JP2020505647A - 非ゼロオフセット予測を伴うオーバレイ制御 - Google Patents
非ゼロオフセット予測を伴うオーバレイ制御 Download PDFInfo
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Abstract
Description
本願は、「オーバレイ制御における非ゼロオフセット予測」(NON ZERO OFFSET PREDICTION IN OVERLAY CONTROL)と題しMike Adel、Amnon Manassen、Bill Pierson、Ady Levy、Pradeep Subrahmanyan、Liran Yerushalmi、Dongsub Choi、Hoyoung Heo、Dror Alumot及びJohn Robinsonを発明者とする2017年1月25日付米国仮特許出願第62/450454号に基づき米国特許法第119条(e)の規定による利益を主張する出願であるので、この参照を以てその全容を本願に繰り入れることにする。
Claims (39)
- 現在層を作成するリソグラフィツールに可通信結合され制御パラメタを供給してその現在層と1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を指定仕様内に保つよう構成されたコントローラを備え、そのコントローラが、プログラム命令を実行するよう構成された1個又は複数個のプロセッサを有し、それらプログラム命令が、当該1個又は複数個のプロセッサに、
現在層向けリソグラフィ工程の後にADIツールから現像後検査(ADI)データを受け取らせ、但しそのADIデータが、その現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示すADIオーバレイデータを含み、そのADIデータが更に、当該1個又は複数個の先行層の作成中のプロセス偏差を示すADIフラグデータを含み、
現在層の露出工程の後にAEIツールからエッチング後検査(AEI)オーバレイデータを受け取らせ、但しそのAEIオーバレイデータが、その現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示し、ADIデータから求まったオーバレイ誤差とAEIオーバレイデータとの間の差異に非ゼロオフセットが対応し、
ADIデータから非ゼロオフセットを予測するよう1個又は複数個の訓練標本からのADIデータ及びAEIオーバレイデータで以て非ゼロオフセットプレディクタを訓練させ、
1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータと、当該1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータに基づき前記非ゼロオフセットプレディクタにより生成された非ゼロオフセットと、を用い、少なくとも1個の生産標本の現在層を作成する前記リソグラフィツールの制御パラメタの値を生成させ、且つ
前記少なくとも1個の生産標本上に現在層を作成する前記リソグラフィツールに前記制御パラメタの値を供給させるよう、
構成されているプロセス制御システム。 - 請求項1に記載のプロセス制御システムであって、前記1個又は複数個のプロセッサにより実行されるよう構成されているプログラム命令が、更に、当該1個又は複数個のプロセッサに、
先行ロット内の少なくとも1個の生産標本上の1個又は複数個の後続層であり、当該先行ロットにて現在層上に作成された1個又は複数個の後続層から、ADIフラグデータを受け取らせ、且つ
前記1個又は複数個の後続層からのADIフラグデータで以て前記非ゼロオフセットプレディクタを訓練させるよう、
構成されているプロセス制御システム。 - 請求項2に記載のプロセス制御システムであって、前記リソグラフィツールの制御パラメタの値を生成する際に、更に、
前記先行ロット内の前記少なくとも1個の生産標本上の前記1個又は複数個の後続層からのADIフラグデータに基づき前記非ゼロオフセットプレディクタにより生成された非ゼロオフセットに少なくとも部分的に基づき、前記リソグラフィツールの制御パラメタの値を生成するプロセス制御システム。 - 請求項1に記載のプロセス制御システムであって、計量ターゲットのADIフラグデータが、ターゲット指標に基づきその計量ターゲットの1個又は複数個の注目領域を分析することで生成されるプロセス制御システム。
- 請求項4に記載のプロセス制御システムであって、前記計量ターゲットが周期構造を有し、前記ターゲット指標にて、
前記1個又は複数個の領域のうち少なくとも1個が周期成分、線形成分及びノイズ成分に分解されるプロセス制御システム。 - 請求項5に記載のプロセス制御システムであって、前記ターゲット指標が、更に、
前記周期成分の強度と、前記ノイズ成分の強度に対する当該周期成分の強度の比と、のうち少なくとも一つを含むプロセス制御システム。 - 請求項4に記載のプロセス制御システムであって、前記計量ターゲットが周期構造を有し、前記ターゲット指標が、
前記1個又は複数個の注目領域の対称性の指標を含むプロセス制御システム。 - 請求項1に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIツールが前記AEIツールより高いスループットを呈するプロセス制御システム。
- 請求項1に記載のプロセス制御システムであって、前記AEIツールが前記ADIツールより高い分解能を呈するプロセス制御システム。
- 請求項1に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIオーバレイデータ及び前記ADIフラグデータが複合計量レシピを用い生成されるプロセス制御システム。
- 請求項10に記載のプロセス制御システムであって、前記複合レシピが、ADIオーバレイデータ計測用の第1の標本化個所集合と、ADIフラグデータ計測用の第2の標本化個所集合と、を含むプロセス制御システム。
- 請求項11に記載のプロセス制御システムであって、前記第1の標本化個所集合が前記第2の標本化個所集合より大規模なプロセス制御システム。
- 請求項1に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIオーバレイデータ及び前記ADIフラグデータが別々の計量ターゲットを対象にして生成されるプロセス制御システム。
- 請求項1に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIオーバレイデータ及び前記ADIフラグデータが共通の計量ターゲットの別々のセルを対象にして生成されるプロセス制御システム。
- 請求項1に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIツールが、
光学計量ツールを備えるプロセス制御システム。 - 請求項1に記載のプロセス制御システムであって、前記AEIツールが、
粒子ビーム計量ツールを備えるプロセス制御システム。 - 請求項16に記載のプロセス制御システムであって、前記粒子ビーム計量ツールが、
電子ビーム計量ツール及びイオンビーム計量ツールのうち少なくとも一方を備えるプロセス制御システム。 - 現在層を作成するリソグラフィツールに可通信結合され制御パラメタを供給してその現在層と1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を指定仕様内に保つよう構成されたコントローラを備え、そのコントローラが、プログラム命令を実行するよう構成された1個又は複数個のプロセッサを有し、それらプログラム命令が、当該1個又は複数個のプロセッサに、
現在層向けリソグラフィ工程の後にADIツールから現像後検査(ADI)データを受け取らせ、但しそのADIデータが、その現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示すADIオーバレイデータを含み、そのADIデータが更に、当該1個又は複数個の先行層の作成中のプロセス偏差を示すADIフラグデータを含み、
現在層の露出工程の後にAEIツールからエッチング後検査(AEI)オーバレイデータを受け取らせ、但しそのAEIオーバレイデータがその現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示し、ADIデータから求まったオーバレイ誤差とAEIオーバレイデータとの間の差異に非ゼロオフセットが対応し、
1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータ及びAEIオーバレイデータを用い、少なくとも1個の生産標本の現在層を作成する前記リソグラフィツールの制御パラメタの値を生成させ、且つ
前記少なくとも1個の生産標本上に現在層を作成する前記リソグラフィツールに前記制御パラメタの値を供給させるよう、
構成されているプロセス制御システム。 - 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータ及びAEIオーバレイデータを用い、前記少なくとも1個の生産標本の現在層を作成する前記リソグラフィツールの制御パラメタの値を生成する際、
ADIデータから非ゼロオフセットを予測するよう1個又は複数個の訓練標本からのADIデータ及びAEIオーバレイデータで以て非ゼロオフセットプレディクタを訓練し、且つ
前記1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータと、当該1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータに基づき前記非ゼロオフセットプレディクタにより生成された非ゼロオフセットと、に基づき、前記制御パラメタの値を生成する、
プロセス制御システム。 - 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータ及びAEIオーバレイデータを用い、前記少なくとも1個の生産標本の現在層を作成する前記リソグラフィツールの制御パラメタの値を生成する際に、
第1頻度で以てADIデータに基づき前記制御パラメタの値を更新し、且つ
前記第1頻度より低い第2頻度で以てAEIオーバレイデータに基づき前記制御パラメタの値を更新する、
プロセス制御システム。 - 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記1個又は複数個のプロセッサにより実行されるよう構成されているプログラム命令が、更に、当該1個又は複数個のプロセッサに、
先行ロット内の少なくとも1個の生産標本上の1個又は複数個の後続層であり、当該先行ロットにて現在層上に作成された1個又は複数個の後続層から、ADIフラグデータを受け取らせるよう、構成されているプロセス制御システム。 - 請求項21に記載のプロセス制御システムであって、前記リソグラフィツールの制御パラメタの値を生成する際に、更に、
前記先行ロット内の前記少なくとも1個の生産標本上の前記1個又は複数個の後続層からのADIフラグデータに少なくとも部分的に基づき、前記リソグラフィツールの制御パラメタの値を生成するプロセス制御システム。 - 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、計量ターゲットのADIフラグデータが、ターゲット指標に基づきその計量ターゲットの1個又は複数個の注目領域を分析することで生成されるプロセス制御システム。
- 請求項23に記載のプロセス制御システムであって、前記計量ターゲットが周期構造を有し、前記ターゲット指標にて、
前記1個又は複数個の領域のうち少なくとも1個が周期成分、線形成分及びノイズ成分に分解されるプロセス制御システム。 - 請求項24に記載のプロセス制御システムであって、前記ターゲット指標が、更に、
前記周期成分の強度と、前記ノイズ成分の強度に対する当該周期成分の強度の比と、のうち少なくとも一つを含むプロセス制御システム。 - 請求項23に記載のプロセス制御システムであって、前記計量ターゲットが周期構造を有し、前記ターゲット指標が、
前記1個又は複数個の注目領域の対称性の指標を含むプロセス制御システム。 - 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIツールが前記AEIツールより高いスループットを呈するプロセス制御システム。
- 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記AEIツールが前記ADIツールより高い分解能を呈するプロセス制御システム。
- 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIオーバレイデータ及び前記ADIフラグデータが複合計量レシピを用い生成されるプロセス制御システム。
- 請求項29に記載のプロセス制御システムであって、前記複合レシピが、ADIオーバレイデータ計測用の第1の標本化個所集合と、ADIフラグデータ計測用の第2の標本化個所集合と、を含むプロセス制御システム。
- 請求項30に記載のプロセス制御システムであって、前記第1の標本化個所集合が前記第2の標本化個所集合より大規模なプロセス制御システム。
- 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIオーバレイデータ及び前記ADIフラグデータが別々の計量ターゲットを対象にして生成されるプロセス制御システム。
- 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIオーバレイデータ及び前記ADIフラグデータが共通の計量ターゲットの別々のセルを対象にして生成されるプロセス制御システム。
- 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記ADIツールが、
光学計量ツールを備えるプロセス制御システム。 - 請求項18に記載のプロセス制御システムであって、前記AEIツールが、
粒子ビーム計量ツールを備えるプロセス制御システム。 - 請求項35に記載のプロセス制御システムであって、前記粒子ビーム計量ツールが、
電子ビーム計量ツール及びイオンビーム計量ツールのうち少なくとも一方を備えるプロセス制御システム。 - プロセス制御システムであって、
現像後検査(ADI)ツールと、
エッチング後検査(AEI)ツールと、
現在層作成用のリソグラフィツールと、
前記ADIツール、前記AEIツール及び前記リソグラフィツールに可通信結合され制御パラメタを供給して現在層と1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を指定仕様内に保つよう構成されたコントローラと、
を備え、前記コントローラが、プログラム命令を実行するよう構成された1個又は複数個のプロセッサを有し、それらプログラム命令が、当該1個又は複数個のプロセッサに、
現在層向けリソグラフィ工程の後にADIツールから現像後検査(ADI)データを受け取らせ、但しそのADIデータが、その現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示すADIオーバレイデータを含み、そのADIデータが更に、当該1個又は複数個の先行層の作成中のプロセス偏差を示すADIフラグデータを含み、
現在層の露出工程の後にAEIツールからエッチング後検査(AEI)オーバレイデータを受け取らせ、但しそのAEIオーバレイデータがその現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示し、ADIデータから求まったオーバレイ誤差とAEIオーバレイデータとの間の差異に非ゼロオフセットが対応し、
ADIデータから非ゼロオフセットを予測するよう1個又は複数個の訓練標本からのADIデータ及びAEIオーバレイデータで以て非ゼロオフセットプレディクタを訓練させ、
1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータと、当該1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータに基づき前記非ゼロオフセットプレディクタにより生成された非ゼロオフセットと、を用い、少なくとも1個の生産標本の現在層を作成する前記リソグラフィツールの制御パラメタの値を生成させ、且つ
前記少なくとも1個の生産標本上に現在層を作成する前記リソグラフィツールに前記制御パラメタの値を供給させるよう、
構成されているプロセス制御システム。 - 非ゼロオフセットプレディクタであって、
プログラム命令を実行するよう構成された1個又は複数個のプロセッサを有するコントローラを備え、それらプログラム命令が、当該1個又は複数個のプロセッサに、
現在層向けリソグラフィ工程の後にADIツールからもたらされる現像後検査(ADI)データであり、その現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示すADIオーバレイデータを含むADIデータであり、更に、当該1個又は複数個の先行層の作成中のプロセス偏差を示すADIフラグデータを含むADIデータと、
現在層の露出工程の後にAEIツールからもたらされるエッチング後検査(AEI)オーバレイデータであり、その現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示すAEIオーバレイデータであり、ADIデータから求まったオーバレイ誤差とAEIオーバレイデータとの間の差異が非ゼロオフセットに対応するAEIオーバレイデータと、
を含む訓練データを受け取らせ、
1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータと訓練データとを用い前記非ゼロオフセットの値を予測させ、且つ
少なくとも1個の生産標本上に現在層を作成するリソグラフィツールの制御パラメタの値を調整するためプロセスコントローラに前記非ゼロオフセットを供給させるよう、
構成されている非ゼロオフセットプレディクタ。 - 現在層向けリソグラフィ工程の後にADIツールから現像後検査(ADI)データを受け取るステップであり、そのADIデータが、現在層と1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示すADIオーバレイデータを含み、そのADIデータが更に、当該1個又は複数個の先行層の作成中のプロセス偏差を示すADIフラグデータを含むステップと、
現在層の露出工程の後にAEIツールからエッチング後検査(AEI)オーバレイデータを受け取るステップであり、そのAEIオーバレイデータがその現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を示し、ADIデータから求まったオーバレイ誤差とAEIオーバレイデータとの間の差異に非ゼロオフセットが対応するステップと、
ADIデータから非ゼロオフセットを予測するよう1個又は複数個の訓練標本からのADIデータ及びAEIオーバレイデータで以て非ゼロオフセットプレディクタを訓練するステップと、
1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータと、当該1個又は複数個の先行生産標本からのADIデータに基づき前記非ゼロオフセットプレディクタにより生成された非ゼロオフセットと、を用い、少なくとも1個の生産標本の現在層を作成するリソグラフィツールの制御パラメタであり、その現在層と前記1個又は複数個の先行層との間のオーバレイ誤差を指定公差内に保つ制御パラメタの値を、生成するステップと、
前記少なくとも1個の生産標本上に現在層を作成する前記リソグラフィツールに前記制御パラメタの値を供給するステップと、
を有するプロセス制御方法。
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