JP6638888B2 - シリコン結晶の窒素濃度測定方法 - Google Patents
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Description
FZ法により作製され、導電型がP型、窒素濃度が3.5×1015atoms/cm3、抵抗率が13ΩcmのPWシリコンウェーハ(ポリッシュト・シリコンウェーハ)を準備した。次に、準備したウェーハを分割し、一片にN2雰囲気下で600℃、10分の熱処理を行った。その後、試料表面にAl蒸着してショットキー電極を作製するとともに、その裏面にはGaを塗布してオーミック電極を作製し、DLTS測定が可能な試料にした。そして作製した試料を、セミラボ社製のDLTS装置により測定した。具体的にはショットキー電極に−5Vの逆バイアスを印加し、温度300〜40Kの範囲で掃引して窒素由来の不純物準位密度(Ev+0.66eVの密度)を測定した。
準備したPWシリコンウェーハの窒素濃度が1.3×1015atoms/cm3、抵抗率が14Ωcmであること以外は実施例1と同じ条件で、窒素由来の不純物準位密度を測定した。
実施例1と同一試料の別の分割片を用い、熱処理を行わないこと以外は実施例1と同様にして窒素由来の不純物準位密度を測定した。
実施例2と同一試料の別の分割片を用い、熱処理を行わないこと以外は実施例2と同様にして窒素由来の不純物準位密度を測定した。
Claims (4)
- シリコン結晶の不純物準位のうち窒素由来の準位密度を、窒素濃度が既知の第1シリコン結晶からDLTS法で測定し、その測定値を前記第1シリコン結晶の窒素濃度で除法して指標値とし、
窒素濃度が未知の第2シリコン結晶の前記準位密度をDLTS法で測定し、その測定値を前記指標値で除法して前記第2シリコン結晶の窒素濃度を算出する方法であって、
DLTS法により前記第1シリコン結晶及び前記第2シリコン結晶の前記準位密度を測定する際の前処理として、600〜900℃、10〜60分の熱処理を行うことを特徴とするシリコン結晶の窒素濃度測定方法。 - 前記第1シリコン結晶及び前記第2シリコン結晶はP型のシリコン結晶であり、
前記準位密度は、価電子帯の上端の準位をEvとして、Ev+0.66eVの密度であることを特徴とする請求項1に記載のシリコン結晶の窒素濃度測定方法。 - 前記第1シリコン結晶及び前記第2シリコン結晶はN型のシリコン結晶であり、
前記準位密度は、伝導帯の下端の準位をEcとして、Ec−0.44eVの密度であることを特徴とする請求項1に記載のシリコン結晶の窒素濃度測定方法。 - 前記第1シリコン結晶及び前記第2シリコン結晶はN型のシリコン結晶であり、
前記準位密度は、伝導帯の下端の準位をEcとして、Ec−0.20eV、−0.27eV、−0.44eV、−0.68eVの合計密度であることを特徴とする請求項1に記載のシリコン結晶の窒素濃度測定方法。
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