JP2021032887A - 検査システム、検査装置および検査方法 - Google Patents

検査システム、検査装置および検査方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2021032887A
JP2021032887A JP2020128955A JP2020128955A JP2021032887A JP 2021032887 A JP2021032887 A JP 2021032887A JP 2020128955 A JP2020128955 A JP 2020128955A JP 2020128955 A JP2020128955 A JP 2020128955A JP 2021032887 A JP2021032887 A JP 2021032887A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
image
inspection object
light
vertical direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020128955A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7491127B2 (ja
Inventor
中重 文宏
Fumihiro Nakashige
文宏 中重
卓治 鎌田
Takuji Kamata
卓治 鎌田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to US16/986,836 priority Critical patent/US11282187B2/en
Priority to EP20190723.5A priority patent/EP3783342A1/en
Publication of JP2021032887A publication Critical patent/JP2021032887A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7491127B2 publication Critical patent/JP7491127B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

【課題】適切な画像検査が可能な検査画像を作成するための検査システムを提供する。【解決手段】検査対象物300に対して鉛直方向より光を照射する第1の照明装置103と、検査対象物と第1の照明装置との間に設けられ、検査対象物に対して、鉛直方向に対して斜め方向より光を照射する第2の照明装置104と、第1の照明装置および第2の照明装置に対して鉛直方向の上方に設置され、検査対象物を撮像する撮像装置102と、第1の照明装置より光を照射して撮像装置によって撮像した撮像画像から、検査対象物の第1の検査画像を取得する第1の画像取得部と、第2の照明装置より光を照射して撮像装置によって撮像した撮像画像から、検査対象物の第2の検査画像を取得する第2の画像取得部と、を備え、検査対象物の第1の検査画像および第2の検査画像に基づいて検査対象物の検査を行う。【選択図】図3

Description

本発明は、検査システム、検査装置および検査方法に関する。
従来、被検査物体を照明し、撮像カメラを通じて被検査物体を検査する検査装置が知られている。
例えば、特許文献1には、対象物(被検査物体)の複数の画像を作成するために複数の光源を使用する技術が開示されている。
また、特許文献2には、照明光源の位置を異ならせて被写体(被検査物体)を複数回撮像して被写体についての複数の撮像画像を取得する技術が開示されている。
ところで、近年においては、表面にエンボス加工が施されている立体形状の物体を被検査物体として検査することがある。この場合、特許文献1や特許文献2に開示の技術によれば、複数光源を同一平面内に配置しているために、立体形状の被検査物体の側面および上面を正反射無しに同時に照明することができない、という問題がある。
また、被検査物体の表面がエンボス加工である場合、細かな正反射が発生してしまい検査に好適な撮像画像を得ることができない、という問題がある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、検査対象物が立体形状であって表面にエンボス加工が施されたような正反射の発生しやすい物であっても、適切な画像検査が可能な検査画像を作成することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、検査対象物の検査画像を用いて検査を行う検査システムにおいて、前記検査対象物に対して鉛直方向より光を照射する第1の照明装置と、前記検査対象物と前記第1の照明装置との間に設けられ、前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向より光を照射する第2の照明装置と、前記第1の照明装置および前記第2の照明装置に対して鉛直方向の上方に設置され、前記検査対象物を撮像する撮像装置と、前記第1の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第1の検査画像を取得する第1の画像取得部と、前記第2の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第2の検査画像を取得する第2の画像取得部と、を備え、前記検査対象物の第1の検査画像および第2の検査画像に基づいて検査対象物の検査を行うことを特徴とする。
本発明によれば、検査対象物が立体形状であって表面にエンボス加工が施されたような正反射の発生しやすい物であっても、適切な画像検査が可能な検査画像を作成することができる、という効果を奏する。
図1は、実施の形態にかかる検査システムの概略構成を示す図である。 図2は、被検査物体を例示的に示す図である。 図3は、検査装置の構成を示す図である。 図4は、各照明装置のレイアウト構成を示す図である。 図5は、第1リング照明装置および第2リング照明装置の変形例を示す図である。 図6は、スライドステージを上方から見た状態を示す図である。 図7は、検査装置の構成の変形例を示す図である。 図8は、検査システムの電装系の接続を示すブロック図である。 図9は、情報処理装置のハードウェア構成図である。 図10は、情報処理装置の機能構成を示す機能ブロック図である。 図11は、照度設定処理の流れを示すフローチャートである。 図12は、画像合成処理の流れを示すフローチャートである。 図13は、画像合成の一例を示す図である。
以下に添付図面を参照して、検査システム、検査装置および検査方法の実施の形態を詳細に説明する。
図1は、実施の形態にかかる検査システム1の概略構成を示す図である。図1に示すように、検査システム1は、検査装置100と情報処理装置200とを備えている。情報処理装置200は、PC(Personal Computer)やサーバ等である。情報処理装置200は、検査装置100を制御する。
検査装置100は、印刷品質などの検査対象物である被検査物体300を照明し、撮像装置102を通じて被検査物体300を検査する。
ここで、図2は被検査物体300を例示的に示す図である。図2に示すように、本実施形態の被検査物体300は、厚みのある立体的な円盤形状である。被検査物体300は、平板形状の平坦面301と、平坦面301から湾曲するエッジ領域面302とを有している。平坦面301は、エンボス加工が施されている。
被検査物体300は、その表面に対して、ユーザの嗜好に合わせた様々なデザインをインクジェットプリンタ等の印刷装置によって印刷される。検査装置100は、被検査物体300に印刷されたデザイン画像の印刷品質等を検査する。
なお、被検査物体300は、円盤形状に限るものではなく、矩形形状、楕円形状等であってもよい。被検査物体300は、缶バッジ、スマートフォンをカバーするスマートフォンカバー、スマートフォン等に取り付ける落下防止用のグリップなどが想定される。
図3は、検査装置100の構成を示す図である。図3に示すように、検査装置100は、アルミフレームで構成された本体フレーム101を備えている。本体フレーム101は、四角柱形状に形成されている。
本体フレーム101は、鉛直方向の上方から順に、撮像装置102、第1の照明装置である第1リング照明装置103、第2の照明装置である第2リング照明装置104、第3の照明装置であるバックライト照明装置105を垂直方向に並べて備えている。
加えて、本体フレーム101は、第2リング照明装置104とバックライト照明装置105との間にスライドステージ106を備えている。
撮像装置102は、例えばCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)を用いたカメラであって、投射された光に応じた信号を出力する。なお、撮像装置102は、CCD(Charge Coupled Device)用いたカメラを適用してもよい。
ここで、図4は各照明装置のレイアウト構成を示す図である。
第1リング照明装置103は、第1の本体部であるリング形状の本体部103aを有している。本体部103aがリング形状であることにより、撮像装置102による被検査物体300の撮像が可能である。第1リング照明装置103は、リング形状の本体部103aの下面に、第1の光源である多数のLED103bを備えている。多数のLED103bは、撮像装置102の撮像位置に位置する被検査物体300に対して、上方(鉛直方向)から光を照射する。
図4に示すように、第1リング照明装置103からの光は、被検査物体300の平坦面301において、撮像装置102に対する正反射光および拡散反射光となる。また、第1リング照明装置103からの光は、被検査物体300のエッジ領域面302において、撮像装置102に対する拡散反射光となる。
なお、第1リング照明装置103は、リング形状の本体部103aを備えるようにしたが、これに限るものではない。例えば、第1リング照明装置103は、複数の断片形状の照明をリング状に並べたり、複数(例えば4つ)の小型照明を平面視での円周上の上下左右の位置に配置したりするものであってもよい。
第2リング照明装置104は、第2の本体部であるリング形状の本体部104aを有している。本体部104aがリング形状であることにより、撮像装置102による被検査物体300の撮像が可能である。第2リング照明装置104は、リング形状の本体部104aの内壁に、光源である多数のLED104bを備えている。リング形状の本体部104aの内壁は、上方から下方に向けて開口が広がるようなテーパー形状となっている。多数のLED104bは、撮像装置102の撮像位置に位置する被検査物体300に対して、鉛直方向に対して斜め方向(例えば、30度)から光を照射する。
図4に示すように、第2リング照明装置104からの光は、被検査物体300の平坦面301において、撮像装置102に対する正反射光および拡散反射光となる。また、第2リング照明装置104からの光は、被検査物体300のエッジ領域面302において、撮像装置102に対する正反射光および拡散反射光となる。
なお、第2リング照明装置104は、リング形状の本体部104aを備えるようにしたが、これに限るものではない。例えば、第2リング照明装置104は、複数の断片形状の照明をリング状に並べたり、複数(例えば4つ)の小型照明を平面視での円周上の上下左右の位置に配置したりするものであってもよい。
なお、第1リング照明装置103または第2リング照明装置104の形状は、円(リング形状)に限るものではなく、楕円形状、または、矩形形状などでも良い。
ここで、図5は第1リング照明装置10および第2リング照明装置104の変形例を示す図である。図5(a)は楕円形状の例を示し、図5(b)は矩形形状の例を示すものである。図5(a)に示すように、第1リング照明装置103(第2リング照明装置104)は、多数のLED103b(104b)を備えていて開口が楕円形状である本体部103a(104a)を備えるようにしてもよい。また、図5(b)に示すように、第1リング照明装置103(第2リング照明装置104)は、多数のLED103b(104b)を備えていて開口が矩形形状である本体部103a(104a)を備えるようにしてもよい。
なお、バックライト照明装置105からの光は、被検査物体300の平坦面301において、撮像装置102に対する拡散反射光となる。また、バックライト照明装置105からの光は、被検査物体300のエッジ領域面302において、撮像装置102に対する正反射光および拡散反射光となる。
そこで、本実施の形態においては、第1リング照明装置103は、被検査物体300のエッジ領域面302を撮像するための照明として機能させる。また、第2リング照明装置104は、被検査物体300の平坦面301(エッジ領域面302の内側)を撮像するための照明として機能させる。なお、バックライト照明装置105は、被検査物体300の領域を認識するための照明として機能させる。なお、バックライト照明装置105の形状については特に制限はなく、検査対象物である被検査物体300より大きなサイズであれば良い。
そして、本実施の形態においては、第1リング照明装置103で照明して撮像装置102で撮像した撮像画像と、第2リング照明装置104で照明して撮像装置102で撮像した撮像画像とを合成することで、被検査物体300の全域画像を取得するようにする。
次に、スライドステージ106について説明する。スライドステージ106は、被検査物体300を撮像装置102の撮像位置にガイドするガイド部材である。
図6は、スライドステージ106を上方から見た状態を示す図である。図6に示すように、スライドステージ106は、2個の被検査物体300を保持可能である。スライドステージ106は、スライド機構によって左右に移動することで、交互に被検査物体300を撮像装置102の撮像位置に移動する。
図3に示すように、スライドステージ106は、ラチェット機構106aを有している。スライドステージ106は、ラチェット機構106aによって撮像装置102の撮像位置に被検査物体300を固定させる。
図3に示すように、スライドステージ106は、センサ106b,106cを有している。センサ106b,106cは、非接触センサである。撮像装置102の撮像位置に右側の被検査物体300が固定された場合、センサ106bがONする。一方、撮像装置102の撮像位置に左側の被検査物体300が固定された場合、センサ106cがONする。センサ106bまたはセンサ106cがONになることをトリガとして、撮像装置102は、撮像を開始する。
なお、スライドステージ106の動作は、左右に設けられているアブソーバー(またはダンパー)106dで緩和される。
なお、本実施形態においては、被検査物体300を撮像装置102の撮像位置にガイドするガイド部材として、スライド式のスライドステージ106を適用したが、これに限るものではない。図7は、検査装置100の構成の変形例を示す図である。図7に示すように、例えば、ガイド部材としては、被検査物体300を撮像装置102の撮像位置に回転させながらガイドするリボルバー式のステージであってもよい。
次に、検査システム1の電装系の接続について説明する。
図8は、検査システム1の電装系の接続を示すブロック図である。図8に示すように、検査装置100は、I/O電源ボックス107と、光源電源ボックス108と、を備えている。情報処理装置200は、I/O電源ボックス107を介して検査装置100に接続される。
第1リング照明装置103、第2リング照明装置104、バックライト照明装置105は、I/O電源ボックス107および光源電源ボックス108を介して、情報処理装置200に接続される。第1リング照明装置103、第2リング照明装置104、バックライト照明装置105は、情報処理装置200によって、LED照明点灯制御と、LED照明点灯パワー制御とを実行される。
撮像装置102は、情報処理装置200に直接接続され、制御される。
スライドステージ106のセンサ106b,106cは、I/O電源ボックス107を介して、情報処理装置200に接続される。スライドステージ106のセンサ106b,106cは、情報処理装置200によって、信号検知を実行される。センサ106bまたはセンサ106cがONになることをトリガとして、撮像装置102は、撮像を開始する。
次に、情報処理装置200のハードウェア構成について説明する。
図9は、情報処理装置200のハードウェア構成図である。図9に示されているように、情報処理装置200は、コンピュータによって構築されており、図9に示されているように、CPU501、ROM502、RAM503、HD504、HDD(Hard Disk Drive)コントローラ505、ディスプレイ506、外部機器接続I/F(Interface)508、ネットワークI/F509、バスライン510、キーボード511、ポインティングデバイス512、DVD−RW(Digital Versatile Disk Rewritable)ドライブ514、メディアI/F516を備えている。
これらのうち、CPU501は、情報処理装置200全体の動作を制御する。ROM502は、IPL等のCPU501の駆動に用いられるプログラムを記憶する。RAM503は、CPU501のワークエリアとして使用される。HD504は、プログラム等の各種データを記憶する。HDDコントローラ505は、CPU501の制御にしたがってHD504に対する各種データの読み出し又は書き込みを制御する。ディスプレイ506は、カーソル、メニュー、ウィンドウ、文字、又は画像などの各種情報を表示する。外部機器接続I/F508は、各種の外部機器を接続するためのインターフェースである。この場合の外部機器は、例えば、USB(Universal Serial Bus)メモリやプリンタ等である。ネットワークI/F509は、通信ネットワーク100を利用してデータ通信をするためのインターフェースである。バスライン510は、図9に示されているCPU501等の各構成要素を電気的に接続するためのアドレスバスやデータバス等である。
また、キーボード511は、文字、数値、各種指示などの入力のための複数のキーを備えた入力手段の一種である。ポインティングデバイス512は、各種指示の選択や実行、処理対象の選択、カーソルの移動などを行う入力手段の一種である。DVD−RWドライブ514は、着脱可能な記録媒体の一例としてのDVD−RW513に対する各種データの読み出し又は書き込みを制御する。なお、DVD−RWに限らず、DVD−R等であってもよい。メディアI/F516は、フラッシュメモリ等の記録メディア515に対するデータの読み出し又は書き込み(記憶)を制御する。
本実施形態の情報処理装置200で実行されるプログラムは、インストール可能な形式又は実行可能な形式のファイルでCD−ROM、フレキシブルディスク(FD)、CD−R、DVD(Digital Versatile Disk)等のコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録されて提供される。
また、本実施形態の情報処理装置200で実行されるプログラムを、インターネット等のネットワークに接続されたコンピュータ上に格納し、ネットワーク経由でダウンロードさせることにより提供するように構成しても良い。また、本実施形態の情報処理装置200で実行されるプログラムをインターネット等のネットワーク経由で提供または配布するように構成しても良い。
以下において、情報処理装置200のCPU501がプログラムにより実行する各種の演算処理のうち、本実施形態の特長的な処理について説明する。
ここで、図10は情報処理装置200の機能構成を示す機能ブロック図である。図10に示すように、情報処理装置200のCPU501は、プログラムを実行することにより、第1の画像取得部201と、第2の画像取得部202と、第3の画像取得部203と、画像合成部204と、照度設定部205と、を実現する。
第1の画像取得部201は、第1リング照明装置103より光を照射して撮像装置102によって撮像した撮像画像(拡散反射照明画像)から、検査対象物の第1の検査画像として被検査物体300のエッジ領域面302の画像を取得する。
第2の画像取得部202は、第2リング照明装置104より光を照射して撮像装置102によって撮像した撮像画像(正反射照明画像)から、検査対象物の第2の検査画像として被検査物体300のエッジ領域面302を除く平坦面301の画像を取得する。
第3の画像取得部203は、バックライト照明装置105より光を照射して撮像装置102によって撮像した撮像画像(シルエット画像)から、被検査物体300の領域を示す画像を取得する。
画像合成部204は、被検査物体300のエッジ領域面302の画像と、被検査物体300の平坦面301の画像と、被検査物体300の領域を示す画像と、を合成した合成画像を検査画像とする。なお、画像合成部204は、被検査物体300のエッジ領域面302の画像と、被検査物体300の平坦面301の画像とを合成した合成画像を検査画像してもよい。
なお、バックライト照明装置105、第1リング照明装置103、第2リング照明装置104より光を照射して撮像装置102によって撮像する順番は限定されない。
照度設定部205は、第1リング照明装置103および第2リング照明装置104の照度設定を行う。
次に、本実施の形態にかかる情報処理装置200が行う処理のうち特徴的な処理の流れについて説明する。
まず、情報処理装置200のCPU501による第1リング照明装置103と第2リング照明装置104との2つの照明装置の照度設定処理について説明する。図11は、照度設定処理の流れを示すフローチャートである。
なお、照度設定処理は、平坦面301とエッジ領域面302とが同一色(例えば、白色)の被検査物体300を対象とする。
図11に示すように、照度設定部205は、第1リング照明装置103および撮像装置102を制御して(ステップS1)、第1リング照明装置103による照明によって被検査物体300を撮像したエッジ領域面302の撮像画像の信号レベル(レベルA)を取得する(ステップS2)。
次に、照度設定部205は、第2リング照明装置104および撮像装置102を制御して(ステップS3)、第2リング照明装置104による照明による照明によって被検査物体300を撮像した平坦面301の撮像画像の信号レベル(レベルB)を取得する(ステップS4)。
次に、照度設定部205は、ステップS2で取得したレベルAとステップS4で取得したレベルBとが同じになるよう、第1リング照明装置103および第2リング照明装置104の照度を設定する(ステップS5)。例えば、照度設定部205は、ステップS2で取得したレベルAとステップS4で取得したレベルBとが同じになるよう、撮像画像信号の補正係数(レベルA/レベルB)を算出する。補正係数は、実際の検査時において、第2リング照明装置104による撮像画像の補正に用いられる。
なお、本実施形態においては、第1リング照明装置103と第2リング照明装置104との2つの照明装置の照度設定処理について説明したが、これに限るものではなく、撮像装置102のピント調整なども可能である。さらに、照度設定、ピント調整の他に、撮像装置102のシャッタースピードの設定なども可能である。
次に、情報処理装置200のCPU501による画像合成処理について説明する。ここで、図12は画像合成処理の流れを示すフローチャート、図13は画像合成の一例を示す図である。
図12に示すように、第3の画像取得部203は、まず、バックライト照明装置105および撮像装置102を制御して(ステップS11)、バックライト照明装置105による照明によって被検査物体300を撮像した撮像画像(シルエット画像)から、被検査物体300の領域を認識する(ステップS12)。
なお、撮像装置102は、センサ106bまたはセンサ106cがONになることをトリガとして、撮像を開始する。撮像装置102が撮像し終わった場合、バックライト照明装置105、第1リング照明装置103、第2リング照明装置104はそれぞれ消灯される。
より詳細には、ステップS12において、第3の画像取得部203は、被検査物体300の設置位置計測(x,y)、被検査物体300の円形サイズ算出、被検査物体300の背景画像領域確定、被検査物体300の設置不良判定などを行う。
次に、第1の画像取得部201は、第1リング照明装置103および撮像装置102を制御して(ステップS13)、第1リング照明装置103による照明によって被検査物体300を撮像した撮像画像(拡散反射照明画像)から、被検査物体300のエッジ領域面302の画像を取得する(ステップS14)。
より詳細には、ステップS13において、第1の画像取得部201は、4枚の被検査物体300を撮像した撮像画像(拡散反射照明画像)を得る。そして、ステップS14において、第1の画像取得部201は、4枚の撮像画像(拡散反射照明画像)に基づいて画像平均化処理を施した後、被検査物体300のエッジ領域面302の画像を記録する。
なお、被検査物体300を撮像した撮像画像(拡散反射照明画像)を1枚だけ得るようにしても良いが、本実施形態のように4枚の撮像画像(拡散反射照明画像)を得て画像平均化処理を施すことにより、S/Nを上げることができる。
次に、第2の画像取得部202は、第2リング照明装置104および撮像装置102を制御して(ステップS15)、第2リング照明装置104による照明によって被検査物体300を撮像した撮像画像(正反射照明画像)から、被検査物体300の平坦面301の画像を取得する(ステップS16)。
より詳細には、ステップS15において、第2の画像取得部202は、4枚の被検査物体300を撮像した撮像画像(正反射照明画像)を得る。そして、ステップS16において、第2の画像取得部202は、4枚の撮像画像(正反射照明画像)に基づいて画像平均化処理を施した後、被検査物体300の平坦面301の画像を記録する。
なお、ステップS13からステップS16の処理は、上述のフローチャートに示した順序に限るものではない。例えば、第2の画像取得部202が、第2リング照明装置104および撮像装置102を制御して(ステップS15)、被検査物体300の平坦面301の画像を取得した後(ステップS16)、第1の画像取得部201が、第1リング照明装置103および撮像装置102を制御して(ステップS13)、被検査物体300のエッジ領域面302の画像を取得する(ステップS14)ようにしてもよい。
なお、バックライト照明装置105、第1リング照明装置103、第2リング照明装置104より光を照射して撮像装置102によって撮像する順番は限定されない。撮像装置102が撮像し終わった場合、バックライト照明装置105、第1リング照明装置103、第2リング照明装置104はそれぞれ消灯される。
最後に、画像合成部204は、ステップS12で認識した被検査物体300の領域と、ステップS14で取得した被検査物体300のエッジ領域面302の画像と、ステップS16で取得した被検査物体300の平坦面301の画像とを合成する(ステップS17)。
画像合成部204は、ステップS17における画像合成処理において、x,y軸中心パターンマッチング、回転角度取得、x,y中心アフィン変換処理、リサンプリングなどを行う。また、画像合成部204は、ステップS17における画像合成処理において、合成画像に階調補正を加える階調補正処理も行う。
以上のようにして生成された合成画像は、被検査物体300の検査画像として例えば印刷品質の検査のためにマスタ画像との比較に供される。なお、検査結果は、情報処理装置200に保存され、情報処理装置200のディスプレイ506に表示される。なお、検査結果の送信先は情報処理装置200に限るものではなく、スマートフォン、タブレット端末などの携帯端末に転送しても良い。
このように本実施形態によれば、被検査物体300が立体形状であって表面にエンボス加工が施されたような正反射の発生しやすい物であっても、適切な画像検査が可能な検査画像を作成することができる。
また、検査対象物のデザインバリエーションが多数の場合(オンデマンド印刷、バリアブル印刷)であっても、検査員に負担を軽減して効率的に検査を実施できる。
上記で説明した実施形態の各機能は、一又は複数の処理回路によって実現することが可能である。ここで、本明細書における「処理回路」とは、電子回路により実装されるプロセッサのようにソフトウェアによって各機能を実行するようプログラミングされたプロセッサや、上記で説明した各機能を実行するよう設計されたASIC(Application Specific Integrated Circuit)、DSP(Digital Signal Processor)、FPGA(Field Programmable Gate Array)や従来の回路モジュール等のデバイスを含むものとする。
実施例に記載された装置群は、本明細書に開示された実施形態を実施するための複数のコンピューティング環境のうちの1つを示すものにすぎない。
ある実施形態では、情報処理装置200は、サーバクラスタといった複数のコンピューティングデバイスを含む。複数のコンピューティングデバイスは、ネットワークや共有メモリなどを含む任意のタイプの通信リンクを介して互いに通信するように構成されており、本明細書に開示された処理を実施する。同様に、情報処理装置200は、互いに通信するように構成された複数のコンピューティングデバイスを含むことができる。
1 検査システム
100 検査装置
102 撮像装置
103 第1の照明装置
103a 第1の本体部
103b 第1の光源
104 第2の照明装置
104a 第2の本体部
104b 第2の光源
105 第3の照明装置
106 ガイド部材
201 第1の画像取得部
202 第2の画像取得部
203 第3の画像取得部
204 画像合成部
205 照度設定部
300 検査対象物
特表2002−501265号公報 特開2006−285763号公報

Claims (15)

  1. 検査対象物の検査画像を用いて検査を行う検査システムにおいて、
    前記検査対象物に対して鉛直方向より光を照射する第1の照明装置と、
    前記検査対象物と前記第1の照明装置との間に設けられ、前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向より光を照射する第2の照明装置と、
    前記第1の照明装置および前記第2の照明装置に対して鉛直方向の上方に設置され、前記検査対象物を撮像する撮像装置と、
    前記第1の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第1の検査画像を取得する第1の画像取得部と、
    前記第2の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第2の検査画像を取得する第2の画像取得部と、
    を備え、
    前記検査対象物の第1の検査画像および第2の検査画像に基づいて検査対象物の検査を行う、
    ことを特徴とする検査システム。
  2. 前記第1の画像取得部は、前記検査対象物の第1の検査画像として前記検査対象物のエッジ領域面の画像を取得し、
    前記第2の画像取得部は、前記検査対象物の第2の検査画像として前記検査対象物のエッジ領域面を除く面の画像を取得するものであって、
    前記検査対象物のエッジ領域面の画像と前記検査対象物の前記検査対象物のエッジ領域面を除く面の画像とを合成した合成画像を前記検査画像とする画像合成部を更に備える、
    ことを特徴とする請求項1に記載の検査システム。
  3. 前記検査対象物に対して前記撮像装置が設けられた側とは反対側に設けられ、前記検査対象物に対して光を照射する第3の照明装置と、
    前記第3の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の領域を示す画像を取得する第3の画像取得部と、
    を備え、
    前記画像合成部は、前記検査対象物の領域を示す画像を更に合成する、
    ことを特徴とする請求項2に記載の検査システム。
  4. 前記第1の照明装置は、リング形状の第1の本体部と、前記第1の本体部の前記検査対象物側に設けられた第1の光源と、を備え、
    前記第1の光源は、前記撮像装置の撮像位置に位置する前記検査対象物に対して、鉛直方向から光を照射する、
    ことを特徴とする請求項1ないし3の何れか一項に記載の検査システム。
  5. 前記第2の照明装置は、リング形状であって内壁がテーパー形状の第2の本体部と、前記第2の本体部の前記内壁に設けられた第2の光源と、を備え、
    前記第2の光源は、前記撮像装置の撮像位置に位置する前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向から光を照射する、
    ことを特徴とする請求項1ないし4の何れか一項に記載の検査システム。
  6. 前記検査対象物を前記撮像装置の撮像位置にガイドするガイド部材を更に備える、
    ことを特徴とする請求項1ないし5の何れか一項に記載の検査システム。
  7. 前記第1の照明装置および前記第2の照明装置の照度設定を行う照度設定部を更に備える、
    ことを特徴とする請求項1ないし6の何れか一項に記載の検査システム。
  8. 前記第3の画像取得部による画像取得、前記第1の画像取得部による画像取得、前記第2の画像取得部による画像取得の順に実施する、
    ことを特徴とする請求項3に記載の検査システム。
  9. 前記画像合成部は、前記合成画像に階調補正を加えて前記検査画像とする、
    ことを特徴とする請求項2に記載の検査システム。
  10. 検査対象物の検査画像を用いて検査を行う検査装置において、
    前記検査対象物に対して鉛直方向より光を照射する第1の照明装置と、
    前記検査対象物と前記第1の照明装置との間に設けられ、前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向より光を照射する第2の照明装置と、
    前記第1の照明装置および前記第2の照明装置に対して鉛直方向の上方に設置され、前記検査対象物を撮像する撮像装置と、
    を備えることを特徴とする検査装置。
  11. 前記検査対象物に対して前記撮像装置が設けられた側とは反対側に設けられ、前記検査対象物に対して光を照射する第3の照明装置を更に備える、
    ことを特徴とする請求項10に記載の検査装置。
  12. 前記第1の照明装置は、リング形状の第1の本体部と、前記第1の本体部の前記検査対象物側に設けられた第1の光源と、を備え、
    前記第1の光源は、前記撮像装置の撮像位置に位置する前記検査対象物に対して、鉛直方向から光を照射する、
    ことを特徴とする請求項10または11に記載の検査装置。
  13. 前記第2の照明装置は、リング形状であって内壁がテーパー形状の第2の本体部と、前記第2の本体部の前記内壁に設けられた第2の光源と、を備え、
    前記第2の光源は、前記撮像装置の撮像位置に位置する前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向から光を照射する、
    ことを特徴とする請求項10ないし12の何れか一項に記載の検査装置。
  14. 前記検査対象物を前記撮像装置の撮像位置にガイドするガイド部材を更に備える、
    ことを特徴とする請求項10ないし13の何れか一項に記載の検査装置。
  15. 検査対象物の検査画像を用いて検査を行う検査システムにおける検査方法であって、
    前記検査システムは、
    前記検査対象物に対して鉛直方向より光を照射する第1の照明装置と、
    前記検査対象物と前記第1の照明装置との間に設けられ、前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向より光を照射する第2の照明装置と、
    前記第1の照明装置および前記第2の照明装置に対して鉛直方向の上方に設置され、前記検査対象物を撮像する撮像装置と、
    を備えており、
    前記第1の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第1の検査画像を取得する第1の画像取得ステップと、
    前記第2の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第2の検査画像を取得する第2の画像取得ステップと、
    を含み、
    前記検査対象物の第1の検査画像および第2の検査画像に基づいて検査対象物の検査を行う、
    ことを特徴とする検査方法。
JP2020128955A 2019-08-19 2020-07-30 検査システムおよび検査方法 Active JP7491127B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16/986,836 US11282187B2 (en) 2019-08-19 2020-08-06 Inspection system, inspection apparatus, and method using multiple angle illumination
EP20190723.5A EP3783342A1 (en) 2019-08-19 2020-08-12 Inspection system, inspection apparatus, and inspection method

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019150044 2019-08-19
JP2019150044 2019-08-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021032887A true JP2021032887A (ja) 2021-03-01
JP7491127B2 JP7491127B2 (ja) 2024-05-28

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6408259B2 (ja) 画像検査装置、画像検査方法、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器
JP6955211B2 (ja) 識別装置、識別方法及びプログラム
KR101319048B1 (ko) 카메라 플래시 완화
JP6348289B2 (ja) 検査装置および検査方法
JP2005283577A (ja) フィードバックを提供するための検査システム及び方法
JP6791631B2 (ja) 画像生成方法及び検査装置
JP2019100917A (ja) 検査プログラム生成システム、検査プログラムの生成方法、及び検査プログラムの生成用プログラム
JP2012044421A5 (ja)
TW202109018A (zh) 基板缺陷檢查裝置及方法
JP5566707B2 (ja) 外観検査装置及び外観検査方法
JP2017227474A (ja) 照明装置、及び、画像検査装置
US11282187B2 (en) Inspection system, inspection apparatus, and method using multiple angle illumination
JP7056131B2 (ja) 画像処理システム、画像処理プログラム、および画像処理方法
JP2019174116A (ja) 画像処理システム及び方法
JP2019002940A (ja) 画像検査装置、画像検査方法、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器
JP2021032887A (ja) 検査システム、検査装置および検査方法
JP7491127B2 (ja) 検査システムおよび検査方法
JP5832167B2 (ja) 部品有無判定装置及び部品有無判定方法
JP7404875B2 (ja) 検査システム、情報処理装置およびプログラム
JP2003244531A (ja) 画像入力装置
JP2016536896A (ja) 写真用カメラを用いてアルファチャンネルを含む画像ファイルを取得するための方法及び装置
JP2012225716A (ja) 基板の外観検査装置および外観検査方法
JP6939501B2 (ja) 画像処理システム、画像処理プログラム、および画像処理方法
KR20200107760A (ko) 대표색 결정 방법, 검사 장치, 검사 방법 및 프로그램
JP2021156644A (ja) コネクタ検査装置、コネクタ検査方法、及びプログラム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230511

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20240208

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240220

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240403

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240416

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240429