JP2020181623A

JP2020181623A - ガラス基板

Info

Publication number: JP2020181623A
Application number: JP2019082565A
Authority: JP
Inventors: 智巳加野; Tomomi Kano
Original assignee: Ibiden Co Ltd
Current assignee: Ibiden Co Ltd
Priority date: 2019-04-24
Filing date: 2019-04-24
Publication date: 2020-11-05

Abstract

【課題】ガラス基板のハンドリングを容易にする。【解決手段】表裏に連通する貫通孔２を有するガラス基板１であって、貫通孔２の端部近傍の周囲に、少なくとも１つの欠け部３を有する。好ましくは、欠け部３が、ガラス基板１を一方向にレーザー加工して貫通孔２を形成する際に出口側の端部近傍の周囲に形成された欠け部である。【選択図】図１

Description

本発明は、ハンドリングが容易な貫通孔を有するガラス基板に関する。

脆いガラス基板を搬送するには、静電力や真空力を利用した吸着装置を用いることが一般的である（例えば、特許文献１参照）。図４に、ガラス基板の搬送方法の一例を示すように、ガラス基板５１は、上側および下側の表面に装着した搬送装置（図示せず）の吸着パッド５２により挟まれた状態で、吸着パッド５２とともに搬送される。なお、５３はガラス基板５１の表裏に連通する貫通孔である。

特開２０１３−６９３８０号公報

ガラス基板５１の表裏の面は平坦性が良好である。そのため、吸着パッド５２を静電力や真空力で吸着してガラス基板５１に装着すると、良好な吸着状態を示す。そして、ガラス基板５１の搬送終了後、吸着パッド５２をガラス基板５１から離脱させるために、静電力や真空力の印加を終了する。しかし、静電力や真空力の印加を終了しても、吸着状態が良好であるがために、吸着パッド５２をガラス基板５１から取り外すことが難しかった。また、ガラス基板５１は脆いため、吸着パッド５２をガラス基板５１から無理に取り外そうとすると、ガラス基板５１が損傷することもあった。そのため、ガラス基板５１のハンドリングが難しかった。

本発明に係るガラス基板は、表裏に連通する貫通孔を有するガラス基板であって、前記貫通孔の端部近傍の周囲に、少なくとも１つの欠け部を有する。

本発明の実施形態によれば、ガラス基板の貫通孔の端部近傍の周囲に少なくとも１つの欠け部を有するため、吸着パッドをガラス基板から取り外す際、欠け部に周囲の雰囲気が入り込み吸着パッドの動きだしのきっかけとなる。そのため、吸着パッドをガラス基板から容易に取り外すことができ、ガラス基板のハンドリングが容易になる。

（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、本発明の一実施形態に係るガラス基板の平面図およびそのＡ−Ａ線に沿った断面図である。（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、本発明の他の実施形態に係るガラス基板の平面図およびそのＡ−Ａ線に沿った断面図である。（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、本発明例および従来例に係るガラス基板における吸着パッドの取り外し状態を説明するための断面図である。従来のガラス基板における吸着パッドの装着状態を示す断面図である。

図１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、本発明の一実施形態に係るガラス基板の平面図およびそのＡ−Ａ線に沿った断面図である。図１（ａ）、（ｂ）に示す例においては、ガラス基板１に上側の表面１ａと下側の表面１ｂとを連通する貫通孔２が形成されている。貫通孔２の下側の表面１ｂ側であって貫通孔２の端部周囲に、４か所の欠け部３が形成されている。

図１（ａ）、（ｂ）に示す例において、欠け部３は４か所に存在するが、この例に限定されるものではなく、少なくとも１か所に欠け部３が形成されていれば、本発明を達成することができる。また、ガラス基板１の大きさ、貫通孔２の大きさ、数、配置なども、特に限定されるものではなく、通常用いられているものを使用することができる。

図２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、本発明の他の実施形態に係るガラス基板の平面図およびそのＡ−Ａ線に沿った断面図である。図２（ａ）、（ｂ）に示す例において、図１（ａ）、（ｂ）と同じ部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、貫通孔２の端部の全周に１か所の欠け部３が形成されている。

ガラス基板のハンドリングについて、従来例のガラス基板では、図３（ａ）のガラス基板５１の貫通孔５３の端部であるＸ部において、吸着パッド５２とガラス基板５１とが密着しているので、吸着パッド５２をガラス基板５１から取り外すことが難しい。これに対し、上述した本発明に係るガラス基板のハンドリングでは、図３（ｂ）のガラス基板１の貫通孔２の端部であるＸ部において欠け部３が存在する。そのため、吸着パッド１１をガラス基板１から取り外そうとすると、貫通孔２内の気体１２が欠け部３に吸い込まれて浸入し、吸着パッド１１の動きだしの起点となる。よって、吸着パッド１１をガラス基板１から容易に取り外すことができ、ガラス基板１のハンドリングが容易となる。

ガラス基板１において、貫通孔２の端部近傍の周囲に欠け部３を形成する方法については、特に限定されるものではなく、通常用いられている加工方法を利用することができる。例えば、貫通孔２を形成する際にできる欠け部を利用しても良いし、貫通孔２を形成した後に加工して形成することもできる。

この点で、Ｎｄ：ＹＡＧレーザー、エキシマレーザー、パルスＣＯ_２レーザーなどを用いて、上側の表面から下側の表面へ高エネルギーで一方向にレーザー加工する際において、通常レーザービームの出口側端部近傍の周囲に形成される欠け部をそのまま利用することが好ましい。

１ガラス基板
１ａ上側の表面
１ｂ下側の表面
２貫通孔
３欠け部
１１吸着パッド
１２貫通孔２内の気体

Claims

表裏に連通する貫通孔を有するガラス基板であって、
前記貫通孔の端部近傍の周囲に、少なくとも１つの欠け部を有する。
請求項１に記載のガラス基板であって、
前記欠け部が、前記ガラス基板を一方向にレーザー加工して貫通孔を形成する際に出口側の端部近傍の周囲に形成された欠け部である。