JP2021067874A - 表示パネルの製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】歩留まりの低下を抑制することが可能な表示パネルの製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】表示パネルに向けて紫外線を照射する表示パネルの製造装置であって、少なくとも一方向に並んだ複数の発光部を備え、前記発光部の各々は、前記表示パネルのうち、第１材料を有する領域に対し、第１ピーク波長の紫外線を照射する第１発光素子と、前記表示パネルのうち、第２材料を有する領域に対し、第２ピーク波長の紫外線を照射する第２発光素子と、を備え、前記第２ピーク波長は、前記第１ピーク波長とは異なる、製造装置。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、表示パネルの製造装置及び製造方法に関する。

表示パネルの一つとして液晶パネルが知られている。液晶パネルの製造装置の一つである紫外線照射装置は、例えば、配向膜の光配向処理に用いられる。一例では、棒状のＵＶランプから出射された光は、ミラーを用いて集光され、アパーチャーを介して照射される。この際、露光量のばらつきは、歩留まりの低下の一因となりうる。

特開２００７−２１９１９１号公報 特開２０１５−１４８７４８号公報

本実施形態の目的は、歩留まりの低下を抑制することが可能な表示パネルの製造装置及び製造方法を提供することにある。

本実施形態の製造装置は、
表示パネルに向けて紫外線を照射する表示パネルの製造装置であって、少なくとも一方向に並んだ複数の発光部を備え、前記発光部の各々は、前記表示パネルのうち、第１材料を有する領域に対し、第１ピーク波長の紫外線を照射する第１発光素子と、前記表示パネルのうち、第２材料を有する領域に対し、第２ピーク波長の紫外線を照射する第２発光素子と、を備え、前記第２ピーク波長は、前記第１ピーク波長とは異なる。

本実施形態の製造方法は、
第１波長域に含まれる第１ピーク波長の紫外線を表示パネルに向けて照射する第１発光素子と、第２波長域に含まれる第２ピーク波長の紫外線を表示パネルに向けて照射する第２発光素子と、をそれぞれ備える複数の発光部が少なくとも一方向に並んだ紫外線照射装置を用いた表示パネルの製造方法であって、前記第１波長域で反応を呈する第１材料及び前記第２波長域で反応を呈する第２材料を備えた表示パネルと、前記複数の発光部とを重畳し、前記発光部が前記第１材料に重畳した際に、前記発光部において前記第１発光素子を点灯し、前記発光部が前記第２材料に重畳した際に、前記発光部において前記第２発光素子を点灯する。

図１は、表示パネルの製造装置１の一構成例を示す図である。 図２は、表示パネルＰＮＬの一構成例を示す平面図である。 図３は、図２に示した表示パネルＰＮＬの一構成例を示す断面図である。 図４は、光源パネル１０の一構成例を示す図である。 図５は、光源パネル１０の他の構成例を示す図である。 図６は、本実施形態の製造装置１による制御の一例を説明するための図である。 図７は、本実施形態の製造装置１による制御の一例を説明するための図である。

以下、本実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。

図１は、表示パネルの一種である液晶パネルの製造装置１の一構成例を示す図である。一例では、第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び、第３方向Ｚは、互いに直交しているが、９０度以外の角度で交差していてもよい。本明細書における第１方向Ｘ及び第２方向Ｙとは、便宜上平面を規定する方向であり、第３方向Ｚとは、厚さあるいは高さ方向に相当するものである。

以下の本実施形態では、液晶パネルの製造装置１の一例として、液晶パネルに向けて紫外線（ＵＶ）を照射する紫外線照射装置について説明する。

製造装置１は、光源パネル１０と、ステージ２０と、光学系３０と、偏光板４０と、カメラ５０と、紫外線ランプ６０と、制御部（ＣＮＴ）７０と、を備えている。図１に示す例では、光源パネル１０、光学系３０、偏光板４０、及び、ステージ２０は、この順に第３方向Ｚに沿って並んでいる。カメラ５０及び紫外線ランプ６０は、ステージ２０を挟んで、光源パネル１０とは反対側に設けられている。

光源パネル１０の詳細については後述するが、光源パネル１０は、ステージ２０に向けて、波長の異なる複数種類の紫外線を照射する照射領域１０Ａを有している。ステージ２０は、少なくとも光源パネル１０から照射された紫外線を透過する材料によって構成されている。紫外線が照射される対象物Ｏは、ステージ２０の上面２０Ａに配置される。対象物Ｏのほぼ全体は、照射領域１０Ａに重畳している。対象物Ｏの一例は、液晶パネルである。図１に示す例では、対象物Ｏは、複数の液晶パネルを一括して形成するものであり、一対のマザー基板ＭＳ１及びＭＳ２と、液晶層ＬＣと、シールＳＥと、を備えている。液晶層ＬＣは、一対のマザー基板ＭＳ１及びＭＳ２の間に設けられ、シールＳＥ等によって封止されている。液晶パネルの具体例については、後述する。光源パネル１０のステージ２０とは反対側に、光源パネル１０の放熱機構や冷却機構を設けることも可能である。

光学系３０及び偏光板４０は、いずれも光源パネル１０とステージ２０との間に設けられているが、光学系３０が光源パネル１０側に設けられ偏光板４０がステージ２０側に設けられる例に限らず、偏光板４０が光源パネル１０側に設けられ光学系３０がステージ２０側に設けられてもよい。光学系３０及び偏光板４０の各々は、照射領域１０Ａのほぼ全体に重畳するように設けられている。光学系３０は、例えばマイクロレンズアレイ、プリズムなど光学部材を備え、照射領域１０Ａから照射された紫外線を平行化したり、集光したり、拡散したりするように構成されている。偏光板４０は、照射領域１０Ａから照射された紫外線のうち、一直線偏光成分を透過するように構成されている。光学系３０及び偏光板４０のいずれか一方を設けない構成であってもよい。なお、光の照射領域を細かく制御し、隣接光源からの光を排除するためには、光源パネル１０から照射される光を、光学系３０にて平行光に変換することが望まれる。

カメラ５０は、ステージ２０に配置された対象物（液晶パネル）Ｏを撮影し、取り込んだ画像を制御部７０に出力するように構成されている。ランプ６０は、例えば紫外線ランプであり、対象物Ｏに向けて紫外線を照射するように構成されている。このようなランプ６０は、主として、対象物Ｏに含まれる紫外線硬化性樹脂の硬化のために用いられるものである。なお、ランプ６０は、対象物Ｏに含まれる熱硬化性樹脂の硬化のために用いられる加熱源であってもよい。また、ランプ６０は、光源パネル１０が設けられた側に設けられてもよい。ランプ６０は、表示パネルの材料を反応させるために光源パネル１０の発光素子が点灯している際に、並行して点灯するものであってもよく、発光素子の消灯後に点灯するものであってもよい。また、ランプ６０が有する波長域或いはピーク波長は、光源パネル１０の発光素子の波長域或いはピーク波長と同一、或いは、重複するものであってもよい。ランプ６０を用いることで、光源パネル１０では照射出来ない領域にまで所望の光を照射させることが可能となる。

制御部７０は、カメラ５０で撮影された画像に基づいて光源パネル１０を制御する。具体的な制御例については後述する。

次に、液晶パネルの具体例として、高分子分散型液晶を適用した液晶パネルについて説明する。

図２は、液晶パネルＰＮＬの一構成例を示す平面図である。液晶パネルＰＮＬは、第１基板ＳＵＢ１及び第２基板ＳＵＢ２を備えている。第１基板ＳＵＢ１は図１に示したマザー基板ＭＳ１から割断されたものであり、第２基板ＳＵＢ２は図１に示したマザー基板ＭＳ２から割断されたものである。第１基板ＳＵＢ１及び第２基板ＳＵＢ２は、平面視で、重畳している。第１基板ＳＵＢ１及び第２基板ＳＵＢ２は、連続したループ状のシールＳＥによって接着されている。なお、シールＳＥは、封止材が充填された注入口を有していてもよいが、本実施形態では、シールＳＥは、注入口を有さない形状をしている。この場合、ＯＤＦ（Ｏｎｅ Ｄｒｏｐ Ｆｉｌｌ）と呼ばれる方法により液晶材料がシール内に封止される。液晶層ＬＣは、シールＳＥによって囲まれた内側に設けられている。

図２において拡大して模式的に示すように、液晶層ＬＣは、ポリマーＬＣＰと、液晶分子ＬＣＭと、を含む高分子分散型液晶を備えている。一例では、ポリマーＬＣＰは、液晶性ポリマーである。ポリマーＬＣＰは、一方向に沿って延出した筋状に形成されている。液晶分子ＬＣＭは、ポリマーＬＣＰの隙間に分散されている。液晶分子ＬＣＭの長軸は、ポリマーＬＣＰの長軸に沿うように配向される。ポリマーＬＣＰ及び液晶分子ＬＣＭの各々は、光学異方性あるいは屈折率異方性を有している。ポリマーＬＣＰの電界に対する応答性は、液晶分子ＬＣＭの電界に対する応答性より低い。

液晶パネルＰＮＬは、画像を表示する表示部ＤＡと、表示部ＤＡを囲む額縁状の非表示部ＮＤＡと、を備えている。表示部ＤＡは、複数の画素ＰＸを備えている。図２において拡大して示すように、各画素ＰＸは、スイッチング素子ＳＷ、画素電極ＰＥ等を備えている。スイッチング素子ＳＷは、走査線Ｇ及び信号線Ｓと電気的に接続されている。画素電極ＰＥは、スイッチング素子ＳＷと電気的に接続されている。共通電極ＣＥは、複数の画素電極ＰＥに対して共通に設けられている。液晶層ＬＣ（特に、液晶分子ＬＣＭ）は、画素電極ＰＥと共通電極ＣＥとの間に生じる電界によって駆動される。容量ＣＳは、例えば、共通電極ＣＥと同電位の電極、及び、画素電極ＰＥと同電位の電極の間に形成される。

図３は、図２に示した液晶パネルＰＮＬの一構成例を示す断面図である。
第１基板ＳＵＢ１は、透明基板Ｔ１０と、絶縁膜ＩＬ１及びＩＬ２と、容量電極Ｃと、スイッチング素子ＳＷと、画素電極ＰＥと、配向膜ＡＬ１と、を備えている。絶縁膜ＩＬ１は、スイッチング素子ＳＷを覆っている。なお、図２に示した走査線Ｇ及び信号線Ｓは、透明基板Ｔ１０と絶縁膜ＩＬ１との間に設けられているが、ここでは図示を省略している。容量電極Ｃは、絶縁膜ＩＬ１及びＩＬ２の間に設けられている。画素電極ＰＥは、絶縁膜ＩＬ２と配向膜ＡＬ１との間において、画素ＰＸ毎に設けられている。画素電極ＰＥは、容量電極Ｃの開口部ＯＰを介してスイッチング素子ＳＷと電気的に接続されている。配向膜ＡＬ１は、画素電極ＰＥを覆っている。
第２基板ＳＵＢ２は、透明基板Ｔ２０と、共通電極ＣＥと、配向膜ＡＬ２と、を備えている。配向膜ＡＬ２は、共通電極ＣＥを覆っている。なお、第２基板ＳＵＢ２において、スイッチング素子ＳＷ、走査線Ｇ、及び、信号線Ｓの直上にそれぞれ遮光層が設けられてもよい。配向膜ＡＬ１及びＡＬ２は、一方向に沿って配向処理された水平配向膜である。なお、配向処理とは、ラビング処理であってもよいし、光配向処理であってもよい。
次に、光源パネル１０の構成例について説明する。

図４は、光源パネル１０の一構成例を示す図である。光源パネル１０は、支持基板１１と、複数の発光部ＬＥと、を備えている。図４に示す例では、複数の発光部ＬＥは、照射領域１０Ａにおいて第１方向Ｘ及び第２方向Ｙにマトリクス状に並び、支持基板１１に支持されている。発光部ＬＥの各々は、ピーク波長が異なる複数種類の発光素子を備え、例えば、第１発光素子ＬＤ１及び第２発光素子ＬＤ２を備えている。図４において、第１発光素子ＬＤ１及び第２発光素子ＬＤ２は、異なるハッチングで区別しており、第１発光素子ＬＤ１は横線で示し、第２発光素子ＬＤ２は縦線で示している。なお、発光部ＬＥは、ピーク波長が異なる３種類以上の発光素子を備えていてもよい。

第１発光素子ＬＤ１は、第１波長域に含まれる第１ピーク波長の紫外線を照射するように構成されている。第２発光素子ＬＤ２１は、第２波長域に含まれる第２ピーク波長の紫外線を照射するように構成されている。第２ピーク波長は、第１ピーク波長とは異なる波長である。第１発光素子ＬＤ１及び第２発光素子ＬＤ２の各々は、最大径が１００μｍ以下のマイクロＬＥＤであってもよいし、最大径が１００〜３００μｍ程度のミニＬＥＤであってもよいし、最大径が３００〜５００μｍ程度のＬＥＤであってもよい。

第１波長域は、紫外線照射の対象物Ｏである液晶パネルの第１材料が反応（化学変化、物理変化等の化学式、組成、形状等の変化）を呈する波長域である。第１ピーク波長は、第１材料の感度に応じて適宜選択される。第２波長域は、紫外線照射の対象物Ｏである液晶パネルの第２材料が反応を呈する波長域である。第２ピーク波長は、第２材料の感度に応じて適宜選択される。ここで述べた第１材料及び第２材料は、例えば感光性樹脂であるが、互いに異なる材料である。例えば、第１材料及び第２材料としては、紫外線照射により分解する材料、紫外線照射により重合する材料などである。第１材料及び第２材料の具体例としては、図２等を参照して説明した液晶パネルＰＮＬにおいて、配向膜ＡＬ１及びＡＬ２を形成する材料、液晶層ＬＣのうちのポリマーＬＣＰを形成する材料、シールＳＥを形成する材料、図示しない封止材を形成する材料などが挙げられる。

照射領域１０Ａには、ゲート線ＧＬ、信号線ＳＬ、電源線ＰＬなどが設けられている。図示していないが、ゲート線ＧＬと信号線ＳＬとの間にはスイッチング素子が設けられている。ゲート線ＧＬは、ゲートドライバ７１に接続されている。信号線ＳＬは、セレクタ７２に接続されている。電源線ＰＬは、電源回路ＰＳに接続されている。制御部７０は、カメラ５０で撮影された画像に基づいて、ゲートドライバ７１及びセレクタ７２に制御信号を出力し、各発光部ＬＥにおける第１発光素子ＬＤ１及び第２発光素子ＬＤ２の点灯及び消灯を制御する。ゲート線ＧＬはゲートドライバ７によって順次選択される。１本のゲート線に接続された発光部のうち、第１発光素子を点灯させるか、第２発光素子を点灯させるか、或いは、双方を点灯させるか、消灯させるか、については、セレクタ７２によって選択される。本実施形態では、アクティブマトリクス状の照射領域１０Ａを開示しているが、パッシブ型でもよい。また、ゲート線ＧＬを順次選択する方式に限らず、全面を一括して点灯する構成であってもよい。更には、各発光部にメモリを設け、メモリに記憶された情報により点灯或いは消灯を行う構成であってもよい。

図５は、光源パネル１０の他の構成例を示す図である。なお、図５では、光学系３０や偏光板４０などの図示を省略している。図５に示す構成例は、図４に示した構成例と比較して、光源パネル１０の支持基板１１及びステージ２０の少なくとも一方を移動させる移動機構８０を備えた点で相違している。光源パネル１０において、複数の発光部ＬＥは、照射領域１０Ａにおいて第１方向Ｘに並び、支持基板１１に支持されている。各発光部ＬＥにおいて、第１発光素子ＬＤ１及び第２発光素子ＬＤ２は、移動機構８０による移動方向（例えば第２方向Ｙ）に沿って並んでいる。図５に示す例では、光源パネル１０は、第１方向Ｘに沿って１列に並んだ複数の発光部ＬＥを備えているが、２列以上並んだ複数の発光部ＬＥを備えていてもよい。このような光源パネル１０において、照射領域１０Ａの第１方向Ｘに沿った幅は対象物Ｏの第１方向Ｘに沿った幅より大きく、また、照射領域１０Ａの第２方向Ｙに沿った幅は対象物Ｏの第２方向Ｙに沿った幅より小さい。

このような構成例において、移動機構８０は、第２方向Ｙに沿った順方向Ｙ１に支持基板１１を移動することで、対象物Ｏの全体に紫外線を照射することができる。また、移動機構８０は、第２方向Ｙに沿った逆方向Ｙ２にステージ２０を移動することで、対象物Ｏの全体に紫外線を照射することができる。

図６は、本実施形態の製造装置１による制御の一例を説明するための図である。ここでは、対象物Ｏである液晶パネルと光源パネル１０とが重畳した状態を示している。対象物Ｏは、上記の通り、第１波長域で反応を呈する第１材料Ｐ１、及び、第２波長域で反応を呈する第２材料Ｐ２を備えている。

制御部７０は、カメラ５０で撮影された画像に基づいて、発光部ＬＥの各々を制御する。例えば、制御部７０は、画像に基づいて、第１材料Ｐ１に重畳していると判断した発光部ＬＥ１においては第１発光素子ＬＤ１を点灯するように制御する。また、制御部７０は、画像に基づいて、第２材料Ｐ２に重畳していると判断した発光部ＬＥ２においては第２発光素子ＬＤ２を点灯するように制御する。点灯している第１発光素子ＬＤ１及び第２発光素子ＬＤ２は、図中にｎｏｒｍａｌ−ｉｎｔｅｎｓｉｔｙと表記したハッチングで示している。なお、第１材料と第２材料との境界をカメラで認識出来ない場合、境界に対応して設けられた表示パネルの所定パターン、或いは、境界から離間して表示パネルに設けられた所定パターンを認識することで、境界を推定するものであってもよい。カメラを用いず、ＣＡＤデータ等を基に境界を決定するものであってもよい。

発光部ＬＥ１の第１発光素子ＬＤ１による紫外線強度（あるいは露光量）、及び、発光部ＬＥ２の第２発光素子ＬＤ２による紫外線強度（あるいは露光量）は、それぞれ第１材料Ｐ１及び第２材料Ｐ２の感光特性に応じて適宜設定される。このような制御部７０による制御に基づいて、第１発光素子ＬＤ１は、第１材料Ｐ１の反応に最適な波長の紫外線を第１材料Ｐ１に向けて照射し、第２発光素子ＬＤ２は、第２材料Ｐ２の反応に最適な波長の紫外線を第２材料Ｐ２に向けて照射する。

なお、図６に示す例では、発光部ＬＥ１の第２発光素子ＬＤ２は消灯しているが、第２ピーク波長が第１材料Ｐ１の反応に寄与する場合には、第２発光素子ＬＤ２は点灯していてもよい。同様に、発光部ＬＥ２の第１発光素子ＬＤ１は消灯しているが、点灯していてもよい。発光部を構成する発光素子の一つのみが発光する構成に限られるわけでなく、発光部の複数の発光素子が発光するものであってもよい。その場合、それぞれの発光素子の輝度を異ならせることも可能である。消灯している第１発光素子ＬＤ１及び第２発光素子ＬＤ２は、図中にＯＦＦと表記したハッチングで示している。

このような構成例によれば、反応に最適な波長及び最適な露光量が異なる複数種類の材料を備えた対象物Ｏに紫外線を照射するに際して、一度の照射工程で高精度に紫外線を照射することができる。したがって、歩留まりの低下を抑制することができる。

ここで、第１材料Ｐ１と第２材料Ｐ２との境界Ｂ１に着目する。複数の発光部ＬＥのうち、第１発光部ＬＥ１０は、第１材料Ｐ１及び第２材料Ｐ２の双方に重畳している。制御部７０は、このような第１発光部ＬＥ１０においては第１発光素子ＬＤ１及び第２発光素子ＬＤ２を消灯するように制御する。これにより、第１材料Ｐ１及び第２材料Ｐ２の双方に対して、不所望な波長の紫外線が照射されることを防止している。

第２発光部ＬＥ１２及び第３発光部ＬＥ１３は、第１材料Ｐ１に重畳しているが、第２材料Ｐ２には重畳していない。第３発光部ＬＥ１３は、第１発光部ＬＥ１０と第２発光部ＬＥ１２との間に位置している。制御部７０は、第２発光部ＬＥ１２及び第３発光部ＬＥ１３の各々において、第１発光素子ＬＤ１を点灯するように制御する。ただし、第３発光部ＬＥ１３の第１発光素子ＬＤ１の紫外線強度は、第２発光部ＬＥ１２の第１発光素子ＬＤ１の紫外線強度より高い。第２発光部ＬＥ１２の第１発光素子ＬＤ１は図中にｎｏｒｍａｌ−ｉｎｔｅｎｓｉｔｙと表記したハッチングで示し、第３発光部ＬＥ１３の第１発光素子ＬＤ１は図中にｈｉｇｈ−ｉｎｔｅｎｓｉｔｙと表記したハッチングで示している。これにより、境界Ｂ１に重畳する第１発光部ＬＥ１０の第１発光素子ＬＤ１が消灯していることによる第１材料Ｐ１に対する露光量の不足分が補償される。

同様に、発光部ＬＥ２２及びＬＥ２３は、第２材料Ｐ２に重畳しているが、第１材料Ｐ１には重畳していない。発光部ＬＥ２３は、第１発光部ＬＥ１０と発光部ＬＥ２２との間に位置している。制御部７０は、発光部ＬＥ２２及びＬＥ２３の各々において、第２発光素子ＬＤ２を点灯するように制御する。ただし、発光部ＬＥ２３の第２発光素子ＬＤ２の紫外線強度は、発光部ＬＥ２２の第２発光素子ＬＤ２の紫外線強度より高い。発光部ＬＥ２２の第２発光素子ＬＤ２は図中にｎｏｒｍａｌ−ｉｎｔｅｎｓｉｔｙと表記したハッチングで示し、発光部ＬＥ２３の第２発光素子ＬＤ２は図中にｈｉｇｈ−ｉｎｔｅｎｓｉｔｙと表記したハッチングで示している。これにより、境界Ｂ１に重畳する第１発光部ＬＥ１０の第２発光素子ＬＤ２が消灯していることによる第２材料Ｐ２に対する露光量の不足分が補償される。つまり、境界Ｂ１の近傍において、第１材料Ｐ１及び第２材料Ｐ２のいずれについても最適な露光量となるように紫外線が照射され、未反応物質の残留が抑制される。なお、境界Ｂ１の近傍における第１材料Ｐ１及び第２材料Ｐ２によっては、境界Ｂ１に重畳する第１発光部ＬＥ１０の第２発光素子ＬＤ２の双方を点灯させるものであってもよい。なお、領域毎の露光量の調整を行うため、発光素子に供給する電流量を増加する方法の他、発光時間を変化させて露光量の調整を行うことも可能である。また、第１材料Ｐ１と第２材料Ｐ２への光の照射を、同時に開始するものであっても良いが、まず一方の材料へ光を照射し、一方の材料の反応が開始されたのちに他方の材料へ光を照射するものであってもよい。

第２材料Ｐ２のエッジＥ２に重畳している発光部ＬＥ２４については、第２発光素子ＬＤ２が点灯している。また、第１材料Ｐ１及び第２材料Ｐ２のいずれにも重畳していない発光部ＬＥ２５については、第１発光素子ＬＤ１及び第２発光素子ＬＤ２のいずれも消灯している。

図７は、本実施形態の製造装置１による制御の一例を説明するための図である。ここでは、対象物Ｏである液晶パネルと光源パネル１０とが重畳した状態を示している。対象物Ｏは、第１波長域で反応を呈する第１材料Ｐ１、及び、遮光材料Ｐ３を備えている。遮光材料Ｐ３とは、例えば、ブラックマトリクスなどの遮光層、不透明な配線、回路などを形成する材料である。第１材料Ｐ１の一部は、遮光材料Ｐ３に重畳している。遮光材料Ｐ３が光源パネル１０と第１材料Ｐ１との間に位置している場合、光源パネル１０から照射された紫外線が遮光材料Ｐ３で遮られる。このため、遮光材料Ｐ３に重畳する第１材料Ｐ１に紫外線を照射するための制御が必要とされる。

ここで、第１材料Ｐ１と遮光材料Ｐ３との境界Ｂ２に着目する。複数の発光部ＬＥのうち、第１発光部ＬＥ３１は、第１材料Ｐ１及び遮光材料Ｐ３の双方に重畳している。第２発光部ＬＥ３２は、第１材料Ｐ１に重畳しているが、遮光材料Ｐ３には重畳していない。第２発光部ＬＥ３２は、第１発光部ＬＥ３１に隣接している。制御部７０は、第１発光部ＬＥ３１及び第２発光部ＬＥ３２の各々において、第１発光素子ＬＤ１を点灯するように制御する。ただし、第１発光部ＬＥ３１の第１発光素子ＬＤ１の紫外線強度は、第２発光部ＬＥ３２の第１発光素子ＬＤ１の紫外線強度より高い。第２発光部ＬＥ３２の第１発光素子ＬＤ１は図中にｎｏｒｍａｌ−ｉｎｔｅｎｓｉｔｙと表記したハッチングで示し、第１発光部ＬＥ３１の第１発光素子ＬＤ１は図中にｈｉｇｈ−ｉｎｔｅｎｓｉｔｙと表記したハッチングで示している。

このように、境界Ｂ２に重畳する第１発光素子ＬＤ１の紫外線強度を他の第１発光素子ＬＤ１の紫外線強度より高くしたことにより、第１発光素子ＬＤ１から照射された紫外線が遮光材料Ｐ３に重畳する第１材料Ｐ１に回り込み、遮光材料Ｐ３に重畳していることによる第１材料Ｐ１に対する露光量の不足分が補償される。したがって、未反応物質の残留が抑制される。

以上説明したように、本実施形態によれば、歩留まりの低下を抑制することが可能な表示パネルの製造装置及び製造方法を提供することができる。

なお、この発明は、上記実施形態そのものに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。例えば、発光素子は紫外線発光素子に限定されることなく、可視光、赤外線を出射する素子、或いは、それらの組合せであってもよい。また、第１発光素子の数と第２発光素子の数とが均一となる構成となっているが、どちらかの発光素子の数を多くしたものであってもよい。また、発光部の中に複数の発光素子を設ける構造を記載しているが、特に発光部を規定せず、所定領域には第１発光素子、それ以外の領域には第２発光素子を配置し、それぞれの素子を個別に駆動するものであってもよい。更に、特定の発光素子のみが長時間使用される状況が継続すると発光効率が低下する場合がある。それを防ぐため、ステージ上の対象物の配置位置を適宜変更し、使用する発光素子を異ならせるものであってもよい。また、表示パネルとして、液晶パネルを開示しているが、光を照射することで材料の組成や特性を変化させる工程を有するものであれば、ＯＬＥＤ、マイクロＬＥＤ等を用いた表示パネルに適用することも可能である。また、表示パネルに限らず、センサアレイ等の電子機器全般に適用することが可能である。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。

１…製造装置 １０…光源パネル ２０…ステージ ３０…光学系 ４０…偏光板
５０…カメラ ７０…制御部 ８０…移動機構 Ｏ…対象物（液晶パネル）
ＬＥ…発光素子 ＬＤ１…第１発光素子 ＬＤ２…第２発光素子 １１…支持基板

Claims (12)

1. 表示パネルに向けて紫外線を照射する表示パネルの製造装置であって、
   少なくとも一方向に並んだ複数の発光部を備え、
   前記発光部の各々は、
   前記表示パネルのうち、第１材料を有する領域に対し、第１ピーク波長の紫外線を照射する第１発光素子と、
   前記表示パネルのうち、第２材料を有する領域に対し、第２ピーク波長の紫外線を照射する第２発光素子と、を備え、
   前記第２ピーク波長は、前記第１ピーク波長とは異なる、製造装置。
2. さらに、前記表示パネルを撮影するカメラと、
   前記カメラで撮影された画像に基づいて前記複数の発光部の各々を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、
   前記発光部が前記第１材料に重畳した際に、前記発光部において前記第１発光素子を点灯し、
   前記発光部が前記第２材料に重畳した際に、前記発光部において前記第２発光素子を点灯する、請求項１に記載の製造装置。
3. 前記複数の発光部は、第１発光部を含み、
   前記制御部は、前記第１材料及び前記第２材料の双方に重畳した前記第１発光部において、前記第１発光素子及び前記第２発光素子を消灯する、請求項２に記載の製造装置。
4. 前記複数の発光部は、第２発光部と、前記第１発光部と前記第２発光部との間に位置する第３発光部と、を含み、
   前記制御部は、前記第１材料に重畳し前記第２材料に重畳していない前記第２発光部及び前記第３発光部の各々において、前記第１発光素子を点灯し、
   前記第３発光部の前記第１発光素子の紫外線強度は、前記第２発光部の前記第１発光素子の紫外線強度より高い、請求項３に記載の製造装置。
5. 前記複数の発光部は、第１発光部と、前記第１発光部に隣接する第２発光部と、を含み、
   前記制御部は、前記第１材料及び遮光材料の双方に重畳した前記第１発光部、及び、前記第１材料に重畳し前記遮光材料に重畳していない前記第２発光部の各々において、前記第１発光素子を点灯し、
   前記第１発光部の前記第１発光素子の紫外線強度は、前記第２発光部の前記第１発光素子の紫外線強度より高い、請求項２に記載の製造装置。
6. さらに、第１方向、及び、前記第１方向とは異なる第２方向に並んだ前記複数の発光部を支持する支持基板を備える、請求項１に記載の製造装置。
7. さらに、第１方向に並んだ前記複数の発光部を支持する支持基板と、
   前記表示パネルが配置されるステージと、
   前記第１方向とは異なる第２方向に沿って前記支持基板及び前記ステージの少なくとも一方を移動させる移動機構と、を備える、請求項１に記載の製造装置。
8. さらに、前記複数の発光部と前記表示パネルとの間に、光学系と、偏光板と、を備える、請求項１に記載の製造装置。
9. 第１波長域に含まれる第１ピーク波長の紫外線を表示パネルに向けて照射する第１発光素子と、第２波長域に含まれる第２ピーク波長の紫外線を表示パネルに向けて照射する第２発光素子と、をそれぞれ備える複数の発光部が少なくとも一方向に並んだ紫外線照射装置を用いた表示パネルの製造方法であって、
   前記第１波長域で反応を呈する第１材料及び前記第２波長域で反応を呈する第２材料を備えた表示パネルと、前記複数の発光部とを重畳し、
   前記発光部が前記第１材料に重畳した際に、前記発光部において前記第１発光素子を点灯し、
   前記発光部が前記第２材料に重畳した際に、前記発光部において前記第２発光素子を点灯する、製造方法。
10. 前記複数の発光部のうち、前記第１材料及び前記第２材料の双方に重畳した第１発光部において、前記第１発光素子及び前記第２発光素子を消灯する、請求項９に記載の製造方法。
11. 前記複数の発光部のうち、前記第１材料に重畳した第２発光部、及び、前記第１発光部と前記第２発光部との間に位置し前記第１材料に重畳した第３発光部の各々において、前記第１発光素子を点灯し、
    前記第３発光部の前記第１発光素子の紫外線強度は、前記第２発光部の前記第１発光素子の紫外線強度より高い、請求項１０に記載の製造方法。
12. 前記複数の発光部のうち、前記第１材料及び遮光材料の双方に重畳した第１発光部、及び、前記第１発光部に隣接し前記第１材料に重畳した第２発光部の各々において、前記第１発光素子を点灯し、
    前記第１発光部の前記第１発光素子の紫外線強度は、前記第２発光部の前記第１発光素子の紫外線強度より高い、請求項９に記載の製造方法。

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