JP2020201420A - 導光部材及びレーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】出射する高次モード光の発散角を小さく抑えることができるレンズ部材を提供する。【解決手段】光コンバイナ3は、入力光ファイバ50と、それぞれ中心部から半径方向外側の周縁部に向かって次第に屈折率が低下する屈折率分布を有する複数のレンズ部材10と、光軸の方向に沿ってブリッジ入射面22から離れるにつれて次第に径が小さくなる縮径部23を有するブリッジファイバ20と、ブリッジファイバ20のブリッジ出射面24に接続される出力光ファイバ60とを備える。レンズ部材10のそれぞれは、光軸に沿って同一の長さを有する。レンズ部材10の長さは、基本モードの光に対して1/4ピッチに相当する長さよりも短い。【選択図】図2
Description
本発明は、導光部材及びレーザ装置に係り、特に光コンバイナのような導光部材に関するものである。
近年、ファイバレーザなどの複数のレーザ光源を用いて高出力のレーザ光を出力するレーザ装置が開発されている。このようなレーザ装置においては、複数のレーザ光源から出力されたレーザ光が光コンバイナで結合されて出力光ファイバから出力されるが、複数のレーザ光源から光コンバイナに入射する光の発散角が大きい場合には、出力光ファイバにうまく結合せずに光損失が生じ得る。このような光損失を低減するために、導光部材としての光コンバイナの入射側に、所定の屈折率分布を有するGRIN(Gradient Index)レンズを組み込み、光コンバイナに入射されるレーザ光の発散角を小さくすることも考えられている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、従来のGRINレンズを含む導光部材の設計においては、高次モード光に対する検討が十分になされておらず、基本モード光の発散角は小さく抑えられても、高次モード光の発散角が大きくなってしまうという問題がある。このような発散角の大きな高次モード光は、下流側の光学系において光損失を生じる可能性があり、また、伝搬する光の強度分布の裾部が広がる原因ともなり得る。
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、発散角の大きな高次モード光により生じる光損失を低減することができる導光部材を提供することを第1の目的とする。
また、本発明は、良好な強度分布のレーザ光を出力することができるレーザ装置を提供することを第2の目的とする。
本発明の第1の態様によれば、発散角の大きな高次モード光により生じる光損失を低減することができる導光部材が提供される。この導光部材は、複数の入力光ファイバと、それぞれ中心部から半径方向外側の周縁部に向かって次第に屈折率が低下する屈折率分布を有する複数のレンズ部材とを備える。上記複数のレンズ部材のそれぞれは、上記複数の入力光ファイバのうち対応する入力光ファイバが接続されるレンズ入射面と、光軸方向において上記レンズ入射面とは反対側のレンズ出射面とを有する。上記導光部材は、上記複数のレンズ部材の上記レンズ出射面に接続されるブリッジ入射面と、上記光軸方向に沿って上記ブリッジ入射面から離れるにつれて次第に径が小さくなる縮径部と、上記光軸方向において上記ブリッジ入射面とは反対側のブリッジ出射面とを有するブリッジファイバと、上記ブリッジファイバの上記ブリッジ出射面に接続される出力光ファイバとを備える。上記複数のレンズ部材は、上記光軸に沿って同一の長さを有する。上記同一の長さは、基本モードの光に対して1/4ピッチに相当する長さよりも短い。
このような構成によれば、レンズ部材のレンズ出射面から出射する高次モード光の発散角を小さく抑えることができるため、導光部材の下流の光学系において発散角の大きな高次モード光により生じる光損失を低減することができる。
この場合において、上記入力光ファイバは、国際標準規格ISO11146に準拠したビーム品質因子M2の値が1.1よりも大きい光を伝搬可能であることが好ましい。このような光は、基本モード光に加えて高次モード光を含んでいる。
上記ブリッジファイバの上記ブリッジ出射面から出射する光の全パワーのうちその発散角以下の発散角を有する光のパワーが99%となる発散角をブリッジファイバ最大発散角として定義すると、上記導光部材のブリッジファイバ最大発散角は、上記レンズ部材の光軸に沿った長さが基本モードの光に対して1/4ピッチに相当する長さであるときのブリッジファイバ最大発散角よりも小さいことが好ましい。
本発明の第2の態様によれば、良好な強度分布のレーザ光を出力することができるレーザ装置が提供される。このレーザ装置は、レーザ光を生成する少なくとも1つのレーザ光源と、上述した導光部材とを備える。上記少なくとも1つのレーザ光源からの上記レーザ光は、上記少なくとも1つのレーザ光源からのレーザ光が上記導光部材の上記少なくとも1つの入力光ファイバに入力される。
このような構成によれば、導光部材から出力される高次モード光の発散角が小さく抑えられるため、レーザ装置から出力されるレーザ光の強度分布を良好なものとすることができる。
本発明によれば、レンズ部材のレンズ出射面から出射する高次モード光の発散角を小さく抑えることができるため、導光部材の下流の光学系において発散角の大きな高次モード光により生じる光損失を低減することができる。
以下、本発明に係る導光部材としての光コンバイナ及びこれを備えたレーザ装置の実施形態について図1から図6Bを参照して詳細に説明する。なお、図1から図6Bにおいて、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。また、図1から図6Bにおいては、各構成要素の縮尺や寸法が誇張されて示されている場合や一部の構成要素が省略されている場合がある。
図1は、本発明の一実施形態におけるレーザ装置1の構成を示す模式的ブロック図である。図1に示すように、本実施形態におけるレーザ装置1は、レーザ光を生成する複数のレーザ光源2と、それぞれのレーザ光源2からのレーザ光が入力される導光部材としての光コンバイナ3と、光コンバイナ3の下流側の端部に設けられたレーザ出射部4とを備えている。それぞれのレーザ光源2と光コンバイナ3とは光ファイバ5により互いに接続されており、光コンバイナ3とレーザ出射部4とは光ファイバ6により互いに接続されている。レーザ光源2としては例えばファイバレーザや半導体レーザを用いることができる。
このようなレーザ装置1においては、それぞれのレーザ光源2において生成されたレーザ光が光ファイバ5を伝搬して光コンバイナ3に導入される。この光コンバイナ3では、複数のレーザ光源2からのレーザ光が結合されて光ファイバ6に出力される。光ファイバ6に出力された高出力のレーザ光はレーザ出射部4から例えば被加工物に向けて出射される。
図2は、光コンバイナ3を示す斜視図である。図2においては、理解を容易にするために、光コンバイナ3の構成要素が光軸方向に沿って互いに離間して示されているが、実際には、これらの構成要素は互いに融着接続されている。図2に示すように、本実施形態における光コンバイナ3は、上述した光ファイバ5の少なくとも一部を構成する入力光ファイバ50と、入力光ファイバ50から出射される光の発散角を小さくするためのレンズ部材10と、レンズ部材10の下流側に配置されるブリッジファイバ20と、上述した光ファイバ6の少なくとも一部を構成する出力光ファイバ60とを含んでいる。
図2に示すように、本実施形態においては、中心の入力光ファイバ50の周囲を6本の入力光ファイバ50が取り囲むように入力光ファイバ50が配置されている。それぞれの入力光ファイバ50は、コア52と、コア52の周囲を覆うクラッド54とを有している。クラッド54の屈折率はコア52の屈折率よりも低くなっており、コア52の内部には、レーザ光源2からのレーザ光が伝搬する光導波路が形成されている。例えば、入力光ファイバ50のコア52の外径は28μmであり、クラッド54の外径は125μm、入力光ファイバ50のコア52とクラッド54との屈折率差は0.12%である。
レンズ部材10は、入力光ファイバ50に対応して入力光ファイバ50と同数だけ設けられている。図3は、レンズ部材10の1つを屈折率分布とともに示す模式図である。それぞれのレンズ部材10は、円柱状の部材であり、図3に示すように、入力光ファイバ50に接続されるレンズ入射面12と、光軸Pの方向においてレンズ入射面12とは反対側のレンズ出射面14とを有している。
このレンズ部材10は、いわゆるGRINレンズと呼ばれるものであり、図3に示すように、中心部16から半径方向外側の周縁部18に向かって次第に屈折率が低下する屈折率分布を有している。このようなレンズ部材10は、例えば、石英からなる円柱ガラスの中心部16にゲルマニウム(Ge)などのドーパントを高濃度に添加することにより形成することができる。
レンズ部材10の直径は、入力光ファイバ50のコア52よりも大きくなっている。本実施形態においては、レンズ部材10の直径は、入力光ファイバ50のクラッド54の外径と同一(例えば125μm)となっており、レンズ部材10の有効径Eと一致している。レンズ部材10の光軸Pの方向に沿った長さL1(レンズ入射面12からレンズ出射面14までの距離)は、すべてのレンズ部材10で同一となっている。なお、本明細書では、レンズ部材10の周縁部18とは、レンズ部材10の光軸Pから有効径の半分の距離にある部分をいうものとする。
レンズ部材10のレンズ入射面12には、入力光ファイバ50のコア52が融着接続されており、これにより入力光ファイバ50のコア52を伝搬した光がレンズ部材10に入射し、上述したレンズ部材10の屈折率分布により屈折され、発散角が小さくなった状態でレンズ部材10のレンズ出射面14から出射される。
図2に戻って、ブリッジファイバ20は、光軸に沿って一定の外径を有する円筒部21と、光軸に沿って次第に外径が小さくなる縮径部23とを含んでいる。円筒部21の端面は、それぞれのレンズ部材10が接続されるブリッジ入射面22となっており、光軸方向においてブリッジ入射面22とは反対側に位置する縮径部23の端面がブリッジ出射面24となっている。
本実施形態におけるブリッジファイバ20は、内部にコア−クラッド構造を有しておらず、ブリッジファイバ20全体が光導波路となっている。ブリッジファイバ20のブリッジ入射面22には、それぞれのレンズ部材10のレンズ出射面14が融着接続されている。これにより、レンズ部材10のレンズ出射面14から出射した光は、ブリッジ入射面22からブリッジファイバ20に入射し、円筒部21及び縮径部23の外周面で反射しながらブリッジファイバ20の内部を伝搬してブリッジ出射面24から出射される。なお、レンズ部材10からブリッジファイバ20に入射する際の光の反射を抑えるために、ブリッジファイバ20の屈折率は、レンズ部材10の中心部16の屈折率と略同一であることが好ましい。
出力光ファイバ60は、コア62と、コア62の周囲を覆うクラッド64と、クラッド64の周囲を覆う被覆66とを有している。出力光ファイバ60のコア62の外径は、ブリッジファイバ20のブリッジ出射面24の外径以上である。出力光ファイバ60のコア62には、ブリッジファイバ20のブリッジ出射面24が融着接続されている。これにより、ブリッジファイバ20のブリッジ出射面24から出射した光が出力光ファイバ60のコア62に入射するようになっている。出力光ファイバ60のクラッド64の屈折率はコア62の屈折率よりも低くなっており、コア62の内部には、ブリッジファイバ20から出射した光が伝搬する光導波路が形成されている。なお、ブリッジファイバ20から出力光ファイバ60に入射する際の光の反射を抑えるために、この出力光ファイバ60のコア62の屈折率は、ブリッジファイバ20の屈折率と略同一であることが好ましい。また、ブリッジファイバ20との融着接続部の近傍では、出力光ファイバ60の被覆66が除去されている。
ここで、入力光ファイバ50に入射する光、すなわちレーザ光源2から出射される光には、基本モード(LP01)の光に加えて、高次のモード(LP11、LP02)の光も含まれている。換言すれば、国際標準規格ISO11146に準拠したビーム品質因子M2の値が1.0よりも大きい光が入力光ファイバ50に入射する。本実施形態によるレンズ部材10は、特にM2の値が1.1より大きい光に対してより効果的である。
従来のGRINレンズの設計においては、高次モード光に対する検討が十分になされておらず、すべての光が基本モード光である(すなわちM2=1.0である)ものとしてGRINレンズが設計されている。このため、従来の設計手法でレンズ部材10を設計する際には、基本モード光がレンズ部材10のレンズ出射面14の周縁部18においてコリメート光になるように設計される。すなわち、図4に示すように、基本モード光LP01がレンズ部材10のレンズ出射面14の周縁部18においてコリメート光になるようにレンズ部材10の中心部16と周縁部18との屈折率差Δ及びレンズ部材10の光軸Pの方向に沿った長さL0が決定される。例えば、このレンズ部材10の長さL0は、基本モード光LP01に対して1/4ピッチに相当する長さとされる。一例として、本実施形態においてM2=1.0の光に対してレンズ部材10を設計するとΔ=0.05%、L0=2.6mmとなる。
このような従来の設計によりレンズ部材10を作製すると、図4に示すように、レンズ部材10のレンズ入射面12の中心部16に入射した基本モード光LP01は、レンズ部材10を伝搬する間に屈折し、レンズ出射面14では周縁部18に至る。これにより、基本モード光LP01はレンズ出射面14でコリメート光となる。しかしながら、LP11以上の高次モードの光が含まれる(すなわちM2が1.0よりも大きい)場合には、基本モード光LP01よりも高次の光、例えば高次モード光LP11は、図4に示すように、レンズ出射面14に至る前に周縁部18に至ってしまう。このような高次モード光LP11は、レンズ部材10の周縁部18で反射するため、レンズ出射面14から出射される際には発散角が大きくなってしまう。
このように高次モード光が大きな発散角でブリッジファイバ20に入射すると、出力光ファイバ60のコア62に結合できずに光損失を生じる可能性がある。また、このような高次モード光が出力光ファイバ60のコア62に結合できたとしても、最終的にレーザ出射部4から出射されるレーザ光の強度分布の裾部が高次モード光の影響によって広がってしまう。このように裾部が広がった強度分布を有するレーザ光は、レーザ出射部4において損失になり易く、レーザ出射部4の損傷を招いたり、あるいはレーザ光による適切な加工が難しくなったりする。
このような観点から、本実施形態では、図5に示すように、レンズ部材10の光軸Pの方向に沿った長さL1を、入力光ファイバ50からレンズ部材10に入射する光に対して1/4ピッチに相当する長さL0よりも短くしている。このような構成により高次モード光の発散角が大きくなることが抑制される。例えば、レンズ出射面14から出射される高次モード光LP11がコリメート光となるように、レンズ部材10の光軸Pの方向に沿った長さL1をL0よりも短くする。例えば、入力光ファイバ50に入射する光のM2が1.4であるとすると、L1=2.0mmとする。
このように、レンズ部材10の光軸Pの方向に沿った長さL1を入力光ファイバ50からレンズ部材10に入射する光に対して1/4ピッチに相当する長さL0よりも短くすれば、高次モード光のレンズ出射面14での発散角が図4に示す場合に比べて小さくなる。図5の示す例では、レンズ部材10のレンズ入射面12の中心部16に入射した高次モード光LP11は、レンズ部材10を伝搬する間に屈折し、レンズ出射面14では周縁部18に至る。これにより、高次モード光LP11はレンズ出射面14でコリメート光となる。したがって、レンズ部材10のレンズ出射面14から出射する高次モード光LP11の発散角を小さく抑えることができる。
このように高次モード光がレンズ部材10のレンズ出射面14から出射する際の発散角を小さく抑えることにより、高次モード光が出力光ファイバ60のコア62に結合し易くなり、レーザ出射部4から出射されるレーザ光の強度分布における裾部の広がりが抑えられる。この場合において、基本モード光LP01は、図5に示すように、レンズ部材10のレンズ出射面14では外側に広がりつつある状態となり、出力光ファイバ60のコア62に対する結合効率が低下するが、以下で述べるように、レンズ出射面14から出射する光を(基本モード光と高次モード光とを含めて)全体としてみると、その最大発散角が小さく抑えられるため、レーザ出射部4から出射されるレーザ光の状態は改善される。
図6Aは、レンズ部材10の長さをL0(=2.6mm)とした場合とL1(=2.0mm)とした場合におけるブリッジファイバ20のブリッジ出射面24から出射する光の累積パワーと発散角(NAで表される)との関係を示すグラフであり、図6Bは、図6Aの一部を拡大して示すものである。図6A及び図6Bのグラフから、例えば、レンズ出射面14から出射する光の全パワーのうちその発散角以下の発散角を有する光のパワーが96%となる発散角は、長さがL0のレンズ部材10の場合には約0.1であり、長さがL1のレンズ部材10の場合には約0.09であることがわかる。すなわち、これらのグラフは、レンズ部材10の長さL0よりも短くすることで、レンズ出射面14から出射する光の発散角が(基本モード光と高次モード光とを含めて)全体として小さく抑えられることを示している。
ここで、ブリッジファイバ20のブリッジ出射面24から出射する光の全パワーのうちその発散角以下の発散角を有する光のパワーが99%となる発散角をブリッジファイバ最大発散角と定義する。高出力のレーザ光を用いた加工においてはこのブリッジファイバ最大発散角を小さくすることが非常に重要となる。したがって、レンズ部材10の長さL1を決定するに際しては、レンズ10の長さがL0であるときよりもブリッジファイバ最大発散角が小さくなるようにレンズ部材10の長さL1を選択することが好ましい。図6Bにおいては、長さL0のレンズ部材10のブリッジファイバ最大発散角は約0.16、長さL1のレンズ部材10のブリッジファイバ最大発散角は約0.14となっており、レンズ部材10の長さがL1であるときのブリッジファイバ最大発散角が、レンズ部材10の長さがL0であるときのブリッジファイバ最大発散角よりも小さくなっている。
上述した実施形態におけるレーザ装置1は光コンバイナ3を含んでいるが、光コンバイナ3を含まないレーザ装置の構成も考えられる。例えば、レーザ光源2からのレーザ光がレンズ部材10のレンズ入射面12に入射するように構成し、光ファイバ6の少なくとも一部を構成する出力光ファイバをレンズ部材10のレンズ出射面14に接続してもよい。
これまで本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。
1 レーザ装置
2 レーザ光源
3 光コンバイナ
4 レーザ出射部
5,6 光ファイバ
10 レンズ部材
12 レンズ入射面
14 レンズ出射面
16 中心部
18 周縁部
20 ブリッジファイバ
21 円筒部
22 ブリッジ入射面
23 縮径部
24 ブリッジ出射面
50 入力光ファイバ
60 出力光ファイバ
2 レーザ光源
3 光コンバイナ
4 レーザ出射部
5,6 光ファイバ
10 レンズ部材
12 レンズ入射面
14 レンズ出射面
16 中心部
18 周縁部
20 ブリッジファイバ
21 円筒部
22 ブリッジ入射面
23 縮径部
24 ブリッジ出射面
50 入力光ファイバ
60 出力光ファイバ
Claims (4)
- 複数の入力光ファイバと、
それぞれ中心部から半径方向外側の周縁部に向かって次第に屈折率が低下する屈折率分布を有する複数のレンズ部材であって、
前記複数の入力光ファイバのうち対応する入力光ファイバが接続されるレンズ入射面と、
光軸方向において前記レンズ入射面とは反対側のレンズ出射面と
をそれぞれ有する複数のレンズ部材と
前記複数のレンズ部材の前記レンズ出射面に接続されるブリッジ入射面と、前記光軸方向に沿って前記ブリッジ入射面から離れるにつれて次第に径が小さくなる縮径部と、前記光軸方向において前記ブリッジ入射面とは反対側のブリッジ出射面とを有するブリッジファイバと、
前記ブリッジファイバの前記ブリッジ出射面に接続される出力光ファイバと
を備え、
前記複数のレンズ部材は、前記光軸に沿って同一の長さを有し、
前記同一の長さは、基本モードの光に対して1/4ピッチに相当する長さよりも短い、
導光部材。 - 前記入力光ファイバは、国際標準規格ISO11146に準拠したビーム品質因子M2の値が1.1よりも大きい光を伝搬可能である、請求項1に記載の導光部材。
- 前記ブリッジファイバの前記ブリッジ出射面から出射する光の全パワーのうちその発散角以下の発散角を有する光のパワーが99%となる発散角をブリッジファイバ最大発散角として定義すると、前記導光部材のブリッジファイバ最大発散角は、前記レンズ部材の光軸に沿った長さが基本モードの光に対して1/4ピッチに相当する長さであるときのブリッジファイバ最大発散角よりも小さい、請求項1又は2に記載の導光部材。
- レーザ光を生成する少なくとも1つのレーザ光源と、
請求項1から3のいずれか一項に記載の導光部材であって、前記少なくとも1つのレーザ光源からの前記レーザ光が前記少なくとも1つの入力光ファイバに入力される導光部材と
を備える、レーザ装置。
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- 2019-06-12 JP JP2019109187A patent/JP2020201420A/ja active Pending
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