JP2021048246A - 検査システム及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態に係る検査システム1の概略構成を示す上面横断面図である。図2は、本実施形態に係る検査システム1の概略構成を示す正面縦断面図である。
次に、本実施形態の係る検査システム1のチャックトップ51について説明する。図5は、本実施形態に係る検査システム1のチャックトップ51の詳細を示す断面図である。なお、図5は、ウェハWがチャックトップ51上に載置された状態の図である。
次に、熱媒体HMの温度制御について説明する。図7は、本実施形態に係る検査システム1の熱媒体HMの流路を説明する図である。なお、以下の説明では、熱媒体HMについて、温度や流路が異なる熱媒体について、それぞれ別の符号を割り当てて説明する。
次に、温度制御を行う制御部22について説明する。図8は、本実施形態に係る検査システム1の温度制御に関連する部分の機能ブロック図である。
次に、本実施形態に係る検査システム1の処理について説明する。図9は、本実施形態に係る検査システム1の処理を説明するフローチャートである。検査システム1は、以下のステップ(手順)に基づいて処理を行う。なお、本実施形態に係る検査システム1においては、図9の処理を行いながら、ウェハWの電気的な試験等を行う。
本実施形態に係る検査システム1を動作について説明する。図10は、本実施形態に係る検査システム1を動作させたときの温度について説明する図である。図11は、比較例の検査システムを動作させたときの温度について説明する図である。図10、図11は、ウェハWの目標温度を85℃とする場合について示している。図10、図11の横軸は、ウェハWの発熱量Qw、縦軸はトッププレート55、ウェハW、熱媒体HM3のそれぞれの温度を表している。
本実施形態に係る検査システム1は、ウェハW(基板)の発熱に応じて、トッププレート55の温度を調整する目標温度を補正することから、ウェハW(基板)の発熱にかかわらず、基板ごとに設定された設定温度に基づき検査を行うことができる。このようにして、基板と流路との間の熱抵抗に応じた基板の温度調整を行うことが可能である。
本実施形態に係る検査システム1の流路を変更した例を示す。図12は、本実施形態に係る検査システムの変形例1の熱媒体の流路を説明する図である。
本実施形態に係る検査システム1の流路を変更した例を示す。図13は、本実施形態に係る検査システムの変形例2の熱媒体の流路を説明する図である。
10 筐体
22 制御部
52 温度調整機構
55 トッププレート
56 冷却ジャケット
58 熱媒体流路
60 カメラ
100 温度検出器
101 温度検出器
102 温度検出器
111 圧力検出器
112 圧力検出器
202 演算部
ChilH 高温用チラーユニット
ChilL 低温用チラーユニット
MV1 三方弁
MV2 三方弁
MV3 制御弁
MV4 制御弁
Claims (7)
- 第1温度に制御された第1熱媒体を供給する第1チラーユニットと、前記第1温度よりも低い第2温度に制御された第2熱媒体を供給する第2チラーユニットと、所望の混合比に前記第1熱媒体と前記第2熱媒体とを混合した熱媒体が供給される流路が設けられた載置台と、制御部とを有し、前記載置台に載置された基板に対して検査を行う検査システムであって、
前記制御部は、
前記流路の入口における前記熱媒体の温度と前記流路の出口における前記熱媒体の温度とを測定する工程と、
前記入口及び出口における前記熱媒体の温度の差分と前記熱媒体の流量とに基づき、前記第1熱媒体と前記第2熱媒体との前記混合比を補正する工程と、を制御する、
検査システム。 - 前記制御部は、
前記入口及び出口における前記熱媒体の温度の差分と前記熱媒体の流量とに基づき、前記基板の発熱量を算出する工程と、
前記発熱量に基づき、前記第1熱媒体と前記第2熱媒体との前記混合比を補正する工程と、を制御する、
請求項1に記載の検査システム。 - 前記制御部は、補正した前記混合比になるように、前記第1チラーユニットの出口のバルブの開度と、前記第2チラーユニットの出口のバルブの開度とを制御する、
請求項1又は請求項2に記載の検査システム。 - 前記制御部は、
前記流路の入口における前記熱媒体の圧力と、前記流路の出口における前記熱媒体の圧力とを測定する工程と、を制御し、
前記入口及び出口における前記熱媒体の圧力の差分から、前記熱媒体の流量を求める、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の検査システム。 - 前記第1チラーユニットの出口のバルブは、前記第1熱媒体が流入し、流入した前記第1熱媒体の一部を前記流路に通流する第1三方弁であり、
前記第2チラーユニットの出口のバルブは、前記第2熱媒体が流入し、流入した前記第2熱媒体の一部を前記流路に通流する第2三方弁である、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の検査システム。 - 第1温度に制御された第1熱媒体を供給する第1チラーユニットと、前記第1温度よりも低い第2温度に制御された第2熱媒体を供給する第2チラーユニットと、前記第1熱媒体と前記第2熱媒体との間で熱交換を行うことにより、所望の目標温度に低下した前記第1熱媒体が供給される流路が設けられた載置台と、制御部とを有し、前記載置台に載置された基板に対して検査を行う検査システムであって、
前記制御部は、
前記流路の入口における前記第1熱媒体の温度と前記流路の出口における前記第1熱媒体の温度とを測定する工程と、
前記入口及び出口における前記第1熱媒体の温度の差分と前記第1熱媒体の流量とに基づき、前記目標温度を補正する工程と、を制御する、
検査システム。 - 第1温度に制御された第1熱媒体を供給する第1チラーユニットと、前記第1温度よりも低い第2温度に制御された第2熱媒体を供給する第2チラーユニットと、所望の混合比に基づき前記第1熱媒体と前記第2熱媒体とを混合した熱媒体が供給される流路が設けられた載置台とを有し、前記載置台に載置された基板に対し検査を行う検査方法であって、
前記流路の入口における前記熱媒体の温度と前記流路の出口における前記熱媒体の温度とを測定する工程と、
前記入口及び出口における前記熱媒体の温度の差分と前記熱媒体の流量とに基づき、前記第1熱媒体と前記第2熱媒体との前記混合比を補正する工程と、を実行する検査方法。
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