JP2020506546A - インプリントリソグラフィプロセスにおける光学層の構成 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、米国仮出願第62/453,249号(2017年2月1日出願)の出願日の利益を主張する。米国仮出願第62/453,249号の内容は、その全体が参照により本明細書に引用される。
(技術分野)
Claims (21)
- 光学層を構成するインプリントリソグラフィ方法であって、前記インプリントリソグラフィ方法は、
液滴の組が基板上に形成された機能的パターンに接触しないような様式で、前記基板の側面の上に液滴の組を堆積させることと、
前記液滴の組を硬化させ、前記基板の側面に関連付けられたスペーサ層を形成することと
を含み、
前記スペーサ層は、前記スペーサ層が、前記基板に隣接し、前記機能的パターンから間隔を置かれた位置で前記液滴の組に及ぶ表面を支持できるように選択された高さを有する、インプリントリソグラフィ方法。 - 前記液滴の組のうちの各液滴は、約1pL〜約100pLの体積を有する、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- ドロップオンデマンドプログラミング方式を生成することをさらに含む、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 印刷スクリーンを提供することをさらに含む、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記基板上に前記機能的パターンをインプリントすることをさらに含む、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記基板の前記側面の上に前記液滴の組を堆積させることは、前記基板の前記側面の上に重合性物質の液滴体積を分注することを含む、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記液滴の組は、液滴の第1の組であり、前記インプリントリソグラフィ方法は、
前記基板の側面の上に直接、前記液滴の第1の組のうちの各滴を堆積させることと、
前記基板の側面の上に直接、前記液滴の第1の組を硬化させることと
をさらに含む、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。 - 前記液滴の第1の組のうちの各液滴は、約0.5μm〜約20.0μmの硬化高さを有する、請求項7に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記液滴の第1の組が硬化させられた後、
前記基板の前記側面の上に液滴の第2の組を堆積させることであって、前記液滴の第2の組のうちの各液滴は、それぞれ、前記液滴の第1の組のうちの液滴の上に直接分注される、ことと、
前記液滴の第1の組の上に直接、前記液滴の第2の組を硬化させ、前記スペーサ層の高さを増加させることと
をさらに含む、請求項7に記載のインプリントリソグラフィ方法。 - 前記液滴の第1の組における液滴の第1の数は、前記スペーサ層が一様な高さを有するように、前記液滴の第2の組における液滴の第2の数に等しい、請求項9に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記液滴の第1の組における液滴の第1の数は、前記スペーサ層が可変高さを有するように、前記液滴の第2の組における液滴の第2の数に等しくない、請求項9に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記スペーサ層は、楔形状を有する、請求項11に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記機能的パターンは、前記基板の前記側面上にインプリントされる、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記機能的パターンは、前記基板の前記側面の内部領域に沿ってインプリントされ、前記インプリントリソグラフィ方法は、前記基板の前記側面の周辺縁に沿って前記液滴の組を堆積させることをさらに含む、請求項13に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記基板の前記側面は、前記基板の第1の側面であり、前記機能的パターンは、前記基板の前記第1の側面の反対側である前記基板の第2の側面上にインプリントされる、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記基板の第1の側面の全体にわたって前記液滴の組を堆積させることをさらに含む、請求項15に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記スペーサ層が前記基板と前記表面との間に間隙を形成するように、前記基板を前記液滴の組において前記基板に隣接する前記表面に取り付けることをさらに含む、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記間隙は、低屈折率領域を提供する、請求項17に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記低屈折率領域は、1の屈折率を有する空気を備えている、請求項18に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 1.3〜1.6の範囲の屈折率を有する重合性材料で前記間隙を充填することをさらに含む、請求項17に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 光学層であって、前記光学層は、
基板と、
前記基板上に形成された機能的パターンと、
前記基板の側面上に配置され、前記機能的パターンから間隔を置かれた硬化させられた液滴の組と
を備え、
前記硬化させられた液滴の組は、前記基板の前記側面に関連付けられたスペーサ層を形成し、前記スペーサ層は、前記スペーサ層が、前記基板に隣接し、前記機能的パターンから間隔を置かれた位置で前記硬化させられた液滴の組に及ぶ表面を支持できるように選択された高さを有する、光学層。
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CN116449646A (zh) | 2017-02-01 | 2023-07-18 | 分子印记公司 | 在压印光刻工艺中配置光学层 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004006643A (ja) * | 2002-01-31 | 2004-01-08 | Hewlett Packard Co <Hp> | スペーサ技術を用いるナノサイズインプリント用スタンプ |
JP2009533885A (ja) * | 2006-04-17 | 2009-09-17 | オムニビジョン シーディーエム オプティクス, インコーポレイテッド | アレイ化撮像システムおよび関連方法 |
JP2010260272A (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Toyo Gosei Kogyo Kk | パターン形成方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2751427B2 (ja) * | 1989-06-27 | 1998-05-18 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US5324683A (en) | 1993-06-02 | 1994-06-28 | Motorola, Inc. | Method of forming a semiconductor structure having an air region |
US6335149B1 (en) * | 1997-04-08 | 2002-01-01 | Corning Incorporated | High performance acrylate materials for optical interconnects |
US6396559B1 (en) | 1998-11-17 | 2002-05-28 | Sharp Kabushiki Kaisha | LCD including spacers used in combination with polymer walls |
CA2375365A1 (en) * | 1999-05-27 | 2001-02-15 | Patterning Technologies Limited | Method of forming a masking pattern on a surface |
JP2001083528A (ja) * | 1999-09-13 | 2001-03-30 | Canon Inc | 液晶素子及びその製造方法及びスペーサー付き基板及びその製造方法 |
US7399574B2 (en) * | 2001-09-28 | 2008-07-15 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Curable resin for photo-patterning, process for producing the same, curable resin composition, color filter, liquid crystal panel substrate, and liquid crystal panel |
KR100508908B1 (ko) * | 2003-01-22 | 2005-08-17 | 주식회사 엘지화학 | 스페이서 형성용 잉크 조성물 및 이를 이용한 스페이서 |
WO2005012991A1 (en) | 2003-08-04 | 2005-02-10 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Display device and method for manufacturing a display device |
US20050069678A1 (en) * | 2003-09-25 | 2005-03-31 | General Electric Company | Joined multi functional optical device |
TWI260431B (en) * | 2004-02-18 | 2006-08-21 | Hannstar Display Corp | Color filter substrate and fabricating method thereof |
US7354698B2 (en) * | 2005-01-07 | 2008-04-08 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
KR100612292B1 (ko) * | 2005-03-22 | 2006-08-11 | 한국기계연구원 | 디스펜서를 이용한 대면적 스탬프의 제조방법과 이를이용한 복제몰드의 제조방법 |
CN101802694B (zh) * | 2007-09-05 | 2012-07-11 | 日立化成工业株式会社 | 液晶显示装置用间隔物的制造方法、间隔物形成用油墨、以及液晶显示装置及其制造方法 |
NL2003875A (en) * | 2009-02-04 | 2010-08-05 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithography method and apparatus. |
WO2011096700A2 (en) | 2010-02-02 | 2011-08-11 | Samsung Techwin Co., Ltd. | Touch panel and method of manufacturing the same |
JP2012030590A (ja) * | 2010-07-01 | 2012-02-16 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 表面形状転写樹脂シートの製造方法 |
JP5641412B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2014-12-17 | 大日本印刷株式会社 | 着色層用樹脂組成物およびそれを用いたカラーフィルタの製造方法 |
JP2013029741A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 液晶表示装置及びその製造方法 |
TWI432798B (zh) * | 2011-10-03 | 2014-04-01 | Benq Materials Corp | 彩色濾光片及其製造方法 |
EP3396446B1 (en) * | 2013-03-22 | 2020-06-03 | Vlyte Innovations Limited | An electrophoretic device having a transparent light state |
JP6606369B2 (ja) * | 2015-07-21 | 2019-11-13 | 株式会社Soken | 物体検出装置及び物体検出方法 |
JP6663250B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2020-03-11 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
CA3045096C (en) * | 2016-12-02 | 2023-04-25 | Molecular Imprints, Inc. | Configuring optical layers in imprint lithography processes |
CN116449646A (zh) | 2017-02-01 | 2023-07-18 | 分子印记公司 | 在压印光刻工艺中配置光学层 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004006643A (ja) * | 2002-01-31 | 2004-01-08 | Hewlett Packard Co <Hp> | スペーサ技術を用いるナノサイズインプリント用スタンプ |
JP2009533885A (ja) * | 2006-04-17 | 2009-09-17 | オムニビジョン シーディーエム オプティクス, インコーポレイテッド | アレイ化撮像システムおよび関連方法 |
JP2010260272A (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Toyo Gosei Kogyo Kk | パターン形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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