JP2021067565A - シンチレータパネル、放射線検出器、シンチレータパネルの製造方法、及び、放射線検出器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 第1表面及び前記第1表面の反対側の第2表面を有する第1可撓性支持体と、
前記第1表面に形成され、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層と、
前記第2表面上に設けられた第2可撓性支持体と、
前記第2表面と前記第2可撓性支持体との間に介在されるように前記第2可撓性支持体に設けられた無機層と、
前記第2表面と前記無機層とを互いに接着する第1接着層と、
を備えるシンチレータパネル。 - 前記第1可撓性支持体、前記シンチレータ層、前記第2可撓性支持体、及び、前記無機層を覆うように設けられた保護層を備える、
請求項1に記載のシンチレータパネル。 - 前記無機層と前記第2可撓性支持体とを互いに接着する第2接着層を備える、
請求項1又は2に記載のシンチレータパネル。 - 前記第1表面に交差する第1方向における前記第1可撓性支持体及び前記第2可撓性支持体の厚さは、50μm以上250μm以下であり、
前記第1方向における前記無機層の厚さは、10μm以上100μm以下であって、前記第1方向における前記第1可撓性支持体及び前記第2可撓性支持体の厚さよりも薄い、
請求項1〜3のいずれか一項に記載のシンチレータパネル。 - 前記第1方向における前記第1可撓性支持体の厚さと前記第2可撓性支持体の厚さとの差は、0以上90μm以下である、
請求項4に記載のシンチレータパネル。 - 前記無機層の材料は、Al、Cu、Ti、Fe、又は、SUSを含む、
請求項1〜5のいずれか一項に記載のシンチレータパネル。 - 前記第1可撓性支持体及び前記第2可撓性支持体の材料は、PET、PEN、PI、PP、PE、又は、PMMAを含む、
請求項1〜6のいずれか一項に記載のシンチレータパネル。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載のシンチレータパネルと、
光電変換素子を含むセンサパネルと、
を備え、
前記シンチレータパネルは、前記第2表面に対して前記第1表面が前記センサパネル側となるように、前記センサパネルに設けられている、
放射線検出器。 - 第1可撓性支持体の第1表面に、蒸着法によって複数の柱状結晶を含むシンチレータ層を形成する工程と、
無機層が設けられた第2可撓性支持体を用意する工程と、
前記第1可撓性支持体の前記第1表面と反対側の第2表面と前記第2可撓性支持体との間に前記無機層が介在するように、前記無機層を第1接着層により前記第1可撓性支持体に接着する工程と、
を備えるシンチレータパネルの製造方法。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載されたシンチレータパネルを用意する工程と、
光電変換素子を含むセンサパネルを用意する工程と、
前記第2表面に対して前記第1表面が前記センサパネル側となるように、前記シンチレータパネルを前記センサパネルに設ける工程と、
を備える放射線検出器の製造方法。
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