる成分（Ａ１）において、前記アクリル系共重合体（Ｐ）中の前記炭素数２以上のアルキル（メタ）アクリレート由来の構成単位の含有量は、前記アクリル系共重合体（Ｐ）を構成する全構成単位１００質量％中、好ましくは４５〜９９質量％、より好ましくは５５〜９８質量％、更に好ましくは６５〜９６質量％である。
なお、当該アクリル系共重合体（Ｐ）中の炭素数２以上のアルキル（メタ）アクリレート由来の構成単位の含有量は、前記アクリル系共重合体（Ｐ）を重合する際に用いる全単量体１００質量％中の前記炭素数２以上のアルキル（メタ）アクリレートの含有量としても算出することができる。
また、本発明の一態様で用いることができる成分（Ａ１）において、成分（Ａ１）中の前記炭素数２以上のアルキル（メタ）アクリレート由来の構成単位の含有量は、成分（Ａ１）を構成する全構成単位１００質量％中、好ましくは３５質量％以上、より好ましくは４０質量％以上、更に好ましくは４５質量％以上、より更に好ましくは５０質量％以上であり、そして、好ましくは９９質量％以下、より更に好ましくは９８質量％以下、更に好ましくは９６質量％以下である。
なお、当該成分（Ａ１）中の炭素数２以上のアルキル（メタ）アクリレート由来の構成単位の含有量は、成分（Ａ１）を合成する際に用いる全単量体と重合性化合物（Ｑ）との合計１００質量％中の炭素数２以上のアルキル（メタ）アクリレートの含有量としても算出することができる。

{官能基を含有する単量体（ａｍ２）}
前記単量体（ａｍ２）としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、エポキシ基、アミノ基、シアノ基、窒素原子含有環基、アルコキシシリル基等の官能基を有する単量体が挙げられる。これらの中では、ヒドロキシ基含有単量体、カルボキシ基含有単量体、及びエポキシ基含有単量体から選ばれる１種以上が好ましく、ヒドロキシ基含有単量体及びカルボキシ基含有単量体から選ばれる１種以上がより好ましく、ヒドロキシ基含有単量体が更に好ましい。

ヒドロキシ基含有単量体としては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート；ビニルアルコール、アリルアルコール等の不飽和アルコール等が挙げられる。ヒドロキシ基含有単量体としては、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートが好ましく、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート及び４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートから選ばれる１種以上がより好ましく、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートが更に好ましい。

カルボキシ基含有単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸等のエチレン性不飽和モノカルボン酸；フマル酸、イタコン酸、マレイン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和ジカルボン酸及びその無水物；２−（アクリロイルオキシ）エチルサクシネート、２−カルボキシエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
また、カルボキシ基含有単量体には、前記エチレン性不飽和ジカルボン酸の無水物、エチレン性不飽和ジカルボン酸の誘導体も含まれるものとする。成分（Ａ）中の不飽和カルボン酸無水物に由来する基を加水分解することによっても、カルボキシ基を生成させることが可能であるためである。不飽和カルボン酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水ナジック酸等の前述した各不飽和多価カルボン酸の無水物が挙げられる。
カルボキシ基含有単量体としては、エチレン性不飽和モノカルボン酸及びエチレン性不飽和ジカルボン酸から選ばれる１種以上が好ましく、エチレン性不飽和モノカルボン酸がより好ましく、（メタ）アクリル酸からなる群より選ばれる１種以上が更に好ましく、アクリル酸がより更に好ましい。

エポキシ含有単量体としては、エポキシ基含有（メタ）アクリル酸エステル及び非アクリル系エポキシ基含有単量体が挙げられる。エポキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート、３−エポキシシクロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、非アクリル系エポキシ基含有単量体としては、例えば、グリシジルクロトネート、アリルグリシジルエーテル等が挙げられる。
これらの単量体（ａｍ２）は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

前記アクリル系共重合体（Ｐ）中の構成単位（ａ２）の含有量は、前記アクリル系共重合体（Ｐ）を構成する全構成単位１００質量％中、好ましくは１〜４０質量％である。
構成単位（ａ２）を、成分（Ａ１）を構成する前記アクリル系共重合体（Ｐ）を構成する全構成単位１００質量％中、１質量％以上含むことで、得られる粘着シートの有機溶媒接触剥離性が向上するため好ましい。そして、前記構成単位（ａ２）を、前記アクリル系共重合体（Ｐ）を構成する全構成単位１００質量％中、４０質量％以下含むことで、ガラス転移温度を低く設定できて粘着力を向上できる観点から、好ましい。
このような観点から、当該アクリル系共重合体（Ｐ）中の構成単位（ａ２）の含有量は、より好ましくは２〜３５質量％、更に好ましくは３〜３０質量％、より更に好ましくは４〜２０質量％である。
なお、当該アクリル系共重合体（Ｐ）中の構成単位（ａ２）の含有量は、前記アクリル系共重合体（Ｐ）を重合する際に用いる全単量体１００質量％中の前記単量体（ａｍ２）の含有量としても算出することができる。
また、同様の観点から、成分（Ａ１）中の構成単位（ａ２）の含有量は、成分（Ａ１）を構成する全構成単位１００質量％中、好ましくは１〜３０質量％、より好ましくは２〜２５質量％、更に好ましくは３〜２０質量％、より更に好ましくは４〜１５質量％である。
なお、当該成分（Ａ１）中の構成単位（ａ２）の含有量は、成分（Ａ１）を合成する際に用いる全単量体と重合性化合物（Ｑ）との合計１００質量％中の前記単量体（ａｍ２）の含有量としても算出することができる。

また、前記アクリル系共重合体（Ｐ）は、単量体（ａｍ１）及び（ａｍ２）以外のその他の単量体（ａｍ３）（以下、「単量体（ａｍ３）」ともいう。）に由来の構成単位（ａ３）（以下、「構成単位（ａ３）」ともいう。）を有していてもよい。

単量体（ａｍ３）としては、例えば、単量体（ａｍ１）及び（ａｍ２）以外の官能基含有単量体；エチレン、プロピレン、イソブチレン等のオレフィン類；塩化ビニル、ビニリデンクロリド等のハロゲン化オレフィン類；ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等のジエン系単量体類；シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イミド（メタ）アクリレート等の環状構造を有する（メタ）アクリレート；スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、ギ酸ビニル、酢酸ビニル、アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−ビニルピロリドン等が挙げられる。これらの単量体（ａｍ３）を用いる場合、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

前記アクリル系共重合体（Ｐ）中の構成単位（ａ１）及び（ａ２）の合計含有量は、前記アクリル系共重合体（Ｐ）を構成する全構成単位１００質量％中、好ましくは８０〜１００質量％、より好ましくは８５〜１００質量％、更に好ましくは９０〜１００質量％、より更に好ましくは９５〜１００質量％である。
当該構成単位（ａ１）及び（ａ２）の合計含有量は、前記アクリル系共重合体（Ｐ）を重合する際に用いる全単量体１００質量％中の前記単量体（ａｍ１）及び（ａｍ２）の合計含有量としても算出することができる。

{炭素−炭素二重結合基を有する重合性化合物（Ｑ）}
前記炭素−炭素二重結合基を有する重合性化合物（Ｑ）（以下、単に「重合性化合物（Ｑ）」ともいう。）としては、炭素−炭素二重結合基と、アクリル系共重合体（Ｐ）の（ａｍ２）成分由来の構成単位（ａ２）中の官能基と反応し得る置換基（以下、単に「反応性置換基」ともいう。）とを有する化合物である。
炭素−炭素二重結合基としては、前述のとおり、（メタ）アクリロイル基が好ましい。また、重合性化合物（Ｑ）は、炭素−炭素二重結合基を１分子あたり１〜５個有する化合物であることが好ましい。
重合性化合物（Ｑ）における反応性置換基としては、単量体（ａｍ２）が有する官能基に応じて適宜変更すればよいが、例えば、イソシアネート基、カルボキシ基、エポキシ基等が挙げられ、反応性等の観点から、イソシアネート基が好ましい。重合性化合物（Ｑ）は、イソシアネート基を有すると、例えば、単量体（ａｍ２）の官能基がヒドロキシ基である場合に、アクリル系共重合体（Ｐ）に容易に反応することが可能になる。

重合性化合物（Ｑ）としては、例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、メタ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネート、（メタ）アクリロイルイソシアネート、アリルイソシアネート、グリシジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸等が挙げられる。これらの重合性化合物（Ｑ）は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの中でも、上記反応性置換基として好適なイソシアネート基を有しており、且つ主鎖と炭素−炭素二重結合基との距離が適当となる化合物であるとの観点から、（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネートが好ましい。
重合性化合物（Ｑ）は、アクリル系共重合体（Ｐ）における単量体（ａｍ２）由来の官能基全量（１当量）のうち、好ましくは０．１５〜０．９５当量、より好ましくは０．２０〜０．９０当量、更に好ましくは０．２５〜０．８０当量、より更に好ましくは０．３０〜０．６０当量が官能基に反応される。

成分（Ａ１）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、本発明の効果が発現する限り、特に限定されるものではないが、得られる粘着シートが有機溶媒接触前の十分な粘着性と、より良好な有機溶媒接触剥離性とを発現し易くする観点から、好ましくは１０万〜３００万、より好ましくは２０万〜２００万、更に好ましくは３０万〜１００万である。
当該質量平均分子量（Ｍｗ）の値は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法で測定される標準ポリスチレン換算の値であり、具体的には実施例に記載の方法に基づいて測定される値である。

成分（Ａ１）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、本発明の効果が発現する限り、特に限定されるものではないが、得られる粘着シートが有機溶媒接触前の十分な粘着性と、より良好な有機溶媒接触剥離性とを発現し易くする観点から、好ましくは−２０℃以下、より好ましくは−２５℃以下、更に好ましくは−３５℃以下、より更に好ましくは−４０℃以下である。
当該ガラス転移温度（Ｔｇ）の値は、Ｆｏｘの式を用いて算出される値である。

前記組成物（Ｒ１）中の成分（Ａ１）の含有量は、得られる粘着シートが有機溶媒接触前の十分な粘着性と、より良好な有機溶媒接触剥離性とを発現し易くする観点から、前記アクリル系粘着剤組成物の全量（有効成分１００質量％）中、好ましくは８０〜９９．８質量％、より好ましくは８５〜９９質量％、更に好ましくは９０〜９８質量％である。
当該成分（Ａ１）の含有量は、前記組成物（Ｒ１）を調製する際に配合する全成分１００質量％中の成分（Ａ１）の配合量としても算出することができる。以下、前記組成物（Ｒ１）が含む成分（Ｂ１）、並びに必要に応じて含有する成分（Ｃ）及びその他成分の含有量についても同様である。

〔成分（Ｂ１）：架橋剤〕
成分（Ｂ１）は、成分（Ａ１）を架橋する架橋剤である。成分（Ｂ１）としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤が挙げられる。これらの中では、イソシアネート系架橋剤が好ましい。イソシアネート系架橋剤を使用すると、例えば、成分（Ａ１）がヒドロキシ基を有する場合、架橋剤が成分（Ａ１）を優先的に架橋する。
前記アクリル系粘着剤組成物は、例えば、塗布後に加熱されることで、成分（Ｂ１）によって架橋される。

成分（Ｂ１）として用い得るイソシアネート系架橋剤としては、ポリイソシアネート化合物が挙げられる。
ポリイソシアネート化合物の具体例としては、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート；ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート；イソホロンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート等の脂環族ポリイソシアネート；等が挙げられる。また、これらのビウレット体、イソシアヌレート体、更にはエチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、ヒマシ油等の低分子活性水素含有化合物との反応物であるアダクト体等も挙げられる。これらの中では、トリレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネートの多価アルコール（例えば、トリメチロールプロパン等）アダクト体が好ましい。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

成分（Ｂ１）として用い得るエポキシ系架橋剤としては、例えば、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ’−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシリレンジアミン、エチレングリコールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンジグリシジルエーテル、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルアミン等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
成分（Ｂ１）として用い得る金属キレート系架橋剤としては、例えば、アルミニウム、鉄、銅、亜鉛、スズ、チタン、ニッケル、アンチモン、マグネシウム、バナジウム、クロム、ジルコニウム等の多価金属にアセチルアセトン、アセト酢酸エチル、トリス（２，４−ペンタンジオネート）等が配位した金属キレート系化合物等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
成分（Ｂ１）として用い得るアジリジン系架橋剤としては、例えば、ジフェニルメタン−４,４’−ビス（１−アジリジンカーボキサミド）、トリメチロールプロパントリ−β−アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタントリ−β−アジリジニルプロピオネート、トルエン−２,４−ビス（１−アジリジンカーボキサミド）、トリエチレンメラミン、ビスイソフタロイル−１−（２−メチルアジリジン）、トリス−１−（２−メチルアジリジン）フォスフィン、トリメチロールプロパントリ−β−（２−メチルアジリジン）プロピオネート、ヘキサ〔１−（２−メチル）−アジリジニル〕トリフォスファトリアジン等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

前記組成物（Ｒ１）中の成分（Ｂ１）の含有量は、得られる粘着シートが有機溶媒接触前の十分な粘着性と、より良好な有機溶媒接触剥離性とを発現し易くする観点から、前記成分（Ａ１）の全量（有効成分１００質量部）に対して、好ましくは０．１〜１０質量部、より好ましくは０．５〜８質量部、更に好ましくは１〜８質量部、より更に好ましくは３〜７質量部である。

〔成分（Ｃ）：光重合開始剤〕
前記組成物（Ｒ１）は、光重合開始剤（以下、「成分（Ｃ）」ともいう。）を含有することが好ましい。前記組成物（Ｒ１）は、光重合開始剤を含有することで、紫外線等によるエネルギー線照射による硬化が進行しやすくなる。
成分（Ｃ）としては、例えば、アセトフェノン、２，２−ジエトキシベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン、ミヒラーケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジフェニサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、ベンジルジメチルケタール、ジベンジル、ジアセチル、１−クロルアントラキノン、２−クロルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパノン−１，２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１，２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニル−フォスフィンオキサイド等の低分子量重合開始剤、オリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］プロパノン｝等のオリゴマー化された重合開始剤などが挙げられる。これらの中では、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンが好ましい。
これらは、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

前記組成物（Ｒ１）中の成分（Ｃ）の含有量は、得られる粘着シートがエネルギー線照射後、有機溶媒接触前の十分な粘着性と、より良好な有機溶媒接触剥離性とを発現し易くする観点から、前記成分（Ａ１）の全量（有効成分１００質量部）に対して、好ましくは０．１〜１０質量部、より好ましくは１〜８質量部、更に好ましくは２〜６質量部である。

〔前記組成物（Ｒ１）におけるその他の添加剤〕
前記組成物（Ｒ１）は、本発明の効果を損なわない範囲において、前述の成分（Ａ１）、成分（Ｂ１）、成分（Ｃ）以外に、その他の添加剤を含有していてもよい。
その他の添加剤としては、例えば、成分（Ａ１）以外の樹脂成分、界面活性剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、難燃剤、導電剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、着色剤、可塑剤等が挙げられる。
前記組成物（Ｒ１）が、その他の添加剤を含む場合、それぞれの含有量は、前記組成物（Ｒ１）１００質量％中、好ましくは０．０１〜２０質量％、より好ましくは０．０１〜１０質量％、更に好ましくは０．０１〜５質量％、より更に好ましくは０．０１〜２質量％である。
成分（Ａ１）以外の樹脂成分とは、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂；ポリエステル系樹脂；等が挙げられる。

また、前記溶剤として、水を用いる場合、前記アクリル系粘着剤組成物は、成分（Ａ）であるカルボキシ基を有するアクリルポリマー（Ａ２）（以下、「成分（Ａ２）」ともいう。）と、成分（Ｂ）である成分（Ａ２）を架橋する架橋剤（Ｂ２）（以下、「成分（Ｂ２）」ともいう。）と、中和剤（Ｄ）（以下、「成分（Ｄ）」ともいう。）とを含むアクリル系粘着剤組成物（Ｒ２）（以下、「組成物（Ｒ２）」ともいう。）であることが好ましい。
以下、前記組成物（Ｒ２）に含まれる各成分について説明する。

〔成分（Ａ２）：カルボキシ基を有するアクリルポリマー（Ａ２）〕
成分（Ａ２）は、カルボキシ基を有するアクリルポリマーである。
前記組成物（Ｒ２）が、カルボキシ基を有するアクリルポリマー（Ａ２）を含むことで、得られる粘着シートの水接触剥離性が向上する。これは、前記層（Ｘ）の親水性に起因して層（Ｘ）と被着体との界面へ水が浸入する効果の向上と、層（Ｘ）自体が水を取り込んで膨潤する効果（以下、「水膨潤性」ともいう。）が向上して、層（Ｘ）と被着体界面への水の侵入が十分に進行し易くなるためと考えられる。

{アルキル（メタ）アクリレート（ａｍ１）}
成分（Ａ２）は、アルキル（メタ）アクリレート（ａｍ１）（以下、「単量体（ａｍ１）」ともいう。）に由来する構成単位（ａ１）（以下、「構成単位（ａ１）」ともいう。）を有する。
成分（Ａ２）の原料として用い得る単量体（ａｍ１）が有するアルキル基の炭素数としては、粘着特性の向上の観点から、好ましくは１〜２４、より好ましくは１〜１２、更に好ましくは２〜１０、より更に好ましくは４〜８である。
なお、単量体（ａｍ１）が有するアルキル基は、直鎖アルキル基であってもよく、分岐鎖アルキル基であってもよい。

成分（Ａ２）の原料として用い得る単量体（ａｍ１）としては、例えば、成分（Ａ１）に係る単量体（ａｍ１）で前述した各種アルキル（メタ）アクリレートが挙げられる。それらの中では、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、及びイソオクチル（メタ）アクリレートからなる群より選ばれる１種以上が好ましく、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート及び２−エチルヘキシル（メタ）アクリレートからなる群より選ばれる１種以上がより好ましく、ｎ−ブチル（メタ）アクリレートが更に好ましい。
これらの単量体（ａｍ１）は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

成分（Ａ２）中の構成単位（ａ１）の含有量は、成分（Ａ２）を構成する全構成単位１００質量％中、好ましくは４５〜９９質量％、より好ましくは５５〜９８質量％、更に好ましくは６５〜９６質量％、より更に好ましくは７５〜９４質量％、より更に好ましくは８０〜９０質量％である。
なお、当該構成単位（ａ１）の含有量は、成分（Ａ２）を重合する際に用いる全単量体１００質量％中の前記単量体（ａｍ１）の含有量としても算出することができる。

{カルボキシ基含有単量体（ａｍ４）}
また、成分（Ａ２）としては、好ましくは、カルボキシ基含有単量体（ａｍ４）（以下、「単量体（ａｍ４）」ともいう。）由来の構成単位（ａ４）（以下、「構成単位（ａ４）」ともいう。）を有するアクリルポリマーである。

単量体（ａｍ４）としては、例えば、成分（Ａ１）に係る単量体（ａｍ２）で前述した各種カルボキシ基含有単量体が挙げられる。
単量体（ａｍ４）としては、エチレン性不飽和モノカルボン酸及びエチレン性不飽和ジカルボン酸から選ばれる１種以上が好ましく、エチレン性不飽和モノカルボン酸がより好ましく、（メタ）アクリル酸からなる群より選ばれる１種以上が更に好ましく、アクリル酸がより更に好ましい。
これらの単量体（ａｍ４）は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

成分（Ａ２）は、構成単位（ａ４）を、成分（Ａ２）を構成する全単量体１００質量％中、０．１〜２０質量％含有することがより好ましい。
構成単位（ａ４）を、成分（Ａ２）を構成する全構成単位１００質量％中、０．１質量％以上含むことで、得られる粘着シートの水接触剥離性が向上するため好ましい。そして、前記構成単位（ａ４）を、成分（Ａ２）を構成する全構成単位１００質量％中、２０質量％以下含むことで、ガラス転移温度を低く設定できて粘着力を向上できる観点から好ましい。このような観点から、成分（Ａ２）を構成する全構成単位１００質量％中、構成単位（ａ４）の含有量は、より好ましくは０．５質量％以上、更に好ましくは１質量％以上であり、そして、より好ましくは１５質量％以下、更に好ましくは１０質量％以下、より更に好ましくは５質量％以下である。
なお、当該構成単位（ａ４）の含有量は、成分（Ａ２）を重合する際に用いる全単量体１００質量％中の前記単量体（ａｍ４）の含有量としても算出することができる。

{ヒドロキシ基含有単量体（ａｍ５）}
また、成分（Ａ２）としては、好ましくは、ヒドロキシ基を含有する単量体（ａｍ５）（以下、「単量体（ａｍ５）」ともいう。）由来の構成単位（ａ５）（以下、「構成単位（ａ５）」ともいう。）を有するアクリルポリマーである。
単量体（ａｍ５）としては、例えば、成分（Ａ１）に係る単量体（ａｍ２）で前述した各種ヒドロキシ基含有単量体が挙げられる。
単量体（ａｍ５）としては、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートが好ましく、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート及び４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートからなる群より選ばれる１種以上がより好ましく、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートが更に好ましい。
これらの単量体（ａｍ５）は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

成分（Ａ２）は、構成単位（ａ５）を、成分（Ａ２）を構成する全単量体１００質量％中、１〜３０質量％含有することがより好ましい。
構成単位（ａ５）を、成分（Ａ２）を構成する全構成単位１００質量％中、１質量％以上含むことで、得られる粘着シートの水接触剥離性が向上するため好ましい。そして、前記構成単位（ａ５）を、成分（Ａ２）を構成する全構成単位１００質量％中、３０質量％以下含むことで、ガラス転移温度を低く設定できて粘着力を向上できる観点から好ましい。このような観点から、成分（Ａ２）を構成する全構成単位１００質量％中、構成単位（ａ５）の含有量は、より好ましくは３質量％以上、更に好ましくは６質量％以上、より更に好ましくは９質量％以上であり、そして、より好ましくは２５質量％以下、更に好ましくは２０質量％以下、より更に好ましくは１５質量％以下である。
なお、当該構成単位（ａ５）の含有量は、成分（Ａ２）を重合する際に用いる全単量体１００質量％中の前記単量体（ａｍ５）の含有量としても算出することができる。

成分（Ａ２）において、前記構成単位（ａ１）、（ａ４）及び（ａ５）の合計含有量は、成分（Ａ２）を構成する全構成単位１００質量％中、好ましくは８０〜１００質量％、より好ましくは８５〜１００質量％、更に好ましくは９０〜１００質量％、より更に好ましくは９５〜１００質量％、より更に好ましくは９８〜１００質量％である。
当該構成単位（ａ１）、（ａ４）及び（ａ５）の合計含有量は、成分（Ａ２）を重合する際に用いる全単量体１００質量％中の前記単量体（ａｍ１）、（ａｍ４）及び（ａｍ５）の合計含有量としても算出することができる。

成分（Ａ２）は、前記単量体（ａｍ１）、（ａｍ４）及び（ａｍ５）以外のその他の単量体（ａｍ６）（以下、「単量体（ａｍ６）」ともいう。）に由来の構成単位（ａ６）（以下、「構成単位（ａ６）」ともいう。）を有していてもよい。

単量体（ａｍ６）としては、例えば、アミノ基含有単量体、置換アミノ基含有単量体、エポキシ基含有単量体、シアノ基含有単量体、アルコキシシリル基含有単量体等の単量体（ａｍ４）及び（ａｍ５）以外の官能基含有単量体；エチレン、プロピレン、イソブチレン等のオレフィン類；塩化ビニル、ビニリデンクロリド等のハロゲン化オレフィン類；ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等のジエン系単量体類；シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イミド（メタ）アクリレート等の環状構造を有する（メタ）アクリレート；スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、ギ酸ビニル、酢酸ビニル、アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−ビニルピロリドン等が挙げられる。これらの単量体（ａｍ６）を用いる場合、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

アミノ基又は置換アミノ基含有単量体としては、例えば、２−アミノエチル（メタ）アクリレート、２−アミノエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ−メチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
エポキシ基含有単量体としては、例えば、成分（Ａ１）に係る単量体（ａｍ２）で前述した各種エポキシ基含有単量体が挙げられる。

また、前記単量体（ａｍ４）を用いる方法以外の成分（Ａ２）中にカルボキシ基を導入する方法として、前記単量体（ａｍ１）の単独重合体又は前記単量体（ａｍ１）以外の単量体との共重合体を重合した後、当該単独重合体又は共重合体を部分的にケン化して、成分（Ａ２）中にカルボキシ基を導入する方法を用いることもできる。この場合、成分（Ａ２）中でケン化されずに残る構成単位（ａ１）の含有量が、前述した成分（Ａ２）中の構成単位（ａ１）の含有量となるように調整することが好ましく、その好適な含有量も同様である。

成分（Ａ２）は、塊状重合、溶液重合、乳化重合等の公知の重合方法を用いて製造することができる。
また、これらの成分（Ａ２）が、２種以上の構成単位を有する共重合体である場合、当該共重合体の形態は、ブロック共重合体、ランダム共重合体、及びグラフト共重合体のいずれであってもよい。

成分（Ａ２）の質量平均分子量（Ｍｗ）は、本発明の効果が発現する限り、特に限定されるものではないが、得られる粘着シートが水接触前の十分な粘着性と、より良好な水接触剥離性とを発現し易くする観点から、好ましくは１０万〜３００万、より好ましくは２０万〜２００万、更に好ましくは３０万〜１００万である。
当該質量平均分子量（Ｍｗ）の値は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法で測定される標準ポリスチレン換算の値であり、具体的には実施例に記載の方法に基づいて測定される値である。

前記組成物（Ｒ２）中の成分（Ａ２）の含有量は、得られる粘着シートが水接触前の十分な粘着性と、より良好な水接触剥離性とを発現し易くする観点から、前記組成物（Ｒ２）の全量（有効成分１００質量％）中、好ましくは７５〜９５質量％、より好ましくは８０〜９２質量％、更に好ましくは８５〜９０質量％である。
当該成分（Ａ２）の含有量は、前記組成物（Ｒ２）を調製する際に配合する全成分１００質量％中の成分（Ａ２）の配合量としても算出することができる。以下、前記組成物（Ｒ２）が含む成分（Ｂ２）、成分（Ｄ）及びその他成分の含有量についても同様である。

〔成分（Ｂ２）：架橋剤〕
成分（Ｂ２）としては、成分（Ａ２）と反応し、架橋構造を形成する化合物であり、成分（Ａ２）が有するカルボキシ基の一部又は全部と反応し、成分（Ａ２）を架橋する化合物であることが好ましい。
前記組成物（Ｒ２）が、成分（Ｂ２）を含まない場合、前記層（Ｘ）の水膨潤性が十分に得られなくなる。
粘着剤層（Ｘ）は、後述するように、成分（Ａ２）と成分（Ｂ２）とに由来する架橋構造、及び、成分（Ａ２）と成分（Ｃ）とに由来する塩状部位を有する層となることで、優れた水接触剥離性を発現できると考えられる。

成分（Ｂ２）としては、例えば、エポキシ系架橋剤、メチロール系架橋剤、金属キレート系架橋剤、アジリジン系架橋剤等が挙げられる。これらの中では、エポキシ系架橋剤及び金属キレート系架橋剤から選ばれる１種以上が好ましく、エポキシ系架橋剤がより好ましい。

成分（Ｂ２）として用い得るエポキシ系架橋剤としては、例えば、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエーテル、ジグリセロールトリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシリレンジアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンジグリシジルエーテル、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルアミン等が挙げられる。
成分（Ｂ２）として用い得る金属キレート系架橋剤としては、例えば、架橋剤（Ｂ１）に係る説明で前述した各種金属キレート系化合物が挙げられる。
これらの成分（Ｂ２）は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

前記組成物（Ｒ２）中の成分（Ｂ２）の含有量は、得られる粘着シートが水接触前の十分な粘着性と、より良好な水接触剥離性とを発現し易くする観点から、前記成分（Ａ２）の全量（有効成分１００質量部）に対して、好ましくは０．０５〜１０質量部、より好ましくは０．１〜９質量部、更に好ましくは１〜８質量部、より更に好ましくは４〜８質量部、より更に好ましくは６〜８質量部である。

〔成分（Ｄ）：中和剤〕
前記組成物（Ｒ２）が、中和剤（Ｄ）を含むことで、層（Ｘ）の水膨潤性が向上して、得られる粘着シートの水接触剥離性が向上する。
中和剤（Ｄ）は、前記成分（Ａ２）が有するカルボキシ基の一部又は全部と反応し、当該反応部位が部分的に塩のような部位（以下、「塩状部位」ともいう。）を形成するものと考えられる。そして、成分（Ａ２）のカルボキシ基と成分（Ｄ）とで形成される塩状部位、及び、成分（Ａ２）と前述した架橋剤（Ｂ２）とで形成される架橋構造によって、層（Ｘ）の親水性及び水膨潤性が向上し、層（Ｘ）が優れた水接触剥離性を発現すると考えられる。

成分（Ｄ）としては、本発明の効果が発現する限り、種々の塩基性化合物を用いることができ、好ましくは、アミン化合物が挙げられる。
前記アミン化合物としては、例えば、アンモニア、アルカリ性を示すアンモニウム塩及びモノエチルアミン、モノエタノールアミン等の第一級アミン化合物；ジエチルアミン、ジエタノールアミン等の第二級アミン化合物；トリエチルアミン、トリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタール、Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリメチルエチレンジアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルヒドロキシルアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルエタノールアミン等の第三級アミン化合物；ジアミン、ポリエチレンイミン等の１分子中に複数の窒素原子を有するアミノ化合物、ピリジン等の環式アミノ化合物；等のようにアルカリ性を示す有機アミノ化合物が挙げられる。アミン化合物としては、好ましくは第三級アミン化合物である。

また、前述したとおり、成分（Ｄ）が、成分（Ａ２）中のカルボキシ基と塩状部位を形成した際に、より良好な親水性を付与できると考えられることから、前記アミン化合物の中では、ヒドロキシ基含有アミン化合物がより好ましい。成分（Ｄ）がヒドロキシ基含有アミン化合物である場合、成分（Ｄ）に由来するヒドロキシ基によって、層（Ｘ）が水をより取り込みやすくなり、層（Ｘ）の水膨潤性がより向上すると考えられる。このような観点から、成分（Ｄ）としては、更に好ましくはヒドロキシ基含有第三級アミン化合物が挙げられ、より更に好ましくはトリエタノールアミンが挙げられる。
これらの中和剤（Ｄ）は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

前記組成物（Ｒ２）中の成分（Ｄ）の含有量は、得られる粘着シートが良好な水接触剥離性を発現し易くする観点から、前記成分（Ａ２）の全量（有効成分１００質量部）に対して、好ましくは０．０５〜１０質量部、より好ましくは０．１〜９質量部、更に好ましくは１〜８質量部、より更に好ましくは４〜８質量部であり、より更に好ましくは６〜８質量部である。

〔前記組成物（Ｒ２）におけるその他の添加剤〕
前記組成物（Ｒ２）は、本発明の効果を損なわない範囲において、前述の成分（Ａ２）、（Ｂ２）及び（Ｄ）以外に、その他の添加剤を含有していてもよい。
その他の添加剤としては、例えば、成分（Ａ２）以外の樹脂成分、界面活性剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、難燃剤、導電剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、着色剤、可塑剤等が挙げられる。
これらの添加剤を含む場合、それぞれの含有量は、前記組成物（Ｒ２）１００質量％中、好ましくは０．０１〜２０質量％、より好ましくは０．０１〜１０質量％、更に好ましくは０．０１〜５質量％、より更に好ましくは０．０１〜２質量％である。
成分（Ａ２）以外の樹脂成分とは、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂；ポリエステル系樹脂；等が挙げられる。

＜基材＞
本発明の一態様で用いることができる基材の形成材料としては、例えば、樹脂、金属、紙材、等が挙げられ、粘着シートの用途に応じて適宜選択することができる。

基材に用いられる樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体等のビニル系樹脂；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂；ポリスチレン；アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体；三酢酸セルロース；ポリカーボネート；ポリウレタン、アクリル変性ポリウレタン等のウレタン樹脂；ポリメチルペンテン；ポリスルホン；ポリエーテルエーテルケトン；ポリエーテルスルホン；ポリフェニレンスルフィド；ポリエーテルイミド、ポリイミド等のポリイミド系樹脂；ポリアミド系樹脂；アクリル樹脂；フッ素系樹脂等が挙げられる。
これらの中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂が好ましい。
前記樹脂を形成材料として用いた基材としては、前記樹脂を含有する樹脂フィルム又は樹脂シートが挙げられる。
前記金属としては、例えば、アルミニウム、スズ、クロム、チタン等が挙げられる。
前記紙材としては、例えば、薄葉紙、中質紙、上質紙、含浸紙、コート紙、アート紙、硫酸紙、グラシン紙、無塵紙等が挙げられる。

これらの形成材料は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
２種以上の形成材料を組み合わせた基材としては、紙材をポリエチレン等の熱可塑性樹脂でラミネートしたもの、樹脂を含有する樹脂フィルム又はシートの表面に金属層を形成したもの等が挙げられる。
金属層の形成方法としては、例えば、金属を真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等のＰＶＤ法により蒸着する方法、金属箔を一般的な粘着剤を用いて貼付する方法等が挙げられる。

これらの基材の中でも、樹脂フィルム又はシートが好ましく、ポリエステル系樹脂からなるフィルム又はシートがより好ましく、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）から構成されるフィルム又はシートが更に好ましい。

また、基材上に積層される他の層との層間密着性を向上させる観点から、基材の一方の表面又は両方の表面に対し、基材の表面に対して、酸化法や凹凸化法等の表面処理を施してもよい。
酸化法としては、例えば、コロナ放電処理法、プラズマ処理法、クロム酸酸化（湿式）、火炎処理法、熱風処理法、オゾン照射処理法、紫外線照射処理法、紫外線−オゾン処理法等が挙げられる。また、凹凸化法としては、例えば、サンドブラスト法、溶剤処理法等が挙げられる。

また、基材の一方又は両方の表面上には、必要に応じて、プライマー層、目止め層等を設けてもよい。
プライマー層を構成する成分としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステルウレタン系樹脂、アクリル系樹脂等が挙げられ、これらの樹脂は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
目止め層は、基材と、基材に隣接する層との密着性を更に向上させるために、又は、基材が紙基材等の柔軟すぎる基材の場合に、剛性を付与するために設けられる。当該目止め層としては、特に制限はないが、例えば、スチレン−ブタジエン共重合体、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリスチレン系樹脂等を主成分として、必要に応じ、クレー、シリカ、炭酸カルシウム、酸化チタン、酸化亜鉛等のフィラーを添加したもの等からなる層が挙げられる。
これらその他の層を有する場合、その厚さは、それぞれ独立に、好ましくは、０．０５〜３０μｍ、より好ましくは０．１〜５μｍ、更に好ましくは０．１〜１μｍ、より更に好ましくは０．１〜０．５μｍである。
なお、本発明で用いることができる基材には、本発明の効果を損なわない範囲において、所望により、基材用添加剤として、例えば、紫外線吸収剤、光安定剤、酸化防止剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、着色剤等が含有されていてもよい。

基材の厚さは、粘着シートの用途に応じて適宜設定されるが、取扱性及び経済性の観点から、好ましくは５〜２５０μｍ、より好ましくは１０〜２００μｍ、更に好ましくは２５〜１５０μｍである。

＜剥離材＞
本発明の一態様で用いることができる剥離材としては、両面剥離処理をされた剥離シートや、片面剥離処理をされた剥離シート等が用いられ、例えば、剥離材用の基材上に剥離剤を塗布したもの等が挙げられる。
剥離材用基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂等のポリエステル樹脂フィルム、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂等のポリオレフィン樹脂フィルム等のプラスチックフィルム等が挙げられる。
剥離剤としては、例えば、シリコーン系樹脂、オレフィン系樹脂、イソプレン系樹脂、ブタジエン系樹脂等のゴム系エラストマー、長鎖アルキル系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂等が挙げられる。

そして、前述したとおり、粘着剤層（Ｘ）上の凹部を形成する目的から、前記剥離処理面に凸部形状が形成されている剥離材（以下、「凸部を有する剥離材」ともいう。）が好ましく、粘着シートの保管時等に前記層（Ｘ）の凹部形状を維持し易くする観点から、前記剥離処理面に前記層（Ｘ）の凹部と対になる凸部が形成されている剥離材であることがより好ましい。
なお、本明細書で規定される「凸部」とは、高低差を有する隆起部を指す。
当該凸部の形状は、例えば、エンボス処理によって、エンボスロール周面に刻印されている形状を剥離面上に転写することによって形成することができる。
また、例えば、スクリーン印刷法等の印刷技術を利用して、前記凸部を形成することもできる。

また、前記凸部の形状としては、例えば、前記層（Ｘ）の凹部と対になる形状が挙げられ、その好適な態様は、前記層（Ｘ）の凹部に係る説明において好適な態様として説明した凹部と対になる形状であることから、ここでの詳細な説明は省略する。
また、例えば、「層（Ｘ）を厚さ方向に切断した際の凹部の断面形状」及び「層（Ｘ）を平面視した場合における凹部の形状」の好適な態様は、同様に、「剥離材を厚さ方向に切断した際の凸部の断面形状」及び「剥離材を平面視した場合における凸部の形状」の好適な態様と同様である。

また、剥離材の表面に存在する「凸部の高低差及び幅」の好適範囲としては、前述した層（Ｘ）の表面に存在する「凹部の高低差及び幅」を形成できる凸部の高低差及び幅ということもできる。同様に、剥離材の表面に存在する「凸部の麓間距離及び最短ピッチ」の好適範囲としては、前述した層（Ｘ）の表面に存在する「凹部の縁間距離及び最短ピッチ」を形成できる凸部の麓間距離及び最短ピッチということもできる。
そのため、前記「凸部の高低差及び幅」並びに「凸部の麓間距離及び最短ピッチ」の好適範囲は、本発明の効果を損なわない限り特に制限されるものではないが、それぞれ、例えば、次に示す範囲であってもよい。

前記凸部の高低差は、好ましくは０．５μｍ以上であり、より好ましくは１．０μｍ以上、更に好ましくは３．０μｍ以上であり、そして、好ましくは５０．０μｍ以下、より好ましくは３０．０μｍ以下、更に好ましくは２５．０μｍ以下、より更に好ましくは２０．０μｍ以下である。
同様に、前記凸部の幅は、好ましくは１５０μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下、更に好ましくは７５．０μｍ以下、より更に好ましくは５０．０μｍ以下、より更に好ましくは３５．０μｍ以下、より更に好ましくは３０．０μｍ以下である。また、前記凹部の幅の下限値は、特に制限はないが、好ましくは１．０μｍ、より好ましくは３．０μｍ、更に好ましくは５．０μｍである。
当該凸部の高低差及び幅は、実施例に記載の方法を用いて測定される値である。例えば、図８に示す距離４ｈが凸部４ａの高低差に該当する。また、図８に示す距離４ｗが凸部の幅に該当する。なお、一例として、実施例に記載の方法を用いて撮影された走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の画像である図１０に示される凸部４ａの断面画像を用いて説明すれば、図１０中の距離４ｈが凸部の高低差に該当し、距離４ｗが凸部の幅に該当する。

また、凸部の麓間距離は、好ましくは５０．０μｍ以上、より好ましくは１００μｍ以上、更に好ましくは１５０μｍ以上であり、より更に好ましくは２００μｍ以上である。そして、好ましくは２，０００μｍ以下、より好ましくは１，５００μｍ以下、更に好ましくは１，０００μｍ以下である。
例えば、図６の凹部を凸部に置き換えて説明すると（図６を剥離材の凸部を有する表面と仮定した場合）、当該凸部の麓間距離とは、任意の凸部の麓と当該凸部と最も近い凸部の麓との距離のうち最短の距離を示し、図６中の距離７ｆを指す。
また、例えば、図７に示す格子状の凹部を凸部に置き換えて説明すると（図７を剥離材の凸部を有する表面と仮定した場合）、当該凸部の麓間距離とは、格子を形成している凸部の任意の１辺の麓と当該辺と対向する１辺の麓との距離のうち最短の距離を示し、図７中の距離７ｆを指す。
また、凸部と凸部との最短ピッチは、好ましくは５０．０μｍ以上、より好ましくは１００μｍ以上、更に好ましくは１５０μｍ以上であり、より更に好ましくは２００μｍ以上である。そして、好ましくは２，０００μｍ以下、より好ましくは１，５００μｍ以下、更に好ましくは１，０００μｍ以下である。
例えば、図６の凹部を凸部に置き換えて説明すると（図６を剥離材の凸部を有する表面と仮定した場合）、当該凸部の最短ピッチとは、任意の１つの凸部の麓と麓との最短距離の中間点から、当該凸部と最も近い他の凸部の麓と麓との最短距離の中間点までの距離のうち最短の距離を示し、図６中の距離７ｐを指す。
また、例えば、図７に示す格子状の凹部を凸部に置き換えて説明すると（図７を剥離材の凸部を有する表面と仮定した場合）、当該凸部の最短ピッチとは、格子の１辺を形成している凸部部分の麓と麓との最短距離の中間点から、当該１辺と対向する１辺を形成している他の凸部部分の麓と麓との最短距離の中間点までの距離のうちの最短の距離を示し、図７中の距離７ｐを指す。
なお、一例として、実施例に記載の方法を用いて撮影された走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の画像である図１２に示される凸部４ａを平面視した画像を用いて説明すれば、図１２中の距離４ｐが凸部の最短ピッチに該当し、距離４ｗが凸部の幅に該当する。

剥離材の厚さは、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はないが、好ましくは５〜２５０μｍ、より好ましくは３０〜２００μｍ、更に好ましくは５０〜１５０μｍである。

また、前記粘着シートの総厚（各層の合計厚さ。但し、剥離材は除く。）は、粘着シートの用途に応じて適宜設定されるが、好ましくは３０μｍ以上、より好ましくは７０μｍ以上、更に好ましくは９５μｍ以上であり、そして、好ましくは３００μｍ以下、より好ましくは２００μｍ以下、更に好ましくは１７０μｍ以下、より更に好ましくは１５０μｍ以下である。

＜その他の粘着剤層（Ｚ）＞
本発明の一態様である粘着シートとしては、本発明の効果を損なわない範囲において、前述の層（Ｘ）以外のその他の粘着剤層（Ｚ）を有していてもよい。
当該粘着シートの一態様としては、例えば、前述したように、図３に示す粘着シート３０において、２つの層（Ｘ）２のうちの一方が、表面に凹部１を有しない層（Ｘ）２以外のその他の粘着剤層（Ｚ）である態様が挙げられる。また、図５に示す粘着シート５０の態様が挙げられる。
当該層（Ｘ）以外のその他の粘着剤層（Ｚ）としては、粘着シートの用途に応じて適宜選択することができ、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はない。その他の粘着剤層（Ｚ）が含有する粘着性樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリイソブチレン系樹脂等のゴム系樹脂、ポリエステル系樹脂、オレフィン系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリビニルエーテル系樹脂等が挙げられる。
これらの粘着性樹脂は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、これらの粘着性樹脂が、２種以上の構成単位を有する共重合体である場合、当該共重合体の形態は、ブロック共重合体、ランダム共重合体、及びグラフト共重合体のいずれであってもよい。
また、本発明の一態様である粘着シートが、粘着剤層（Ｚ）を有する場合、当該粘着剤層（Ｚ）の露出面上に、前述した剥離材を設けてもよい。

［仮固定粘着シートの製造方法］
前記仮固定粘着シートの製造方法としては、少なくとも一方の表面に凹部が存在する粘着剤層（Ｘ）を形成できる限り、特に制限はないが、好ましくは、少なくとも、以下の工程（１）及び工程（２）を有する製造方法が挙げられる。
工程（１）：凸部を有する剥離材上の当該凸部が存在する表面上に、粘着剤組成物を塗布して、塗膜を形成する工程
工程（２）：工程（１）で形成された塗膜を乾燥し、前記剥離材側の表面に凹部が存在する粘着剤層（Ｘ）を形成して、仮固定粘着シートを得る工程

なお、以下の説明中、粘着剤層（Ｘ）、剥離材及び基材の態様、層（Ｘ）を形成する粘着剤組成物の態様及びその好適な態様であるアクリル系粘着剤組成物の態様、並びに得られる仮固定粘着シートの態様は、前記仮固定粘着シートの欄で説明した態様と同様であり、それらの好適な態様も同様であるため、詳細な説明は省略する。

工程（１）において、凸部を有する剥離材を用いることで、工程（２）で前記粘着剤組成物からなる塗膜が乾燥されて粘着剤層（Ｘ）が形成する過程で、当該凸部形状が、層（Ｘ）の表面上に転写され、層（Ｘ）の凹部を形成することができる。
凸部を有する剥離材上に前記粘着剤組成物を塗布する際には、前記粘着剤組成物に、更に有機溶媒を配合して、前記粘着剤組成物の溶液の形態として用いてもよい。
用いる有機溶媒としては、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、シクロヘキサン、ｎ−ヘキサン、トルエン、キシレン、ｎ−プロパノール、イソプロパノール等が挙げられる。
なお、これらの有機溶媒は、前記粘着剤組成物中に含まれる各成分の製造時に使用された有機溶媒をそのまま用いてもよいし、それ以外の１種以上の有機溶媒を加えてもよい。

前記粘着剤組成物の溶液は、前記剥離材上に、公知の塗布方法により塗布して塗膜を形成することができる。
塗布方法としては、例えば、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法等が挙げられる。

工程（２）では、工程（１）で形成された塗膜を乾燥する。前述のとおり、当該塗膜が乾燥されて粘着剤層（Ｘ）が形成する過程で、層（Ｘ）の凹部が形成される。
工程（２）における乾燥温度は、層（Ｘ）を形成できる限り、特に制限はないが、好ましくは８０〜１５０℃、より好ましくは９０〜１４０℃、更に好ましくは９５〜１３０℃である。また、乾燥時間は、層（Ｘ）を形成できる限り、特に制限はないが、好ましくは３０秒〜５分間、より好ましくは１分〜３分間である。

［仮固定粘着シートの用途］
本発明の一態様である仮固定粘着シートは、溶剤接触剥離性を有するものであり、被着体への貼付時には十分な粘着力を有しながらも、被着体から剥離する際には、溶剤と接触させることにより短時間で自己剥離させることが可能なため、溶剤と接触可能な被着体を用いる限り、あらゆる用途に適用可能である。
前記被着体としては、特に限定されないが、前記仮固定粘着シートが溶剤接触剥離性を有し、被着体にかかる負荷を低減できる観点から、その好適な一態様として脆性材料が挙げられ、当該脆性材料の好適例としては、後述する電子デバイス用ウェハ等が挙げられる。
また、前記仮固定粘着シートが溶剤接触剥離性を有し、仮固定粘着シートに起因して生じる被着体の汚染、変形、破損等の不具合を抑制、防止することが期待できる観点から、被着体の好適な一態様としては電子デバイス用材料が挙げられる。
前記電子デバイス用材料としては、例えば、半導体チップ等の電子デバイス用チップ、半導体ウェハ等の電子デバイス用ウェハ、化合物半導体、半導体パッケージ等の電子デバイス用パッケージ、電子部品、サファイア基板、ディスプレイ、パネル用基板等が挙げられる。これらの中では、電子デバイス用ウェハがより好ましい。

同様に、本発明の一態様である仮固定粘着シートは、例えば、前述したような、電子デバイス用材料の製造工程等において好適に用いることができる。このような使用態様における粘着シートとしては、具体的には、例えば、電子デバイス用ウェハ等の被着体をダイシングする際に用いられるダイシングシート、電子デバイス用ウェハ等の被着体を研削する工程に用いられるバックグラインドシート、電子デバイス用ウェハ等の被着体を貼付したバックグラインドシートを支持するための支持体を仮固定するために用いる仮固定シート、ダイシングによって個片化された電子デバイス用チップ等の被着体同士の距離を拡大させるために用いられるエキスパンドテープ、電子デバイス用チップ等の被着体の表裏を反転させるために用いられる転写テープ、検査対象物を検査するための仮固定用シート等が好適な例として挙げられる。
したがって、本発明の一態様である仮固定粘着シートは、電子デバイス用材料の加工及び／又は検査に好適に用いることができる。

また、本発明の一態様である仮固定粘着シートは、前述のとおり、自己剥離性を有し、粘着シートに起因して生じる被着体の汚染、変形、破損等の不具合を抑制、防止することが期待できる。そのため、本発明の一態様である仮固定粘着シートの用途としては、電子デバイス用材料以外にも、例えば、ウィンドーフィルム等の保護フィルム用途、壁紙、ラッピングフィルム等の保護・意匠性付与用途、リターナブルラベル等の各種ラベル用途、一時的な掲示物等を貼付する際の使用等、種々の用途が挙げられる。
更に、本発明の一態様である仮固定粘着シートが、前述した連続した凹部形状を有する層（Ｘ）を有する粘着シートである場合、被着体へ貼付する際のエア抜け性や外観が要求される用途、例えば、識別用、装飾用、塗装マスキング用、金属板等の表面保護用等にも好適に用いることができる。より具体的には、例えば、塗装代替テープ；マーキングフィルム；及び車両貼付用テープ（例えば、自動車の外装や内装を装飾する装飾用テープ、ブラックアウトテープ等）；などにも好適に用いることができる。

また、本発明の一態様である仮固定粘着シートを、例えば、両面粘着シートとして使用する場合、単層の粘着剤層のみからなる粘着シートの構成であって前記凹部が層（Ｘ）の片側の表面にしか存在しない場合、又は、２つの粘着剤層を有し、片側の表面にのみ凹部を有する層（Ｘ）が存在する態様である場合、当該凹部を有する表面をどちらの被着体に貼付して用いるかは、適宜、選択することが可能である。例えば、層（Ｘ）を、より低い負荷で剥離したい被着体側に貼付してもよく、また、例えば、もう１層の粘着剤層が層（Ｘ）とは別の目的で設けられているその他の粘着剤層である場合（例えば、より低汚染性である粘着剤層である場合等）には、各層の効果に合わせて、それぞれの被着体に対する貼付面を選択すればよい。

例えば、本発明の一態様である仮固定粘着シートを、両面粘着シートとして、被着体に対する加工及び検査に用いる場合、被着体の加工性及び検査性を向上させる観点から、両面の粘着剤層のいずれか一方の粘着剤層に被着体を貼付し、いずれか他方の粘着剤層に支持体を貼付することができる。この場合、前述したとおり、いずれか一方の粘着剤層として層（Ｘ）を用いればよく、両方の粘着剤層を層（Ｘ）としてもよい。
被着体が粘着シートを介して支持体に固定されることによって、被着体に対して加工及び検査から選択される１以上を施す際に、被着体の振動、位置ズレ、及び被着体が脆性材料等の脆弱な被着体である場合の破損等を抑制し、加工精度及び加工速度並びに検査精度及び検査速度を向上させることができるため好ましい。
この時、いずれか一方の粘着剤層のみを層（Ｘ）とする両面粘着シートを用いる場合、加工及び／又は検査の対象物となる被着体の種類、加工及び／又は検査方法の種類等に応じて、加工及び／又は検査の対象物となる被着体を層（Ｘ）側に貼付し、支持体をもう一方の粘着剤層に貼付して用いてもよく、また、支持体を層（Ｘ）側に貼付し、加工及び／又は検査の対象物となる被着体をもう一方の粘着剤層に貼付して用いてもよい。
両面に互いに異なる層（Ｘ）を有する両面粘着シートを用いる場合も、同様に、どちらの層（Ｘ）を加工及び／又は検査の対象物となる被着体に貼付して用いてもよい。

前記加工及び／又は検査の対象物となる被着体としては、前述のとおり、電子デバイス用材料であることが好ましい。したがって、例えば、本発明の一態様である仮固定粘着シートを、両面粘着シートとして、前記電子デバイス用材料の加工及び／又は検査に用いる場合、電子デバイス用材料を支持体に仮固定するために好適に用いることができる。
前記支持体の材質は、加工及び／又は検査の対象物となる被着体の種類、加工及び／又は検査方法の種類等に応じて、機械強度、耐熱性等の要求される特性を考慮の上、適宜選択すればよい。
例えば、本発明の一態様である仮固定粘着シートを、両面粘着シートとして、前記電子デバイス用材料の加工及び／又は検査に用いる場合、前記支持体の材質としては、例えば、ＳＵＳ等の金属材料；ガラス、シリコンウェハ等の非金属無機材料；エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、エンジニアリングプラスチック、スーパーエンジニアリングプラスチック、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂等の樹脂材料；ガラスエポキシ樹脂等の複合材料等が挙げられ、これらの中でも、ＳＵＳ、ガラス、シリコンウェハが好ましい。
前記エンジニアリングプラスチックとしては、例えば、ナイロン、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等が挙げられる。
前記スーパーエンジニアリングプラスチックとしては、例えば、ポリフェニレンスルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等が挙げられる。

また、本発明の一態様である仮固定粘着シートを、両面粘着シートとして、前記電子デバイス用材料の加工及び／又は検査に用いる場合、前記支持体は、貼付する粘着剤層の粘着表面の全面に貼付されることが好ましい。そのため、粘着剤層の粘着表面に貼付される側の支持体の表面の面積は、粘着剤層の粘着表面の面積以上であることが好ましい。また、粘着剤層の粘着表面に貼付される側の支持体の面は平面状であることが好ましい。
支持体の形状は、特に限定されないが、板状であることが好ましい。
支持体の厚さは、要求される特性を考慮して適宜選択すればよいが、好ましくは２０μｍ以上５０ｍｍ以下、より好ましくは６０μｍ以上２０ｍｍ以下である。

本発明について、以下の実施例により具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、以下の実施例における物性値は、以下の方法により測定した値である。

＜質量平均分子量（Ｍｗ）＞
ゲル浸透クロマトグラフ装置（東ソー株式会社製、製品名「ＨＬＣ−８０２０」）を用いて、下記の条件下で測定し、標準ポリスチレン換算にて測定した値を用いた。
（測定条件）
・カラム：「ＴＳＫ ｇｕａｒｄ ｃｏｌｕｍｎ ＨＸＬ−Ｌ」、「ＴＳＫ ｇｅｌ Ｇ２５００ＨＸＬ」、「ＴＳＫ ｇｅｌ Ｇ２０００ＨＸＬ」、及び「ＴＳＫ ｇｅｌ Ｇ１０００ＨＸＬ」（いずれも東ソー株式会社製）を順次連結したもの
・カラム温度：４０℃
・展開溶媒：テトラヒドロフラン
・流速：１．０ｍＬ／分

＜ガラス転移温度（Ｔｇ）＞
成分（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、Ｆｏｘの式を用いて算出される値を用いた。

＜基材層及び剥離材の厚さ＞
定圧厚さ測定器（株式会社テクロック製、型番：「ＰＧ−０２Ｊ」、標準規格：ＪＩＳ Ｋ６７８３−１９９４、Ｚ１７０２−１９９４、Ｚ１７０９−１９９５に準拠）を用いて測定した。
なお、エンボスされている剥離材の厚さは、当該剥離材の平滑な表面から、エンボスされている表面の凸部が形成されている箇所までの距離となる。例えば、図８に示す距離４ｔが、剥離材の厚さに該当する。

＜粘着シート中の各層の厚さ＞
実施例及び比較例で作製した粘着シートの粘着剤層（Ｘ１）及び粘着剤層（Ｘ２）の、基材層の表面と平行な面（凹部が形成されていない箇所に該当）に対して垂直方向に切断した厚さ方向における断面を、走査型電子顕微鏡（株式会社日立製作所製、製品名「Ｓ−４７００」）を用いて観察し、粘着剤層（Ｘ１）及び粘着剤層（Ｘ２）のそれぞれの厚さを測定した。
また、粘着剤層（Ｘ）の厚さは、当該粘着剤層の基材に接する表面から、基材とは反対側の表面の凹部が形成されていない箇所までの距離とした。
例えば、図１に示す距離２ｔが、層（Ｘ）の厚さに該当する。
また、後述する粘着剤層（Ｚ）の厚さも同様に測定した。

＜層（Ｘ）の凹部の高低差、幅及び最短ピッチ＞
実施例及び比較例で作製した粘着シートの粘着剤層（Ｘ）（層（Ｘ１）及び層（Ｘ２））の基材とは反対側の面に存在する凹部の高低差及び幅は、走査型電子顕微鏡（株式会社日立製作所製、製品名「Ｓ−４７００」）を用いて粘着シートの断面を観察し、走査型電子顕微鏡用の画像解析ソフトの計測機能を利用して測定した。
なお、図９及び１３に、それぞれ、実施例１及び１３で層（Ｘ１）上の凹部の高低差を測定した際のＳＥＭ画像を示す。実施例１の場合、その高低差及び幅の値は、図９に示す１ｈ及び１ｗの距離に該当する。実施例１３の場合、その高低差及び幅の値は、図１３に示す１ｈ及び１ｗの距離に該当する。
また、図１１及び１４に、それぞれ、実施例１及び１３で層（Ｘ１）上の凹部の最短ピッチを測定した際のＳＥＭ画像を示す。実施例１及び１３の場合、それぞれ、その最短ピッチの値は、図１１及び１４に示す７ｐの距離に該当する。なお、図１１及び１４に示される１ｗは凹部の幅に該当する。

＜剥離材の凸部の高低差、幅及び最短ピッチ＞
実施例で用いた剥離材の粘着剤層側の面に存在する凸部の高低差及び幅は、走査型電子顕微鏡（株式会社日立製作所製、製品名「Ｓ−４７００」）を用いて断面を観察して、走査型電子顕微鏡用の画像解析ソフトの計測機能を利用して測定した。
なお、図１０に、剥離材１の凸部の高低差等を測定した際のＳＥＭ画像を示す。剥離材１の凸部の高低差及び幅の値は、それぞれ、図１０に示す４ｈ及び４ｗの距離に該当する。
また、図１２に、剥離材１の凸部の最短ピッチを測定した際のＳＥＭ画像を示す。剥離材１の凸部の最短ピッチの値は、図１２に示す４ｐの距離に該当する。なお、図１２に示される４ｗは凸部の幅に該当する。

＜粘着シートの有機溶媒接触剥離性評価＞
後述する実施例１〜１２及び比較例１〜５で作製した粘着シートにおいて、それぞれ、粘着剤層（Ｘ２）を、次のとおり形成した凹部を有しない粘着剤層（Ｚ）に置き換えた有機溶媒接触剥離性評価用の各両面粘着シートを作製した。
具体的には、粘着剤層（Ｚ）用のアクリルポリマーとして、ｎ−ブチルアクリレート７７質量部と、メチルメタクリレート２０質量部と、２−ヒドロキシエチルアクリレート３質量部とを共重合してなるアクリル系共重合体（Ｔｇ＝−３３℃、質量平均分子量＝５０万）を用意した。
次に、当該アクリル系共重合体１００質量部に、架橋剤としてトリメチロールプロパンアダクトトリレンジイソシアネート（東ソー株式会社製、製品名「コロネート（登録商標）Ｌ」）を５質量部（有効成分比）添加してアクリル系粘着剤組成物を調製し、更に、トルエンを配合して希釈し、３０分間撹拌を行ってアクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
次に、後述する剥離材４の剥離処理面上に、前記アクリル系粘着剤組成物の溶液を、アプリケーターを用いて塗布し、乾燥温度１００℃で２分間、乾燥させて凹部を有しない粘着剤層（Ｚ）を厚さが２０μｍとなるように形成した。
そして、後述する実施例１〜１２及び比較例１〜５と同様にして作製した粘着剤層（Ｘ１）とＰＥＴ基材とからなる積層体のＰＥＴ基材の露出面上に、当該粘着剤層（Ｚ）の露出面を貼合して、有機溶媒接触剥離性評価用の両面粘着シートを作製した。
作製した有機溶媒接触剥離性評価用の各両面粘着シートを、それぞれ、縦（ＭＤ）５０ｍｍ×横（ＴＤ）５０ｍｍの大きさに切断した試験片を作製した。
また、ガラス板（株式会社コーニング製、製品名「イーグルＸＧ（登録商標）」、サイズ：長さ５０ｍｍ×幅５０ｍｍ×厚さ２ｍｍ）を２枚用意した。
そして、粘着剤層（Ｘ１）側の剥離材のみを除去し、表出した粘着剤層（Ｘ１）の表面に、前記ガラス板のうち１枚を、卓上ラミネータ（フジプラ株式会社製、製品名「ＬＰＤ３２１２」）を用いて２３℃、ラミネート速度３００ｍｍ／分の条件で圧着して貼り合わせた。
続いて、粘着剤層（Ｚ）側の剥離材４も除去し、表出した粘着剤層（Ｚ）の表面に、前記ガラス板のうち残りの１枚を、真空ラミネータ（ニッコー・マテリアルズ株式会社製、製品名「Ｖ−１３０」）を用いて６０℃、０．２ＭＰａ、３０秒間の条件で圧着して貼り合わせた。
その後、紫外線照射装置（リンテック株式会社製、製品名「ＲＡＤ−２０００ｍ／１２」）を用いて、照度１８０ｍＷ／ｃｍ^２、積算光量３００ｍＪ／ｃｍ^２の条件で粘着剤層（Ｘ１）上のガラス板の表面側からガラス板を通して、層（Ｘ１）側に紫外線を照射し硬化させ、有機溶媒接触剥離性評価サンプルを作成した。
得られた有機溶媒接触剥離性評価サンプルを、２５℃のメチルエチルケトン（ＭＥＫ）中に、層（Ｘ１）側が上側を向くように浸漬させて、層（Ｘ１）側に貼付したガラス板の全面が自己剥離するまでの時間を計測した。なお、メチルエチルケトンを入れた透明容器中に評価サンプルを平置きしても、自己剥離したガラス板と層（Ｘ１）との間に有機溶剤が浸入して、評価サンプルの剥離箇所と未剥離箇所とで屈折率に差が生じるため、透明容器の外からでも自己剥離の有無を目視で確認することが可能であった。
ここで、ＭＤ方向のＭＤとは、Ｍａｃｈｉｎｅ Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎの略記であり、ＭＤ方向は粘着シート成型時の長尺方向を意味する。また、ＴＤ方向のＴＤとは、Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎの略記で、ＴＤ方向は粘着シート成型時の幅方向を意味する。ここで、粘着シートにおける「ＭＤ方向」とは、粘着剤層（Ｘ１）を形成する際の粘着剤組成物を塗布した方向を指す。
得られた結果を下記表１に示す。

＜粘着シートの水接触剥離性評価＞
前述の有機溶媒接触剥離性評価用の両面粘着シートの作製方法で記載した方法と同様の方法を用いて、後述する実施例１３〜１５及び比較例６〜７で作製した粘着シートにおいて、それぞれ、粘着剤層（Ｘ２）を、前述の凹部を有しない粘着剤層（Ｚ）（厚さ２０μｍ）に置き換えた水接触剥離性評価用の各両面粘着シートを作製した。作製した水接触剥離性評価用の各両面粘着シートを、それぞれ、縦（ＭＤ）５０ｍｍ×横（ＴＤ）５０ｍｍの大きさに切断した試験片を作製した。
また、ガラス板（株式会社コーニング製、製品名「イーグルＸＧ（登録商標）」、サイズ：長さ５０ｍｍ×幅５０ｍｍ×厚さ２ｍｍ）を２枚用意した。
そして、粘着剤層（Ｘ１）側の剥離材のみを除去し、表出した粘着剤層（Ｘ１）の表面に、前記ガラス板のうち１枚を、卓上ラミネータ（フジプラ株式会社製、製品名「ＬＰＤ３２１２」）を用いて２３℃、ラミネート速度３００ｍｍ／分の条件で圧着して貼り合わせた。
続いて、粘着剤層（Ｚ）側の剥離材４も除去し、表出した粘着剤層（Ｚ）の表面に、前記ガラス板のうち残りの１枚を、真空ラミネータ（ニッコー・マテリアルズ株式会社製、製品名「Ｖ−１３０」）を用いて６０℃、０．２ＭＰａ、３０秒間の条件で圧着して貼り合わせ、水接触剥離性評価サンプルを作成した。
得られた水接触剥離性評価サンプルを、２５℃の純水の水槽中に、層（Ｘ１）側が上側を向くように浸漬させて、層（Ｘ１）側に貼付したガラス板の全面が自己剥離するまでの時間を計測した。なお、水槽中に評価サンプルを平置きしても、自己剥離したガラス板と層（Ｘ１）との間に水が浸入して、評価サンプルの剥離箇所と未剥離箇所とで屈折率に差が生じるため、水槽の外からでも自己剥離の有無を目視で確認することが可能であった。
ここで、当該評価方法における粘着シートにおける「ＭＤ方向」とは、粘着剤層（Ｘ１）を形成する際の前記粘着剤組成物を塗布した方向を指す。
得られた結果を下記表２に示す。

＜粘着剤層（Ｘ１）の粘着力＞
実施例及び比較例で作製した粘着シートと同様にして、それぞれ、粘着剤層（Ｘ２）を形成しない片面粘着シートを粘着力評価用サンプルとして作成した。当該評価サンプルを、それぞれ、縦（ＭＤ）３００ｍｍ×横（ＴＤ）２５ｍｍの大きさに切断した試験片を作製した。
そして、粘着剤層（Ｘ１）上の剥離材を除去し、表出した粘着剤層（Ｘ１）の表面を、シリコンミラーウェハのミラー面に対し、ＪＩＳ Ｚ０２３７：２０００に基づき２ｋｇのゴムローラーで貼付して貼り合わせた。
その後、２３℃、５０％ＲＨ（相対湿度）の環境下で２０分間静置した後、ＪＩＳ Ｚ０２３７：２０００に基づき、１８０°引き剥がし法により、引張速度３００ｍｍ／分にて粘着剤層（Ｘ１）をシリコンミラーウェハから引き剥がし、粘着剤層（Ｘ１）の粘着力を測定した。
なお、実施例１〜１２及び比較例１〜５で作製した粘着シートにおける当該粘着力は、下記表１中、紫外線照射前の粘着力を指す。
（紫外線照射後の粘着力）
実施例１〜１２及び比較例１及び２で作製した粘着シートについては、粘着剤層（Ｘ１）に紫外線を照射した後の粘着力も、以下の方法により測定した。
上記紫外線照射前の試験片と同様にして試験片を作製し、粘着剤層（Ｘ１）の表面を前記シリコンミラーウェハのミラー面に対し、同様の条件で貼付して貼り合わせた。その後、２３℃、５０％ＲＨ（相対湿度）の環境下で２０分間静置した後、紫外線照射装置（リンテック株式会社製、製品名「ＲＡＤ−２０００ｍ／１２」）を用いて、照度１８０ｍＷ／ｃｍ^２、積算光量３００ｍＪ／ｃｍ^２の条件で、ＰＥＴ基材側から粘着剤層（Ｘ１）に紫外線を照射した。
その後、２３℃、５０％ＲＨ（相対湿度）の環境下で２０分間静置した後、ＪＩＳ Ｚ０２３７：２０００に基づき、１８０°引き剥がし法により、引張速度３００ｍｍ／分にて粘着剤層（Ｘ１）をシリコンミラーウェハから引き剥がし、紫外線照射後の粘着剤層（Ｘ１）の粘着力を測定した。

［粘着シートの製造］

＜基材及び剥離材＞
以下に示す各略称は、それぞれ、以下の材料を表す。
・ＰＥＴ基材：ポリエチレンテレフタレートフィルム、東洋紡株式会社製、商品名「コスモシャイン（登録商標）」、品番「Ａ４３００」、厚さ ５０μｍ
・剥離材１：エンボス面にシリコーン剥離処理を施したフィルム、厚さ １３９μｍ（凸部高さを含む）、エンボスパターン 斜格子、パターンの最短ピッチ ２５０μｍ、凸部の断面形状 Ｖ字型、凸部高さ ９μｍ、凸部幅 ２０μｍ
・剥離材２：エンボス面にシリコーン剥離処理を施した樹脂層を有する剥離紙、厚さ １４３μｍ（凸部高さを含む）、エンボスパターン 平行斜線、パターンの最短ピッチ ７００μｍ、凸部の断面形状 Ｕ字型、凸部高さ ２３μｍ、凸部幅 ７１μｍ
・剥離材３：エンボス面にシリコーン剥離処理を施した樹脂層を有する剥離紙、厚さ １４２μｍ（凸部高さを含む）、エンボスパターン 波線、凸部の断面形状 Ｕ字型、凸部高さ ２２μｍ、凸部幅 ９８μｍ
・剥離材４：片面にシリコーン剥離処理を施したポリエチレンテレフタレートフィルム、製品名「ＳＰ−ＰＥＴ３８１０３１」、厚さ ３８μｍ、エンボス処理なし。

＜有機溶媒剥離性を有する粘着シートの製造及び評価＞
実施例１
ｎ−ブチルアクリレート（以下、「ＢＡ」とも略称する。）９５．５質量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート（以下、「２ＨＥＡ」とも略称する。）４．５質量部を共重合してなるアクリル系共重合体（Ｐ）に、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（以下、「ＭＯＩ」とも略称する。）を、２ＨＥＡのヒドロキシ基（１当量）に対して付加率が０．３３当量となるように付加して得たアクリル系共重合体（炭素−炭素二重結合基の濃度＝０．１３ｍｍｏｌ／ｇ、Ｔｇ＝−５２℃、質量平均分子量＝５０万）をアクリルポリマー（Ａ１）として用意した。
なお、前記炭素−炭素二重結合基の濃度は、次のとおり算出した。
まず、ＢＡの分子量１２８ｇ／ｍｏｌ、２ＨＥＡの分子量１１６ｇ／ｍｏｌ、ＭＯＩの分子量を１５５ｇ／ｍｏｌとする。そして、ＢＡ及び２ＨＥＡからなるアクリル系共重合体（Ｐ）１００ｇに対して付加させたＭＯＩのモル数は、２ＨＥＡのモル数が、４．５（ｇ）／１１６（ｇ／ｍｏｌ）＝０．０３９（ｍｏｌ）であり、当該２ＨＥＡのヒドロキシ基に対して付加率が０．３３当量であるので、０．０３９（ｍｏｌ）×３３％＝０．０１３（ｍｏｌ）と計算される。当該モル数におけるＭＯＩの質量は、０．０１３（ｍｏｌ）×１５５（ｇ／ｍｏｌ）＝２．０（ｇ）である。すなわち、ＢＡ及び２ＨＥＡからなるアクリル系共重合体（Ｐ）１００ｇに対してＭＯＩを２．０ｇ付加させたことになるので、得られるアクリルポリマー（Ａ１）の質量は１０２．０ｇとなる。結果、当該アクリルポリマー（Ａ１）中にＭＯＩは０．０１３（ｍｏｌ）含まれるので、当該アクリルポリマー（Ａ１）中における前記炭素−炭素二重結合基の濃度を、０．０１３（ｍｏｌ）／１０２．０（ｇ）＝０．１３×１０^−３（ｍｏｌ／ｇ）＝０．１３（ｍｍｏｌ／ｇ）と算出した。以下、実施例２以降の例でも同様に算出した。
次に、アクリルポリマー（Ａ１）１００質量部に、架橋剤としてトリメチロールプロパンアダクトトリレンジイソシアネート（東ソー株式会社製、製品名「コロネート（登録商標）Ｌ」）を５質量部（有効成分比）、光重合開始剤としての１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製、製品名「オムニラッド（登録商標）１８４」）を３質量部（有効成分比）添加してアクリル系粘着剤組成物を調製し、更に、トルエンを配合して希釈し、３０分間撹拌を行ってアクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
次に、前記剥離材１のエンボス面上に、前記アクリル系粘着剤組成物の溶液を、アプリケーターを用いて塗布し、乾燥温度１００℃で２分間、乾燥させて第１の粘着剤層（Ｘ１）を形成した。更に、粘着剤層（Ｘ１）の露出面に、前記ＰＥＴ基材を貼り合わせて積層した。
また、別途、用意した前記剥離材１のエンボス面上に、前記アクリル系粘着剤組成物の溶液を用いて、前記と同様にして第２の粘着剤層（Ｘ２）を形成した。
そして、前記粘着剤層（Ｘ１）に貼り合わせたＰＥＴ基材の露出面上に、当該粘着剤層（Ｘ２）の露出面を貼合して、粘着剤層（Ｘ）を両面に有する粘着シートを得た。

実施例２〜１２、及び比較例１〜５
それぞれ、アクリルポリマーとして、表１に示す組成のアクリルポリマーに変えたこと、及び剥離材の種類と粘着剤層の厚さとを表１に示すものに変えたこと以外は、実施例１と同様にして、表１に示す各粘着シートを得た。ただし、比較例１及び２のアクリル系粘着剤組成物の調製については、表１に示す組成のアクリルポリマーを用い、かつ、前記光重合開始剤を添加しないこと以外は、実施例１と同様にしてアクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
なお、表１中の「ＭＭＡ」とは、メチルメタクリレートの略称である。

実施例１〜１２及び比較例１〜５で得られた各粘着シートを前述の評価方法を用いて評価した。結果を下記表１に示す。

表１より、実施例１〜１２の粘着シートは、有機溶媒接触剥離性に優れ、比較例１〜５の粘着シートと比べて、有機溶媒に浸漬後、当該粘着シートが被着体から自己剥離するまでの時間が大幅に短縮されていることが確認された。また、実施例１〜１２の粘着シートでは、有機溶媒に浸漬する前の状態（紫外線照射後）でも、被着体を保持するために十分な粘着力を有することも確認できた。
実施例１〜１２の粘着シートは、粘着剤層（Ｘ）（層（Ｘ１）及び層（Ｘ２））を形成するアクリル系粘着剤組成物が、炭素−炭素二重結合基の濃度が０ｍｍｏｌ／ｇ超であるアクリルポリマー（Ａ）を含むことで、各粘着剤層（Ｘ）が有機溶媒により膨潤し易くなり、各粘着剤層（Ｘ）と被着体との界面に有機溶媒が浸入し易くなって、有機溶媒接触剥離性が向上していると考えられる。
更に、実施例１〜１２の粘着シートは、粘着剤層（Ｘ）（層（Ｘ１）及び層（Ｘ２））の被着体との貼付面に凹部を有するため、当該粘着シートを平面視した場合、有機溶媒に浸漬した際に前記凹部に沿って、前記粘着シートの外縁部から前記粘着シートの中央部まで有機溶媒が容易に侵入することが可能になる。
これらの理由から、実施例１〜１２の粘着シートは、比較例１〜５の粘着シートと比べて、有機溶媒接触剥離するまでの時間が著しく短縮されたものと考えられる。
一方、比較例１及び２の粘着シートは、粘着剤層（Ｘ）（層（Ｘ１）及び層（Ｘ２））の貼付面に凹部が存在するが、各粘着剤層（Ｘ）を形成するアクリル系粘着剤組成物が、炭素−炭素二重結合基の濃度が０ｍｍｏｌ／ｇ超であるアクリルポリマー（Ａ）を含まないため、層（Ｘ）が有機溶媒により膨潤しにくく、有機溶媒接触剥離するまでの時間が長くなる結果となったと考えられる。
また、比較例３〜５の粘着シートは、粘着剤層（層（Ｘ１）及び層（Ｘ２））の貼付面に凹部が存在しないため、当該粘着シートを有機溶媒に浸漬した後、各粘着剤層と被着体との界面には、前記粘着シートの外縁部からしか有機溶媒は侵入することができない。そのため、前記粘着シートが被着体から自己剥離可能となる程度にまで各粘着剤層と被着体との界面に有機溶媒が浸入するまでの時間を要したものと考えられる。
また、実施例１〜１２の粘着シートについて、前記有機溶媒接触剥離性評価で作成した評価サンプルをＭＥＫ中に浸漬する前に、光学デジタル顕微鏡（株式会社キーエンス製、製品名「デジタルマイクロスコープＶＨＸ−５０００」）を用いて、粘着剤層（Ｘ１）及び（Ｘ２）の表面を平面視（倍率：１００倍）した。その結果、実施例１〜１２の粘着シートの粘着剤層（Ｘ１）及び（Ｘ２）は両方ともに、表面の輪郭の任意の一箇所から前記輪郭の他の箇所まで連続的に結合した前記凹部が複数存在することも確認された。そして、当該連続的に結合した前記凹部は、前記粘着剤層（Ｘ）の表面の任意の一辺から他の一辺まで連続的に結合した凹部を形成していることも確認できた。
また、実施例１の粘着シートの粘着剤層（Ｘ）の表面に形成された凹部の最短ピッチは２５０μｍであり、実施例１１の粘着シートの粘着剤層（Ｘ）の表面に形成された凹部の最短ピッチは７００μｍであることも確認できた。

＜水接触剥離性を有する粘着シートの作成及び評価＞
（アクリル系粘着剤組成物の調製）
製造例１
カルボキシ基を有するアクリルポリマー（Ａ２）であるアクリル系共重合体（ｎ−ブチルアクリレート（ＢＡ）／２−ヒドロキシエチルアクリレート（２ＨＥＡ）／アクリル酸（ＡＡｃ）＝８５／１２／３（質量比）からなる原料単量体に由来の構成単位を有するアクリル系共重合体、質量平均分子量（Ｍｗ）：４０万）１００質量部（有効成分比）に対して、中和剤（Ｂ２）としてトリエタノールアミンを７質量部、及び、架橋剤（Ｄ）としてエポキシ系架橋剤（ナガセケムテックス株式会社製、製品名「デナコール（登録商標） ＥＸ−８１０」）７質量部（有効成分比）を配合してアクリル系粘着剤組成物を調製し、更に、トルエンを配合して希釈し、均一に撹拌して、アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。

製造例２
トリエタノールアミンを配合しなかったこと以外は、製造例１と同様にして、アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。

実施例１３
前記剥離材１のエンボス面上に、製造例１で調製したアクリル系粘着剤組成物の溶液を、アプリケーターを用いて塗布し、乾燥温度１００℃で２分間、乾燥させて第１の粘着剤層（Ｘ１）を形成した。更に、粘着剤層（Ｘ１）の露出面に、前記ＰＥＴ基材を貼り合わせて積層した。
また、別途、用意した前記剥離材１のエンボス面上に、製造例１で調製したアクリル系粘着剤組成物の溶液を用いて、前記と同様にして第２の粘着剤層（Ｘ２）を形成した。
そして、前記粘着剤層（Ｘ１）に貼り合わせたＰＥＴ基材の露出面上に、当該粘着剤層（Ｘ２）の露出面を貼合して、粘着剤層（Ｘ）を両面に有する粘着シートを得た。

実施例１４及び１５、並びに比較例６
それぞれ、剥離材として、下記表２に示す剥離材を用いたこと、及び、粘着剤層（Ｘ１）及び（Ｘ２）の各厚さを変更したこと以外は、実施例１３と同様にして、下記表２に示す各粘着シートを得た。

比較例７
粘着剤層（Ｘ１）及び（Ｘ２）を形成する粘着剤組成物として、製造例２で調製した粘着剤組成物を用いたこと以外は、実施例１３と同様にして粘着シートを得た。

実施例１３〜１５及び比較例６〜７で得られた各粘着シートを前述の評価方法を用いて評価した。結果を下記表２に示す。

表２より、実施例１３〜１５の粘着シートは、水接触剥離性に優れ、比較例６及び７の粘着シートと比べて、水に浸漬後、当該粘着シートが被着体から自己剥離するまでの時間が大幅に短縮されていることが確認された。また、水に浸漬する前の状態で、被着体を保持するために十分な粘着力を有することも確認された。
実施例１３〜１５の粘着シートは、粘着剤層（Ｘ）（層（Ｘ１）及び層（Ｘ２））の被着体との貼付面に凹部を有するため、当該粘着シートを平面視した場合、水に浸漬した際に前記凹部に沿って、前記粘着シートの外縁部から前記粘着シートの中央部まで水が容易に侵入することが可能となる。その結果、水接触剥離するまでの時間が著しく短縮されたものと考えられる。
一方、比較例６では、粘着剤層（層（Ｘ１）及び層（Ｘ２））の貼付面に凹部が存在しないため、当該粘着シートを水に浸漬した後、各粘着剤層と被着体との界面には、前記粘着シートの外縁部からしか水は侵入することができない。そのため、前記粘着シートが被着体から自己剥離可能となる程度にまで粘着剤層と被着体との界面に水が浸入するまでに長時間を要したものと考えられる。
また、比較例７では、粘着剤層（Ｘ）（層（Ｘ１）及び層（Ｘ２））の貼付面に凹部が存在するが、各粘着剤層（Ｘ）を形成する粘着剤組成物が中和剤（Ｄ）を含まないため、実施例１３〜１５の粘着シートと比べて、水接触剥離するまでの時間が長くなる結果となった。
この結果は、実施例１３〜１５の粘着シートが有する粘着剤層（Ｘ）が成分（Ａ２）、（Ｂ２）及び（Ｄ）を含む粘着剤組成物から形成された層であることで、層（Ｘ）の水膨潤性が向上し、より一層、粘着剤層（Ｘ）と被着体との界面に水が浸入し易くなり、水接触剥離性が向上していることを示していると考えられる。
また、実施例１３の粘着シートの粘着剤層（Ｘ）の表面に形成された凹部の最短ピッチは２５０μｍであり、実施例１４の粘着シートの粘着剤層（Ｘ）の表面に形成された凹部の最短ピッチは７００μｍであることも確認できた。
また、実施例１３〜１５の粘着シートについて、前記水接触剥離性評価で作成した評価サンプルを水槽に浸漬する前に、光学デジタル顕微鏡（株式会社キーエンス製、製品名「デジタルマイクロスコープＶＨＸ−５０００」）を用いて、粘着剤層（Ｘ１）及び（Ｘ２）の表面を平面視（倍率：１００倍）した。その結果、実施例１３〜１５の粘着シートの粘着剤層（Ｘ１）及び（Ｘ２）は両方ともに、表面の輪郭の任意の一箇所から前記輪郭の他の箇所まで連続的に結合した前記凹部が複数存在することも確認された。そして、当該連続的に結合した前記凹部は、前記粘着剤層（Ｘ）の表面の任意の一辺から他の一辺まで連続的に結合した凹部を形成していることも確認できた。

本発明の一態様である仮固定粘着シートは、被着体への貼付時には十分な粘着力を有しながらも、被着体から剥離する際には、溶剤と接触させることにより短時間で自己剥離させることが可能なため、剥離時に用いる溶剤と接触可能な被着体を用いる限り、あらゆる用途に適用可能である。
例えば、前述したような、電子デバイス用材料の製造工程等において用いる各種の仮固定用粘着シートとして好適に用いることができる。
また、本発明の一態様の仮固定粘着シートは、電子デバイス用途以外にも、例えば、前述したウィンドーフィルム等の保護フィルム用途、壁紙、ラッピングフィルム等の保護・意匠性付与用途、リターナブルラベル等の各種ラベル用途、一時的な掲示物等を貼付する際の使用等、種々の用途が挙げられる。
更に、本発明の一態様の仮固定粘着シートが、前述した連続した凹部形状を有する粘着剤層（Ｘ）を有する仮固定粘着シートである場合、例えば、前述した識別用、装飾用、塗装マスキング用、金属板等の表面保護用等にも好適に用いることができる。

１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０ 仮固定粘着シート
１００ 実施例における仮固定粘着シートの溶剤接触剥離性評価サンプル
１０１ 被着体（ガラス板）
１ 粘着剤層（Ｘ）の表面に存在する凹部
１ｈ 粘着剤層（Ｘ）の表面に存在する凹部の高低差
１ｗ 粘着剤層（Ｘ）の表面に存在する凹部の幅
２ 粘着剤層（Ｘ）
２ａ 粘着剤層（Ｘ）が有する凸部
２ｔ 粘着剤層（Ｘ）の厚さ
３ 基材
４ 剥離材
４−１ 第１の剥離材
４−２ 第２の剥離材
４ａ 剥離材が有する粘着剤層（Ｘ）の凹部と対をなす凸部
４ｈ 剥離材が有する凸部の高低差
４ｗ 剥離材が有する凸部の幅
４ｔ 剥離材の厚さ
４ｐ 剥離材が有する凸部の最短ピッチ
５ 粘着剤層（Ｘ）以外の粘着剤層（Ｚ）
６ 凹部１によって囲まれる領域
７ｆ 凹部１の縁間距離
７ｐ 凹部１の最短ピッチ

Claims (9)

1. 少なくとも一方の表面に凹部が存在する粘着剤層（Ｘ）を有し、溶剤接触剥離性を有する、仮固定粘着シート。
2. 前記凹部の高低差が０．５μｍ以上である、請求項１に記載の仮固定粘着シート。
3. 粘着剤層（Ｘ）を平面視した場合、粘着剤層（Ｘ）の表面の輪郭の一箇所から他の箇所まで連続的に結合した前記凹部が存在する、請求項１又は２に記載の仮固定粘着シート。
4. 粘着剤層（Ｘ）を溶剤中に浸漬させる前の前記粘着剤層（Ｘ）の凹部が存在する表面の粘着力が、０．０１〜１２．００Ｎ／２５ｍｍである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の仮固定粘着シート。
5. 粘着剤層（Ｘ）が、アクリル系粘着剤組成物により形成される、請求項１〜４のいずれか１項に記載の仮固定粘着シート。
6. 基材を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の仮固定粘着シート。
7. 電子デバイス用材料を支持体に仮固定することに用いる、請求項１〜６のいずれか１項に記載の仮固定粘着シート。
8. 前記電子デバイス用材料が、電子デバイス用ウェハである、請求項７に記載の仮固定粘着シート。
9. 電子デバイス用材料の加工及び／又は検査に用いられる、請求項１〜８のいずれか１項に記載の仮固定粘着シート。

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