JP2021076382A - 音波センサ装置 - Google Patents

音波センサ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2021076382A
JP2021076382A JP2019200575A JP2019200575A JP2021076382A JP 2021076382 A JP2021076382 A JP 2021076382A JP 2019200575 A JP2019200575 A JP 2019200575A JP 2019200575 A JP2019200575 A JP 2019200575A JP 2021076382 A JP2021076382 A JP 2021076382A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detection signal
sound wave
signal
environmental noise
wave sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2019200575A
Other languages
English (en)
Inventor
正之 尾崎
Masayuki Ozaki
正之 尾崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
New Japan Radio Co Ltd
Original Assignee
New Japan Radio Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by New Japan Radio Co Ltd filed Critical New Japan Radio Co Ltd
Priority to JP2019200575A priority Critical patent/JP2021076382A/ja
Publication of JP2021076382A publication Critical patent/JP2021076382A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

【課題】環境ノイズを除去した超音波帯域検出信号を得ることができ、記録するデータ量の削減を図ることができる音波センサ装置を提供する。【解決手段】音波センサ1が検出した音波信号からフィルタ部により分離された可聴帯域検出信号の中に環境ノイズが含まれるか否かを判定し、環境ノイズを含まない場合のみ音波信号からフィルタ部により分離された超音波帯域検出信号を記憶する。【選択図】図1

Description

本発明は、超音波帯域の音波信号を検出する音波センサ装置に関し、特に環境ノイズを取り除くことができる音波センサ装置に関する。
電子部品等を製造する工場には多くの機械装置が設置されている。これらの機械装置が故障し突然停止することを防ぐため、停止に至る前に異常状態であること検知してメンテナンスできるのが望ましい。例えば、モーター等の回転機構に異常が生じた場合には30kHz前後の周波数帯域の音波が発生し、エアーリークが生じた場合には40kHz前後の音波が発生することが知られている。
そこで、機械装置から放出される超音波帯域の音波を監視し、異常状態に達したことを検知する装置が用いられている(例えば特許文献1)。
特開平5−209782号公報
ところでこの種の装置が設置される場所では、本来検出すべき測定対象から放射される超音波帯域の音波の他に、不要な雑音(環境ノイズ)が存在する。一例としては、金属がつぶれる音、粘着テープをはがす音、ヒトの声等が、可聴帯域の周波数帯域から40kHz前後の超音波帯域の周波数を有する環境ノイズとなる。このような環境ノイズは、本来検出したい超音波帯域の音波信号と周波数帯に差がなく、環境ノイズのみを選択的に除去することは非常に難しいものであった。
また、機械装置等の監視を行う際には、経時的変化を確認するため超音波帯域を含む音波信号を長期間記録しておく必要があり、膨大なデータ量の記録が必要だった。
本発明はこのような実情に鑑み、環境ノイズを除去した超音波帯域検出信号を得ることができ、記録するデータ量の削減を図ることができる音波センサ装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本願請求項1に係る発明は、測定対象から放射される音波を検出する音波センサ装置において、可聴帯域から超音波帯域の周波数帯域の音波を検出可能な音波センサと、前記音波センサから出力される音波信号から、可聴帯域検出信号を取り出す第1のフィルタ部と、前記音波センサから出力される音波信号から、超音波帯域検出信号を取り出す第2のフィルタ部と、既知の環境ノイズに含まれる可聴帯域ノイズ信号あるいは既知の環境ノイズ信号と、前記可聴帯域検出信号とを比較し、前記可聴帯域検出信号が環境ノイズを含むか否かを判定する判定部と、前記可聴帯域検出信号が環境ノイズを含むと判定されたとき該可聴帯域検出信号を含む前記音波信号から取り出された前記超音波帯域検出信号を除外し、前記可聴帯域検出信号が環境ノイズを含まないと判定されたとき該可聴帯域信号を含む前記音波信号から取り出された前記超音波帯域検出信号を除外せず、検出信号として記録する記録部と、を備えていることを特徴とする。
本願請求項2に係る発明は、請求項1記載の音波センサ装置において、前記判定部は、前記可聴帯域検出信号の前記判定を所定の期間行った後、所定の期間前記判定を停止する動作を繰り返すことと、
前記記録部は、前記判定部が前記判定を停止しているとき前記検出信号の記録を停止することを特徴とする。
本願請求項3に係る発明は、請求項1記載の音波センサ装置において、前記記録部は、前記検出信号を所定の期間記録した後、所定の期間前記記録を停止する動作を繰り返すことを特徴とする。
本発明の音波センサ装置は、測定対象から得られた音波信号を可聴帯域と超音波帯域の検出信号に分け、可聴帯域の検出信号に環境ノイズが含まれると判定された場合にはその超音波帯域の信号を除いた信号を検出信号として記録する構成とすることで、環境ノイズを含まない検出信号を記録することができる。またこの環境ノイズを含む信号を記録しない構成とすることで、記録するデータ量を削減することが可能となる。
さらにこの種の装置では、検出信号の経時的変化を確認する構成となっているため、環境ノイズを含むか否かを判定する際、間欠的に判定を行うように構成し、判定を行わないときの超音波帯域の検出信号も記録しない構成とすることで、さらに記録するデータ量の削減を図ることができる。同様に環境ノイズを含むか否かを判定する際、連続的に判定を行うように構成した場合でも、超音波帯域の検出信号を間欠的に記録する構成とすることで、記録するデータ量を削減することができる。
この種の音波センサ装置を故障予知のための装置として使用する場合、故障を示す超音波帯域の音波は継続的に放出され続けるため、超音波帯域検出信号を間欠的に記録する構成としても確実に故障を予知することができる。
本発明の音波センサ装置の説明図である。 本発明の第1の実施例の音波センサ装置の超音波帯域検出信号の記録方法を説明する図である。 本発明の第2の実施例の音波センサ装置の超音波帯域検出信号の記録方法を説明する図である。 本発明の第3の実施例の音波センサ装置の超音波帯域検出信号の記録方法を説明する図である。
本発明に係る音波センサ装置は、測定対象から放出される音波を音波センサで検出し、所望の信号処理を行うことで環境ノイズを除去するとともに、記録するデータ量を削減できるように構成している。以下本発明の実施例について詳細に説明する。
本発明の第1の実施例について、環境ノイズが発生している電子部品等を製造する工場内に配置されている機械装置等の故障予知を行うための音波センサ装置を例にとり説明する。この種の工場内では、機械装置等の測定対象から常時音波が放射されている。同時に音波センサ1が配置されている周囲では、環境ノイズが発生している。このような環境下で、例えば可聴帯域から超音波帯域の周波数帯域に感度を有するMEMSトランスデューサ等からなる音波センサ1を配置する。
音波センサ1は、図1に示すように測定対象から放射される音波を検出し、音波信号S1を出力する。この環境ノイズが重畳された音波信号S1をフィルタ部により可聴帯域と超音波帯域の検出信号に分離する。例えば一例として、10kHz以下の周波数帯域の音波信号を通過させるローパスフィルタからなる第1のフィルタ部2を通過する可聴帯域検出信号S2と、10kHz以上の周波数帯域の音波信号を通過させるハイパスフィルタからなる第2のフィルタ部3を通過する超音波帯域検出信号S3に分離する。
第1のフィルタ部2を通過した可聴帯域検出信号S2は判定部4に入力する。また判定部4には、既知の環境ノイズS4が入力する。環境ノイズS4は判定部内に予め保存しておくことも可能である。この環境ノイズは、可聴帯域のみのノイズ信号であってもよいし、可聴帯域と超音波帯域を含むノイズ信号であってもよい。環境ノイズとしては、例えばヒトの声など、音波センサ装置が設置される領域で発生可能なノイズ信号となる。周波数成分比較や時間軸波形特徴比較による判定やAIにより推定等、周知の判定手段により、可聴帯域検出信号S2に環境ノイズが含まれているか否か判定し、その結果を記録部5に判定信号S5として出力する。
記録部5には、第2のフィルタ部3から超音波帯域検出信号S3が入力する。ここで判定部4から出力された判定信号S5が環境ノイズを含まないことを示す信号の場合、環境ノイズを含まないと判定された可聴帯域検出信号S2が分離された音波信号S1から分離された超音波帯域検出信号S3を記録部5に周知の方法で保存、記録する。
一方判定部4から出力された判定信号S5が環境ノイズを含むことを示す信号の場合、環境ノイズを含むと判定された可聴帯域検出信号S2が分離された音波信号S1から分離された超音波帯域検出信号S3は、記録部5に保存、記録しない。
図2は超音波帯域検出信号の記録方法の説明図を示す。判定部4において常時判定が行われている間に環境ノイズが2回発生する場合を示している。図2に示す例では環境ノイズが発生するタイミングに合わせて超音波帯域検出信号の記録を停止している。なお、記録部5の記録の停止は、環境ノイズが発生している間だけでなく、環境ノイズが検出された後、環境ノイズが検出されない期間にわたる一定期間の記録を停止してもよいし、あるいは環境ノイズが検出された後、その前後の環境ノイズが検出されない期間にわたる一定期間の記録を停止するように構成してもよい。
このように構成すると、環境ノイズに起因する超音波帯域検出信号を除いた検出信号のみが記録部5に記録され、この検出信号により機械装置等の故障予知を行うことが可能となる。
次に第2の実施例について説明する。上述第1の実施例では、記録する超音波帯域検出信号のデータ量が多くなる。例えば、1日分のデータを記録しようとした場合、数Tbyteに達してしまう。一方で、測定対象から放出される故障の予兆を示す音波は継続的に放出され続ける。そのため、超音波帯域検出信号を間欠的に記録する構成としても故障予知に影響を与えることはない。
そこで図3に示すように超音波帯域検出信号を間欠的に記録するように構成してもよい。図3に示す例では、判定部4も間欠的に動作させている。具体的には第1の実施例同様、第1のフィルタ部2を通過した可聴帯域検出信号S2は、判定部4に入力する。ここで判定部4では、可聴帯域検出信号S2に環境ノイズが含まれているか否かを、判定部4が動作状態(図3では判定と表示)のときのみ間欠的に判定し、その結果を記録部5に判定信号S5として出力する。
記録部5には、第2のフィルタ部3から超音波帯域検出信号S3が入力する。ここで、記録部5は、判定部4が非動作状態(図3では判定停止と表示)の場合、超音波帯域検出信号S3の記録を停止する。また上述第1の実施例同様、判定部4で判定が行われ判定信号S5が環境ノイズを含むことを示す場合、環境ノイズを含むと判定された可聴帯域検出信号S2が分離された音波信号S1から分離された超音波帯域検出信号S3を記録部5に保存、記録しない構成とする。
図3に示す例では判定部4が動作状態のとき環境ノイズが発生した場合、環境ノイズが発生するタイミングに合わせて超音波帯域検出信号の記録を停止している。なお、記録部5の記録の停止は、環境ノイズが発生している間だけでなく、環境ノイズを含む場合にその信号すべての記録を停止するように構成してもよい。
なお、判定部4が非動作状態のときに環境ノイズが発生した場合、超音波帯域検出信号S3は記録部5に保存、記録されない構成となるため、何ら問題はない。
このように構成すると、環境ノイズに起因する超音波帯域検出信号を除いた検出信号のみが記録部5に記録され、この検出信号により機械装置等の故障予知を行うことが可能となる。さらに本実施例では、記録される超音波帯域検出信号のデータ量を削減することができ好適である。
次に第3の実施例について説明する。本実施例においても、図4に示すように超音波帯域検出信号を間欠的に記録する。上述の第2の実施例と異なる点は、判定部4が常時動作状態となっている点である。
具体的には、第1の実施例同様、第1のフィルタ部2を通過した可聴帯域検出信号S2は、判定部4に入力する。判定部4では、可聴帯域検出信号S2に環境ノイズが含まれているが否かを判定する。本実施例では上述の第1の実施例同様、判定部4において常時判定を行い、その結果を記録部5に判定信号S5として出力する。
記録部5には、第2のフィルタ部3から超音波帯域検出信号S3が入力する。ここで記録部5は、間欠的に動作する。記録部5が動作状態の場合、判定信号S5がノイズを含むことを示す場合、環境ノイズを含むと判定された可聴帯域検出信号S2が分離された音波信号S1から分離された超音波帯域検出信号を記録部5に保存、記録しない構成とする。
図4に示す例では記録部5が動作状態のとき環境ノイズが発生した場合、環境ノイズが発生するタイミングに合わせて超音波帯域検出信号の記録を停止している。なお、記録部5の記録の停止は、環境ノイズが発生している間だけでなく、環境ノイズを含む場合にその信号すべての記録を停止するように構成してもよい。
なお、記録部5が非動作状態のときに環境ノイズが発生した場合、超音波帯域検出信号S3は記録部5に保存、記録されない構成となっているため、何ら問題はない。
このように構成しても、環境ノイズに起因する超音波帯域検出信号を除いた検出信号のみが記録部5に記録され、この検出信号により機械装置等の故障予知を行うことが可能となる。さらに本実施例でも、記録される超音波帯域検出信号のデータ量を削減することができ好適である。
以上本発明について説明したが本発明は上述の実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。例えば、第1のフィルタ部2をローパスフィルタで構成する代わりに、所定の環境ノイズ等を含む可聴帯域検出信号S2を出力するバンドパスフィルタとしてもよい。可聴帯域検出信号S2と超音波帯域検出信号S3に分離される閾値は、10kHzに限るものでもなく、閾値にオフセットを持たせる構成としてもよい。また信号伝達の過程において、適宜信号を増幅するように構成してもよい。
また、上述の実施例では可聴帯域検出信号について記録しない構成として説明を行ったが、可聴帯域検出信号あるいは音波センサから出力される音波信号を記録する構成としてもよい。可聴帯域検出信号等は環境ノイズを含むため、これらを記録する場合は常時記録するのがよい。
1: 音波センサ、2:第1のフィルタ部、3:第2のフィルタ部、4:判定部、5:記録部

Claims (3)

  1. 測定対象から放射される音波を検出する音波センサ装置において、
    可聴帯域から超音波帯域の周波数帯域の音波を検出可能な音波センサと、
    前記音波センサから出力される音波信号から、可聴帯域検出信号を取り出す第1のフィルタ部と、
    前記音波センサから出力される音波信号から、超音波帯域検出信号を取り出す第2のフィルタ部と、
    既知の環境ノイズに含まれる可聴帯域ノイズ信号あるいは既知の環境ノイズ信号と、前記可聴帯域検出信号とを比較し、前記可聴帯域検出信号が環境ノイズを含むか否かを判定する判定部と、
    前記可聴帯域検出信号が環境ノイズを含むと判定されたとき該可聴帯域検出信号を含む前記音波信号から取り出された前記超音波帯域検出信号を除外し、前記可聴帯域検出信号が環境ノイズを含まないと判定されたとき該可聴帯域信号を含む前記音波信号から取り出された前記超音波帯域検出信号を除外せず、検出信号として記録する記録部と、を備えていることを特徴とする音波センサ装置。
  2. 請求項1記載の音波センサ装置において、
    前記判定部は、前記可聴帯域検出信号の前記判定を所定の期間行った後、所定の期間前記判定を停止する動作を繰り返すことと、
    前記記録部は、前記判定部が前記判定を停止しているとき前記検出信号の記録を停止することを特徴とする音波センサ装置。
  3. 請求項1記載の音波センサ装置において、
    前記記録部は、前記検出信号を所定の期間記録した後、所定の期間前記記録を停止する動作を繰り返すことを特徴とする音波センサ装置。
JP2019200575A 2019-11-05 2019-11-05 音波センサ装置 Pending JP2021076382A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019200575A JP2021076382A (ja) 2019-11-05 2019-11-05 音波センサ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019200575A JP2021076382A (ja) 2019-11-05 2019-11-05 音波センサ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021076382A true JP2021076382A (ja) 2021-05-20

Family

ID=75897808

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019200575A Pending JP2021076382A (ja) 2019-11-05 2019-11-05 音波センサ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2021076382A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9924288B2 (en) Blockage detection for a microelectromechanical systems sensor
JP5197853B2 (ja) モニタリング装置
KR101939383B1 (ko) 초음파 센서 장치 및 초음파 센서 장치의 센싱 방법
US8638226B2 (en) Method and device for determining a leak in a system component and/or for determining a state of a system component
US20140333447A1 (en) Failure alarm system and method of failure alarming thereof
JP2019517193A5 (ja)
JP2024531619A (ja) 音響信号を用いた空間監視装置のノイズ回避方法
JP2011191181A (ja) 回転機器の異常診断システム、回転機器の異常診断装置及び回転機器の異常診断方法
JP2021076382A (ja) 音波センサ装置
CN102714048A (zh) 故障预测装置、故障预测方法及故障预测程序
JPH03269221A (ja) 回転機器の異常音診断装置
JP2009264806A (ja) 異音検出装置、方法及びプログラム
JP3014201B2 (ja) 軸受け異常予知装置
JP6856168B2 (ja) 異常音検知装置および異常音検知方法
JP2009276334A (ja) 異音ピツクアップツール
JP2005284519A (ja) 異常診断装置
JP2010286371A5 (ja)
JP2006105727A (ja) 機械装置の異常感知ユニット
JPS5942827B2 (ja) Ae診断装置
JP2002139377A (ja) 機器異常診断装置
JP2004317248A (ja) 音響識別方法、騒音評価装置、騒音評価方法、騒音評価プログラム及び記録媒体
JP2006047225A (ja) 異常検出装置
JP2020134229A (ja) 音波センサおよび異常検知装置
JP2007127554A (ja) 異常監視装置
EP3454339A1 (en) Method and apparatus for improving the measurement of the timing of touches of a touch screen