JP2020531894A - 材料経路を進む材料を捕捉するためのレセプタクル - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本出願は、2017年8月25日に出願された米国非仮特許出願(non-provisional patent application)番号第15/687,367号の優先権を主張する。これは援用により全体が本願に含まれる。
・放射ビームB(例えばEUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)IL
・パターニングデバイス(例えばマスク又はレチクル)MAを支持するように構成され、パターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MT
・基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、基板を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続されたサポートテーブル(例えばウェーハテーブル)WT
・パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば反射投影レンズシステム)PS
1.ステップモードでは、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに付与されたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち単一静的露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向に移動される。
2.スキャンモードでは、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに付与されるパターンがターゲット部分Cに投影される(すなわち単一動的露光)。支持構造MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって求めることができる。
3.別のモードでは、支持構造(例えばマスクテーブル)MTはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWTを移動又はスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWTを移動させる毎に、又はスキャン中に連続する放射パルスの間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに容易に利用できる。
1.ターゲット材料レセプタクルであって、
第1の方向に延出している通路を含む構造であって、通路はターゲット材料経路に沿って進むターゲット材料を受容するように構成されている、構造と、
通路からターゲット材料を受容するように構成され、複数の偏向器要素を含む偏向器システムであって、各偏向器要素はターゲット材料経路に沿って進むターゲット材料例の進行方向に対して第1の鋭角に配向され、偏向器システムにおける各偏向器要素は最も近くにある偏向器要素から第1の方向とは異なる第2の方向に沿ってある距離だけ分離されている、偏向器システムと、
を備えるターゲット材料レセプタクル。
2.構造は、通路に結合された内部を含むベース部を更に備える、条項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
3.偏向器システムの少なくとも一部はベース部の内部に位置決めされ、ベース部の側面は第1の方向に対してベース角度に傾斜しており、ベース部の側面は第2の方向に延出している、条項2に記載のターゲット材料レセプタクル。
4.各偏向器要素は、ターゲット材料経路に対して第1の鋭角に配向された第1の部分と、第1の部分から延出している端部と、を含み、端部はターゲット材料経路に対して実質的に平行に延出している先端を含む、条項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
5.各偏向器要素の端部は表面を含む本体を更に含み、本体の表面はターゲット材料経路に対して第2の鋭角を形成する、条項4に記載のターゲット材料レセプタクル。
6.第2の鋭角は第1の鋭角以下である、条項5に記載のターゲット材料レセプタクル。
7.各偏向器要素の第1の部分は第1の面内に延出しているプレートを含み、プレートは第1の面内における第1の寸法及び第2の面内における第2の寸法を有し、第2の面は第1の面に直交し、第2の寸法は第1の寸法よりも小さい、条項4に記載のターゲット材料レセプタクル。
8.ターゲット材料例は実質的に球形であると共にある直径を有し、各先端はターゲット材料例と相互作用するように構成された表面を有し、先端の表面は少なくとも1つの方向においてターゲット材料例の直径よりも小さい寸法を有する、条項4に記載のターゲット材料レセプタクル。
9.各偏向器要素は、偏向器要素の表面に対するターゲット材料の付着を低減するように構成された少なくとも1つの表面特徴部を含み、表面特徴部は、波形、特定のラフネスを有する領域、酸化領域、溝のパターン、及び/又は偏向器要素の表面の他の部分で用いられる材料とは異なる材料のコーティングを含む、条項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
10.任意の2つの隣接した偏向器要素間の第2の方向に沿った距離は同一である、条項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
11.第1の鋭角は偏向器要素の全てについて同一である、条項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
12.各偏向器要素はプレートであり、プレートのいずれか1つがプレートの他の全てと平行であるように偏向器要素は第2の方向に沿って分離されている、条項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
13.ターゲット材料レセプタクルは極端紫外線(EUV)光源における使用向けに構成され、ターゲット材料はプラズマ状態である場合にEUV光を放出する材料を含む、条項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
14.極端紫外線(EUV)光源であって、
光ビームを生成するように構成された光源と、
プラズマ形成位置で光ビームを受光するよう構成された容器と、
ターゲット経路に沿ってプラズマ形成位置の方へ進むターゲットを生成するように構成された供給システムと、
ターゲット材料レセプタクルであって、
第1の方向に延出している通路を含む構造であって、通路は、ターゲット経路を進みプラズマ形成位置を通過するターゲットを受容するように位置決めされている、構造と、
通路からターゲット材料を受容するように構成され、複数の偏向器要素を含む偏向器システムであって、各偏向器要素はターゲット材料経路に沿って進む材料例の進行方向に対して第1の鋭角に配向され、偏向器システムにおける各偏向器要素は最も近くにある偏向器要素から第1の方向とは異なる第2の方向に沿ってある距離だけ分離されている、偏向器システムと、
を備えるターゲット材料レセプタクルと、
を備えるEUV光源。
15.構造は、通路に結合された内部を含むベース部を更に備える、条項14に記載のEUV光源。
16.偏向器システムの少なくとも一部はベース部の内部に位置決めされ、ベース部の側面は第1の方向に対してベース角度に傾斜しており、ベース部の側面は第2の方向に延出している、条項14に記載のEUV光源。
17.各偏向器要素は、第1の鋭角に配向された第1の部分と、第1の部分から延出している端部と、を含み、端部はターゲット経路に対して実質的に平行に延出している先端を含む、条項14に記載のEUV光源。
18.各偏向器要素の端部は表面を含む本体を更に含み、本体の表面はターゲット方向に対して第2の鋭角を形成する、条項17に記載のEUV光源。
19.第2の鋭角は第1の鋭角以下である、条項18に記載のEUV光源。
20.極端紫外線(EUV)光源のための偏向器システムであって、
複数の偏向器要素であって、各偏向器要素は第1の方向に沿って延出している第1の部分と第1の部分から延出している第2の部分とを含み、第2の部分は第1の部分から先端の方へ延出している1つ以上の表面を含む本体を含む、複数の偏向器要素を備え、
偏向器システムは、第1の方向及びターゲット材料経路が第1の鋭角を形成し、第2の部分の本体の表面のうち少なくとも1つ及びターゲット材料経路が第2の鋭角を形成するように、EUV光源の容器内に位置決めされるよう構成され、ターゲット材料経路は容器内でターゲットが進む経路であり、ターゲットはプラズマ状態でEUV光を放出するターゲット材料を含み、
第2の鋭角はゼロ度よりも大きい、偏向器システム。
21.第1の鋭角はゼロ度である、条項20に記載の偏向器システム。
22.第1の部分の側面は局所重力ベクトルと実質的に位置合わせされて、EUV光源の容器内に位置決めされた場合に各偏向器要素の第1の部分の側面が鉛直の配向を有するようになっている、条項21に記載の偏向器システム。
23.第2の鋭角は第1の鋭角以下である、条項20に記載の偏向器システム。
24.複数の偏向器要素は、任意の2つの偏向器要素間に開いたチャネルが形成されるように相互に分離されている、条項20に記載の偏向器システム。
25.偏向器要素は相互に平行である、条項24に記載の偏向器システム。
Claims (25)
- ターゲット材料レセプタクルであって、
第1の方向に延出している通路を含む構造であって、前記通路はターゲット材料経路に沿って進むターゲット材料を受容するように構成されている、構造と、
前記通路からターゲット材料を受容するように構成され、複数の偏向器要素を含む偏向器システムであって、各偏向器要素は前記ターゲット材料経路に沿って進む前記ターゲット材料例の進行方向に対して第1の鋭角に配向され、前記偏向器システムにおける各偏向器要素は最も近くにある偏向器要素から前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿ってある距離だけ分離されている、偏向器システムと、
を備えるターゲット材料レセプタクル。 - 前記構造は、前記通路に結合された内部を含むベース部を更に備える、請求項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 前記偏向器システムの少なくとも一部は前記ベース部の前記内部に位置決めされ、前記ベース部の側面は前記第1の方向に対してベース角度に傾斜しており、前記ベース部の前記側面は前記第2の方向に延出している、請求項2に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 各偏向器要素は、前記ターゲット材料経路に対して前記第1の鋭角に配向された第1の部分と、前記第1の部分から延出している端部と、を含み、前記端部は前記ターゲット材料経路に対して実質的に平行に延出している先端を含む、請求項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 各偏向器要素の前記端部は表面を含む本体を更に含み、前記本体の表面は前記ターゲット材料経路に対して第2の鋭角を形成する、請求項4に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 前記第2の鋭角は前記第1の鋭角以下である、請求項5に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 各偏向器要素の前記第1の部分は第1の面内に延出しているプレートを含み、前記プレートは前記第1の面内における第1の寸法及び第2の面内における第2の寸法を有し、前記第2の面は前記第1の面に直交し、前記第2の寸法は前記第1の寸法よりも小さい、請求項4に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 前記ターゲット材料例は実質的に球形であると共にある直径を有し、各先端は前記ターゲット材料例と相互作用するように構成された表面を有し、前記先端の前記表面は少なくとも1つの方向において前記ターゲット材料例の前記直径よりも小さい寸法を有する、請求項4に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 各偏向器要素は、前記偏向器要素の表面に対するターゲット材料の付着を低減するように構成された少なくとも1つの表面特徴部を含み、前記表面特徴部は、波形、特定のラフネスを有する領域、酸化領域、溝のパターン、及び/又は前記偏向器要素の前記表面の他の部分で用いられる材料とは異なる材料のコーティングを含む、請求項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 任意の2つの隣接した偏向器要素間の前記第2の方向に沿った距離は同一である、請求項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 前記第1の鋭角は前記偏向器要素の全てについて同一である、請求項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 各偏向器要素はプレートであり、前記プレートのいずれか1つが前記プレートの他の全てと平行であるように前記偏向器要素は前記第2の方向に沿って分離されている、請求項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 前記ターゲット材料レセプタクルは極端紫外線(EUV)光源における使用向けに構成され、前記ターゲット材料はプラズマ状態である場合にEUV光を放出する材料を含む、請求項1に記載のターゲット材料レセプタクル。
- 極端紫外線(EUV)光源であって、
光ビームを生成するように構成された光源と、
プラズマ形成位置で前記光ビームを受光するよう構成された容器と、
ターゲット経路に沿って前記プラズマ形成位置の方へ進むターゲットを生成するように構成された供給システムと、
ターゲット材料レセプタクルであって、
第1の方向に延出している通路を含む構造であって、前記通路は、前記ターゲット経路を進み前記プラズマ形成位置を通過するターゲットを受容するように位置決めされている、構造と、
前記通路からターゲット材料を受容するように構成され、複数の偏向器要素を含む偏向器システムであって、各偏向器要素は前記ターゲット材料経路に沿って進む前記材料例の進行方向に対して第1の鋭角に配向され、前記偏向器システムにおける各偏向器要素は最も近くにある偏向器要素から前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿ってある距離だけ分離されている、偏向器システムと、
を備えるターゲット材料レセプタクルと、
を備えるEUV光源。 - 前記構造は、前記通路に結合された内部を含むベース部を更に備える、請求項14に記載のEUV光源。
- 前記偏向器システムの少なくとも一部は前記ベース部の前記内部に位置決めされ、前記ベース部の側面は前記第1の方向に対してベース角度に傾斜しており、前記ベース部の前記側面は前記第2の方向に延出している、請求項14に記載のEUV光源。
- 各偏向器要素は、前記第1の鋭角に配向された第1の部分と、前記第1の部分から延出している端部と、を含み、前記端部は前記ターゲット経路に対して実質的に平行に延出している先端を含む、請求項14に記載のEUV光源。
- 各偏向器要素の前記端部は表面を含む本体を更に含み、前記本体の表面は前記ターゲット方向に対して第2の鋭角を形成する、請求項17に記載のEUV光源。
- 前記第2の鋭角は前記第1の鋭角以下である、請求項18に記載のEUV光源。
- 極端紫外線(EUV)光源のための偏向器システムであって、
複数の偏向器要素であって、各偏向器要素は第1の方向に沿って延出している第1の部分と前記第1の部分から延出している第2の部分とを含み、前記第2の部分は前記第1の部分から先端の方へ延出している1つ以上の表面を含む本体を含む、複数の偏向器要素を備え、
前記偏向器システムは、前記第1の方向及びターゲット材料経路が第1の鋭角を形成し、前記第2の部分の前記本体の前記表面のうち少なくとも1つ及び前記ターゲット材料経路が第2の鋭角を形成するように、前記EUV光源の容器内に位置決めされるよう構成され、前記ターゲット材料経路は前記容器内でターゲットが進む経路であり、前記ターゲットはプラズマ状態でEUV光を放出するターゲット材料を含み、
前記第2の鋭角はゼロ度よりも大きい、偏向器システム。 - 前記第1の鋭角はゼロ度である、請求項20に記載の偏向器システム。
- 前記第1の部分の側面は局所重力ベクトルと実質的に位置合わせされて、前記EUV光源の前記容器内に位置決めされた場合に各偏向器要素の前記第1の部分の前記側面が鉛直の配向を有するようになっている、請求項21に記載の偏向器システム。
- 前記第2の鋭角は前記第1の鋭角以下である、請求項20に記載の偏向器システム。
- 前記複数の偏向器要素は、任意の2つの偏向器要素間に開いたチャネルが形成されるように相互に分離されている、請求項20に記載の偏向器システム。
- 前記偏向器要素は相互に平行である、請求項24に記載の偏向器システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/687,367 | 2017-08-25 | ||
US15/687,367 US10149374B1 (en) | 2017-08-25 | 2017-08-25 | Receptacle for capturing material that travels on a material path |
PCT/EP2018/071712 WO2019038103A1 (en) | 2017-08-25 | 2018-08-10 | RECEPTACLE FOR CAPTURING A MATERIAL MOVING ON A MATERIAL PATH |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020531894A true JP2020531894A (ja) | 2020-11-05 |
JP7159290B2 JP7159290B2 (ja) | 2022-10-24 |
Family
ID=63371663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020506823A Active JP7159290B2 (ja) | 2017-08-25 | 2018-08-10 | 材料経路を進む材料を捕捉するためのレセプタクル |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10149374B1 (ja) |
JP (1) | JP7159290B2 (ja) |
KR (1) | KR102629725B1 (ja) |
CN (1) | CN111034367B (ja) |
NL (1) | NL2021452A (ja) |
TW (1) | TWI812635B (ja) |
WO (1) | WO2019038103A1 (ja) |
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2017
- 2017-08-25 US US15/687,367 patent/US10149374B1/en active Active
-
2018
- 2018-08-10 KR KR1020207005471A patent/KR102629725B1/ko active IP Right Grant
- 2018-08-10 WO PCT/EP2018/071712 patent/WO2019038103A1/en active Application Filing
- 2018-08-10 NL NL2021452A patent/NL2021452A/en unknown
- 2018-08-10 JP JP2020506823A patent/JP7159290B2/ja active Active
- 2018-08-10 CN CN201880054900.0A patent/CN111034367B/zh active Active
- 2018-08-16 TW TW107128585A patent/TWI812635B/zh active
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Publication number | Publication date |
---|---|
US10149374B1 (en) | 2018-12-04 |
TW201922056A (zh) | 2019-06-01 |
CN111034367B (zh) | 2024-03-12 |
JP7159290B2 (ja) | 2022-10-24 |
WO2019038103A1 (en) | 2019-02-28 |
NL2021452A (en) | 2019-03-05 |
TWI812635B (zh) | 2023-08-21 |
CN111034367A (zh) | 2020-04-17 |
KR102629725B1 (ko) | 2024-01-25 |
KR20200041328A (ko) | 2020-04-21 |
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