JP2021113582A - 配管制振装置および配管振動の制振方法 - Google Patents

配管制振装置および配管振動の制振方法 Download PDF

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Abstract

【課題】ポンプに接続する配管は、回転するポンプにより生じる振動が伝播することにより、ポンプの回転数に応じた一定の振動モードを有する振動を、配管の外周面に生じることがある。【解決手段】上記課題を解決するための配管制振装置は、発振源に接続する配管の外周面の振動を検知し、振動信号を出力する振動検出部と、前記振動信号を取得し、前記振動を制振させるための制振信号を出力する信号処理部と、前記振動検出部の位置に対応して配置され、前記制振信号に基づいて制振振動を発生する振動発生部と、を有し、前記信号処理部は、前記振動信号の振動モードを取得する振動特定手段と、実時間における前記振動信号の振幅がゼロ以上かを判定する判定手段と、前記振動を制振させるための前記制振信号を生成し、前記判定手段の判定結果に基づいて前記制振信号を出力する信号生成手段と、を備える。【選択図】図1

Description

本開示は、配管制振装置および配管振動の制振方法に関する。
プラント等の設備の配管はポンプ等の発振源に接続しており、ポンプ等が生じる回転振動は、配管に伝播する。配管の外周面が振動することにより、配管溶接部等の脆弱部に損傷をきたすおそれがある。
特許文献1には、除振対象である振動の絶対速度等と、前記除振対象と弾性体を介して結合する中間プレートの振動の絶対速度等とに基づいてPID補償器が生成した出力信号により駆動する圧電素子等によって中間プレートを駆動させ、除振対象を除振する能動振動絶縁装置が記載されている。
特開2000−136844号公報
ポンプに接続する配管は、回転するポンプにより生じる振動が伝播することにより、ポンプの回転数に応じた所定の振動モードを有する振動を、配管の外周面に生じることがある。
本開示は、このような問題に鑑みてなされたものであり、既存設備の配管に対しても簡便に取り付け可能な、配管制振装置の提供を目的とする。
上記課題を解決するための配管制振装置は、発振源に接続する配管の外周面の振動を検知し、振動信号を出力する振動検出部と、前記振動信号を取得し、前記振動を制振させるための制振信号を出力する信号処理部と、前記振動検出部の位置に対応して配置され、前記制振信号に基づいて制振振動を発生する振動発生部と、を有し、前記信号処理部は、前記振動信号の振動モードを取得する振動特定手段と、実時間における前記振動信号の振幅がゼロ以上かを判定する判定手段と、前記振動を制振させるための前記制振信号を前記判定手段の判定結果に基づいて生成し、前記制振信号を出力する信号生成手段と、を備える。
上記課題を解決するための配管振動の制振方法は、発振源に接続する配管の外周面の振動を検知し、振動信号を取得するステップと、前記振動信号の振動モードを取得するステップと、実時間における前記振動信号の振幅がゼロ以上かを判定するステップと、前記振動を制振するための制振信号を前記判定の結果に基づいて生成し、前記制振信号を出力するステップと、前記制振信号に基づいて、前記配管の前記外周面に、前記制振信号に基づいて制振振動を付加するステップと、を備える。
本開示によれば、回転機械に接続される配管において、回転機械の回転に伴う振動により配管の外周面に生じる振動に対応する周波数および位相差を有する制振振動を、振動発生部により配管の外周面に付加することで、配管の外周面の制振が可能となる。
図1は、第1実施形態に係る配管制振装置のブロック図である。 図2は、振動検出器および振動発生器が配置された配管を示した図である。 図3は、第2実施形態に係るリブ付き円筒薄肉配管部を示した図である。 図4は、第2実施形態に係るリブ付き円筒薄肉配管部の、図3のC−C断面における平面断面図である。 図5は、第2実施形態の変形例に係る円筒薄肉配管部を有する配管制振装置を示した図である。 図6は、本開示の実施形態に係る配管振動の制振方法を示すフローチャートである。
以下に、本開示に係る実施例について、図を参照して詳細に説明する。以下の説明では、配管20の長手方向を「軸線方向」、配管20の長手方向と直交する方向を「径方向」、配管20の軸線周りの方向を「周方向」と呼ぶことがある。本実施の形態で説明するのは、本開示の一実施例であり、これにより本発明が限定されるものではない。
本実施例においては、振動検出部110がひずみセンサの場合について説明する。但し、振動検出部110は、振動検出部110は、配管20の外周面22の振動を検出できればよく、ひずみセンサに限らない。振動検出部110は、例えば非接触方式の振動計でもよい。また、本実施例においては、振動発生部120が圧電駆動部の場合について説明する。但し、振動発生部120は所定の振動を配管20の外周面22に付加できればよく、圧電駆動部に限らない。
<第1実施形態>
以下に、配管制振装置100の実施例について、図1および図2を参照して説明する。配管20は、発振源10である渦巻きポンプ(以下ポンプ10と称する)と接続している。配管20は、発振源10と接続する反対側に屈曲部を有しており、配管20の直管部と屈曲部との接続は溶接にて行われ、脆弱部24を有している。配管20は、流体である例えば空気を流通させる。配管20の断面形状は、円筒形状をなしており、また配管20の厚みが配管20の直径に対して十分に小さい。すなわち、配管20は、いわゆる薄肉配管である。配管20の直径は、例えば1,000mmであり、配管20の厚みは、例えば7mmである。なお、配管20の断面形状は、円筒形状に限らない。配管20は、断面形状が矩形の配管であってもよい。
配管20は、ポンプ10の生じた振動が伝えられ、外周面22に伝播する。ここで、ポンプ10は、例えば内部に有する羽根車の回転数Nと、羽根車の翼の枚数Zとの積であるN・Zの周波数を有する、いわゆるN・Z振動を生じる。例えば、羽根車の翼の枚数Zが40枚であり、羽根車が50rpmの回転数を有する場合にポンプ10の生じるN・Z振動の周波数は、2,000Hzである。
周波数を有する振動がポンプ10から配管20に伝わった場合、配管20の外周面22には、振動モードを有する振動Vmが励起する。振動Vmにより、配管20の外周面22は、振動Vmの振動モードにおける節にあたる位置では配管20の外周面22は変位せず、振動モードにおける腹にあたる位置では、配管20の外周面22は山と谷の間で振幅を繰り返す挙動を示す。配管20の断面形状が円筒形状の場合において、振動Vmにより配管20の外周面22に生じる振動モードを有する振動は、オーバル振動とよばれる。
<配管制振装置>
配管制振装置100は、図1に示すように、ひずみセンサ110と、圧電駆動部120と、信号処理部130と、センサ入出力部140と、制御部150と、記録部160と、外部入出力部170と、を有する。ひずみセンサ110と圧電駆動部120とは、ポンプ10に接続する配管20の外周面22の、制振対象領域Aに配置される。配管制振装置100は、信号増幅器112を別に有し、ひずみセンサ110は、信号増幅器112を介して配管制振装置100に接続してもよい。圧電駆動部120は、振動制御部121を別に有し、圧電駆動部120は、振動制御部121を介して配管制振装置100に接続してもよい。
<振動検出部>
ひずみセンサ110(振動検出部)は、配管20の外周面22の振動Vpを検出し、検出した振動Vpに対応する振動信号Svを出力する。振動Vpには、振動モードの振動Vmが含まれている。振動モードの振動Vmは、ひずみセンサ110により制振対象成分Spとして検知され出力される。ひずみセンサ110は、図2に示すように、配管20の外周面22に配置される。ひずみセンサ110は、例えば接着剤により固定される。ひずみセンサ110は、配管20の外周面22の振動による変形に伴って屈曲し、ひずみを生じる。ひずみセンサ110は、自らのひずみ方向およびひずみ量に応じた振動信号Svを出力する。
ひずみセンサ110は、複数から構成されてもよい。ひずみセンサ110は、後述する制振対象領域A内または制振対象領域B内に配置されてもよい。ひずみセンサ110は、後述する配管20の外周面22の振動モードに対応した位置に配置されてもよい。
ひずみセンサ110から出力される振動信号Svは、配管20の外周面22が、配管20の径方向における外側に突出した場合に、すなわち、ひずみセンサ110が引っ張られた場合、例えばマイナスの電圧値となる。また、逆に配管20の外周面22が、配管20の径方向における内側に突出した場合、すなわち、ひずみセンサ110が縮められた場合、例えばプラスの電圧値となる。
<振動発生部>
圧電駆動部120(振動発生部)は、制振信号Sdに基づいて振動を発生する。圧電駆動部120は、配管20の外周面22に配置される。圧電駆動部120は、ひずみセンサの位置に対応した位置に配置される。ここで、「ひずみセンサの位置に対応した位置」とは、ひずみセンサ110の位置から制振対象成分Sp波長λの整数倍分離間した位置であることを意味する。圧電駆動部120は、配管20の外周面22に、例えば接着剤により固定される。配管20の外周面22は、圧電駆動部120の変形に伴って変形する。圧電駆動部120により制振振動Vdが付加される配管20の外周面22の領域は、制振対象領域Aを構成する。圧電駆動部120は、配管20の外周面22における、振動モードに対応した位置に配置されてもよい。
圧電駆動部120は、配管20の周方向に連なって配置された場合、圧電駆動部120が振動することにより振動を付加される配管20の外周面22の周方向の領域が制振対象領域Aとなる。また、圧電駆動部120は、配管20の軸方向に連なって配置された場合、圧電駆動部120により振動を付加される配管20の外周面22の軸方向の領域が、制振対象領域Bとなる。
圧電駆動部120は、例えばバイモルフ型の圧電素子を2層に積層させてなる。圧電駆動部120は、2層の圧電素子のうちの一方の層にプラスの極性の電圧を供給し、他方の層にマイナスの極性の電圧を供給すると、一方の層側に突出して変形し、逆に、2層のうちの一方の層にマイナスの極性の電圧を供給し、他方の層にプラスの極性の電圧を供給すると、他方の層側に突出して変形する。すなわち圧電駆動部120は、電圧の極性が所定の周期で連続して変化する交流電流を供給すると、供給する電圧の極性の変化に対応して突出する方向が変化する。ここで、圧電駆動部120は、供給される電圧値に応じて、突出する量が変化する。圧電駆動部120は、供給される電圧が正弦波のように周期的に変わる場合、圧電駆動部120の変形量も、供給される電圧に対応して、正弦波のように変化する。なお、圧電駆動部120は、バイモルフ型に限らない。
圧電駆動部120は、配管20の外周面22の振動が所定の振動モードを有する場合、配管20の外周面22の所定の振動モードの、例えば腹の位置に配置される。
圧電駆動部120は、第1圧電駆動部120Aおよび第2圧電駆動部120Bから構成されてもよい。圧電駆動部120は、第1圧電駆動部120Aおよび第2圧電駆動部120Bから構成される場合、センサ入出力部140において、第1圧電駆動部120Aには第1制振信号Sd1が出力され、第2圧電駆動部120Bには第2制振信号Sd2が出力されるよう接続される。
圧電駆動部120が、第1圧電駆動部120Aおよび第2圧電駆動部120Bから構成され、第1圧電駆動部120Aおよび第2圧電駆動部120Bが、配管20の外周面22に連なって配置される場合、例えば第1圧電駆動部120Aと第2圧電駆動部120Bとが交互に並ぶよう配置される。配管20の外周面22に連なって配置される第1圧電駆動部120A同士の離間距離は、例えばひずみセンサ110の位置と、制振振動の波長λの整数倍であり、外周面22に連なって配置される第2振動発生部120B同士の離間距離は、例えば制振振動Vdの波長λの整数倍である。第1圧電駆動部120Aは、例えばひずみセンサ110の位置に対応した位置に配置される。また、第2圧電駆動部120Bは、第1圧電駆動部120Aと、制振対象成分Spの波長λの(整数倍+1/2)分離間した位置に配置されてもよい。また、第2圧電駆動部120Bは、ひずみセンサ110の位置から制振対象成分Spの波長λの(整数倍+1/2)分離間した位置に配置されてもよい。
<信号処理部>
信号処理部130は、図1に示すように、ひずみセンサ110から出力された振動信号Svに基づき、制振対象成分Spについての制振振動Vdを出力する。信号処理部130は、振動特定手段152、判定手段154および信号生成手段156を有する。振動特定手段152、判定手段154および信号生成手段156は、信号処理部130が、記録部160に記録されているそれぞれのプログラムを実行することにより発現する。
<振動特定手段>
制御部150は、振動特定手段152により、ひずみセンサ110から取得した振動信号Svに基づき、振動モードの振動Vmについての制振対象成分Spについての周波数および波長λを取得する。具体的には、制御部150は、振動特定手段152により、振動信号Svについて所定の検波処理を行った後、周波数分析を行い、制振対象成分Spの周波数を特定する。制御部150は、振動特定手段152により、特定した制振対象成分Spの周波数に基づいて波長λを取得する。
<判定手段>
制御部150は、判定手段154により、配管20の外周面22に配置されたひずみセンサ110により検出される振動信号Vpについて、実時間における振幅がゼロ以上かの判定を行う。判定は、所定の周期にて行われる。ここで、「実時間における振幅」とは、制振対象成分Spの振動により時間経過とともに振幅を繰り返す配管20の外周面22の、所定の時点における振幅を意味する。「所定の時点」とは、例えば、制振振動Vdが出力される時点である。「所定の周期」は、配管20の外周面22の振動の周波数、ひずみセンサ110の出力性能および制御部150の処理速度等に基づいて、予め設定される。
<信号生成手段>
制御部150は、信号生成手段156により、制振対象成分Spを制振させるための制振信号Sdを判定手段154の判定結果に基づいて生成し、出力する。制御部150が、信号生成手段156により出力する制振信号Sdは、電圧出力である。制御部150は、信号生成手段156における制振信号Sdの出力を、判定手段154の判定結果に応じて行う。制御部150は、信号生成手段156により、判定手段154が所定の周期で判定するのに対応して制振信号Sdの出力を行う。
制振信号Sdは、制振信号Sdが正弦波を有する場合、ひずみセンサ110と圧電駆動部120との位置関係に応じて、制振対象成分Spと同じ位相または異なる位相を有する。ここで、「同じ位相」とは、ひずみセンサ110と圧電駆動部120との距離が、制振対象成分Spの波長λの(整数倍+1/2)分離間した位置において、制振対象成分Spと重なった場合に、互いに打ち消しあうことにより、制振対象成分Spを制振させる位相を意味する。また、「異なる位相」とは、ひずみセンサ110と圧電駆動部120との距離が、制振対象成分Spの波長λの整数倍分離間した位置において、制振対象成分Spと重なった場合に、互いに打ち消しあうことにより、制振対象成分Spを制振させる位相を意味する。つまり、振動信号Svと制振信号Sdとが同じ位相の周波数となる場合、ひずみセンサ110と圧電駆動部120の位置を、波長λの1/2だけ位置を異ならせることで、互いに打ち消し合うものとなる。
制振信号Sdが有する位相は、制振対象成分Spと同じ位相または制振対象成分Spの位相からπずれた位相である。また、制振信号Sdが有する位相は、制振対象成分Spの位相から1/2πずれた位相であってもよい。
制御部150は、圧電駆動部120が振動制御部121を介して配管制振装置100に接続する場合、振動特定手段152で特定された制振対象成分Spの周波数と、判定手段154の判定結果とを振動制御部121に対して出力する。すなわち、実時間における配管20の外周面22の振動の電圧出力についてゼロ以上と判定された場合、第1制振振動Vd1にマイナスを出力し、第2制振振動Vd2にプラスを出力し、また、判定結果で振動信号Svの電圧出力がゼロより少ないと判定された場合、第1制振振動Vd1にプラスを出力し、第2制振振動Vd2にマイナスを出力する。振動制御部121は、制振対象成分Spに基づく周波数を有し、かつ制御部150からの判定結果に基づき出力にされるプラスまたはマイナスを乗じた第1制振振動Vd1を生成して第1圧電駆動部120Aに出力し、また、制振対象成分Spに基づく周波数を有し、かつ制御部150からの判定結果に基づき出力されるマイナスまたはプラスを振幅に乗じた第2制振振動Vd2を生成し、第2圧電駆動部120Bに出力する。
<第2実施形態>
<円筒薄肉配管部>
以下に、配管制振装置100がリブ付き円筒薄肉配管部210を有する場合について、図3および図4を参照して説明する。図3には、リブ付き円筒薄肉配管部を有する配管制振装置200について説明する。リブ付き円筒薄肉配管部210は、図3に示すように、の外周面220には、ひずみセンサ110、圧電駆動部120およびリブ240が配置されている。
リブ付き円筒薄肉配管部210は、図3に示すように、ポンプ10と配管20との間に介装されている。リブ付き円筒薄肉配管部210は、両端にフランジ継手230を有し、フランジ継手bをポンプ10と、フランジ継手aを配管20と、それぞれフランジ接続され、ボルト232およびナット234で締結されている。リブ付き円筒薄肉配管部210とポンプ10または配管20との接続は、フランジ接続に限られない。
リブ付き円筒薄肉配管部210は、所定の直径を有する薄肉の円筒形状である。ここで、リブ付き円筒薄肉配管部210における「薄肉」とは、配管の厚みが配管の直径に対して十分に薄いことを意味する。リブ付き円筒薄肉配管部210における配管の直径と配管の厚みとの比は、例えば100:1である。
リブ240は、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220に、リブ付き円筒薄肉配管部210の軸方向に沿って、周方向において所定の間隔をおいて配置される。ここで、「所定の間隔」とは、例えばリブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220の、制振対象成分Spを有する振動モードの波長λの整数倍分の距離である。リブ240は、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220に、リブ付き円筒薄肉配管部210の一端のフランジ継手230Aからフランジ継手230Bに渡り配置されている。リブ240は、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220に、例えば溶接により固定される。
リブ240は、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220に、リブ付き円筒薄肉配管部210の周方向に沿って配置されてもよい。この場合においてリブ240は、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220の、振動モードにおける節にあたる位置に配置される。
リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220に圧電駆動部120が配置されることにより、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220には、制振対象領域Aが区画される。
圧電駆動部120は、図3に示すように、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220に周方向に連なって配置される。すなわち、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220に周方向の制振対象領域Aを有する。
圧電駆動部120は、図4に示すように、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220の、リブ240に対応する位置に配置される。圧電駆動部120は、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220の、リブ240から制振対象成分Spを有する振動モードの波長λの1/2分の長さの範囲内に配置される。圧電駆動部120は、例えばリブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220の、制振対象成分Spを有する振動モードの腹にあたる位置に配置される。また、圧電駆動部120は、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220の、リブ240から制振対象成分Spの波長λの1/4分の長さの範囲内に配置されてもよい。
圧電駆動部120は、図3に示すように、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220に、軸方向に複数の列をなして配置される。すなわち、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220に軸方向の制振対象領域Bを有する。この場合において、圧電駆動部120は、リブ付き円筒薄肉配管部210の外周面220の軸方向の振動モードにおける、例えば腹にあたる位置に配置される。
<変形例>
第2実施形態の変形例に係る円筒薄肉配管部を有する配管制振装置250について、図5を参照して説明する。円筒薄肉配管部を有する配管制振装置250は、円筒薄肉配管260の外周面262に、リブ240を有さない。
<配管振動の制振方法>
以下に、配管振動の制振方法について、図2および図6を参照して説明する。配管制振装置100は、配管振動の制振方法により、配管の振動Vpを検知し、振動Vpに対応した振動信号Svを取得するステップ(S10)と、振動信号Svに基づき振動Vpの振動モードを特定するステップ(S20)と、振動信号Svの振幅がゼロ以上かを判定するステップ(S30)と、振動モードおよび判定結果に対応する制振信号Sdを発生するステップ(S40)と、制振信号Sdにより振動発生器が変形するステップ(S50)と、を有する。以下に説明する配管制振装置100は、ひずみセンサ110と、圧電駆動部120と、信号処理部130と、センサ入出力部140と、制御部150と、記録部160と、外部入出力部170と、を有している。圧電駆動部120は、第1圧電駆動部120Aと、第2圧電駆動部120Bとを有する。ここで、第1圧電駆動部120Aは、配管20の外周面22に配置されるひずみセンサ110と、制振対象成分Spの波長λの整数倍分離間した位置に配置されており、第2圧電駆動部120Bは、制振対象成分Spの波長λの(整数倍+1/2)分離間した位置に配置されている。
配管制振装置100は、ひずみセンサ110により振動Vpを検知し、振動Vpに基づく振動信号Svを取得する(S10)。ここで、配管制振装置100が取得する振動信号Svには、ポンプ10から伝播した振動に基づく制振対象成分Spを含む。取得した振動信号Svは、記録部160に記録される。
配管制振装置100は、取得した振動信号Svから制振対象成分Spの振動モードを特定する(S20)。具体的には、配管制振装置100は、取得した振動信号Svについて所定の検波処理を行った後、周波数分析を行い、制振対象成分Spを特定する。配管制振装置100は、特定した制振対象成分Spについて周波数、位相および振動モードを取得する。
配管制振装置100は、振動信号Svから制振対象成分Spの実時間における振幅を取得し、ゼロ以上かを判定する(S30)。
配管制振装置100は、制振対象成分Spの実時間における振幅がゼロ以上と判定した場合(S30のYes)、すなわち、配管20の外周面20が円周方向における内側に突出していると判定した場合、第1制振信号Vd1にマイナス、第2制振振動Vd2にプラスを出力する(S40)。配管制振装置100は、振動制御部122において、第1制振振動Vd1にマイナスを乗じ、第2制振振動Vd2にプラスを乗じる。
第1圧電駆動部120Aは、第1制振信号Sd1により配管20の外周面22の円周方向における外側に突出するよう屈曲する。また、第2圧電駆動部120Bは、第2制振信号Sd2に配管20の外周面の22の円周方向における内側に突出するよう屈曲する(S50)。制御部150の判定手段154が判定する周期が制振対象成分Spと同じ場合、第1制振信号Sd1は、制振対象成分Spと同じ周波数で、かつ制振対象成分Spとπ異なる位相を有し、第2制振信号Sd2は、制振対象成分Spと同じ周波数で、かつ制振対象成分Spと同じ位相を有する。
配管制振装置100は、制振対象成分Spの実時間における振幅がゼロより小さいと判定した場合(S30のNo)、すなわち、配管20の外周面20が円周方向における内側に突出していると判定した場合、第1制振信号Vd1に対しマイナス、第2制振信号Vd2に対しプラスを出力する(S42)。配管制振装置100は、振動制御部122において、第1制振振動Vd1にマイナスを乗じ、第2制振振動Vd2にプラスを乗じる。すなわち、第1制振信号Sd1は、制振対象成分Spと同じ周波数で、かつ制振対象成分Spと同じ位相を有し、第2制振信号Sd2は、制振対象成分Spと同じ周波数で、かつ制振対象成分Spとπ異なる位相を有する。
第1圧電駆動部120Aは、第1制振信号Sd1により配管20の外周面22の円周方向における外側に突出するよう屈曲する。また、第2圧電駆動部120Bは、第2制振信号Sd2に配管20の外周面の22の円周方向における外側に突出するよう屈曲する(S52)。
<効果の説明>
以下に本開示に係るそれぞれの態様についての効果を説明する。
本開示の第1の態様に係る配管制振装置100は、発振源10に接続する配管20の外周面22の振動Vpを検知し、制振信号Sdを出力する振動検出部110と、振動信号Spを取得し、振動Vpを制振させるための制振信号Vdを出力する信号処理部130と、振動検出部110の位置に対応して配置され、制振信号Sdに基づいて制振振動Vdを発生する振動発生部120と、を有し、信号処理部130は、振動信号Spの振動モードを取得する振動特定手段152と、実時間における振動信号Svの振幅がゼロ以上かを判定する判定手段154と、振動Vpを制振させるための制振信号Sdを判定手段154の判定結果に基づいて生成し、制振信号Svを出力する信号生成手段156と、を備える。
第1の態様によれば、配管制振装置100は、発振源10に接続する配管20の外周面22の振動Vpを検知し、制振信号Sdを出力する振動検出部110と、制振信号Sdを取得し、振動Vpを制振させるための制振信号Vdを出力する信号処理部130と、振動検出部110の位置に対応して配置され、制振信号Sdに基づいて制振振動Vdを発生する振動発生部120と、を有し、信号処理部130は、振動信号Spの振動モードを取得する振動特定手段152と、実時間における振動信号Svの振幅がゼロ以上かを判定する判定手段154と、振動Vpを制振させるための制振信号Sdを判定手段154の判定結果に基づいて生成し、制振信号Svを出力する信号生成手段156と、を備えるので、振動Vpを制振するための制振振動Vdを配管20の外周面22に付加し、振動Vpを制振することができる。
本開示の第2の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様において、振動発生部120は、複数で構成されており、振動発生部120は、配管20の外周面22の周方向または軸方向に連なって配置される。
第2の態様によれば、配管制振装置100は、複数で構成されており、振動発生部1210は、配管20の外周面22の周方向または軸方向に連なって配置されるので、配管20の外周面22の周方向および軸方向において、振動Vpを制振することができる。
本開示の第3の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第3の態様のいずれかにおいて、振動発生部120は、振動検出部110の位置に対応して配置され、第1制振振動Vd1を発生する第1振動発生部120Aと、第1制振振動Vd1の位置に対応して配置され、第2制振振動Vd2を発生する第2振動発生部120Bと、から構成されており、信号生成手段156は、第1制振振動Vd1を発生させるための第1制振信号Sd1と、第1制振振動Vd1と異なる位相を有し、第2制振振動Vd2を発生させるための第2制振信号Sd1と、を生成して出力し、第1振動発生部120Aと第2振動発生部120Bとは、配管20の外周面22に、交互に配置される。
第3の態様によれば、配管制振装置100は、配管20の外周面22に交互に配置される第1振動発生部120Aおよび第2振動発生部120Bを有し、第1振動発生部120Aが発生する第1制振振動Vd1と、第2振動発生部120Bが発生する第1制振振動Vd1と異なる位相を有する第2制振振動Vd2とにより、配管20の外周面22の振動Vpを効率的に制振することができる。
本開示の第4の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第3の態様のいずれかにおいて、外周面22に連なって配置される第1振動発生部120A同士の離間距離は、振動Vpの波長の整数倍であり、外周面22に連なって配置される第2振動発生部同士の離間距離は、振動Vpの波長の整数倍である。
第4の態様によれば、配管制振装置100は、第1振動発生部120A同士の離間距離と、第2振動発生部120B同士の離間距離とを、振動Vpの波長の整数倍分の距離で配置することができる。なお、第1振動発生部120A同士の離間距離と、第2振動発生部120B同士の離間距離とは、振動Vpについての振動信号Svに含まれる制振対象成分Spの波長の整数倍分の距離であってもよい。
本開示の第5の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第4の態様のいずれかにおいて、第1振動発生部120Aと第2振動発生部120Bとは、配管20の外周面22の所定の振動モードに対応した位置にそれぞれ配置される。
第5の態様によれば、配管制振装置100は、第1振動発生部120Aと第2振動発生部120Bとは、配管20の外周面22の所定の振動モードに対応した位置で振動Vpを制振することができる。
本開示の第6の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第5の態様のいずれかにおいて、制振信号Sdの位相は、振動信号Spの位相に対してπ/2またはπの位相差を有する。
第6の態様によれば、配管制振装置100は、制振信号Sdの位相は、振動信号Spの位相に対してπ/2またはπの位相差を有するので、配管20の外周面22の振動Vpを効果的に制振することができる。
本開示の第7の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第6の態様のいずれかにおいて、振動発生部120は、圧電センサにより構成される。
第7の態様によれば、配管制振装置100は、圧電センサにより、配管20の外周面22に制振振動Vdを付加することができる。
本開示の第8の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第7の態様のいずれかにおいて、振動検出部110は、ひずみセンサにより構成される。
第8の態様によれば、配管制振装置100は、ひずみセンサにより、配管20の外周面22の振動Vpを検出することができる。
本開示の第9の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第8の態様のいずれかにおいて、振動検出部110は、発振源10から円筒薄肉配管部210の外周面220に伝わる振動Vpを検出し、振動発生部120は、円筒薄肉配管部210の外周面220に制振振動Vdを付加する。
第9の態様によれば、配管制振装置100は、円筒薄肉配管部210においても、第1の態様から第8の態様と同様の効果を奏することができる。
本開示の第10の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第9の態様のいずれかにおいて、円筒薄肉配管部210は外周面222にリブ240を有し、リブ240は、振動Vpの振動モードに対応した位置に配置される。
第10の態様によれば、配管制振装置100は、振動Vpの振動モードに対応した位置に配置されるリブ240を有するため、振動Vpの振動モードの節の位置を規定することができる。
本開示の第11の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第10の態様のいずれかにおいて、リブ240は、円筒薄肉配管部210の軸線方向または周方向に沿って配置される。
第11の態様によれば、配管制振装置100のリブ240は、円筒薄肉配管部210の軸線方向または周方向に沿って配置されるので、振動Vpの軸線方向または周方向における振動モードの位置を規定することができる。
本開示の第12の態様に係る配管制振装置100は、第1の態様から第11の態様のいずれかにおいて、振動発生部120は、円筒薄肉配管部210の外周面220の、リブ240の位置に対応して配置される。
第12の態様によれば、配管制振装置100の振動発生部120は、リブ240により規定された振動モードの節の位置に対応した位置で制振振動Vdを付加することができるので、効果的に制振することができる。
本開示の第13の態様に係る配管振動の制振方法は、発振源に接続する配管の外周面の振動を検知し、振動信号を取得するステップと、振動信号の振動モードを取得するステップと、実時間における振動信号の振幅がゼロ以上かを判定するステップと、振動を制振するための制振信号を判定の結果に基づいて生成し、制振信号を出力するステップと、制振信号に基づいて、配管の外周面に、制振信号に基づいて制振振動を付加するステップと、を備える。
第13の態様によれば、配管制振装置100は、配管振動の制振方法により、第1の態様に係る効果と同等の効果を奏することができる。
10 発振源、渦巻きポンプ、ポンプ
20 配管
22 外周面
100 配管制振装置
110 振動検出部、ひずみセンサ
112 信号増幅器
120 振動発生部、圧電駆動部
120A 第1振動発生部、第1圧電駆動部
120B 第2振動発生部、第2圧電駆動部
122 振動制御部
130 信号処理部
140 センサ入出力部
150 制御部
152 振動特定手段
154 判定手段
156 信号生成手段
160 記録部
170 外部入出力部
200 円筒薄肉配管部を有する配管制振装置
210 リブ付き円筒薄肉配管部
220 リブ付き円筒薄肉配管部の外周面
230、230A、230B フランジ継手
232 ボルト
234 ナット
240 リブ
250 円筒薄肉配管部(リブ無し)を有する配管制振装置
260 円筒薄肉配管部(リブ無し)
262 円筒薄肉配管部(リブ無し)の外周面
S10 配管の外周面の振動を取得するステップ
S20 振動の振動モードを特定するステップ
S30 振動信号の振幅がゼロ以上か判定するステップ
S40 制振信号を出力するステップ、第1制振信号にマイナス、第2制振信号にプラスを出力するステップ
S42 第1制振信号にプラス、第2制振信号にマイナスを出力するステップ
S50 振動発生部が振動を発生するステップ、第1振動発生部が位相+πで変形、第2振動発生部が位相ゼロで変形するステップ
S52 第1振動発生部が位相ゼロで変形、第2振動発生部が位相+πで変形するステップ
A 配管の周方向に区画される制振対象領域
B 配管の軸方向に区画される制振対象領域
Vm 振動モード(高次モード)の振動
Vp 配管の外周面の振動
Vd 制振振動
Vd1 第1制振振動
Vd2 第2制振振動
Sv 振動信号
Sp 制振対象成分
Sd 制振信号
Sd1 第1制振信号
Sd2 第2制振信号
λ 制振対象成分を有する振動モードの波長

Claims (13)

  1. 発振源に接続する配管の外周面の振動を検知し、振動信号を出力する振動検出部と、
    前記振動信号を取得し、前記振動を制振させるための制振信号を出力する信号処理部と、
    前記振動検出部の位置に対応して配置され、前記制振信号に基づいて制振振動を発生する振動発生部と、を有し、
    前記信号処理部は、前記振動信号の振動モードを取得する振動特定手段と、
    実時間における前記振動信号の振幅がゼロ以上かを判定する判定手段と、
    前記振動を制振させるための前記制振信号を前記判定手段の判定結果に基づいて生成し、前記制振信号を出力する信号生成手段と、を備える配管制振装置。
  2. 前記振動発生部は、複数で構成されており、
    前記振動発生部は、前記配管の前記外周面の周方向または軸方向に連なって配置される請求項1に記載の配管制振装置。
  3. 前記振動発生部は、前記振動検出部の位置に対応して配置され、第1制振振動を発生する第1振動発生部と、
    前記第1制振振動の位置に対応して配置され、第2制振振動を発生する第2振動発生部と、から構成されており、
    前記信号生成手段は、前記第1制振振動を発生させるための第1制振信号と、
    前記第1制振振動と異なる位相を有し、前記第2制振振動を発生させるための第2制振信号と、を生成して出力し、
    前記第1振動発生部と前記第2振動発生部とは、前記配管の前記外周面に、交互に配置される請求項2に記載の配管制振装置。
  4. 前記外周面に連なって配置される前記第1振動発生部同士の離間距離は、前記振動の波長の整数倍であり、
    前記外周面に連なって配置される前記第2振動発生部同士の離間距離は、前記振動の波長の整数倍である請求項3に記載の配管制振装置。
  5. 前記第1振動発生部と前記第2振動発生部とは、所定の前記振動モードに対応した位置にそれぞれ配置される請求項3または請求項4に記載の配管制振装置。
  6. 前記制振信号の位相は、前記振動信号の位相に対してπ/2またはπの位相差を有する請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の配管制振装置。
  7. 前記振動発生部は、圧電センサにより構成される請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の配管制振装置。
  8. 前記振動検出部は、ひずみセンサにより構成される請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の配管制振装置。
  9. 前記発振源と配管との間に介装され、前記配管より薄肉である円筒薄肉配管部を有し、
    前記振動検出部は、前記発振源から前記円筒薄肉配管部の外周面に伝わる振動を検出し、
    前記振動発生部は、前記円筒薄肉配管部の前記外周面に前記制振振動を付加する請求項1から8のいずれか一項に記載の配管制振装置。
  10. 前記円筒薄肉配管部は前記外周面にリブを有し、
    前記リブは、前記振動の前記振動モードに対応した位置に配置される請求項9に記載の配管制振装置。
  11. 前記リブは、前記円筒薄肉配管部の軸線方向または周方向に沿って配置される請求項10に記載の配管制振装置。
  12. 前記振動発生部は、前記円筒薄肉配管部の前記外周面の、前記リブの位置に対応して配置される請求項10または請求項11に記載の配管制振装置。
  13. 発振源に接続する配管の外周面の振動を検知し、振動信号を取得するステップと、
    前記振動信号の振動モードを取得するステップと、
    実時間における前記振動信号の振幅がゼロ以上かを判定するステップと、
    前記振動を制振するための制振信号を前記判定の結果に基づいて生成し、前記制振信号を出力するステップと、
    前記制振信号に基づいて、前記配管の前記外周面に、前記制振信号に基づいて制振振動を付加するステップと、を備える配管振動の制振方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20240027924A1 (en) * 2021-03-04 2024-01-25 Changxin Memory Technologies, Inc. Vibration attenuation structure and exposure device

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