JP2021026861A - Heater substrate with conductive film - Google Patents

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伊村 正明
Masaaki Imura
正明 伊村
道幸 中村
Michiyuki Nakamura
道幸 中村
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Abstract

To provide a heater substrate with a conductive film that can effectively increase the heat generation efficiency in a light-transmitting area.SOLUTION: A heater substrate 1 with a conductive film includes a transparent substrate 2, a first bus bar electrode 3 and a second bus bar electrode 4, which are arranged on the transparent substrate 2 and face each other, and a conductive film 5 disposed on the transparent substrate 2 and in contact with the first busbar electrode 3 and the second busbar electrode 4. Inner portions 3b, 4b of at least one of the electrodes of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 in plan view are arc-shaped portions 7a, 8a constituting a part of circles 7, 8, and a central angle θ of the arc-shaped portions 7a, 8a is 20 degrees or more and 135 degrees or less.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、透明基板上に導電膜が配置された導電膜付きヒーター基板に関する。 The present invention relates to a heater substrate with a conductive film in which a conductive film is arranged on a transparent substrate.

従来、車載カメラ、車載ディスプレイ等の車載用途や、防犯カメラの用途等に導電膜付きヒーター基板が用いられている。このような導電膜付きヒーター基板は、例えば、車載カメラ等においては、カバーガラスの除霜や結露防止用ヒーターとして用いられている。また、車載ディスプレイ等の液晶表示装置においては、低温環境下における使用時の液晶の応答速度を維持するために用いられている。 Conventionally, a heater substrate with a conductive film has been used for in-vehicle applications such as in-vehicle cameras and in-vehicle displays, and for security cameras. Such a heater substrate with a conductive film is used as a heater for defrosting a cover glass and preventing dew condensation in, for example, an in-vehicle camera. Further, in a liquid crystal display device such as an in-vehicle display, it is used to maintain the response speed of the liquid crystal when used in a low temperature environment.

このような導電膜付きヒーター基板の一例として、下記の特許文献1には、基板上に導電性の薄膜材料を一様に形成した四角形状のヒーターが開示されている。特許文献1では、四角形状のヒーターの相対する二辺に、各々の相対向する一辺を互いに平行にしたバスバー電極をそれぞれ所定の電圧降下を生じるように設けられている。そして、これらのバスバー電極の両端側にそれぞれ電力供給用の接続端子が設けられている。 As an example of such a heater substrate with a conductive film, Patent Document 1 below discloses a rectangular heater in which a conductive thin film material is uniformly formed on the substrate. In Patent Document 1, bus bar electrodes having opposite sides parallel to each other are provided on two opposite sides of a rectangular heater so as to cause a predetermined voltage drop. Then, connection terminals for power supply are provided on both ends of these bus bar electrodes.

また、下記の特許文献2には、透明導電膜と、透明導電膜に通電する一対のバスバー電極がガラス板上に設けられてなる通電加熱ガラスが開示されている。特許文献2では、ガラス板の表面上に透明導電膜が設けられており、その上に一対のバスバー電極が設けられている。また、バスバー電極の透明導電膜への通電部は、透明導電膜を間に挟んで対向するように形成されている。 Further, Patent Document 2 below discloses an energized heating glass in which a transparent conductive film and a pair of bus bar electrodes for energizing the transparent conductive film are provided on a glass plate. In Patent Document 2, a transparent conductive film is provided on the surface of a glass plate, and a pair of bus bar electrodes are provided on the transparent conductive film. Further, the energizing portion of the bus bar electrode to the transparent conductive film is formed so as to face each other with the transparent conductive film sandwiched between them.

特開平7−99081号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-99081 特開2001−122643号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-122643

近年、自動車において搭載されるカメラの数が益々増加している。また、自動車では、レーザー光により物体を検知するLiDAR(ライダー)と呼ばれるセンサ等の数多くのセンサの搭載も検討されている。従って、このようなカメラやセンサに用いられるカバーガラスについても、より一層の高性能化が求められている。 In recent years, the number of cameras installed in automobiles has been increasing more and more. Further, in automobiles, the installation of a large number of sensors such as a sensor called LiDAR (rider) that detects an object by laser light is also being considered. Therefore, the cover glass used for such cameras and sensors is also required to have higher performance.

ところで、特許文献1や特許文献2のような導電膜付きヒーター基板では、矩形板状のガラス基板上に、バスバー電極や透明導電膜が設けられており、それによって液晶表示装置の表示領域などの光透過領域が加熱されている。しかしながら、特許文献1や特許文献2のような導電膜付きヒーター基板は、特にカメラやセンサのカバーガラスのような円板状のガラス基板を用いた場合に、光透過領域の発熱効率を十分に高めることができないという問題がある。そのため、特許文献1や特許文献2の導電膜付きヒーター基板を用いた場合、カメラやセンサにおけるカバーガラスの除霜や結露防止などを十分にできるとは言えず、信頼性を十分に高めることができないという問題がある。 By the way, in the heater substrate with a conductive film as in Patent Document 1 and Patent Document 2, a bus bar electrode and a transparent conductive film are provided on a rectangular plate-shaped glass substrate, thereby forming a display area of a liquid crystal display device or the like. The light transmitting region is heated. However, the heater substrate with a conductive film as in Patent Document 1 and Patent Document 2 has sufficient heat generation efficiency in the light transmitting region, particularly when a disk-shaped glass substrate such as a cover glass of a camera or a sensor is used. There is a problem that it cannot be increased. Therefore, when the heater substrate with a conductive film of Patent Document 1 or Patent Document 2 is used, it cannot be said that the cover glass of the camera or the sensor can be sufficiently defrosted and dew condensation is prevented, and the reliability can be sufficiently improved. There is a problem that it cannot be done.

本発明の目的は、光透過領域における発熱効率を効果的に高めることができる、導電膜付きヒーター基板を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a heater substrate with a conductive film, which can effectively increase heat generation efficiency in a light transmitting region.

本発明に係る導電膜付きヒーター基板は、透明基板と、前記透明基板上に配置されており、対向し合っている第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極と、前記透明基板上に配置されており、前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極に接触している、導電膜と、を備え、前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極のうち少なくとも一方の電極の平面視で内側部分が、円の一部を構成する円弧状部分であり、前記円弧状部分の中心角が、20度以上、135度以下であることを特徴としている。 The heater substrate with a conductive film according to the present invention is arranged on the transparent substrate and the transparent substrate, and is arranged on the transparent substrate with the first bus bar electrode and the second bus bar electrode facing each other. The first bus bar electrode and the conductive film in contact with the second bus bar electrode are provided, and the plane of at least one of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode is provided. The inner portion in view is an arc-shaped portion forming a part of a circle, and the central angle of the arc-shaped portion is 20 degrees or more and 135 degrees or less.

本発明においては、前記透明基板の形状が、円板状であることが好ましい。 In the present invention, the shape of the transparent substrate is preferably a disk shape.

本発明においては、前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極の形状が、円弧状であることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the first bus bar electrode and the second bus bar electrode have an arcuate shape.

本発明においては、前記導電膜付きヒーター基板に、平面視で矩形の光透過領域が設けられており、前記光透過領域は、平面視で前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極よりも内側に設けられており、前記光透過領域の長さをLとし、前記光透過領域の幅をWとし、前記円弧状部分を構成する円の半径をRとしたときに、下記式(1)の関係を満たすことが好ましい。 In the present invention, the heater substrate with a conductive film is provided with a rectangular light transmitting region in a plan view, and the light transmitting region is formed from the first bus bar electrode and the second bus bar electrode in a plan view. The following equation (1), where L is the length of the light transmitting region, W is the width of the light transmitting region, and R is the radius of the circle forming the arcuate portion. ) Satisfy.

0.5≦(L+W1/2/2R≦0.95 …式(1) 0.5 ≤ (L 2 + W 2 ) 1/2 / 2R ≤ 0.95 ... Equation (1)

本発明においては、前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極の少なくとも一部が、前記導電膜により覆われていることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that at least a part of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode is covered with the conductive film.

本発明においては、前記透明基板上に配置されている前記導電膜の主面上に、さらに反射防止膜が積層されていることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that an antireflection film is further laminated on the main surface of the conductive film arranged on the transparent substrate.

本発明においては、前記透明基板の前記導電膜とは反対側の主面上に、反射防止膜が積層されていることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that an antireflection film is laminated on the main surface of the transparent substrate opposite to the conductive film.

本発明においては、前記導電膜が、透明導電膜であることが好ましい。 In the present invention, the conductive film is preferably a transparent conductive film.

本発明においては、前記導電膜が、インジウム錫酸化物により構成されていることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the conductive film is made of indium tin oxide.

本発明によれば、光透過領域における発熱効率を効果的に高めることができる、導電膜付きヒーター基板を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a heater substrate with a conductive film, which can effectively increase heat generation efficiency in a light transmitting region.

本発明の第1の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的平面図である。It is a schematic plan view which shows the heater substrate with a conductive film which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図1のA−A線に沿う部分の模式的断面図である。It is a schematic cross-sectional view of the part along the line AA of FIG. 本発明の第1の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板における光透過領域を説明するための模式的平面図である。It is a schematic plan view for demonstrating the light transmission region in the heater substrate with a conductive film which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板の第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極における平面視で内側部分である円弧状部分の中心角が、60度のときの発熱密度分布を示す図である。The heat generation density when the central angle of the arcuate portion which is the inner portion in the plan view of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode of the heater substrate with a conductive film according to the first embodiment of the present invention is 60 degrees. It is a figure which shows the distribution. 本発明の第1の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板の第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極における平面視で内側部分である円弧状部分の中心角が、30度のときの発熱密度分布を示す図である。The heat generation density when the central angle of the arcuate portion which is the inner portion in the plan view of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode of the heater substrate with a conductive film according to the first embodiment of the present invention is 30 degrees. It is a figure which shows the distribution. 本発明の第1の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板の第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極における平面視で内側部分である円弧状部分の中心角が、120度のときの発熱密度分布を示す図である。The heat generation density when the central angle of the arcuate portion which is the inner portion in the plan view of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode of the heater substrate with a conductive film according to the first embodiment of the present invention is 120 degrees. It is a figure which shows the distribution. 本発明の第2の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的平面図である。It is a schematic plan view which shows the heater substrate with a conductive film which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows the heater substrate with a conductive film which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows the heater substrate with a conductive film which concerns on 4th Embodiment of this invention. 第1の導電膜付きヒーター基板の第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極における平面視で内側部分である円弧状部分の中心角と、発熱効率との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the central angle of the arc-shaped part which is the inner part in the plan view in the 1st bus bar electrode and the 2nd bus bar electrode of the heater substrate with a 1st conductive film, and the heat generation efficiency. 第2の導電膜付きヒーター基板の第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極における平面視で内側部分である円弧状部分の中心角と、発熱効率との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the central angle of the arc-shaped part which is the inner part in the plan view in the 1st bus bar electrode and the 2nd bus bar electrode of the heater substrate with a 2nd conductive film, and the heat generation efficiency. 第3の導電膜付きヒーター基板の第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極における平面視で内側部分である円弧状部分の中心角と、発熱効率との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the central angle of the arc-shaped part which is the inner part in the plan view in the 1st bus bar electrode and the 2nd bus bar electrode of the heater substrate with a 3rd conductive film, and the heat generation efficiency. 第1〜第3の導電膜付きヒーター基板において、第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極の平面視で内側部分である円弧状部分を構成する円の直径に対する光透過領域の対角線の長さの比と、発熱のピーク効率との関係を示す図である。In the first to third conductive heater substrates, the length of the diagonal line of the light transmission region with respect to the diameter of the circle forming the arc-shaped portion which is the inner portion in the plan view of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode. It is a figure which shows the relationship between the ratio of, and the peak efficiency of heat generation.

以下、好ましい実施形態について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照する場合がある。 Hereinafter, preferred embodiments will be described. However, the following embodiments are merely examples, and the present invention is not limited to the following embodiments. Further, in the drawings, members having substantially the same function may be referred to by the same reference numerals.

(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的平面図である。図2は、図1のA−A線に沿う部分の模式的断面図である。
(First Embodiment)
FIG. 1 is a schematic plan view showing a heater substrate with a conductive film according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a portion along the line AA of FIG.

図1及び図2に示すように、導電膜付きヒーター基板1は、透明基板2と、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4と、導電膜5とを備える。 As shown in FIGS. 1 and 2, the heater substrate 1 with a conductive film includes a transparent substrate 2, a first bus bar electrode 3, a second bus bar electrode 4, and a conductive film 5.

透明基板2の形状は、特に限定されないが、本実施形態では円板状である。なお、透明基板2は、完全な円板状でなくてもよく、略円板状であってもよい。なお、透明基板2の形状が円板状である場合、透明基板2の直径は、例えば、10mm以上、300mm以下とすることができる。また、透明基板2の厚みは、例えば、30μm以上、5mm以下とすることができる。 The shape of the transparent substrate 2 is not particularly limited, but in the present embodiment, it has a disk shape. The transparent substrate 2 does not have to have a perfect disc shape, and may have a substantially disc shape. When the shape of the transparent substrate 2 is a disk shape, the diameter of the transparent substrate 2 can be, for example, 10 mm or more and 300 mm or less. Further, the thickness of the transparent substrate 2 can be, for example, 30 μm or more and 5 mm or less.

透明基板2は、カメラ、センサ、表示装置等の使用波長域で透明な基板であることが好ましい。透明基板2の材料としては、特に限定されず、例えば、ガラス、樹脂等が挙げられる。また、使用波長域が赤外域であれば、SiやGe等であってもよい。ガラスとしては、ソーダ石灰ガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、結晶化ガラス、石英ガラス等が挙げられる。また、強化ガラスとして用いられるアルミノシリケートガラスであってもよい。 The transparent substrate 2 is preferably a substrate that is transparent in the wavelength range used by cameras, sensors, display devices, and the like. The material of the transparent substrate 2 is not particularly limited, and examples thereof include glass and resin. Further, if the wavelength range used is an infrared region, it may be Si, Ge, or the like. Examples of the glass include soda-lime glass, borosilicate glass, non-alkali glass, crystallized glass, quartz glass and the like. Further, it may be aluminosilicate glass used as tempered glass.

透明基板2は、対向している第1の主面2a及び第2の主面2bを有する。透明基板2の第1の主面2a上には、導電膜5が設けられている。本実施形態では、導電膜5の形状も円板状である。もっとも、導電膜の形状は、略円板状であってもよく、特に限定されない。導電膜5は、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4に接触していればよい。なお、導電膜5の形状が円板状である場合、導電膜5の直径は、例えば、8mm以上、300mm以下とすることができる。導電膜5の直径は透明基板2の直径と同一でも良い。導電膜5の厚みは、例えば、10nm以上、50μm以下とすることができる。 The transparent substrate 2 has a first main surface 2a and a second main surface 2b that face each other. A conductive film 5 is provided on the first main surface 2a of the transparent substrate 2. In the present embodiment, the shape of the conductive film 5 is also a disk shape. However, the shape of the conductive film may be substantially a disk shape and is not particularly limited. The conductive film 5 may be in contact with the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4. When the shape of the conductive film 5 is a disk shape, the diameter of the conductive film 5 can be, for example, 8 mm or more and 300 mm or less. The diameter of the conductive film 5 may be the same as the diameter of the transparent substrate 2. The thickness of the conductive film 5 can be, for example, 10 nm or more and 50 μm or less.

導電膜5は、透明導電膜であることが好ましい。導電膜5としては、例えば、インジウム錫酸化物(ITO)、アルミニウム亜鉛酸化物(AZO)、ガリウム亜鉛酸化物(GZO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、フッ素錫酸化物(FTO)、アンチモン錫酸化物(ATO)などの導電性を有する複合酸化物薄膜からなる透明導電膜を用いることができる。なかでも、導電膜5としては、低抵抗、高透過率、高耐候性の観点から、インジウム錫酸化物(ITO)であることが好ましい。 The conductive film 5 is preferably a transparent conductive film. Examples of the conductive film 5 include indium tin oxide (ITO), aluminum zinc oxide (AZO), gallium zinc oxide (GZO), indium zinc oxide (IZO), fluorine tin oxide (FTO), and antimony tin. A transparent conductive film made of a composite oxide thin film having conductivity such as an oxide (ATO) can be used. Among them, the conductive film 5 is preferably indium tin oxide (ITO) from the viewpoint of low resistance, high transmittance, and high weather resistance.

導電膜5は、透明基板2上に導電膜5を成膜することにより得ることができる。導電膜5の成膜方法としては、特に限定されないが、例えば、蒸着法、スパッタリング法、CVD法等を用いることができる。 The conductive film 5 can be obtained by forming the conductive film 5 on the transparent substrate 2. The film forming method of the conductive film 5 is not particularly limited, and for example, a vapor deposition method, a sputtering method, a CVD method, or the like can be used.

導電膜5上には、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4が設けられている。第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4は、円弧状の形状を有している。特に、透明基板2が円板状の形状を有する場合、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4の形状を円弧状とすることで、カメラ、センサ等の円筒状の筐体により一層実装し易くなり、位置決めもより一層容易に行うことができる。 A first bus bar electrode 3 and a second bus bar electrode 4 are provided on the conductive film 5. The first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 have an arcuate shape. In particular, when the transparent substrate 2 has a disk-like shape, the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 have an arcuate shape, so that the cylindrical housing of the camera, sensor, etc. It is easy to mount and positioning can be performed even more easily.

具体的には、平面視において、第1のバスバー電極3の外周縁3aのうち内側に位置する内側部分3bが、円7の一部を構成する円弧状部分7aである。第1のバスバー電極3の外周縁3aのうち外側に位置する外側部分3cが、円8の一部を構成する円弧状部分8aである。また、円弧状部分7a及び円弧状部分8aを結ぶ線分は、第1のバスバー電極3の幅となる。このようにして、円弧状の形状を有する第1のバスバー電極3が構成されている。 Specifically, in a plan view, the inner portion 3b located inside of the outer peripheral edge 3a of the first bus bar electrode 3 is an arc-shaped portion 7a forming a part of the circle 7. The outer portion 3c located on the outer side of the outer peripheral edge 3a of the first bus bar electrode 3 is an arc-shaped portion 8a forming a part of the circle 8. The line segment connecting the arcuate portion 7a and the arcuate portion 8a is the width of the first bus bar electrode 3. In this way, the first bus bar electrode 3 having an arcuate shape is configured.

また、平面視において、第2のバスバー電極4の外周縁4aのうち内側に位置する内側部分4bが、円7の一部を構成する円弧状部分7bである。第2のバスバー電極4の外周縁4aのうち外側に位置する外側部分4cが、円8の一部を構成する円弧状部分8bである。また、円弧状部分7b及び円弧状部分8bを結ぶ部分は、第2のバスバー電極4の幅となる。このようにして、円弧状の形状を有する第2のバスバー電極4が構成されている。 Further, in a plan view, the inner portion 4b located inside of the outer peripheral edge 4a of the second bus bar electrode 4 is an arc-shaped portion 7b forming a part of the circle 7. The outer portion 4c located on the outer side of the outer peripheral edge 4a of the second bus bar electrode 4 is an arc-shaped portion 8b forming a part of the circle 8. The portion connecting the arcuate portion 7b and the arcuate portion 8b is the width of the second bus bar electrode 4. In this way, the second bus bar electrode 4 having an arcuate shape is configured.

なお、本実施形態において、円7及び円8は、同心円である。また、その中心Oを通る直線に対して、線対称となるように、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4が設けられている。従って、本実施形態では、円弧状部分7a及び円弧状部分7bの開き角である中心角が同じθである。本実施形態において、この開き角である中心角θは、20度以上、135度以下とされている。 In this embodiment, the circles 7 and 8 are concentric circles. Further, the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 are provided so as to be line-symmetric with respect to the straight line passing through the center O. Therefore, in the present embodiment, the central angle, which is the opening angle of the arcuate portion 7a and the arcuate portion 7b, is the same θ. In the present embodiment, the central angle θ, which is the opening angle, is 20 degrees or more and 135 degrees or less.

なお、本発明において、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4の形状は、円弧状の形状でなくてもよく、略円弧状の形状であってもよい。あるいは、他の形状であってもよい。第1のバスバー電極3の外周縁3aのうち内側に位置する内側部分3bが、円7の一部を構成する円弧状部分7aを構成していればよい。あるいは、第2のバスバー電極4の外周縁4aのうち内側に位置する内側部分4bが、円7の一部を構成する円弧状部分7bを構成していればよい。従って、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4のうち少なくとも一方の電極の平面視で内側部分が、円の一部を構成する円弧状部分であればよい。また、円弧状部分は、完全な円弧でなくてもよく、略円弧であってもよい。 In the present invention, the shapes of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 do not have to be arcuate, and may be substantially arcuate. Alternatively, it may have another shape. The inner portion 3b located inside of the outer peripheral edge 3a of the first bus bar electrode 3 may form an arc-shaped portion 7a forming a part of the circle 7. Alternatively, the inner portion 4b located inside of the outer peripheral edge 4a of the second bus bar electrode 4 may form an arc-shaped portion 7b that forms a part of the circle 7. Therefore, the inner portion of at least one of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 in the plan view may be an arcuate portion forming a part of a circle. Further, the arcuate portion does not have to be a perfect arc, and may be a substantially arc.

また、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4は、中心Oを通る直線に対して線対称に設けられることが望ましいが、略線対称であってもよいし、その位置関係については特に限定されない。 Further, the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 are preferably provided line-symmetrically with respect to a straight line passing through the center O, but may be substantially line-symmetrical, and the positional relationship thereof may be defined. There is no particular limitation.

第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4には、リード線を取り付けることができる。リード線を通じて、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4間に電圧を印可することにより、導電膜付きヒーター基板1を加熱することができる。 Lead wires can be attached to the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4. By applying a voltage between the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 through the lead wire, the heater substrate 1 with a conductive film can be heated.

このように、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4は、電気を流す電極であり、これを構成する材料としては、特に限定されないが、例えば、Ag、Al、Cu、Pt、Au、Ir、Ti、Ni、Cr、Mo、W、Sn等の金属又はこれらの金属の合金を用いることができる。なかでも、高い導電性を有するAg又はAuであることが好ましい。 As described above, the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 are electrodes through which electricity flows, and the material constituting them is not particularly limited, but for example, Ag, Al, Cu, Pt, Au. , Ir, Ti, Ni, Cr, Mo, W, Sn and the like, or alloys of these metals can be used. Of these, Ag or Au having high conductivity is preferable.

第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4の幅は、それぞれ、例えば、1mm以上、10mm以下とすることができる。第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4の厚みは、それぞれ、例えば、50nm以上、50μm以下とすることができる。 The widths of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 can be, for example, 1 mm or more and 10 mm or less, respectively. The thickness of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 can be, for example, 50 nm or more and 50 μm or less, respectively.

第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4の形成方法は、特に限定されないが、例えば、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法、蒸着法、スパッタリング法、CVD法等により形成することができる。 The method for forming the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 is not particularly limited, but can be formed by, for example, a screen printing method, an inkjet printing method, a vapor deposition method, a sputtering method, a CVD method, or the like.

図3は、本発明の第1の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板における光透過領域を説明するための模式的平面図である。 FIG. 3 is a schematic plan view for explaining a light transmission region in the heater substrate with a conductive film according to the first embodiment of the present invention.

図3に示すように、導電膜付きヒーター基板1において、導電膜5上には、光透過領域6が設けられている。光透過領域6は、平面視で第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4よりも内側に設けられている。また、本実施形態において、光透過領域6は、平面視で矩形形状である。なお、光透過領域6の幅Wは、特に限定されないが、本実施形態では12mmである。また、光透過領域6の長さLは、特に限定されないが、本実施形態では9mmである。 As shown in FIG. 3, in the heater substrate 1 with a conductive film, a light transmitting region 6 is provided on the conductive film 5. The light transmission region 6 is provided inside the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 in a plan view. Further, in the present embodiment, the light transmission region 6 has a rectangular shape in a plan view. The width W of the light transmitting region 6 is not particularly limited, but is 12 mm in the present embodiment. The length L of the light transmitting region 6 is not particularly limited, but is 9 mm in the present embodiment.

光透過領域6は、例えば、導電膜付きヒーター基板1を車載カメラ等のカメラに用いる場合には、撮像エリアに相当する領域である。レーザー画像により物体を検知するLiDAR(ライダー)と呼ばれるセンサ等のセンサに用いられる場合には、センシング領域である。また、車載ディスプレイ等の液晶表示装置に用いる場合には、液晶表示装置の表示領域に相当する領域である。光透過領域6の大きさや形状は、導電膜付きヒーター基板1が用いられる用途によって適宜決定することができる。 The light transmission region 6 is, for example, an region corresponding to an imaging area when the heater substrate 1 with a conductive film is used for a camera such as an in-vehicle camera. When used in a sensor such as a sensor called LiDAR (rider) that detects an object by a laser image, it is a sensing area. Further, when used in a liquid crystal display device such as an in-vehicle display, it is an area corresponding to the display area of the liquid crystal display device. The size and shape of the light transmitting region 6 can be appropriately determined depending on the application in which the heater substrate 1 with a conductive film is used.

本実施形態の特徴は、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4のうち少なくとも一方の電極の平面視で内側部分が、円の一部を構成する円弧状部分であり、その円弧状部分の開き角である中心角θが20度以上、135度以下であることにある。それによって、光透過領域6における発熱効率を効果的に高めることができる。この点については、図4〜図6を参照して以下のように説明することができる。 The feature of this embodiment is that the inner portion of at least one of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 in a plan view is an arc-shaped portion forming a part of a circle, and the arc-shaped portion thereof. The central angle θ, which is the opening angle of the portion, is 20 degrees or more and 135 degrees or less. Thereby, the heat generation efficiency in the light transmitting region 6 can be effectively increased. This point can be explained as follows with reference to FIGS. 4 to 6.

図4は、本発明の第1の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板の第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極における平面視で内側部分である円弧状部分の中心角が、60度のときの発熱密度分布を示す図である。また、図5は、円弧状部分の中心角が、30度のときの発熱密度分布を示す図であり、図6は、円弧状部分の中心角が、120度のときの発熱密度分布を示す図である。なお、図4〜図6において、円弧状部分7a,7bの半径Rは8mmであり、光透過領域6の幅Wは12mmであり、光透過領域6の長さLは9mmであるものとする。 FIG. 4 shows that the central angle of the arcuate portion which is the inner portion in the plan view of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode of the heater substrate with a conductive film according to the first embodiment of the present invention is 60 degrees. It is a figure which shows the heat generation density distribution at the time. Further, FIG. 5 is a diagram showing a heat generation density distribution when the central angle of the arcuate portion is 30 degrees, and FIG. 6 is a diagram showing a heat generation density distribution when the central angle of the arcuate portion is 120 degrees. It is a figure. In FIGS. 4 to 6, the radius R of the arcuate portions 7a and 7b is 8 mm, the width W of the light transmitting region 6 is 12 mm, and the length L of the light transmitting region 6 is 9 mm. ..

図4〜図6に示すように、いずれの場合においても、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4(以下、単にバスバー電極と称する場合がある)の先端において発熱が集中していることがわかる。また、図4より、中心角θが60度のとき、光透過領域6内において最も均一にかつ効率よく発熱していることがわかる。これは、中心角θが60度のとき、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4の各先端(発熱の集中している部分)が、光透過領域6の四隅付近に配置されることとなり、その結果、光透過領域6内を均一にかつ効率よく加熱できているためであると考えられる。 As shown in FIGS. 4 to 6, in any case, heat generation is concentrated at the tips of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 (hereinafter, may be simply referred to as bus bar electrodes). You can see that. Further, from FIG. 4, it can be seen that when the central angle θ is 60 degrees, heat is generated most uniformly and efficiently in the light transmission region 6. This is because when the central angle θ is 60 degrees, the tips of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 (the portions where heat generation is concentrated) are arranged near the four corners of the light transmission region 6. As a result, it is considered that the inside of the light transmitting region 6 can be heated uniformly and efficiently.

これに対して、図5に示すように、中心角θが小さくなるにつれ、各バスバー電極における先端間がより近づくこととなり、その結果、その部分により発熱が集中している。そのため、光透過領域6には十分に加熱が行き届きにくくなるものと考えられる。一方、図6に示すように、中心角θが大きくなるにつれ、第1のバスバー電極3と第2のバスバー電極4との先端間がより近づくこととなり、その結果、その部分により発熱が集中している。そのため、この場合においても、光透過領域6には十分に加熱が行き届きにくくなるものと考えられる。 On the other hand, as shown in FIG. 5, as the central angle θ becomes smaller, the tips of the bus bar electrodes get closer to each other, and as a result, heat generation is concentrated in that portion. Therefore, it is considered that the light transmission region 6 is not sufficiently heated. On the other hand, as shown in FIG. 6, as the central angle θ becomes larger, the tips of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 become closer to each other, and as a result, heat generation is concentrated in that portion. ing. Therefore, even in this case, it is considered that it is difficult for the light transmitting region 6 to be sufficiently heated.

このように、本発明者らは、円弧状部分7a,7bを有するバスバー電極を用いた場合、バスバー電極の先端に発熱が集中することを見出した。そして、このバスバー電極の先端における発熱に着目し、円弧状部分7a,7bの中心角θが20度以上、135度以下の範囲にある場合に、光透過領域6の発熱効率を効果的に高められることを見出した。なお、この点については、後述の実施例からも確認することができる。 As described above, the present inventors have found that when a bus bar electrode having arcuate portions 7a and 7b is used, heat generation is concentrated at the tip of the bus bar electrode. Focusing on the heat generated at the tip of the bus bar electrode, the heat generation efficiency of the light transmitting region 6 is effectively increased when the central angles θ of the arcuate portions 7a and 7b are in the range of 20 degrees or more and 135 degrees or less. I found that it was possible. This point can also be confirmed from the examples described later.

本発明においては、円弧状部分7a,7bの中心角θが、それぞれ、好ましくは30度以上、より好ましくは40度以上、さらに好ましくは50度以上、好ましくは120度以下、より好ましくは110度以下、さらに好ましくは100度以下である。円弧状部分7a,7bの中心角θが上記範囲内にある場合、光透過領域6における発熱効率をより一層効果的に高めることができる。 In the present invention, the central angles θ of the arcuate portions 7a and 7b are preferably 30 degrees or more, more preferably 40 degrees or more, still more preferably 50 degrees or more, preferably 120 degrees or less, and more preferably 110 degrees, respectively. Below, it is more preferably 100 degrees or less. When the central angles θ of the arcuate portions 7a and 7b are within the above range, the heat generation efficiency in the light transmission region 6 can be further effectively increased.

また、本発明においては、円弧状部分7a,7bを構成する円7の直径2Rに対する光透過領域6の対角線の長さ(L+W1/2の比が、下記式(1)の関係を満たすことが好ましい。円弧状部分7a,7bが光透過領域6に近づくほど、光透過領域6の発熱効率をより高められる傾向にあるが、さらに下記式(1)の範囲とすることにより光透過領域6の発熱効率をさらに一層高めることができる。 Further, in the present invention, the ratio of the diagonal length (L 2 + W 2 ) 1/2 of the light transmission region 6 to the diameter 2R of the circle 7 constituting the arcuate portions 7a and 7b is the ratio of the following equation (1). It is preferable to satisfy the relationship. The closer the arcuate portions 7a and 7b are to the light transmitting region 6, the more the heat generation efficiency of the light transmitting region 6 tends to be increased. Can be further enhanced.

0.5≦(L+W1/2/2R≦0.95 …式(1) 0.5 ≤ (L 2 + W 2 ) 1/2 / 2R ≤ 0.95 ... Equation (1)

比(L+W1/2/2Rの下限値は、好ましくは0.55、より好ましくは0.6であり、比(L+W1/2/2Rの上限値は、好ましくは0.94、より好ましくは0.93である。この場合、光透過領域6における発熱効率をさらに一層効果的に高めることができる。 The lower limit of the ratio (L 2 + W 2 ) 1/2 / 2R is preferably 0.55, more preferably 0.6, and the upper limit of the ratio (L 2 + W 2 ) 1/2 / 2R is preferable. Is 0.94, more preferably 0.93. In this case, the heat generation efficiency in the light transmitting region 6 can be further effectively increased.

本実施形態の導電膜付きヒーター基板1は、上記のように光透過領域6における発熱効率を効果的に高めることができる。そのため、自動車に搭載されるカメラやセンサ等のカバーガラスに用いた場合、結露防止効果を高めることができる。また、車載ディスプレイ等の液晶表示装置に用いた場合、低温環境下における使用時の応答速度を維持することができる。 The heater substrate 1 with a conductive film of the present embodiment can effectively increase the heat generation efficiency in the light transmission region 6 as described above. Therefore, when it is used as a cover glass for a camera, a sensor, or the like mounted on an automobile, the dew condensation prevention effect can be enhanced. Further, when used in a liquid crystal display device such as an in-vehicle display, the response speed at the time of use in a low temperature environment can be maintained.

従って、導電膜付きヒーター基板1は、自動車に搭載されるカメラやセンサ、あるいは車載ディスプレイ等の液晶表示装置に好適に用いることができる。特に、レーザー画像により物体を検知するLiDAR(ライダー)と呼ばれるセンサに好適に用いることができる。 Therefore, the heater substrate 1 with a conductive film can be suitably used for a camera or sensor mounted on an automobile, or a liquid crystal display device such as an in-vehicle display. In particular, it can be suitably used for a sensor called LiDAR (rider) that detects an object by a laser image.

(第2の実施形態)
図7は、本発明の第2の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的平面図である。図7に示すように、導電膜付きヒーター基板21では、透明基板2の第1の主面2a上に、直接第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4が設けられている。第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4と透明基板2との間に密着層を設けても良い。第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4には、それぞれ、引出電極22,23が接続されている。そして、第1のバスバー電極3、第2のバスバー電極4、及び引出電極22,23を覆うように、導電膜5が設けられている。導電膜5の下部において、引出電極22,23は、導電膜付きヒーター基板21の端部に引き出されている。この端部に引き出された引出電極22,23を通じて、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4間に電圧を印加することにより、導電膜付きヒーター基板21を加熱することができる。なお、図7においては、導電膜5の下部に設けられる第1のバスバー電極3、第2のバスバー電極4、並びに引出電極22,23を破線で示している。その他の点は、第1の実施形態と同様である。
(Second Embodiment)
FIG. 7 is a schematic plan view showing a heater substrate with a conductive film according to a second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, in the heater substrate 21 with a conductive film, the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 are directly provided on the first main surface 2a of the transparent substrate 2. An adhesion layer may be provided between the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 and the transparent substrate 2. The extraction electrodes 22 and 23 are connected to the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4, respectively. A conductive film 5 is provided so as to cover the first bus bar electrode 3, the second bus bar electrode 4, and the extraction electrodes 22 and 23. In the lower part of the conductive film 5, the extraction electrodes 22 and 23 are drawn out to the end of the heater substrate 21 with a conductive film. The heater substrate 21 with a conductive film can be heated by applying a voltage between the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 through the extraction electrodes 22 and 23 drawn out to the ends. In FIG. 7, the first bus bar electrode 3, the second bus bar electrode 4, and the extraction electrodes 22 and 23 provided below the conductive film 5 are shown by broken lines. Other points are the same as those in the first embodiment.

第2の実施形態においても、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4のうち少なくとも一方の電極の平面視で内側部分が、円の一部を構成する円弧状部分であり、その円弧状部分の中心角θが20度以上、135度以下である。それによって、光透過領域6における発熱効率を高めることができる。そのため、自動車に搭載されるカメラやセンサ等のカバーガラスに用いた場合、除霜や結露防止効果を高めることができる。また、車載ディスプレイ等の液晶表示装置に用いた場合、低温環境下における使用時の応答速度を維持することができる。 Also in the second embodiment, the inner portion of at least one of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 in the plan view is an arcuate portion forming a part of the circle, and the circle thereof. The central angle θ of the arc-shaped portion is 20 degrees or more and 135 degrees or less. Thereby, the heat generation efficiency in the light transmitting region 6 can be increased. Therefore, when it is used as a cover glass for a camera, a sensor, or the like mounted on an automobile, the effect of defrosting and preventing dew condensation can be enhanced. Further, when used in a liquid crystal display device such as an in-vehicle display, the response speed at the time of use in a low temperature environment can be maintained.

(第3の実施形態及び第4の実施形態)
図8は、本発明の第3の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。図8に示すように、導電膜付きヒーター基板31では、透明基板2の第1の主面2a上に配置されている導電膜5上に、反射防止膜32が設けられている。その他の点は、第2の実施形態と同様である。
(Third and Fourth Embodiments)
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a heater substrate with a conductive film according to a third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 8, in the heater substrate 31 with a conductive film, the antireflection film 32 is provided on the conductive film 5 arranged on the first main surface 2a of the transparent substrate 2. Other points are the same as those of the second embodiment.

また、図9は、本発明の第4の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。図9に示すように、導電膜付きヒーター基板41では、透明基板2の第2の主面2b上にも反射防止膜42が設けられている。その他の点は、第3の実施形態と同様である。 Further, FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing a heater substrate with a conductive film according to a fourth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 9, in the heater substrate 41 with a conductive film, the antireflection film 42 is also provided on the second main surface 2b of the transparent substrate 2. Other points are the same as those in the third embodiment.

なお、反射防止膜32,42としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、SiO、Al、TiO、Nb、Ta、SiN、SiON、AlN、AlON、MgF、BaF、Si、SiH、Ge、ZnS、ZnSe等から構成される単層または多層の誘電体膜を用いることができる。 The antireflection films 32 and 42 are not particularly limited, respectively, but for example, SiO 2 , Al 2 O 3 , TIO 2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , SiN, SiON, AlN, AlON, MgF. A single-layer or multi-layer dielectric film composed of 2, BaF 2 , Si, SiH, Ge, ZnS, ZnSe and the like can be used.

第3の実施形態及び第4の実施形態においても、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4のうち少なくとも一方の電極の平面視で内側部分が、円の一部を構成する円弧状部分であり、その円弧状部分の中心角θが20度以上、135度以下である。それによって、光透過領域6における発熱効率を高めることができる。そのため、自動車に搭載されるカメラやセンサ等のカバーガラスに用いた場合、除霜や結露防止効果を高めることができる。また、車載ディスプレイ等の液晶表示装置に用いた場合、低温環境下における使用時の液晶の応答速度を維持することができる。 Also in the third embodiment and the fourth embodiment, the inner portion of at least one of the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 in a plan view has an arc shape forming a part of a circle. It is a portion, and the central angle θ of the arcuate portion is 20 degrees or more and 135 degrees or less. Thereby, the heat generation efficiency in the light transmitting region 6 can be increased. Therefore, when it is used as a cover glass for a camera, a sensor, or the like mounted on an automobile, the effect of defrosting and preventing dew condensation can be enhanced. Further, when used in a liquid crystal display device such as an in-vehicle display, the response speed of the liquid crystal when used in a low temperature environment can be maintained.

また、第3の実施形態及び第4の実施形態では、さらに反射防止膜32,42が設けられているので、より一層光線透過率を高めることができる。 Further, in the third embodiment and the fourth embodiment, since the antireflection films 32 and 42 are further provided, the light transmittance can be further increased.

なお、透明基板2の第2の主面2b上に、指紋の付着を防止し、撥水性、撥油性を付与するための防汚膜を設けてもよい。透明基板2の第2の主面2b上に反射防止膜42が設けられている場合は、反射防止膜42の上に防汚膜を形成することができる。 An antifouling film for preventing fingerprints from adhering and imparting water repellency and oil repellency may be provided on the second main surface 2b of the transparent substrate 2. When the antireflection film 42 is provided on the second main surface 2b of the transparent substrate 2, the antifouling film can be formed on the antireflection film 42.

防汚膜は、フッ素含有シラン化合物を防汚層形成用組成物に含有することが好ましく、フルオロアルキル基またはフルオロアルキルエーテル基を有するシラン化合物溶液をコーティングして作製することができる。特に、フッ素含有シラン化合物がシラザンもしくはアルコキシシランであることが好ましい。また、上記フルオロアルキル基またはフルオロアルキルエーテル基を有するシラン化合物のなかでも、シラン化合物中のフルオロアルキル基が、Si原子1つに対し、1つ以下の割合でSi原子と結合されており、残りは加水分解性基もしくはシロキサン結合基であるシラン化合物が好ましい。ここでいう加水分解性基としては、例えばアルコキシ基等の基であり、加水分解によりヒドロキシル基となり、それにより上記シラン化合物は重縮合物を形成することができる。 The antifouling film preferably contains a fluorine-containing silane compound in the antifouling layer forming composition, and can be prepared by coating with a silane compound solution having a fluoroalkyl group or a fluoroalkyl ether group. In particular, it is preferable that the fluorine-containing silane compound is silazane or alkoxysilane. Further, among the silane compounds having a fluoroalkyl group or a fluoroalkyl ether group, the fluoroalkyl group in the silane compound is bonded to the Si atom at a ratio of 1 or less with respect to 1 Si atom, and the rest. Is preferably a silane compound which is a hydrolyzable group or a siloxane binding group. The hydrolyzable group referred to here is, for example, a group such as an alkoxy group, which becomes a hydroxyl group by hydrolysis, whereby the silane compound can form a polycondensate.

以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on specific examples. The present invention is not limited to the following examples, and can be appropriately modified and implemented without changing the gist thereof.

(実施例及び比較例)
以下、実施例及び比較例では、第1の実施形態で説明した導電膜付きヒーター基板1の各パラメータを以下のように設定して、第1〜第3の導電膜付きヒーター基板を作製した。なお、各透明基板2の直径はそれぞれ30mmとした。
(Examples and comparative examples)
Hereinafter, in Examples and Comparative Examples, the first to third heater substrates with a conductive film were produced by setting each parameter of the heater substrate 1 with a conductive film described in the first embodiment as follows. The diameter of each transparent substrate 2 was set to 30 mm.

第1の導電膜付きヒーター基板;
光透過領域6の幅W=12mm、光透過領域6の長さL=9mm、半径R:8mm、11mm、13mm、中心角θ:10度、30度、60度、90度、120度、150度
First heater substrate with conductive film;
Width W = 12 mm of light transmitting region 6, length L = 9 mm of light transmitting region 6, radius R: 8 mm, 11 mm, 13 mm, central angle θ: 10 degrees, 30 degrees, 60 degrees, 90 degrees, 120 degrees, 150 Every time

第2の導電膜付きヒーター基板;
光透過領域6の幅W=9mm、光透過領域6の長さL=9mm、半径R:8mm、11mm、13mm、中心角θ:10度、30度、60度、90度、120度、150度
Second heater substrate with conductive film;
Width W = 9 mm of light transmitting region 6, length L = 9 mm of light transmitting region 6, radius R: 8 mm, 11 mm, 13 mm, central angle θ: 10 degrees, 30 degrees, 60 degrees, 90 degrees, 120 degrees, 150 Every time

第3の導電膜付きヒーター基板;
光透過領域6の幅W=6mm、光透過領域6の長さL=9mm、半径R:8mm、11mm、13mm、中心角θ:10度、30度、60度、90度、120度、150度
Third heater substrate with conductive film;
Width W = 6 mm of light transmission region 6, length L = 9 mm of light transmission region 6, radius R: 8 mm, 11 mm, 13 mm, central angle θ: 10 degrees, 30 degrees, 60 degrees, 90 degrees, 120 degrees, 150 Every time

次に、第1〜第3の導電膜付きヒーター基板に電圧を印加し、各導電膜付きヒーター基板を加熱した。そして、導電膜5全体の発熱量に対する光透過領域6の発熱量から各サンプルにおける発熱効率(%)を求めた。結果を図10〜図12に示す。なお、図10は、第1の導電膜付きヒーター基板の結果を示しており、図11は、第2の導電膜付きヒーター基板の結果を示しており、図12は第3の導電膜付きヒーター基板の結果を示している。 Next, a voltage was applied to the first to third heater substrates with a conductive film to heat each heater substrate with a conductive film. Then, the heat generation efficiency (%) in each sample was obtained from the heat generation amount of the light transmitting region 6 with respect to the heat generation amount of the entire conductive film 5. The results are shown in FIGS. 10 to 12. Note that FIG. 10 shows the result of the first conductive film heater substrate, FIG. 11 shows the result of the second conductive film heater substrate, and FIG. 12 shows the result of the third conductive film heater substrate. The result of the board is shown.

なお、光透過領域6の発熱量は、下記の数値シミュレーションにより求められた発熱密度分布から計算した。 The calorific value of the light transmission region 6 was calculated from the calorific value distribution obtained by the following numerical simulation.

本発明の実施例で用いた数値シミュレーションでは、正極や負極となるバスバー電極(銀電極)と、透明導電膜(ITO膜)で構成される通電領域をモデル化し、該通電領域を複数のセルに分割し、所定の電力となるような電位を正極と負極に与えた時の電位分布を有限体積法で求めた。なお、電極を介したITO膜への通電時、ガラスへ電気は殆ど流れないため、本実施例ではガラスをモデル化していない。 In the numerical simulation used in the examples of the present invention, an energized region composed of a bus bar electrode (silver electrode) serving as a positive electrode and a negative electrode and a transparent conductive film (ITO film) is modeled, and the energized region is divided into a plurality of cells. The potential distribution when the positive electrode and the negative electrode were divided and a potential for a predetermined electric power was applied to the positive electrode and the negative electrode was obtained by the finite volume method. Since almost no electricity flows through the glass when the ITO film is energized through the electrodes, the glass is not modeled in this embodiment.

本発明の実施例で用いた有限体積法では、上記セル内の電位を未知数としており、離散化された支配方程式を各要素で連立させて構成される連立方程式を、反復法により解くことで電位分布を得た。また、本発明の実施例では、直流通電状態を前提としてシミュレーションを実施しており、支配方程式としてラプラス方程式が成立すると仮定した。電位をφ、導電率をγとすると、−▽・(γ▽φ)=0である。本発明の実施例において、γを定数と仮定しており、上記の式は▽φ=0となる。 In the finite volume method used in the embodiment of the present invention, the electric potential in the cell is an unknown number, and the electric potential is solved by iterative method to solve the simultaneous equations composed of the discretized governing equations by each element. The distribution was obtained. Further, in the embodiment of the present invention, the simulation is carried out on the premise of the DC energized state, and it is assumed that the Laplace equation holds as the governing equation. Assuming that the potential is φ and the conductivity is γ, − ▽ · (γ ▽ φ) = 0. In the embodiment of the present invention, γ is assumed to be a constant, and the above equation is ▽ 2 φ = 0.

得られた電位分布から発熱密度分布を計算した。各セルの発熱密度Qは次式で計算される。 The calorific value distribution was calculated from the obtained potential distribution. The heat generation density Q of each cell is calculated by the following formula.

式(2)中、Aはセルを囲む面の面積、太文字のAは上記面の外向き法線ベクトルである。▽φおよびφは上記面における電場および電位であり、既に得られている各セルの電位を用いて補間により計算する。 In equation (2), A is the area of the surface surrounding the cell, and A in bold letters is the outward normal vector of the surface. ▽ φ and φ are the electric field and potential in the above plane, and are calculated by interpolation using the potential of each cell already obtained.

図10〜図12より、第1〜第3の導電膜付きヒーター基板では、いずれも中心角θが30度以上、120度以下のとき発熱効率が高められていることがわかる。一方、中心角θが10度のとき及び中心角が150度のときは、十分に発熱効率を高めることができなかった。 From FIGS. 10 to 12, it can be seen that in each of the first to third heater substrates with a conductive film, the heat generation efficiency is enhanced when the central angle θ is 30 degrees or more and 120 degrees or less. On the other hand, when the central angle θ was 10 degrees and when the central angle was 150 degrees, the heat generation efficiency could not be sufficiently increased.

このことより、円弧状部分7a,7bの半径Rや、光透過領域6の大きさに関わらず、中心角θを20度以上、135度以下とすることで光透過領域6の発熱効率を高め得ることを確認できた。 From this, regardless of the radius R of the arcuate portions 7a and 7b and the size of the light transmitting region 6, the heat generation efficiency of the light transmitting region 6 is improved by setting the central angle θ to 20 degrees or more and 135 degrees or less. I was able to confirm that I would get it.

なお、第1〜第3の導電膜付きヒーター基板では、光透過領域6の幅Wが大きいほど、また円弧状部分7a,7bの半径Rが小さいほど、発熱効率が高められていることがわかる。 It can be seen that in the first to third heater substrates with a conductive film, the larger the width W of the light transmitting region 6 and the smaller the radius R of the arcuate portions 7a and 7b, the higher the heat generation efficiency. ..

このことより、第1〜第3の導電膜付きヒーター基板では、第1のバスバー電極3及び第2のバスバー電極4と光透過領域6との距離が近いほど、発熱効率が高められることが確認できた。 From this, it was confirmed that in the heater substrate with the first to third conductive films, the heat generation efficiency is improved as the distance between the first bus bar electrode 3 and the second bus bar electrode 4 and the light transmission region 6 is shorter. did it.

また、図13は、第1〜第3の導電膜付きヒーター基板において、第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極の平面視で内側部分である円弧状部分を構成する円の直径に対する光透過領域の対角線の長さの比と、発熱のピーク効率との関係を示す図である。 Further, FIG. 13 shows light transmission with respect to the diameter of a circle forming an arcuate portion which is an inner portion in a plan view of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode in the first to third heater substrates with a conductive film. It is a figure which shows the relationship between the ratio of the diagonal length of a region, and the peak efficiency of heat generation.

図13より、光透過領域6の大きさに関わらず、円弧状部分7a,7bを構成する円7の直径2Rに対する光透過領域6の対角線の長さ(L+W1/2の比((L+W1/2/2R)が、0.5以上、0.95以下のとき発熱のピーク効率が高められていることを確認できた。 From FIG. 13, the ratio of the diagonal length (L 2 + W 2 ) 1/2 of the diameter 2R of the circles 7 constituting the arcuate portions 7a and 7b to the diameter 2R of the light transmitting region 6 regardless of the size of the light transmitting region 6. It was confirmed that the peak efficiency of heat generation was enhanced when ((L 2 + W 2 ) 1/2 / 2R) was 0.5 or more and 0.95 or less.

1,21,31,41…導電膜付きヒーター基板
2…透明基板
2a…第1の主面
2b…第2の主面
3…第1のバスバー電極
3a,4a…外周縁
3b,4b…内側部分
3c,4c…外側部分
4…第2のバスバー電極
5…導電膜
6…光透過領域
7,8…円
7a,7b,8a,8b…円弧状部分
22,23…引出電極
32,42…反射防止膜
1,21,31,41 ... Heater substrate with conductive film 2 ... Transparent substrate 2a ... First main surface 2b ... Second main surface 3 ... First bus bar electrodes 3a, 4a ... Outer peripheral edges 3b, 4b ... Inner portion 3c, 4c ... Outer portion 4 ... Second bus bar electrode 5 ... Conductive film 6 ... Light transmitting region 7, 8 ... Circle 7a, 7b, 8a, 8b ... Arc-shaped portion 22, 23 ... Drawer electrode 32, 42 ... Antireflection film

Claims (9)

透明基板と、
前記透明基板上に配置されており、対向し合っている第1のバスバー電極及び第2のバスバー電極と、
前記透明基板上に配置されており、前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極に接触している、導電膜と、
を備え、
前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極のうち少なくとも一方の電極の平面視で内側部分が、円の一部を構成する円弧状部分であり、
前記円弧状部分の中心角が、20度以上、135度以下である、導電膜付きヒーター基板。
With a transparent board
The first busbar electrode and the second busbar electrode, which are arranged on the transparent substrate and face each other,
A conductive film which is arranged on the transparent substrate and is in contact with the first bus bar electrode and the second bus bar electrode.
With
The inner portion of at least one of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode in a plan view is an arcuate portion forming a part of a circle.
A heater substrate with a conductive film having a central angle of 20 degrees or more and 135 degrees or less in the arcuate portion.
前記透明基板の形状が、円板状である、請求項1に記載の導電膜付きヒーター基板。 The heater substrate with a conductive film according to claim 1, wherein the transparent substrate has a disk shape. 前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極の形状が、円弧状である、請求項1又は2に記載の導電膜付きヒーター基板。 The heater substrate with a conductive film according to claim 1 or 2, wherein the first bus bar electrode and the second bus bar electrode have an arcuate shape. 前記導電膜付きヒーター基板に、平面視で矩形の光透過領域が設けられており、
前記光透過領域は、平面視で前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極よりも内側に設けられており、
前記光透過領域の長さをLとし、前記光透過領域の幅をWとし、前記円弧状部分を構成する円の半径をRとしたときに、下記式(1)の関係を満たす、請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電膜付きヒーター基板。
0.5≦(L+W1/2/2R≦0.95 …式(1)
The heater substrate with a conductive film is provided with a rectangular light transmitting region in a plan view.
The light transmitting region is provided inside the first bus bar electrode and the second bus bar electrode in a plan view.
A claim that satisfies the relationship of the following formula (1) when the length of the light transmitting region is L, the width of the light transmitting region is W, and the radius of the circle forming the arcuate portion is R. The heater substrate with a conductive film according to any one of 1 to 3.
0.5 ≤ (L 2 + W 2 ) 1/2 / 2R ≤ 0.95 ... Equation (1)
前記第1のバスバー電極及び前記第2のバスバー電極の少なくとも一部が、前記導電膜により覆われている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の導電膜付きヒーター基板。 The heater substrate with a conductive film according to any one of claims 1 to 4, wherein at least a part of the first bus bar electrode and the second bus bar electrode is covered with the conductive film. 前記透明基板上に配置されている前記導電膜の主面上に、さらに反射防止膜が積層されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電膜付きヒーター基板。 The heater substrate with a conductive film according to any one of claims 1 to 5, wherein an antireflection film is further laminated on the main surface of the conductive film arranged on the transparent substrate. 前記透明基板の前記導電膜とは反対側の主面上に、反射防止膜が積層されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の導電膜付ヒーター基板。 The heater substrate with a conductive film according to any one of claims 1 to 6, wherein an antireflection film is laminated on a main surface of the transparent substrate opposite to the conductive film. 前記導電膜が、透明導電膜である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の導電膜付きヒーター基板。 The heater substrate with a conductive film according to any one of claims 1 to 7, wherein the conductive film is a transparent conductive film. 前記導電膜が、インジウム錫酸化物により構成されている、請求項1〜8のいずれか1項に記載の導電膜付きヒーター基板。 The heater substrate with a conductive film according to any one of claims 1 to 8, wherein the conductive film is made of indium tin oxide.
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