JP2021092495A - リークテスト方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークを押圧する力をより小さくすることが可能なリークテスト方法を提供する。【解決手段】ワーク１０の開口部を塞ぐと共に対向配置された一対のマスキングユニット２、３と、一対のマスキングユニット２、３のうち一方のマスキングユニット２を駆動する駆動手段４と、一対のマスキングユニット２、３及び駆動手段４を格納するフレーム５と、を有する検査装置１を用いるリークテスト方法であって、駆動手段４が、マスキングユニット２を駆動してワーク１０を押圧する工程（ステップＳ１）と、ワーク１０を押圧したマスキングユニット２、３と、フレーム５と、の間にロック部材６を挟み込む工程（ステップＳ２）と、駆動手段４の駆動を解除し、リークを計測する工程（ステップＳ３）と、を備える、リークテスト方法。【選択図】図５

Description

本発明は、リークテスト方法に関する。

ワークの検査装置として、複数のマスキングユニットを用いてワークの開口部をシールし、ワーク内にエアを充填してリークを計測する装置が知られている。
例えば特許文献１には、対向配置された第一閉塞部材及び第二閉塞部材を駆動して複数の面に開口部を有するワークのリークテストを行う技術が開示されている。

特開２０１２−０４７７２１号公報

発明者らは、リークテスト方法に関し、以下の課題を見出した。
近年、コストダウンの観点から、ワークの薄肉化が進んでいる。リークテストする際には、ワークが有する開口部を複数のマスキングユニットを用いて塞ぐために、複数のマスキングユニットを駆動して大きな力でワークを押圧する必要がある。しかしながら、肉厚の薄いワークは、肉厚の厚いワークに比較して、大きな力で押圧される際に歪みが生じやすい。

本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、ワークを押圧する力をより小さくすることが可能なリークテスト方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するための一態様は、
ワークの開口部を塞ぐと共に対向配置された一対のマスキングユニットと、前記一対のマスキングユニットのうち一方のマスキングユニットを駆動する駆動手段と、前記一対のマスキングユニット及び前記駆動手段を格納するフレームと、を有する検査装置を用いるリークテスト方法であって、
前記駆動手段が、前記マスキングユニットを駆動して前記ワークを押圧する工程と、
前記ワークを押圧した前記マスキングユニットと、前記フレームと、の間にロック部材を挟み込む工程と、
前記駆動手段の駆動を解除し、リークを計測する工程と、を備える。

本発明に係るリークテスト方法は、駆動手段が、マスキングユニットを駆動してワークを押圧する工程と、ワークを押圧したマスキングユニットと、フレームと、の間にロック部材を挟み込む工程と、駆動手段の駆動を解除し、リークを計測する工程と、を備える。マスキングユニット２の上下動をロックした状態でリークを計測しているため、リーク計測時に駆動手段を用いてマスキングユニットを駆動する必要がない。したがって、ワークを押圧する工程においては、マスキングユニットが備えるシール部材を押しつぶすことができる程度の圧力でワークを押圧すればよい。このように本発明に係るリークテスト方法は、ワークを押圧する力をより小さくすることができる。

本発明によれば、ワークを押圧する力をより小さくすることが可能なリークテスト方法を提供することができる。

本実施形態に係る検査装置の模式断面図である。 本実施形態に係るリークテスト方法を示すフローチャートである。 ワークを押圧する際における、検査装置の模式断面図である。 ロック部材を挟み込む際における、検査装置の模式断面図である。 リークを計測する際における、検査装置の模式断面図である。

以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。ただし、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。

まず、図１を参照して、本実施形態に係るリークテスト方法を実施する装置（本実施形態に係る検査装置）の構成について説明する。図１は、本実施形態に係る検査装置の模式断面図である。図１に示すように、検査装置１は、一対のマスキングユニット２、３、駆動手段４、フレーム５、及びロック部材６を備える。マスキングユニット２は、マスキングプレート２１、及びシール部材２２を備える。マスキングユニット３は、マスキングプレート３１、及びシール部材３２を備える。なお、図１には、検査装置１に加えて、ワーク１０を図示している。

なお、当然のことながら、図１及びその他の図面に示した右手系ｘｙｚ直交座標は、構成要素の位置関係を説明するための便宜的なものである。通常、ｚ軸正方向が鉛直上向き、ｘｙ平面が水平面であり、図面間で共通である。

マスキングユニット２、３は、対向配置されており、図１に示すように、ワーク１０を挟み込むことができる。マスキングユニット２は、マスキングプレート２１及びシール部材２２を備える。マスキングユニット３は、マスキングプレート３１及びシール部材３２を備える。マスキングプレート２１、３１は、それぞれ板状部材であり、平行に配置されている。マスキングプレート２１、３１は、例えば矩形状の板である。マスキングプレート２１のマスキングプレート３１側の面には、シール部材２２が配置されている。マスキングプレート３１のマスキングプレート２１側の面には、シール部材３２が配置されている。シール部材２２、３２は、弾性材料を用いて構成される。シール部材２２、３２は、例えばＯリングである。

マスキングユニット２には、駆動手段４が接続されている。駆動手段４は、マスキングユニット２を駆動し、上下方向にスライドさせる。マスキングユニット３は、マスキングユニット２よりも下に配置されており、上下方向に移動しないように固定されている。したがって、ワーク１０をマスキングユニット２、３の間に配置した状態で駆動手段４によってマスキングユニット２を駆動すると、マスキングユニット２、３は、ワーク１０に押圧される。シール部材２２、３２は、マスキングユニット２、３がワーク１０に押圧されると、押しつぶされる。シール部材２２、３２は、押しつぶされることによって、マスキングユニット２、３とワーク１０との間隙をシールする。ワーク１０は、図示しない開口部をマスキングユニット２、３と接する面のうち少なくとも一方に有する。当該開口部は、マスキングユニット２、３とワーク１０との間隙がシールされることによって塞がれる。

マスキングユニット２、３、及び駆動手段４は、フレーム５に格納されている。フレーム５は、天板及び当該天板を支持する支柱等を備える。図１には、フレーム５が備える天板のみを図示している。ロック部材６は、フレーム５とマスキングユニット２との間に挟み込まれてマスキングユニット２を固定する部材である。ロック部材６は、具体的には、ワーク１０がマスキングユニット２、３の間に配置された状態でフレーム５とマスキングユニット２との間に挟み込まれることによって、マスキングユニット２の上下動をロックする部材である。ロック部材６は、例えば、図１に示すように、くさび状の部材である。ロック部材６がマスキングユニット２を固定している場合、駆動手段４を解除しても、マスキングユニット２、３が、ワーク１０を押圧し続ける状態を保つことができる。

次に、図２〜５を参照して、本実施形態に係るリークテスト方法を説明する。図２は、本実施形態に係るリークテスト方法を示すフローチャートである。図３は、ワークを押圧する際における、検査装置の模式断面図である。図４は、ロック部材を挟み込む際における、検査装置の模式断面図である。図５は、リークを計測する際における、検査装置の模式断面図である。図２に示すように、本実施形態に係るリークテスト方法は、少なくとも、ワーク１０を押圧する工程（ステップＳ１）と、ロック部材６を挟み込む工程（ステップＳ２）と、リークを計測する工程（ステップＳ３）と、を備える。

本実施形態に係るリークテスト方法では、まず、ワーク１０を押圧する工程（ステップＳ１）を行う。ワーク１０は、ワーク１０を押圧する工程（ステップＳ１）を行う前に、ワーク１０を搬入する工程において、マスキングユニット２、３の間に配置される。ワーク１０を搬入する工程では、駆動手段４を用いてマスキングユニット２を上方に持ち上げ、図示しない搬入手段を用いてマスキングユニット３上の所定の位置にワーク１０を配置する。ステップＳ１では、図１に示すように、駆動手段４を用いてマスキングユニット２を駆動することによって、ワーク１０を押圧する。マスキングユニット２、３でワーク１０を押圧すると、シール部材２２、３２は、押しつぶされる。ワーク１０は、押しつぶされたシール部材２２、３２から、反力を受ける。

次に、ロック部材６を挟み込む工程（ステップＳ２）を行う。ステップＳ２では、図４に示すように、ステップＳ１においてワーク１０を押圧した状態のマスキングユニット２と、フレーム５と、の間にロック部材６を挟み込む。続いて、リークを計測する工程（ステップＳ３）を行う。ステップＳ３では、図５に示すように、マスキングユニット２の駆動を解除した後に、図示しないエア導入手段を用いてワーク１０内にエアを導入し、図示しない圧力センサを用いてワーク１０内の圧力変化を計測することによって、ワーク１０のリークを計測する。ステップＳ２において、マスキングユニット２とフレーム５との間にロック部材６を挟み込むと、マスキングユニット２の上下動は、ロックされる。そのため、ステップＳ３においてマスキングユニット２の駆動を解除しても、マスキングユニット２、３がワーク１０を押圧した状態を保つことができる。

ここで、ステップＳ２を行わずにリークの計測を行う場合について考える。ロック部材６を挟み込む工程（ステップＳ２）を行わない場合、ステップＳ３において、マスキングユニット２の駆動を解除せずにエアを導入する必要がある。このとき、マスキングユニット２は、シール部材２２の反力とワーク１０の内圧力との和よりも大きな力でワーク１０を押圧することによって、マスキングユニット２、３とワーク１０とのシール性を確保することができる。したがって、エアをワーク１０に導入する前に、マスキングユニット２を駆動してシール部材２２の反力とワーク１０の内圧力との和よりも大きな力でワーク１０を押圧する必要がある。

一方、本実施形態に係るリークテスト方法では、ステップＳ２においてマスキングユニット２の上下動をロックしているため、駆動手段４を用いてマスキングユニット２を駆動せずにワーク１０のリークを計測することができる。また、ステップＳ１においては、シール部材２２、３２を押しつぶすことができる程度の圧力でワーク１０を押圧すればよい。このように、本実施形態に係るリークテスト方法は、ステップＳ２を行わずにリークの計測を行う場合に比較して、駆動手段４を用いてマスキングユニット２を押圧する力の大きさを小さくすることができる。そのため、押圧によるワーク１０の破損を抑制可能である。

以上で説明した本実施の形態に係る発明により、ワークを押圧する力をより小さくすることが可能なリークテスト方法を提供することができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。

１ 検査装置
２、３ マスキングユニット
２１、３１ マスキングプレート
２２、３２ シール部材
４ 駆動手段
５ フレーム
６ ロック部材
１０ ワーク

Claims (1)

1. ワークの開口部を塞ぐと共に対向配置された一対のマスキングユニットと、前記一対のマスキングユニットのうち一方のマスキングユニットを駆動する駆動手段と、前記一対のマスキングユニット及び前記駆動手段を格納するフレームと、を有する検査装置を用いるリークテスト方法であって、
   前記駆動手段が、前記マスキングユニットを駆動して前記ワークを押圧する工程と、
   前記ワークを押圧した前記マスキングユニットと、前記フレームと、の間にロック部材を挟み込む工程と、
   前記駆動手段の駆動を解除し、リークを計測する工程と、を備える、
   リークテスト方法。

Images