JP2021039069A - 光検出装置、電子装置及び光検出方法 - Google Patents

光検出装置、電子装置及び光検出方法 Download PDF

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Abstract

【課題】受光素子の出力配線数を削減する。【解決手段】光検出装置は、光を受光するオン状態又は光を受光しないオフ状態に切替可能な複数の受光素子を有する受光アレイと、第1方向からの光を受光アレイにより受光する場合、複数の受光素子のうち、第1方向からの光が照射される領域と受光可能な領域とが少なくとも一部重複すると決定される1以上の受光素子をオン状態に、それ以外の受光素子をオフ状態に制御する制御部と、を備える。【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、光検出装置、電子装置及び光検出方法に関する。
受光素子等の光検出装置は、自動運転技術などに広く用いられている。自動運転技術では、物体からの反射光を光検出装置で受光して、物体までの距離を計測して距離画像を生成する。距離画像の解像度を上げるには、光検出装置に含まれる単位面積当たりの受光素子の数を増やす必要がある。ところが、受光素子間の距離が短くなると、受光素子同士でクロストークが発生し、距離画像のボケやノイズの要因になる。
また、光検出装置内の受光素子の数が増えると、各受光素子の出力配線を配置する場所を確保するのが難しくなる。また、出力配線の配置場所を確保する必要性から、配置可能な受光素子の総数にも制限が生じる。
特開平6−224463号公報
本発明の一実施形態は、受光素子の出力配線数を削減可能な光検出装置、電子装置及び光検出方法を提供するものである。
本実施形態によれば、光を受光するオン状態又は光を受光しないオフ状態に切替可能な複数の受光素子を有する受光アレイと、
第1方向からの光を前記受光アレイにより受光する場合、前記複数の受光素子のうち、前記第1方向からの光が照射される領域と受光可能な領域とが少なくとも一部重複すると決定される1以上の受光素子をオン状態に、それ以外の受光素子をオフ状態に制御する制御部と、を備える、光検出装置が提供される。
一実施形態による光検出装置を内蔵する電子装置の概略構成を示すブロック図。 本実施形態による光検出装置として機能する受光センサの内部構成を示すブロック図。 受光アレイに入射される所望の反射光を模式的に示す図。 (a)、(b)、(c)は物体から受光アレイまでの距離によって反射光のビームスポットの位置と径が変化しない理由を説明する図。 制御部がオン状態にする受光素子を動的に制御する一例を示す図。 第2の実施形態による光検出装置1の内部構成を示すブロック図。 第1方向に配置された複数の受光素子を4つごとに同一の出力配線に接続する例を示す図。 受光部と信号処理部を半導体基板上に実装した例を示す模式的な斜視図。
以下、図面を参照して、光検出装置、電子装置及び光検出方法の実施形態について説明する。以下では、光検出装置、電子装置及び光検出方法の主要な構成部分を中心に説明するが、光検出装置、電子装置及び光検出方法には、図示又は説明されていない構成部分や機能が存在しうる。
図1は一実施形態による光検出装置1を内蔵する電子装置2の概略構成を示すブロック図である。図1の電子装置2は、ToF(Time of Flight)方式の距離計測を行うものである。図1の電子装置2は、投光部3と、光制御部4と、受光部5と、信号処理部6と、画像処理部7とを備えている。このうち、投光部3と、光制御部4と、受光部5と、信号処理部6とで、距離計測装置8が構成される。本実施形態による光検出装置1は、受光部5の少なくとも一部として実装される。
図1の電子装置2の少なくとも一部は、1つ又は複数の半導体IC(Integrated Circuit)で構成可能である。例えば、信号処理部6と画像処理部7を一つの半導体チップの内部に集積してもよいし、この半導体チップに受光部5まで含めて集積してもよい。また、この半導体チップに投光部3まで含めて集積してもよい。
投光部3は、第1の光を投光する。第1の光は、例えば所定の周波数帯域のレーザ光である。レーザ光とは、位相及び周波数が揃ったコヒーレントな光である。投光部3は、パルス状の第1の光を所定の周期で間欠的に投光する。投光部3が第1の光を投光する周期は、第1の光の一つのパルスに基づいて距離計測装置8で距離を計測するのに要する時間以上の時間間隔である。
投光部3は、発振器11と、投光制御部12と、光源13と、第1駆動部14と、第2駆動部15とを有する。発振器11は、第1の光を投光する周期に応じた発振信号を生成する。第1駆動部14は、発振信号に同期させて、光源13に間欠的に電力を供給する。光源13は、第1駆動部14からの電力に基づいて、第1の光を間欠的に出射する。光源13は、単一のレーザ光を出射するレーザ素子でもよいし、複数のレーザ光を同時に出射するレーザユニットでもよい。投光制御部12は、発振信号に同期させて、第2駆動部15を制御する。第2駆動部15は、投光制御部12からの指示に応じて、発振信号に同期した駆動信号を光制御部4に供給する。
光制御部4は、光源13から出射された第1の光の進行方向を制御する。また、光制御部4は、受光された第2の光の進行方向を制御する。
光制御部4は、第1レンズ21と、ビームスプリッタ22と、第2レンズ23と、走査ミラー24とを有する。
第1レンズ21は投光部3から出射された第1の光を集光させて、ビームスプリッタ22に導く。ビームスプリッタ22は、第1レンズ21からの第1の光を二方向に分岐させて、第2レンズ23と走査ミラー24に導く。第2レンズ23は、ビームスプリッタ22からの分岐光を受光部5に導く。第1の光を受光部5に導光する理由は、受光部5にて投光タイミングを検出するためである。
走査ミラー24は、投光部3内の第2駆動部15からの駆動信号に同期して、ミラー面を回転駆動する。これにより、ビームスプリッタ22を通過して走査ミラー24のミラー面に入射された分岐光(第1の光)の反射方向を制御する。走査ミラー24のミラー面を一定周期で回転駆動することで、光制御部4から出射された第1の光を所定範囲内で少なくとも一次元方向に走査させることができる。ミラー面を回転駆動する軸を二方向に設けることで、光制御部4から出射された第1の光を所定範囲内で二次元方向に走査させることも可能となる。図1では、走査ミラー24により、電子装置2から投光される第1の光をX方向及びY方向に走査させる例を示している。
電子装置2から投光された第1の光の走査範囲内に、物体20が存在する場合、第1の光は物体20で反射される。物体20で反射された反射光のうち、少なくとも一部は、受光部5にて受光される。
受光部5は、光検出器31と、増幅器32と、第3レンズ33と、受光センサ34と、A/D変換器35とを有する。光検出器31は、ビームスプリッタ22で分岐された光を受光して電気信号に変換する。光検出器31にて、第1の光の投光タイミングを検出できる。増幅器32は、光検出器31から出力された電気信号を増幅する。
第3レンズ33は、物体20で反射されたレーザ光を受光センサ34に結像させる。受光センサ34は、本実施形態による光検出装置1であり、その詳細については後述する。受光センサ34は、レーザ光を受光して電気信号に変換する。
A/D変換器35は、受光センサ34から出力された電気信号を所定のサンプリングレートでサンプリングしてA/D変換し、デジタル信号を生成する。A/D変換器35の代わりに、時間デジタル変換器(TDC:Time Digital Converter)を設けてもよい。
信号処理部6は、記憶部41と、距離計測部42と、制御部43とを有する。信号処理部6は、第1の光を反射させた物体20までの距離を計測するとともに、受光センサ34で受光された第2の光に応じたデジタル信号を記憶部41に記憶する。
距離計測部42は、第1の光及び物体20からの反射光に基づいて、物体20までの距離を計測する。より具体的には、距離計測部42は、第1の光の投光タイミングと、受光センサ34で受光された第2の光に含まれる反射光の受光タイミングとの時間差に基づいて、物体20までの距離を計測する。すなわち、距離計測部42は、以下の式(1)に基づいて、物体20までの距離を計測する。
距離=光速×(反射光の受光タイミング−第1の光の投光タイミング)/2 …(1)
式(1)式における「反射光の受光タイミング」とは、より正確には、反射光のピーク位置の受光タイミングである。距離計測部42は、第2の光に含まれる反射光のピーク位置を、A/D変換器35で生成されたデジタル信号に基づいて検出する。
図2は本実施形態による光検出装置1として機能する受光センサ34の内部構成を示すブロック図である。図2の受光センサ34は、受光アレイ51と、制御部52とを有する。
受光アレイ51は、光を受光するオン状態又は光を受光しないオフ状態に個別に切替可能な複数の受光素子53を有する。図2の例では、複数の受光素子53が二次元方向(第2方向X及び第3方向Y)に配置されている例を示すが、一次元方向(第2方向X)にのみ配置されていてもよい。複数の受光素子53のそれぞれには、各受光素子53で光を受光したときに光電変換した電気信号を伝送する出力配線54が接続されている。各出力配線54は、第3方向Yにおける各受光素子53の隙間に配置されている。
本実施形態では、受光素子53としてSPAD(Silicon Photon Avalanche Diode)を利用する。SPADは、APD(Avalanche Photo-Diode)をガイガーモードで動作させるものであり、受光した1つの光子を光電変換した電気信号を出力することができる。図2の例では、第2方向X(横方向)と第3方向Y(縦方向)に複数個ずつ受光素子53を配置している。なお、実際の受光アレイ51では、複数の受光素子53で1画素を形成し、縦横方向にそれぞれ複数個の画素を配置することが多い。1画素の単位は、SiPM(Silicon Photomultiplier)とも呼ばれる。図2は、受光アレイ51の簡略化した構成を図示しており、縦横方向に複数個ずつの受光素子53を配置した例を示している。
SPADにブレークダウン電圧を超える逆バイアス電圧を印加した状態で光が入射されると、雪崩電流を引き起こして大電流が出力される。その際、雪崩電流が生じた場所から光が出射される。この光を周囲の他の受光素子53が感知して光電変換による電気信号を出力するおそれがある。この電気信号はノイズであり、クロストークとも呼ばれる。
制御部52は、第1方向からの光を前記受光アレイにより受光する場合、複数の受光素子53のうち、第1方向からの光が照射される領域と受光可能な領域とが少なくとも一部重複すると決定される1以上の受光素子53をオン状態に、それ以外の受光素子53をオフ状態に制御する。図2では、ハッチを付けた受光素子53がオン状態、白抜きの受光素子53がオフ状態の例を示している。
このように、制御部52は、一部の受光素子53のみをオン状態にして、オン状態にした受光素子53で受光された電気信号を、出力配線54を介して取得する。ここで、第1方向からの光は、投光した光が物体20で反射された光であり、第1方向とは、投光した光が物体20で反射された反射光が到来する方向である。制御部52は、第1方向からの反射光が照射される領域と受光可能な領域とが少なくとも一部重複すると決定される1以上の受光素子53をオン状態に制御する。より具体的には、制御部52は、受光アレイ51の受光面上での第1方向からの光の受光位置及びビームスポット径に基づいて、複数の受光素子53のうちオン状態にする1以上の受光素子53を制御する。
投光部3が投光した光は、光制御部4で走査される。よって、光の方向は時間に応じて変化し、物体20で反射される方向も、光の走査方向に応じて変化する。制御部52は、物体20からの反射光の方向(第1方向)に応じて、複数の受光素子53のうちオン状態にする1以上の受光素子53を動的に制御する。
受光アレイ51には、投光部3から投光された光が物体20で反射されて、その反射光が入射されるだけでなく、太陽光などの環境光などが入射される。また、環境光が物体20で反射されて、その反射光も受光アレイ51に入射される場合がある。これらの光のうち、距離計測に使用される光は、投光部3から投光された光が物体20で反射されて、受光アレイ51に入射される光であり、以下では、この光を所望の反射光と呼ぶことにする。所望の反射光は、投光部3から投光されて、光制御部4で走査された光の方向に応じて進行して物体20で反射され、受光アレイ51上の特定位置に入射される。
図3は受光アレイ51に入射される所望の反射光を模式的に示す図である。光制御部4は、投光部3からの光を所定範囲r1内で走査させる。光制御部4で走査された光のうち、物体20で反射された光が所望の反射光である。所望の反射光は、受光アレイ51内の予め想定された位置に入射される。ここで、予め想定された位置とは、光制御部4で走査された光の方向に応じた方向である。すなわち、受光アレイ51内の所望の反射光の入射位置は、光制御部4で走査された光の方向によって特定できる。そこで、制御部52は、光制御部4が走査する光の方向に応じて、所望の反射光が入射される可能性のある受光アレイ51内の受光素子53をオン状態にする。
図3では、所望の反射光以外の光(例えば、太陽光等の環境光)が物体20で反射されて受光アレイ51に入射されたときに得られる物体20の距離画像を破線で示している。実線の丸bpは所望の反射光が受光アレイ51に入射された場合のビームスポットを示している。投光部3がレーザ光を投光する場合、レーザ光のビームスポットbpはLED光などに比べて非常に小さいが、ある程度の面積は有するため、制御部52は、所望の反射光のビームスポットbpの径を考慮に入れて、オン状態にする受光素子53を決定する。より具体的には、受光素子53上の所望の反射光のビームスポットbpの面積を、受光素子53の面積で正規化したオーバーラップ比率が所定値(例えば10%)を超える受光素子53だけをオン状態にする。あるいは、所望の反射光のビームスポットbpの中に完全に含まれる受光素子53のみオン状態にしてもよい。
投光部3は断続的に光を投光し、光制御部4は、投光部3が投光した光を所定範囲内で継続的に走査させる。よって、光制御部4から出射される光の方向は継続的に変化し、物体20で反射された所望の反射光の方向も継続的に変化する。制御部52は、所望の反射光の継続的な変化に追随させて、オン状態にする受光素子53を切り替える。
なお、投光部3から投光されて、光制御部4で走査された光は、物体20にて反射されるが、投光部3から物体20までの距離によって、物体20で反射された所望の反射光が受光アレイ51に届くまでの時間が変化する。ただし、受光アレイ51上での所望の反射光のビームスポットbpの位置と径は、物体20から受光アレイ51までの距離にほとんど依存しない。図4は物体20から受光アレイ51までの距離によって反射光のビームスポットbpの位置と径が変化しない理由を説明する図である。図4(a)に示すように、投光部3で投光されて光制御部4で走査された光は、レーザ光であっても、伝搬距離によってビームスポット径が広がる。図4(a)は、近距離の物体20に入射されるレーザ光のビームスポット径をφ1、遠距離の物体20に入射されるレーザ光のビームスポット径をφ2としている。
一方、図4(b)は遠距離の物体20からの反射光が受光アレイ51に入射されるまでの光路を示し、図4(c)は近距離の物体20からの反射光が受光アレイ51に入射されるまでの光路を示している。物体20からの反射光は、受光アレイ51の近傍に設けられたレンズ51aで集光されて、受光アレイ51の受光面に結像される。レンズ51aの口径は1〜2cm程度であるのに対し、受光アレイ51から物体20までの距離は10〜200mであり、レンズ51aの口径に比べてはるかに大きい。
図4(b)と図4(c)を比較すればわかるように、受光アレイ51の受光面上のレーザスポットは、若干のボケを有するため、物体20までの距離によってビームスポット径は多少変動するが、受光アレイ51から物体20までの距離に比べて、レンズ51aのサイズははるかに小さいため、受光アレイ51の受光面でのボケ量は小さく、ビーム位置の変化もわずかである。
よって、制御部52は、オン状態にする受光素子53を設定する際には、受光アレイ51から物体20までの距離を必ずしも考慮する必要はない。ただし、物体20までの距離によって、受光面上のビーム位置が若干ずれることは考えられるため、制御部52は、物体20までの距離を計測した結果を用いて、次回、投光部3が光を投光する際に、オン状態にする受光素子53を設定してもよい。例えば、物体20が近距離にいる場合と、遠距離にいる場合とで、オン状態にする受光素子53を第2方向X及び第3方向Yの少なくとも一方向に、シフトさせてもよい。シフト量は、物体20までの距離に応じて変化させてもよいし、物体20が近距離か遠距離かの二択で、所定量だけシフトさせるか否かを設定してもよい。
光制御部4は、投光部3からの光を一次元方向又は二次元方向に走査する。制御部52は、光制御部4による光の走査方向及び走査速度に基づいて、オン状態にする受光素子53を動的に制御してもよい。
図5は制御部52がオン状態にする受光素子53を動的に制御する一例を示す図である。制御部52は、光制御部4が投光部3からの光を走査する方向と速度の情報を光制御部4から取得し、その取得した情報に基づいて、オン状態にする受光素子53を動的に切り替える。すなわち、制御部52は、光の走査方向と走査速度に応じて、オン状態にする受光素子53を切り替えてもよい。
このように、本実施形態による制御部52は、所望の反射光が入射される可能性のある受光素子53のみをオン状態にし、受光アレイ51内の他の受光素子53はオフ状態にする。オフ状態の受光素子53の出力信号は常にゼロであり、オフ状態の受光素子53がノイズを出力するおそれがなくなる。したがって、距離計測部42は、オン状態の受光素子53が光を受光したタイミングに基づいて距離を計測でき、周辺画素のノイズの影響を受けなくなってクロストークを低減できることから、距離計測の精度を向上できるとともに、距離計測処理の負担を軽減できる。また、オン状態にする受光素子53の数を減らせるため、消費電力の削減も図れる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態は、複数の受光素子53に接続される出力配線54の数を削減するものである。上述したように、距離画像の解像度を上げるには、受光アレイ51内の単位面積当たりの受光素子53の数を増やす必要がある。しかしながら、各受光素子53には、光電変換した電気信号を伝送する出力配線54が接続されるため、受光アレイ51内の受光素子53の数を増やすと、出力配線54の配置領域を確保できなくなるおそれがある。第2の実施形態は、この問題を解決するものである。
図6は第2の実施形態による光検出装置1の内部構成を示すブロック図である。図6の光検出装置1は、図2の受光アレイ51と同様に、受光アレイ51と制御部52を有するが、図2の受光アレイ51よりも少ない数の出力配線54を有する。出力配線54には、スイッチアレイ55が接続されている。なお、図2の受光アレイ51にもスイッチアレイは必要になるが、図2では省略している。
図6の受光アレイ51は、図2の受光アレイ51と比べて、出力配線54の数を大幅に削減することができる。図6の受光アレイ51は、二次元方向、すなわち第2方向X及び第3方向Yに配置された複数の受光素子53を有する。より具体的には、受光アレイ51は、少なくとも第2方向Xに配置されたm個(mは2以上の整数)の受光素子53を含む受光素子列53aと、m個の受光素子53で受光されて光電変換された信号を伝送する、mよりも小さいn(nは1以上の整数)本の出力配線54と、を有する。このように、各受光素子列53a内のm個の受光素子53に接続される出力配線54の数は、受光素子列53a内の受光素子53の総数よりも少ない数である。
第2方向Xに隣接して配置されるn個の受光素子53のそれぞれは、異なる出力配線54に接続されている。図6の場合、第2方向Xに隣接して配置される2個の受光素子53が互いに異なる出力配線54に接続されており、1つの受光素子列53aに対して2本の出力配線54が設けられている。すなわち、第2方向Xに配置された複数の受光素子53のうち左端から偶数番目の受光素子53が接続される出力配線54と、奇数番目の受光素子53が接続される出力配線54とが別個に設けられている。
図6では、1つの受光素子列53a内の受光素子53の数にかかわらず、各受光素子53からの光電変換した電気信号は、2本の出力配線54で伝送される。これにより、出力配線54の数を大幅に削減できる。出力配線54の数を削減できることから、第3方向Yに配置される受光素子列53aの間隔を狭めることができ、受光アレイ51内の単位面積当たりの受光素子53の数を増やすことができる。
スイッチアレイ55は、受光素子列53aごとに、n本の出力配線54のいずれか一本を選択するn個のスイッチ56を有する。本実施形態による制御部52は、第1の実施形態と同様に、1以上の受光素子53のみをオン状態にし、オン状態にした受光素子53に接続された出力配線54に繋がるスイッチ56をオンする。
図6は、第2方向Xに配置された受光素子列53a内の各受光素子53を、第2方向Xの並び順に交互に2本の出力配線54に接続しているが、これは、所望の反射光のビームスポット径が2個の受光素子53の幅分の大きさであることを想定しているためである。この場合、同時に光を検知する受光素子53は2個になるため、隣接する2個の受光素子53をオン状態にし、かつ別々の出力配線54に接続すればよい。それ以外の受光素子53はオフ状態に設定されるため、オン状態に設定した受光素子53の出力配線54と同じ出力配線54に接続しても、動作上の不具合は起きない。
受光アレイ51の受光面上での所望の反射光のビームスポット径は、図4で説明したように、受光アレイ51から物体20までの距離には依存せず、投光部3における光源が出射する光のビームスポット径に依存するため、予め把握できる。そこで、本実施形態では、受光面上での所望の反射光のビームスポット径に合わせて、各受光素子53と出力配線54との接続を決定する。ビームスポット径が受光素子53の2個分のサイズであれば、図6のように、第2方向Xの偶数番目と奇数番目の受光素子53を別々の出力配線54に接続すればよい。
図7は、第2方向Xに配置された複数の受光素子53を4つごとに同一の出力配線54に接続する例を示す図である。図7の例では、第2方向Xに延在する受光素子列53aごとに、4本の出力配線54が設けられている。図7は、受光アレイ51の受光面上での所望の反射光のビームスポット径が受光素子53の4個分の大きさを有することを想定している。この場合、隣接する4個の受光素子53が同時にオン状態になるため、これら受光素子53は別々の出力配線54に接続している。
このように、第2の実施形態では、受光素子列53aごとに、受光素子列53a内の各受光素子53からの光電変換した電気信号を、受光素子53の数よりも少ない出力配線54を介して伝送するため、受光素子53の数に比べて出力配線54の総数を大幅に削減できる。また、本実施形態では、受光アレイ51の受光面上での所望の反射光のビームスポット径に合わせて、各受光素子53と出力配線54との接続を決定するため、オン状態にした受光素子53の受光信号の取り出しに支障がない範囲で、出力配線54の数を削減できる。
第1及び第2の実施形態による電子装置2の少なくとも一部は、SiP(Silicon in Package)で実装可能である。図8は受光部5と信号処理部6をパッケージの基板上に実装した例を示す模式的な斜視図である。図8の基板71上には、第1ダイ72と第2ダイ73が設けられている。第1ダイ72上には、図1の受光部5内の受光センサ34が配置されている。受光センサ34は、上述した第1〜第4の実施形態の光検出装置1を有するSiPM74である。SiPM74は、X方向及びY方向に複数個ずつ配置されている。第2ダイ73上には、図1の受光部5内のA/D変換器(ADC)35と、信号処理部6とが配置されている。第1ダイ72上のパッド76と、第2ダイ73上のパッド77とがボンディングワイヤ78で接続されている。
図8のレイアウト図では、第1ダイ72上に複数のSiPM74を配置しているが、各SiPM74に対応づけて、APDのデッドタイムを短縮するためのアクティブクエンチ回路やパッシブクエンチ回路を配置してもよい。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1 光検出装置、2 電子装置、3 投光部、4 光制御部、5 受光部、6 信号処理部、7 画像処理部、8 距離計測装置、11 発振器、12 投光制御部、13 光源、14 第1駆動部、15 第2駆動部、20 物体、21 第1レンズ、22 ビームスプリッタ、23 第2レンズ、24 走査ミラー、31 光検出器、32 増幅器、33 第3レンズ、34 受光センサ、35 A/D変換器、41 記憶部、42 距離計測部、43 制御部、51 受光アレイ、52 制御部、53 受光素子、54 出力配線、55 スイッチアレイ、56 スイッチ

Claims (14)

  1. 光を受光するオン状態又は光を受光しないオフ状態に切替可能な複数の受光素子を有する受光アレイと、
    第1方向からの光を前記受光アレイにより受光する場合、前記複数の受光素子のうち、前記第1方向からの光が照射される領域と受光可能な領域とが少なくとも一部重複すると決定される1以上の受光素子をオン状態に、それ以外の受光素子をオフ状態に制御する制御部と、を備える、光検出装置。
  2. 前記第1方向からの光は、投光した光が物体で反射された反射光を含み、
    前記第1方向は、前記反射光が到来する方向であり、
    前記制御部は、前記第1方向からの前記反射光が照射される領域と受光可能な領域とが少なくとも一部重複すると決定される前記1以上の受光素子をオン状態に制御する、請求項1に記載の光検出装置。
  3. 前記制御部は、前記受光アレイの受光面上での前記反射光の受光位置及びビームスポット径に基づいて、前記複数の受光素子のうちオン状態にする前記1以上の受光素子を決定する、請求項2に記載の光検出装置。
  4. 前記第1方向は、投光した光が時間に応じて所定範囲内で走査された後に前記物体で反射された前記反射光の方向であり、
    前記制御部は、前記反射光の方向に応じて、前記複数の受光素子のうちオン状態にする前記1以上の受光素子を動的に制御する、請求項2又は3に記載の光検出装置。
  5. 前記制御部は、光の走査方向及び走査速度に応じて、前記複数の受光素子のうちオン状態にする前記1以上の受光素子を切り替える、請求項4に記載の光検出装置。
  6. 前記受光アレイは、
    少なくとも第2方向に配置されたm個(mは2以上の整数)の前記受光素子を含む受光素子列と、
    前記m個の受光素子で受光されて光電変換された電気信号を伝送する、前記mよりも小さいn(nは1以上の整数)本の出力配線と、を有する、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光検出装置。
  7. 前記第2方向に隣接して配置されるn個の前記受光素子のそれぞれは、異なる前記出力配線に接続される、請求項6に記載の光検出装置。
  8. それぞれ異なる前記出力配線に接続される前記n個の前記受光素子は、前記受光アレイの受光面上の前記第1方向からの光のビームスポット径に応じたサイズを有する、請求項7に記載の光検出装置。
  9. 前記受光アレイは、前記第2方向に交差する第3方向に配置されたp(pは2以上の整数)個の前記受光素子列を有し、
    前記n個の受光素子と同数の前記出力配線は、前記第3方向に隣接して配置された2個の前記受光素子列の間に配置される、請求項7又は8に記載の光検出装置。
  10. 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の光検出装置と、
    光の投光タイミングと、オン状態の前記1以上の受光素子での受光タイミングとの時間差により、物体までの距離を計測する計測部と、を備える、電子装置。
  11. 光を投光する投光部を備え、
    前記制御部は、前記投光部から投光された光が物体で反射された光を受光する可能性のある前記1以上の受光素子をオン状態に制御する、請求項10に記載の電子装置。
  12. 前記投光部から投光された光の方向を所定の範囲内で走査させる光制御部を備える、請求項11に記載の電子装置。
  13. 前記制御部は、前記光制御部による光の走査方向に基づいて前記所定の方向を推測する、請求項12に記載の電子装置。
  14. 第1方向からの光を、複数の受光素子を有する受光アレイにより受光する場合、光を受光するオン状態又は光を受光しないオフ状態に切替可能な前記複数の受光素子のうち、前記第1方向からの光が照射される領域と受光可能な領域とが少なくとも一部重複すると決定される受光素子をオン状態に、それ以外の受光素子をオフ状態に制御する、光検出方法。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114063043A (zh) * 2020-07-30 2022-02-18 北京一径科技有限公司 光电探测阵列的控制方法及装置、光电电源开关电路、光电探测阵列

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003004850A (ja) * 2001-06-20 2003-01-08 Denso Corp 距離測定装置
JP2005331273A (ja) * 2004-05-18 2005-12-02 Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency レーザ距離画像生成装置及び方法
JP2014059301A (ja) * 2012-09-18 2014-04-03 Sick Ag 光電センサおよびデプスマップ検出方法
JP2018124271A (ja) * 2017-01-31 2018-08-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 撮像システム
JP2018537680A (ja) * 2015-12-20 2018-12-20 アップル インコーポレイテッドApple Inc. 光検出測距センサ

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2512965B2 (es) * 2013-02-13 2015-11-24 Universitat Politècnica De Catalunya Sistema y método para escanear una superficie y programa de ordenador que implementa el método
WO2017163435A1 (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 株式会社ニコン 受光素子アレイおよびライトフィールド記録装置
JP7120756B2 (ja) * 2017-12-05 2022-08-17 シャープ株式会社 受光素子、飛行時間測定装置及び光レーダー装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003004850A (ja) * 2001-06-20 2003-01-08 Denso Corp 距離測定装置
JP2005331273A (ja) * 2004-05-18 2005-12-02 Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency レーザ距離画像生成装置及び方法
JP2014059301A (ja) * 2012-09-18 2014-04-03 Sick Ag 光電センサおよびデプスマップ検出方法
JP2018537680A (ja) * 2015-12-20 2018-12-20 アップル インコーポレイテッドApple Inc. 光検出測距センサ
JP2018124271A (ja) * 2017-01-31 2018-08-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 撮像システム

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
桝井 昇一 ほか: "3Dセンシングがスポーツを変える", 電子情報通信学会誌, vol. 第100巻 第11号, JPN6021051411, 1 November 2017 (2017-11-01), JP, pages 1182 - 1188, ISSN: 0004757985 *

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