JP2021089175A - プローブカード収納ケース、プローブカードのブリム部及びプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】従来の射出成型による樹脂製のプローブカード収納ケースは、形状誤差が大きく、収納したプローブカードが移動中に振動し、破損してしまう可能性があった。【解決手段】本発明のプローブカード収納ケースは、合成樹脂製の一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ合成樹脂製の他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部は、底板と、該底板の外周縁部から立設した側壁部と、上記底板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部とよりなり、上記一方のケース部は、射出成型により成型され、また、上記他方のケース部は、天井板と、該天井板の外周縁部から垂下した側壁部と、上記天井板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部とよりなり、上記他方のケース部は、射出成型により一体により成型されていることを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウエハ検査用のプローブカードを収納するケースに関するものである。

（１．従来の説明）

半導体チップ（ウエハ）製造の最終検査においては、プローブカードを用いて、半導体チップの良否を測定する。該半導体チップは、非常に精度の高い品質が求められており、プローブカードのプローブ（探針）も、精度の高いものとなる。

そして、このプローブカードを移動する際、ホコリなどから保護するために、プローブカード収納ケースが必要となる。

図２２〜図２９は、従来のプローブカード１と、該プローブカード１を収納するための従来のプローブカード収納ケース２を示す。

（１．１．プローブカード１の説明）

上記プローブカード１は、例えば、図２３及び図２４に示すように、円板状のセラミック製のプローブカード基板３と、該プローブカード基板３の下面の中央部に設けられた多数のプローブ（探針）４と、上記セラミック製のプローブカード基板３の上面に固定された、該プローブカード基板３の補強用のスティフナー（補強材）５とよりなる。該スティフナー５は、例えば、リング状に形成され、上記該プローブカード基板３よりも大きく形成されている。

また、上記スティフナー５の外周縁部の所望の位置に、半径方向外方に突出した板状のブリム部（突出板部）６が、所望の距離離間して複数形成される。該ブリム部６には、例えば、上記プローブカード収納ケース２に収納されたプローブカードに係合して取り出すためのプローブカード取出し具（図示せず）の雄ネジ部が螺合されるネジ孔２１が設けられると共に、該ブリム部６の外周縁６ａには、上記プローブカード収納ケース２に位置決めするための凹部などの一方の位置決め部７が形成されている。

なお、上記プローブカード取出し具は、収納されたプローブカードを安定して持ち上げるために、互いに離間した、少なくとも３つの雄ネジ部を有すると共に、上記プローブカードには、該雄ネジ部に螺合されるネジ孔２１を有するブリム部６が、上記雄ネジ部の位置と数に対応して設けられている。

また、上記ブリム部６には、ネジ孔２１や一方の位置決め部７を有せず、例えば、バーコードなどの識別標識などが設けられる場合もある。

（１．２．従来のプローブカード収納ケース２の説明）

また、上記従来のプローブカード収納ケース２は、例えば、図２５及び図２６に示すように、プローブカード挿入用の上面開口部を有する箱状の下側ケース部８と、該下側ケース部８の上面開口部を開閉自在に塞ぐ上側ケース部９とよりなる。そして、上記下側ケース部８及び上記上側ケース部９は、それぞれ形状精度を良くする関係上、アルミ製で形成され、または、合成樹脂板（プラスチック製板）を貼り合わせて形成されている。

そして、上記下側ケース部８は、例えば、矩形板状の底板８ａと、該底板８ａの外周縁から立設した矩形板状の側壁部８ｂとよりなり、該底板８ａの上面の所望の位置に、プローブカードの位置決め用の載置台１０が、例えば、３箇所、所望の距離離間して、上記底板８ａにネジ又は接着等により固定して設けられる。

また、該位置決め用の載置台１０は、上記プローブカード１を上記底板８ａから所望の高さで載置する平坦状の載置面１１を有する載置部１０ａと、上記載置面１１の外側部分に上方に突出して形成された、内側面に、上記一方の位置決め部７に係合する、例えば凸部などの他方の位置決め部１２を有する突出部１０ｂとよりなる。

なお、上記突出部１０ｂの内側面は、上記ブリム部６の外周縁６ａの面に合致した形状に形成されている。

また、上記上側ケース部９は、例えば、矩形板状の天井板９ａと、該天井板９ａの外周縁から垂下した矩形板状の側壁部９ｂとよりなる。そして、上記下側ケース部８の側壁部８ｂの上端と、上記上側ケース部９の側壁部９ｂの下端とが当接することにより、上記下側ケース部８の上面開口部が、上記上側ケース部９により塞がれるようになる。

なお、１３は、上記上側ケース部９の天井板９ａの下面に設けた、下方に突出した、棒状の押さえ部材を示す。そして、上記プローブカード１を収納した上記下側ケース部８に、上記上側ケース部９により塞いだ時に、上記プローブカード１のブリム部６を、上記載置台１０の載置面１１と上記押さえ部材１３の下端により挟持することにより、上記プローブカード１を上記収納ケース２に固定できるようになる。

なお、１３ａは、上記押え部材１３の下端に設けた弾性部材であり、１０ｃは、上記載置台１０の上端に形成した弾性部材を示す。なお、この場合、該弾性部材１０ｃの上面が載置面１１を形成する。

また、２ａは、上記下側ケース部８の一方の側辺と、上記上側ケース部９の一方の側辺とを傾動自在に連結したヒンジ部である。

例えば、従来のプローブカード収納ケースとしては、特許文献１がある。

実用新案登録第３１７１６８７号公報

（２．従来のプローブカード収納ケースの欠点の説明）

上記従来のプローブカード収納ケース２は、形状精度を良くする関係上、アルミ製で形成され、または、合成樹脂板（プラスチック製板）を貼り合わせて形成され、重量が重かった。

そのため、射出成型による一体成型で、合成樹脂製のプローブカード収納ケースを形成することが提案されている。

また、上記プローブカード１も重いため、スティフナー５を用いないプローブカード１４が提案されている。

なお、図２７〜図２９は、上記スティフナー５のないプローブカード１４を示す。該プローブカード１４は、セラミック製のプローブカード基板３の外周縁部の所望の位置に、半径方向外方に突出した、別体で形成した複数の板状のブリム部１５が、ネジ止めや接着等により固定されて形成される。

しかしながら、例えば、射出成型により、４３０ｍｍ×４３０ｍｍ×６８ｍｍ、板厚５ｍｍの合成樹脂製のプローブカード収納ケースを作成した場合、０．２ｍｍもの形状誤差が生じ、形状誤差が大きいため、プローブカードを正確に位置決めすることができず、使用に耐えられないものであった。

また、上記プローブカード取出し具は、まず、下側ケース部に位置決めし、そして、該プローブカード取出し具の雄ネジ部を、収納されたプローブカードのネジ孔に螺合して固定するようにするが、下側ケース部の形状誤差が大きいと、雄ネジ部の位置と、ネジ孔の位置が一致せず、螺合できない場合があった。

また、上記のように形成されたプローブカード収納ケース２に、スティフナーのないプローブカード１４を収納した場合、正確に位置決めされないため、移動中にガタツキがあり、プローブカード基板３が振動し、プローブカード基板３が割れたり、ブリム部１５が上記プローブカード基板から取れてしまうそれがあった。

本発明は、形状誤差の少ないプローブカード収納ケースを提供することを目的とする。また、スティフナーを有しないプローブカードであっても収納できる、射出成型により成形した合成樹脂製のプローブカード収納ケースを提供することを目的とする。

また、射出成型により成形した合成樹脂製のプローブカード収納ケースであっても、プローブカード取出し具により、収納されたプローブカードを容易に取り出せることを目的とする。

（３．本発明の構成要件の説明）

本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する合成樹脂製の一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部は、底板と、該底板の外周縁部から立設した側壁部と、上記底板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部とよりなり、上記一方のケース部は、射出成型により成型されていることを特徴とする。

また、本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ合成樹脂製の他方のケース部とよりなり、上記他方のケース部は、天井板と、該天井板の外周縁部から垂下した側壁部と、上記天井板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部とよりなり、上記他方のケース部は、射出成型により成型されていることを特徴とする。

また、上記底板に、収納されるプローブカードを載置すると共に位置決めする載置台を有し、該載置台は、上記プローブカードを所望の高さに載置する載置面を有する合成樹脂製の載置部と、該載置部に、該載置部に対して移動自在に設けられた、上記プローブカードに形成された一方の位置決め部に、位置決めされる他方の位置決め部が、その内周側面に形成された突出部と、上記載置台に上記突出部を固定する固定手段とよりなり、上記載置部は、上記底板と共に射出成型により形成されることを特徴とする。

また、本発明のプローブカード収納ケースは、プローブカードを収納する合成樹脂製の一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、上記一方のケース部の底板に、収納されるプローブカードを載置すると共に位置決めする載置台を有し、該載置台は、上記プローブカードを所望の高さに載置する載置面を有する合成樹脂製の載置部と、該載置部に、該載置部に対して移動自在に設けられた、上記プローブカードに形成された一方の位置決め部に、位置決めされる他方の位置決め部が、その内周側面に形成された突出部と、上記載置台に上記突出部を固定する固定手段とよりなり、上記載置部は、上記底板と共に射出成型により形成されることを特徴とする。

また、上記突出部の内側縁に凹部が形成され、該凹部は、下端に折曲部が形成された、軸周りに回動自在な棒状の係合杆を有するプローブカードの取出し具の、該係合杆の折曲部の一部が挿入可能であることを特徴とする。

また、本発明のプローブカードのブリム部は、外周縁に、半径方向内側に延びる切り欠き部を有し、該切り欠き部は、下端に折曲部が形成された、軸周りに回動自在な棒状の係合杆を有するプローブカード取出し具の、該折曲部が挿入されることを特徴とする。

本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法は、底板と、該底板の外周縁部から立設した側壁部と、上記底板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部と、収納されるローブカードを所望の高さに載置する載置面を有する載置部とを樹脂により射出成型により一体に成型する第一の工程と、
上記成型された載置部に、上記プローブカードに形成された一方の位置決め部に、位置決めされる他方の位置決め部が、その内周側面に形成された突出部を載置する第二の工程と、上記載置部の載置面に、プローブカードを載置する第三の工程と、上記突出部を、上記プローブカードの一方の位置決め部に、上記突出部の他方の位置決め部が一致するように移動させる第四の工程と、上記突出部を、上記載置部に上記固定手段により固定する第五の工程と、上記載置されたプローブカードを取り出す第六の工程とよりなることを特徴とする。

（４．本発明の効果の説明）

本発明によれば、射出成型による樹脂製のプローブカード収納ケースであっても、形状誤差を少なく製作することができる。

また、突出部を半径方向に移動自在に設けたので、収納するプローブカードを正確に位置決めすることができるようになる。

本発明のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の平面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する平面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大平面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大平面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大縦断側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する拡大平面図である。 本発明のプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法を説明する縦断側面図である。 本発明のプローブカードの平面図である。 本発明の他のプローブカードの平面図である。 本発明のプローブカード取外し具の側面図である。 本発明のプローブカード収納ケースのプローブカード取外し具の使用方法の説明用拡大平面図である。 本発明のプローブカード収納ケースのプローブカード取外し具の使用方法の説明用拡大平面図である。 従来のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。 プローブカードの縦断側面図である。 プローブカードの平面図である。 従来のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。 従来のプローブカード収納ケースの下側ケース部の平面図である。 他のプローブカードの平面図である。 他のプローブカードの縦断側面図である。 従来のプローブカード収納ケースの縦断側面図である。

以下図面によって本発明の実施例を説明する。

なお、特に説明しない部分は、上記従来例と同じであり、説明を省略する。

（５．１．本発明のリブ部１７の説明）

図１及び図２は、本発明の射出成型により一体に成型したプローブカード収納ケース１６を示す。該プローブカード収納ケース１６においては、従来の下側ケース部８において、側壁部８ｂの内側面と上記底板８ａの上面とを連結する、所望の距離離間した複数のリブ部１７を設ける。

また、同様に、従来の上側ケース部９において、側壁部９ｂの内側面と上記天井板９ａの下面とを連結する、所望の距離離間した複数のリブ部１７を設ける。

従来、合成樹脂製のプローブカード収納ケースを射出成型により成型した場合、０．２ｍｍもの成形誤差が生じ、使用に耐えられないものであったが、本発明においては、リブ部１７を設けたことにより、形状誤差を小さくすることができるようになる。

また、上記リブ部１７がない場合、上側ケース部（又は下側ケース部）の側壁部厚さは、強度を高める必要性から、５ｍｍ以上とする必要があったが、リブ部１７を設けることにより、４ｍｍ以下とすることができ、その結果、重量を２０％以上軽量化することができるようになった。

また、該リブ部１７は、例えば、直角三角形状の板状に形成し、該リブ部１７の厚さは、上記側壁部の厚さよりも薄くなるようにし、例えば、厚さが半分以下となるように形成する。

該リブ部１７を薄くすることにより、特に、半分以下とすることにより、合成樹脂製の上記下側ケース部（又は下側ケース部）を射出成型により形成した時、側壁部を形成する原料供給量よりも、リブ部を形成する原料供給量を大幅に減らすようにすることにより、原料を供給した時、上記側壁部８ｂ側の原料供給量（供給圧）の不足による側壁部の上面が下方（又は下面が上方に）に撓むことを防止でき、形状精度を高めることができるようになる。

（５．２．本発明の載置台１８の説明）

また、従来においては、載置部１０ａと突出部１０ｂとが一体に形成された載置台１０を床板８ａにネジ又は接着等により固定したのに対し、本発明においては、載置台１８を設け、該載置台１８は、図１〜図１６に示すように、上記プローブカード１、１４を、上記下側ケース部８の底板８ａから所望の高さで載置する載置面１９を有する載置部１８ａと、該載置部１８ａとは別体に形成した、内側面に、上記プローブカード１、１４の一方の位置決め部７に係合する、例えば凸部などの他方の位置決め部１２を有する突出部１８ｂと、該突出部１８ｂを、上記載置部１８ａに固定するための固定手段２０とにより構成する。

そして、合成樹脂製の載置部１８ａを、上記合成樹脂製の床板８ａと共に射出成型により一体に成型すると共に、該突出部１８ｂを、上記載置部１８ａとは別体で設け、そして、該突出部１８ｂを、上記載置面１９上に、半径方向に移動自在に設けると共に、該突出部１８ｂを、所望の位置で、上記載置部１８ａに上記固定手段２０により固定できるようにする。

上記固定手段２０は、例えば、上記載置部１８ａの載置面１９の面に対して垂直方向に設けた、断面が円形状の貫通孔２０ａと、上記突出部１８ｂに、垂直方向に貫通して設けた、半径方向に延びる長孔２０ｂと、該長孔２０ｂ及び上記貫通孔２０ａを貫通して、その先端部にナット２０ｃが螺合されるネジ部２０ｄとよりなる。

そして、上記長孔２０ｂの上方から該長孔２０ｂ、上記貫通孔２０ａに挿入した上記ネジ部２０ｄの先端部を、上記ナット２０ｃに螺合し、まだ、強く締め付けない状態で、上記突出部１８ｂを、上記載置部１８ａに対して、半径方向に移動させて、所望の場所に位置させて、そして、上記ナット２０ｃを強く締め付けることにより、上記突出部１８ｂが、上記ネジ部２０ｄの頭部２０ｅと上記載置部１８ａとに挟持されて、該突出部１８ｂが、所望の位置で上記載置部１８ａに固定されるようになる。

なお、上記ネジ部２０ｄの頭部２０ｅと、上記載置面１９との間には、楕円状の孔が形成されたワッシャー（図示せず）を介在させてもよい。

また、後述するように、上記載置台１８の突出部１８ｂの内周縁に、後述する切欠き部２２に対向する位置に、半径方向外側に凹んだ凹部２３を形成し、ケースに形状誤差があるような場合でも、後述する改良されたプローブカード取外し具の折れ曲った先端部を係合しやすくなる。

（６．プローブカードのブリム部の説明）

また、従来のプローブカード１、１４のブリム部６、１５において設けた、上記プローブカード取出し具に係合されるネジ孔２１の代わりに、本発明のプローブカード１、１４においては、図１７、図１８に示すように、上記ブリム部６、１５の外周縁６ａ、１５ａに、例えば、半径方向内側に延びる長溝状の切り欠き部２２を設ける。

また、本発明においては、従来の雄ネジ部を有するプローブカード取出し具の代わりに、図１９に示すように、改良されたプローブカード取出し具２４を用いる。該改良されたプローブカード取出し具２４は、取出し具本体２５と、該取出し具２５本体に下方に垂設された、該取出し具本体２５に対して、軸方向に上下スライド自在であると共に、軸周りに回動自在な、Ｌ字の棒状の係合杆２６とよりなり、該係合杆２６は、垂設棒１６ａと、該垂設棒１６ａの下端に、直角に折れ曲がって形成された折曲部２６ｂとよりなる。

そして、図２０に示すように、該改良されたプローブカード取出し具２４の折曲部２６ｂを、上記切り欠き部２２の長手方向に一致するよう回動させた状態で、上記切り欠き部２２の上方から下方に垂下させて、上記切り欠き部２２内に貫通させて、そして、上記折曲部２６ｂを、例えば、図２１に示すように、９０度回動させることにより、上記折曲部２６ｂが上記ブリム部６、１５の下面側に位置し、これにより、上記プローブカード取出し具２５を上方に持ち上げれば、上記プローブカード１、１４を上方に持ち上げることができるようになる。

上記のように、長溝よりなる切り欠き部２２とすることにより、ケースに多少の形状誤差があった場合でも、プローブカード取出し具とプローブカードとを係合させることができるようになる。

更に、上記載置台１８の突出部１８ｂの、上記切り欠き部２２に対向する部分が凹状に形成されているので、ケースに多少の形状誤差がある場合でも、プローブカード取出し具の折れ曲った折曲部の一部が、上記切り欠き部内に挿入可能とすることができるようになる。

（７．プローブカード収納ケース１６の製造方法の説明）

次に、本発明のプローブカード収納ケースの製造方法について説明する。

まず、本発明の下側ケース部８を製造するために、底板８ａと、側壁部８ｂと、リブ部１７と、上記底板８ａから所望の高さに形成された載置部１８ａとを形成するための金型に、熱可塑性樹脂等を射出圧を加えて押し込み、図３及び図４に示すように、突出部１８ｂを有しない下側ケース部を成形する。

なお、上記載置部１８ａに貫通孔２０ａが形成されていない場合には、図５に示すように、別途、貫通孔２０ａを形成する。

次に、図６〜図８に示すように、別途作成された、他方の位置決め部１２を有する突出部１８ｂを、上記載置部１８ａの載置面１９に載置する。そして、図９に示すように、例えば、ネジ部２０ｄを、上記載置部１８ａに形成した長孔２０ｂ、載置部１８ａの貫通孔２０ａに貫通させて、上記ネジ部２０ｄの先端にナット２０ｃを若干螺合することにより、上記載置部１８ａに上記突出部１８ｂを固定手段２０により仮止めする。

なお、上記突出部１８ｂは、後に、上記載置台上にプローブカード１、１４を載置できるようにするため、半径方向外側に位置させる。

そして、図１０〜図１２に示すように、収納されるべきプローブカード１、１４を、上記載置部１８ａの載置面１９ｂ上に載置させる。

この時、上記突出部１８ｂは、半径方向外側に位置しているので、該突出部１８ｂの他方の位置決め部１２は、上記プローブカードの一方の位置決め部７に嵌合（一致）していない。

次に、図１３〜図１５に示すように、上記各突出部１８ｂを、それぞれ長孔２０ｂに沿って、半径方向内側に移動させて、該突出部１８ｂの他方の位置決め部１２が、上記プローブカード１４の一方の位置決め部７に嵌合（一致）させる。

なお、上記プローブカード収納ケースと、上記プローブカードとが位置決めできればいいので、全ての突出部１８ｂを半径方向に移動させる必要はなく、必要な突出部１８ｂのみ移動させてもよい。

そして、上記ネジ部２０ｄに上記ナット２０ｃを強く締め付けて、上記突出部１８ｂが、上記ネジ部２０ｄの頭部２０ｅと上記載置部１８ａとに挟持されて、上記突出部１８ｂが上記載置部１８ａに強固に固定されるようになる。

次に、図１６に示すように、上記プローブカード１、１４を上記プローブカード収納ケースから取り出すことにより、本発明の上側ケース部８を製作することができるようになる。

また、上側ケース部９も上記と同様に形成する。

なお、上記上側ケース部９の押え部材１３は、上記上側ケース部９と一体に金型により成形してもよく、または、別体で別途、上側ケース部９に取り付けるようにしてもよい。

また、必要に応じて、弾性部材１０ｃ、１３ａを設けるようにする。

そして、上記上側ケース部８の一方の側辺と、上記下側ケース部９の一方の側辺とを、ヒンジ部２ａにより、傾動自在に連結するようにする。

なお、上記載置部１８ａに対する上記突出部１８ｂの取り付けは、上記ヒンジ部２ｃを取り付けた後に行うようにしてもよい。

本発明においては、合成樹脂製のプローブカード収納ケースを、射出成型により成型し、形状誤差があっても、成型後に、プローブカードと収納ケースとの位置決め設定を行うため、正確に位置決めできるプローブカード収納ケースを作成することができるようになる。

また、載置台１８において、載置部１８ａと、突出部１８ｂとを別体に成形し、位置合わせの時に、プローブカードを載置した載置部１８ａを動かす必要がないので、プローブカード１、１４の位置決めが容易で、また、上記プローブカード１、１４のブリム部６、１５に無理な力が働かず、該ブリム部６、１５の破損等を防ぐことができるようになる。

なお、本発明においては、スティフナー５のないプローブカード１４の他、スティフナー５を有するプローブカード１も収納することができる。

１ プローブカード
２ プローブカード収納ケース
２ａ ヒンジ部
３ プローブカード基板
４ プローブ
５ スティフナー
６ ブリム部
６ａ 外周縁
７ 一方の位置決め部
８ 下側ケース部
８ａ 底板
８ｂ 側壁部
９ 上側ケース部
９ａ 天井板
９ｂ 側壁部
１０ 載置台
１０ａ 載置部
１０ｂ 突出部
１０ｃ 弾性部材
１１ 載置面
１２ 他方の位置決め部
１３ 押さえ部材
１３ａ 弾性部材
１４ プローブカード
１５ ブリム部
１５ａ 外周縁
１６ プローブカード収納ケース
１７ リブ部
１８ 載置台
１８ａ 載置部
１８ｂ 突出部
１９ 載置面
２０ 固定手段
２０ａ 貫通孔
２０ｂ 長孔
２０ｃ ナット
２０ｄ ネジ部
２０ｅ 頭部
２１ ネジ孔
２２ 切欠き部
２３ 凹部
２４ プローブカード取出し具
２５ 取出し具本体
２６ 係合杆
２６ａ 垂設棒
２６ｂ 折曲部

Claims (8)

1. プローブカードを収納する合成樹脂製の一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、
   上記一方のケース部は、底板と、該底板の外周縁部から立設した側壁部と、上記底板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部とよりなり、
   上記一方のケース部は、射出成型により成型されていることを特徴とするプローブカード収納ケース。
2. プローブカードを収納する一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ合成樹脂製の他方のケース部とよりなり、
   上記他方のケース部は、天井板と、該天井板の外周縁部から垂下した側壁部と、上記天井板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部とよりなり、
   上記他方のケース部は、射出成型により成型されていることを特徴とするプローブカード収納ケース。
3. 上記他方のケース部は、合成樹脂製により形成され、
   該他方のケース部は、天井板と、該天井板の外周縁部から垂下した側壁部と、上記天井板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部とよりなり、
   上記他方のケース部は、射出成型により成型されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード収納ケース。
4. 上記底板に、収納されるプローブカードを載置すると共に位置決めする載置台を有し、
   該載置台は、上記プローブカードを所望の高さに載置する載置面を有する合成樹脂製の載置部と、
   該載置部に、該載置部に対して移動自在に設けられた、上記プローブカードに形成された一方の位置決め部に、位置決めされる他方の位置決め部が、その内周側面に形成された突出部と、
   上記載置台に上記突出部を固定する固定手段とよりなり、
   上記載置部は、上記底板と共に射出成型により形成されることを特徴とする請求項１または３に記載のプローブカード収納ケース。
5. プローブカードを収納する合成樹脂製の一方のケース部と、該一方のケース部を塞ぐ他方のケース部とよりなり、
   上記一方のケース部の底板に、収納されるプローブカードを載置すると共に位置決めする載置台を有し、
   該載置台は、上記プローブカードを所望の高さに載置する載置面を有する合成樹脂製の載置部と、
   該載置部に、該載置部に対して移動自在に設けられた、上記プローブカードに形成された一方の位置決め部に、位置決めされる他方の位置決め部が、その内周側面に形成された突出部と、
   上記載置台に上記突出部を固定する固定手段とよりなり、
   上記載置部は、上記底板と共に射出成型により形成されることを特徴とするプローブカード収納ケース。
6. 上記突出部の内側縁に凹部が形成され、
   該凹部は、下端に折曲部が形成された、軸周りに回動自在な棒状の係合杆を有するプローブカードの取出し具の、該係合杆の折曲部の一部が挿入可能であることを特徴とする請求項４または５に記載のプローブカード収納ケース。
7. 外周縁に、半径方向内側に延びる切り欠き部を有し、
   該切り欠き部は、下端に折曲部が形成された、軸周りに回動自在な棒状の係合杆を有するプローブカード取出し具の、該折曲部が挿入されることを特徴とするプローブカードのブリム部。
8. 底板と、該底板の外周縁部から立設した側壁部と、上記底板と上記側壁部との間を連結した複数のリブ部と、収納されるローブカードを所望の高さに載置する載置面を有する載置部とを樹脂により射出成型により一体に成型する第一の工程と、
   上記成型された載置部に、上記プローブカードに形成された一方の位置決め部に、位置決めされる他方の位置決め部が、その内周側面に形成された突出部を載置する第二の工程と、
   上記載置部の載置面に、プローブカードを載置する第三の工程と、
   上記突出部を、上記プローブカードの一方の位置決め部に、上記突出部の他方の位置決め部が一致するように移動させる第四の工程と、
   上記突出部を、上記載置部に上記固定手段により固定する第五の工程と、
   上記載置されたプローブカードを取り出す第六の工程と
   よりなることを特徴とするプローブカード収納ケースの下側ケース部の製造方法。

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