JP2020529177A5

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Publication number: JP2020529177A5
Application number: JP2020527840A
Authority: JP
Filing date: 2018-07-25
Publication date: 2021-12-23
Anticipated expiration: 2038-07-25

Description

上述の誘導性−容量性フィルタ、システムおよび関連する方法に対し、本明細書の範囲から離れて変更を加えることができる。したがって、以上の説明内に含まれ添付図面内で示された事柄は、限定的な意味合いにおいてではなく例示的なものとして解釈されるべきであることは留意されるべきである。以下のクレームは、本明細書中に記載の包括的かつ具体的特徴、ならびに言語的にその間に入るものと言われる可能性のある当該フィルタ、方法およびシステムの範囲についての全ての陳述を網羅するように意図されている。
本明細書に開示される発明は以下の態様を含む。
〔態様１〕
誘導性−容量性フィルタにおいて、
巻回軸の周りに巻回された第１の絶縁性−導電性ストリップを含み、
前記第１の絶縁性−導電性ストリップは、第１の絶縁性ストリップと接合された第１の導電性ストリップを含む、誘導性−容量性フィルタ。
〔態様２〕
前記第１の導電性ストリップは、前記巻回軸の周りに前記第１の絶縁性ストリップと並行して巻回されている、態様１に記載の誘導性−容量性フィルタ。
〔態様３〕
前記第１の導電性ストリップは、金属箔で形成され、
前記第１の絶縁性ストリップは、誘電性材料で形成されている、
態様１に記載の誘導性−容量性フィルタ。
〔態様４〕
第１の導電性ストリップは、少なくとも２のアスペクト比を伴う断面部域を有する、態様１に記載の誘導性−容量性フィルタ。
〔態様５〕
前記第１の絶縁性−導電性ストリップは、前記誘導性−容量性フィルタを前記巻回軸の方向に沿って断面で見た場合に分かるように、内側アパーチャを形成する、態様１に記載の誘導性−容量性フィルタ。
〔態様６〕
前記内側アパーチャは、非円形形状を有する、態様５に記載の誘導性−容量性フィルタ。
〔態様７〕
前記内側アパーチャに配置された磁気コアをさらに含む、態様５に記載の誘導性−容量性フィルタ。
〔態様８〕
前記第１の導電性ストリップの相対する第１および第２の端部にそれぞれ電気的に結合された第１および第２の端子をさらに含む、態様１に記載の誘導性−容量性フィルタ。
〔態様９〕
前記巻回軸の周りに巻回された１つ以上の追加の絶縁性−導電性ストリップをさらに含み、各々の追加の絶縁性−導電性ストリップは、それぞれの絶縁性ストリップと共に巻回されたそれぞれの導電性ストリップを含む、態様１に記載の誘導性−容量性フィルタ。
〔態様１０〕
巻回軸の周りに同心的に巻回された第１および第２の絶縁性−導電性ストリップを含み、
前記第１の絶縁性−導電性ストリップは、第１の絶縁性ストリップと接合された第１の導電性ストリップを含み、
前記第２の絶縁性−導電性ストリップは、第２の絶縁性ストリップと接合された第２の導電性ストリップを含む、
誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様１１〕
前記第１の導電性ストリップは、前記巻回軸の周りに前記第１の絶縁性ストリップと並行して巻回されており、
前記第２の導電性ストリップは、前記巻回軸の周りに前記第２の絶縁性ストリップと並行して巻回されている、
態様１０に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様１２〕
前記第１の絶縁性−導電性ストリップは、前記第２の絶縁性−導電性ストリップに対し電気的に結合されている、態様１０に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様１３〕
前記第１の絶縁性−導電性ストリップは、前記誘導性−容量性フィルタアセンブリを巻回軸の方向に沿って断面で見た場合に分かるように、前記第２の絶縁性−導電性ストリップの内部に配置されている、態様１０に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様１４〕
前記巻回軸の周りに前記第１および第２の絶縁性−導電性ストリップと共に同心的に巻回されている第３の絶縁性−導電性ストリップをさらに含み、
前記第３の絶縁性−導電性ストリップは、第３の絶縁性ストリップと接合された第３の導電性ストリップを含み、
前記第１、第２および第３の絶縁性−導電性ストリップの各々は、それぞれの誘導性−容量性フィルタを形成し、
前記第１の絶縁性−導電性ストリップは、前記誘導性−容量性フィルタアセンブリを前記巻回軸の方向に沿って断面で見た場合に分かるように、前記第２の絶縁性−導電性ストリップの内部に配置されており、
前記第１および第２の絶縁性−導電性ストリップの各々は、前記誘導性−容量性フィルタアセンブリを前記巻回軸の方向に沿って断面で見た場合に分かるように、前記第３の絶縁性−導電性ストリップの内部に配置されている、
態様１０に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様１５〕
前記第１および第２の導電性ストリップの各々は、金属箔で形成されており、
前記第１および第２の絶縁性ストリップの各々は、誘電性材料で形成されている、
態様１０に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様１６〕
前記第１の導電性ストリップは、少なくとも２のアスペクト比を伴う断面部域を有し、
前記第２の導電性ストリップは、少なくとも２のアスペクト比を伴う断面部域を有する、
態様１０に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様１７〕
前記第１および第２の絶縁性−導電性ストリップの各々は、前記巻回軸の周りに多数の巻きを形成する、態様１０に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様１８〕
前記第１および第２の絶縁性−導電性ストリップの各々は、巻回軸の周りに異なるそれぞれの数の巻きを形成する、態様１０に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様１９〕
前記巻回軸の周りに前記第１および第２の絶縁性−導電性ストリップと共に同心的に巻回されている第３の絶縁性−導電性ストリップをさらに含み、
前記第３の絶縁性−導電性ストリップは、第３の絶縁性ストリップと接合された第３の導電性ストリップを含み、
前記第１、第２および第３の絶縁性−導電性ストリップの各々は、それぞれの誘導性−容量性フィルタを形成する、
態様１０に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
〔態様２０〕
態様１に記載の前記誘導性−容量性フィルタを含む、電気回路。
〔態様２１〕
前記第１の導電性ストリップの相対する第１および第２の端部は、前記電気回路の異なるそれぞれのノードに対して電気的に結合されている、態様２０に記載の電気回路。
〔態様２２〕
態様１に記載の前記誘導性−容量性フィルタと直列に電気的に結合された交流電源および直流電源のうちの少なくとも１つおよび負荷をさらに含む、態様２１に記載の電気回路。
〔態様２３〕
態様１０に記載の前記誘導性−容量性フィルタアセンブリを含み、
前記第１および第２の絶縁性−導電性ストリップの各々が、電気回路のそれぞれの分岐に対し電気的に結合されている、電気回路。
〔態様２４〕
前記第１および第２の絶縁性−導電性ストリップの各々は、電源とそれぞれの電気負荷の間に電気的に結合されている、態様２３に記載の電気回路。

Claims

誘導性−容量性フィルタアセンブリであって、
複数の絶縁性−導電性ストリップを含み、
該絶縁性−導電性ストリップの各々は、
（a)導電性ストリップと接合された絶縁性ストリップを有し、
（b)導電性ストリップの第１端子端部における電源および導電性ストリップの第２端子端部に接続された負荷に接続されるときに、共振周波数を中心とする周波数の信号を遮断するように、共通の巻回軸の周りに並行して巻回されている、
誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記複数の絶縁性−導電性ストリップは、一緒に層状にされ前記巻回軸の周りに巻回されている第１の絶縁性−導電性ストリップおよび第２の絶縁性−導電性ストリップからなり、
前記第１の絶縁性−導電性ストリップおよび前記第２の絶縁性−導電性ストリップの各々は、絶縁性−導電性ストリップの巻数、誘導性−容量性フィルタアセンブリの内部開口部のサイズおよび形状、絶縁性ストリップの誘電特性および厚さ、導電性ストリップの厚さ、絶縁性−導電性ストリップの幅、およびこれらの組み合わせのうちの1つ以上に応じて調整される、
請求項１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記導電性ストリップは、金属箔で形成され、
前記絶縁性ストリップは、誘電性材料で形成されている、
請求項１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記導電性ストリップは、少なくとも２のアスペクト比を伴う断面部域を有する、請求項１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記絶縁性−導電性ストリップの各々は、前記誘導性−容量性フィルタアセンブリを前記巻回軸の方向に沿って断面で見た場合に分かるように、内側アパーチャを形成する、請求項１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記内側アパーチャは、前記誘導性-容量性フィルタアセンブリを共振周波数に調整することに一部貢献する、サイズ及び非円形形状を有する、請求項５に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記誘導性-容量性フィルタアセンブリを共振周波数に部分的に調整する前記内側アパーチャに配置された磁気コアをさらに含む、請求項５に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記絶縁性−導電性ストリップの各々は、前記巻回軸の周りに複数の巻きを形成し、それぞれの共振周波数に調整することに貢献する、請求項１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記絶縁性−導電性ストリップの各々は、巻回軸の周りに異なるそれぞれの数の巻きであって、それぞれの共振周波数に調整することに貢献する数の巻きを形成する、請求項１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記巻回軸の周りに前記第１および第２の絶縁性−導電性ストリップと共に同心的に巻回されている第３の絶縁性−導電性ストリップをさらに含み、
前記第３の絶縁性−導電性ストリップは、第３の絶縁性ストリップと接合された第３の導電性ストリップを含み、
前記第１の絶縁性−導電性ストリップ、第２の絶縁性−導電性ストリップおよび第３の絶縁性−導電性ストリップの各々は、それぞれの誘導性−容量性フィルタを形成する、
請求項２に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記導電性ストリップの各々の前記第１端子端部は、共通の電源に電気的に接続される、請求項１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記第１端子端部及び前記第２端子端部は、電気回路の異なるノードに対して電気的に結合されている、請求項１１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記共通の電源は、交流電力源および直流電力源のうちの１つを含む、請求項１１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記絶縁性−導電性ストリップの各々は、電気回路のそれぞれの分岐に対し電気的に結合されている、請求項１に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
前記絶縁性−導電性ストリップの各々は、共通の電源とそれぞれの電気負荷の間に電気的に結合されている、請求項１４に記載の誘導性−容量性フィルタアセンブリ。
半導体処理装置であって、
少なくとも一つの負荷に接続された電源であって、電源と負荷との間で直列に電気的に接続された誘導性−容量性フィルタを備える電源を具備し、
前記誘導性−容量性フィルタは、
複数の絶縁性−導電性ストリップを有し、
該絶縁性−導電性ストリップの各々は、
（a)導電性ストリップと接合された絶縁性ストリップを有し、
（b)共振周波数を中心とする周波数を有する電源の信号を遮断するように、共通の巻回軸の周りに巻回されている、
半導体処理装置。
前記電源は、交流電力源および直流電力源のうちの１つを含む、請求項１６に記載の半導体処理装置。
前記少なくとも一つの負荷は、３つの負荷を含み、
前記３つの負荷の各々は、前記誘導性−容量性フィルタから電力を受領し、
各導電性ストリップの第１の端子端部は、前記電源に接続され、
各導電性ストリップの第２の端子端部は、３つの負荷の一つに一意的に接続される、
請求項１７に記載の半導体処理装置。