JP2021041474A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
切削装置。
一方、切削ブレード63における+Y方向側には、図示しない支持部材を介して、光源65が配置されている。
たとえば、制御部7には、各種検出器(図示せず)からの検出結果が入力される。さらに、制御部7は、X軸方向送り手段11、Y軸方向移動手段12、および切削手段移動機構13を制御して、ウェーハWに対する切削手段6の切削ブレード63の位置を定める。また、制御部7は、切削手段6を制御して、ウェーハWに対する切削加工を実施する。
なお、切削ブレード63の高さは、たとえば、切削装置1の基準位置(たとえば、X軸テーブル113の上面、あるいは、基台10の上面)から切削ブレード63の刃先63aまでの高さである。
また、保持面300に対するカメラ66の角度、すなわち、保持面300に対するカメラ66の光路L2の角度(第2角度)が、45度となるように、切削ブレード63の−Y側にカメラ66が配置されている。なお、光路L2は、切削ブレード63の先端付近を通過してカメラ66の撮像素子に入射される光の経路である。
図4(b)に示すように、切削ブレード63の下降の開始時には、カメラ66によって得られる画像Gには、切削ブレード63の刃先63aと、保持面300に映し出された切削ブレード63の影63sとが、互いに離れた状態で含まれる。
この図6に示すように、光源65の光路L1およびカメラ66の光路L2は、切削ブレード63の下方の保持面300上で交差する。このため、光路L1、光路L2、直線Pおよび直線Qにより、第1の三角形R1および第2の三角形R2が形成される。
直線Qは、光路L1と光路L2との保持面300上の交点Mから延びて、直線Pと直交する直線である。
√3×T1=V …(1)
T2=V …(2)
したがって、以下の(3)および(4)式が得られる。
T=T1+T2=V(1+1/√3) …(3)
V=T/(1+1/√3) …(4)
たとえば、切削ブレード63の厚みTが200μmである場合には、補正値算出部75は、補正値Vを、以下のように算出する。
200μm/(1+1/√3)〜126.795μm
V=T3=T4=T/2…(5)
したがって、たとえば、切削ブレード63の厚みTが200μmである場合には、補正値算出部75は、切削ブレード63の厚みTの半分(100μm)を補正値Vとして算出する。
なお、もっとも厚みの薄い切削ブレードの厚みは、15μmである。このもっとも薄い切削ブレードの補正値Vは、7.5μmとなる。
つまり、たとえば、図8(a)に示すように、刃先63aが45度でV字を形成している切削ブレード63の場合は、第1角度および第2角度を45度にするとよい。
3:保持部、30:チャックテーブル、300:保持面、
11:X軸方向送り手段、12:Y軸方向移動手段、16:Z軸方向移動手段、
6:切削手段、60:スピンドル、63:切削ブレード、63a:刃先、
T:切削ブレードの厚み、63s:切削ブレードの影、
65:光源、L1:光源の光路、66:カメラ、L2:カメラの光路、G:画像、
7:制御部、71:高さ記憶部、73:高さ算出部、75:補正値算出部、
W:ウェーハ、N:分割予定ライン、D:デバイス
Claims (4)
- 保持面で被加工物を保持するチャックテーブルと、
スピンドル、および、該スピンドルに装着され環状の刃先を外周に備えた切削ブレードを有し、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、
該切削手段を該保持面に垂直な上下方向に移動させる切り込み送り手段と、
該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に該保持面に平行な水平方向に移動させる加工送り手段と、
該保持面に該切削ブレードの該刃先が接触するときの該切削ブレードの高さを認識する高さ認識手段と、を備え、
該高さ認識手段は、
該スピンドルに装着された該切削ブレードの一方の面を該一方の面側の上方から照らし、該保持面に該切削ブレードの影を映し出させる光源と、
該切削ブレードの他方の面側から、該刃先および該保持面を撮像エリアに入れて撮像するカメラと、
該切り込み送り手段によって、該切削ブレードが、該保持面に接近する方向に移動され、該カメラによって撮像される画像において該刃先と該保持面に映し出された該切削ブレードの影とが互いに接触したときの該切削ブレードの高さを記憶する高さ記憶部と、
該高さ記憶部によって記憶された該切削ブレードの高さから補正値を差し引くことによって、該切削ブレードの該刃先が該保持面に接触するときの該切削ブレードの高さを算出する高さ算出部と、を備える、
切削装置。 - 該高さ認識手段は、該保持面に対する該光源の角度である第1角度と、該保持面に対する該カメラの角度である第2角度とに基づいて、該補正値を算出する補正値算出部をさらに備える、
請求項1記載の切削装置。 - 該第1角度および該第2角度が45度であり、
該補正値算出部は、該切削ブレードの厚みの半分を該補正値として算出する、
請求項2記載の切削装置。 - 該スピンドルに装着された該切削ブレードは、該刃先がV字で形成される、
請求項1記載の切削装置。
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