JP2021066041A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】液体循環素子を駆動する際のクロストークを抑制可能な液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体が流通する液体流通路２と、液体流通路２から分岐し、液体流通路５に合流する第１および第２の液体循環流路３と、第１の液体循環流路と第２の液体循環流路とを仕切る第１の流路壁７と、第１および第２の液体循環流路３にそれぞれ設けられ、液体が吐出する吐出口５０と、第１および第２の液体循環流路３にそれぞれ設けられ、吐出口５０から液体が吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子５と、第１および第２の液体循環流路３にそれぞれ設けられ、液体が第１および第２の液体循環流路３を循環するためのエネルギーを発生させる液体循環素子４と、第１の流路壁７の中心線の延長線１２の上に設けられ、液体流通路５に位置する構造体８とを有する。【選択図】図１

Description

本発明は、液体吐出ヘッドに関する。

インクジェットプリンタ等の記録装置は、液体を吐出する液体吐出ヘッドを有する。特許文献１に記載されている液体吐出ヘッドは、複数の液滴発生器が均等な間隔で配置されており、流体スロットからの液体が流体ポンプを用いて液滴発生器へ供給される。液滴発生器は供給される電気信号に応じてエネルギーを発生し、液滴は選択された吐出口から噴射される。

国際公開第２０１２−００８９７８号

特許文献１に記載された液体吐出ヘッドにおいては、エネルギー発生素子に相当する液滴発生器を駆動させると「クロストーク」が生じる可能性がある。クロストークとは、駆動されたエネルギー発生素子が配置された流路の流れが、共通の供給流路等を介して、隣接する流路の流れに影響を及ぼす現象であり、印刷物の品位を低下させる原因の１つとなる。流路に具備された、液体が流路を循環するためのエネルギーを発生させる液体循環素子を駆動する際にも、流路内の液体の流れが、共通の供給流路等を介して、隣接する流路の流れに影響を及ぼす現象が生じることがある。液体循環素子は、自身が具備される流路内の流れが最適な流れとなるように制御されている。しかし、クロストークが生じて隣接する流路へ流入すべき液体が当該流路に流入してくると、当該流路や隣接する流路の流れが所望の流れではなくなってしまう場合がある。そうなると、例えば、当該流路の吐出口から必要以上の量の液体が吐出されたり、吐出される液体の吐出方向が変化したり、隣接する流路に必要な流量の液体が供給されずに増粘が生じたりする可能性が生じる。クロストークによって、当該流路へ流入すべき液体が隣接する流路に流入する場合も同様である。本発明の目的は、液体循環素子を駆動する際のクロストークを抑制可能な液体吐出ヘッドを提供することである。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体が流通する液体流通路と、前記液体流通路から分岐し、前記液体流通路に合流する第１および第２の液体循環流路と、前記第１の液体循環流路と前記第２の液体循環流路とを仕切る第１の流路壁と、前記第１および第２の液体循環流路にそれぞれ設けられ、液体が吐出する吐出口と、前記第１および第２の液体循環流路にそれぞれ設けられ、前記吐出口から液体が吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、前記第１および第２の液体循環流路にそれぞれ設けられ、液体が前記第１のおよび第２の液体循環流路を循環するためのエネルギーを発生させる液体循環素子と、前記第１の流路壁の中心線の延長線の上に設けられ、前記液体流通路に位置する構造体とを有することを特徴とする。

本発明においては、液体循環素子を駆動する際のクロストークを抑制可能な液体吐出ヘッドを提供することができる。

本発明の液体吐出ヘッドの第１の実施形態を示す図である。 本発明の液体吐出ヘッドの第２の実施形態を示す図である。 本発明の液体吐出ヘッドの第３の実施形態を示す図である。 本発明の液体吐出ヘッドの第４の実施形態を示す図である。 本発明の液体吐出ヘッドの第５の実施形態を示す図である。 本発明の液体吐出ヘッドの第６の実施形態を示す図である。 本発明の実施形態の比較例を示す図である。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の液体吐出ヘッドの第１の実施形態を示す図である。図１（Ａ）の左側の図に示すように、液体吐出ヘッドにおいて、基板１に、液体供給路２が設けられ、基板１上に流路壁部材６が形成されている。流路壁部材６は流路壁７と構造体８とを有し、流路壁７は液体循環流路３を形成する。液体循環流路３内に、液体循環素子４と液体吐出エネルギー発生素子５とが配置されている。液体吐出エネルギー発生素子５と対向する位置には、吐出口５０が設けられている。液体は、液体供給路から紙面垂直方向に供給されて、液体循環流路３に流入する。

液体供給路２は、吐出口５０が吐出する液体を供給する（液体が流通する）ための、基板１に設けられた液体流通路である。液体としては、例えば、インクが挙げられるが、これに限定されない。液体循環流路３は、液体供給路２から分岐し、吐出口５０と連通し、液体供給路２に合流する循環流路である。液体循環流路３は、吐出口ごとに個別に設けられた概ねＵ字型の流路であり、液体供給路２との分岐部に接続された第１の部分１０（以下の説明について同様）と、液体供給路２との合流部に接続された第２の部分１１（以下の説明について同様）とから構成される。第１の部分１０は、液体循環素子４を備える。第２の部分１１は、液体吐出エネルギー発生素子５を備え、液体が第１の部分１０と反対方向に流れる。液体循環素子４は、液体供給路２から供給された液体が、液体循環流路３内を液体供給路２との分岐部から液体供給路２との合流部へ流れるように循環させるためのエネルギーを発生させる。液体吐出エネルギー発生素子５は、吐出口５０から液体が吐出するためのエネルギーを発生させる。吐出口５０は、液体を吐出させる開口である。液体吐出エネルギー発生素子５としては、ヒータ素子やピエゾ素子等を用いることができる。液体循環素子４にも、ヒータ素子やピエゾ素子等を用いることができる。流路壁７は、互いに隣接する液体循環流路３を仕切る位置に配置された第１の流路壁７ａと、第１の部分１０と第２の部分１１とを仕切る第２の流路壁７ｂとから構成されている。
構造体８は、流路壁７の中心線の延長線１２の上に流路壁７から突き出すように設けられている。本実施形態では、構造体８は、基板１と直交する方向からみて液体供給路２と重なる位置に配置されている、構造体８は、流路壁７の延長部であり、流路壁７と連続して設けられる。構造体８は、第１の流路壁７ａと第２の流路壁７ｂの両方に配置される。構造体８は液体供給路２に突き出た部分であり、流路壁７は流路壁部材６の構造体８を除く部分である。流路壁７と構造体８は、互いに異なる材料で形成されてもよいが、同じ種類の材料で形成される方が内部応力や液体親和性が均一になるため好ましい。同じ種類の材料とは、製造誤差等による微小な差を除き、実質的に同じ組成で形成された材料である。構造体８により、液体循環素子４を駆動する際に生じるクロストークが、隣接する液体循環流路３へ伝搬することを抑制することができる。

構造体８の液体循環流路３から液体供給路２へ延伸する方向の長さ１００（構造体８の突出し長さ。以下、構造体の長さと称する）をより長くすることで、クロストークを抑制する効果はさらに大きくなる。長さ１００は、構造体８の製造誤差を考慮して５μｍ以上とすることが好ましく、構造体８の製造誤差の影響が相対的に低減してクロストークの抑制効果が均一になるよう、１０μｍ以上とすることが好ましい。また、長さ１００は、クロストークを抑制するため液体循環流路３の最小流路幅よりも長いことが好ましい。但し、液体吐出ヘッドの大型化を避ける点から、長さ１００は１００μｍ以下とすることが好ましい。

図１（Ａ）の右側の図に、液体循環時にクロストークを生じさせる流れ４００と、液体循環時に液体循環素子４に液体を供給する流れ５００とを示す。図１（Ａ）の右側の図に示すように、クロストークを生じさせる流れ４００が、構造体８があることで弱められる。この結果、より多くの液体が流れ５００によって液体循環素子４に供給される。ここで、第１の流路壁７ａから延びる構造体を第１の構造体８ａとし、第２の流路壁７ｂから延びる構造体を第２の構造体８ｂとする。

図１（Ｂ）に示すように、第１の構造体８ａが、第２の構造体８ｂより長くてもよい。このような構造体８を用いて、液体循環時の液体循環素子４への液体流入を促進することで、クロストークの抑制と液体循環効率との両立が可能となる。これは、図１（Ａ）に示した構造体８を用いる場合と比較して、液体循環素子４に供給される液体（流れ５００）の流量が大きくなり、隣接する他の液体循環流路への流れ４００が抑制されるためである。

図１（Ｃ）に示すように、液体循環流路間には、第２の流路壁７ｂと第２の構造体８ｂを貫通するスリット１３が形成されていてもよい。スリット１３は、第１の部分１０に面する端部が第２の部分１１に面する端部よりも液体循環素子４側に引き込んでいる。液体循環時の液体循環素子４への液体流入が促進されるため、クロストークの抑制と液体循環効率との両立が可能となる。これは図１（Ａ）に示した構造体８を用いる場合と比較して、液体循環素子４に供給される液体の流量が、スリット１３を介する流れ５００も加わって大きくなり、隣接する他の液体循環流路への流れ４００を抑制するためである。また、流れ５００により、液体循環時に液体吐出エネルギー発生素子５から第１の部分１０の液体供給路２へ向かう液体の流れを発生させる為、液体循環効率が向上する。スリットは、流路壁７と構造体８とのどちらか一方に形成されていてもよい。

図１（Ｄ）に示すように、構造体８が、液体供給路２の延びる方向に湾曲した延長部として配置されてもよい。湾曲部は液体吐出エネルギー発生素子５（第２の部分１１）の方向に湾曲している。液体吐出エネルギー発生素子５の前面の流路が２つの互いに対向する構造体８によって狭められる。この結果、液体が相対的に第１の部分１０に流入しやすくなり（流れ５００）、隣接する他の液体循環流路の第２の部分１１に流入しにくくなる（流れ４００）。このため、図１（Ａ）に示した構造体８を用いる場合と比較して、液体循環時のクロストークが発生しにくくなる。

（第２の実施形態）
図２は、本発明の液体吐出ヘッドの第２の実施形態を示す図である。図２（Ａ）に示すように、構造体８が、互いに隣接する液体循環流路３１と液体循環流路３２とを仕切る位置に配置された第１の流路壁のみに配置されるものであってもよい。このような形態の場合、液体循環時の液体循環素子４への液体流入が促進されるため、クロストークの抑制と液体循環効率との両立が可能となる。図１（Ａ）に示した構造体８を用いる場合と比較すると、液体循環素子４に供給される液体の流量（流れ５００）が大きくなり、隣接する他の液体循環流路への流れ４００が抑制される。また、液体吐出エネルギー発生素子５へのリフィル性も向上する。

図２（Ｂ）に示すように、第１の流路壁７ａの構造体８の先端部が、テーパ形状であり、先端部の液体循環素子側の端部が液体吐出エネルギー発生素子側の端部よりも液体循環素子４側に引き込んでいるものであってもよい。液体循環時の液体循環素子４への液体流入が促進されるため、クロストークの抑制と液体循環効率との両立が可能となる。これは、図２（Ａ）に示した構造体８を用いる場合と比較して、液体循環素子４に供給される液体の流量（流れ５００）が大きくなり、隣接する他の液体循環流路への流れ４００が抑制される。

図２（Ｃ）に示すように、流路壁７と構造体８との少なくとも一方にスリット１３が形成されるものであってもよい。液体循環時の液体循環素子４への液体流入が促進されるため、液体循環効率を高めることができる。これは、図２（Ａ）に示した構造体８を用いる場合と比較して、液体循環素子４に供給される液体の流量が、スリット１３を介する流れ５００も加わって大きくなり、隣接する他の液体循環流路への流れ４００が抑制される。一方で、スリット１３を通過する液体循環時のクロストークの影響から生じる流れ４０１が増加するが、流れ５００がより強まる。これにより、クロストークの抑制と液体循環効率とを両立することができる。スリット１３は、スリット１３の第１の部分に面する端部が、第２の部分に面する端部よりも引き込んでいる。

図２（Ｄ）に示すように、本実施形態における液体吐出ヘッドにおいては、流路壁７と構造体８とが物理的に分離されている。この場合、流路壁７と構造体８との間の距離１０１は、クロストーク抑制効果を高めるために液体循環流路の最小流路幅よりも短いことが好ましく、分離していない方がより好ましい。液体循環時のクロストークの影響から生じる流れ４０１を抑制することができる。なお、構造体８は、柱状体であってもよい。

（第３の実施形態）
図３は、本発明の液体吐出ヘッドの第３の実施形態を示す図である。図３（Ａ）に示すように、本実施形態における液体吐出ヘッドにおいては、構造体８に異物抑制フィルタ９を組み合わせたものであってもよい。異物抑制フィルタ９は、液体循環流路３の液体供給路２との分岐部分および合流部分である、液体循環流路３内の液体供給路２に近い位置に設けられる。これにより、液体供給路２から液体循環流路３への異物の混入を抑制することができる。

図３（Ｂ）に示すように、本実施形態における液体吐出ヘッドにおいては、異物抑制フィルタ９が液体循環流路３と液体供給路２とが重なる位置に設けられているものであってもよい。液体供給路２から液体循環素子４へ供給される液体の流量が増えるため、液体循環効率が向上する。

図３（Ｃ）に示すように、本実施形態における液体吐出ヘッドにおいては、異物抑制フィルタ９が構造体８よりも液体供給路２側に設けられているものであってもよい。図３（Ｂ）に示した構造体８を用いる場合と比較して、液体供給路２から供給される液体の流量が増加し、液体循環効率が向上する。液体循環効率と隣接への伝搬抑制とを両立する場合には、異物抑制フィルタ９を設けない方が好ましい。

（第４の実施形態）
図４は、本発明の液体吐出ヘッドの第４の実施形態を示す図である。本実施形態は、第１の実施形態および第２の実施形態および第３の実施形態と組み合わせることができる。本実施形態では、構造体８が、液体循環流路３の高さ方向へ基板１に入り込むように配置される。基板１には、液体供給路２を形成する貫通孔が設けられ、構造体８の一部が貫通孔の内部に設けられる。また、図４（Ｂ）においては、流路壁部材６と構造体８とを破線で分けて示しているが、本実施形態ではこれらは１つの部材で構成されている。液体供給路２が部分的に狭められるため、クロストークの抑制効果を高められ、さらに構造体８と基板１との密着性を高められる。構造体８が液体供給路２に入り込む深さは、基板１に配置される液体吐出エネルギー発生素子５や配線や保護膜等の膜厚の厚み以上であることが好ましい。また、構造体８が基板１部材に入り込む深さ（基板１と重なる幅）であることがより好ましく、液体循環流路３の高さ以上であることがより好ましい。ここで、液体循環流路３の高さとは、図４（Ａ）の紙面鉛直方向の液体循環流路３の長さである。

（第５の実施形態）
図５は、本発明の液体吐出ヘッドの第５の実施形態を示す図である。本実施形態は、液体供給路の形状を変更することによって、効果を高めるものである。本実施形態は、第１の実施形態および第２の実施形態および第３の実施形態と組み合わせることができる。図５に示すように、本実施形態における液体吐出ヘッドにおいては、液体供給路２が、液体吐出エネルギー発生素子５の近傍と比べて、液体循環素子４の近傍で部分的に液体循環流路３に入り込むように配置される。具体的には、液体供給路２の幅は、第１の部分と対向する位置で第２の部分と対向する位置よりも広い。このように配置されることで、液体吐出エネルギー発生素子５の前面における液体供給路２と液体循環流路３の境界と、液体循環素子４の前面における液体供給路２と液体循環流路３の境界との間に差異１０３が生じる。このような形態においては、クロストーク抑制と液体循環効率とを良好に両立することができる。

（第６の実施形態）
図６は、本発明の液体吐出ヘッドの第６の実施形態を示す図である。図６（Ａ），（Ｂ）は、第１の実施形態との組合せを示す図であり、図６（Ｃ）は、第２の実施形態との組合せを示す図である。本実施形態は、図６（Ａ）に示すように、液体循環流路３３と複数の液体循環流路３４との隣接方向と直交する方向である液体供給路２を挟んで反対側にも、複数の液体循環流路が配置されている。また、それら複数の液体循環流路を仕切る、液体供給路２の長手方向に延びる隔壁２００が配置される。このような形態においては、構造体８と隔壁２００とによってクロストークが抑制される。さらに、図６（Ｂ）に示すように、構造体８が隔壁２００まで延び、隔壁２００と構造体８とが接することで、クロストーク抑制の効果が高まる。また、図６（Ｃ）に示すように、隔壁２００と接する構造体８が、互いに隣接する液体循環流路３３と液体循環流路３４とを隔てる位置のみに配置される。このような形態においては、液体循環時の液体循環素子４への液体流入が促進されるため、クロストーク抑制と液体循環効率との両立が可能となる。

（比較例）
図７は、比較例を示す図である。図７（Ａ）に示すような、構造体を有さない液体吐出ヘッドでは、上述したような本発明の構造体を有する液体吐出ヘッドと比較して、液体循環素子４１と液体吐出エネルギー発生素子５１との間に生じる、駆動時のクロストークが大きい。そこで、図７（Ｂ）に示すようにクロストーク抑制構造体３００を設けることが考えられる。このような形態とすれば、液体循環素子４２と液体吐出エネルギー発生素子５２との間に生じるクロストークは抑制されるが、循環流路を高密度化する際に循環流路の幅に対する制約にもなってしまうため、上述したような本発明の液体吐出ヘッドの方が有利となる。

（実施例）
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。

＜実施例１＞
図１（Ａ）に示すように、実施例１の液体吐出ヘッドを形成した。Ｓｉで形成された基板（シリコン基板）１には、基板１を貫通した液体供給路２が設けられている。また、液体吐出ヘッドは、液体循環流路３と、液体循環流路３の経路内にヒータで形成された液体循環素子４および液体吐出エネルギー発生素子５と、吐出口５０とを有する。さらに、液体循環素子４および液体吐出エネルギー発生素子５を駆動するための回路（不図示）と、液体から基板や回路を保護するための保護膜（不図示）とを有する。流路壁部材６は、感光性のエポキシ樹脂であり、流路壁部材６を用いて、液体循環流路３、吐出口５０、流路壁７および構造体８が形成されている。液体循環流路３の最狭部の幅は１０μｍ、高さは２０μｍであり、構造体８の長さ１００は、２０μｍとした。
図７（Ａ）に示した比較例の液体吐出ヘッドを比較用ヘッドとして形成した。比較用ヘッドは、構造体８がなく、流路壁と液体供給路との間の距離１１０を２０μｍとし、他の寸法は実施例１と同様にして形成した。実施例１の液体吐出ヘッドと比較用ヘッドとを比較したところ、実施例１の液体吐出ヘッドにおいて、クロストークが良好に抑制された。

＜実施例２＞
図２（Ａ）に示すように、実施例２の液体吐出ヘッドを形成した。構造体８以外の部分は、実施例１の液体吐出ヘッドと同様に形成した。液体循環流路の最狭部の幅は１０μｍ、高さは２０μｍであり、構造体８の長さは２０μｍとした。実施例２の液体吐出ヘッドと比較ヘッドとを比較したところ、実施例２の液体吐出ヘッドにおいて、クロストークがより抑制された。また、実施例１の液体吐出ヘッドと実施例２の液体吐出ヘッドとを比較したところ、実施例２の液体吐出ヘッドにおいて、液体循環素子への液体流入がしやすくなった。

２ 液体供給路
３ 液体循環流路
４ 液体循環素子
７ａ 第１の流路壁
７ｂ 第２の流路壁
５ 液体吐出エネルギー発生素子
８ 構造体
１０ 第１の部分
１１ 第２の部分
１２ 中心線の延長線
５０ 吐出口

Claims (15)

1. 液体が流通する液体流通路と、
   前記液体流通路から分岐し、前記液体流通路に合流する第１および第２の液体循環流路と、
   前記第１の液体循環流路と前記第２の液体循環流路とを仕切る第１の流路壁と、
   前記第１および第２の液体循環流路にそれぞれ設けられ、液体が吐出する吐出口と、
   前記第１および第２の液体循環流路にそれぞれ設けられ、前記吐出口から液体が吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子と、
   前記第１および第２の液体循環流路にそれぞれ設けられ、液体が前記第１および第２の液体循環流路を循環するためのエネルギーを発生させる液体循環素子と、
   前記第１の流路壁の中心線の延長線の上に設けられ、前記液体流通路に位置する構造体とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記構造体は、前記第１の流路壁から前記液体流通路に突き出す、前記第１の流路壁の第１の延長部である、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１の延長部の突出し長さが、前記液体循環流路の最小流路幅よりも長い、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１および第２の液体循環流路はそれぞれ、前記液体循環素子を備えた第１の部分と、前記エネルギー発生素子を備え液体が前記第１の部分と反対方向に流れる第２の部分とを有し、
   前記第１の部分と前記第２の部分とを仕切る第２の流路壁をさらに有し、
   前記第２の流路壁は、前記液体流通路に突き出す第２の延長部を有する、請求項２または請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１の延長部の突出し長さが前記第２の延長部の突出し長さよりも長い、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１および第２の液体循環流路はそれぞれ、前記液体循環素子を備えた第１の部分と、前記エネルギー発生素子を備え液体が前記第１の部分と反対方向に流れる第２の部分と、を有し、
   前記第１の部分と前記第２の部分とを仕切る第２の流路壁と、前記第２の流路壁を貫通するスリットと、をさらに有し、
   前記スリットの前記第１の部分に面する端部は、前記第２の部分に面する端部よりも前記液体循環素子側に引き込んでいる、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１および第２の液体循環流路はそれぞれ、前記液体循環素子を備えた第１の部分と、前記エネルギー発生素子を備え液体が前記第１の部分と反対方向に流れる第２の部分とを有し、
   前記第１の部分と前記第２の部分とを仕切る第２の流路壁をさらに有し、
   前記第２の流路壁は、前記液体流通路に突き出す第２の延長部を有し、前記第１の延長部および前記第２の延長部は、前記液体流通路の延びる方向に湾曲している、請求項２または請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第１および第２の液体循環流路はそれぞれ、前記液体循環素子を備えた第１の部分と、前記エネルギー発生素子を備え液体が前記第１の部分と反対方向に流れる第２の部分とを有し、
   前記第１の延長部の先端部はテーパ形状とされ、前記先端部の前記液体循環素子側の端部が前記エネルギー発生素子側の端部よりも前記液体流通路に対して引き込んでいる、請求項２または請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１および第２の液体循環流路はそれぞれ、前記液体循環素子を備えた第１の部分と、前記エネルギー発生素子を備え液体が前記第１の部分と反対方向に流れる第２の部分と、を有し、
   前記第１の流路壁を貫通するスリットをさらに有し、
   前記スリットの前記第１の部分に面する端部は、前記第２の部分に面する端部よりも前記液体流通路に対して引き込んでいる、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記構造体は前記第１の流路壁から分離して前記液体流通路に位置する柱状体であり、
    前記第１の流路壁と前記柱状体との間の距離が前記液体循環流路の最小流路幅よりも短い、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記液体循環流路の前記液体流通路との分岐部分および合流部分の少なくともいずれかに異物抑制フィルタを有する、請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第１の流路壁が設けられた基板を有し、
    前記基板は、前記液体流通路を形成する貫通孔を有し、
    前記構造体の一部は前記貫通孔の内部に設けられる、請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記第１および第２の液体循環流路はそれぞれ、前記液体循環素子を備えた第１の部分と、前記エネルギー発生素子を備え液体が前記第１の部分と反対方向に流れる第２の部分とを有し、
    前記液体流通路の幅は、前記第１の部分と対向する位置で前記第２の部分と対向する位置よりも大きい、請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記液体流通路を挟んで前記第１および第２の液体循環流路の反対側に設けられた複数の他の液体循環流路と、前記液体流通路に設けられ、前記第１および第２の液体循環流路を前記複数の他の液体循環流路から仕切る隔壁と、を有する、請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記構造体が前記隔壁まで延びている、請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。

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