JP2020186926A - 測定装置及び被検査体の測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】低コストで管状の被検査体の内面の形状を容易に測定することができる測定装置を得る。【解決手段】測定装置１０は、パイプ５０の内部に挿入される長尺板状の支持体１２と、支持体１２をパイプ５０の軸方向に沿って移動させる電動シリンダ１４と、支持体１２の上面１２Ａの一端１２Ｂ側に設けられ、レーザ光を照射する照射部と、レーザ光を受光する受光部と、を備えたレーザ変位計１６と、支持体１２の上面１２Ａの他端１２Ｃ側に設けられ、照射部から照射されたレーザ光を反射させてパイプ５０の内面５０Ａに当て、内面５０Ａで反射したレーザ光を受光部の側へ反射させるプリズム１８と、を有し、照射部から照射されて受光部に戻るレーザ光を検出することにより、パイプ５０の内面５０Ａの形状を測定する構成とされている。【選択図】図４

Description

本発明は、測定装置及び被検査体の測定方法に関する。

下記特許文献１には、レーザ光発振器を備える本体部に回転筒体を回転自由に連結してその中空のレーザ誘導空間を通してレーザ光発振器からのレーザ光を小孔内部表面に送る一方、この内部表面からの反射光を回転筒体の内周面に環状に且つ長さ方向に沿って配設する光ファイバーを通して回収し、単一の回転筒体の内部表面に照射光と反射光の光路を形成する検査装置が開示されている。

特開２０１０−８５３３２号公報

特許文献１に記載の検査装置では、レーザ光を対象物に当て、対象物から反射されたレーザ光を検出することにより、対象物の表面の傷の有無を検査している。すなわち、特許文献１では、対象物の内面の形状を測定することは開示されていない。また、特許文献１に記載の検査装置では、装置全体の構成が複雑であり、コストが上昇する。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、低コストで管状の被検査体の内面の形状を容易に測定することができる測定装置を提供することを目的とする。

上記問題点を解決するために、請求項１の発明に係る測定装置は、管状の被検査体の内部に挿入される長尺板状の支持体と、前記支持体を前記被検査体の軸方向に沿って移動させる電動シリンダと、前記支持体の一方の面の一端側に設けられ、レーザ光を照射する照射部と、レーザ光を受光する受光部と、を備えたレーザ変位計と、前記支持体の一方の面の他端側に設けられ、前記照射部から照射されたレーザ光を反射させて前記被検査体の内面に当て、前記被検査体の内面で反射したレーザ光を前記受光部の側へ反射させる反射部と、を有し、前記照射部から照射されて前記受光部に戻るレーザ光を検出することにより、前記被検査体の内面の形状を測定する構成とされている。

請求項１に記載の測定装置によれば、電動シリンダにより長尺板状の支持体を管状の被検査体の内部に挿入し、被検査体の軸方向に沿って移動させる。支持体の一方の面の一端側には、レーザ変位計が設けられており、レーザ変位計の照射部からレーザ光が照射される。支持体の一方の面の他端側には、反射部が設けられており、照射部から照射されたレーザ光を反射部で反射させて被検査体の内面に当てる。さらに、被検査体の内面で反射したレーザ光を反射部で受光部の側へ反射させ、受光部に戻るレーザ光を検出することにより、被検査体の内面の形状が測定される。このため、測定装置では、低コストで管状の被検査体の内面の形状を容易に測定することができる。

請求項２の発明に係る測定装置は、請求項１に記載の測定装置において、前記反射部は、前記支持体の一方の面に対して前記レーザ変位計から離れる方向に斜めに配置された反射面を有するプリズムである。

請求項２に記載の測定装置によれば、支持体の一方の面に対してレーザ変位計から離れる方向に斜めに配置された反射面を有するプリズムが設けられており、照射部から照射されたレーザ光を反射面で反射させて被検査体の内面に当て、被検査体の内面で反射したレーザ光を反射面で反射させることで、レーザ光をロス率が少なく受光部の側に導くことができる。

請求項３の発明に係る測定装置は、請求項１又は請求項２に記載の測定装置において、前記電動シリンダにより、前記支持体を所定の速度で前記被検査体の内部の軸方向に移動させ、前記照射部から照射されて前記受光部に戻るレーザ光を検出することにより、前記被検査体の軸方向に沿った前記被検査体の内面の形状を測定する構成とされている。

請求項３に記載の測定装置によれば、電動シリンダにより、支持体を所定の速度で被検査体の内部の軸方向に移動させる。そして、照射部から照射されたレーザ光を反射部で反射させて被検査体の内面に当て、被検査体の内面で反射したレーザ光を反射部で受光部の側へ反射させ、受光部に戻るレーザ光を検出する。これにより、被検査体の軸方向に沿った内面の形状を容易に測定することができる。

請求項４の発明に係る被検査体の測定方法は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の測定装置を備え、前記電動シリンダにより、前記支持体を所定の速度で前記被検査体の内部の軸方向に移動させ、前記照射部から照射されたレーザ光を前記反射部で反射させて前記被検査体の内面に当て、前記被検査体の内面で反射したレーザ光を前記反射部で前記受光部の側へ反射させ、前記受光部に戻るレーザ光を検出することにより、前記被検査体の軸方向に沿った前記被検査体の内面の形状を測定する。

請求項４に記載の被検査体の測定方法によれば、電動シリンダにより、支持体を所定の速度で被検査体の内部の軸方向に移動させ、照射部から照射されたレーザ光を反射部で反射させて被検査体の内面に当てる。そして、被検査体の内面で反射したレーザ光を反射部で受光部の側へ反射させ、受光部に戻るレーザ光を検出することにより、被検査体の軸方向に沿った被検査体の内面の形状を測定する。これにより、低コストで被検査体の軸方向に沿った内面の形状を容易に測定することができる。

本願発明によれば、低コストで管状の被検査体の内面の形状を容易に測定することができる。

一実施形態に係る測定装置を示す斜視図である。 一実施形態に係る測定装置により管状の被検査体を測定する際のレーザ光の照射方向及び戻り方向を示す斜視図である。 一実施形態に係る測定装置により管状の被検査体を測定する工程を示す斜視図である。 一実施形態に係る測定装置において、被検査体の内面の位置によるレーザ光の反射角度を模式的に示す図である。 一実施形態に係る測定装置において、受光部で受光されるレーザ光の位置と、被検査体の内面の位置との関係を示す模試的な図である。 一実施形態に係る測定装置により測定した被検査体の軸方向の内面の形状の測定結果と、接触式の測定装置により測定した被検査体の軸方向の内面の形状の測定結果と、を比較したグラフである。 比較例に係る測定装置を示す斜視図である。 比較例に係る測定装置により管状の被検査体を測定する工程を示す斜視図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１には、一実施形態に係る測定装置１０が斜視図にて示されている。図２及び図３には、測定装置１０の後述する支持体１２を移動させた状態が斜視図に示されている。図１〜図３に示されるように、測定装置１０は、パイプ５０の内部に挿入される支持体１２と、支持体１２をパイプ５０の軸方向に沿って移動させる電動シリンダ１４と、を備えている。また、測定装置１０は、支持体１２の上面１２Ａの一端１２Ｂ側に固定されたレーザ変位計１６と、支持体１２の上面１２Ａの他端１２Ｃ側に固定されたプリズム１８と、を備えている。ここで、パイプ５０は、管状の被検査体の一例であり、上面１２Ａは、支持体１２の一方の面の一例である。

パイプ５０は、略円筒状とされている。より詳細には、パイプ５０は、中心部を軸方向に貫通する貫通孔５２を備えており、貫通孔５２の周りが内面５０Ａとされている。本実施形態の測定装置１０は、パイプ５０の内面５０Ａの形状を検査する。

支持体１２は、長尺板状の部材で構成されており、支持体１２の上面１２Ａがほぼ水平に配置されている。支持体１２の長手方向と直交する方向の上面１２Ａの幅は、パイプ５０の内径よりも小さい。支持体１２は、長手方向（矢印Ａ方向）に沿って移動することで、パイプ５０の内部に挿入される構成とされている。

電動シリンダ１４は、例えば、油圧式のシリンダで構成されており、支持体１２を長手方向に沿って進退させる。本実施形態では、電動シリンダ１４は、細長い直方体状の筐体１４Ａを備えており、支持体１２を筐体１４Ａの上面に沿って移動させる。電動シリンダ１４は、支持体１２を所定の速度（すなわち、等速）でパイプ５０の内部を軸方向（矢印Ａ方向）に移動させる構成とされている。これにより、支持体１２の上面１２Ａに固定されたレーザ変位計１６及びプリズム１８が所定の速度でパイプ５０の内部を軸方向に移動するようになっている。

レーザ変位計１６は、図４に示されるように、プリズム１８の後述する反射面１８Ａにレーザ光Ｌ１を照射する照射部２０と、プリズム１８の反射面１８Ａから戻るレーザ光Ｌ２を受光する受光部２２と、を備えている。照射部２０と受光部２２は、レーザ変位計１６の内部に上下方向の位置をずらして配置されている。すなわち、レーザ変位計１６は、照射部２０から照射されるレーザ光Ｌ２が受光部２２と干渉せず、また、受光部２２側に戻るレーザ光Ｌ２が照射部２０と干渉しない構成とされている。本実施形態のレーザ変位計１６では、照射部２０は、受光部２２よりも上下方向上側に配置されている。また、レーザ変位計１６では、照射部２０は、受光部２２よりもプリズム１８側に配置されている。

照射部２０は、レーザ光発振部である発光素子を備えており、発光素子からレーザ光Ｌ１が照射される。

レーザ変位計１６は、図示を省略するが、受光部２２よりもプリズム１８側に、レーザ光Ｌ２を受光部２２に集光させる集光レンズを備えている。すなわち、プリズム１８の反射面１８Ａから戻るレーザ光Ｌ２は、集光レンズを通って受光部２２に結像される。受光部２２は、上下方向に細長い矩形状の受光素子で構成されている。受光部２２は、パイプ５０の内面５０Ａの形状位置によって、プリズム１８に反射して受光部２２側に戻るレーザ光Ｌ２の角度が上下方向に変位したときに、レーザ光Ｌ２の受光位置（すなわち、結像位置）と受光量を検出する構成とされている。パイプ５０の内面５０Ａの形状位置による受光部２２側に戻るレーザ光Ｌ２の角度については後に説明する。

プリズム１８は、図１〜図３に示されるように、測定装置１０の正面視（支持体１２の長手方向に対して直交する方向視）にて、直角三角形状とされており、支持体１２の長手方向に対して直交する方向に厚みを有している。プリズム１８は、支持体１２の上面１２Ａに対してレーザ変位計１６から離れる方向に斜めに配置された反射面１８Ａを有している。ここで、プリズム１８は、反射部の一例である。

本実施形態では、支持体１２の上面１２Ａの一端１２Ｂ側にレーザ変位計１６が配置され、支持体１２の上面１２Ａの他端１２Ｃ側にプリズム１８が配置されており、電動シリンダ１４により支持体１２が長手方向（矢印Ａ方向）に沿って移動する。このため、支持体１２が長手方向（矢印Ａ方向）に沿って移動しても、レーザ変位計１６の照射部２０とプリズム１８の反射面１８Ａとの距離は変わらない。また、支持体１２が長手方向（矢印Ａ方向）に沿って移動しても、プリズム１８の反射面１８Ａとレーザ変位計１６の受光部２２との距離も変わらない。

プリズム１８は、照射部２０から照射されたレーザ光Ｌ１を反射面１８Ａで反射させてパイプ５０の内面５０Ａに当てる（図４参照）。そして、パイプ５０の内面５０Ａで反射したレーザ光Ｌ２を反射面１８Ａで受光部２２の側へ反射させる（図４参照）。

測定装置１０では、レーザ変位計１６の照射部２０からレーザ光Ｌ１を照射し、パイプ５０の内面５０Ａに当て、パイプ５０の内面５０Ａで反射してレーザ変位計１６に戻るレーザ光Ｌ２を受光部２２で検出する。これにより、パイプ５０の内面５０Ａの形状を測定する。本実施形態では、電動シリンダ１４により、支持体１２を所定の速度（すなわち、等速）でパイプ５０の内部を軸方向（矢印Ａ方向）に移動させることで、パイプ５０の軸方向に沿った内面５０Ａの形状を測定する構成とされている。

次に、検査対象物であるパイプ５０の内面５０Ａの形状位置と、レーザ光Ｌ２の受光部２２による受光位置との関係について説明する。

図４（Ａ）〜（Ｃ）には、プリズム１８の反射面１８Ａからパイプ５０の内面５０Ａまでの位置が変化したときのレーザ光の状態が示されている。図４（Ａ）〜（Ｃ）では、分かりやすくするため、検査対象物であるパイプ５０の内面５０Ａの位置、照射部２０から照射されるレーザ光Ｌ１の光軸、及び受光部２２に受光されるレーザ光Ｌ２の光軸を誇張した状態で模式的に図示している。図４（Ｂ）には、プリズム１８の反射面１８Ａに対してパイプ５０の内面５０Ａが基準位置（すなわち、中間位置）にある場合が示されている。また、図４（Ａ）には、図４（Ｂ）に示す場合よりも、プリズム１８の反射面１８Ａに対してパイプ５０の内面５０Ａが近い位置にある場合が示されている。図４（Ｃ）には、図４（Ｂ）に示す場合よりも、プリズム１８の反射面１８Ａに対してパイプ５０の内面５０Ａが遠い位置にある場合が示されている。

図４（Ａ）〜（Ｃ）に示されるように、照射部２０から照射されたレーザ光Ｌ１は、プリズム１８の反射面１８Ａで反射されてパイプ５０の内面５０Ａに当たる。そして、パイプ５０の内面５０Ａで反射されたレーザ光Ｌ２は、プリズム１８の反射面１８Ａで反射され、図示しない集光レンズで集光されて受光部２２に戻る。その際、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示されるように、プリズム１８の反射面１８Ａに照射されるレーザ光Ｌ１の光軸の位置からパイプ５０の内面５０Ａまでの距離が変動すると、パイプ５０の内面５０Ａで反射されるレーザ光Ｌ２の角度（すなわち、内面５０Ａでの反射角度）が変わる。さらに、プリズム１８の反射面１８Ａで反射されるレーザ光Ｌ２の角度（すなわち、反射面１８Ａでの反射角度）が変わる。それに伴って、レーザ光Ｌ２が集光レンズ（図示省略）により集光されて受光部２２の受光素子上に結像する位置が変化する。

図５に示されるように、プリズム１８の反射面１８Ａからパイプ５０の内面５０Ａまでの距離が基準距離にあるときは、レーザ光Ｌ２が受光部２２の受光素子の上下方向中間部に結像する（図４（Ｂ）参照）。また、プリズム１８の反射面１８Ａからパイプ５０の内面５０Ａまでの距離が近づいたときは、レーザ光Ｌ２が受光部２２の受光素子の上下方向下側に結像する（図４（Ａ）参照）。また、プリズム１８の反射面１８Ａからパイプ５０の内面５０Ａまでの距離が遠ざかったときは、レーザ光Ｌ２が受光部２２の受光素子の上下方向上側に結像する（図４（Ｃ）参照）。レーザ光Ｌ２が受光部２２の受光素子に結像する結像位置の変化が、パイプ５０の内面５０Ａの高さ方向の移動位置（高さ方向の移動量）と比例するため、結像位置の変化量を読み取り、測定対象物であるパイプ５０の内面５０Ａの高さ方向の移動量として計測する。このため、レーザ光Ｌ２が受光部２２の受光素子に結像される結像位置を検出することで、パイプ５０の内面５０Ａの形状が検出される。

次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。

測定装置１０では、電動シリンダ１４により長尺板状の支持体１２をパイプ５０の内部に挿入し、パイプ５０の軸方向（矢印Ａ方向）に沿って移動させる（図２及び図３参照）。支持体１２の上面１２Ａの一端１２Ｂ側には、レーザ変位計１６が設けられており、レーザ変位計１６の照射部２０（図４参照）からレーザ光Ｌ１が照射される。支持体１２の上面１２Ａの他端１２Ｃ側には、プリズム１８が配置されており、照射部２０から照射されたレーザ光Ｌ１をプリズム１８の反射面１８Ａで反射させてパイプ５０の内面５０Ａに当てる。さらに、パイプ５０の内面５０Ａで反射したレーザ光Ｌ２をプリズム１８の反射面１８Ａで受光部２２（図４参照）の側へ反射させ、レーザ光Ｌ２を受光部２２で検出する。これにより、三角測定でプリズム１８の反射面１８Ａのレーザ光の反射位置から内面５０Ａまでの距離が測定される。すなわち、パイプ５０の内面５０Ａの位置によって、受光部２２の受光素子に結像するレーザ光Ｌ２の光軸の位置が変化するため、パイプ５０の内面５０Ａの形状が測定される。このため、測定装置１０では、低コストでパイプ５０の内面５０Ａの形状を容易に測定することができる。

また、測定装置１０では、支持体１２の上面１２Ａに対してレーザ変位計１６から離れる方向に斜めに配置された反射面１８Ａを有するプリズム１８が設けられている。これにより、照射部２０から照射されたレーザ光Ｌ１をプリズム１８の反射面１８Ａで反射させてパイプ５０の内面５０Ａに当て、パイプ５０の内面５０Ａで反射したレーザ光Ｌ２をプリズム１８の反射面１８Ａで反射させることで、レーザ光Ｌ２をロス率が少なく受光部２２の側に導くことができる。

また、測定装置１０では、電動シリンダ１４により、支持体１２を所定の速度（すなわち、等速）でパイプ５０の内部の軸方向（矢印Ａ方向）に移動させる。そして、照射部２０から照射されたレーザ光Ｌ１をプリズム１８の反射面１８Ａで反射させてパイプ５０の内面５０Ａに当て、パイプ５０の内面５０Ａで反射したレーザ光Ｌ２をプリズム１８の反射面１８Ａで受光部２２の側へ反射させ、受光部２２に戻るレーザ光Ｌ２を検出する。本実施形態では、支持体１２上に支持されたプリズム１８とレーザ変位計１６をパイプ５０の軸方向に沿って移動させながら、内面５０Ａの検出値をプロットすることで、内面５０Ａの径方向の寸法測定、及び内面５０Ａの軸方向の溝山のピッチを測定することができる。本実施形態では、レーザ変位計１６により、高速でのサンプリングプロット（例えば、２０μｓ／プロット）が可能であり、検査時間の削減が可能である。これにより、パイプ５０の軸方向に沿った内面５０Ａの形状を容易に測定することができる。また、電動シリンダ１４により、支持体１２の矢印Ａ方向への等速での移動、かつ支持体１２の位置決め精度の向上が図られ、パイプ５０の内面５０Ａの形状を詳細に測定することができる。

さらに、パイプ５０の測定方法は、電動シリンダ１４により、支持体１２を所定の速度（すなわち、等速）でパイプ５０の内部の軸方向に移動させ、照射部２０から照射されたレーザ光Ｌ１をプリズム１８の反射面１８Ａで反射させてパイプ５０の内面５０Ａに当てる。そして、パイプ５０の内面５０Ａで反射したレーザ光Ｌ２をプリズム１８の反射面１８Ａで受光部２２の側へ反射させ、受光部２２に戻るレーザ光を検出することにより、パイプ５０の軸方向に沿ったパイプ５０の内面５０Ａの形状を測定する。これにより、低コストでパイプ５０の軸方向に沿った内面５０Ａの形状を容易に測定することができる。

図６は、本実施形態の測定装置１０によって測定されたパイプ５０の内面５０Ａの長手方向の溝高さ（すなわち溝の深さ）の測定結果２００を示すグラフである。また、比較のため、図６には、接触式の測定装置によって測定されたパイプ５０の内面５０Ａの長手方向の溝高さ（すなわち、溝の深さ）の測定結果２０２が示されている。

図示を省略するが、接触式の測定装置は、検査対象物に接触させる接触子を備えており、接触子を接触させて検査対象物の形状を直接検出する。接触子は、パイプ５０の内面５０Ａの内径よりも大きく、パイプ５０の内部に挿入することはできない。このため、パイプ５０を軸方向に沿って２つに分割し、分割されたパイプ５０の内面５０Ａに接触子を直接接触させ、接触子をパイプ５０の軸方向に沿って移動させることで、パイプ５０の内面５０Ａの長手方向の溝高さ（すなわち、溝の深さ）を測定する。

このような接触式の測定装置では、接触子をパイプ５０の内面５０Ａに接触させるため、パイプ５０の内面５０Ａの軸方向の形状を正確に測定することができる。しかし、接触子をパイプ５０の内部に挿入することはできないため、パイプ５０を軸方向に沿って２つに分割する必要がある。

これに対して、本実施形態の測定装置１０では、接触式の測定装置の測定結果２０２と比較して、ほとんど同等の測定結果２００が得られる。また、支持体１２をパイプ５０の内部に軸方向（矢印Ａ方向）に沿って移動させることで、パイプ５０の内面５０Ａと非接触で、パイプ５０の軸方向に沿った内面５０Ａの形状を測定できる。すなわち、パイプ５０の内面５０Ａの溝の深さや、溝間のピッチなどの形状を測定することができる。このため、パイプ５０を２つに分割する必要がなく、パイプ５０の材料の無駄を削減できる。

ここで、図７及び図８を用いて、比較例の測定装置１００について説明する。

図７及び図８に示されるように、測定装置１００は、細長い矩形状のシリンダ１０２と、シリンダ１０２から進退される矩形状のロッド１０４と、を備えている。ロッド１０４の上面１０２Ａの先端部１０２Ｂには、センサ１０６が設けられている。ロッド１０４は、シリンダ１０２により矢印Ｂ方向に進出することで、パイプ５０の内部を軸方向に移動する。センサ１０６は、図示を省略するが、パイプ５０の内面５０Ａに光を直接照射する照射部と、パイプ５０の内面５０Ａから反射した光を直接受光する受光部と、を備えている。センサ１０６は、一般的な安価なセンサである。

測定装置１００では、シリンダ１０２によりロッド１０４を矢印Ｂ方向に進出することで、パイプ５０の内面５０Ａの溝山数をカウントする。しかし、この測定装置１００では、パイプ５０の内面５０Ａの溝山数をカウントするのみで、パイプ５０の内面５０Ａを正確に測定することはできない。

これに対して、本実施形態の測定装置１０では、照射部２０からレーザ光Ｌ１をプリズム１８に照射させ、パイプ５０の内面５０Ａから反射されたレーザ光Ｌ２を受光部２２で受け取る。これにより、三角測定でプリズム１８の反射面１８Ａのレーザ光の反射位置から内面５０Ａまでの距離を測定することができる。このため、パイプ５０の内面５０Ａの形状を正確に測定することができる。

なお、上記実施形態では、支持体１２の上面１２Ａの一端１２Ｂ側にレーザ変位計１６が設けられ、支持体１２の上面１２Ａの他端１２Ｃ側に設けられたプリズム１８が設けられているが、本発明は、この構成に限定されるものではない。例えば、支持体１２の下面にレーザ変位計と反射部を設けてもよいし、また、支持体の面が上下以外の方向に向けて配置されている場合に、支持体１２の一方の面にレーザ変位計と反射部を備える構成でもよい。

また、上記実施形態において、支持体１２の形状などは変更可能である。また、プリズム１８に代えて、レーザ光を反射させる反射板などの反射部を設けてもよい。さらに、レーザ変位計の照射部及び受光部の構成や配置は変更可能である。また、本実施形態では、測定装置１０により、パイプ５０の内面５０Ａの形状を測定したが、本発明はこれに限定されず、曲がった管体の内面の形状を測定することもできる。

なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかである。

１０ 測定装置
１２ 支持体
１２Ａ 上面（一方の面の一例）
１２Ｂ 一端
１２Ｃ 他端
１４ 電動シリンダ
１６ レーザ変位計
１８ プリズム（反射部の一例）
１８Ａ 反射面
２０ 照射部
２２ 受光部
５０ パイプ（被検査体の一例）
５０Ａ 内面

Claims (4)

1. 管状の被検査体の内部に挿入される長尺板状の支持体と、
   前記支持体を前記被検査体の軸方向に沿って移動させる電動シリンダと、
   前記支持体の一方の面の一端側に設けられ、レーザ光を照射する照射部と、レーザ光を受光する受光部と、を備えたレーザ変位計と、
   前記支持体の一方の面の他端側に設けられ、前記照射部から照射されたレーザ光を反射させて前記被検査体の内面に当て、前記被検査体の内面で反射したレーザ光を前記受光部の側へ反射させる反射部と、
   を有し、
   前記照射部から照射されて前記受光部に戻るレーザ光を検出することにより、前記被検査体の内面の形状を測定する構成とされている測定装置。
2. 前記反射部は、前記支持体の一方の面に対して前記レーザ変位計から離れる方向に斜めに配置された反射面を有するプリズムである請求項１に記載の測定装置。
3. 前記電動シリンダにより、前記支持体を所定の速度で前記被検査体の内部の軸方向に移動させ、
   前記照射部から照射されて前記受光部に戻るレーザ光を検出することにより、前記被検査体の軸方向に沿った前記被検査体の内面の形状を測定する構成とされている請求項１又は請求項２に記載の測定装置。
4. 請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の測定装置を備え、
   前記電動シリンダにより、前記支持体を所定の速度で前記被検査体の内部の軸方向に移動させ、
   前記照射部から照射されたレーザ光を前記反射部で反射させて前記被検査体の内面に当て、前記被検査体の内面で反射したレーザ光を前記反射部で前記受光部の側へ反射させ、前記受光部に戻るレーザ光を検出することにより、前記被検査体の軸方向に沿った前記被検査体の内面の形状を測定する被検査体の測定方法。