JP2021032887A - 検査システム、検査装置および検査方法 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 170
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 57
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 71
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- PXFBZOLANLWPMH-UHFFFAOYSA-N 16-Epiaffinine Natural products C1C(C2=CC=CC=C2N2)=C2C(=O)CC2C(=CC)CN(C)C1C2CO PXFBZOLANLWPMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012952 Resampling Methods 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
Description
100 検査装置
102 撮像装置
103 第1の照明装置
103a 第1の本体部
103b 第1の光源
104 第2の照明装置
104a 第2の本体部
104b 第2の光源
105 第3の照明装置
106 ガイド部材
201 第1の画像取得部
202 第2の画像取得部
203 第3の画像取得部
204 画像合成部
205 照度設定部
300 検査対象物
Claims (15)
- 検査対象物の検査画像を用いて検査を行う検査システムにおいて、
前記検査対象物に対して鉛直方向より光を照射する第1の照明装置と、
前記検査対象物と前記第1の照明装置との間に設けられ、前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向より光を照射する第2の照明装置と、
前記第1の照明装置および前記第2の照明装置に対して鉛直方向の上方に設置され、前記検査対象物を撮像する撮像装置と、
前記第1の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第1の検査画像を取得する第1の画像取得部と、
前記第2の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第2の検査画像を取得する第2の画像取得部と、
を備え、
前記検査対象物の第1の検査画像および第2の検査画像に基づいて検査対象物の検査を行う、
ことを特徴とする検査システム。 - 前記第1の画像取得部は、前記検査対象物の第1の検査画像として前記検査対象物のエッジ領域面の画像を取得し、
前記第2の画像取得部は、前記検査対象物の第2の検査画像として前記検査対象物のエッジ領域面を除く面の画像を取得するものであって、
前記検査対象物のエッジ領域面の画像と前記検査対象物の前記検査対象物のエッジ領域面を除く面の画像とを合成した合成画像を前記検査画像とする画像合成部を更に備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の検査システム。 - 前記検査対象物に対して前記撮像装置が設けられた側とは反対側に設けられ、前記検査対象物に対して光を照射する第3の照明装置と、
前記第3の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の領域を示す画像を取得する第3の画像取得部と、
を備え、
前記画像合成部は、前記検査対象物の領域を示す画像を更に合成する、
ことを特徴とする請求項2に記載の検査システム。 - 前記第1の照明装置は、リング形状の第1の本体部と、前記第1の本体部の前記検査対象物側に設けられた第1の光源と、を備え、
前記第1の光源は、前記撮像装置の撮像位置に位置する前記検査対象物に対して、鉛直方向から光を照射する、
ことを特徴とする請求項1ないし3の何れか一項に記載の検査システム。 - 前記第2の照明装置は、リング形状であって内壁がテーパー形状の第2の本体部と、前記第2の本体部の前記内壁に設けられた第2の光源と、を備え、
前記第2の光源は、前記撮像装置の撮像位置に位置する前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向から光を照射する、
ことを特徴とする請求項1ないし4の何れか一項に記載の検査システム。 - 前記検査対象物を前記撮像装置の撮像位置にガイドするガイド部材を更に備える、
ことを特徴とする請求項1ないし5の何れか一項に記載の検査システム。 - 前記第1の照明装置および前記第2の照明装置の照度設定を行う照度設定部を更に備える、
ことを特徴とする請求項1ないし6の何れか一項に記載の検査システム。 - 前記第3の画像取得部による画像取得、前記第1の画像取得部による画像取得、前記第2の画像取得部による画像取得の順に実施する、
ことを特徴とする請求項3に記載の検査システム。 - 前記画像合成部は、前記合成画像に階調補正を加えて前記検査画像とする、
ことを特徴とする請求項2に記載の検査システム。 - 検査対象物の検査画像を用いて検査を行う検査装置において、
前記検査対象物に対して鉛直方向より光を照射する第1の照明装置と、
前記検査対象物と前記第1の照明装置との間に設けられ、前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向より光を照射する第2の照明装置と、
前記第1の照明装置および前記第2の照明装置に対して鉛直方向の上方に設置され、前記検査対象物を撮像する撮像装置と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記検査対象物に対して前記撮像装置が設けられた側とは反対側に設けられ、前記検査対象物に対して光を照射する第3の照明装置を更に備える、
ことを特徴とする請求項10に記載の検査装置。 - 前記第1の照明装置は、リング形状の第1の本体部と、前記第1の本体部の前記検査対象物側に設けられた第1の光源と、を備え、
前記第1の光源は、前記撮像装置の撮像位置に位置する前記検査対象物に対して、鉛直方向から光を照射する、
ことを特徴とする請求項10または11に記載の検査装置。 - 前記第2の照明装置は、リング形状であって内壁がテーパー形状の第2の本体部と、前記第2の本体部の前記内壁に設けられた第2の光源と、を備え、
前記第2の光源は、前記撮像装置の撮像位置に位置する前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向から光を照射する、
ことを特徴とする請求項10ないし12の何れか一項に記載の検査装置。 - 前記検査対象物を前記撮像装置の撮像位置にガイドするガイド部材を更に備える、
ことを特徴とする請求項10ないし13の何れか一項に記載の検査装置。 - 検査対象物の検査画像を用いて検査を行う検査システムにおける検査方法であって、
前記検査システムは、
前記検査対象物に対して鉛直方向より光を照射する第1の照明装置と、
前記検査対象物と前記第1の照明装置との間に設けられ、前記検査対象物に対して、前記鉛直方向に対して斜め方向より光を照射する第2の照明装置と、
前記第1の照明装置および前記第2の照明装置に対して鉛直方向の上方に設置され、前記検査対象物を撮像する撮像装置と、
を備えており、
前記第1の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第1の検査画像を取得する第1の画像取得ステップと、
前記第2の照明装置より光を照射して前記撮像装置によって撮像した撮像画像から、前記検査対象物の第2の検査画像を取得する第2の画像取得ステップと、
を含み、
前記検査対象物の第1の検査画像および第2の検査画像に基づいて検査対象物の検査を行う、
ことを特徴とする検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/986,836 US11282187B2 (en) | 2019-08-19 | 2020-08-06 | Inspection system, inspection apparatus, and method using multiple angle illumination |
EP20190723.5A EP3783342A1 (en) | 2019-08-19 | 2020-08-12 | Inspection system, inspection apparatus, and inspection method |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019150044 | 2019-08-19 | ||
JP2019150044 | 2019-08-19 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021032887A true JP2021032887A (ja) | 2021-03-01 |
JP7491127B2 JP7491127B2 (ja) | 2024-05-28 |
Family
ID=
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Date | Code | Title | Description |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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