JP2021073699A - シャワーヘッド支持構造 - Google Patents
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Abstract
Description
本開示の実施形態は、概して、プラズマチャンバ内でガス分配シャワーヘッドを支持することに関する。より具体的には、本開示は、ガス分配シャワーヘッドを通してチャンバへのガスの流れを可能にする支持構造に関する。
プラズマ強化化学気相成長(PECVD)は、処理ガスがガス分配シャワーヘッドを通して処理チャンバに導入される堆積方法である。シャワーヘッドは、電気的にバイアスが掛けられ、処理ガスを点火してプラズマにする。シャワーヘッドの反対側に位置するサセプタは電気的に接地され、アノードとして機能する。シャワーヘッドは、処理ガスがシャワーヘッドとサセプタの間の処理空間に流入する際に処理ガスを拡散させる。
Claims (20)
- 4つの側面、第1の主面、及び第1の主面に対向する第2の主面を有する直方体の本体、並びに第1の主面と第2の主面との間の長手方向に直方体の本体を貫通して形成された複数のガス通路を備えるガス分配シャワーヘッドと、
直方体の本体にその中央領域で結合された中央支持部材と、
中央領域と4つの側面のうちの1つとの間で直方体の本体に結合された複数の中間支持部材であって、
中間支持部材の各々は、シャフトの一端に枢軸構造と、シャフトの他端にインターフェース本体とを備える懸架機構を備え、
インターフェース本体は、直方体の本体の外側に配置され、
インターフェース本体は、複数のガス通路のうちの第1のガス通路に配置された締結具を受け入れる開口部を備えている中間支持部材とを備える装置。 - 複数のガス通路の各々は、第1の主面内に形成された第1の孔を備え、
第1の孔は、第2の主面内に形成された第2の孔にオリフィス孔によって流体結合されている、請求項1に記載の装置。 - 第2のガス通路は、第1のガス通路の第1の孔と交差する第1のガス通路の長手方向に対して傾斜した角度で直方体の本体を貫通して形成されている、請求項2に記載の装置。
- 中間支持部材の少なくとも一部は、懸架機構に結合するスロット/キー装置を備えている、請求項1に記載の装置。
- 懸架機構は、インターフェース本体に結合された1つ以上の延長部分を備えている、請求項4に記載の装置。
- インターフェース本体は、外部テーパを有する円形本体を備えている、請求項1に記載の装置。
- 中間支持部材の懸架機構は、平面部分に向かって先細になる円形支持体を備えている、請求項1に記載の装置。
- インターフェース本体の開口部は円錐形凹部を備えている、請求項1に記載の装置。
- シャフトの一端はねじ部を備えている、請求項1に記載の装置。
- 側面と、第1の主面と、第1の主面に対向する第2の主面とを有する本体を備えるガス分配シャワーヘッドであって、
本体は第1の主面と第2の主面との間に形成された複数のガス通路を有し、
複数のガス通路の各々は、第1の主面内に形成された第1の開口部を有し、
第1の開口部は、第2の主面内に形成された第2の開口部に規制オリフィスによって流体結合されているガス分配シャワーヘッドと、
本体の中央領域内で本体に結合された1つ以上の中央支持部材と、
中央領域と側面との間で本体に結合された複数の中間支持部材であって、
中間支持部材の各々は、シャフトの一端に枢軸構造と、シャフトの他端にインターフェース本体とを備える懸架機構を備え、
インターフェース本体は、本体の外側に配置され、
インターフェース本体は、複数のガス通路のうちの第1のガス通路に配置された締結具を受け入れる中央開口部を備え、
中央開口部は円錐形凹部を備えている中間支持部材とを備える装置。 - 中央支持部材は、本体の横方向移動を提供する枢軸構造を備えている、請求項10に記載の装置。
- 中間支持部材は、懸架機構に結合するスロット/キー装置を備えている、請求項10に記載の装置。
- 中間支持部材の懸架機構は、平面部分に向かって先細になる円形支持体を備えている、請求項10に記載の装置。
- 本体は、複数のガス通路のうちの第1のガス通路を囲む複数の第2のガス通路を備え、
複数の第2のガス通路の各々は、複数のガス通路のうちの第1のガス通路の長手方向に対してある角度で第1の主面から本体を貫通して形成され、第1のガス通路と交差するように本体内で終端を迎えている、請求項10に記載の装置。 - 複数の第2のガス通路の各々は、横方向に配向された孔を備えている、請求項14に記載の装置。
- 複数の第2のガス通路の各々は、1つ以上の孔を備え、これらの孔の各々は、複数のガス通路のうちの1つ以上の隣接する第1のガス通路を少なくとも部分的に貫通して延在している、請求項14に記載の装置。
- 1つ以上の孔の各々は、規制オリフィスの上流の位置で終端を迎えている、請求項16に記載の装置。
- 側面と、第1の主面と、第1の主面に対向する第2の主面とを有する本体を備えるガス分配シャワーヘッドであって、
本体は第1の主面と第2の主面との間に形成された複数のガス通路を有し、
複数のガス通路の各々は、第1の主面内に形成された第1の孔を有する第1のガス通路を備え、
第1の孔は、第2の主面内に形成された第2の孔に規制オリフィスによって流体結合されているガス分配シャワーヘッドと、
複数のガス通路のうちの第1のガス通路の1つを囲む複数の第2のガス通路であって、
第2のガス通路の各々は、複数のガス通路のうちの第1のガス通路の長手方向に対してある角度で第1の主面から本体を貫通して形成され、第1のガス通路と交差するように本体内で終端を迎えている第2のガス通路と、
第1の懸架機構によって本体の中央領域で本体に結合された中央支持部材と、
第2の懸架機構によって中央領域と側面との間で本体に結合された複数の中間支持部材であって、
第2の懸架機構の各々は、シャフトの一端に枢軸構造と、シャフトの他端にインターフェース本体とを備え、
インターフェース本体は、本体の外側に配置され、
インターフェース本体は、複数のガス通路のうちの第1のガス通路に配置された締結具を受け入れる開口部を備えている中間支持部材とを備える装置。 - インターフェース本体は、外部テーパを有する円形本体を備えている、請求項18に記載の装置。
- インターフェース本体の開口部は円錐形凹部を備えている、請求項18に記載の装置。
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