JP2021027095A - 積層セラミック電子部品 - Google Patents
積層セラミック電子部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021027095A JP2021027095A JP2019142230A JP2019142230A JP2021027095A JP 2021027095 A JP2021027095 A JP 2021027095A JP 2019142230 A JP2019142230 A JP 2019142230A JP 2019142230 A JP2019142230 A JP 2019142230A JP 2021027095 A JP2021027095 A JP 2021027095A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- hydrogen
- ceramic electronic
- laminated ceramic
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 94
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 59
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 33
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 19
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 abstract description 70
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 70
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 23
- 230000002411 adverse Effects 0.000 abstract description 5
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 38
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 22
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 5
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 2-(n-methyl-4-nitroanilino)acetonitrile Chemical compound N#CCN(C)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- WEUCVIBPSSMHJG-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ca+2].[Ti+4] WEUCVIBPSSMHJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Abstract
Description
上記セラミック素体は、第1軸方向に積層された複数の内部電極と、上記第1軸と直交する第2軸方向を向き、上記複数の内部電極のうちの少なくとも一部が引き出された端面と、を有する。
上記外部電極は、上記端面を覆い、メッキ膜と、上記メッキ膜と上記端面との間に位置し、Cr、W、及びPtの少なくとも1つの元素を主成分とする保護膜と、を含む。
上記保護膜は、上記端面の全領域を覆っていてもよい。
上記外部電極は、少なくとも1層のメッキ膜を含んでもよい。
上記外部電極は、上記保護層と隣接する少なくとも1層のスパッタ膜を含んでもよい。
上記外部電極は、上記保護膜と、上記少なくとも1層のメッキ膜と、上記少なくとも1層のスパッタ膜と、から構成されていてもよい。
上記メッキ膜は、Ni、Cu、Sn、Pd、及びAgの少なくとも1つの元素を主成分としていてもよい。
上記セラミック素体は、上記第1軸方向を向いた主面と、上記第1軸及び上記第2軸と直交する第3軸方向を向いた側面と、を更に有してもよい。
上記外部電極は、上記端面から上記主面及び上記側面に延出していてもよい。
図面には、適宜相互に直交するX軸、Y軸、及びZ軸が示されている。X軸、Y軸、及びZ軸は全図において共通である。
図1〜3は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10を示す図である。図1は、積層セラミックコンデンサ10の斜視図である。図2は、積層セラミックコンデンサ10の図1のA−A'線に沿った断面図である。図3は、積層セラミックコンデンサ10の図1のB−B'線に沿った断面図である。
外部電極14,15の中間膜142,152及び表面膜143,153を形成するための湿式メッキ法(特に電解メッキ法)によるメッキ工程では、セラミック素体11を劣化させる作用の強い水素が発生する。メッキ工程で発生した水素は、外部電極14,15の下地膜141,151、中間膜142,152、及び表面膜143,153内に吸蔵されやすい。
なお、E(crystal)は、各元素について経験的に安定とされる結晶構造のエネルギとして算出される。E(H2)は、水素ガスのエネルギとして算出される。E(crystal+H)は、水素原子を挿入した結晶構造のエネルギとして算出される。
図6は、積層セラミックコンデンサ10の製造方法を示すフローチャートである。図7〜11は、積層セラミックコンデンサ10の製造過程を示す図である。以下、積層セラミックコンデンサ10の製造方法について、図6に沿って、図7〜11を適宜参照しながら説明する。
ステップS01では、未焼成のセラミック素体11を作製する。未焼成のセラミック素体11は、図7に示すように、複数のセラミックシートをZ軸方向に積層して熱圧着することにより得られる。セラミックシートに予め所定のパターンの導電性ペーストを印刷しておくことにより、内部電極12,13を配置することができる。
ステップS02では、ステップS01で得られた未焼成のセラミック素体11を焼成する。これにより、セラミック素体11が焼結し、図8に示すセラミック素体11が得られる。セラミック素体11の焼成は、例えば、還元雰囲気下、又は低酸素分圧雰囲気下において行うことができる。セラミック素体11の焼成条件は、適宜決定可能である。
ステップS03では、ステップ02で得られたセラミック素体11に外部電極14,15を形成する。これにより、図1〜3に示す積層セラミックコンデンサ10が完成する。具体的に、ステップS04では、保護膜140,150と、下地膜141,151と、中間膜142,152と、表面膜143,153と、を形成する。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。
11…セラミック素体
12,13…内部電極
14,15…外部電極
140,150…保護膜
141,151…下地膜
142,152…中間膜
143,153…表面膜
E1,E2…端面
Claims (7)
- 第1軸方向に積層された複数の内部電極と、前記第1軸と直交する第2軸方向を向き、前記複数の内部電極のうちの少なくとも一部が引き出された端面と、を有するセラミック素体と、
前記端面を覆い、メッキ膜と、前記メッキ膜と前記端面との間に位置し、Cr、W、及びPtの少なくとも1つの元素を主成分とする保護膜と、を含む外部電極と、
を具備する積層セラミック電子部品。 - 請求項1に記載の積層セラミック電子部品であって、
前記保護膜は、前記端面に隣接している
積層セラミック電子部品。 - 請求項2に記載の積層セラミック電子部品であって、
前記保護膜は、前記端面の全領域を覆っている。
積層セラミック電子部品。 - 請求項2又は3に記載の積層セラミック電子部品であって、
前記外部電極は、前記保護層と隣接する少なくとも1層のスパッタ膜を含む
積層セラミック電子部品。 - 請求項4に記載の積層セラミック電子部品であって、
前記外部電極は、前記保護膜と、前記少なくとも1層のメッキ膜と、前記少なくとも1層のスパッタ膜と、から構成される
積層セラミック電子部品。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品であって、
前記メッキ膜は、Ni、Cu、Sn、Pd、及びAgの少なくとも1つの元素を主成分とする
積層セラミック電子部品。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品であって、
前記セラミック素体は、前記第1軸方向を向いた主面と、前記第1軸及び前記第2軸と直交する第3軸方向を向いた側面と、を更に有し、
前記外部電極は、前記端面から前記主面及び前記側面に延出している
積層セラミック電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019142230A JP2021027095A (ja) | 2019-08-01 | 2019-08-01 | 積層セラミック電子部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019142230A JP2021027095A (ja) | 2019-08-01 | 2019-08-01 | 積層セラミック電子部品 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021027095A true JP2021027095A (ja) | 2021-02-22 |
Family
ID=74664040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019142230A Pending JP2021027095A (ja) | 2019-08-01 | 2019-08-01 | 積層セラミック電子部品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2021027095A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024075470A1 (ja) * | 2022-10-07 | 2024-04-11 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサとその製造方法 |
US12080480B2 (en) | 2021-10-01 | 2024-09-03 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayer capacitor |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10106883A (ja) * | 1996-10-03 | 1998-04-24 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品 |
JP2012243998A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Taiyo Yuden Co Ltd | チップ状電子部品 |
JP2016058719A (ja) * | 2014-09-09 | 2016-04-21 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
JP2018101751A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 |
JP2018121010A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミック電子部品 |
-
2019
- 2019-08-01 JP JP2019142230A patent/JP2021027095A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10106883A (ja) * | 1996-10-03 | 1998-04-24 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品 |
JP2012243998A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Taiyo Yuden Co Ltd | チップ状電子部品 |
JP2016058719A (ja) * | 2014-09-09 | 2016-04-21 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
JP2018101751A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-06-28 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 |
JP2018121010A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミック電子部品 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US12080480B2 (en) | 2021-10-01 | 2024-09-03 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayer capacitor |
WO2024075470A1 (ja) * | 2022-10-07 | 2024-04-11 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサとその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11335507B2 (en) | Multi-layer ceramic capacitor and method of producing the same | |
US10734159B2 (en) | Multilayer ceramic capacitor and method for manufacturing multilayer ceramic capacitor | |
JP7015636B2 (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
KR20180042125A (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 및 그 제조 방법 | |
CN108364789B (zh) | 层叠陶瓷电子部件 | |
JP6954519B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP7446705B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
JP7182926B2 (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
US20210035744A1 (en) | Multilayer ceramic electronic device | |
JP2020102479A (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
JP2021027095A (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
JP6851747B2 (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
JP2024111123A (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
JP2021077827A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP2020174110A (ja) | 積層セラミック電子部品及び回路基板 | |
JP2021182585A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法、積層セラミック電子部品及び回路基板 | |
JP6975200B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 | |
JP6858217B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
JP6935707B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
WO2024180937A1 (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
JP7056864B2 (ja) | セラミック電子部品 | |
US11756737B2 (en) | Multi-layer ceramic capacitor | |
JP2021100020A (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
US20230170142A1 (en) | Multi-layer ceramic electronic component | |
WO2024161811A1 (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220629 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20220707 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220715 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230704 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230830 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20231031 |