JP2021118283A - シリコン試料の酸素濃度評価方法 - Google Patents
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Abstract
Description
CZ法もしくはFZ法で引き上げた、酸素濃度がそれぞれ異なるn型のシリコン試料を4水準用意した。試料1〜3がFZ法、試料4がCZ法により育成されたシリコンウェーハである。用意したシリコン試料の酸素濃度をSIMS法にて測定した。その結果を表1に示す。
実施例1として比較例1の試料1から3と同水準のシリコン試料を用意した。次に、加速電圧2(MV)、照射量2.5×1014(electrons/cm2)で電子線照射処理した後、フッ酸にてシリコン試料表面の酸化膜を除去した。試料の表面にはショットキー電極として金を蒸着し、裏面にはオーミック電極としてガリウムを刷り込んだ。そして、DLTS法にて試料のEc−0.17eVとEc−0.42eVの準位密度を評価した。また、予め作成しておいた図3の検量線を用いて、準位密度を酸素濃度に換算した。その結果を表2に示す。
続いて、比較例2として比較例1の試料4と同水準のシリコン試料を用意し、シリコン試料の処理を実施例1と同様に行った。そして、DLTS法にて試料のEc−0.17eVとEc−0.42eVの準位密度を評価した。また、予め作成しておいた図3の検量線を用いて、準位密度を酸素濃度に換算した。その結果を表2に示す。
SIMS法にて測定した酸素濃度が3.2ppmaであることから、試料4の酸素濃度が本発明の適用範囲外であるためこのような結果が得られた。
Ec−0.17eVの酸素濃度分布を検証するため、試料としてシリコンエピタキシャルウェーハを用意し、実施例1と同様の電子線照射処理を施した。DLTS法にてEc−0.17eVの準位密度の深さ分布を測定し、実施例1と同じ図3の検量線で酸素濃度の深さ分布へ換算した。その結果を図5に示す。図5によると、試料の表面側で酸素濃度が低くなる分布が得られたことが分かる。これは、試料がエピタキシャル成長する時の酸素の外方拡散挙動を反映しているためと考えられる。
続いて、実施例2の結果を検証するため、実施例2と同じ水準のエピタキシャルウェーハを試料としてSIMS法で評価した。その結果を図5に示す。図5によると、試料のバルク側で酸素濃度が高く、表面側で低い傾向があることが分かる。特に表面から5μmまでの領域はSIMS法の検出下限値以下の酸素濃度であり、酸素濃度を正確に測定することができなかった。
Claims (7)
- 酸素濃度が0.5ppma以下のシリコン試料中の酸素濃度を評価する方法であって、
前記シリコン試料に電子線又は酸素以外のイオンビームを照射して前記シリコン試料中に空孔を含んだ欠陥を形成し、前記空孔を含んだ欠陥の準位密度をDLTS法にて測定し、前記空孔を含んだ欠陥の準位密度に基づいて前記シリコン試料中の酸素濃度を評価することを特徴とするシリコン試料の酸素濃度評価方法。 - 酸素濃度が既知のシリコン試料を予め用意し、前記酸素濃度が既知のシリコン試料に電子線又は酸素以外のイオンビームを照射して前記酸素濃度が既知のシリコン試料中に空孔を含んだ欠陥を形成し、前記空孔を含んだ欠陥の準位密度をDLTS法にて測定し、測定した前記準位密度と前記酸素濃度が既知のシリコン試料の前記酸素濃度との検量線を作成し、前記検量線に基づいてシリコン試料中の酸素濃度を評価することを特徴とする請求項1に記載のシリコン試料の酸素濃度評価方法。
- 前記酸素濃度が既知のシリコン試料の酸素濃度は、SIMS法もしくはFT−IR法で求めた酸素濃度であることを特徴とする請求項2に記載のシリコン試料の酸素濃度評価方法。
- 前記空孔を含んだ欠陥の準位密度は、伝導帯の下端の準位をEcとして、Ec−0.17eVの密度であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のシリコン試料の酸素濃度評価方法。
- 前記空孔を含んだ欠陥の準位密度は、伝導帯の下端の準位をEcとして、Ec−0.42eVの密度であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のシリコン試料の酸素濃度評価方法。
- 前記空孔を含んだ欠陥の準位密度は、伝導帯の下端の準位をEcとして、DLTS法にてEc−0.17eVの準位密度の深さ分布を測定し、前記Ec−0.17eVの準位密度の深さ分布からシリコン試料の酸素濃度の深さ分布を評価することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のシリコン試料の酸素濃度評価方法。
- 酸素濃度が既知のシリコン試料の準位密度を測定し、測定した前記準位密度と前記酸素濃度が既知のシリコン試料の前記酸素濃度との検量線を作成し、前記検量線に基づいて前記酸素濃度の深さ分布を評価することを特徴とする請求項6に記載のシリコン試料の酸素濃度評価方法。
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