JP2021035469A - 生体情報計測システム - Google Patents
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- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)
Abstract
Description
図1に示されている本発明の一実施形態としての生体情報計測システムは、刺激信号発生器20、電極202、磁気センサアレイ22、信号増幅器24、混合器26、濾過器27、解析画像生成装置28および画像表示装置29を備えている。刺激信号発生器20、信号増幅器24、混合器26および濾過器27は、後述する解析処理装置200を構成する(図12参照)。
図2には、複数の磁気センサ1が並べられて構成されている磁気センサアレイ22が示されている。磁気センサアレイ22は、検知曲面Cの法線方向に感軸方向が一致するように配された複数の磁気センサ1と、複数のコネクタ160と、複数のコネクタ160のそれぞれを介して複数の磁気センサ1のそれぞれに接続された複数の同軸ケーブル162と、を有している。当該構成の磁気センサアレイにより、検知曲面Cの詳細な二次元の磁気情報が得られる。
図3および図4に示されている磁気センサ1は、誘電体基板100と、誘電体基板100の上面101に前後に延在する略矩形状に積層された信号線路層110と、誘電体基板100の上面101において信号線路層110から左右それぞれに離間して前後に延在する一対の略矩形状の接地導体層121および122と、誘電体基板100の下面102に形成された接地導体層124と、接地導体層124、121および122により構成される伝送線路120の一端部に電気的に接続される入出力端子160と、当該伝送線路120の他端部に部分的に積層された軟磁性薄膜140と、を備えている。接地導体層124は省略されてもよい。
図13には、磁気センサ1における伝送線路120における軟磁性薄膜140の拡大図が示されている。軟磁性薄膜140に対して、信号線路層110の長手方向(X軸)に磁気バイアスBbiasが印加されている。あらかじめ一軸異方性が付与された軟磁性薄膜140の磁化容易軸AEMは、信号線路層110の長手方向に対し略直交する方向に延在している。軟磁性薄膜140の磁化困難軸は、信号線路層110の長手方向に対して平行な方向に延在している。したがって、磁気バイアス42が信号線路層110の長手方向に与えられ、その強さが軟磁性薄膜140の異方性磁界と同等に調節されることで、軟磁性薄膜140の磁化回転により高い透磁率が得られ、高い磁気感度が実現される。
図14に示されているように、信号線路層110と接地導体層121、122とが、電気的導体層1210および1220を介して短絡されることにより、磁気センサ1の伝送線路120の終端部が短絡されている。接地導体層接地導体層121、122は電気的導体層1210および1220が形成された後に積層され、軟磁性薄膜140は信号線路層110が形成された後に領域Sに積層される。
図19には、刺激信号発生器20により上肢の第1指定箇所に対して与えられた刺激信号に応じて、第2指定箇所において磁気センサアレイ22により検出された、神経Nvの興奮または筋活動を表わす磁気信号が示されている。刺激期間T1においては、数Hz〜3kHzの周波数の指定強度Bpの刺激信号211が第1指定箇所に与えられる。例えば、刺激信号211の強度は1〜25mAの範囲で調節される。また、刺激信号211の周波数f0が1kHzであり、刺激回数nが100である場合、刺激期間T1は0.1秒となる。刺激信号211に対する神経Nvの興奮または筋活動に伴う磁気信号212は、刺激信号211の付与開始から僅かに遅れた時点から徐々に増加し、一定の大きさApで飽和する。その後、刺激信号211の付与が停止されると刺激停止期間T2において磁気信号212は徐々に減少して略0となる。
累積分布関数42の振幅信号Aが雑音によるものであり、閾値をAsより低いA” sとした場合でも、検出率Rは同様の指示値Rsを示し、誤った事象を検出することになる。つまり、誤認率は高くなる。また、閾値をAsより高いA’ sとすると、検出率Rの指示値は低い値(略零)を示し、有効な事象を検出することができず、不検出率は高くなる。よって、検出率が高く、かつ雑音のような誤った事象を検出することがないように閾値を設定することが、誤検出率、不検出率を低く、信頼性の高い評価を行うためには重要であり、閾値はAsおよびA’ sの間に設定することが望ましい。
誘電体基板110としては、例えば表面に熱酸化膜(厚み1μm)が形成されたシリコン基板(厚み500μm)が用いられる。誘電体基板110としてのシリコン基板の上に、信号線路層110および接地導体層121、122、124(Au/Cu/Ti積層膜、厚み3μm)からなるコプレーナ構造が、公知のスパッタリング法などの薄膜形成技術およびフォトリソグラフィー技術によって形成される。
図24Aおよび図24Bのそれぞれには、磁気センサの高周波信号発生器21により周波数1〜3GHz、電力−10dBmの高周波信号が供給され、数mmサイズの磁界発生源(検知対象物)からの磁気信号が評価された結果が示されている。図24Aには、高周波信号の直交成分における磁気信号の振幅が示されている。図24Bには、高周波信号の同相成分における磁気信号の振幅が示されている。高周波信号の同相成分および直交成分のそれぞれにおいて、磁気バイアスHは1.3mTで最大値を示し、軟磁性薄膜の異方性磁界Hkの値と一致していることがわかる。また、高周波信号の周波数において、線路長の1/4λ共鳴の効果により、1.5GHzおよび2.3GHz付近に最大値がみられる。
Claims (3)
- 生体情報を計測するためのシステムであって、
生体に与えられる刺激信号を発生する刺激信号発生器と、
複数の磁気センサが配列されることにより構成されている磁気センサアレイと、
解析処理装置と、
画像表示装置と、を備え、
前記複数の磁気センサのそれぞれが、
一対の主面を有する板状の誘電体基板と、
前記誘電体基板の一方の主面に積層された信号線路層と、
前記誘電体基板の一対の主面のうちいずれか一方の主面、あるいは一対の主面に積層された接地導体層を有する伝送線路と、
前記伝送線路の一端部に電気的に接続された単一の入出力端子と、
前記伝送線路の他端部の一部に積層された軟磁性薄膜と、を備え、
前記解析処理装置が、
前記伝送線路の前記入出力端子に入射信号を送信する機能と、
前記伝送線路の当該入出力端子から反射信号を受信する機能と、
前記反射信号を解析することにより前記複数の磁気センサのそれぞれの配置態様に応じた外部磁場の分布態様を検知する機能と、を有し、
前記画像表示装置が、前記刺激信号発生器により発生された刺激信号が付与された生体を対象として前記解析処理装置により検知された外部磁場の分布態様を表示することを特徴とする生体情報計測システム。 - 請求項1記載の生体情報計測システムにおいて、
前記伝送線路の他端部が電気的に短絡されていることを特徴とする生体情報計測システム。 - 請求項1または2記載の生体情報計測システムにおいて、
前記伝送線路の終端部から送信信号の波長の4分の1の長さの同軸ケーブルまたは線路を介して前記解析処理装置に接続されていることを特徴とする生体情報計測システム。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05151535A (ja) * | 1991-02-28 | 1993-06-18 | Sony Corp | 分布定数回路型磁界検出装置 |
JP2017147004A (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | 株式会社東芝 | 磁気ディスク装置 |
JP2018192236A (ja) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | 株式会社リコー | 生体磁場計測方法、生体磁場計測装置及び生体磁場計測システム |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05151535A (ja) * | 1991-02-28 | 1993-06-18 | Sony Corp | 分布定数回路型磁界検出装置 |
JP2017147004A (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | 株式会社東芝 | 磁気ディスク装置 |
JP2018192236A (ja) * | 2017-05-19 | 2018-12-06 | 株式会社リコー | 生体磁場計測方法、生体磁場計測装置及び生体磁場計測システム |
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