JP2021090024A - Sheet pasting device and sheet pasting method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。 The present invention relates to a sheet pasting device and a sheet pasting method.
被着体に接着シートを貼付して反りのない一体物を形成するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 A sheet affixing device for affixing an adhesive sheet to an adherend to form an integral body without warpage is known (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1に記載された保護テープ貼付け装置(シート貼付装置)では、冷却した保護テープT(接着シート)をウエハW(被着体)に貼付して、被着体に接着シートが貼付された一体物を形成するため、冷却機構や保冷機構といった大掛かりな設備が必要となり、複雑な構成となるという不都合を発生する。
However, in the protective tape affixing device (sheet affixing device) described in
本発明の目的は、簡単な構成で反りのない一体物を形成することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a sheet affixing device and a sheet affixing method capable of forming an integral body without warpage with a simple structure.
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention has adopted the configuration described in the claims.
本発明によれば、シート送り速度と相対移動速度とに速度差を生じさせて接着シートを被着体に貼付するので、大掛かりな設備を必要とせず、簡単な構成で反りのない一体物を形成することができる。 According to the present invention, since the adhesive sheet is attached to the adherend by causing a speed difference between the sheet feed speed and the relative moving speed, a large-scale equipment is not required, and an integral body having a simple structure and no warp can be obtained. Can be formed.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図1(B)〜(H)は、図1(A)と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印は省略する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
The X-axis, Y-axis, and Z-axis in the present embodiment are orthogonal to each other, the X-axis and the Y-axis are axes in a predetermined plane, and the Z-axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. To do. Further, in the present embodiment, with reference to the case of viewing from the front direction in FIG. 1 parallel to the Y axis, when the direction is shown without specifying the figure, "up" is "down" in the direction of the arrow on the Z axis. Is the opposite direction, "left" is the arrow direction of the X axis, "right" is the opposite direction, "front" is the middle front direction parallel to the Y axis, and "rear" is the opposite direction. Further, since FIGS. 1 (B) to 1 (H) are views viewed from the same direction as in FIG. 1 (A), arrows indicating the directions are omitted.
本発明のシート貼付装置EAは、接着シートASを供給する供給手段10と、被着体WKに対して相対移動し、供給手段10で供給された接着シートASを当該被着体WKに押圧して貼付し、当該被着体WKに接着シートASが貼付された一体物UP(図1(D)参照)を形成する押圧部材としての押圧ローラ23を有する押圧手段20とを有し、被着体WKに貼付された接着シートASを所定形状に切断するシート切断手段30と、被着体WKを支持する被着体支持手段40との近傍に配置されている。
The sheet sticking device EA of the present invention moves relative to the supply means 10 for supplying the adhesive sheet AS and the adherend WK, and presses the adhesive sheet AS supplied by the supply means 10 against the adherend WK. The adherend has a
供給手段10は、剥離シートRLに帯状の接着シートASが仮着された原反RSを支持する支持ローラ11と、支持ローラ11から繰り出された原反RSを案内する案内手段12と、シート貼付装置EAの自動運転が行われている間、案内手段12との間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収手段としての回収ローラ13と、被着体WKに貼付される前の接着シートASが当該被着体WKの被着面WK1に対して傾斜した姿勢を維持する傾斜姿勢維持手段であって駆動機器としてのリニアモータ14と、リニアモータ14のスライダ14Aに支持され、そのスライダ15Aで案内手段12を支持し、被着体WKに貼付される接着シートASの張力を所定の値に維持する張力維持手段であって駆動機器としてのリニアモータ15と、原反RSに繰出力を付与する繰出力付与手段16とを備えている。
案内手段12は、駆動機器としての直動モータ12Aの出力軸12Bに支持され、原反RSを案内するガイドローラ12Cとの間に原反RSを挟み込む押付部材12Dと、原反RSが掛け回され、接着シートASの張力を検知可能な張力検知手段としてのロードセル12Eの検知軸12Fに回転可能に支持された張力検知ローラ12Gと、剥離縁12Hで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板12Jと、駆動機器としての回動モータ12Kの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ12Lとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ12Mと、上記の各部材12A〜12Mを直接的または間接的に支持する案内フレーム12Nとを備えている。
繰出力付与手段16は、駆動機器としてのリニアモータ16Aの第1スライダ16Bに支持された繰出フレーム16Cと、繰出フレーム16Cに支持された駆動機器としてのリニアモータ16Dと、そのスライダ16Eに支持された駆動機器としての回動モータ16Fと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ16Gとで接着シートASを挟み込む駆動ローラ16Hと、繰出フレーム16Cに支持され、シート貼付装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ16Gとの間に存在する接着シートASに常に所定の張力を付与し、当該接着シートASを回収する回収手段としての回収ローラ16Jとを備えている。
The supply means 10 includes a support roller 11 for supporting the raw fabric RS on which the strip-shaped adhesive sheet AS is temporarily attached to the release sheet RL, a guide means 12 for guiding the raw fabric RS unwound from the support roller 11, and a sheet attachment. While the automatic operation of the device EA is being performed, the
The guide means 12 is supported by the
The feeding output imparting means 16 is supported by a feeding frame 16C supported by the first slider 16B of the
押圧手段20は、供給手段10と共用されるリニアモータ16Aと、その第2スライダ16Kに支持された駆動機器としてのリニアモータ21と、リニアモータ21のスライダ21Aに支持され、押圧ローラ23の押圧位置PP(図1(C)参照)に接着シートASを送るシート送り速度V1と、被着体WKおよび押圧ローラ23の相対移動速度V2とに速度差を生じさせ、一体物UPの反りを防止する反り防止手段としての回動モータ22と、回動モータ22の図示しない出力軸に支持された押圧ローラ23と、シート送り速度V1および相対移動速度V2のうち少なくとも一方を入力可能な操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段24とを備えている。本実施形態の場合、押圧ローラ23は、接着シートASを間に挟んで被着体WK上を転動し、接着シートASを被着体WKに押圧して貼付する構成とされ、回動モータ22は、押圧ローラ23に回転力を付与する構成とされている。なお、シート送り速度V1とは、押圧ローラ23の押圧面(押圧ローラ23の最外周の面)の回転する速度のことである。
シート切断手段30は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム31Aで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット31と、ブラケット32Aを介して先端アーム31Aに支持された切断部材としての切断刃32とを備えている。
The pressing
The sheet cutting means 30 is composed of a plurality of arms, and is a so-called articulated robot as a drive device capable of displaces what is supported by the
被着体支持手段40は、上面が外側支持面41Aとされた外側テーブル41と、外側テーブル41に形成された凹部41B内に配置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な内側支持面42Aを有する内側テーブル42とを備えている。
The adherend support means 40 is arranged in an outer table 41 whose upper surface is an
以上のシート貼付装置EAの動作を説明する。なお、以下では、シート送り速度V1を相対移動速度V2よりも速くすることで、一体物UPの反りを防止する場合を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。また、使用者が入力手段24を介し、シート送り速度V1を33mm/sと入力し、相対移動速度V2を30mm/sと入力した後、スタート信号を入力する。すると、供給手段10が直動モータ12Aを駆動し、図1(B)に示すように、押付部材12Dとガイドローラ12Cとで原反RSを挟み込んだ後、回動モータ16Fを駆動し、ガイドローラ12Cと駆動ローラ16Hとの間に存在する接着シートASの一部である貼付前シートAS1が弛まない程度に張力を付与する。次いで、供給手段10が回動モータ16Fの駆動を停止し、駆動ローラ16Hが回転しないように当該回動モータ16Fをロック状態とした後、リニアモータ15を駆動し、案内手段12を左右方向に移動させ、ロードセル12Eの検知結果を基に、貼付前シートAS1に所定の張力を付与する。なお、案内手段12内で原反RSが繰り出されると、供給手段10が回動モータ12Kを駆動し、剥離板12Jで接着シートASから剥離された剥離シートRLに所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収ローラ13方向に送る(以降も同じ)。
The operation of the above sheet pasting device EA will be described. In the following, a case where the warpage of the integrated object UP is prevented by making the sheet feed speed V1 faster than the relative movement speed V2 will be described.
First, with respect to the sheet sticking device EA in which each member is arranged at the initial position shown by the solid line in FIG. 1 (A), the user of the sheet sticking device EA (hereinafter, simply referred to as “user”) is as shown in the figure. After setting the original fabric RS in, a signal for starting operation is input via an operation means (not shown) such as an operation panel or a personal computer. Further, the user inputs the sheet feed speed V1 as 33 mm / s and the relative movement speed V2 as 30 mm / s via the input means 24, and then inputs the start signal. Then, the supply means 10 drives the
その後、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない運搬手段が、図1(A)に示すように、被着体WKを内側支持面42A上に載置すると、被着体支持手段40が図示しない減圧手段を駆動し、当該内側支持面42Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。この際、被着体WKの被着面WK1と外側支持面41Aとが同一平面内に位置する。次に、供給手段10および押圧手段20がリニアモータ16D、21を駆動し、図1(B)に示すように、駆動ローラ16Hおよび押圧ローラ23を下降させ、当該駆動ローラ16Hおよび押圧ローラ23で外側支持面41Aに接着シートASを所定の押圧力で押圧する。そして、押圧手段20がリニアモータ16Aおよび回動モータ22を駆動し、図1(C)に示すように、押圧ローラ23の押圧位置PPに接着シートASを33mm/sで送りつつ、押圧ローラ23を30mm/sで右方へ移動させる。これにより、押圧ローラ23は、接着シートAS上で早送り滑走するように回転し、押圧ローラ23の押圧位置PPに接着シートASを送る。このようにして押圧位置PPに送られた接着シートASは、縮み変形を伴うも、押圧ローラ23の押圧力によって延伸されて被着体WKに貼付される。これにより、接着シートASの延伸からの復元応力(接着シートASの左右方向における中央へ向かう力)が、縮み変形からの復元応力(接着シートASの左右方向における左右へ向かう力)に相殺され、一体物UPに反りが発生することを防止することができる(以下、このパターンを「第1パターン」という)。
After that, when the user or a transportation means (not shown) such as an articulated robot or a belt conveyor places the adherend WK on the
なお、上記のようにして接着シートASを貼付している最中は、供給手段10がリニアモータ14を駆動し、押圧ローラ23の移動距離と案内手段12の移動距離とが比例関係となるように、当該案内手段12を下降させるとともに、リニアモータ15を駆動し、ロードセル12Eの検知結果を基に、貼付前シートAS1に所定の張力が付与されるように案内手段12を左右方向に移動させる。次いで、被着体WKの被着面WK1および外側支持面41Aに所定の押圧力で接着シートASが貼付され、図1(B)に示すように、押圧ローラ23が外側テーブル41の右方所定位置に到達すると、供給手段10がリニアモータ14、16Aの駆動を停止する。その後、シート切断手段30が多関節ロボット31を駆動し、図1(D)に示すように、切断刃32を接着シートASに突き刺した後、当該切断刃32を被着体WKの外縁に沿って移動させて当該接着シートASを切断し、被着体WKに接着シートASが貼付された一体物UPを形成する。次に、シート切断手段30が多関節ロボット31を駆動し、切断刃32を初期位置に復帰させた後、被着体支持手段40が図示しない減圧手段の駆動を停止し、内側支持面42Aでの被着体WKの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない運搬手段が、一体物UPを内側テーブル42から取り去り、当該一体物UPを次工程に搬送する。
While the adhesive sheet AS is being attached as described above, the supply means 10 drives the linear motor 14, and the moving distance of the
次いで、供給手段10がリニアモータ16Aおよび回動モータ16Fを駆動し、図1(E)に示すように、駆動ローラ16Hを転動させながら、ピンチローラ16Gおよび駆動ローラ16Hを右方へ移動させ、外側支持面41Aから切断後の接着シートASを剥離する。その後、切断後の接着シートASが外側支持面41Aから剥離されると、供給手段10がリニアモータ16Aおよび回動モータ16Fの駆動を停止した後、供給手段10および押圧手段20がリニアモータ16D、21を駆動し、駆動ローラ16Hおよび押圧ローラ23を上昇させる。次に、供給手段10が直動モータ12Aを駆動し、押付部材12Dとガイドローラ12Cとでの原反RSの挟み込みを解除するとともに、駆動ローラ16Hが回転しないように回動モータ16Fをロック状態とする。そして、供給手段10および押圧手段20がリニアモータ14、15、16Aを駆動し、案内手段12を初期位置に復帰させるとともに、駆動ローラ16Hおよび押圧ローラ23を初期位置に復帰させることで、支持ローラ11から新たな原反RSを繰り出し、以降上記同様の動作が繰り返される。
Next, the supply means 10 drives the
なお、被着体WKは、接着シートASが貼付される前の段階や、接着シートASが貼付されて所定の処理が施された後の段階等において、被着面WK1の反対側の面である未貼付面WK2が内側となるように反るものがある。このような場合、例えば、使用者が入力手段24を介して、押圧ローラ23のシート送り速度V1を27mm/sと入力し、押圧ローラ23の右方への相対移動速度V2を30mm/sと入力する。これにより、押圧ローラ23は、接着シートAS上で遅れて滑走するように回転し、押圧ローラ23の押圧位置PPに接着シートASを送る。このようにして押圧位置PPに送られた接着シートASは、遅れて滑走する押圧ローラ23により、引っ張りを伴って被着体WKに貼付される。これにより、未貼付面WK2が内側となるように反ろうとする被着体WKの力が、接着シートASの引っ張りからの復元応力(接着シートASの左右方向における中央へ向かう力)に相殺され、一体物UPに反りが発生することを防止することができる(以下、このパターンを「第2パターン」という)。
The adherend WK is formed on the surface opposite to the adherend surface WK1 at a stage before the adhesive sheet AS is attached, a stage after the adhesive sheet AS is attached and a predetermined treatment is applied, and the like. There is something that warps so that a certain unattached surface WK2 is on the inside. In such a case, for example, the user inputs the sheet feed rate V1 of the
以上のような実施形態によれば、シート送り速度V1と相対移動速度V2とに速度差を生じさせて接着シートASを被着体WKに貼付するので、大掛かりな設備を必要とせず、簡単な構成で反りのない一体物UPを形成することができる。 According to the above embodiment, since the adhesive sheet AS is attached to the adherend WK by causing a speed difference between the sheet feed speed V1 and the relative movement speed V2, it does not require a large-scale equipment and is simple. It is possible to form an integral UP without warpage in the configuration.
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、接着シートを供給可能なものであれば、どんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。 The means and processes in the present invention are not limited as long as they can perform the operations, functions or processes described for the means and processes, much less the components of the mere embodiment shown in the above-described embodiment. It is not limited to the process at all. For example, the supply means may be any means as long as it can supply the adhesive sheet, and is not limited as long as it is within the technical scope in light of the common general technical knowledge at the time of filing (others). The means and process are the same).
供給手段10は、剥離シートRLに枚葉の接着シートASが複数仮着された原反を採用し、被着体WKの移動に合わせて当該接着シートASを供給する構成(例えば、特開2019−117834の実施形態で例示された構成のもの等)でもよいし、剥離シートRLが仮着されていない帯状または枚葉の接着シートASが採用されてもよいし、支持ローラ11やガイドローラ12C等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反RSを支持したり案内したりしてもよいし、原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、傾斜姿勢維持手段、張力維持手段および張力検知手段のうち少なくとも1つがなくてもよいし、剥離シートRLを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートRLを回収してもよいし、剥離シートRLを回収しなくてもよいし、ピンチローラ16Gおよび駆動ローラ16Hを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ11、案内手段12、回収ローラ13等を適宜移動させて接着シートASを供給してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で接着シートASを保持して繰り出してもよいし、ピンチローラ16Gおよび駆動ローラ16Hを移動させずにまたは移動させつつ、被着体支持手段40を移動させて外側支持面41Aから切断後の接着シートASを剥離してもよいし、ピンチローラ16Gおよび駆動ローラ16Hを昇降させない構成としてもよいし、例えば、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で切断後の接着シートASを保持し、当該保持手段と被着体支持手段40とを相対移動させて外側支持面41Aから切断後の接着シートASを剥離する構成としてもよいし、繰出力付与手段16を採用することなく、剥離シートRLを剥離板12Jの剥離縁12Hで折り返すことで、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離して供給する構成でもよい。
The supply means 10 adopts a raw fabric in which a plurality of single-wafer adhesive sheets AS are temporarily attached to the release sheet RL, and supplies the adhesive sheet AS in accordance with the movement of the adherend WK (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2019). It may be the configuration exemplified in the embodiment of −117834), a strip-shaped or single-wafer adhesive sheet AS to which the release sheet RL is not temporarily attached may be adopted, and the support roller 11 and the guide roller 12C may be adopted. Instead of each roller such as, the original fabric RS may be supported or guided by a plate-shaped member, a shaft member, etc., or the original fabric RS may be supported by folding it in a fan fold, for example, without winding it. Alternatively, at least one of the inclined posture maintaining means, the tension maintaining means, and the tension detecting means may be omitted, and the release sheet RL may be collected by folding it in a fan fold or chopping it with a shredder or the like without winding it. Alternatively, the release sheet RL may be simply collected without being wound or folded in a fan fold, the release sheet RL may not be collected, and the pinch roller 16G and the drive roller may be collected. The support roller 11, the guide means 12, the
押圧手段20は、リニアモータ16A以外の駆動機器で押圧ローラ23を左右方向に移動させてもよいし、押圧ローラ23を移動させずにまたは移動させつつ、被着体WKおよび接着シートASを移動させ、当該被着体WKに接着シートASを押圧して貼付してもよいし、押圧ローラ23を昇降させない構成としてもよいし、図1(F)に示すように、押圧ローラ23に対する接着シートASの接触面積を増加させる接触面積増加手段としてのピンチローラ25を採用してもよい。なお、このようなピンチローラ25は、押圧ローラ23とで接着シートASを挟み込んでもよいし、挟み込まなくてもよい。
上記実施形態では回動モータ22を反り防止手段として例示したが、回動モータ22に代えて、または、回動モータ22と併用し、第2スライダ16Kを駆動させるリニアモータ16Aを反り防止手段としてもよい。この場合、第1パターンを再現するには、押圧手段20がリニアモータ16Aおよび回動モータ22を駆動し、押圧ローラ23の押圧位置PPにシート送り速度V1で接着シートASを送りつつ、このシート送り速度V1よりも遅い相対移動速度V2で押圧ローラ23を右方へ移動させればよいし、第2パターンを再現するには、このシート送り速度V1よりも速い相対移動速度V2で押圧ローラ23を右方へ移動させればよい。
反り防止手段は、シート送り速度V1を33mm/sよりも速い速度としたり、遅い速度としたりしてもよいし、相対移動速度V2を30mm/sや27mm/sよりも速い速度としたり、遅い速度としたりしてもよく、シート送り速度V1と相対移動速度V2とに速度差を生じさせて一体物UPの反りを防止することができれば、どのようなシート送り速度V1で接着シートASを送ってもよいし、どのような相対移動速度V2で被着体WKと押圧ローラ23とを相対移動させてもよい。
反り防止手段は、シート送り速度V1および相対移動速度V2を1つの被着体WKの部位毎に異なる速度としてもよいし、シート送り速度V1および相対移動速度V2を被着体WK毎に異なる速度としてもよいし、入力手段として、相対移動速度V2を検知するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等を採用し、当該入力手段で検知した相対移動速度V2よりも速いシート送り速度V1や遅いシート送り速度V1で、押圧ローラ23の押圧位置PPに接着シートASを送る構成としてもよいし、入力手段として、押圧ローラ23の押圧位置PPに接着シートASを送るシート送り速度V1を検知するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等を採用し、当該入力手段で検知したシート送り速度V1よりも遅い相対移動速度V2や速い相対移動速度V2で被着体WKと押圧ローラ23とを相対移動させる構成としてもよい。
反り防止手段は、シート送り速度V1のみを入力可能な入力手段24が採用されてもよいし、相対移動速度V2のみを入力可能な入力手段24が採用されてもよいし、シート送り速度V1および相対移動速度V2の両方を入力可能な入力手段24が採用されてもよいし、入力手段24を採用しなくてもよく、例えば、予め設定されたシート送り速度V1で接着シートASを押圧位置PPに送ったり、予め設定された相対移動速度V2で被着体WKと押圧ローラ23とを相対移動させたりしてもよい。
反り防止手段は、供給手段10と押圧ローラ23との間に位置し、供給手段10で供給された接着シートASを押圧位置PPに送る構成とされてもよい。このような反り防止手段は、例えば、図1(G)に示すように、リニアモータ21のスライダ21Aに支持された支持プレート26Aと、支持プレート26Aに支持された駆動機器としての回動モータ26Bと、回動モータ26Bの図示しない出力軸に支持された駆動ローラ26Cと、支持プレート26Aに支持され、駆動ローラ26Cとの間に接着シートASを挟み込むピンチローラ26Dとで構成された反り防止手段26が採用されてもよいし、図1(H)に示すように、リニアモータ21のスライダ21Aに支持された支持プレート27Aと、支持プレート27Aに支持された駆動機器としての回動モータ27Bと、回動モータ27Bの図示しない出力軸に支持された駆動プーリ27Cと、支持プレート27Aに支持された従動プーリ27Dと、駆動プーリ27Cおよび従動プーリ27Dに掛け回されたエンドレスベルト27Eと、エンドレスベルト27Eを案内する案内板27Fと、エンドレスベルト27Eとの間に接着シートASを挟み込むピンチローラ27Gとで構成された反り防止手段27が採用されてもよい。
押圧部材は、図1(G)、(H)に示すように、大気やガス等の気体の吹き付けにより接着シートASを被着体WKに貼付する気体吹付部材28を採用してもよい。なお、押圧部材は、図1(G)、(H)中二点鎖線で示すように、気体吹付部材28に代えてまたは、気体吹付部材28と併用して押圧ローラ23を採用してもよい。
The pressing means 20 may move the
In the above embodiment, the
As the warp prevention means, the sheet feed speed V1 may be set to a speed faster or slower than 33 mm / s, and the relative moving speed V2 may be set to a speed faster or slower than 30 mm / s or 27 mm / s. The adhesive sheet AS may be fed at any sheet feeding speed V1 as long as a speed difference is generated between the sheet feeding speed V1 and the relative moving speed V2 to prevent the integrated object UP from warping. Alternatively, the adherend WK and the
As the warp prevention means, the sheet feed speed V1 and the relative movement speed V2 may be set to different speeds for each part of one adherend WK, or the sheet feed speed V1 and the relative movement speed V2 may be set to different speeds for each adherend WK. As the input means, an imaging means such as a camera or a projector that detects the relative moving speed V2, various sensors such as an optical sensor or an ultrasonic sensor, etc. are adopted, and the relative moving speed detected by the input means is adopted. The adhesive sheet AS may be fed to the pressing position PP of the
As the warp prevention means, an input means 24 capable of inputting only the sheet feed rate V1 may be adopted, an input means 24 capable of inputting only the relative movement speed V2 may be adopted, and the sheet feed rate V1 and the sheet feed rate V1 and The input means 24 capable of inputting both the relative moving speeds V2 may be adopted, or the input means 24 may not be adopted. For example, the adhesive sheet AS is pressed at the preset sheet feed rate V1 at the pressing position PP. Or the adherend WK and the
The warp prevention means may be located between the supply means 10 and the
As the pressing member, as shown in FIGS. 1 (G) and 1 (H), a gas spraying member 28 that attaches the adhesive sheet AS to the adherend WK by spraying a gas such as air or gas may be adopted. As the pressing member, as shown by the alternate long and short dash line in FIGS. 1 (G) and 1 (H), the pressing
シート切断手段30は、切断部材として接着シートASを切断可能なものであればどのようなものが採用されてもよく、例えば、切断刃32の延出方向(図1(A)の状態におけるZ軸方向)に対し、峰が平行で刃先が傾斜した切断刃32が採用されてもよいし、切断刃32の延出方向に対し、刃先が平行で峰が傾斜した切断刃32が採用されてもよいし、切断刃32の延出方向に対し、刃先および峰の両方が傾斜した切断刃32が採用されてもよいし、本来峰となる側にも刃が存在する所謂両刃を備えた切断刃32が採用されてもよいし、丸刃や鋸刃等のその他の形状の切断刃32が採用されてもよいし、ニクロム線や金属線等の電熱線や、ワイヤやベルト等の線状刃物等が採用されてもよいし、ブラケット32Aに支持されていなくてもよいし、切断刃32を移動させずにまたは移動させつつ、被着体支持手段40を移動させて接着シートASを切断してもよいし、図1(D)に示すように、切断刃32における切先側が被着体WKから遠ざかる方向に当該切断刃32を傾斜させて接着シートASを切断してもよいし、同切先側が被着体WKに接近する方向に当該切断刃32を傾斜させて接着シートASを切断してもよいし、同切先側が被着体WKから遠ざかる方向にも接近する方向にも傾斜させることなく接着シートASを切断してもよいし、被着体WKの外縁と同形状となるように接着シートASを切断してもよいし、被着体WKの外縁よりも被着体WKから離れた位置で接着シートASを切断してもよいし、被着体WKの外縁の形状とは関係なく接着シートASを切断してもよいし、接着シートASのみを切断してもよいし、接着シートASおよび被着体WKの両方を切断してもよいし、切断刃32を着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、切断刃32の着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、本発明のシート貼付装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
Any sheet cutting means 30 may be used as a cutting member as long as it can cut the adhesive sheet AS. For example, Z in the extending direction of the cutting blade 32 (Z in the state of FIG. 1A). A
被着体支持手段40は、外側支持面41Aや内側支持面42Aが円形、多角形または楕円形等どのような形状でもよいし、内側支持面42Aが被着体WKの外縁と同じ大きさや異なる大きさでもよいし、外側支持面41Aおよび内側支持面42Aの少なくとも一方が吸着保持ができる構成でもよいし、それら両方が吸着保持ができない構成でもよいし、内側支持面42A内に、被着体WKをリフトアップ可能な駆動機器やリフト台を設けてもよいし、被着体WKを支持した際、当該被着体WKの被着面WK1と外側支持面41Aとが同一平面内に位置しなくてもよいし、外側支持面41Aと内側支持面42Aとの間に間隔がなくてもよいし、本発明のシート貼付装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
The adherend support means 40 may have any shape such as a circular, polygonal or elliptical shape for the
本発明における接着シートASおよび被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The material, type, shape, etc. of the adhesive sheet AS and the adherend WK in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS may have a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape such as a triangle or a quadrangular shape, or any other shape, or may have an adhesive shape such as pressure-sensitive adhesiveness or heat-sensitive adhesiveness. When a heat-sensitive adhesive sheet AS is adopted, it may be adhered by an appropriate method such as providing an appropriate coil heater for heating the adhesive sheet AS or a heating means such as a heating side of a heat pipe. Further, such an adhesive sheet AS has three layers, for example, a single layer having only an adhesive layer, a material having an intermediate layer between the base material and the adhesive layer, and a cover layer on the upper surface of the base material. Further, it may be a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling the base material from the adhesive layer, and the double-sided adhesive sheet may have a single layer or a multi-layer intermediate layer. , It may be a single layer or a multi-layer without an intermediate layer. The adherend WK includes, for example, foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit boards, information recording boards such as optical disks, glass plates, steel plates, pottery, wood boards or resins. It may be a single product or a composite product formed of two or more of them, and any form of a member or an article can be targeted. The adhesive sheet AS can be read in a functional and versatile manner, for example, an information description label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, a recording layer forming resin sheet, or the like. Sheets, films, tapes, etc. may be used.
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
The drive device in the above embodiment is an electric device such as a rotary motor, a linear motor, a linear motor, a single-axis robot, an articulated robot having two or three or more axes of joints, an air cylinder, a hydraulic cylinder, and a rodless. In addition to being able to employ actuators such as cylinders and rotary cylinders, it is also possible to adopt a combination of these directly or indirectly.
In the above embodiment, when a rotating member such as a roller is adopted, a driving device for rotationally driving the rotating member may be provided, or the surface of the rotating member or the rotating member itself can be deformed by rubber, resin, or the like. It may be composed of a member, the surface of the rotating member or the rotating member itself may be composed of a member that does not deform, or another member such as a shaft or a blade that rotates or does not rotate may be adopted instead of the roller. Alternatively, when a pressing means such as a pressing roller or a pressing head or a pressing member that presses a pressed object is adopted, a roller, a round bar, or a blade may be used in place of or in combination with the above-exemplified one. A member such as a material, rubber, resin, or sponge may be adopted, or a structure that presses by blowing a gas such as air or gas may be adopted, or a deformable member such as rubber or resin may be used to press. It may be composed of, or it may be composed of a member that does not deform, and when a peeling means such as a peeling plate or a peeling roller or a peeling member for peeling an object to be peeled is adopted, it is illustrated above. A plate-shaped member, a round bar, a roller, or the like may be used in place of or in combination with the material, or the material to be peeled off may be made of a deformable member such as rubber or resin, or may be deformed. It may be composed of members that do not, or when a member that supports (holds) a supported member (held member) such as a supporting (holding) means or a supporting (holding) member is adopted, a mechanical chuck or a chuck cylinder. Such as gripping means, Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli suction, suction suction, drive equipment, etc. to support (hold) the supported member. Is used, or when a member to be cut such as a cutting means or a cutting member is cut, or a member having a cut or a cutting line is formed in the member to be cut, instead of the one illustrated above. Alternatively, use a cutter blade, laser cutter, ion beam, thermal power, heat, water pressure, heating wire, spraying gas or liquid, etc. to cut, or use a combination of appropriate drive equipment to cut. You may move what you want to do and cut it.
EA シート貼付装置
10 供給手段
20 押圧手段
22 回動モータ(反り防止手段)
23 押圧ローラ(押圧部材)
24 入力手段
AS 接着シート
PP 押圧位置
UP 一体物
V1 シート送り速度
V2 相対移動速度
WK 被着体
EA
23 Pressing roller (pressing member)
24 Input means AS Adhesive sheet PP Pressing position UP Integrated product V1 Sheet feed speed V2 Relative movement speed WK Adhesion
Claims (5)
被着体に対して相対移動し、前記供給手段で供給された前記接着シートを当該被着体に押圧して貼付し、当該被着体に前記接着シートが貼付された一体物を形成する押圧部材を有する押圧手段とを有し、
前記押圧手段は、前記押圧部材の押圧位置に前記接着シートを送るシート送り速度と、前記被着体および前記押圧部材の相対移動速度とに速度差を生じさせ、前記一体物の反りを防止する反り防止手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。 Supply means for supplying the adhesive sheet and
Pressing to move relative to the adherend, press and attach the adhesive sheet supplied by the supply means to the adherend, and form an integral body to which the adhesive sheet is attached to the adherend. It has a pressing means having a member and
The pressing means causes a speed difference between the sheet feeding speed of feeding the adhesive sheet to the pressing position of the pressing member and the relative moving speed of the adherend and the pressing member, and prevents the one piece from warping. A sheet affixing device characterized by being provided with a warp prevention means.
前記反り防止手段は、前記押圧部材に回転力を付与する構成とされていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 The pressing member is configured to roll on the adherend with the adhesive sheet sandwiched between them, and press and attach the adhesive sheet to the adherend.
The sheet sticking device according to claim 1, wherein the warp preventing means is configured to apply a rotational force to the pressing member.
被着体に対して押圧部材を相対移動させ、前記供給工程で供給された前記接着シートを当該被着体に押圧して貼付し、当該被着体に前記接着シートが貼付された一体物を形成する押圧工程とを実施し、
前記押圧工程では、前記押圧部材の押圧位置に前記接着シートを送るシート送り速度と、前記被着体および前記押圧部材の相対移動速度とに速度差を生じさせ、前記一体物の反りを防止する反り防止工程を行うことを特徴とするシート貼付方法。 The supply process for supplying the adhesive sheet and
The pressing member is relatively moved with respect to the adherend, the adhesive sheet supplied in the supply step is pressed against the adherend and attached, and the integral body to which the adhesive sheet is attached is attached to the adherend. Perform the pressing process to form
In the pressing step, a speed difference is generated between the sheet feeding speed of feeding the adhesive sheet to the pressing position of the pressing member and the relative moving speed of the adherend and the pressing member to prevent the one piece from warping. A sheet pasting method characterized by performing a warp prevention process.
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