JP2020526746A - 偏光レティクル検査方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願では2017年7月1日付米国仮特許出願第62/528038号に基づき優先権を主張しており、同出願は参照によりその全容が目的を問わず本願に繰り入れられている。
J1(δ1,θ1)
及び
J2(δ2,θ2)
で記述することができ、これらは、対応する波長板リターダンスパラメタδ1,δ2と、対応する遅相軸方位角θ1,θ2であり図1中のxyz座標に従い定義されたそれと、の関数となっている。
A0=cos(δ2/2)cos(δ1/2)−sin(δ2/2)sin(δ1/2)cos(2(θ1−θ2))
A1=cos(δ2/2)sin(δ1/2)cos(2θ1)+sin(δ2/2)cos(δ1/2)cos(2θ2)
A2=sin(δ2/2)sin(δ1/2)sin(2(θ1−θ2))
A3=cos(δ2/2)sin(δ1/2)sin(2θ1)+sin(δ2/2)cos(δ1/2)sin(2θ2)
J2(δ2,−θ2)・J1(δ1,−θ1)
となる。PBSより前でのジョーンズベクトルは
Claims (20)
- 標本の検査向けに偏光を制御及び計測するシステムであって、
照明光を生成し標本へと差し向ける照明光学系サブシステムであり、その照明光の偏光状態を制御する2個以上の照明側偏光部材を有する照明光学系サブシステムと、
前記照明光に応じ前記標本の非パターン化エリアからもたらされる出射光を集光する集光光学系サブシステムであり、標本又はその付近における照明光の偏光状態を計測する少なくとも第1及び第2集光側偏光部材、並びにそれら第1及び第2集光側偏光部材により偏光状態が調整された後に当該出射光を検出するセンサ、を備える集光光学系サブシステムと、
コントローラと、
を備え、そのコントローラが、
本システムを特定の動作モードにセットアップする動作と、
第2集光側偏光部材を静止状態に保ちながら複数通りの回動を通じ第1集光側偏光部材をインクリメントさせる動作と、
第1集光側偏光部材の回動毎に前記センサで強度信号を計測する動作と、
第1集光側偏光部材を静止状態に保ちながら複数通りの回動を通じ第2集光側偏光部材をインクリメントさせる動作と、
第2集光側偏光部材の回動毎に前記センサで強度信号を計測する動作と、
本システムに係る複数の偏光状態及び偏光部材パラメタのモデルであり、第1及び/又は第2集光側偏光部材の回動毎に計測された強度信号を模擬するものを、生成する動作と、
前記モデルに依拠し本システム向けの偏光状態及び偏光部材パラメタを特定する動作と、
を実行するよう構成されているシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記標本がフォトマスクであり、照明光学系サブシステムが、透過光(TL)モードにおいてその標本内に通される照明光を生成する1個又は複数個の光源を有し、少なくとも第1及び第2集光側偏光部材が第1及び第2波長板を備え、本システムがTLモードにセットアップされ、且つ、まずモデルがジョーンズ計算法に依拠し生成され、それを用いることで、第1波長板に係るリターダンス値と、第1波長板・第2波長板間における偏光状態とが、第1波長板の回動毎の計測を踏まえ特定され、次いでモデルを用い、第2波長板のリターダンスと標本又はその付近における偏光状態とが、第2波長板の回動毎の計測と、第1波長板につき特定されたリターダンス及びその静止時回動ポジションとを踏まえ、特定されるシステム。 - 請求項2に記載のシステムであって、
第1波長板が可回動な1/4波長板、第2波長板が可回動な3/8波長板であり、その3/8波長板が前記標本からの出射光を受光するよう配置されていて、その後に同3/8波長板からの出射光が同1/4波長板により受光されるシステム。 - 請求項3に記載のシステムであって、
照明光学系サブシステムが、反射光(RL)モードにおいて前記標本で反射される照明光を生成する1個又は複数個の光源を有し、集光光学系サブシステムが、前記1/4波長板からの出射光を受光しその出射光のうちy偏光成分のみを前記センサへと伝搬させる偏光ビームスプリッタ(PBS)を有し、そのPBSが、反射光(RL)モードでは照明光のうちx偏光成分のみをその標本へと反射させるよう配列及び構成されているシステム。 - 請求項4に記載のシステムであって、
前記標本又はその付近における前記照明光の偏光状態が照射野位置の関数として特定されるシステム。 - 請求項4に記載のシステムであって、
第1及び第2波長板が照明側偏光部材のうち少なくとも幾つかと同じものであり、前記コントローラが、更に、
本システムをRLモードにセットアップする動作と、
RLモードにて、第2波長板を静止状態に保ちながら複数通りの回動を通じ第1波長板をインクリメントさせる動作と、
RLモードにて、第1波長板の回動毎に前記センサで強度信号を計測する動作と、
RLモードにて、第1及び第2波長板のリターダンスを含め本システムに係る複数の偏光及び波長板パラメタのモデルであり、第1波長板の回動毎に計測された強度信号を模擬するものを、ジョーンズ計算法に依拠して生成する動作と、
RLモードにて、前記標本又はその付近における照明偏光状態を、第1及び第2波長板につき特定されたリターダンスと第1波長板の回動とを踏まえて特定する動作と、
を実行するよう構成されているシステム。 - 請求項6に記載のシステムであって、
前記コントローラが、更に、RLモードにて、第2波長板のリターダンスの正弦波的挙動を回動の関数としてモデル化するよう、且つそのモデル化された正弦波的挙動に基づき本システムの対物系のリターダンスから第2波長板の実リターダンスを分離するよう、構成されているシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
少なくとも第1及び第2集光側偏光部材が、半波長以上のリターダンス総和を呈する複数枚の波長板を備えるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
集光光学系サブシステムが、出射光が検出される検出平面を複数個有し、前記コントローラが、更に、それら複数個の検出平面における計測に係る偏光状態及び偏光部材パラメタをモデル化及び特定するよう、且つそれら複数個の検出平面から特定された偏光状態及び偏光部材パラメタを平均化するよう、構成されているシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記モデルがジョーンズ計算法に依拠していて、且つ非線形最小自乗当て嵌めプロセスを用い偏光状態及び偏光部材パラメタを特定するモデルであるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、
前記コントローラが、更に、特定された偏光状態及び偏光部材パラメタに基づき前記標本又はその付近における複数の偏光状態を模擬するよう、且つ第1及び第2集光側偏光部材に関し回動を選択することである特定方位の直線偏光をその標本にもたらすよう構成されているシステム。 - 標本の検査向けに偏光を制御及び計測する方法であって、
検査システムを特定の動作モードにセットアップするステップと、
前記システムの第2偏光部材を静止状態に保ちながら複数通りの回動を通じ同システムの第1偏光部材をインクリメントさせるステップと、
第1偏光部材の回動毎に前記標本の非パターン化エリアからの強度信号を計測するステップと、
第1偏光部材を静止状態に保ちながら複数通りの回動を通じ第2偏光部材をインクリメントさせるステップと、
第2偏光部材の回動毎に前記標本の非パターン化エリアからの強度信号を計測するステップと、
前記システムに係る複数の偏光状態及び偏光部材パラメタのモデルであり、第1及び/又は第2偏光部材の回動毎に計測された強度信号を模擬するものを、生成するステップと、
前記モデルに依拠し前記システム向けの偏光状態及び偏光部材パラメタを特定するステップと、
を有する方法。 - 請求項12に記載の方法であって、
前記システムが透過光(TL)モードにセットアップされ、第1及び第2偏光部材が第1及び第2波長板であり、前記標本がフォトマスクであり、且つ、まずモデルが生成され、それを用いることで、第1波長板に係るリターダンス値と、第1・第2波長板間における偏光状態とが、その第1波長板の回動毎の計測を踏まえ特定され、次いでモデルを用い、第2波長板のリターダンスと標本又はその付近における照明偏光状態とが、その第2波長板の回動毎の計測と、第1波長板につき特定されたリターダンス及びその静止時回動ポジションとを踏まえ、特定される方法。 - 請求項13に記載の方法であって、
第1波長板が可回動な1/4波長板、第2波長板が可回動な3/8波長板であり、その3/8波長板が前記標本からの出射光を受光するよう配置されていて、その後に同3/8波長板からの出射光が同1/4波長板により受光される方法。 - 請求項14に記載の方法であって、
出射光のうちy偏光成分のみが計測され、RLモードでは照明光のうちx偏光成分のみが標本に向かう方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記標本又はその付近における照明偏光状態が照射野位置の関数として特定される方法。 - 請求項15に記載の方法であって、更に、
前記システムをRLモードにセットアップするステップと、
RLモードにて、第2波長板を静止状態に保ちながら複数通りの回動を通じ第1波長板をインクリメントさせるステップと、
RLモードにて、第1波長板の回動毎に強度信号を計測するステップと、
RLモードにて、第1及び第2波長板のリターダンスを含め複数の偏光状態及び波長板パラメタのモデルであり、第1波長板の回動毎に計測された強度信号を模擬するものを、ジョーンズ計算法に依拠して生成するステップと、
RLモードにて、前記標本又はその付近における照明偏光状態を、第1及び第2波長板につき特定されたリターダンスと第1波長板の回動とを踏まえ、特定するステップと、
を有する方法。 - 請求項17に記載の方法であって、更に、
RLモードにて、第2波長板のリターダンスの正弦波的挙動を回動の関数としてモデル化するステップと、そのモデル化された正弦波的挙動に基づき前記システムの対物系のリターダンスから第2波長板の実リターダンスを分離するステップと、を有する方法。 - 請求項12に記載の方法であって、
前記モデルがジョーンズ計算法に依拠していて、且つ非線形最小自乗当て嵌めプロセスを用い偏光状態及び偏光部材パラメタを特定するモデルである方法。 - 請求項12の方法であって、更に、
特定された偏光状態及び偏光部材パラメタに基づき前記標本又はその付近における複数の偏光状態を模擬するステップと、第1及び第2集光側偏光部材に関し回動を選択することである特定方位の直線偏光をその標本にもたらすステップと、を有する方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762528038P | 2017-07-01 | 2017-07-01 | |
US62/528,038 | 2017-07-01 | ||
US15/795,089 | 2017-10-26 | ||
US15/795,089 US10168273B1 (en) | 2017-07-01 | 2017-10-26 | Methods and apparatus for polarizing reticle inspection |
PCT/US2018/040433 WO2019010093A1 (en) | 2017-07-01 | 2018-06-29 | METHODS AND APPARATUS FOR POLARIZED RETICULAR INSPECTION |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020526746A true JP2020526746A (ja) | 2020-08-31 |
JP2020526746A5 JP2020526746A5 (ja) | 2021-08-05 |
JP7053683B2 JP7053683B2 (ja) | 2022-04-12 |
Family
ID=64736637
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019571481A Active JP7053683B2 (ja) | 2017-07-01 | 2018-06-29 | 偏光レティクル検査方法及び装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10168273B1 (ja) |
EP (1) | EP3635375B1 (ja) |
JP (1) | JP7053683B2 (ja) |
KR (1) | KR102315797B1 (ja) |
CN (1) | CN110832307B (ja) |
TW (1) | TWI746863B (ja) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190003960A1 (en) | 2019-01-03 |
TW201907229A (zh) | 2019-02-16 |
JP7053683B2 (ja) | 2022-04-12 |
CN110832307B (zh) | 2021-09-10 |
WO2019010093A1 (en) | 2019-01-10 |
KR20200015822A (ko) | 2020-02-12 |
US10168273B1 (en) | 2019-01-01 |
KR102315797B1 (ko) | 2021-10-20 |
CN110832307A (zh) | 2020-02-21 |
EP3635375A1 (en) | 2020-04-15 |
EP3635375B1 (en) | 2024-02-14 |
TWI746863B (zh) | 2021-11-21 |
EP3635375A4 (en) | 2021-03-03 |
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