JP2020186729A - 遠心圧縮機 - Google Patents

Abstract

【課題】リターンベーンでの剥離を抑制する遠心圧縮機を提供する。【解決手段】軸線Ｏ方向に複数段が配列されて、軸線Ｏ方向一方側の入り口から流入する作動流体Ｇを径方向外側に圧送するインペラ４と、インペラ４を囲うケーシング３であって、互いに隣り合うインペラのうち前段側のインペラ４から排出される作動流体を径方向内側に向かって案内して後段側のインペラに導入するリターン流路３０を有するケーシング３と、リターン流路３０内に周方向に間隔をあけて複数設けられたリターンベーン５０と、を備え、リターンベーン５０は、前縁側領域におけるハブ側の厚さがシュラウド側の厚さよりも大きい。【選択図】図２

Description

本発明は、遠心圧縮機に関する。

産業用圧縮機やターボ冷凍機、小型ガスタービン、ポンプ等に用いられる遠心圧縮機として、回転軸に固定されたディスクに複数のブレードを取り付けたインペラを備えた多段遠心圧縮機が知られている。この多段遠心圧縮機は、インペラを回転させることで、作動流体Ｇに圧力エネルギー及び速度エネルギーを与えている。
回転軸の軸線方向に隣り合う一対のインペラは、リターン流路で接続されている。リターン流路には、作動流体から旋回成分を取り除くためのリターンベーンが設けられている。

特開２０１３−１９４５５８号公報

ところで、上記リターンベーンを備えた遠心圧縮機では、該リターンベーンの負圧面側で剥離が生じる場合がある。特にコストダウンの観点から遠心圧縮機を小径化させた場合には、リターンベーンの入口での外径が小さくなることで該入口での流速が増加する。そのため、リーンベーンの前縁側における負圧面やハブ側の剥離が生じ易くなってしまう。このような剥離領域がリターンベーンの広範囲に存在すれば、遠心圧縮機としての効率が低下してしまう。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、効率低下を抑制することができる遠心圧縮機を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用している。
即ち、本発明の第一態様に係る遠心圧縮機は、軸線回りに回転する回転軸と、前記回転軸に前記軸線方向に複数段が配列されて、前記軸線方向一方側の入り口から流入する作動流体を径方向外側に圧送するインペラと、前記回転軸及び前記インペラを囲うケーシングであって、互いに隣り合う前記インペラのうち前段側の前記インペラから排出される作動流体を径方向内側に向かって案内して後段側の前記インペラに導入するリターン流路を有するケーシングと、前記リターン流路内に周方向に間隔をあけて複数設けられたリターンベーンと、を備え、前記リターンベーンは、前縁を含む領域における前記軸線方向一方側のハブ側の厚さが前記軸線方向他方側のシュラウド側の厚さよりも大きい。

このような構成の遠心圧縮機によれば、互いに周方向に隣り合うリターンベーン同士の周方向の間隔は、ハブ側の方がシュラウド側よりも小さくなる。そのため、リターンベーン間の圧力勾配は、より間隔の小さいハブ側の方が間隔の大きいシュラウド側よりも顕著となる。その結果、互いに隣り合うリターンベーンの圧力面から負圧面へと向かう二次流れのうち、特にハブ側での二次流れがシュラウド側の二次流れよりも大きくなる。これにより、リターンベーンの圧力面の高エネルギー流体が、該リターンベーンの隣のリターンベーンの負圧面のハブ側に多く供給される。

ここでリターンベーンの負圧面での剥離領域は、リターンベーンの出口側で流路が軸線方向他方側に湾曲している影響で、リターンベーン内を径方向内側の下流側に向かうにしたがって、シュラウド側へと寄っていく性質がある。当該剥離領域は主流の流れを阻害して遠心圧縮機の効率を低下させるため、リターンベーンの負圧面で剥離領域が占有する面積を出来る限り小さくすることが好ましい。

本態様では、上記の通り、リターンベーンの圧力面におけるハブ側での高エネルギー流体が、該リターンベーンの隣のリターンベーンの負圧面におけるハブ側に供給される。そのため、当該高エネルギー流体がリターンベーンの負圧面で、剥離領域をシュラウド側へと押しやることになる。そのため、元々シュラウド側に寄っていた剥離領域をよりシュラウド側へと寄せることができる。その結果、リターンベーンの負圧面での剥離領域Ｓの占有面積を減少させることができる。そのため、主流の流れの阻害が抑制され、遠心圧縮機の効率低下を抑制できる。
なお、リターンベーンの圧力面から負圧面に供給された高エネルギー流体は、負圧面での剥離した流体との干渉が少ないため、エネルギーが大きく損なわれることはない。

上記遠心圧縮機では、前記リターンベーンは、前記前縁を含む領域で、前記ハブ側から前記シュラウド側に向かうに従って前記厚さが単調減少することが好ましい。

これによって、互いに隣り合うリターンベーン間の圧力勾配は、ハブ側に向かうに従って徐々に大きくなる。そのため、圧力面におけるハブ側の高エネルギー流体を負圧面のハブ側に適切に輸送することができる。

上記遠心圧縮機では、前記前縁を含む領域は、前記リターンベーンの径方向寸法における前記前縁から後縁に向かっての１０％〜３０％の領域であることが好ましい。

リターンベーンの圧力面と負圧面との圧力差は、流体の流れを転向させる前縁側で最も顕著となり、後縁側では小さい。そのため、リターンベーンのハブ側の厚さをシュラウド側の厚さよりも大きくする領域は、前縁側の上記範囲のみとすることによって十分に効果を得ることができる。
また、リターンベーンのハブ側とシュラウド側での厚さの勾配を、切削加工等によって形成する場合には、上記範囲のみに加工を加えれば良いので、製造コストの増加を抑えることができる。
さらに、上記遠心圧縮機では、前記リターンベーンにおける後縁を含む領域の厚さが一定とされていてもよい。
また、記遠心圧縮機では、前記リターンベーンにおける後縁を含む領域は、前記前縁を含む領域の径方向内側に滑らかに連続して接続されていてもよい。
さらに、上記遠心圧縮機では、前記リターンベーンにおける前記前縁を含む領域と後縁を含む領域との境界では、前記ハブ側と前記シュラウド側との厚さの差がなくてもよい。
また、上記遠心圧縮機では、前記リターンベーンにおける前記前縁を含む領域の厚さは、前記ハブ側から前記シュラウド側に向かうに従って一定の傾きで直線状に減少していてもよい。

本発明の遠心圧縮機によれば、効率低下を抑制することができる。

実施形態に係る遠心圧縮機の縦断面図である。 実施形態に係る遠心圧縮機を一部拡大した縦断面図である。 実施形態に係る遠心圧縮機の一部を拡大した模式的な縦断面図である。 実施形態に係る遠心圧縮機のリターンベーンの径方向に直交する模式的な断面図である。 実施形態に係る遠心圧縮機のリターンベーンのハブ側及びシュラウド側の厚さを示すグラフである。

以下、本発明の第一実施形態に係る遠心圧縮機について図面を参照して説明する。
図１に示すように、遠心圧縮機１００は、軸線Ｏ回りに回転する回転軸１と、この回転軸１の周囲を覆うことで流路２を形成するケーシング３と、回転軸１に設けられた複数段のインペラ４と、ケーシング３内に設けられたリターンベーン５０と、を備えている。

ケーシング３は、軸線Ｏに沿って延びる円筒状をなしている。回転軸１は、このケーシング３の内部を軸線Ｏに沿って貫通するように延びている。軸線Ｏ方向におけるケーシング３の両端部には、それぞれジャーナル軸受５及びスラスト軸受６が設けられている。回転軸１は、これらジャーナル軸受５とスラスト軸受６とによって軸線Ｏ回りに回転可能に支持されている。

ケーシング３の軸線Ｏ方向一方側には、外部から作動流体Ｇとしての空気を取り入れるための吸気口７が設けられている。さらに、ケーシング３の軸線Ｏ方向他方側には、ケーシング３内部で圧縮された作動流体Ｇが排気される排気口８が設けられている。

ケーシング３の内側には、これら吸気口７と排気口８とを連通し、縮径と拡径を繰り返す内部空間が形成されている。この内部空間は、複数のインペラ４を収容するとともに、上記の流路２の一部をなしている。なお、以降の説明では、この流路２上における吸気口７が位置する側を上流側と呼び、排気口８が位置する側を下流側と呼ぶ。

回転軸１には、その外周面上で軸線Ｏ方向に間隔を空けて複数（６つ）のインペラ４が設けられている。各インペラ４は、図２に示すように、軸線Ｏ方向から見て略円形の断面を有するディスク４１と、このディスク４１の上流側の面に設けられた複数のブレード４２と、これら複数のブレード４２を上流側から覆うカバー４３と、を有している。

ディスク４１は、軸線Ｏと交差する方向から見て、該軸線Ｏ方向の一方側から他方側に向かうに従って、径方向の寸法が次第に拡大するように形成されることで、おおむね円錐状をなしている。

ブレード４２は、上記のディスク４１の軸線Ｏ方向における両面のうち、上流側を向く円錐面上で、軸線Ｏを中心として径方向外側に向かって放射状に複数配列されている。より詳しくは、これらブレードは、ディスク４１の上流側の面から上流側に向かって立設された薄板によって形成されている。これら複数のブレード４２は、軸線Ｏ方向から見た場合、周方向の一方側から他方側に向かうように湾曲している。

ブレード４２の上流側の端縁には、カバー４３が設けられている。言い換えると、上記複数のブレード４２は、このカバー４３とディスク４１とによって軸線Ｏ方向から挟持されている。これにより、カバー４３、ディスク４１、及び互いに隣り合う一対のブレード４２同士の間には空間が形成される。この空間は、後述する流路２の一部（圧縮流路２２）をなしている。

流路２は、上記のように構成されたインペラ４と、ケーシング３の内部空間を連通する空間である。本実施形態では、１つのインペラ４ごと（１つの圧縮段ごと）に１つの流路２が形成されているものとして説明を行う。すなわち、遠心圧縮機１００では、最後段のインペラ４を除く５つのインペラ４に対応して、上流側から下流側に向かって連続する５つの流路２が形成されている。

それぞれの流路２は、吸込流路２１と、圧縮流路２２と、ディフューザ流路２３と、リターン流路３０と、を有している。なお、図２は、流路２及びインペラ４のうち、１段目から３段目のインペラ４を主として示している。

１段目のインペラ４では、吸込流路２１は上記の吸気口７と直接接続されている。この吸込流路２１によって、外部の空気が流路２上の各流路に作動流体Ｇとして取り込まれる。より具体的には、この吸込流路２１は、上流側から下流側に向かうにしたがって、軸線Ｏ方向から径方向外側に向かって次第に湾曲している。

２段目以降のインペラ４における吸込流路２１は、前段（１段目）の流路２における案内流路２５（後述）の下流端と連通されている。すなわち、案内流路２５を通過した作動流体Ｇは、上記と同様に、軸線Ｏに沿って下流側を向くように、その流れ方向が変更される。

圧縮流路２２は、ディスク４１の上流側の面、カバー４３の下流側の面、及び周方向に隣り合う一対のブレード４２によって囲まれた流路である。より詳しくは、この圧縮流路２２は、径方向内側から外側に向かうに従って、その断面積が次第に減少している。これにより、インペラ４が回転している状態で圧縮流路２２中を流通する作動流体Ｇは、徐々に圧縮されて高圧作動流体Ｇとなる。

ディフューザ流路２３は、軸線Ｏの径方向内側から外側に向かって延びる流路である。このディフューザ流路２３における径方向内側の端部は、上記圧縮流路２２の径方向外側の端部に連通されている。

リターン流路３０は、径方向外側に向かう作動流体Ｇを径方向内側に向かって転向させて、次段のインペラ４に流入させる流路である。リターン流路３０は、リターンベンド部２４と案内流路２５とから形成されている。

リターンベンド部２４は、ディフューザ流路２３を経て、径方向の内側から外側に向かって流通した作動流体Ｇの流れ方向を径方向内側に向かって反転させる。リターンベンド部２４の一端側（上流側）は、上記ディフューザ流路２３に連通され、他端側（下流側）は、案内流路２５に連通されている。リターンベンド部２４の中途において、径方向の最も外側に位置する部分は、頂部とされている。この頂部の近傍では、リターンベンド部２４の内壁面は、３次元曲面をなすことで、作動流体Ｇの流動を妨げないようになっている。

案内流路２５は、リターンベンド部２４の下流側の端部から径方向内側に向かって延びている。案内流路２５の径方向外側の端部は、上記のリターンベンド部２４と連通されている。案内流路２５の径方向内側の端部は、上述のように後段の流路２における吸込流路２１に連通されている。
ケーシング３における案内流路２５を形成する壁面のうち、軸線Ｏ方向一方側の壁面は、ハブ側壁面３ａとされている。ケーシング３における案内流路２５を形成する壁面のうち、軸線Ｏ方向他方側の壁面は、シュラウド側壁面３ｂとされている。

次に、リターンベーン５０について図３及び図４を参照して説明する。リターンベーン５０は、リターン流路３０における案内流路２５に複数が設けられている。複数のリターンベーン５０は、案内流路２５中で、軸線Ｏを中心として放射状に配列されている。これらリターンベーン５０は、軸線Ｏの周囲で周方向に間隔を空けて配列されている。リターンベーン５０は、軸線Ｏ方向の両端が、案内流路２５を形成するケーシング３に接している。即ち、リターンベーン５０の軸線Ｏ方向一方側（ハブ側）はハブ側壁面３ａに径方向全域にわたって接している。リターンベーン５０の軸線Ｏ方向他方側（シュラウド側）はシュラウド側壁面３ｂに径方向全域にわたって接している。

リターンベーン５０は、軸線Ｏ方向から見た際に、径方向外側の端部を前縁５１とし、径方向内側の端部を後縁５２とした翼形状をなしている。リターンベーン５０は、前縁５１から後縁５２に向かうに従って回転軸１の回転方向Ｒ前方側に向かって延びている。リターンベーン５０は、回転方向Ｒ前方側に向かって凸となるように湾曲している。リターンベーン５０の回転方向Ｒ前方側を向く面は負圧面５３とされ、回転方向Ｒ後方側を向く面は圧力面５４とされている。

図３に示すように、リターンベーン５０は、前縁５１を含む前縁側領域６０と、該前縁側領域６０の径方向内側に接続されて後縁５２を含む後縁側領域７０との径方向二つの領域に区分されている。
前縁側領域６０は、前縁５１から後縁５２に向かってリターンベーン５０の径方向の寸法の１０〜３０％の領域であり、後縁側領域７０は、後縁５２から前縁５１に向かっての残りの領域とされている。前縁側領域６０と後縁側領域７０との境界は、軸線Ｏに平行とされている。

ここで、図４に示すように、各リターンベーン５０の前縁側領域６０の各径方向位置における厚さ、即ち、周方向の寸法は、該リターンベーン５０のハブ側の端部の方がシュラウド側の端部よりも大きい。本実施形態では、リターンベーン５０の前縁側領域６０における厚さは、図５に示すように、ハブ側からシュラウド側に向かうに従って単調に減少している。本実施形態では、リターンベーン５０の前縁側領域６０における厚さは、ハブ側からシュラウド側に向かうに従って一定の傾きで直線状に減少している。

このように、リターンベーン５０における厚さがハブ側とシュラウド側とで異なるのは、リターンベーン５０における前縁側領域６０のみであり、後縁側領域７０ではハブ側からシュラウド側にわたって厚さが一定とされている。前縁側領域６０と後縁側領域７０とは圧力面５４、負圧面５３が滑らかに連続して接続されているため、前縁側領域６０は、後縁側領域７０との境界で上記のようなハブ側とシュラウド側との厚さの差がなくなるように形成されている。

なお、リターンベーン５０は、前縁５１から後縁５２にわたって翼型をなしているため、該リターンベーン５０の前縁５１は、軸線Ｏに直交する断面視で径方向外側に凸状に湾曲した形状をなしている。当該湾曲形状に連なるように圧力面５４、負圧面５３が形成されている。上記のリターンベーン５０の前縁側領域６０での厚さは、前縁５１での湾曲形状を除く部分、即ち、圧力面５４と負圧面５３との間の寸法として規定されている。なお、リターンベーン５０の後縁側領域７０での厚さも、同様に、圧力面５４と負圧面５３との間の寸法として規定されている。

続いて、本実施形態に係る遠心圧縮機１００の動作について説明する。
回転軸１及びインペラ４の回転に伴い吸込口から流路２内に取り込まれた作動流体Ｇは、１段目の吸込流路２１を経て、インペラ４中の圧縮流路２２に流入する。インペラ４は回転軸１の回転に伴って軸線Ｏ回りに回転していることから、圧縮流路２２中の作動流体Ｇには、軸線Ｏから径方向外側に向かう遠心力が付加される。加えて、上記の通り、圧縮流路２２の断面積は径方向外側から内側にかけて次第に減少していることから、作動流体Ｇは徐々に圧縮される。これにより、高圧の作動流体Ｇが、圧縮流路２２から後続のディフューザ流路２３に送り出される。

圧縮流路２２から圧送された高圧の作動流体Ｇは、その後、ディフューザ流路２３、リターンベンド部２４、案内流路２５を順に通過する。２段目以降のインペラ４、及び流路２においても同様の圧縮が加えられる。最終的には、作動流体Ｇは、所望の圧力状態となって排気口８から不図示の外部機器に供給される。

ここで、本実施形態では、各リターンベーン５０の前縁側領域６０での厚さはハブ側の方がシュラウド側に比べて大きい。そのため、図４に示すように、互いに周方向に隣り合うリターンベーン５０同士の周方向の間隔は、ハブ側の方がシュラウド側よりも小さくなる。よって、リターンベーン５０間の周方向の圧力勾配は、より間隔の小さいハブ側の方が、間隔の大きいシュラウド側よりも大きくなる。

その結果、互いに隣り合うリターンベーン５０の圧力面５４から負圧面５３へと向かう二次流れＦ_Ｈ、Ｆ_Ｓのうち、特にハブ側での二次流れＦ_Ｈの方がシュラウド側の二次流れＦ_Ｓよりも大きくなる。これにより、リターンベーン５０の圧力面５４の高エネルギー流体Ｅが、該リターンベーン５０の隣のリターンベーン５０の負圧面５３におけるハブ側に多く輸送される。

一般に、図３に示すように、リターンベーン５０の負圧面５３での剥離領域Ｓは、リターンベーン５０の出口側における次段（後段側）のインペラの吸込み流路が軸線Ｏ方向他方側に湾曲している影響で、リターンベーン５０内を径方向内側に向かうにしたがって、シュラウド側へと寄っていく。当該剥離領域Ｓは主流の流れを阻害するため、遠心圧縮機１００の効率を低下させる。そのため、リターンベーン５０の負圧面５３で剥離領域Ｓが占有する面積を出来る限り小さくすることが好ましい。

本実施形態では、上記の通り、リターンベーン５０の圧力面５４におけるハブ側での高エネルギー流体Ｅが、該リターンベーン５０の隣のリターンベーン５０の負圧面５３におけるハブ側に供給される。そのため、図３に示すように、当該高エネルギー流体Ｅがリターンベーン５０の負圧面５３で、剥離領域Ｓをシュラウド側へと押しやることになる。そのため、元々シュラウド側に寄っていた剥離領域Ｓをよりシュラウド側へと寄せることができる。その結果、リターンベーン５０の負圧面５３での剥離領域Ｓの占有面積を減少させることができる。これによって、遠心圧縮機１００の効率低下を抑制できる。

なお、リターンベーン５０の圧力面５４から負圧面５３に供給された高エネルギー流体Ｅは、負圧面５３での剥離した流体との干渉が少ない。そのため、当該高エネルギー流体Ｅのエネルギーが大きく損なわれることはない。

また、特に本実施形態では、リターンベーン５０の前縁側領域６０での厚さがハブ側からシュラウド側に向かうに従って単調減少する。そのため、互いに隣り合うリターンベーン５０間の圧力勾配は、ハブ側に向かうに従って徐々に大きくなる。したがって、圧力面５４におけるハブ側の高エネルギー流体Ｅを負圧面５３のハブ側に適切に輸送することができる。

ここで、リターンベーン５０の圧力面５４と負圧面５３との圧力差は、流体の流れを転向させる前縁５１側で最も顕著となり、後縁５２側では小さい。そのため、リターンベーン５０のハブ側の厚さをシュラウド側の厚さよりも大きくする領域は、前縁５１側の上記範囲のみとすることによって十分に効果を得ることができる。さらに、リターンベーン５０のハブ側とシュラウド側での厚さの勾配を、切削加工等によって形成する場合には、上記範囲のみに加工を加えれば良いので、製造コストの増加を抑えることができる。

本実施形態では、リターンベーン５０の径方向寸法における前縁５１から後縁５２に向かっての１０％〜３０％の領域である前縁側領域６０のみでハブ側の厚さがシュラウド側の厚さよりも大きい。そのため、リターンベーン５０の負圧面５３での剥離領域Ｓの縮小化を図りながら、製造コストの増大を抑えることができる。

なお、リターンベーン５０のハブ側の厚さを従来に比べて単に大きくすれば、リターンベーン５０間の流路としてのスロート面積が低下してしまう。これを回避するために、ハブ側の厚さを厚くした分だけ、シュラウド側の厚さを小さくすればよい。これによって、スロート面積を適切に確保することができる。

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

実施形態では、リターンベーン５０の前縁側領域６０で、ハブ側からシュラウド側に向かうに従って厚さが一定の傾きで減少するとしたが、これに限定されることはない。当該厚さがハブ側からシュラウド側に向かうに従って単調減少すればよい。

実施形態では、リターンベーン５０がリターン流路３０のうち案内流路内のみに形成されている構成を説明したが、該リターンベーン５０の前縁５１がリターンベンド部２４内に位置していてもよい。リターンベーン５０の前縁５１は、リターンベンド部２４と案内流路との境界に位置するのみならず、当該境界よりも径方向内側又は外側に位置していてもよい。

実施形態では、前縁側領域６０のみでリターンベーン５０のハブ側の厚さがシュラウド側の厚さよりも大きいものとしたが、リターンベーン５０の径方向の全域でハブ側の厚さがシュラウド側の厚さより大きいものとしてもよい。

１ 回転軸
２ 流路
３ ケーシング
３ａ ハブ側壁面
３ｂ シュラウド側壁面
４ インペラ
５ ジャーナル軸受
６ スラスト軸受
７ 吸気口
８ 排気口
２１ 吸込流路
２２ 圧縮流路
２３ ディフューザ流路
２４ リターンベンド部
２５ 案内流路
３０ リターン流路
４１ ディスク
４２ ブレード
４３ カバー
５０ リターンベーン
５１ 前縁
５２ 後縁
５３ 負圧面
５４ 圧力面
６０ 前縁側領域
７０ 後縁側領域
１００ 遠心圧縮機
Ｏ 軸線
Ｒ 回転方向
Ｇ 作動流体
ＦＨ 二次流れ
ＦＳ 二次流れ
Ｓ 剥離領域
Ｅ 高エネルギー流体

Claims (9)

1. 軸線回りに回転する回転軸と、
   前記回転軸に前記軸線方向に複数段が配列されて、前記軸線方向一方側の入り口から流入する作動流体を径方向外側に圧送するインペラと、
   前記回転軸及び前記インペラを囲うケーシングであって、互いに隣り合う前記インペラのうち前段側の前記インペラから排出される作動流体を径方向内側に向かって案内して後段側の前記インペラに導入するリターン流路を有するケーシングと、
   前記リターン流路内に周方向に間隔をあけて複数設けられたリターンベーンと、
   を備え、
   前記リターンベーンは、前縁を含む領域における前記軸線方向一方側のハブ側の厚さが前記軸線方向他方側のシュラウド側の厚さよりも大きい遠心圧縮機。
2. 前記リターンベーンは、前記前縁を含む領域で、前記ハブ側から前記シュラウド側に向かうに従って厚さが単調減少する請求項１に記載の遠心圧縮機。
3. 前記前縁を含む領域は、前記リターンベーンの径方向寸法における前記前縁から後縁に向かっての１０％〜３０％の領域である請求項１又は２に記載の遠心圧縮機。
4. 前記リターンベーンにおける後縁を含む領域の厚さが一定とされている請求項１から３のいずれか一項に記載の遠心圧縮機。
5. 前記リターンベーンにおける後縁を含む領域は、前記前縁を含む領域の径方向内側に滑らかに連続して接続されている請求項４に記載の遠心圧縮機。
6. 前記リターンベーンにおける後縁を含む領域は、前記前縁を含む領域の径方向内側に滑らかに連続して接続されている請求項１から３のいずれか一項に記載の遠心圧縮機。
7. 前記リターンベーンにおける前記前縁を含む領域と後縁を含む領域との境界では、前記ハブ側と前記シュラウド側との厚さの差がない請求項４又は６に記載の遠心圧縮機。
8. 前記リターンベーンにおける前記前縁を含む領域と後縁を含む領域との境界では、前記ハブ側と前記シュラウド側との厚さの差がない請求項１から３のいずれか一項に記載の遠心圧縮機。
9. 前記リターンベーンにおける前記前縁を含む領域の厚さは、前記ハブ側から前記シュラウド側に向かうに従って一定の傾きで直線状に減少している請求項１から８のいずれか一項に記載の遠心圧縮機。

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