JP2021022656A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
<半導体装置>
本発明の実施形態に係る半導体装置(半導体チップ)として、自動車用の内燃機関に用いられる点火装置のイグナイタを構成する電力用半導体集積回路(パワーIC)を例示する。本発明の実施形態に係る点火装置は、図1に示すように、半導体装置(イグナイタ)100、バッテリ110、電子制御ユニット(ECU)112、イグニションコイル113及び点火プラグ114を備える。
次に、図6を参照して比較例に係る半導体装置を説明する。比較例に係る半導体装置では、耐圧構造部において、第1絶縁膜11の内側の端部が、最外周の第3フィールドプレート4cの外側の端部と重ならずに、第3フィールドプレート4cから離間して配置されている点が、図4に示した実施形態に係る半導体装置100と異なる。
これに対して、実施形態に係る半導体装置では、図3〜図5に示すように高dv/dtサージ印加時において最も電界集中しやすい、最外周側に位置する第3フィールドプレート4cの外側の端部が、第2絶縁膜12よりも厚い第1絶縁膜11の内側の端部上に位置している。このため、高dv/dtサージ印加時において第3フィールドプレート4cの外側の端部及びその近傍における電界集中を緩和することができ、絶縁膜破壊を防止することができる。
次に、図14〜図19を参照しながら、実施形態に係る半導体装置100の製造方法の一例を説明する。なお、以下に述べる本発明の実施形態に係る半導体装置100の製造方法は一例であり、特許請求の範囲に記載した趣旨の範囲であれば、この変形例を含めて、これ以外の種々の製造方法により実現可能であることは勿論である。
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
2…主電極(エミッタ電極)
3…ゲートランナ
4a〜4c…フィールドプレート
5a,5b…ウェル領域
6a〜6c…ガードリング
8…ストッパ電極
9…保護膜
10…保護ダイオード
10a〜10g…半導体領域
13…層間絶縁膜
14…第2主電極領域
21a,21b…第1主電極領域
22a,22b…注入制御領域
23…ゲート絶縁膜
24…ゲート電極
25…層間絶縁膜
100…半導体装置(半導体チップ)
101…主半導体素子
102…保護ダイオード
103…制御回路部
104,105,106…端子
110…バッテリ
112…電子制御ユニット(ECU)
113…イグニションコイル
114…点火プラグ
201…主半導体素子部
202…制御回路部
203…耐圧構造部
Claims (8)
- 半導体チップの中央側に配置された主半導体素子部と、前記半導体チップの外周側に配置された耐圧構造部とを有する半導体装置であって、
前記耐圧構造部が、
第1導電型の半導体基体と、
前記半導体基体上に選択的に配置された第1絶縁膜と、
前記半導体基体上の前記第1絶縁膜よりも前記半導体チップの中央側に配置され、前記第1絶縁膜よりも薄い第2絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に少なくとも一部が配置された保護ダイオードと、
前記保護ダイオード上に配置された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に配置されたフィールドプレートと、
を備え、前記フィールドプレートの前記外周側の端部が、前記第1絶縁膜の前記中央側の端部上に位置することを特徴とする半導体装置。 - 前記層間絶縁膜上に互いに離間して前記フィールドプレートが複数配置され、
前記複数のフィールドプレートのうちの最も前記外周側に位置する前記フィールドプレートの前記外周側の端部が、前記第1絶縁膜の前記中央側の端部上に位置することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記フィールドプレート直下の前記半導体基体の上部に設けられた第2導電型のガードリングを更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記ガードリングが、前記第2絶縁膜直下に位置することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記保護ダイオードが、前記第1絶縁膜上から前記第2絶縁膜上まで延伸することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記フィールドプレートを覆うように配置された、抵抗性シリコン窒化膜からなる保護膜を更に備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記半導体基体の上部に前記主半導体素子部から前記耐圧構造部に渡って設けられた第2導電型のウェル領域と、
前記主半導体素子部において前記ウェル領域の表面に接触する主電極と、
を更に備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ウェル領域の前記外周側の端部から前記第1絶縁膜の前記中央側の端部までの距離は、前記第1絶縁膜の前記中央側の端部から前記外周側の端部までの距離よりも短いことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
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JP2003101039A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-04-04 | Toshiba Corp | 高耐圧半導体装置 |
JP2006080368A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置 |
US20060273346A1 (en) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Frank Pfirsch | Edge structure with voltage breakdown in the linear region |
JP2010267655A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
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JP2003101039A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-04-04 | Toshiba Corp | 高耐圧半導体装置 |
JP2006080368A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置 |
US20060273346A1 (en) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Frank Pfirsch | Edge structure with voltage breakdown in the linear region |
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