JP2021008615A - ダイシングテープ基材用樹脂、それを含む樹脂組成物、ダイシングテープ基材及びダイシングテープ - Google Patents

Abstract

【課題】 エキスパンド性を維持しながら切削屑の低減の観点でより優れた、ダイシングテープ提供する。【解決手段】 エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンに由来する構造単位（Ａ）と、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位（Ｂ）を必須構成単位として含む共重合体（Ｐ）中の、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の少なくとも一部が周期表１族、２族、又は１２族から選ばれる少なくとも１種の金属イオンを含有する金属含有カルボン酸塩に変換されてなり、回転式レオメータで測定した複素弾性率の絶対値Ｇ＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δが、５０度〜７５度であることを特徴とするアイオノマーを含んでなることを特徴とするダイシングテープ基材用樹脂である。【選択図】 なし

Description

本発明は、半導体ウェハや半導体パッケージ等を切断する際に使用するダイシングテープに関するものである。

半導体ウェハや各種パッケージ類は大径の状態で製造され、ダイシングテープの上に貼着固定された状態で、小さな半導体チップに切断(ダイシング)、分離される。ダイシングテープに求められる性能としては、ダイシングの際にダイシングテープ樹脂由来の切削屑が少ないこと、分離を行う際に半導体チップの間隔を広げるためにダイシングテープを引っ張るので、エキスパンド性能が良いこと、の２点が主に挙げられる。

ダイシングテープの材料としては各種のものがあり、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体のアイオノマー樹脂を用いる事が提案されているが、切削屑が少ないことと良好なエキスパンド性能をバランスよく両立させることについて、さらなる改良が望まれている。（特許文献１）

エチレン系アイオノマーは、エチレン−不飽和カルボン酸共重合体をベース樹脂とし、ナトリウムや亜鉛等の金属イオンで分子間結合した樹脂である（特許文献２）。強靭で弾性に富み、かつ柔軟性があり、耐摩耗性、及び透明性等の特徴がある。
現在、市販されているエチレン系アイオノマーとしては、Ｄｕｐｏｎｔ社が開発したエチレン−メタクリル酸共重合体のナトリウム塩や亜鉛塩「Ｓｕｒｌｙｎ（登録商標）」、及び、三井・ダウポリケミカル社が販売している「ハイミラン（登録商標）」等が知られている。

しかしながら、これら現在市販されているエチレン系アイオノマーに用いられるベース樹脂のエチレン−不飽和カルボン酸共重合体には、いずれも、エチレンと不飽和カルボン酸等の極性基含有モノマーを、高圧ラジカル重合法により重合した極性基含有オレフィン共重合体が用いられている。高圧ラジカル重合法は、比較的極性基含有モノマーの種類を選ばずに安価に重合可能であるという利点がある。しかし、この、高圧ラジカル重合法で製造される極性基含有オレフィン共重合体の分子構造は、図１に示すイメージ図のように、多くの長鎖分岐及び短鎖分岐を不規則に有する構造であり、強度的には不十分であるという欠点がある。

一方、従来より、触媒を用いた重合方法を用いて、図２に示すイメージ図のように、分子構造が直鎖状の極性基含有オレフィン共重合体を製造する方法が模索されていたが、極性基含有モノマーは一般的に触媒毒となるため重合が難しく、実際に、工業的に安価で安定的な方法で、所望の物性を有する極性基含有オレフィン共重合体を得ることは長年難しいとされていた。
しかしながら近年、本願出願人等により開発された新触媒及び新製造方法を用いることにより、分子構造が実質的に直鎖状の極性基含有オレフィン共重合体を、工業的に安価で安定的に得る方法が提案されている。
そして、エチレン系アイオノマーのベース樹脂となる極性基含有オレフィン共重合体の製造方法として、後周期遷移金属触媒を用い、エチレンとアクリル酸ｔ−ブチルの共重合体を製造し、得られた極性基含有オレフィン共重合体を熱又は酸処理を行うことでエチレン−アクリル酸共重合体に変性した後、金属イオンと反応させ二元アイオノマーを製造することに成功したことが本願出願人等により報告されている（特許文献３）。

特開２０１７−１５２４９９号公報 米国特許第３２６４２７２号明細書 特開２０１６−７９４０８号公報

ダイシングテープには、少なくともエキスパンド性と切削屑の低減ができることが求められる。特に切削屑は、微細化が進む半導体チップにおいては少量でも品質に影響する問題のため、改良が求められている点である。しかしながら特許文献２記載のような従来のアイオノマーは、強度が不十分であり、本発明者らが見出したところによると、切削を伴わない条件でも摩耗するものであることが明らかになっており、この問題の解決には至っていなかった。

本願は、かかる従来技術の状況に鑑み、従来の高圧ラジカル重合法で製造したアイオノマーから成るダイシングテープと比較して、エキスパンド性を維持しながら切削屑の低減の観点でより優れた、新規アイオノマーを用いたダイシングテープ提供することを目的とする。

本発明者は、ダイシングテープの切削屑について鋭意検討した結果、アイオノマー樹脂を用いたダイシングテープにおける切削屑の発生には樹脂の摩耗性が関係しており、摩耗量が小さいほど切削屑が少なる事を見出した。特許文献３記載のエチレン系アイオノマーは、ベース樹脂が実質的に直鎖状の分子構造を有すると共にアイオノマーとしての機能も有する、従来にはない新規のエチレン系アイオノマーであり、その物性等は従来のエチレン系アイオノマーとは大きく異なり、特有の特性及び適した用途についても未知であったが、該アイオノマーが対摩耗性に優れるため、ダイシングテープにおいて、該アイオノマーを含有してなることを特徴とするダイシングテープを用いると、エキスパンド性を維持しながら、切削屑が減少し、切削屑の観点で、その性能が向上することを見出した。

即ち、本発明は、以下の［１］〜［１０］に関する。
［１］下記アイオノマーからなることを特徴とするダイシングテープ基材用樹脂である。
エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンに由来する構造単位（Ａ）と、
カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位（Ｂ）を必須構成単位として含む共重合体（Ｐ）中の、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の少なくとも一部が周期表１族、２族、又は１２族から選ばれる少なくとも１種の金属イオンを含有する金属含有カルボン酸塩に変換されてなり、
回転式レオメータで測定した複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δが、５０度〜７５度であることを特徴とするアイオノマー。
［２］前記共重合体（Ｐ）の^１３Ｃ−ＮＭＲにより算出されるメチル分岐数が、炭素１，０００個当たり５０個以下であることを特徴とする、［１］記載のダイシングテープ基材用樹脂である。
［３］前記共重合体（Ｐ）の^１３Ｃ−ＮＭＲにより算出されるメチル分岐数が、炭素１，０００個当たり５個以下であることを特徴とする、［１］記載のダイシングテープ基材用樹脂である。
［４］前記共重合体（Ｐ）が、共重合体中に前記構造単位（Ｂ）を２〜２０ｍｏｌ％含むことを特徴とする、［１］〜［３］のいずれかに記載のダイシングテープ基材用樹脂である。
［５］前記構造単位（Ａ）が、エチレンに由来する構造単位であることを特徴とする、［１］〜［４］のいずれかに記載のダイシングテープ基材用樹脂である。
［６］前記共重合体（Ｐ）が周期表第８〜１１族の遷移金属を含む遷移金属触媒を用いて製造されることを特徴とする、［１］〜［５］のいずれかに記載のダイシングテープ基材用樹脂である。
［７］前記遷移金属触媒がリンスルホン酸又はリンフェノール配位子とニッケル又はパラジウムからなる遷移金属触媒であることを特徴とする、［６］に記載のダイシングテープ基材用樹脂である。
［８］（ａ）前記［１］〜［７］のいずれかのダイシングテープ基材用樹脂と、（ｂ）ポリオレフィン樹脂とを含む、ダイシングテープ基材用樹脂組成物である。
［９］前記［１］〜［７］のいずれかのダイシングテープ基材用樹脂又は前記［８］のダイシングテープ基材用樹脂組成物からなる層を少なくとも一層含むことを特徴とする、ダイシングテープ基材である。
［１０］前記［９］のダイシングテープ基材を有することを特徴とする、ダイシングテープである。

実質的に直鎖状構造である本発明のアイオノマーを用いたダイシングテープは、従来の高圧ラジカル法で作製されたダイシングテープに比べ、エキスパンド性を維持しながら、切削屑の低減の観点で優れる。

高圧ラジカル法重合プロセスにより重合された多分岐状オレフィン共重合体の分子構造のイメージ図である。 金属触媒を用いて重合された直鎖状オレフィン共重合体の分子構造のイメージ図である。 本発明のダイシングテープの層構造の一例を表す図である。 本発明のダイシングテープの層構造の一例を表す図である。

本発明はエチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンに由来する構造単位（Ａ）と、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位（Ｂ）とを必須構成単位として、さらに場合により分子構造中に炭素−炭素二重結合を１つ以上有する化合物である構造単位（Ｃ）を構成単位として含み、これらが実質的に直鎖状に共重合、好ましくはランダム共重合した共重合体（Ｐ）をベース樹脂とし、該構造単位（Ｂ）のカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の少なくとも一部が周期表１族、２族、又は１２族から選ばれる少なくとも１種の金属イオンを含有する金属含有カルボン酸塩に変換されていることを特徴とするアイオノマーを用いたダイシングテープ基材用樹脂、ダイシングテープ基材及びダイシングテープである。

以下、本発明に関わるアイオノマー、アイオノマーを用いたダイシングテープ及び、その用途などについて、項目毎に詳細に説明する。なお、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味する。また、本明細書において数値範囲を示す「〜」とは、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。また、本明細書において、共重合体とは、少なくとも一種の単位（Ａ）と、少なくとも一種の単位（Ｂ）とを含む、二元系以上の共重合体を意味する。
また、本明細書において、アイオノマーとは、前記構造単位（Ａ）と、前記構造単位（Ｂ）の少なくとも一部が金属含有カルボン酸塩に変換されている構造単位（Ｂ’）とを含み、更に前記構造単位（Ｂ）を含んでいてもよい、２元系以上の共重合体のアイオノマーを意味する。

１．アイオノマー
本発明のアイオノマーは、エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンに由来する構造単位（Ａ）と、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位（Ｂ）とを必須構成単位として、さらに場合により分子構造中に炭素−炭素二重結合を１つ以上有する化合物である構造単位（Ｃ）を構成単位として含み、これらが実質的に直鎖状に共重合、好ましくはランダム共重合した共重合体（Ｐ）をベース樹脂とし、該構造単位（Ｂ）のカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の少なくとも一部が周期表１族、２族、又は１２族から選ばれる少なくとも１種の金属イオンを含有する金属含有カルボン酸塩に変換されていることを特徴とする。

（１）構造単位（Ａ）
構造単位（Ａ）はエチレンに由来する構造単位及び炭素数３〜２０のα−オレフィンに由来する構造単位からなる群より選ばれる少なくとも一種の構造単位である。
本発明に関わるα−オレフィンは構造式：ＣＨ_２＝ＣＨＲ^１８で表される、炭素数３〜２０のα−オレフィンである（Ｒ^１８は炭素数１〜１８の炭化水素基であり、直鎖構造であっても分岐を有していてもよい）。α−オレフィンの炭素数は、より好ましくは、３〜１２である。

構造単位（Ａ）の具体例として、エチレン、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、１−ヘキセン、１−オクテン、１−デセン、３−メチル−１−ブテン、及び４−メチル−１−ペンテン等が挙げられ、エチレンであってもよい。エチレンとしては、石油原料由来の他、植物原料由来等の非石油原料由来のエチレンを用いることができる。
また、構造単位（Ａ）は、一種類であってもよいし、複数種であってもよい。
二種の組み合わせとしては、例えば、エチレン−プロピレン、エチレン−１−ブテン、エチレン−１−ヘキセン、エチレン−１−オクテン、プロピレン−１−ブテン、プロピレン−１−ヘキセン、及びプロピレン−１−オクテン等が挙げられる。
三種の組み合わせとしては、例えば、エチレン−プロピレン−１−ブテン、エチレン−プロピレン−１−ヘキセン、エチレン−プロピレン−１−オクテン、プロピレン−１−ブテン−ヘキセン、及びプロピレン−１−ブテン−１−オクテン等が挙げられる。

本発明においては、構造単位（Ａ）としては、好ましくは、エチレンを必須で含み、必要に応じて１種以上の炭素数３〜２０のα−オレフィンをさらに含んでもよい。
構造単位（Ａ）中のエチレンは、構造単位（Ａ）の全ｍｏｌに対して、６５〜１００ｍｏｌ％であってもよく、７０〜１００ｍｏｌ％であってもよい。
耐衝撃性の点から前期構造単位（Ａ）が、エチレンに由来する構造単位であってもよい。

（２）構造単位（Ｂ）
構造単位（Ｂ）は、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位である。なお、構造単位（Ｂ）は、カルボキシ基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位と同じ構造であることを表し、後述の製造方法において述べるように、必ずしもカルボキシ基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーを用いて製造されたものでなくてもよい。

カルボキシル基を有するモノマーに由来する構造単位としては例えば、具体的にはアクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、テトラヒドロフタル酸、イタコン酸、シトラコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、ノルボルネンジカルボン酸、ビシクロ［２，２，１］ヘプト−２−エン−５，６−ジカルボン酸などの不飽和カルボン酸が挙げられ、ジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位としては例えば、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物、３，６−エポキシ−１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、テトラシクロ［６．２．１．１^3,6．０^2,7］ドデカ−９−エン−４，５−ジカルボン酸無水物、２，７−オクタジエン−１−イルコハク酸無水物などの不飽和ジカルボン酸無水物が挙げられる。
カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位として、工業的入手の容易さの点から好ましくは、アクリル酸、メタクリル酸、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物が挙げられ、特にアクリル酸であってもよい。
また、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位は、一種類であってもよいし、複数種であってもよい。

なお、ジカルボン酸無水物基は空気中の水分と反応して開環し、一部がジカルボン酸となる場合があるが、本発明の主旨を逸脱しない範囲においてならば、ジカルボン酸無水物基が開環していてもよい。

（３）その他の構造単位（Ｃ）
本発明に用いる共重合体（Ｐ）としては、構造単位（Ａ）と構造単位（Ｂ）のみからなる二元共重合体と、構造単位（Ａ）と構造単位（Ｂ）と、それら以外の構造単位（Ｃ）をさらに含む多元共重合体を用いることができるが、好ましくは、構造単位（Ａ）及び構造単位（Ｂ）で示される構造単位以外の構造単位（Ｃ）をさらに含む、多元共重合体である。構造単位（Ｃ）を与えるモノマーは、構造単位（Ａ）及び、構造単位（Ｂ）を与えるモノマーに包含されるものでなければ、任意のモノマーを使用できる。構造単位（Ｃ）を与えるモノマーは、分子構造中に炭素−炭素二重結合を１つ以上有する化合物であれば限定されないが、例えば後掲の一般式（１）で表される非環状モノマーや一般式（２）で表される環状モノマーなどが挙げられる。
構造単位（Ａ）と構造単位（Ｂ）のみからなる二元共重合体に比べて、構造単位（Ｃ）成分を含む三元以上の多元共重合体をアイオノマーのベース樹脂として用いることにより、アイオノマー樹脂の物性をより細かく制御することができる。構造単位（Ｃ）は、１種類のモノマーに基づくものでもよく、２種類以上のモノマーを組み合わせて用いてもよい。

・非環状モノマー

［一般式（１）中、Ｔ^１〜Ｔ^３はそれぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜２０の炭化水素基、水酸基で置換された炭素数１〜２０の炭化水素基、炭素数１〜２０のアルコキシ基で置換された炭素数２〜２０の炭化水素基、炭素数２〜２０のエステル基で置換された炭素数３〜２０の炭化水素基、ハロゲン原子で置換された炭素数１〜２０の炭化水素基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数２〜２０のエステル基、炭素数炭素数３〜２０のシリル基、ハロゲン原子、又は、シアノ基からなる群より選択される置換基であり、
Ｔ^４は、水酸基で置換された炭素数１〜２０の炭化水素基、炭素数１〜２０のアルコキシ基で置換された炭素数２〜２０の炭化水素基、炭素数２〜２０のエステル基で置換された炭素数３〜２０の炭化水素基、ハロゲン原子で置換された炭素数１〜２０の炭化水素基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数６〜２０のアリール基、炭素数２〜２０のエステル基、炭素数炭素数３〜２０のシリル基、ハロゲン原子、又は、シアノ基からなる群より選択される置換基である。]

Ｔ^１〜Ｔ^４に関する炭化水素基、置換アルコキシ基、置換エステル基、アルコキシ基、アリール基、エステル基、シリル基が有する炭素骨格は、分岐、環、及び／又は不飽和結合を有してもよい。
Ｔ^１〜Ｔ^４に関する炭化水素基の炭素数は、下限値が１以上であればよく、上限値は２０以下であればよく、１０以下であってもよい。
Ｔ^１〜Ｔ^４に関する置換アルコキシ基の炭素数は、下限値が１以上であればよく、上限値は２０以下であればよく、１０以下であってもよい。
Ｔ^１〜Ｔ^４に関する置換エステル基の炭素数は、下限値が２以上であればよく、上限値は２０以下であればよく、１０以下であってもよい。
Ｔ^１〜Ｔ^４に関するアルコキシ基の炭素数は、下限値が１以上であればよく、上限値は２０以下であればよく、１０以下であってもよい。
Ｔ^１〜Ｔ^４に関するアリール基の炭素数は、下限値が６以上であればよく、上限値は２０以下であればよく、１１以下であってもよい。
Ｔ^１〜Ｔ^４に関するエステル基の炭素数は、下限値が２以上であればよく、上限値は２０以下であればよく、１０以下であってもよい。
Ｔ^１〜Ｔ^４に関するシリル基の炭素数は、下限値が３以上であればよく、上限値は１８以下であればよく、１２以下であってもよい。シリル基としては、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、トリｎ−プロピルシリル基、トリイソプロピルシリル基、ジメチルフェニルシリル基、メチルジフェニルシリル基、及びトリフェニルシリル基等が挙げられる。

本発明のアイオノマーにおいては、製造の容易さの点から、Ｔ^１及びＴ²は水素原子であってもよく、Ｔ^３は水素原子又はメチル基であってもよく、Ｔ^１〜Ｔ^３が、いずれも水素原子であってもよい。
また、耐衝撃性の点から、Ｔ^４は炭素数２〜２０のエステル基であってもよい。

非環状モノマーとしては、具体的には、（メタ）アクリル酸エステル等を含むＴ^４が炭素数２〜２０のエステル基である場合等が挙げられる。
Ｔ^４が炭素数２〜２０のエステル基である場合、非環状モノマーとしては、構造式：ＣＨ_２＝Ｃ（Ｒ^２１）ＣＯ_２（Ｒ^２２）で表される化合物が挙げられる。ここで、Ｒ^２１は、水素原子又は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、分岐、環、及び／又は不飽和結合を有してもよい。Ｒ^２２は、炭素数１〜２０の炭化水素基であり、分岐、環、及び／又は不飽和結合を有してもよい。さらに、Ｒ^２２内の任意の位置にヘテロ原子を含有してもよい。
構造式：ＣＨ_２＝Ｃ（Ｒ^２１）ＣＯ_２（Ｒ^２２）で表される化合物として、Ｒ^２１が、水素原子又は炭素数１〜５の炭化水素基である化合物が挙げられる。また、Ｒ^２１が水素原子であるアクリル酸エステル又はＲ^２１がメチル基であるメタクリル酸エステルが挙げられる。
構造式：ＣＨ_２＝Ｃ（Ｒ^２１）ＣＯ_２（Ｒ^２２）で表される化合物の具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸フェニル、（メタ）アクリル酸トルイル、（メタ）アクリル酸ベンジル等が挙げられる。
具体的な化合物として、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ｎ−ブチル（ｎＢＡ）、アクリル酸イソブチル（ｉＢＡ）、アクリル酸ｔ−ブチル（ｔＢＡ）、及びアクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられ、特にアクリル酸ｎ−ブチル（ｎＢＡ）、アクリル酸イソブチル（ｉＢＡ）、及びアクリル酸ｔ−ブチル（ｔＢＡ）であってもよい。
なお、非環状モノマーは、一種類であってもよいし、複数種であってもよい。

・環状モノマー

［一般式（２）中、Ｒ^１〜Ｒ^１２は、それぞれ同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、及び、炭素数１〜２０の炭化水素基からなる群より選ばれるものであり、Ｒ^９及びＲ^１０、並びに、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々一体化して２価の有機基を形成してもよく、Ｒ^９又はＲ^１０と、Ｒ^１１又はＲ^１２とは、互いに環を形成していてもよい。
また、ｎは、０又は正の整数を示し、ｎが２以上の場合には、Ｒ^５〜Ｒ^８は、それぞれの繰り返し単位の中で、それぞれ同一でも異なっていてもよい。］

環状モノマーとしては、ノルボルネン系オレフィン等が挙げられ、ノルボルネン、ビニルノルボルネン、エチリデンノルボルネン、ノルボルナジエン、テトラシクロドデセン、トリシクロ［４．３．０．１^２，５］デカ−３−エン、などの環状オレフィンの骨格を有する化合物等が挙げられ、２−ノルボルネン（ＮＢ）、及び、テトラシクロ［６．２．１．１^３，６．０^２，７］ドデカ−４−エン等であってもよい。

（４）共重合体（Ｐ）
本発明で用いるアイオノマーのベース樹脂となる共重合体（Ｐ）は、エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンに由来する構造単位（Ａ）と、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位（Ｂ）とを必須構成単位として含み、さらに場合により前記（Ａ）及び（Ｂ）以外の任意の構造単位（Ｃ）を含み、これら各構造単位が実質的に直鎖状に共重合、好ましくはランダム共重合していることを特徴とする。「実質的に直鎖状」とは、共重合体が分岐を有していないか又は分岐構造が現れる頻度が小さく、共重合体を直鎖状とみなしうる状態であることを指す。具体的には、後述する条件下で共重合体の位相角δが５０度以上である状態を指す。

本発明に関わる共重合体（Ｐ）は、構造単位（Ａ）及び、構造単位（Ｂ）をそれぞれ１種類以上含有し、合計２種以上のモノマー単位を含むことが必要であり、前記（Ａ）及び（Ｂ）以外の任意の構造単位（Ｃ）を含んでいてもよいが、そのような構造単位（Ｃ）を含んだ多元共重合体であることが好ましい。
本発明に関わる共重合体の構造単位と構造単位量について説明する。
エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン（Ａ）、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマー（Ｂ）、並びに（Ａ）及び（Ｂ）以外の任意のモノマー（Ｃ）それぞれ１分子に由来する構造を、共重合体中の１構造単位と定義する。
そして、共重合体中の構造単位全体を１００ｍｏｌ％とした時に各構造単位の比率をｍｏｌ％で表したものが構造単位量である。

・エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン（Ａ）の構造単位量：
本発明に関わる構造単位（Ａ）の構造単位量は、下限が６０．０ｍｏｌ％以上、好ましくは７０．０ｍｏｌ％以上、より好ましくは８０．０ｍｏｌ％以上、さらに好ましくは８５．０ｍｏｌ％以上、さらにより好ましくは９０．０ｍｏｌ％以上、特に好ましくは９１．２ｍｏｌ％以上であり、上限が９７．９ｍｏｌ％以下、好ましくは９７．５ｍｏｌ％以下、より好ましくは９７．０ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは９６．５ｍｏｌ％以下から選択される。
エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン（Ａ）に由来する構造単位量が６０．０ｍｏｌ％よりも少なければ共重合体の靱性が劣り、９７．９ｍｏｌ％よりも多ければ共重合体の結晶化度が高くなり、透明性が悪くなる場合がある。

・カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマー（Ｂ）の構造単位量：
本発明に関わる構造単位（Ｂ）の構造単位量は、下限が２．０ｍｏｌ％以上、好ましくは２．９ｍｏｌ％以上であり、より好ましくは５．２ｍｏｌ％以上、上限が２０．０ｍｏｌ％以下、好ましくは１５．０ｍｏｌ％以下、より好ましくは１０．０ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは８．０ｍｏｌ％以下、特に好ましくは６．０ｍｏｌ％以下、最も好ましくは５．６ｍｏｌ％以下から選択される。
カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマー（Ｂ）に由来する構造単位量が２．０ｍｏｌ％よりも少なければ、共重合体の極性の高い異種材料との接着性が充分ではなく、２０．０ｍｏｌ％より多ければ共重合体の充分な機械物性が得られない場合がある。
更に、用いられるカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーは単独でもよく、２種類以上を合わせて用いてもよい。

・任意のモノマー（Ｃ）の構造単位量：
本発明のアイオノマーの構成要素に前記（Ａ）又は（Ｂ）以外の任意のモノマー（Ｃ）が含まれる場合、本発明に関わる構造単位（Ｃ）の構造単位量は、下限が０．００１ｍｏｌ％以上、好ましくは０．０１０ｍｏｌ％以上、より好ましくは０．０２０ｍｏｌ％以上、さらに好ましくは０．１ｍｏｌ％以上、さらにより好ましくは２．０ｍｏｌ％以上であり、上限が２０．０ｍｏｌ％以下、好ましくは１５．０ｍｏｌ％以下、より好ましくは１０．０ｍｏｌ％以下、さらに好ましくは５．０ｍｏｌ％以下、特に好ましくは３．６ｍｏｌ％以下から選択される。
任意のモノマー（Ｃ）に由来する構造単位量が０．００１ｍｏｌ％以上であると、共重合体の柔軟性が充分となりやすく、２０．０ｍｏｌ％以下であると共重合体の充分な機械物性が得られやすい。
更に、用いられる任意のモノマーは単独でもよく、２種類以上を合わせて用いてもよい。

共重合体（Ｐ）の炭素１，０００個当たりの分岐数：
本発明の共重合体においては、弾性率を高くし、充分な機械物性を得る点から、^１３Ｃ−ＮＭＲにより算出されるメチル分岐数が、炭素１，０００個当たり、上限が５０個以下であってもよく、５．０個以下であってもよく、１．０個以下であってもよく、０．５個以下であってもよく、下限は、特に限定されず、少なければ少ないほどよい。またエチル分岐数が炭素１，０００個当たり、上限が３．０個以下であってもよく、２．０個以下であってもよく、１．０個以下であってもよく、０．５個以下であってもよく、下限は、特に限定されず、少なければ少ないほどよい。さらにブチル分岐数が炭素１，０００個当たり、上限が７．０個以下であってもよく、５．０個以下であってもよく、３．０個以下であってもよく、０．５個以下であってもよく、下限は、特に限定されず、少なければ少ないほどよい。

共重合体中のカルボキシ基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマー、及び非環状モノマーに由来する構造単位量、及び分岐数の測定方法：
本発明の共重合体中のカルボキシ基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマー、及び非環状モノマーに由来する構造単位量、及び炭素１，０００個当たりの分岐数は^１３Ｃ−ＮＭＲスペクトルを用いて求められる。^１３Ｃ−ＮＭＲは以下の方法によって測定する。
試料２００〜３００ｍｇをｏ−ジクロロベンゼン（Ｃ_６Ｈ_４Ｃｌ_２）と重水素化臭化ベンゼン（Ｃ_６Ｄ_５Ｂｒ）の混合溶媒（Ｃ_６Ｈ_４Ｃｌ_２／Ｃ_６Ｄ_５Ｂｒ＝２／１（体積比））２．４ｍｌ及び化学シフトの基準物質であるヘキサメチルジシロキサンと共に内径１０ｍｍφのＮＭＲ試料管に入れて窒素置換した後封管し、加熱溶解して均一な溶液としてＮＭＲ測定試料とする。
ＮＭＲ測定は１０ｍｍφのクライオプローブを装着したブルカー・ジャパン（株）のＡＶ４００Ｍ型ＮＭＲ装置を用いて１２０℃で行う。
^１３Ｃ−ＮＭＲは、試料の温度１２０℃、パルス角を９０°、パルス間隔を５１．５秒、積算回数を５１２回以上、逆ゲートデカップリング法で測定する。
化学シフトはヘキサメチルジシロキサンの^１３Ｃシグナルを１．９８ｐｐｍに設定し、他の^１３Ｃによるシグナルの化学シフトはこれを基準とする。
得られた^１３Ｃ−ＮＭＲにおいて、共重合体が有するモノマー又は分岐に特有のシグナルを同定し、その強度を比較することで、共重合体中の各モノマーの構造単位量、及び分岐数を解析することができる。モノマー又は分岐に特有のシグナルの位置は公知の資料を参照することもできるし、試料に応じて独自に同定することもできる。このような解析手法は、当業者にとって一般的に行いうるものである。

・重量平均分子量（Ｍｗ）と分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）：
本発明に関わる共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、下限が通常１，０００以上であり、好ましくは６，０００以上であり、より好ましくは１０，０００以上であり、上限が通常２，０００，０００以下であり、好ましくは１，５００，０００以下であり、更に好ましくは１，０００，０００以下であり、特に好適なのは８００，０００以下であり、最も好ましくは１００，０００以下である。
Ｍｗが１，０００未満では共重合体の機械的強度や耐衝撃性などの物性が充分ではなく、Ｍｗが２，０００，０００を超えると共重合体の溶融粘度が非常に高くなり、共重合体の成形加工が困難となる場合がある。

本発明に関わる共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）は、通常１．５〜４．０、好ましくは１．６〜３．５、更に好ましくは１．９〜２．３の範囲である。Ｍｗ／Ｍｎが１．５未満では共重合体の成形を始めとして各種加工性が充分でなく、４．０を超えると共重合体の機械物性が劣るものとなる場合がある。
また、本明細書においては（Ｍｗ／Ｍｎ）を分子量分布パラメーターと表現することがある。

本発明に関わる共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）はゲルパーミエイションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって求められる。また、分子量分布パラメーター（Ｍｗ／Ｍｎ）は、ゲルパーミエイションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって、更に数平均分子量（Ｍｎ）を求め、ＭｗとＭｎの比、Ｍｗ／Ｍｎを算出するものである。

本発明に関わるＧＰＣの測定方法の一例は以下の通りである。
（測定条件）
使用機種：ウォーターズ社製１５０Ｃ
検出器：ＦＯＸＢＯＲＯ社製ＭＩＲＡＮ１Ａ・ＩＲ検出器（測定波長：３．４２μｍ）
測定温度：１４０℃
溶媒：オルトジクロロベンゼン（ＯＤＣＢ）
カラム：昭和電工社製ＡＤ８０６Ｍ／Ｓ（３本）
流速：１．０ｍＬ／分
注入量：０．２ｍＬ
（試料の調製）
試料はＯＤＣＢ（０．５ｍｇ／ｍＬのＢＨＴ（２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノール）を含む）を用いて１ｍｇ／ｍＬの溶液を調製し、１４０℃で約１時間を要して溶解させる。
（分子量（Ｍ）の算出）
標準ポリスチレン法により行い、保持容量から分子量への換算は、予め作成しておいた標準ポリスチレンによる検量線を用いて行う。使用する標準ポリスチレンは例えば、東ソー社製の、（Ｆ３８０、Ｆ２８８、Ｆ１２８、Ｆ８０、Ｆ４０、Ｆ２０、Ｆ１０、Ｆ４、Ｆ１、Ａ５０００、Ａ２５００、Ａ１０００）の銘柄、昭和電工製単分散ポリスチレン（Ｓ−７３００、Ｓ−３９００、Ｓ−１９５０、Ｓ−１４６０、Ｓ−１０１０、Ｓ−５６５、Ｓ−１５２、Ｓ−６６．０、Ｓ−２８．５、Ｓ−５．０５、の各０．０７ｍｇ／ｍｌ溶液）などである。各々が０．５ｍｇ／ｍＬとなるようにＯＤＣＢ（０．５ｍｇ／ｍＬのＢＨＴを含む）に溶解した溶液を０．２ｍＬ注入して較正曲線を作成する。較正曲線は最小二乗法で近似して得られる三次式、又は溶出時間と分子量の対数値を４次式で近似したものなどを用いる。分子量（Ｍ）への換算に使用する粘度式［η］＝Ｋ×Ｍαには以下の数値を用いる。
ポリスチレン（ＰＳ）：Ｋ＝１．３８×１０^−４、α＝０．７
ポリエチレン（ＰＥ）：Ｋ＝３．９２×１０^−４、α＝０．７３３
ポリプロピレン（ＰＰ）：Ｋ＝１．０３×１０^−４、α＝０．７８

・融点（Ｔｍ、℃）：
本発明に関わる共重合体の融点は、示差走査型熱量計（ＤＳＣ）により測定した吸熱曲線の最大ピーク温度によって示される。最大ピーク温度とは、ＤＳＣ測定において、縦軸に熱流（ｍＷ）、横軸に温度（℃）をとった際に得られる吸熱曲線に複数ピークが示された場合、そのうちベースラインからの高さが最大であるピークの温度の事を示し、ピークが１つだった場合には、そのピークの温度の事を示している。
融点は５０℃〜１４０℃であることが好ましく、６０℃〜１３８℃であることが更に好ましく、７０℃〜１３５℃であることが最も好ましい。この範囲より低ければ耐熱性が充分ではなく、この範囲より高い場合は接着性が劣るものとなる場合がある。
本発明において、融点は、例えば、エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製のＤＳＣ（ＤＳＣ７０２０）を使用し、試料約５．０ｍｇをアルミパンに詰め、１０℃／分で２００℃まで昇温し、２００℃で５分間等温保持後、１０℃／分で２０℃まで降温し、２０℃で５分間等温保持後、再度、１０℃／分で２００℃まで昇温させる際の吸収曲線より求めることができる。

・結晶化度（％）：
本発明の共重合体においては、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）により観測される結晶化度は、特に限定されないが、０％を超えていることが好ましい。５％を超えていることがより好ましく、７％以上であることが更に好ましい。結晶化度が０％であると共重合体の靱性が充分とはならなくなる場合がある。結晶化度は透明性の指標でもあり、透明性がある方が好ましいが、結晶化度の上限は特に限定されない。
結晶化度は、例えば、上記融点の測定と同じ手順でのＤＳＣ測定により得られる融解吸熱ピーク面積から融解熱（ΔＨ）を求め、その融解熱を高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）の完全結晶の融解熱２９３Ｊ／ｇで除することにより求めることができる。

・共重合体の分子構造：
本発明に関わる共重合体の分子鎖末端は、エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンの構造単位（Ａ）であってもよく、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーの構造単位（Ｂ）であってもよく、（Ａ）及び（Ｂ）以外の任意の構造単位（Ｃ）であってもよい。

また、本発明に関わる共重合体は、エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンの構造単位（Ａ）、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーの構造単位（Ｂ）、及び任意のモノマーの構造単位（Ｃ）のランダム共重合体、ブロック共重合体、並びにグラフト共重合体等が挙げられる。これらの中では、構造単位（Ｂ）を多く含むことが可能なランダム共重合体であってもよい。
一般的な三元系の共重合体の分子構造例（１）を下記に示す。
ランダム共重合体とは、下記に示した分子構造例（１）のエチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンの構造単位（Ａ）とカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーの構造単位（Ｂ）と任意のモノマーの構造単位（Ｃ）とが、ある任意の分子鎖中の位置においてそれぞれの構造単位を見出す確率が、その隣接する構造単位の種類と無関係な共重合体である。
下記のように、共重合体の分子構造例（１）は、エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンの構造単位（Ａ）とカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーの構造単位（Ｂ）と任意のモノマーの構造単位（Ｃ）とが、ランダム共重合体を形成している。

なお、グラフト変性によってカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーの構造単位（Ｂ）を導入した共重合体の分子構造例（２）も参考に掲載すると、エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンの構造単位（Ａ）及び任意のモノマーの構造単位（Ｃ）とが共重合された共重合体の一部が、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーの構造単位（Ｂ）にグラフト変性される。

また、共重合体におけるランダム共重合性は種々の方法により確認することが可能であるが、共重合体のコモノマー含量と融点との関係からランダム共重合性を判別する手法が特開２０１５−１６３６９１号公報及び特開２０１６−０７９４０８号公報に詳しく述べられている。上記文献から共重合体の融点（Ｔｍ、℃）が−３．７４×[Ｚ]＋１３０（ただし、[Ｚ]はコモノマー含量／ｍｏｌ％である）よりも高い場合はランダム性が低いと判断できる。

ランダム共重合体である本発明に関わる共重合体は示差走査熱量測定（ＤＳＣ）により観測される融点（Ｔｍ、℃）と、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーの構造単位（Ｂ）及び任意のモノマーの構造単位（Ｃ）の合計の含有量［Ｚ］（ｍｏｌ％）とが下記の式（Ｉ）を満たすことが好ましい。
５０＜Ｔｍ＜−３．７４×[Ｚ]＋１３０・・・（Ｉ）
共重合体の融点（Ｔｍ、℃）が−３．７４×[Ｚ]＋１３０（℃）よりも高い場合はランダム共重合性が低い為、衝撃強度など機械物性が劣り、融点が５０℃よりも低い場合は耐熱性が劣る場合がある。

さらに本発明に関わる共重合体は、その分子構造を直鎖状とする観点から、遷移金属触媒の存在下で製造されたものであることが好ましい。
なお、高圧ラジカル重合法プロセスによる重合、金属触媒を用いた重合など、製造方法によって共重合体の分子構造は異なることが知られている。
この分子構造の違いは製造方法を選択する事によって制御が可能であるが、例えば、特開２０１０−１５０５３２号公報に記載されている様に、回転式レオメータで測定した複素弾性率によっても、その分子構造を推定する事ができる。

・複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δ：
本発明の共重合体においては、回転式レオメータで測定した複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δは、下限が５０度以上であってもよく、５１度以上であってもよく、５４度以上であってもよく、５６度以上であってもよく、５８度以上であってもよく、上限が７５度以下であってもよく、７０度以下であってもよい。
より具体的には、回転式レオメータで測定した複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δ（Ｇ^＊＝０．１ＭＰａ）が５０度以上である場合、共重合体の分子構造は直鎖状の構造であって、長鎖分岐を全く含まない構造か、機械的強度に影響を与えない程度の少量の長鎖分岐を含む、実質的に直鎖状の構造であることを示す。
また、回転式レオメータで測定した複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δ（Ｇ^＊＝０．１ＭＰａ）が５０度より低い場合、共重合体の分子構造は長鎖分岐を過多に含む構造を示し、機械的強度が劣るものとなる。
回転式レオメータで測定した複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δは、分子量分布と長鎖分岐の両方の影響を受ける。しかし、Ｍｗ／Ｍｎ≦４、より好ましくはＭｗ／Ｍｎ≦３である共重合体に限れば長鎖分岐の量の指標になり、その分子構造に含まれる長鎖分岐が多いほどδ（Ｇ^＊＝０．１ＭＰａ）値は小さくなる。なお、共重合体のＭｗ／Ｍｎが１．５以上であれば、当該分子構造が長鎖分岐を含まない構造である場合でもδ（Ｇ^＊＝０．１ＭＰａ）値が７５度を上回ることはない。

複素弾性率の測定方法は、以下の通りである。
試料を厚さ１．０ｍｍの加熱プレス用モールドに入れ、表面温度１８０℃の熱プレス機中で５分間予熱後、加圧と減圧を繰り返すことで溶融樹脂中の残留気体を脱気し、更に４．９ＭＰａで加圧し、５分間保持する。その後、試料を表面温度２５℃のプレス機に移し替え、４．９ＭＰａの圧力で３分間保持することで冷却し、厚さが約１．０ｍｍの試料からなるプレス板を作成する。試料からなるプレス板を直径２５ｍｍ円形に加工したものをサンプルとし、動的粘弾性特性の測定装置としてＲｈｅｏｍｅｔｒｉｃｓ社製ＡＲＥＳ型回転式レオメータを用い、窒素雰囲気下において以下の条件で動的粘弾性を測定する。
・プレート：φ２５ｍｍ パラレルプレート
・温度：１６０℃
・歪み量：１０％
・測定角周波数範囲：１．０×１０^−２〜１．０×１０^２ ｒａｄ／ｓ
・測定間隔：５点／ｄｅｃａｄｅ
複素弾性率の絶対値Ｇ^＊（Ｐａ）の常用対数ｌｏｇＧ^＊に対して位相角δをプロットし、ｌｏｇＧ^＊＝５．０に相当する点のδ（度）の値をδ（Ｇ^＊＝０．１ＭＰａ）とする。測定点の中にｌｏｇＧ^＊＝５．０に相当する点がないときは、ｌｏｇＧ^＊＝５．０前後の２点を用いて、ｌｏｇＧ^＊＝５．０におけるδ値を線形補間で求める。また、測定点がいずれもｌｏｇＧ^＊＜５であるときは、ｌｏｇＧ^＊値が大きい方から３点の値を用いて２次曲線でｌｏｇＧ^＊＝５．０におけるδ値を補外して求める。

・共重合体の製造について
本発明に関わる共重合体は、その分子構造を直鎖状とする観点から、遷移金属触媒の存在下で製造されたものであることが好ましい。
・重合触媒
本発明に関わる共重合体の製造に用いる重合触媒の種類は、構造単位（Ａ）、構造単位（Ｂ）、及び任意の構造単位（Ｃ）を共重合することが可能なものであれば特に限定されないが、例えば、キレート性配位子を有する第５〜１１族の遷移金属化合物が挙げられる。
好ましい遷移金属の具体例としては、バナジウム原子、ニオビウム原子、タンタル原子、クロム原子、モリブデン原子、タングステン原子、マンガン原子、鉄原子、白金原子、ルテニウム原子、コバルト原子、ロジウム原子、ニッケル原子、パラジウム原子、銅原子などが挙げられる。これらの中で好ましくは、第８〜１１族の遷移金属であり、さらに好ましくは第１０族の遷移金属であり、特に好ましくはニッケル（Ｎｉ）、パラジウム（Ｐｄ）である。これらの金属は、単一であっても複数を併用してもよい。
キレート性配位子は、Ｐ、Ｎ、Ｏ、及びＳからなる群より選択される少なくとも２個の原子を有しており、二座配位（ｂｉｄｅｎｔａｔｅ）又は多座配位（ｍｕｌｔｉｄｅｎｔａｔｅ）であるリガンドを含み、電子的に中性又は陰イオン性である。Ｂｒｏｏｋｈａｒｔらによる総説に、キレート性配位子の構造が例示されている（Ｃｈｅｍ．Ｒｅｖ．，２０００，１００，１１６９）。
キレート性配位子としては、好ましくは、二座アニオン性Ｐ、Ｏ配位子が挙げられる。二座アニオン性Ｐ、Ｏ配位子として例えば、リンスルホン酸、リンカルボン酸、リンフェノール、リンエノラートが挙げられる。キレート性配位子としては、他に、二座アニオン性Ｎ、Ｏ配位子が挙げられる。二座アニオン性Ｎ、Ｏ配位子として例えば、サリチルアルドイミナートやピリジンカルボン酸が挙げられる。キレート性配位子としては、他に、ジイミン配位子、ジフェノキサイド配位子、及びジアミド配位子等が挙げられる。

キレート性配位子から得られる金属錯体の構造は、置換基を有してもよいアリールホスフィン化合物、アリールアルシン化合物又はアリールアンチモン化合物が配位した下記構造式（ａ）又は（ｂ）で表される。

［構造式（ａ）、及び構造式（ｂ）において、
Ｍは、元素の周期表の第５〜１１族のいずれかに属する遷移金属、即ち前述したような種々の遷移金属を表す。
Ｘ^１は、酸素、硫黄、−ＳＯ_３−、又は−ＣＯ_２−を表す。
Ｙ^１は、炭素又はケイ素を表す。
ｎは、０又は１の整数を表す。
Ｅ^１は、リン、砒素又はアンチモンを表す。
Ｒ^５３及びＲ^５４は、それぞれ独立に、水素又は炭素数１ないし３０のヘテロ原子を含有してもよい炭化水素基を表す。
Ｒ^５５は、それぞれ独立に、水素、ハロゲン、又は炭素数１ないし３０のヘテロ原子を含有してもよい炭化水素基を表す。
Ｒ^５６及びＲ^５７は、それぞれ独立に、水素、ハロゲン、炭素数１ないし３０のヘテロ原子を含有してもよい炭化水素基、ＯＲ^５２、ＣＯ_２Ｒ^５２、ＣＯ_２Ｍ’、Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ^５１）_２、Ｃ（Ｏ）Ｒ^５２、ＳＲ^５２、ＳＯ_２Ｒ^５２、ＳＯＲ^５２、ＯＳＯ_２Ｒ^５２、Ｐ（Ｏ）（ＯＲ^５２）_２−ｙ（Ｒ^５１）_ｙ、ＣＮ、ＮＨＲ^５２、Ｎ（Ｒ^５２）_２、Ｓｉ（ＯＲ^５１）_３−ｘ（Ｒ^５１）_ｘ、ＯＳｉ（ＯＲ^５１）_３−ｘ（Ｒ^５１）_ｘ、ＮＯ_２、ＳＯ_３Ｍ’、ＰＯ_３Ｍ’_２、Ｐ（Ｏ）（ＯＲ^５２）_２Ｍ’又はエポキシ含有基を表す。
Ｒ^５１は、水素又は炭素数１ないし２０の炭化水素基を表す。
Ｒ^５２は、炭素数１ないし２０の炭化水素基を表す。
Ｍ’は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、アンモニウム、４級アンモニウム又はフォスフォニウムを表し、ｘは、０から３までの整数、ｙは、０から２までの整数を表す。
なお、Ｒ^５６とＲ^５７が互いに連結し、脂環式環、芳香族環、又は酸素、窒素、若しくは硫黄から選ばれるヘテロ原子を含有する複素環を形成してもよい。この時、環員数は５〜８であり、該環上に置換基を有していても、有していなくてもよい。
Ｌ^１は、Ｍに配位したリガンドを表す。
また、Ｒ^５３とＬ^１が互いに結合して環を形成してもよい。］

より好ましくは、重合触媒となる錯体は、下記構造式（ｃ）で表される遷移金属錯体である。

［構造式（ｃ）において、
Ｍは、元素の周期表の第５〜１１族のいずれかに属する遷移金属、即ち前述したような種々の遷移金属を表す。
Ｘ^１は、酸素、硫黄、−ＳＯ_３−、又は−ＣＯ_２−を表す。
Ｙ^１は、炭素又はケイ素を表す。
ｎは、０又は１の整数を表す。
Ｅ^１は、リン、砒素又はアンチモンを表す。
Ｒ^５３及びＲ^５４は、それぞれ独立に、水素又は炭素数１ないし３０のヘテロ原子を含有してもよい炭化水素基を表す。
Ｒ^５５は、それぞれ独立に、水素、ハロゲン、又は炭素数１ないし３０のヘテロ原子を含有してもよい炭化水素基を表す。
Ｒ^５８、Ｒ^５９、Ｒ^６０及びＲ^６１は、それぞれ独立に、水素、ハロゲン、炭素数１ないし３０のヘテロ原子を含有してもよい炭化水素基、ＯＲ^５２、ＣＯ_２Ｒ^５２、ＣＯ_２Ｍ’、Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ^５１）_２、Ｃ（Ｏ）Ｒ^５２、ＳＲ^５２、ＳＯ_２Ｒ^５２、ＳＯＲ^５２、ＯＳＯ_２Ｒ^５２、Ｐ（Ｏ）（ＯＲ^５２）_２−ｙ（Ｒ^５１）_ｙ、ＣＮ、ＮＨＲ^５２、Ｎ（Ｒ^５２）_２、Ｓｉ（ＯＲ^５１）_３−ｘ（Ｒ^５１）_ｘ、ＯＳｉ（ＯＲ^５１）_３−ｘ（Ｒ^５１）_ｘ、ＮＯ_２、ＳＯ_３Ｍ’、ＰＯ_３Ｍ’_２、Ｐ（Ｏ）（ＯＲ^５２）_２Ｍ’又はエポキシ含有基を表す。
Ｒ^５１は、水素又は炭素数１ないし２０の炭化水素基を表す。
Ｒ^５２は、炭素数１ないし２０の炭化水素基を表す。
Ｍ’は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、アンモニウム、４級アンモニウム又はフォスフォニウムを表し、ｘは、０から３までの整数、ｙは、０から２までの整数を表す。
なお、Ｒ^５８〜Ｒ^６１から適宜選択された複数の基が互いに連結し、脂環式環、芳香族環、又は酸素、窒素、若しくは硫黄から選ばれるヘテロ原子を含有する複素環を形成してもよい。このとき、環員数は５〜８であり、該環上に置換基を有していても、有していなくてもよい。
Ｌ^１は、Ｍに配位したリガンドを表す。
また、Ｒ^５３とＬ^１が互いに結合して環を形成してもよい。］

ここで、キレート性配位子を有する第５〜１１族の遷移金属化合物の触媒としては、代表的に、いわゆる、ＳＨＯＰ系触媒及びＤｒｅｎｔ系触媒等の触媒が知られている。
ＳＨＯＰ系触媒は、置換基を有してもよいアリール基を有するリン系リガンドがニッケル金属に配位した触媒である（例えば、ＷＯ２０１０−０５０２５６号公報を参照）。
また、Ｄｒｅｎｔ系触媒は、置換基を有してもよいアリール基を有するリン系リガンドがパラジウム金属に配位した触媒である（例えば、特開２０１０−２０２６４７号公報を参照）。

・共重合体の重合方法：
本発明に関わる共重合体の重合方法は限定されない。
重合方法としては、媒体中で少なくとも一部の生成重合体がスラリーとなるスラリー重合、液化したモノマー自身を媒体とするバルク重合、気化したモノマー中で行う気相重合、又は、高温高圧で液化したモノマーに生成重合体の少なくとも一部が溶解する高圧イオン重合などが挙げられる。
重合形式としては、バッチ重合、セミバッチ重合、又は連続重合のいずれの形式でもよい。
また、リビング重合を行ってもよいし、連鎖移動を併発しながら重合を行ってもよい。
更に、重合の際には、いわゆるｃｈａｉｎ ｓｈｕｔｔｌｉｎｇ ａｇｅｎｔ（ＣＳＡ）を併用し、ｃｈａｉｎ ｓｈｕｔｔｌｉｎｇ反応や、ｃｏｏｒｄｉｎａｔｉｖｅ ｃｈａｉｎ ｔｒａｎｓｆｅｒ ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ（ＣＣＴＰ）を行ってもよい。
具体的な製造プロセス及び条件については、例えば、特開２０１０−２６０９１３号公報、特開２０１０−２０２６４７号公報等に開示されている。

・共重合体へのカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の導入方法：
本発明に関わる共重合体へのカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の導入方法は特に限定されない。本発明の主旨を逸脱しない範囲で、種々の方法によりカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を導入することができる。
カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の導入方法は、例えば、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するコモノマーを直接共重合する方法や、カルボキシル基を生じる官能基を有する他のモノマーを共重合した後、変性によりカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を導入する方法などが挙げられる。

変性によりカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を導入する方法としては、例えばカルボン酸を導入する場合、前駆体としてのアクリル酸エステルを共重合した後に加水分解し、カルボン酸に変化する方法や、前駆体としてのアクリル酸ｔ−ブチルを共重合した後、加熱分解によりカルボン酸に変化させる方法等が挙げられる。

上記、加水分解又は加熱分解する際に、反応を促進させる添加剤として、従来公知の酸・塩基触媒を使用してもよい。酸・塩基触媒としては特に制限されないが、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウムなどのアルカリ金属やアルカリ土類金属の水酸化物、炭酸水素ナトリウムや炭酸ナトリウムなどのアルカリ金属、アルカリ土類金属の炭酸塩、モンモリロナイトなどの固体酸、塩酸、硝酸、硫酸などの無機酸、ギ酸、酢酸、安息香酸、クエン酸、パラトルエンスルホン酸、トリフルオロ酢酸、トリフルオロメタンスルホン酸などの有機酸などを適宜用いることが出来る。
反応促進効果、価格、装置腐食性等の観点から水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、トリフルオロ酢酸、パラトルエンスルホン酸が好ましく、トリフルオロ酢酸、パラトルエンスルホン酸がより好ましい。

（５）アイオノマー
本発明に関わるアイオノマーは、前記共重合体（Ｐ）中の、構造単位（Ｂ）のカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の少なくとも一部が周期表１族、２族、又は１２族から選ばれる少なくとも１種の金属イオンを含有する金属含有カルボン酸塩に変換されており、回転式レオメータで測定した複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δが、５０度〜７５度であり、実質的に直鎖状構造を有するアイオノマーである。なお、アイオノマーは、後述のとおりアイオノマーベース樹脂に金属塩を作用させることにより得られ、その際に重合体の分子鎖を切断するような反応は通常起こらない。このため、コモノマーのモル比、分岐の程度、ランダム性等の構造に関するパラメーターは、通常はアイオノマーベース樹脂とアイオノマーとの間で保存されている。

・アイオノマーの構造
本発明に関わるアイオノマーは本発明に関わる共重合体と同様に実質的に直鎖状構造を有することから、回転式レオメータで測定した複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δが、５０〜７５度であることを特徴とする。
前記位相角δ（Ｇ^＊＝０．１ＭＰａ）が５０度より低い場合、アイオノマーの分子構造は長鎖分岐を過多に含む構造を示し、機械的強度が劣るものとなる。また、当該分子構造が長鎖分岐を含まない構造である場合でもδ（Ｇ^＊＝０．１ＭＰａ）値が７５度を上回ることはない。
本発明のアイオノマーは、機械的強度を向上する点から、前記位相角δの下限が、５１度以上であることが好ましく、５４度以上であることがより好ましく、５６度以上であることが更に好ましく、５８度以上であることがより更に好ましく、上限は、特に限定されず、７５度に近ければ近いほどよい。

・アイオノマーの融点（Ｔｍ、℃）
本発明に関わるアイオノマーの融点（Ｔｍ、℃）は、５０℃〜１４０℃であることが好ましく、６０℃〜１３８℃であることが更に好ましく、７０℃〜１３５℃が最も好ましい。この範囲より低ければ耐熱性が充分ではなく、この範囲より高い場合は接着性が劣るものとなる場合がある。

・金属イオン
本発明に関わるアイオノマーに含まれる金属イオンは、特に限定されず、従来公知のアイオノマーに用いられる金属イオンを含むことができる。金属イオンとしては、中でも、周期表１族、２族、又は１２族の金属イオンであることが好ましく、Ｌｉ^＋、Ｎａ^＋、Ｋ^＋、Ｒｂ^＋、Ｃｓ^＋、Ｍｇ^２＋、Ｃａ^２＋、Ｓｒ^２＋、Ｂａ^２＋及びＺｎ^２＋からなる群から選ばれる少なくとも１種がより好ましい。特に好ましくは、Ｌｉ^＋、Ｎａ^＋、Ｋ^＋、Ｍｇ^２＋、Ｃａ^２＋、及びＺｎ^２＋、更に好ましくは、Ｎａ^＋、及びＺｎ^２＋からなる群から選ばれる少なくとも１種が挙げられる。
これらの金属イオンを必要に応じて２種以上混合して含むことができる。

・中和度（ｍｏｌ％）
金属イオンの含有量としては、ベースポリマーとしての共重合体中のカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の少なくとも一部又は全部を中和する量を含むことが好ましく、好ましい中和度（平均中和度）としては、５〜９５ｍｏｌ％、より好ましくは１０〜９０ｍｏｌ％、さらに好ましくは２０〜８０ｍｏｌ％である。
なお、中和度は、共重合体中のカルボキシ基及び／又はジカルボン酸無水物基に含まれ得るカルボキシ基の合計ｍｏｌ量に対する、金属イオンの価数×ｍｏｌ量の合計ｍｏｌ量の割合から求めることができる。
ジカルボン酸無水物基はカルボン酸塩を形成する際に、開環してジカルボン酸となるため、ジカルボン酸無水物基１ｍｏｌにつき、２ｍｏｌのカルボキシ基を有するものとして前記カルボキシ基の合計ｍｏｌ量を求める。また、例えばＺｎ^２＋等の二価の金属イオンは、１ｍｏｌにつき、２ｍｏｌのカルボキシ基と塩を形成できるものとして、２×ｍｏｌ量により中和度の分子の合計ｍｏｌ量を算出する。
中和度が高いと、アイオノマーの引張強度及び引張破壊応力が高く、引張破壊ひずみが小さくなるが、アイオノマーのメルトフローレート（ＭＦＲ）が小さくなる傾向がある。一方、中和度が低いと、適度なＭＦＲのアイオノマーが得られるが、引張弾性率及び引張破壊応力は低く、引張破壊ひずみが高くなる傾向がある。
なお、中和度は、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の量と加えた金属イオンのモル比から計算できる。

・アイオノマーの製造方法
本発明に関わるアイオノマーは、上述のとおりの共重合体へのカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の導入方法によって得たエチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン／不飽和カルボン酸の共重合体を、周期表１族、２族、又は１２族から選ばれる少なくとも１種の金属イオンを含有する金属塩により処理し金属含有カルボン酸塩に変換する変換工程を経ることにより得てもよい。また、本発明に関わるアイオノマーはエチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン／不飽和カルボン酸エステル共重合体を加熱し、該共重合体中の少なくとも一部のエステル基を、周期表１族、２族、又は１２族から選ばれる少なくとも１種の金属イオンを含有する金属含有カルボン酸塩に変換する加熱変換工程を経ることにより得てもよい。

重合体にカルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を導入してからアイオノマーを製造する場合、その製造方法は、例えば、以下のとおりである。すなわち、エチレン／メタクリル酸（ＭＡＡ）共重合体などの金属イオンを捕捉する物質と金属塩を場合により加熱して混練することで金属イオン供給源を作製し、ついでアイオノマーベース樹脂に当該金属イオン供給源を所望の中和度となる量投入し、混練することで得ることができる。

また、加熱変換工程においては、（ｉ）エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン／不飽和カルボン酸エステル共重合体を加熱し、加水分解又は加熱分解によりエチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン／不飽和カルボン酸共重合体にした後、周期表１族、２族、又は１２族の金属イオンを含有する化合物と反応させることで、該エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン／不飽和カルボン酸共重合体中のカルボン酸を該金属含有カルボン酸塩に変換してもよく、また、（ｉｉ）エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン／不飽和カルボン酸エステル共重合体を加熱し、該共重合体のエステル基を加水分解又は加熱分解させながら、周期表１族、２族、又は１２族の金属イオンを含有する化合物と反応させることで、前記エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン／不飽和カルボン酸エステル共重合体中のエステル基部分を前記金属含有カルボン酸塩に変換してもよい。

金属イオンを含有する化合物は、周期表１族、２族、又は１２族の金属の酸化物、水酸化物、炭酸塩、重炭酸塩、酢酸塩、ギ酸塩などであってもよい。
金属イオンを含有する化合物は、粒状あるいは微粉状で反応系に供給してもよく、水や有機溶媒に溶解又は分散させた後、反応系に供給してもよく、エチレン／不飽和カルボン酸共重合体やオレフィン共重合体をベースポリマーとするマスターバッチを作製し、反応系に供給してもよい。反応を円滑に進行させるためにはマスターバッチを作製し、反応系に供給する方法が好ましい。

さらにまた、金属イオンを含有する化合物との反応はベント押出機、バンバリーミキサー、ロールミルの如き種々の型の装置により、溶融混練することによって行ってもよく、反応はバッチ式でも連続法でもよい。反応によって副生する水及び炭酸ガスを脱気装置により排出することにより、円滑に反応を行うことができることからベント押出機のような脱気装置付きの押出機を用い連続的に行うことが好ましい。
金属イオンを含有する化合物との反応に際し、反応を促進させるために、少量の水を注入してもよい。

エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィン／不飽和カルボン酸エステル共重合体を加熱する温度は、エステルがカルボン酸になる温度であればよく、加熱温度が低すぎる場合はエステルがカルボン酸に変換されず、高すぎる場合には脱カルボニル化や共重合体の分解が進む場合がある。従って、本発明の加熱温度は、好ましくは８０℃〜３５０℃、より好ましくは１００℃〜３４０℃、更に好ましくは１５０℃〜３３０℃、更により好ましくは２００℃〜３２０℃の範囲で行われる。

反応時間は加熱温度やエステル基部分の反応性等により変わるが、通常１分〜５０時間であり、より好ましくは２分〜３０時間であり、更に好ましくは２分〜１０時間であり、よりさらに好ましくは２分〜３時間であり、特に好ましくは３分〜２時間である。

上記工程において、反応雰囲気下に特に制限はないが、一般に不活性ガス気流下で行われるほうが好ましい。不活性ガスの例としては、窒素、アルゴン、二酸化炭素雰囲気が使用できる。少量の酸素や空気の混入があってもよい。

上記工程で用いる反応器としては、特に制限は無いが、共重合体を実質的に均一に攪拌できる方法であれば何ら限定されず、攪拌器を装備したガラス容器やオートクレーブ（ＡＣ）を用いてもよいし、ブラベンダープラストグラフ、一軸あるいは二軸押出機、強力スクリュー型混練機、バンバリーミキサー、ニーダー、ロール等の従来知られているいかなる混練機も使用することができる。

アイオノマーベース樹脂に対し金属イオンが導入され、アイオノマーとなったかどうかは、得られた樹脂のＩＲスペクトルを測定してカルボン酸（二量体）のカルボニル基に由来するピークの減少を調べることによって確認することができる。中和度も同じく、前述のモル比からの計算のほか、カルボン酸（二量体）のカルボニル基に由来するピークの減少と、カルボン酸塩基のカルボニル基に由来するピークの増加を調べることによって、確認することができる。

２．ダイシングテープ用樹脂組成物
ダイシングテープの基材フィルムの材料として、これまで説明してきた新規アイオノマーが用いられる。基材フィルムの材料は該アイオノマー１００％でもよいが、その他の樹脂と混合した組成物を用いてもよい。すなわち、本発明の一態様は、前記アイオノマーとその他の樹脂を含む、ダイシングテープ基材用樹脂組成物である。
ダイシング工程では、通常は半導体チップを個片化するブレードがチップ厚みより深く当てられ、ダイシングテープ層まで到達する。ブレードとの接触による摩擦熱で基材の変質、寸法の変化などが起こり、半導体チップの精確な切り出しに悪影響を与えうるので、ダイシングテープは耐熱性が高いことが望ましい。そのため、ダイシングテープ用樹脂組成物には、融点が高い樹脂を配合してもよい。高融点の樹脂としては、ポリアミドやポリウレタンを用いることができる。ポリアミドには、ジカルボン酸とジアミンの重縮合体、ラクタムの開環重合体などを用いることができる。ポリウレタンには、高分子ポリオールとポリイソシアネートの反応生成物などを用いることができる。これらの樹脂は、例えばポリアミドとしてナイロンなど、市販されているものを用いることができる。

また、ダイシング工程ではチップを切断した後に半導体チップの間隔を広げるためにダイシングテープを引っ張るので、テープのエキスパンド性能が良いことが望ましい。本発明のアイオノマーは単独でも良好な伸び特性を有するものであるが、本発明の効果を阻害しない範囲で、その他の延伸可能な樹脂を配合してもよい。そのような樹脂として例えば、高密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、本発明のアイオノマー以外の、例えば高圧ラジカル重合で合成されたアイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、エチレン−α−オレフィン共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリフェニルスルフィド、ガラス、ガラスクロス、フッ素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、セルロース系樹脂、シリコーン樹脂などが挙げられる。ダイシングテープ用樹脂組成物において、これらのその他の樹脂は、組成物全体の質量を１００％としたときに、合計で５０質量％未満の量で含まれることが好ましい。本発明のアイオノマーにより切削屑をより低減する観点からは、４０質量％未満の量で含まれることがより好ましく、３０質量％未満の量で含まれることがさらに好ましく、２５質量％未満の量で含まれることが特に好ましく、２０質量％未満の量で含まれることが最も好ましい。

・添加剤
本発明に関わるアイオノマーには、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、従来公知の酸化防止剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤、アンチブロッキング剤、着色剤、顔料、架橋剤、発泡剤、核剤、難燃剤、及び、充填材等の添加剤を配合してもよい。樹脂組成物における添加剤の量は任意であるが、組成物全体の質量に対して０〜２０質量％の範囲が好ましい。

ダイシングテープ用樹脂組成物において、本発明のアイオノマーは、組成物全体の質量に対して、５０質量％以上の量で含まれることが好ましい。切削屑をより低減する観点からは、本発明のアイオノマーが含まれる量は、６０質量％以上の量であることがより好ましく、７０質量％以上の量であることがさらに好ましく、７５質量％以上の量であることが特に好ましく、８０質量％以上の量であることが最も好ましい。

３．ダイシングテープ基材及びダイシングテープ
・層構造
本発明のダイシングテープは、基材フィルム１と基材フィルムの片側に積層された粘着層３を有する(図３)。基材フィルムは単層であってもよいし、多層であってもよい。多層の場合、例えば基材フィルム１、基材フィルム２の積層フィルムの上に、粘着層３を有するフィルムとなる(図４)。ダイシングテープは、使用前には粘着剤層を保護するため、粘着層の上面に剥離フィルムを仮粘着しておくことが好ましい。

基材フィルムは、本発明のアイオノマーを主成分として含む層を有し、この層が粘着層と接するように設けられていることが好ましい。多層構造の基材フィルムは、多層押し出し法で複数の異なる層を有する基材層を一段階工程で作ってもよいし、インフレーション法、単層押し出し法等で作られたテープを接着剤や熱溶着によって張り合わせる等の手法によって作ってもよい。また基材フィルムは粘着層との密着性を制御するため、必要に応じて、マット処理、コロナ処理などの表面粗化処理を施してもよい。
基材フィルム層の厚さは、用途によって適宜選択されるが、フィルムとして扱われる２００μｍ以下である事が好ましい。

・粘着層
粘着層に用いる粘着剤としては、特に制限は無く、放射線硬化型、加熱発泡型、感圧型のものを用いる事ができる。本発明では、紫外線などの放射線硬化型の粘着剤が特に好ましい。放射線硬化型には種々のものがあるが、(メタ)アクリル系粘着剤を用いることが望ましい。また、放射線反応性を付与するために、必要に応じ、アクリル系粘着剤中に炭素―炭素二重結合を持ったモノマー、オリゴマー、ポリマーや光反応開始剤等の添加材を処方し用いることもできる。このような粘着剤自体は任意の物を用いることができ、例えば、特開平１−２４９８７７号、特開平５−１９６７６８号、特開昭６３−１７９８０号公報などに記載のものを用いることができる。
粘着層の厚みは特に限定されるものではなく、求められる性能に応じて適宜設定されるが、５〜３０μｍが好ましい。

以下に、実施例及び比較例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
なお、実施例及び比較例における物性の測定と評価は、以下に示す方法によって実施した。また、表中のｎｏｔ ｄｅｔｅｃｔｅｄは検出限界未満を意味する。

＜測定と評価＞
（１）複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δ（Ｇ^＊＝０．１ＭＰａ）の測定
１）試料の準備、測定
試料を厚さ１．０ｍｍの加熱プレス用モールドに入れ、表面温度１８０℃の熱プレス機中で５分間予熱後、加圧と減圧を繰り返すことで溶融樹脂中の残留気体を脱気し、更に４．９ＭＰａで加圧し、５分間保持した。その後、表面温度２５℃のプレス機に移し替え、４．９ＭＰａの圧力で３分間保持することで冷却し、厚さが約１．０ｍｍの試料からなるプレス板を作製した。試料からなるプレス板を直径２５ｍｍ円形に加工したものをサンプルとし、動的粘弾性特性の測定装置としてＲｈｅｏｍｅｔｒｉｃｓ社製ＡＲＥＳ型回転式レオメータを用い、窒素雰囲気下において以下の条件で動的粘弾性を測定した。
・プレート：φ２５ｍｍ（直径） パラレルプレート
・温度：１６０℃
・歪み量：１０％
・測定角周波数範囲：１．０×１０^−２〜１．０×１０^２ ｒａｄ／ｓ
・測定間隔：５点／ｄｅｃａｄｅ
複素弾性率の絶対値Ｇ^＊（Ｐａ）の常用対数ｌｏｇＧ^＊に対して位相角δをプロットし、ｌｏｇＧ^＊＝５．０に相当する点のδ（度）の値をδ（Ｇ^＊＝０．１ＭＰａ）とした。測定点の中にｌｏｇＧ^＊＝５．０に相当する点がないときは、ｌｏｇＧ^＊＝５．０前後の２点を用いて、ｌｏｇＧ^＊＝５．０におけるδ値を線形補間で求めた。また、測定点がいずれもｌｏｇＧ^＊＜５であるときは、ｌｏｇＧ^＊値が大きい方から３点の値を用いて２次曲線でｌｏｇＧ^＊＝５．０におけるδ値を補外して求めた。

（２）重量平均分子量（Ｍｗ）及び分子量分布パラメーター（Ｍｗ／Ｍｎ）の測定
重量平均分子量（Ｍｗ）はゲルパーミエイションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって求めた。また、分子量分布パラメーター（Ｍｗ／Ｍｎ）は、ゲルパーミエイションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって、更に数平均分子量（Ｍｎ）を求め、ＭｗとＭｎの比、Ｍｗ／Ｍｎによって算出した。
測定は下記の手順及び条件に従って行った。

１）試料の前処理
試料にカルボン酸基が含まれる場合は、例えばジアゾメタンやテトラメチルシラン（ＴＭＳ）ジアゾメタンなどを用いたメチルエステル化などのエステル化処理を行い測定に用いた。また、試料にカルボン酸塩基が含まれる場合は酸処理を行い、カルボン酸塩基をカルボン酸基へと変性した後、上記のエステル化処理を行い測定に用いた。

２）試料溶液の調製
４ｍＬバイアル瓶に試料３ｍｇ及びｏ−ジクロロベンゼン３ｍＬを秤り採り、スクリューキャップ及びテフロン（登録商標）製セプタムで蓋をした後、センシュー科学製ＳＳＣ−７３００型高温振とう機を用いて１５０℃で２時間振とうを行った。振とう終了後、不溶成分がないことを目視で確認した。

３）測定
ウォーターズ社製Ａｌｌｉａｎｃｅ ＧＰＣＶ２０００型に昭和電工製高温ＧＰＣカラムＳｈｏｗｄｅｘ ＨＴ−Ｇ×１本及び同ＨＴ−８０６Ｍ×２本を接続し、溶離液にｏ−ジクロロベンゼンを使用し、温度１４５℃、流量：１．０ｍＬ／分下にて測定を行った。

４）較正曲線
カラムの較正は、昭和電工製単分散ポリスチレン（Ｓ−７３００、Ｓ−３９００、Ｓ−１９５０、Ｓ−１４６０、Ｓ−１０１０、Ｓ−５６５、Ｓ−１５２、Ｓ−６６．０、Ｓ−２８．５、Ｓ−５．０５、の各０．０７ｍｇ／ｍｌ溶液）、ｎ−エイコサン及びｎ−テトラコンタンの測定を上記と同様の条件にて行い、溶出時間と分子量の対数値を４次式で近似した。なお、ポリスチレン分子量（Ｍ_ＰＳ）とポリエチレン分子量（Ｍ_ＰＥ）の換算には次式を用いた。
Ｍ_ＰＥ＝０．４６８×Ｍ_ＰＳ

（３）メルトフローレート（ＭＦＲ）
ＭＦＲは、ＪＩＳ Ｋ−７２１０（１９９９年）の表１−条件７に従い、温度１９０℃、荷重２１．１８Ｎの条件で測定した。

（４）引張試験 (エキスパンド性の評価)
試料をＪＩＳ Ｋ７１５１（１９９５年）に記載の方法（冷却方法Ａ）で厚さ１ｍｍのシートを作製し、これを打抜いて作製したＪＩＳ Ｋ７１６２（１９９４年）に記載の５Ｂ形小型試験片を用いて、ＪＩＳ Ｋ７１６１（１９９４年）に従って温度２３℃の条件下において引張試験を行い、引張破断伸びを測定した。なお、試験速度は１０ｍｍ／分とした。

（５）融点及び結晶化度
融点は、示差走査型熱量計（ＤＳＣ）により測定した吸熱曲線のピーク温度によって示される。測定にはエスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製のＤＳＣ（ＤＳＣ７０２０）を使用し、次の測定条件で実施した。
試料約５．０ｍｇをアルミパンに詰め、１０℃／分で２００℃まで昇温し、２００℃で５分間保持した後に１０℃／分で３０℃まで降温させた。３０℃で５分間保持した後、再度、１０℃／分で昇温させる際の吸収曲線のうち、最大ピーク温度を融点Ｔｍとし、融解吸熱ピーク面積から融解熱（ΔＨ）を求め、その融解熱を高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）の完全結晶の融解熱２９３Ｊ／ｇで除することにより、結晶化度（％）を求めた。

（６）カルボキシ基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマー、及び非環状モノマー由来の構造単位量と炭素１，０００個当たりの分岐数の測定方法
本発明の共重合体中のカルボキシ基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマー、及び非環状モノマーに由来する構造単位量、炭素１，０００個当たりの分岐数は^１３Ｃ−ＮＭＲスペクトルを用いて求められる。^１３Ｃ−ＮＭＲは以下の方法によって測定した。
試料２００〜３００ｍｇをｏ−ジクロロベンゼン（Ｃ_６Ｈ_４Ｃｌ_２）と重水素化臭化ベンゼン（Ｃ_６Ｄ_５Ｂｒ）の混合溶媒（Ｃ_６Ｈ_４Ｃｌ_２／Ｃ_６Ｄ_５Ｂｒ＝２／１（体積比））２．４ｍｌ及び化学シフトの基準物質であるヘキサメチルジシロキサンと共に内径１０ｍｍφのＮＭＲ試料管に入れて窒素置換した後封管し、加熱溶解して均一な溶液としてＮＭＲ測定試料とした。
ＮＭＲ測定は１０ｍｍφのクライオプローブを装着したブルカー・ジャパン（株）のＡＶ４００Ｍ型ＮＭＲ装置を用いて１２０℃で行った。
^１３Ｃ−ＮＭＲは、試料の温度１２０℃、パルス角を９０°、パルス間隔を５１．５秒、積算回数を５１２回以上、逆ゲートデカップリング法で測定した。
化学シフトはヘキサメチルジシロキサンの^１３Ｃシグナルを１．９８ｐｐｍに設定し、他の^１３Ｃによるシグナルの化学シフトはこれを基準とした。

１）試料の前処理
試料にカルボン酸塩基が含まれる場合は酸処理を行うことにより、カルボン酸塩基をカルボキシ基へと変性した後に測定に用いた。また試料にカルボキシ基が含まれる場合は、例えばジアゾメタンやトリメチルシリル（ＴＭＳ）ジアゾメタンなどを用いたメチルエステル化などのエステル化処理を適宜行ってもよい。

２）カルボキシ基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマー、及び非環状モノマー由来の構造単位量の算出
＜Ｅ／ｔＢＡ＞
ｔＢＡのｔ−ブチルアクリレート基の四級炭素シグナルは、^１３Ｃ−ＮＭＲスペクトルの７９．６〜７８．８に検出される。これらのシグナル強度を用い、以下の式からコモノマー量を算出した。
ｔＢＡ総量（ｍｏｌ％）＝Ｉ（ｔＢＡ）×１００／〔Ｉ（ｔＢＡ）＋Ｉ（Ｅ）〕
ここで、Ｉ（ｔＢＡ）、Ｉ（Ｅ）はそれぞれ、以下の式で示される量である。
Ｉ（ｔＢＡ）＝Ｉ_{７９．６〜７８．８}
Ｉ（Ｅ）＝（Ｉ_{１８０．０〜１３５．０}＋Ｉ_{１２０．０〜５．０}−Ｉ（ｔＢＡ）×７）／２

＜Ｅ／ｔＢＡ／ｉＢＡ＞
ｔＢＡのｔ−ブチルアクリレート基の四級炭素シグナルは、^１３Ｃ−ＮＭＲスペクトルの７９．６〜７８．８ｐｐｍ、ｉＢＡのイソブトキシ基のメチレンシグナルは７０．５〜６９．８ｐｐｍ、イソブトキシ基のメチルシグナルは１９．５〜１８．９ｐｐｍに検出される。これらのシグナル強度を用い、以下の式からコモノマー量を算出した。
ｔＢＡ総量（ｍｏｌ％）＝Ｉ（ｔＢＡ）×１００／〔Ｉ（ｔＢＡ）＋Ｉ（ｉＢＡ）＋Ｉ（Ｅ）〕
ｉＢＡ総量（ｍｏｌ％）＝Ｉ（ｉＢＡ）×１００／〔Ｉ（ｔＢＡ）＋Ｉ（ｉＢＡ）＋Ｉ（Ｅ）〕
ここで、Ｉ（ｔＢＡ）、Ｉ（ｉＢＡ）、Ｉ（Ｅ）はそれぞれ、以下の式で示される量である。
Ｉ（ｔＢＡ）＝Ｉ_{７９．６〜７８．８}
Ｉ（ｉＢＡ）＝（Ｉ_{７０．５〜６９．８}＋Ｉ_{１９．５〜１８．９}）／３
Ｉ（Ｅ）＝（Ｉ_{１８０．０〜１３５．０}＋Ｉ_{１２０．０〜５．０}−Ｉ（ｉＢＡ）×７−Ｉ（ｔＢＡ）×７）／２

＜Ｅ／ｔＢＡ／ＮＢ＞
ｔＢＡのｔ−ブチルアクリレート基の四級炭素シグナルは、^１３Ｃ−ＮＭＲスペクトルの７９．６〜７８．８ｐｐｍ、ＮＢのメチン炭素シグナルは４１．９〜４１．１ｐｐｍに検出される。これらのシグナル強度を用い、以下の式からコモノマー量を算出した。
ｔＢＡ総量（ｍｏｌ％）＝Ｉ（ｔＢＡ）×１００／〔Ｉ（ｔＢＡ）＋Ｉ（ＮＢ）＋Ｉ（Ｅ）〕
ＮＢ総量（ｍｏｌ％）＝Ｉ（ＮＢ）×１００／〔Ｉ（ｔＢＡ）＋Ｉ（ＮＢ）＋Ｉ（Ｅ）〕
ここで、Ｉ（ｔＢＡ）、Ｉ（ＮＢ）、Ｉ（Ｅ）はそれぞれ、以下の式で示される量である。
Ｉ（ｔＢＡ）＝Ｉ_{７９．６〜７８．８}
Ｉ（ＮＢ）＝（Ｉ_{４１．９〜４１．１}）／２
Ｉ（Ｅ）＝（Ｉ_{１８０．０〜１３５．０}＋Ｉ_{１２０．０〜５．０}−Ｉ（ＮＢ）×７−Ｉ（ｔＢＡ）×７）／２

なお、各モノマーの構造単位量が不等号を含む「＜０．１」で示されている場合、共重合体中の構成単位として存在しているが有効数字を考慮して０．１ｍｏｌ％未満の量であることを意味する。

３）炭素１，０００個当たりの分岐数の算出
共重合体には、主鎖に分岐が単独で存在する孤立型と、複合型（主鎖を介して分岐と分岐が対面した対面タイプ、分岐鎖中に分岐のあるｂｒａｎｃｈｅｄ−ｂｒａｎｃｈタイプ、及び連鎖タイプ）が存在する。
以下は、エチル分岐の構造の例である。なお、対面タイプの例において、Ｒはアルキル基を表す。

炭素１，０００個当たりの分岐数は、以下の式のＩ（分岐）項に、下記のＩ（B1）、Ｉ（B2）、Ｉ（B4）のいずれかを代入し求める。B1はメチル分岐、B2はエチル分岐、B4はブチル分岐を表す。メチル分岐数はＩ（B1）を用い、エチル分岐数はＩ（B2）を用い、ブチル分岐数はＩ（B4）を用いて求める。
分岐数（個／炭素１，０００個当たり）＝Ｉ（分岐）×１０００／Ｉ（total）
ここで、Ｉ（total）、Ｉ（B1）、Ｉ（B2）、Ｉ（B4）は以下の式で示される量である。
Ｉ（total）＝Ｉ_{180.0〜135.0} ＋Ｉ_120.0〜5.0
Ｉ（B1）＝（Ｉ_20.0〜19.8＋Ｉ_33.2〜33.1＋Ｉ_37.5〜37.3）／４
Ｉ（B2）＝Ｉ_8.6〜7.6 ＋Ｉ_11.8〜10.5
Ｉ（B4）＝Ｉ_14.3〜13.7 −Ｉ_32.2〜32.0
ここで、Ｉは積分強度を、Ｉの下つき添字の数値は化学シフトの範囲を示す。例えばＩ_{180.0〜135.0}は１８０．０ｐｐｍと１３５．０ｐｐｍの間に検出した^１３Ｃシグナルの積分強度を示す。
帰属は、非特許文献Macromolecules 1984, 17, 1756-1761、Macromolecules 1979，12，41を参考にした。
なお、各分岐数が不等号を含む「＜０．１」で示されている場合、共重合体中の構成単位として存在しているが有効数字を考慮して０．１ｍｏｌ％未満の量であることを意味する。また、ｎｏｔ ｄｅｔｅｃｔｅｄは検出限界未満を意味する。

（７）摩耗量の測定
１）摩耗試験サンプルの作製方法
試料を、寸法：１５０ｍｍ×１５０ｍｍ、厚さ１ｍｍの加熱プレス用モールドに入れ、表面温度１８０℃の熱プレス機中で５分間予熱後、加圧と減圧を繰り返すことで試料を溶融すると共に試料中の残留気体を脱気し、更に４．９ＭＰａで加圧し、３分間保持した。その後、４．９ＭＰａの圧力をかけた状態で、１０℃／分の速度で徐々に冷却し、温度が室温付近まで低下したところでモールドから成形板を取り出した。得られた成形板を温度２３±２℃、湿度５０±５℃の環境下で４８時間以上、状態調節した。状態調節後のプレス板を直径約１１５ｍｍの円形に切り抜き、中心に直径約６．５ｍｍの穴をあけ、摩耗試験サンプルとした。

２）摩耗試験条件
上記試験片を用い、ＪＩＳ Ｋ ７２０４−１９９９に準拠し下記条件で摩耗損失量（ｍｇ）を測定した。
・装置：テーバー摩耗試験機（ロータリーアブレーションテスタ）＿（株）東洋精機製作所製
・摩耗輪：CS-17
・回転数：６０回転／ｍｉｎ
・試験回数：１０００回転
・荷重：４．９Ｎ

（８）ダイシング評価
１）試験サンプルの作製方法
２５ｍｍのφ２５ｍｍ押し出し機、２００ｍｍ幅のＴダイスを有するフィルム成型機を使用し、樹脂温度２００度、引取り速度４ｍ/分で厚み８０μｍのアイオノマーフィルム(基材フィルム)を製造した。また、粘着剤として、紫外線硬化型アクリル粘着剤(荒川化学工業製のビームセット５７５(ウレタンアクリレート系オリゴマー))を用意した。上記の基材フィルム、粘着剤を用いて、フィルムの上に、紫外線硬化型アクリル粘着剤を酢酸エチルに溶かしたものをバーコート塗布することで、基材フィルム(８０μｍ)/粘着層(１５μｍ、乾燥後厚み)の構造から成るダイシングテープを製造した。

２）ダイシング加工
作成したダイシングテープに３００μｍのシリコンウェハを貼り付け、下記の条件でシリコンウェハのダイシング加工を実施した。
・サンプルサイズ：２０ｍｍ角
・ダイシング装置：ディスコ社製 ＤＦＤ６２４０
・ダイシング刃：ディスコ社製 ＺＨ０５−ＳＤ３０００−Ｎ１−７０ ＦＦ
・回転数：３００００ｒｐｍ
・切削速度：３０ｍｍ/ｓ
・ダイシング刃の基材フィルムへの切込み深さ：４０μｍ
・ライン数：３本

３）シリコンウェハの剥離
加工終了後、基材フィルム側から紫外線照射を十分行った後、シリコンウェハを端部から丁寧に剥離した。

４）切削屑観察
シリコンウェハを剥離した後のダイシングラインについて、顕微鏡（４００倍）で切削屑の状態確認を実施した。合計３本のラインについて、１００μｍ以上の長さの切削屑を全て集計し、切削屑の状態を比較した。

実施例におけるアイオノマーは、以下に示す方法によって製造した。
＜金属錯体の合成＞
（１）Ｂ−２７ＤＭ／Ｎｉ錯体の合成
Ｂ−２７ＤＭ／Ｎｉ錯体は、国際公開第２０１０／０５０２５６号に記載された合成例４に従い、下記の２−ビス（２，６−ジメトキシフェニル）ホスファノ−６−ペンタフルオロフェニルフェノール配位子（Ｂ−２７ＤＭ）を使用した。国際公開第２０１０／０５０２５６号の実施例１に準じて、ビス（１，５−シクロオクタジエン）ニッケル（０）（Ｎｉ（ＣＯＤ）_２と称する）を用いて、Ｂ−２７ＤＭとＮｉ（ＣＯＤ）_２とが１対１で反応したニッケル錯体（Ｂ−２７ＤＭ／Ｎｉ）を合成した。

（２）Ｂ−４２３／Ｎｉ錯体の合成
１）配位子Ｂ−４２３：２−ビス（２，６−ジメトキシフェニル）ホスファノ−６−（２，６−ジイソプロピルフェニル）フェノールの合成

以下のスキームに従って配位子Ｂ−４２３を合成した。
なお、以降の化学式中、−ＯＭＯＭとはメトキシメトキシ基（−ＯＣＨ_２ＯＣＨ_３）を表す。

（ｉ）化合物２の合成
特許文献ＷＯ２０１０／０５０２５６に従って合成した。

（ｉｉ）化合物３の合成
化合物２（２．６４ｇ、１０．０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（５．０ｍｌ）溶液にｉｓｏ−ＰｒＭｇＣｌ（２Ｍ、５．２５ｍｌ）を０℃で加えた。反応混合物を２５℃で１時間撹拌した後、ＰＣｌ_３（６１８ｍｇ、４．５０ｍｍｏｌ）を−７８℃で加えた。
反応混合物を２５℃まで３時間かけて昇温し、黄色懸濁液を得た。溶媒を減圧留去し、黄色固体を得た。この混合物を精製することなく、次の反応に用いた。

（ｉｉｉ）化合物５の合成
化合物４（３０ｇ、２２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（２５０ｍｌ）溶液にｎ−ＢｕＬｉ（２．５Ｍ、９６ｍｌ）を０℃で加え、３０℃で１時間撹拌した。この溶液にＢ（Ｏ^ｉＰｒ）_３（１２３ｇ、６５１ｍｍｏｌ）を−７８℃で加え、３０℃で２時間撹拌して白色懸濁液を得た。
塩酸（１Ｍ）を加えてｐＨ＝６〜７に調整し、有機層を濃縮して混合物を得た。
得られた混合物を石油エーテル（８０ｍｌ）で洗浄し、化合物５を２６ｇ得た。

（ｉｖ）化合物７の合成
化合物５（５．００ｇ、２７．５ｍｍｏｌ）、化合物６（４．４２ｇ、１８．３ｍｍｏｌ）、Ｐｄ_２（ｄｂａ）_３（１６８ｍｇ、０．１８３ｍｍｏｌ）、ｓ−Ｐｈｏｓ（２−ジシクロヘキシルホスフィノ−２’，６’−ジメトキシビフェニル）（３７６ｍｇ、０．９１６ｍｍｏｌ）、Ｋ_３ＰＯ_４（７．３５ｇ、３４．６ｍｍｏｌ）を反応容器に量りとり、トルエン（４０ｍｌ）を加えた。この溶液を１１０℃で１２時間反応させ、黒色懸濁液を得た。
Ｈ_２Ｏ（５０ｍｌ）を加え、ＥｔＯＡｃ（５５ｍｌ×３）で抽出した。
有機層を食塩水（２０ｍｌ）で洗浄してＮａ_２ＳＯ_４で脱水した。
有機層を濾過して溶媒を減圧留去した後、シリカゲルカラムで精製することにより１．３ｇのオイル状物質を得た。

（ｖ）化合物８の合成
化合物７（６．５ｇ、２２ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（４０ｍｌ）溶液にｎ−ＢｕＬｉ（２．５Ｍ、９．１５ｍｌ）を０℃で滴下し、３０℃に昇温して１時間撹拌した。この反応溶液を−７８℃に冷却してＣｕＣＮ（２．１ｇ，２３ｍｍｏｌ）を加え、３０℃で１時間撹拌した。
反応溶液を−７８℃に冷却して化合物３（６．７ｇ、２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（４０ｍｌ）溶液を加え、３０℃で１２時間撹拌して白色の懸濁液を得た。
懸濁液にＨ_２Ｏ（５０ｍｌ）を加えると白色沈殿が生じた。
白色沈殿を濾過で回収してジクロロメタン（２０ｍｌ）に溶解させ、アンモニア水（８０ｍｌ）を加えて３時間撹拌した。
生成物をジクロロメタン（５０ｍｌ×３）で抽出してＮａ_２ＳＯ_４で脱水した後、濃縮して黄色のオイル状物質を得た。このオイル状物質をシリカゲルカラムで精製し、化合物８を２．９ｇ得た。

（ｖｉ）Ｂ−４２３の合成
化合物８（２．９ｇ、４．８ｍｍｏｌ）のジクロロメタン（２０ｍｌ）溶液にＨＣｌ／ＥｔＯＡｃ（４Ｍ、５０ｍｌ）を０℃で加え、３０℃で２時間撹拌して淡黄色溶液を得た。
溶媒を減圧留去した後、ジクロロメタン（５０ｍｌ）を加えた。
飽和ＮａＨＣＯ_３水溶液（１００ｍｌ）で洗浄し、Ｂ−４２３を２．５ｇ得た。
得られた配位子Ｂ−４２３のＮＭＲ帰属値を以下に示す。
［ＮＭＲ］
^１Ｈ ＮＭＲ（ＣＤＣｌ_３、δ、ｐｐｍ）：７．４９（ｔ、１Ｈ）、７．３３（ｔ、１Ｈ）、７．２２（ｍ、４Ｈ）、６．９３（ｄ、１Ｈ）、６．８１（ｔ、１Ｈ）、６．４９（ｄｄ、４Ｈ）、６．４６（ｂｒ、１Ｈ）、３．５６（ｓ、１２Ｈ）、２．６３（ｓｅｐｔ、２Ｈ）、１．０５（ｄ、６Ｈ）、１．０４（ｄ、６Ｈ）；
^３１Ｐ ＮＭＲ（ＣＤＣｌ_３、δ、ｐｐｍ）：−６１．６（ｓ）．

２）Ｂ−４２３／Ｎｉ錯体の合成
以下の操作は、全て窒素雰囲気下で行った。
以下、ニッケルアセチルアセトンをＮｉ（ａｃａｃ）２と記載する。
Ｎｉ（ａｃａｃ）２（９０．０ｍｇ、０．３５ｍｏｌ）をトルエン（３０ｍＬ）に溶解させ、配位子として上記で得られたＢ−４２３（２００ｍｇ、０．３６ｍｍｏｌ）に加えた。
反応溶液を室温で１０分撹拌後、溶媒を減圧留去して濃赤紫色固体を得た。
この生成物をヘキサン（１０ｍＬ×２）で洗浄し、減圧乾燥することで赤紫色固体を得た（収量２４７ｇ、収率９９％）。得られた金属錯体のＮＭＲ帰属値を以下に示す。
［ＮＭＲ］
^１ＨＮＭＲ（Ｃ_６Ｄ_６，δ，ｐｐｍ）：７．６５（ｄ，１Ｈ）、７．２５−７．３５（ｍ，３Ｈ）、７．０７（ｔ，２Ｈ）、６．９７（ｄ，１Ｈ）、６．５１（ｔ，１Ｈ）、６．２６（ｄ，４Ｈ）、４．８３（ｂｒｓ，１Ｈ）、３．４４（ｓ，１２Ｈ）、３．１４（ｓｅｐｔ，２Ｈ）、１．４４（ｄ，６Ｈ）、１．２９（ｓ，６Ｈ）、１．２１（ｄ，６Ｈ）．

＜（製造例１〜３）：アイオノマーベース樹脂前駆体の製造＞
遷移金属錯体（Ｂ−２７ＤＭ／Ｎｉ錯体又はＢ−４２３／Ｎｉ錯体）を用いて、エチレン／アクリル酸ｔＢｕ共重合体、エチレン／アクリル酸ｔＢｕ／アクリル酸エステル共重合体、及びエチレン／アクリル酸ｔＢｕ／ノルボルネン共重合体を製造した。特開２０１６−７９４０８号公報に記載された製造例１又は製造例３を参考に共重合体の製造を行い、金属触媒種、金属触媒量、トリオクチルアルミニウム（TNOA）量、トルエン量、コモノマー種、コモノマー量、エチレン分圧、重合温度、重合時間など、適宜変更した製造条件及び製造結果を表１、得られた共重合体の物性を表２に示す。

＜（樹脂１〜樹脂３）：アイオノマーベース樹脂の製造＞
内容積１．６ｍ^３の攪拌翼付きＳＵＳ３１６Ｌ製のオートクレーブに、得られた製造例１〜製造例３の共重合体のうちいずれか１種を１００ｋｇとパラトルエンスルホン酸一水和物を２．０ｋｇ、トルエンを１７３Ｌ投入し、１０５℃で４時間撹拌した。イオン交換水１７３Ｌを投入し撹拌、静置した後、水層を抜き出した。以後、抜き出した水層のｐＨが５以上となるまで、イオン交換水の投入と抜き出しを繰り返し行った。残った溶液を４２ｍｍφベント装置付二軸押出機（Ｌ／Ｄ＝４５．５）に投入し、ベントを真空に引くことで溶媒を留去した。さらに押出機先端のダイスから連続的にストランドの形で押出される樹脂を水中で冷却しカッターで切断することにより樹脂のペレットを得た。
得られた樹脂のＩＲスペクトルにおいて、ｔＢｕ基に由来する８５０ｃｍ^−１付近のピークの消失及び、エステルのカルボニル基に由来する１７３０ｃｍ^−１付近のピークの減少と、カルボン酸（二量体）のカルボニル基に由来する１７００ｃｍ^−１付近のピークの増加を観測した。
これにより、t-Ｂｕエステルの分解及びカルボン酸の生成を確認し、アイオノマーベース樹脂１〜樹脂３を得た。得られた樹脂の物性を表３に示す。

＜実施例１〜５：アイオノマーの製造＞
１）Ｎａイオン供給源の作製
東芝機械製２６ｍｍφベント装置付き二軸押出機（Ｌ／Ｄ＝６４）に、エチレン／メタクリル酸（ＭＡＡ）共重合体（三井・ダウポリケミカル（株）製 銘柄：Ｎｕｃｒｅｌ Ｎ１０５０Ｈ）を５５ｗｔ％、炭酸ナトリウムを４５ｗｔ％の配合比率となるように連続的に投入し、バレル設定温度１５０℃、スクリュー回転数１５０ｒｐｍの混練条件で、混練中に発生するガス及び水を真空ポンプにてベント部分より除去しながら押出を行った。さらに押出機先端のダイスから連続的にストランドの形で押出される樹脂を水中で冷却しカッターで切断することによりＮａイオン供給源のペレットを得た。

２）Ｚｎイオン供給源の作製
東芝機械製２６ｍｍφベント装置付き二軸押出機（Ｌ／Ｄ＝６４）に、エチレン／メタクリル酸（ＭＡＡ）共重合体（三井・ダウポリケミカル（株）製 銘柄：Ｎｕｃｒｅｌ Ｎ１０５０Ｈ）を５４．５ｗｔ％、酸化亜鉛を４５ｗｔ％、ステアリン酸亜鉛を０．５ｗｔ％の配合比率となるように連続的に投入し、バレル設定温度１５０℃、スクリュー回転数１５０ｒｐｍの混練条件で、混練中に発生するガス及び水を真空ポンプにてベント部分より除去しながら押出を行った。さらに押出機先端のダイスから連続的にストランドの形で押出される樹脂を水中で冷却しカッターで切断することによりＺｎイオン供給源のペレットを得た。

３）：アイオノマーの作製
東芝機械製２６ｍｍφベント装置付き二軸押出機（Ｌ／Ｄ＝６５）に、樹脂１〜樹脂３のいずれか１種とＮａイオン供給源又はＺｎイオン供給源を所望の中和度となるような配合比率で連続的に投入し、バレル設定温度２００℃、スクリュー回転数１５０ｒｐｍの混練条件で、投入樹脂量１００部に対して４部の割合で水を注入しつつ、混練中に発生するガス及び水を真空ポンプにてベント部分より除去しながら押出を行った。さらに押出機先端のダイスから連続的にストランドの形で押出される樹脂を水中で冷却しカッターで切断することによりアイオノマーのペレットを得た。
得られた樹脂のＩＲスペクトルにおいて、カルボン酸（二量体）のカルボニル基に由来する１７００ｃｍ^−１付近のピークが減少し、カルボン酸塩基のカルボニル基に由来する１５６０ｃｍ^−１付近のピークが増加していた。カルボン酸（二量体）のカルボニル基に由来する１７００ｃｍ^−１付近のピークの減少量から所望の中和度のアイオノマーが作製できていることを確認した。得られたアイオノマーの物性を表４に示す。

（比較例１）：Ｅ／ＭＡＡベース二元アイオノマー
エチレンとメタクリル酸とメタクリル酸Ｎａの共重合体であって、高圧ラジカル法プロセスによって製造されたアイオノマー樹脂（三井・ダウポリケミカル（株）製 銘柄：ＨＩＭＩＬＡＮ（登録商標） ＨＩＭ１６０５）を参考アイオノマーとして用いた。物性を表４に示す。

（比較例２）：Ｅ／ＭＡＡベース二元アイオノマー
エチレンとメタクリル酸とメタクリル酸Ｚｎの共重合体であって、高圧ラジカル法プロセスによって製造されたアイオノマー樹脂（三井・ダウポリケミカル（株）製 銘柄：ＨＩＭＩＬＡＮ（登録商標） ＨＩＭ１６５２）を参考アイオノマーとして用いた。物性を表４に示す。

＜実施例と比較例の結果の考察＞
表４の比較より、本発明のアイオノマーと従来の高圧ラジカル法のアイオノマーでエキスパンド性の指標である引張破断伸びはほぼ同等の値であった。従って、エキスパンド性能について両者はほぼ同等であると言える。その一方で、摩耗量は本発明のアイオノマーを用いた場合では非常に小さくなっており、同時に切削屑数も少なくなっている。本発明の新規アイオノマーを用いたダイシングテープは、従来のアイオノマーを用いたダイシングテープと比較し、エキスパンド性は従来品レベルを維持しつつ、切削屑の低減の観点でより優れていると言える。

本開示のアイオノマーを用いたダイシングテープは、従来のアイオノマーを用いたダイシングテープと比較して、切削屑の低減の観点で優れる。

Claims (10)

1. 下記アイオノマーからなることを特徴とするダイシングテープ基材用樹脂。
   エチレン及び／又は炭素数３〜２０のα−オレフィンに由来する構造単位（Ａ）と、
   カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基を有するモノマーに由来する構造単位（Ｂ）を必須構成単位として含む共重合体（Ｐ）中の、カルボキシル基及び／又はジカルボン酸無水物基の少なくとも一部が周期表１族、２族、又は１２族から選ばれる少なくとも１種の金属イオンを含有する金属含有カルボン酸塩に変換されてなり、
   回転式レオメータで測定した複素弾性率の絶対値Ｇ^＊＝０．１ＭＰａにおける位相角δが、５０度〜７５度であることを特徴とするアイオノマー。
2. 前記共重合体（Ｐ）の^１３Ｃ−ＮＭＲにより算出されるメチル分岐数が、炭素１，０００個当たり５０個以下であることを特徴とする、請求項１に記載のダイシングテープ基材用樹脂。
3. 前記共重合体（Ｐ）の^１３Ｃ−ＮＭＲにより算出されるメチル分岐数が、炭素１，０００個当たり５個以下であることを特徴とする、請求項１に記載のダイシングテープ基材用樹脂。
4. 前記共重合体（Ｐ）が、共重合体中に前記構造単位（Ｂ）を２〜２０ｍｏｌ％含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイシングテープ基材用樹脂。
5. 前記構造単位（Ａ）が、エチレンに由来する構造単位であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイシングテープ基材用樹脂。
6. 前記共重合体（Ｐ）が周期表第８〜１１族の遷移金属を含む遷移金属触媒を用いて製造されることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載のダイシングテープ基材用樹脂。
7. 前記遷移金属触媒がリンスルホン酸又はリンフェノール配位子とニッケル又はパラジウムからなる遷移金属触媒であることを特徴とする、請求項６に記載のダイシングテープ基材用樹脂。
8. （ａ）請求項１〜７のいずれか１項に記載のダイシングテープ基材用樹脂と、（ｂ）ポリオレフィン樹脂とを含む、ダイシングテープ基材用樹脂組成物。
9. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のダイシングテープ基材用樹脂又は請求項８記載のダイシングテープ基材用樹脂組成物からなる層を少なくとも一層含むことを特徴とする、ダイシングテープ基材。
10. 請求項９に記載のダイシングテープ基材を有することを特徴とする、ダイシングテープ。

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