JP2021080129A - Manufacturing apparatus of glass plate and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、給気口から処理空間に給気され且つ処理空間から排気口に排気される処理ガスを用いて、処理空間内でガラス板の処理面にエッチング処理を施すようにしたガラス板の製造装置及びその製造方法に関する。 In the present invention, a glass plate in which the treated surface of the glass plate is etched in the treatment space by using the treatment gas supplied from the air supply port to the treatment space and exhausted from the treatment space to the exhaust port. The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method thereof.
周知のように、ガラス板は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイ等のディスプレイ用のガラス基板や、スマートフォン、タブレット型PC等のモバイル機器用のガラス基板、さらには有機EL照明用のカバーガラスなどに代表されるように、各種分野に利用されている。この最終製品たるガラス板を作り出すための元になるガラス板の製造工程では、当該ガラス板の取り扱い時などに静電気の帯電に起因する問題が生じ得る。そこで、この種のガラス板の表面(処理面)にフッ化水素等の処理ガスを吹き付けてエッチング処理を施し、当該ガラス板の表面を粗化することによって、静電気の帯電を抑止することが行われている。 As is well known, glass plates are glass substrates for displays such as liquid crystal displays, plasma displays, and organic EL displays, glass substrates for mobile devices such as smartphones and tablet PCs, and cover glasses for organic EL lighting. It is used in various fields as represented by. In the manufacturing process of the glass plate that is the basis for producing the glass plate that is the final product, a problem due to electrostatic charge may occur when the glass plate is handled. Therefore, it is possible to suppress the charge of static electricity by spraying a treatment gas such as hydrogen fluoride on the surface (treated surface) of this type of glass plate to perform etching treatment and roughening the surface of the glass plate. It has been.
このようにガラス板の表面にエッチング処理を施す装置の具体例として、特許文献1に開示された装置が挙げられる。同文献に開示の装置は、下部構成体の上面(基面)に給気口及び排気口を設け、この基面と上部構成体の下面との相互間に処理空間を形成したものである。そして、処理空間で、給気口から給気されて排気口に排気される処理ガスによって、連続して搬送されるガラス板の下面(処理面)にエッチング処理を施すものである。
As a specific example of the apparatus for etching the surface of the glass plate in this way, the apparatus disclosed in
ところで、特許文献1に開示の装置は、基面が単一の平面であるため、以下に示すような弊害を招く。すなわち、処理ガスが処理空間を流れる際には、外気の影響等を受けて処理ガスの濃度が基面に近づくに連れて高くなる傾向がある。この場合、処理空間内で搬送されるガラス板の処理面は基面から離隔しているため、処理面の近傍では処理ガスの濃度が低くなる。そのため、当該処理面に十分なエッチング処理を施すことができず、ガラス板の粗化量を適正量にすることが困難になる。
By the way, since the base surface of the device disclosed in
以上の観点から、本発明は、ガラス板の処理面の近傍での処理ガスの濃度低下を抑制して、当該処理面に十分なエッチング処理を施し、ガラス板の粗化量を適正量にすることを課題とする。 From the above viewpoint, the present invention suppresses a decrease in the concentration of the processing gas in the vicinity of the treated surface of the glass plate, sufficiently etches the treated surface, and makes the amount of roughening of the glass plate an appropriate amount. That is the issue.
上記課題を解決するために創案された本発明の第一の側面は、給気口及び排気口が配置された基面と該基面に対向する対向面との間に処理空間が形成され、前記給気口から前記処理空間に給気され且つ前記処理空間から前記排気口に排気される処理ガスを用いて、前記処理空間内でガラス板の処理面にエッチング処理を施す処理槽と、前記処理空間内で前記ガラス板の処理面と前記基面とが対向するように前記ガラス板を搬送する搬送手段と、を備えたガラス板の製造装置であって、前記給気口と前記排気口との相互間における前記給気口から前記排気口側に離隔した位置に、前記基面から前記対向面側に向かって突出する凸部を形成したことに特徴づけられる。 The first aspect of the present invention, which was devised to solve the above problems, is that a processing space is formed between a base surface on which an air supply port and an exhaust port are arranged and a facing surface facing the base surface. A treatment tank in which the treatment surface of the glass plate is etched in the treatment space using the treatment gas supplied from the air supply port to the treatment space and exhausted from the treatment space to the exhaust port, and the above. A glass plate manufacturing apparatus including a transport means for transporting the glass plate so that the processing surface of the glass plate and the base surface face each other in the processing space, wherein the air supply port and the exhaust port are provided. It is characterized in that a convex portion is formed so as to project from the base surface toward the facing surface side at a position separated from the air supply port toward the exhaust port side between the two and the air supply port.
このような構成によれば、基面に配置された給気口から処理空間に給気された処理ガスは、基面に配置された排気口に排気されるが、この処理ガスの濃度は、本来的には外気の影響等を受けて基面に近づくに連れて高濃度になる傾向がある。ここでの構成では、基面の近傍を給気口側から排気口側に向かって流れる高濃度の処理ガスが、基面から対向面側に向かって突出する凸部に当たり、その流れ方向が基面側から対向面側に向かう方向に方向変換する。この場合、搬送手段によって処理空間内で搬送されるガラス板の処理面は、基面と対向しているため、方向変換した高濃度の処理ガスは、ガラス板の処理面に接触し易くなる。したがって、ガラス板の処理面に対しては、濃度が高められた処理ガスによって十分なエッチング処理を施すことが可能になり、ガラス板の粗化量を適正量にすることができる。 According to such a configuration, the processing gas supplied to the processing space from the air supply port arranged on the base surface is exhausted to the exhaust port arranged on the base surface, and the concentration of this processing gas is determined. Originally, the concentration tends to increase as it approaches the base surface due to the influence of the outside air. In the configuration here, the high-concentration processing gas flowing from the air supply port side to the exhaust port side near the base surface hits the convex portion protruding from the base surface toward the facing surface side, and the flow direction is the basis. The direction is changed from the surface side to the facing surface side. In this case, since the processing surface of the glass plate conveyed in the processing space by the conveying means faces the base surface, the high-concentration processing gas whose direction has been changed easily comes into contact with the processing surface of the glass plate. Therefore, the treated surface of the glass plate can be sufficiently etched by the treated gas having an increased concentration, and the amount of roughening of the glass plate can be adjusted to an appropriate amount.
この製造装置において、前記凸部は、前記ガラス板の搬送方向と交差する方向に延びると共に、前記ガラス板及び前記凸部の前記搬送方向と交差する方向の長さは、前記ガラス板よりも前記凸部の方が長いことが好ましい。 In this manufacturing apparatus, the convex portion extends in a direction intersecting the transport direction of the glass plate, and the length of the glass plate and the convex portion in the direction intersecting the transport direction is longer than that of the glass plate. It is preferable that the convex portion is longer.
このようにすれば、凸部に当たることで基面側から対向面側に向かう高濃度の処理ガスは、ガラス板の処理面における搬送方向と交差する方向の全長に亘って接触し易くなる。これにより、処理空間で搬送されるガラス板の処理面の全域に十分なエッチング処理を施すことが可能になり、ガラス板の全域に亘って粗化量の適正化を図ることができる。 In this way, the high-concentration processing gas from the base surface side to the facing surface side by hitting the convex portion is likely to come into contact with the entire length in the direction intersecting the transport direction on the processing surface of the glass plate. As a result, it becomes possible to perform a sufficient etching process on the entire treated surface of the glass plate conveyed in the processing space, and it is possible to optimize the amount of roughening over the entire area of the glass plate.
以上の製造装置において、前記搬送手段は、前記ガラス板を支持する搬送ローラを、前記給気口と前記排気口との相互間における前記ガラス板の搬送方向の複数箇所に備えると共に、これら搬送ローラの前記搬送方向の相互間に前記凸部が配列されていることが好ましい。 In the above manufacturing apparatus, the transport means includes transport rollers for supporting the glass plate at a plurality of locations in the transport direction of the glass plate between the air supply port and the exhaust port, and these transport rollers. It is preferable that the convex portions are arranged between each other in the transport direction.
このようにすれば、ガラス板が搬送方向の複数個所で搬送ローラによって支持されるため、ガラス板を安定して搬送することができる。しかも、それら搬送ローラの搬送方向の相互間に凸部が配列されているため、それら搬送ローラとの干渉を回避しつつ、凸部を適切に配列することができ、レイアウト面で好ましくなる。これにより、ガラス板の搬送形態の適正化と、凸部のレイアウトの適正化とを、効率良く両立させることができる。 In this way, since the glass plate is supported by the transport rollers at a plurality of locations in the transport direction, the glass plate can be stably transported. Moreover, since the convex portions are arranged between the transport rollers in the transport direction, the convex portions can be appropriately arranged while avoiding interference with the transport rollers, which is preferable in terms of layout. As a result, it is possible to efficiently achieve both the optimization of the transport form of the glass plate and the optimization of the layout of the convex portion.
以上の製造装置において、前記凸部は、前記ガラス板の搬送方向に複数配列されていることが好ましい。 In the above manufacturing apparatus, it is preferable that a plurality of the convex portions are arranged in the transport direction of the glass plate.
このようにすれば、給気口から処理空間に給気されて基面の近傍を排気口に向かって流れる高濃度の処理ガスを、搬送方向の複数個所で凸部により方向変換して、ガラス板の処理面に向かわせることができる。これにより、ガラス板の粗化量のさらなる適正化が図られる。 In this way, the high-concentration processing gas that is supplied from the air supply port to the processing space and flows in the vicinity of the base surface toward the exhaust port is changed in direction by the convex portions at a plurality of places in the transport direction, and the glass is used. It can be directed to the treated surface of the board. As a result, the amount of roughening of the glass plate can be further optimized.
以上の製造装置において、前記給気口は、前記基面から前記対向面側に向かって突出する突出部に形成されていることが好ましい。 In the above manufacturing apparatus, it is preferable that the air supply port is formed in a protruding portion protruding from the base surface toward the facing surface side.
このようにすれば、給気口から処理空間に給気される処理ガスは、突出部が対向面側に向かって突出している分だけ、ガラス板の処理面に近い位置に給気される。これにより、ガラス板の処理面の近傍に存する処理ガスをより一層高濃度に維持し易くなり、ガラス板の粗化量のさらなる適正化を図ることが可能となる。 In this way, the processing gas supplied from the air supply port to the processing space is supplied to a position closer to the processing surface of the glass plate by the amount of the protruding portion protruding toward the facing surface side. As a result, the processing gas existing in the vicinity of the processing surface of the glass plate can be easily maintained at a higher concentration, and the amount of roughening of the glass plate can be further optimized.
上記課題を解決するために創案された本発明の第二の側面は、給気口及び排気口が配置された基面と該基面に対向する対向面との間に処理空間が形成された処理槽で、前記給気口から前記処理空間に給気され且つ前記処理空間から前記排気口に排気される処理ガスを用いて、前記処理空間内に存するガラス板の処理面にエッチング処理を施すエッチング工程と、搬送手段を用いて、前記処理空間内で前記ガラス板の処理面と前記基面とが対向するように前記ガラス板を搬送する搬送工程と、を備えたガラス板の製造方法であって、前記エッチング工程では、前記給気口と前記排気口との相互間における前記給気口から前記排気口側に離隔した位置に形成され且つ前記基面から前記対向面側に向かって突出する凸部に、前記給気口側から前記排気口側に向かって流れる前記処理ガスを当てることに特徴づけられる。 The second aspect of the present invention, which was devised to solve the above problems, is that a processing space is formed between a base surface on which an air supply port and an exhaust port are arranged and a facing surface facing the base surface. In the processing tank, the processing surface of the glass plate existing in the processing space is etched by using the processing gas supplied from the air supply port to the processing space and exhausted from the processing space to the exhaust port. A method for manufacturing a glass plate, comprising an etching step and a transporting step of transporting the glass plate so that the treated surface of the glass plate and the base surface face each other in the processing space using a transporting means. Therefore, in the etching step, the air supply port and the exhaust port are formed at a position separated from the air supply port toward the exhaust port side and protrude from the base surface toward the facing surface side. It is characterized in that the processing gas flowing from the air supply port side to the exhaust port side is applied to the convex portion.
このような製造方法によれば、既述の製造装置と同様に、給気口から処理空間に給気されて基面の近傍を排気口に向かって流れる高濃度の処理ガスが、基面から対向面側に向かって突出する凸部に当たり、その流れ方向が基面側から対向面側に向かう方向に方向変換する。したがって、この製造方法によっても、ガラス板の処理面に対して、濃度が高められた処理ガスによって十分なエッチング処理を施すことが可能になり、ガラス板の粗化量の適正化を図ることができる。 According to such a manufacturing method, as in the manufacturing apparatus described above, a high-concentration processing gas that is supplied from the air supply port to the processing space and flows in the vicinity of the base surface toward the exhaust port is discharged from the base surface. It hits a convex portion that protrudes toward the facing surface side, and the flow direction is changed from the base surface side to the facing surface side. Therefore, even with this manufacturing method, it is possible to sufficiently etch the treated surface of the glass plate with the treated gas having a higher concentration, and it is possible to optimize the amount of roughening of the glass plate. it can.
本発明によれば、ガラス板の処理面の近傍での処理ガスの濃度低下が抑制されて、当該処理面に十分なエッチング処理を施し得ることになり、ガラス板の粗化量を適正量にすることが可能になる。 According to the present invention, the decrease in the concentration of the processing gas in the vicinity of the treated surface of the glass plate is suppressed, and the treated surface can be sufficiently etched, so that the amount of roughening of the glass plate is adjusted to an appropriate amount. It becomes possible to do.
以下、本発明の実施形態に係るガラス板の製造装置及びその製造方法について添付図面を参照して説明する。 Hereinafter, the glass plate manufacturing apparatus and the manufacturing method thereof according to the embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
<第一実施形態>
図1は、本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置(その主要部をなすエッチング処理用の処理槽1)の要部を示す概略縦断正面図である。同図に示すように、処理槽1は、上側に配置された上部構成体2と、下側に配置された下部構成体3と、この両構成体2、3の奥行方向(紙面と直交する方向)の両端にそれぞれ固定された端壁4(図2参照)とを備える。下部構成体3の上面(基面)5と、基面5に対向する上部構成体2の下面(対向面)6との間には、ガラス板Gの下面(処理面)Gaに対してエッチング処理を施すための処理空間7が形成されている。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a schematic longitudinal front view showing a main part of a glass plate manufacturing apparatus (a
図1に示す矢印A方向は、ガラス板Gの搬送方向であって、以下の説明では、矢印Aに沿う方向を単に搬送方向という。また、同図における左側を搬送方向前側といい、同図における右側を搬送方向後側という。さらに、両構成体2、3の奥行方向を単に奥行方向という。ここで、図例では、ガラス板Gの搬送方向は、横方向のうちの水平方向であるが、これ以外の横方向すなわち水平方向に対して搬送方向前側が30°以内の範囲で下降傾斜または上昇傾斜する方向であってもよい。なお、ガラス板Gの厚みは、特に限定されないが、例えば1mm以下、700μm以下、または500μm以下とされる。ガラス板Gのサイズも、特に限定されないが、例えば200×300mm〜3100×3500mmとされる。
The direction of arrow A shown in FIG. 1 is the transport direction of the glass plate G, and in the following description, the direction along the arrow A is simply referred to as the transport direction. Further, the left side in the figure is referred to as the front side in the transport direction, and the right side in the figure is referred to as the rear side in the transport direction. Further, the depth direction of both
基面5には、処理空間7に処理ガス(例えばフッ化水素)を給気する給気口8と、処理空間7から処理ガスを排気する排気口9とが配置されている。この実施形態では、給気口8及び排気口9は何れも、基面5に開口している。給気口8は、基面5の搬送方向中央部から搬送方向後側に離隔した位置に開口し、排気口9は、基面5の搬送方向中央部から搬送方向前側に離隔した位置に開口している。給気口8及び排気口9は何れも、図2に示すように、奥行方向に延びるスリット状に形成されている。この実施形態では、給気口8及び排気口9の奥行方向の長さは何れも、ガラス板Gの奥行方向の長さよりも長尺とされている。
On the
図1に示すように、下部構成体3は、上面が単一の平面からなる既述の基面5とされた基台板10と、基台板10の搬送方向後側の部位に垂下固定された給気構体11と、基台板10の搬送方向前側の部位に垂下固定された排気構体12とを備える。基台板10の搬送方向後側の部位には、給気口8に通じる給気孔13が形成され、給気孔13は、給気構体11に形成された給気路14に連通している。基台板10の搬送方向前側の部位には、排気口9に通じる排気孔15が形成され、排気孔15は、排気構体12に形成された排気路16に連通している。給気路14の上流側の端部(図例の下方側の端部)は、処理ガス供給源(図示略)に通じ、排気路16の下流側の端部(図例の下方側の端部)は、処理ガス回収部(図示略)に通じている。なお、この実施形態では、下部構成体3は、処理ガスに対する耐食性に優れたポリ塩化ビニル等の樹脂で形成されている。また、給気構体11及び排気構体12にはそれぞれ、処理ガスによる結露の発生を防止するためのヒータ(図示略)が内蔵されている。
As shown in FIG. 1, the
基台板10の上部には、給気口8から排気口9に至るまでの部位における搬送方向の複数個所(図例では3箇所)に、ガラス板Gを下方から支持するディスク状の搬送ローラ17が組み付けられている。これらの搬送ローラ17は、図2に示すように、基台板10の上部の奥行方向についても複数個所(図例では4箇所)に組み付けられている。また、基台板10の上部には、給気口8よりも搬送方向後側の部位及び排気口9よりも搬送方向前側の部位にも、同様の搬送ローラ18が組み付けられ、これらの搬送ローラ18も奥行方向の複数箇所に同様にして組み付けられている。
On the upper part of the
これら全ての搬送ローラ17、18は、それぞれが独立したフリーローラであって、回転駆動力が付与されず、図3に示すように、基台板10の上部に形成された凹部19に回転自在に保持されている。各凹部19は、搬送方向及び奥行方向の何れについても所定間隔を置いて形成されている。詳述すると、各搬送ローラ17(18)は、各凹部19に遊びをもって挿入され、各ローラ17(18)の上部のみが基面5から上方に突出している。各ローラ17(18)のローラ軸17a(18a)は、各凹部19の高さ方向中間部から奥行き方向の両側に延びる支持面20上に回転自在に支持されている。この例では、各ローラ軸17a(18a)の上方が開放されている。これに代えて、図4に示すように、各ローラ軸17a(18a)の上方が、基面5を上端に有する覆壁部21で覆われるようにしてもよい。
All of these
処理槽1の搬送方向後側及び処理槽1の搬送方向前側にはそれぞれ、処理空間7にガラス板Gを搬入し且つ処理空間7からガラス板Gを搬出するための複数の駆動搬送ローラ(図示略)が搬送方向に沿って配置されている。したがって、処理空間7内でガラス板Gの処理面Gaと基面5とが対向するようにガラス板Gを搬送する搬送手段22は、ガラス板Gの送りを案内する既述の複数の搬送ローラ17(18)と、ガラス板Gに送り力を付与する既述の複数の駆動搬送ローラとから構成される。この実施形態では、搬送手段22は、複数枚のガラス板Gを処理空間7内に順次連続して搬送するように構成される。なお、搬送ローラ17、18は、回転駆動力が付与されるローラとし、ガラス板Gに送り力を付与してもよい。
A plurality of drive transport rollers (illustrated) for carrying the glass plate G into the
図1に示すように、基面5上には、給気口8と排気口9との相互間における搬送方向の複数箇所(図例では3箇所)に、基面5から対向面6側に向かって突出する凸部23が形成されている。これらの凸部23のうち、最も搬送方向後側に存する凸部23は、給気口8から搬送方向前側に離隔しており、最も搬送方向前側に存する凸部23は、排気口9から搬送方向後側に離隔している。また、これらの凸部23のうち、搬送方向中央周辺部に存する凸部23(図例では2個の凸部23)は、複数の搬送ローラ17(図例では3個の搬送ローラ17)の相互間にそれぞれ配置されている。なお、最も搬送方向前側に存する凸部23は、排気口9から搬送方向後側に離隔せずに排気口9に隙間なく連接していてもよい。
As shown in FIG. 1, on the
図2に示すように、複数の凸部23は、搬送方向と交差する方向(図例では搬送方向と直交する方向(奥行方向))に延びている。これら複数の凸部23の奥行方向の長さは、ガラス板Gの奥行方向の長さよりも長尺とされ、この実施形態では、給気口8及び排気口9の奥行方向の長さよりも長尺とされている。また、この実施形態では、各凸部23は、断面が矩形の細長状の板状体または柱状体であるが、断面が台形、その他の多角形、円形、もしくは半円形等の細長状の板状体または柱状体であってもよい。なお、図例では、各凸部23の奥行方向の両端が端壁4から僅かに離隔しているが、端壁4に到達していてもよい。
As shown in FIG. 2, the plurality of
図5に示すように、各凸部23の基面5からの突出寸法L1は、基面5からガラス板Gの処理面Gaまでの離隔寸法L2の1/5〜4/5、好ましくは2/5〜3/5である。具体的数値として、寸法L1は、1〜5mm、好ましくは2〜3mmであり、寸法L2は、2〜10mm、好ましくは3〜6mmである。ここで、各凸部23の材質は、処理ガスに対する耐食性に優れたポリ塩化ビニル等の樹脂である。
As shown in FIG. 5, the protrusion dimension L1 from the
上部構成体2は、図1に示すように、搬送方向前側の天板24と搬送方向後側の天板25とが連設固定して構成され、この両天板24、25の下面は、面一状態で連なる単一の平面をなす既述の対向面6である。この対向面6は、基面5と平行であると共に、対向面6及び基面5は、処理空間7に搬送されてくるガラス板Gの処理面Ga及び上面Gbと平行である。
As shown in FIG. 1, the
上部構成体2は、処理ガスに対する耐食性に優れたポリ塩化ビニル等の樹脂で形成されている。また、搬送方向前側の天板24及び搬送方向後側の天板25にはそれぞれ、処理ガスによる結露の発生を防止するためのヒータ(図示略)が内蔵されている。
The
以上の構成からなる製造装置(処理槽1)を用いたガラス板の製造方法は、図1を参酌して、処理槽1で、給気口8から処理空間7に給気され且つ処理空間7から排気口9に排気される処理ガスを用いて、処理空間7内に存するガラス板Gの処理面Gaにエッチング処理を施すエッチング工程を備える。さらに、当該製造方法は、搬送手段22を用いて、処理空間7内でガラス板Gの処理面Gaと基面5とが対向するようにガラス板Gを搬送する搬送工程を備える。そして、エッチング工程では、基面5上に形成された凸部23に、給気口8側から排気口9側に向かって流れる処理ガスを当てる。
In the method of manufacturing a glass plate using the manufacturing apparatus (treatment tank 1) having the above configuration, in consideration of FIG. 1, in the
次に、上記第一実施形態に係るガラス板の製造装置及びその製造方法の作用効果を説明する。 Next, the operation and effect of the glass plate manufacturing apparatus and the manufacturing method thereof according to the first embodiment will be described.
給気口8から処理空間7に給気された処理ガスは、処理空間7から排気口9に排気されるが、この処理ガスの濃度は、本来的には外気の影響等を受けて基面5に近づくに連れて高濃度になる傾向がある。ここで本実施形態に係る構成によれば、給気口8から基面5の近傍を排気口9に向かって流れる高濃度の処理ガスは、図1に示すように、凸部23に当たることで、その流れ方向が矢印Wで示すように基面5側から対向面6側に向かう方向に方向変換する。このとき、同図に鎖線で示すように、処理空間7に搬送されてきたガラス板Gの処理面Gaは、基面5と対向しているため、方向変換した高濃度の処理ガスは、ガラス板Gの処理面Gaに接触し易くなる。したがって、ガラス板Gの処理面Gaに対しては、濃度が高められた処理ガスによって十分なエッチング処理を施すことが可能になり、ガラス板Gの粗化量を適正量にすることができる。
The processing gas supplied from the
しかも、凸部23の奥行方向の長さは、ガラス板Gの奥行方向の長さよりも長尺であるため、凸部23に当たることによって矢印Wで示すように方向変換した高濃度の処理ガスは、ガラス板Gの奥行方向の全長に亘って処理面Gaと接触し易くなる。したがって、処理空間7内を通過するガラス板Gの処理面Gaの全域に対して、濃度が高められた処理ガスを接触させることができる。これにより、処理空間7内で搬送されるガラス板Gの処理面Gaの全域に十分なエッチング処理を施すことが可能になり、ガラス板Gの全域に亘って粗化量の適正化が図られる。
Moreover, since the length of the
また、凸部23の奥行方向の長さは、給気口8及び排気口9の奥行方向の長さよりも長尺であるため、給気口8側から排気口9側に向かう高濃度の処理ガスをできるだけ多く方向変換させることができ、ガラス板Gの処理面Gaの全域に対して、より一層十分なエッチング処理を施すことが可能になる。
Further, since the length of the
さらに、ガラス板Gの処理空間7内での搬送時には、ガラス板Gが搬送方向及び奥行方向の複数個所でディスク状の搬送ローラ17によって支持されるため、ガラス板Gを安定して搬送することができる。しかも、それら搬送ローラ17の搬送方向の相互間に凸部23が配列されているため、それら搬送ローラ17との干渉を回避しつつ、凸部23を適切に配列することができ、レイアウト面で好ましくなる。これにより、ガラス板Gの搬送形態の適正化と、凸部23のレイアウトの適正化とを、効率良く両立させることができる。
Further, when the glass plate G is transported in the
また、凸部23が搬送方向の複数箇所に配列されているため、給気口8側から排気口9側に向かう高濃度の処理ガスを、搬送方向の複数個所で方向変換することができ、ガラス板Gの粗化量のさらなる適正化を図ることが可能になる。
Further, since the
<第二実施形態>
図6及び図7は、本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造装置(処理槽1)を例示している。これら両図に示すように、この第二実施形態に係る処理槽1が、上述の第一実施形態に係る処理槽1と相違しているところは、給気口8が、基面5から対向面6側に向かって突出する突出部27に形成されている点である。詳しくは、給気口8は、突出部27の突端(上端)に開口している。また、突出部27は、図7に示す平面視で、奥行方向に長尺な細長状の額縁形状をなしている。ここで、突出部27の材質は、処理ガスに対する耐食性に優れたポリ塩化ビニル等の樹脂である。その他の構成要素は、上述の第一実施形態と同一であるので、両実施形態に共通する構成要素については、図6及び図7に同一符号を付し、その説明を省略する。
<Second embodiment>
6 and 7 illustrate the glass plate manufacturing apparatus (processing tank 1) according to the second embodiment of the present invention. As shown in both of these figures, the
この第二実施形態に係る製造装置(処理槽1)によれば、給気口8から処理空間7に給気される処理ガスは、突出部27が対向面6側に向かって突出している分だけ、ガラス板Gの処理面Gaに近い位置に給気される。これにより、ガラス板Gの処理面Gaの近傍に存する処理ガスをより一層高濃度に維持し易くなり、ガラス板Gの粗化量のさらなる適正化を図ることができる。
According to the manufacturing apparatus (processing tank 1) according to the second embodiment, the processing gas supplied from the
以上の第一及び第二実施形態では、基台板10の基面5上に、凸部23を別体として形成したが、凸部23を基台板10と一体形成するようにしてもよい。この場合には、基台板10の上面のうちの凸部23を除く領域が基面5となる。
In the above first and second embodiments, the
また、同様に、突出部27も、基台板10の基面5上に別体として形成したが、基台板10と一体形成するようにしてもよく、この場合にも、基台板10の上面のうちの突出部27を除く領域が基面5となる。
Similarly, the protruding
以上の第一及び第二実施形態では、一つの凸部23を、一つの板状体または柱状体が奥行方向に延びるようにして形成したが、これに代えて、一つの凸部23を、複数の板状体または柱状体が奥行方向に延びるように配列させて形成してもよい。この場合、複数の板状体または柱状体の奥行方向の相互間に隙間を設けてもよい。但し、その隙間の大きさは、基面5の近傍を給気口8側から排気口9側に向かって流れる処理ガスを凸部23によって十分に方向変換させることが可能となるような大きさにする必要がある。
In the first and second embodiments described above, one
以上の第一及び第二実施形態では、搬送ローラ17がディスク状をなすものであるが、ディスク状よりも軸方向に長尺な円筒形状であってもよく、また奥行方向に配列される搬送ローラ17の個数も一列につき1個であってもよい。但し、そのようにする場合には、搬送ローラ17が邪魔にならずに基面5の近傍を給気口8側から排気口9側に向かって十分な量の処理ガスを流すことができるようにし、且つ、ガラス板Gの撓みの問題が生じないようにする必要がある。
In the first and second embodiments described above, the
以上の第一及び第二実施形態では、基台板10の上面を基面5とし、該基面5に、給気口8、排気口9及び凸部23を配置したが、これに代えて、天板24、25の下面を基面とし、該基面に、給気口、排気口及び凸部を配置してもよい。この場合には、基台板10の上面(基面5)が対向面となり、且つ、ガラス板Gの上面Gbが処理面となる。
In the above first and second embodiments, the upper surface of the
1 処理槽
5 基面
6 対向面
6a 対向面
6b 対向面
7 処理空間
7a 処理空間
7b 処理空間
8 給気口
9 排気口
17 搬送ローラ
22 搬送手段
23 凸部
27 突出部
G ガラス板
Ga ガラス板の処理面
1
Claims (6)
前記処理空間内で前記ガラス板の処理面と前記基面とが対向するように前記ガラス板を搬送する搬送手段と、
を備えたガラス板の製造装置であって、
前記給気口と前記排気口との相互間における前記給気口から前記排気口側に離隔した位置に、前記基面から前記対向面側に向かって突出する凸部を形成したことを特徴とするガラス板の製造装置。 A processing space is formed between the base surface on which the air supply port and the exhaust port are arranged and the facing surface facing the base surface, and air is supplied from the air supply port to the processing space and the exhaust from the processing space. A processing tank that etches the processing surface of the glass plate in the processing space using the processing gas that is exhausted to the mouth.
A transport means for transporting the glass plate so that the treated surface of the glass plate and the base surface face each other in the processing space.
It is a glass plate manufacturing device equipped with
It is characterized in that a convex portion protruding from the base surface toward the facing surface side is formed at a position separated from the air supply port toward the exhaust port side between the air supply port and the exhaust port. Glass plate manufacturing equipment.
搬送手段を用いて、前記処理空間内で前記ガラス板の処理面と前記基面とが対向するように前記ガラス板を搬送する搬送工程と、
を備えたガラス板の製造方法であって、
前記エッチング工程では、前記給気口と前記排気口との相互間における前記給気口から前記排気口側に離隔した位置に形成され且つ前記基面から前記対向面側に向かって突出する凸部に、前記吸気口側から前記排気口側に向かって流れる前記処理ガスを当てることを特徴とするガラス板の製造方法。 In a treatment tank in which a treatment space is formed between a base surface on which an air supply port and an exhaust port are arranged and a facing surface facing the base surface, air is supplied from the air supply port to the treatment space and the treatment is performed. An etching process in which the processing surface of the glass plate existing in the processing space is etched using the processing gas exhausted from the space to the exhaust port.
A transport step of transporting the glass plate so that the processing surface of the glass plate and the base surface face each other in the processing space using a transport means.
It is a manufacturing method of a glass plate equipped with
In the etching step, a convex portion formed at a position separated from the air supply port to the exhaust port side between the air supply port and the exhaust port and projecting from the base surface toward the facing surface side. A method for manufacturing a glass plate, which comprises applying the processing gas flowing from the intake port side to the exhaust port side.
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