JP2020526911A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. コントローラを用い、第１の検査チャネルからの複数個のダイ画像を統計的に融合することで第１のダイ融合画像を形成するステップであり、前記第１の検査チャネルからの各ダイ画像が別々のダイのものであり、前記第１の検査チャネルからの前記複数個のダイ画像が少なくとも１０個の前記ダイ画像を含み、前記第１の検査チャネルからの前記ダイ画像における各ダイが、前記ダイどうし互いにダイ５個分より少なく離れている、ステップと、
   前記コントローラを用い、第２の検査チャネルからの複数個のダイ画像を統計的に融合することで第２のダイ融合画像を形成するステップであり、前記第２の検査チャネルからの各ダイ画像が別々のダイのものであり、前記第２の検査チャネルからの当該複数個のダイ画像が少なくとも１０個の前記ダイ画像を含み、前記第２の検査チャネルからの前記ダイ画像における各ダイが、前記ダイどうし互いにダイ５個分より少なく離れ、リピータ欠陥の信号が、前記第１の複数のダイ画像に比べて前記第１のダイ融合画像において、または前記第２の複数のダイ画像に比べて前記第２のダイ融合画像において増幅されている、ステップと、
   前記コントローラを用い、前記第１のダイ融合画像と前記第２のダイ融合画像とを統計的に融合してダイチャネル融合画像を形成するステップと、
   前記コントローラを用い前記ダイチャネル融合画像における前記リピータ欠陥の存在を、統計的画像処理によって検出するステップと、
   を有する方法。
2. 請求項１に記載の方法であって、前記統計的な融合において信号が融合される方法。
3. 請求項１に記載の方法であって、前記統計的な融合において信号対雑音比が融合される方法。
4. 請求項１に記載の方法であって、前記第１の検査チャネルが明視野検査チャネルであり、前記第２の検査チャネルが暗視野検査チャネルである方法。
5. 請求項１に記載の方法であって、各ダイ画像が単一ウェハからのものである方法。
6. 請求項１に記載の方法であって、更に、前記コントローラを用い背景を減ずるステップと、前記コントローラを用い背景雑音に関しスケーリングするステップと、を有する方法。
7. 請求項１に記載の方法であって、前記第１の検査チャネルから及び前記第２の検査チャネルからの前記ダイ画像が、レーザ検査と広帯域プラズマ検査のうち少なくとも一方を用い形成される方法。
8. 請求項１に記載の方法であって、前記リピータ欠陥がレティクル欠陥によって生じる方法。
9. 請求項１に記載の方法であって、前記コントローラを用い、前記第１の検査チャネル及び前記第２の検査チャネルからの前記複数のダイ画像の画素強度を前処理するステップをさらに含み、前記前処理では画像背景についての統計を用いる、方法。
10. 請求項１に記載の方法であって、前記統計的画像処理が、前記第１の検査チャネルからの前記ダイ画像及び前記第２の検査チャネルからの前記ダイ画像のそれぞれにおける前記リピータ欠陥の閾値処理および空間的相関にもとづく、方法。
11. 請求項１に記載の方法であって、前記閾値処理には前記第１の検査チャネルからの前記ダイ画像及び前記第２の検査チャネルからの前記ダイ画像間の画素値の相対強度を用いる、方法。
12. プログラムが格納された非一時的コンピュータ可読媒体であって、
    第１の検査チャネルからの複数個のダイ画像を統計的に融合することで第１のダイ融合画像を形成することであり、前記第１の検査チャネルからの各ダイ画像を別々のダイのものとし、前記第１の検査チャネルからの前記複数個のダイ画像が少なくとも１０個の前記ダイ画像を含み、前記第１の検査チャネルからの前記ダイ画像における各ダイが、前記ダイどうし互いにダイ５個分より少なく離れていること、
    第２の検査チャネルからの複数個のダイ画像を統計的に融合することで第２のダイ融合画像を形成することであり、前記第２の検査チャネルからの各ダイ画像が別々のダイのものであり、前記第２の検査チャネルからの当該複数個のダイ画像が少なくとも１０個の前記ダイ画像を含み、前記第２の検査チャネルからの前記ダイ画像における各ダイが、記ダイどうし互いにダイ５個分より少なく離れ、リピータ欠陥の信号が、前記第１の複数のダイ画像に比べて前記第１のダイ融合画像において、または前記第２の複数のダイ画像に比べて前記第２のダイ融合画像において増幅されていること、
    前記第１のダイ融合画像と前記第２のダイ融合画像とを統計的に融合してダイチャネル融合画像を形成すること、並びに
    統計的画像処理を用いて前記ダイチャネル融合画像における前記リピータ欠陥の存在を検出すること、
    をプロセッサに指令するようそのプログラムが構成されている非一時的コンピュータ可読媒体。
13. 請求項１２に記載の非一時的コンピュータ可読媒体であって、信号を融合させることで前記複数個のダイ画像が統計的に融合される非一時的コンピュータ可読媒体。
14. 請求項１２に記載の非一時的コンピュータ可読媒体であって、信号対雑音比を融合させることで前記複数個のダイ画像が統計的に融合される非一時的コンピュータ可読媒体。
15. 請求項１２に記載の非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記第１の検査チャネルが明視野検査チャネルであり、前記第２の検査チャネルが暗視野検査チャネルである非一時的コンピュータ可読媒体。
16. 請求項１２に記載の非一時的コンピュータ可読媒体であって、各ダイ画像が単一ウェハからのものである非一時的コンピュータ可読媒体。
17. 請求項１２に記載の非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記プログラムが、更に、背景を減じること並びに背景雑音に関しスケーリングすることを前記プロセッサに指令するよう構成されている非一時的コンピュータ可読媒体。
18. ウェハを保持するよう構成されたチャックと、
    光ビームを発生する計測システムであって、前記チャック上のウェハを検査するよう構成されており、レーザ源と広帯域プラズマ源のいずれかを含み、少なくとも第１の検査チャネルと第２の検査チャネルとを有する計測システムと、
    プロセッサ、メモリ及び通信ポートを有し前記計測システムと電子通信するコントローラと、
    を備え、前記コントローラが、
    第１の検査チャネルからの複数個のダイ画像を統計的に融合することで第１のダイ融合画像を形成し、前記第１の検査チャネルからの各ダイ画像を別々のダイのものとし、前記第１の検査チャネルからの前記複数個のダイ画像が少なくとも１０個の前記ダイ画像を含み、前記第１の検査チャネルからの前記ダイ画像における各ダイが、前記ダイどうし互いにダイ５個分より少なく離れているように、
    第２の検査チャネルからの複数個のダイ画像を統計的に融合することで第２のダイ融合画像を形成し、前記第２の検査チャネルからの各ダイ画像が別々のダイのものであり、前記第２の検査チャネルからの当該複数個のダイ画像が少なくとも１０個の前記ダイ画像を含み、前記第２の検査チャネルからの前記ダイ画像における各ダイが、前記ダイどうし互いにダイ５個分より少なく離れ、リピータ欠陥の信号が、前記第１の複数のダイ画像に比べて前記第１のダイ融合画像において、または前記第２の複数のダイ画像に比べて前記第２のダイ融合画像において増幅されているように、
    前記第１のダイ融合画像と前記第２のダイ融合画像とを統計的に融合してダイチャネル融合画像を形成するように、並びに
    前記ダイチャネル融合画像における前記リピータ欠陥の存在を検出するように、
    構成されているシステム。
19. 請求項１８に記載のシステムであって、前記第１の検査チャネルが明視野検査チャネルであり、前記第２の検査チャネルが暗視野検査チャネルであるシステム。