JP2021009057A - 形状測定装置、形状測定装置の形状測定方法および形状測定装置の形状測定プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
測定平面に置かれた測定対象物の形状を測定する形状測定装置であって、
複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する光照射部と、
前記光照射部により前記縞パターンが照射された前記測定対象物を撮像する撮像部と、
前記縞パターンの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する測定部と、を備え、
前記円弧の中心または前記多角形の中心の位置は、前記撮像部を前記測定平面の法線に沿って前記測定平面に投影した第1投影領域の中心よりも、前記光照射部を前記測定平面の法線に沿って前記測定平面に投影した第2投影領域の中心に近い。
測定平面に置かれた測定対象物の形状を測定する形状測定装置であって、
複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する光照射部と、
前記光照射部により前記縞パターンが照射された前記測定対象物を撮像する撮像部と、
前記縞パターンの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する測定部と、を備え、
前記測定部は、第1ピッチを有する第1縞パターンと、第1ピッチと異なる第2ピッチを有する第2縞パターンと、を前記測定平面に照射して、前記第1、第2縞パターンのそれぞれの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する。
測定平面に置かれた測定対象物の形状を測定する形状測定装置の形状測定方法であって、
複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する光照射ステップと、
撮像部が、前記光照射部により前記縞パターンが照射された前記測定対象物を撮像する撮像ステップと、
前記縞パターンの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する測定ステップと、
を含む。
測定平面に置かれた測定対象物の形状を測定する形状測定装置の形状測定プログラムであって、
複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する光照射ステップと、
撮像部が、前記光照射部により前記縞パターンが照射された前記測定対象物を撮像する撮像ステップと、
前記縞パターンの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する測定ステップと、
をコンピュータに実行させる。
本発明の第1実施形態としての形状測定装置100について、図1を用いて説明する。図1に示すように、形状測定装置100は、光照射部101、撮像部102および測定部103を含む。形状測定装置100は、測定平面110に置かれた測定対象物120の形状を測定する装置である。
次に本発明の第2実施形態に係る形状測定装置について、図2A乃至図4Bを用いて説明する。図2Aは、本実施形態に係る形状測定装置200の構成を示すブロック図である。
次に本発明の第3実施形態に係る形状測定装置について、図5Aおよび図5Bを用いて説明する。図5Aは、本実施形態に係る形状測定装置200の構成を示すブロック図である。本実施形態に係る形状測定装置は、上記第2実施形態と比べると、光照射部を2つおよび撮像部を2つ有する点で異なる。その他の構成および動作は、第2実施形態と同様であるため、同じ構成および動作については同じ符号を付してその詳しい説明を省略する。
以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明の技術的範囲で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。また、それぞれの実施形態に含まれる別々の特徴を如何様に組み合わせたシステムまたは装置も、本発明の技術的範囲に含まれる。
Claims (9)
- 測定平面に置かれた測定対象物の形状を測定する形状測定装置であって、
複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する光照射部と、
前記光照射部により前記縞パターンが照射された前記測定対象物を撮像する撮像部と、
前記縞パターンの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する測定部と、を備え、
前記円弧の中心または前記多角形の中心の位置は、前記撮像部を前記測定平面の法線に沿って前記測定平面に投影した第1投影領域の中心よりも、前記光照射部を前記測定平面の法線に沿って前記測定平面に投影した第2投影領域の中心に近い形状測定装置。 - 前記光照射部は、前記測定平面に形状測定用の光を照射するためのレンズを備え、前記レンズの前記測定平面側の入射瞳位置を前記測定平面に投影した投影位置または前記投影位置に近接した位置を中心とした複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記光照射部は、前記測定平面に形状測定用の光を照射するためのレンズを備え、
前記レンズの前記測定平面側の焦点位置を前記測定平面に投影した投影位置、または前記投影位置に近接した位置を中心とした複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する請求項1に記載の形状測定装置。 - 測定平面に置かれた測定対象物の形状を測定する形状測定装置であって、
複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する光照射部と、
前記光照射部により前記縞パターンが照射された前記測定対象物を撮像する撮像部と、
前記縞パターンの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する測定部と、を備え、
前記測定部は、第1ピッチを有する第1縞パターンと、第1ピッチと異なる第2ピッチを有する第2縞パターンと、を前記測定平面に照射して、前記第1、第2縞パターンのそれぞれの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する形状測定装置。 - 前記光照射部として、それぞれ異なる方向から光を照射する第1光照射部と第2光照射部とを備えた請求項1乃至4のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記撮像部として、それぞれ異なる方向から前記測定対象物を撮像する第1撮像部と第2撮像部とを備えた請求項1乃至5のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記光照射部は、複数のミラーを備えたデジタルミラーデバイスである請求項1乃至6のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 測定平面に置かれた測定対象物の形状を測定する形状測定装置の形状測定方法であって、
複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する光照射ステップと、
撮像部が、前記光照射部により前記縞パターンが照射された前記測定対象物を撮像する撮像ステップと、
前記縞パターンの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する測定ステップと、
を含む形状測定装置の形状測定方法。 - 測定平面に置かれた測定対象物の形状を測定する形状測定装置の形状測定プログラムであって、
複数の円弧または複数の多角形の一部を含む縞パターンが前記測定対象物の表面に描かれるように、前記測定対象物に光を照射する光照射ステップと、
撮像部が、前記光照射部により前記縞パターンが照射された前記測定対象物を撮像する撮像ステップと、
前記縞パターンの位相をシフトさせつつ前記撮像部を用いて複数回の撮像を行うことにより前記測定対象物の形状を測定する測定ステップと、
をコンピュータに実行させる形状測定装置の形状測定プログラム。
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