JP2021042771A - 流量コントローラ及び駆動装置 - Google Patents

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【課題】簡素な装置構成でエアシリンダの衝撃を緩和できる流量コントローラ及び駆動装置を提供する。【解決手段】動作切換弁３８とエアシリンダ３０との間に接続され、エアシリンダ３０のシリンダ室２４にエアを給排する第１流路１２と、第１流路１２に設けられた第１流量調整部１６と、第１流路１２に並設された第２流路１４と、第２流路１４の途上に設けられたパイロットチェック弁２０と、第２流路１４の途上にパイロットチェック弁２０と直列に接続された第２流量調整部１８と、一端が動作切換弁３８に連通し、他端がパイロットチェック弁２０のパイロットポート２０ｃに接続されたパイロットエア流路２１と、パイロットエア流路２１に設けられた第３流量調整部２２と、を備える流量コントローラ１０が提供される。【選択図】図１

Description

本発明は、エアシリンダの動作速度を調整する流量コントローラ及び駆動装置に関する。
従来より、エアシリンダの端部にゴムやウレタン等の軟質樹脂によるクッション材や、オイルダンパ等を取り付けてストロークエンドでの衝撃を緩和する衝撃緩和機構が用いられている。しかしながら、機械的にシリンダの衝撃を緩和する衝撃緩和機構は、動作回数に制約があり、定期的にメンテナンスする必要がある。
このような不適合を解消するため、特許文献１には、ストロークエンド付近でエアシリンダからの排気を絞ることで、エアシリンダの動作速度を低下させるスピードコントローラ（流量コントローラ）が記載されている。
特許第５５７８５０２号公報
しかしながら、従来の流量コントローラは、部品点数が多く、装置構成が複雑になるといった問題がある。
本発明は、簡素な装置構成でエアシリンダの衝撃を緩和できる流量コントローラ及び駆動装置を提供することを目的とする。
本発明の一観点は、動作切換弁とエアシリンダとの間に接続され、前記エアシリンダのシリンダ室にエアを給排する第１流路と、前記第１流路に設けられた第１流量調整部と、前記第１流路に並設された第２流路と、前記第２流路の途上に設けられ、入口ポートと、出口ポートと、パイロットポートとを有し、前記入口ポートが前記第２流路の前記動作切換弁側の第１部分に接続され、前記出口ポートが前記第２流路の前記エアシリンダ側の第２部分に接続されたパイロットチェック弁と、前記第２流路の途上に設けられ、前記パイロットチェック弁と直列に接続された第２流量調整部と、一端が前記動作切換弁に連通し、他端が前記パイロットチェック弁の前記パイロットポートに接続されたパイロットエア流路と、前記パイロットエア流路に設けられた第３流量調整部と、を備えた、流量コントローラにある。
本発明の別の一観点は、エアシリンダに高圧エアを供給する高圧エア供給源と、前記エアシリンダからの排気エアを排出する排気口と、前記エアシリンダのポートに前記高圧エア供給源及び前記排気口の一方を切り換えて接続する動作切換弁と、前記動作切換弁と前記エアシリンダの前記ポートとの間に設けられた流量コントローラとを備えた駆動装置であって、前記流量コントローラは、前記動作切換弁と前記エアシリンダとの間に接続され、前記エアシリンダのシリンダ室にエアを給排する第１流路と、前記第１流路に設けられた第１流量調整部と、前記第１流路に並設された第２流路と、前記第２流路の途上に設けられ、入口ポートと、出口ポートと、パイロットポートとを有し、前記入口ポートが前記第２流路の前記動作切換弁側の第１部分に接続され、前記出口ポートが前記第２流路の前記エアシリンダ側の第２部分に接続されたパイロットチェック弁と、前記第２流路の途上に設けられ、前記パイロットチェック弁と直列に接続された第２流量調整部と、一端が前記動作切換弁に連通し、他端が前記パイロットチェック弁の前記パイロットポートに接続されたパイロットエア流路と、前記パイロットエア流路に設けられた第３流量調整部と、備えた駆動装置にある。
上記観点の流量コントローラ及び駆動装置によれば、簡素な装置構成でエアシリンダの衝撃を緩和できる。
本発明の実施形態に係るエアシリンダの流量コントローラ及び駆動装置の流体回路図である。 図１の流量コントローラ及び駆動装置において、作動ストロークにおいてロッド側の流量コントローラが第２の制御流れに切り換わった状態を示す流体回路図である。 図１の流量コントローラ及び駆動装置において、復帰ストロークでの接続関係を示す流体回路図である。
以下、本発明の好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。
図１に示すエアシリンダ３０は、自動設備ライン等に使用される複動型のシリンダであり、一対の流量コントローラ１０、１０Ａ、動作切換弁３８、高圧エア供給源４６及び排気口４８を備えた駆動装置４０によって駆動される。
エアシリンダ３０は、シリンダ室２４を仕切るピストン２６と、ピストン２６に連結されたピストンロッド２８とを備える。シリンダ室２４は、ピストン２６によってヘッド側圧力室２４ａとロッド側圧力室２４ｂとに仕切られている。ヘッド側圧力室２４ａにはヘッド側ポート３２が設けられ、ロッド側圧力室２４ｂにはロッド側ポート３２Ａが設けられている。
ヘッド側ポート３２には、ヘッド側の第１流路１２及びヘッド側の第２流路１４が接続され、ロッド側ポート３２Ａにはロッド側の第１流路１２Ａ及びロッド側の第２流路１４Ａが接続されている。これらの流路には、高圧エア供給源４６と排気口４８とを切り換えて繋ぐ動作切換弁３８が接続されている。そして、第１流路１２、１２Ａ及び第２流路１４、１４Ａを通じて、エアシリンダ３０への高圧エアの供給と、エアシリンダ３０からの排気エアの排出とが行われる。
ヘッド側の流量コントローラ１０は、ヘッド側の第１流路１２及びヘッド側の第２流路１４を含む。第１流路１２と第２流路１４とは、並列に接続されている。図示の例のように、第１流路１２及び第２流路１４の一方の端部は、配管３４にまとめられてヘッド側ポート３２に接続され、第１流路１２及び第２流路１４の他方の端部は、配管３６にまとめられて動作切換弁３８に接続されている。
第１流路１２には、第１流量調整部１６が設けられている。第１流量調整部１６は、絞弁であり、第１流路１２を通過するエアの流量を可変に調整可能となっている。一方、第２流路１４には、パイロットチェック弁２０と、第２流量調整部１８とが設けられている。
パイロットチェック弁２０は、入口ポート２０ａと、出口ポート２０ｂと、パイロットポート２０ｃとを有している。入口ポート２０ａは、第２流路１４の動作切換弁３８側の第１部分１４ａに接続され、出口ポート２０ｂは第２流路１４のエアシリンダ３０側の第２部分１４ｂに接続し、パイロットポート２０ｃは後述するパイロットエア流路２１に接続する。パイロットチェック弁２０は、パイロットエアの圧力が所定値未満の場合には、入口ポート２０ａから出口ポート２０ｂに向かう流れのエアを通過させるとともに、その逆向きの流れのエアを阻止する。また、パイロットチェック弁２０は、パイロットエアの圧力が所定値以上になると、入口ポート２０ａから出口ポート２０ｂに向かう流れのエア及びその逆向きの流れのエアを通過させる。
第２流量調整部１８は、パイロットチェック弁２０と直列に接続されている。図示の例では、第２流路１４の第１部分１４ａ（パイロットチェック弁２０の動作切換弁３８側）に接続されているが、これに限定されるものではなく、第２流路１４の第２部分１４ｂ（パイロットチェック弁２０のエアシリンダ３０側）に接続されていてもよい。第２流量調整部１８は、第２絞弁１８ａと、第２絞弁１８ａに並設されたチェック弁１８ｂとを備える。チェック弁１８ｂは、エアシリンダ３０側に向かう流れのエアを通過させ、その逆向きのエアを阻止する向きに接続されている。動作切換弁３８に向かう流れのエアは、第２絞弁１８ａによって可変に調整可能となっている。なお、第２流量調整部１８は、第２絞弁１８ａとチェック弁１８ｂとが一体化されたチェック弁付き絞弁で構成してもよい。
また、ヘッド側の流量コントローラ１０は、さらに、パイロットチェック弁２０のパイロットエアの給排を行うパイロットエア流路２１と、第３流量調整部２２を備えている。パイロットエア流路２１は、一方の端部が動作切換弁３８に連通し、他方の端部がパイロットチェック弁２０のパイロットポート２０ｃに接続されている。第３流量調整部２２は、パイロットエア流路２１の途上に設けられており、第３絞弁２２ａと第３絞弁２２ａに並設されたチェック弁２２ｂとを備える。チェック弁２２ｂは、パイロットチェック弁２０に向かう流れのエアを通過させ、その逆向きのエアを阻止する向きに接続されている。第３絞弁２２ａは、パイロットチェック弁２０から排出されるパイロットエアの流量を可変に調整可能とする。なお、第３流量調整部２２は、第３絞弁２２ａとチェック弁２２ｂとが一体化されたチェック弁付き絞弁で構成してもよい。
以上のように構成されたヘッド側の流量コントローラ１０に対し、ロッド側の流量コントローラ１０Ａは、ロッド側ポート３２Ａと動作切換弁３８との間の管路上に配置されている。ロッド側の流量コントローラ１０Ａは、ヘッド側の流量コントローラ１０と実質的に同一に構成されるため、ヘッド側の流量コントローラ１０の構成要素と同一の構成要素には、同一符号を付してその詳細な説明は省略する。但し、ヘッド側の流量コントローラ１０の第１流路１２、第２流路１４、及びパイロットエア流路２１に対しては、ロッド側の流量コントローラ１０Ａ側では、各々の参照符号の末尾にＡを付して区別して示されている。
次に、ヘッド側及びロッド側の流量コントローラ１０、１０Ａに接続される動作切換弁３８について説明する。動作切換弁３８は、電気的に高圧エアの流路を切り換える５ポート弁であり、第１ポート４１〜第５ポート４５を備える。第１ポート４１は、ヘッド側の流量コントローラ１０の第１流路１２及び第２流路１４に接続する。第２ポート４２は、ロッド側の流量コントローラ１０Ａの第１流路１２Ａ及び第２流路１４Ａに接続する。第３ポート４３及び第５ポート４５は、排気口４８に接続する。第４ポート４４は、高圧エアを供給する高圧エア供給源４６に接続する。
動作切換弁３８は、図１及び図２に示す第１位置においては、第１ポート４１と第４ポート４４を連通させるとともに、第２ポート４２と第５ポート４５とを連通させる。すなわち、動作切換弁３８は、第１位置において、ヘッド側の流量コントローラ１０に高圧エア供給源４６を繋ぎ、ロッド側の流量コントローラ１０Ａに排気口４８を繋ぎ、エアシリンダ３０に作動ストロークを行わせる。
また、動作切換弁３８は、図３に示す第２位置においては、第１ポート４１と第３ポート４３とを連通させ、第２ポート４２と第４ポート４４とを連通させる。すなわち、動作切換弁３８は、第２位置において、ヘッド側の流量コントローラ１０を排気口４８に繋ぎ、ロッド側の流量コントローラ１０Ａを高圧エア供給源４６に繋ぎ、エアシリンダ３０に復帰ストロークを行わせる。
本実施形態の流量コントローラ１０、１０Ａ及び駆動装置４０は以上のように構成され、以下その作用について説明する。
図１に示すように、作動ストロークでは、動作切換弁３８の第４ポート４４と第１ポート４１とが連通されて、高圧エア供給源４６の高圧エアがヘッド側の流量コントローラ１０に供給される。高圧エアは、配管３６を矢印Ａに示すように、エアシリンダ３０に向けて流れる。そして、第１流路１２を流れる高圧エアＡ１と、第２流路１４を流れる高圧エアＡ２とに分岐する。
第１流路１２の高圧エアＡ１は、第１流量調整部１６によって絞られた所定の流量で流れる。一方、第２流路１４の高圧エアＡ２は、第２流量調整部１８に向かう。第２流量調整部１８のチェック弁１８ｂは、高圧エアＡ２を通過させる向きに接続されているため、高圧エアＡ２は、主にチェック弁１８ｂを通ってパイロットチェック弁２０に向かう。パイロットチェック弁２０は、高圧エアＡ２を通過させる向きに接続されているため、高圧エアＡ２はパイロットチェック弁２０を通過して、エアシリンダ３０に向けて流れる。このように、高圧エアＡ２は、第２流路１４を、絞弁で絞られない自由流れとして流れる。
そして、エアシリンダ３０のヘッド側圧力室２４ａには、第１流路１２からの高圧エアＡ１と第２流路１４からの高圧エアＡ２とが流入し、ピストン２６がロッド側に向けて駆動される。
また、作動ストロークにおいて、パイロットエア流路２１には、高圧エアの一部がパイロットエアとして、矢印Ａ３に示すように流れ込む。第３流量調整部２２のチェック弁２２ｂは、パイロットチェック弁２０に向かう流れのパイロットエアを速やかに通過させてパイロットチェック弁２０に供給する。これにより、パイロットチェック弁２０のパイロットエアの圧力が高い値となる。
一方、エアシリンダ３０のロッド側圧力室２４ｂからは、ロッド側ポート３２Ａを通じて排気エアが排出される。排気エアは、配管３４Ａを矢印Ｂのように流れ、ロッド側の流量コントローラ１０Ａに流れ込む。流量コントローラ１０Ａでは、排気エアは第１流路１２Ａ及び第２流路１４Ａに流れ込む。第１流路１２Ａに流れ込んだ排気エアＢ１は、第１流量調整部１６で絞られた所定の流量で流れる。
また、第２流路１４Ａに流れ込んだ排気エアＢ２は、パイロットチェック弁２０に流れ込む。パイロットチェック弁２０には、前回の復帰ストロークの際に蓄えられたパイロットエアが残留しており、作動ストロークの途中まで、パイロットチェック弁２０のパイロットエアの圧力が所定値よりも高い値に保たれる。そのため、作動ストロークの途中まで、パイロットチェック弁２０は、排気エアＢ２を通過させる。パイロットチェック弁２０を通過した排気エアＢ２は、第２流量調整部１８の第２絞弁１８ａで絞られた所定流量で、第２流路１４Ａを流れる。このようにして、ロッド側の流量コントローラ１０Ａは、第１流量調整部１６を通過した排気エアＢ１の流量及び第２流量調整部１８を通過した排気エアＢ２の流量の和に相当する流量の排気エアＢ１＋Ｂ２を通過させる。
エアシリンダ３０の排気エア、第１流量調整部１６及び第２流量調整部１８の流量を合計した第１の制御流れで排出され、ピストン２６は、第１の制御流れで規制された速度でロッド側に移動する。
作動ストロークが行われている間、ロッド側の流量コントローラ１０Ａのパイロットエア流路２１Ａを通じて、パイロットチェック弁２０のパイロットエアの排気が行われる。パイロットエアの排気は、第３流量調整部２２の第３絞弁２２ａを通じて、徐々に行われ、パイロットエアの圧力が低下してゆく。
図２に示すように、エアシリンダ３０のピストン２６がストロークエンド付近に到達するタイミングで、ロッド側のパイロットチェック弁２０のパイロットエアの圧力が所定値を下回り、ロッド側のパイロットチェック弁２０が第２流路１４Ａを閉塞して排気エアＢ２の通過を阻止する。
パイロットチェック弁２０が第２流路１４Ａを閉塞することに伴って、エアシリンダ３０からは、第１流量調整部１６を流れる排気エアＢ１のみが排出される。エアシリンダ３０の排気エアは第１流量調整部１６によって絞られた第２の制御流れに切り換わる。第２の制御流れは、第１の制御流れよりもより強く絞られているため、エアシリンダ３０のピストン２６の動作速度が低下する。これにより、ピストン２６の速度が低下し、ピストン２６のストロークエンド付近での衝撃が緩和される。
その後、図３に示すように、動作切換弁３８が第２位置に切り換わり、ヘッド側の流量コントローラ１０が排気口４８に接続され、ロッド側の流量コントローラ１０Ａが高圧エア供給源４６に接続される。そして、流量コントローラ１０Ａを通じて高圧エアがエアシリンダ３０のロッド側圧力室２４ｂに導入され、ヘッド側の流量コントローラ１０を通じてヘッド側圧力室２４ａの排気エアの排出が行われる。これにより、ピストン２６がヘッド側に移動する復帰ストロークが開始される。
なお、復帰ストロークにおけるヘッド側の流量コントローラ１０の動作は作動ストロークにおけるロッド側の流量コントローラ１０Ａと同様であり、復帰ストロークにおけるロッド側の流量コントローラ１０Ａの動作は、作動ストロークにおけるヘッド側の流量コントローラ１０の動作と同様であるので、その動作の詳細な説明は省略する。復帰ストロークでは、ヘッド側の流量コントローラ１０において、排気エアが第１流量調整部１６及び第２流量調整部１８を通過する第１の制御流れから、第１流量調整部１６のみを流れる第２の制御流れへの切換が行われ、ピストン２６のストロークエンドでの衝撃が緩和される。
本実施形態の流量コントローラ１０、１０Ａ及び駆動装置４０は、以下の効果を奏する。
本実施形態の流量コントローラ１０、１０Ａは、動作切換弁３８とエアシリンダ３０との間に接続され、エアシリンダ３０のシリンダ室２４にエアを給排する第１流路１２、１２Ａと、第１流路１２、１２Ａに設けられた第１流量調整部１６と、第１流路１２、１２Ａに並設された第２流路１４、１４Ａと、前記第２流路１４の途上に設けられ、入口ポート２０ａと、出口ポート２０ｂと、パイロットポート２０ｃとを有し、入口ポート２０ａが第２流路１４、１４Ａの動作切換弁３８側の第１部分１４ａに接続され、出口ポート２０ｂが第２流路１４、１４Ａのエアシリンダ３０側の第２部分１４ｂに接続されたパイロットチェック弁２０と、第２流路１４、１４Ａの途上に設けられ、前記パイロットチェック弁２０と直列に接続された第２流量調整部１８と、一端が動作切換弁３８に連通し、他端がパイロットチェック弁２０のパイロットポート２０ｃに接続されたパイロットエア流路２１、２１Ａと、パイロットエア流路２１、２１Ａに設けられた第３流量調整部２２と、を備える。
上記の構成によれば、シャトル弁やスプール弁といった複雑な構造の部品を用いることなく、簡素な装置構成で、ストロークエンド付近での衝撃を緩和できる流量コントローラ１０、１０Ａを実現できる。
上記の流量コントローラ１０、１０Ａにおいて、パイロットチェック弁２０は、パイロットエアの圧力が所定値未満では出口ポート２０ｂから入口ポート２０ａに向かう流れのエアを阻止し、パイロットエアの圧力が所定値以上では出口ポート２０ｂから入口ポート２０ａに向かう流れのエアを通過させるように構成してもよい。
上記の流量コントローラ１０、１０Ａにおいて、第３流量調整部２２は、第３絞弁２２ａと、第３絞弁２２ａに並設されパイロットポート２０ｃに向かう流れのエアを通過させその逆向きの流れのエアを阻止するチェック弁２２ｂと、を備えてもよい。チェック弁２２ｂは、高圧エアが供給された際にパイロットチェック弁２０にパイロットエアを迅速に供給することができる。また、第３絞弁２２ａにより、パイロットエアの排出速度を可変に調整することができるため、流量コントローラ１０、１０Ａの第１の制御流れから第２の制御流れに切り換わるタイミングの調整を容易に行うことができる。
上記の流量コントローラ１０、１０Ａにおいて、第２流量調整部１８は、第２絞弁１８ａと、第２絞弁１８ａに並設され、エアシリンダ３０に向かう流れのエアを通過させ、その逆向きの流れのエアを阻止するチェック弁１８ｂと、を備えてもよい。上記のように構成すると、第２絞弁１８ａにより、第１の制御流れの流量を可変に調整することができる。また、チェック弁１８ｂにより、高圧エアを自由流れでエアシリンダ３０に供給できるので、エアシリンダ３０の高速動作にも対応できて好適である。
本実施形態の駆動装置４０は、エアシリンダ３０に高圧エアを供給する高圧エア供給源４６と、エアシリンダ３０からの排気エアを排出する排気口４８と、エアシリンダ３０のポートに高圧エア供給源４６及び排気口４８の一方を切り換えて接続する動作切換弁３８と、動作切換弁３８とエアシリンダ３０のポートとの間に設けられた流量コントローラ１０、１０Ａとを備えた駆動装置４０であって、流量コントローラ１０、１０Ａは、動作切換弁３８とエアシリンダ３０との間に接続され、エアシリンダ３０のシリンダ室２４にエアを給排する第１流路１２、１２Ａと、第１流路１２、１２Ａに設けられた第１流量調整部１６と、第１流路１２、１２Ａに並設された第２流路１４、１４Ａと、第２流路１４、１４Ａの途上に設けられ、入口ポート２０ａと、出口ポート２０ｂと、パイロットポート２０ｃとを有し、入口ポート２０ａが第２流路１４、１４Ａの動作切換弁３８側の第１部分１４ａに接続され、出口ポート２０ｂが第２流路１４、１４Ａのエアシリンダ３０側の第２部分１４ｂに接続されたパイロットチェック弁２０と、第２流路１４、１４Ａの途上に設けられ、パイロットチェック弁２０と直列に接続された第２流量調整部１８と、一端が動作切換弁３８に連通し、他端がパイロットチェック弁２０のパイロットポート２０ｃに接続されたパイロットエア流路２１、２１Ａと、パイロットエア流路２１、２１Ａに設けられた第３流量調整部２２と、を備える。
上記の構成によれば、簡素な装置構成で、ストロークエンド付近での衝撃を緩和できる駆動装置４０を実現できる。
上記において、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改変が可能なことは言うまでもない。
１０、１０Ａ…流量コントローラ １２、１２Ａ…第１流路
１４、１４Ａ…第２流路 １６…第１流量調整部
１８…第２流量調整部 ２０…パイロットチェック弁
２１…パイロットエア流路 ２２…第３流量調整部
３０…エアシリンダ ３８…動作切換弁
４０…駆動装置

Claims (5)

  1. 動作切換弁とエアシリンダとの間に接続され、前記エアシリンダのシリンダ室にエアを給排する第１流路と、
    前記第１流路に設けられた第１流量調整部と、
    前記第１流路に並設された第２流路と、
    前記第２流路の途上に設けられ、入口ポートと、出口ポートと、パイロットポートとを有し、前記入口ポートが前記第２流路の前記動作切換弁側の第１部分に接続され、前記出口ポートが前記第２流路の前記エアシリンダ側の第２部分に接続されたパイロットチェック弁と、
    前記第２流路の途上に設けられ、前記パイロットチェック弁と直列に接続された第２流量調整部と、
    一端が前記動作切換弁に連通し、他端が前記パイロットチェック弁の前記パイロットポートに接続されたパイロットエア流路と、
    前記パイロットエア流路に設けられた第３流量調整部と、
    を備えた、流量コントローラ。
  2. 請求項１記載の流量コントローラであって、前記パイロットチェック弁は、
    パイロットエアの圧力が所定値未満では前記出口ポートから前記入口ポートに向かう流れのエアを阻止し、
    前記パイロットエアの圧力が所定値以上では前記出口ポートから前記入口ポートに向かう流れのエアを通過させる、流量コントローラ。
  3. 請求項１又は２記載の流量コントローラであって、前記第３流量調整部は、
    第３絞弁と、
    前記第３絞弁に並設され前記パイロットポートに向かう流れのエアを通過させその逆向きの流れのエアを阻止するチェック弁と、
    を備えた、流量コントローラ。
  4. 請求項１〜３の何れか１項に記載の流量コントローラであって、前記第２流量調整部は、
    第２絞弁と、
    前記第２絞弁に並設され、前記エアシリンダに向かう流れのエアを通過させ、その逆向きの流れのエアを阻止するチェック弁と、
    を備えた、流量コントローラ。
  5. エアシリンダに高圧エアを供給する高圧エア供給源と、
    前記エアシリンダからの排気エアを排出する排気口と、
    前記エアシリンダのポートに前記高圧エア供給源及び前記排気口の一方を切り換えて接続する動作切換弁と、
    前記動作切換弁と前記エアシリンダの前記ポートとの間に設けられた流量コントローラとを備えた駆動装置であって、前記流量コントローラは、
    前記動作切換弁と前記エアシリンダとの間に接続され、前記エアシリンダのシリンダ室にエアを給排する第１流路と、
    前記第１流路に設けられた第１流量調整部と、
    前記第１流路に並設された第２流路と、
    前記第２流路の途上に設けられ、入口ポートと、出口ポートと、パイロットポートとを有し、前記入口ポートが前記第２流路の前記動作切換弁側の第１部分に接続され、前記出口ポートが前記第２流路の前記エアシリンダ側の第２部分に接続されたパイロットチェック弁と、
    前記第２流路の途上に設けられ、前記パイロットチェック弁と直列に接続された第２流量調整部と、
    一端が前記動作切換弁に連通し、他端が前記パイロットチェック弁の前記パイロットポートに接続されたパイロットエア流路と、
    前記パイロットエア流路に設けられた第３流量調整部と、
    を備えた、駆動装置。
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