JP2020176915A - Particle counting method and particle counting device - Google Patents

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Abstract

To determine whether or not the light being detected is scattered light due to a particle or light entering from the outside of a device.SOLUTION: A particle counting device 1 for counting particles passing through a measurement object region, comprises: a light source unit 12 for irradiating the measurement object region with light; a light detection unit 20 provided at a position facing the measurement object region, at which light from the light source 12 is not received directly; a measurement execution unit 423 for turning the light source unit 12 on and receiving an output signal from the light detection unit 20, and detecting and counting particles on the basis of an event that the magnitude of the output signal exceeds a predetermined threshold; and a determination unit 424 for turning the light source unit 12 off and determining whether or not the magnitude of the output signal exceeds the threshold.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、パーティクル計数方法及びパーティクル計数装置に関する。 The present invention relates to a particle counting method and a particle counting device.

半導体の処理工程で発生し、処理室内を浮遊する粉塵などのパーティクルは、半導体製品の性能を低下させる要因となる。そこで、半導体処理装置では、パーティクルの発生を抑えるためにウエハの処理室（チャンバ）内を高真空状態にするとともに、処理室内を浮遊するパーティクルをリアルタイムで計数するパーティクル計数装置が設置される（例えば特許文献１）。 Particles such as dust generated in the semiconductor processing process and floating in the processing chamber are factors that deteriorate the performance of semiconductor products. Therefore, in the semiconductor processing apparatus, a particle counting apparatus is installed (for example,) in which the inside of the wafer processing chamber (chamber) is placed in a high vacuum state in order to suppress the generation of particles, and the particles floating in the processing chamber are counted in real time (for example). Patent Document 1).

特許文献１に記載のパーティクル計数装置は、円筒形の筐体と、該筐体の周面に互いに対向するように形成された一対の開口と、該筐体の一端（基端）に設けられたレーザ光源と、該筐体内部の、前記レーザ光を直接受光しない位置に設けられた光検出部を備えている。このパーティクル計数装置では、前記一対の開口を通じて筐体内に進入したパーティクルにレーザ光が照射されることにより生じる散乱光が光検出部に入射して、該光検出部からの出力信号の大きさが予め決められた閾値を超えたことに基づいて、パーティクルが検出され、計数される。 The particle counting device described in Patent Document 1 is provided at a cylindrical housing, a pair of openings formed so as to face each other on the peripheral surface of the housing, and one end (base end) of the housing. It is provided with a laser light source and a light detection unit provided inside the housing at a position where the laser light is not directly received. In this particle counting device, scattered light generated by irradiating the particles that have entered the housing through the pair of openings with laser light is incident on the photodetector, and the magnitude of the output signal from the photodetector is increased. Particles are detected and counted based on exceeding a predetermined threshold.

国際公開第２０１５／１４６４２９号International Publication No. 2015/146429 特開２０１３−８８１９８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-88198

半導体処理装置の場合、ウエハの処理状況を確認するためにチャンバ内に照明が設けられることがある。このような場合には、光検出器に照明光が直接入射しないようにパーティクル計数装置が配置されるものの、チャンバ内での照明光の散乱等により生じる、予期しない迷光がパーティクル計数装置に入り込むのを完全に防ぐことは困難である。そのため、パーティクルが計数されているときに、それがパーティクルによる散乱光が検出されたことによるものであるか、閾値を超える強度の迷光を検出したことによるものであるかを判別することが難しい場合があった。 In the case of a semiconductor processing apparatus, lighting may be provided in the chamber to check the processing status of the wafer. In such a case, the particle counting device is arranged so that the illumination light does not directly enter the photodetector, but unexpected stray light caused by scattering of the illumination light in the chamber or the like enters the particle counting device. Is difficult to prevent completely. Therefore, when it is difficult to determine whether the particles are counted and it is due to the detection of scattered light by the particles or the detection of stray light with an intensity exceeding the threshold value. was there.

ここでは、半導体処理装置のチャンバ内で使用されるパーティクル計数装置を例に説明したが、半導体装置以外で使用される場合にも上記同様の問題があった。なお、上記のパーティクル計数装置は筐体を備えたものとしたが、配管を流れるパーティクルを計数する場合などには、該配管内の測定対象領域に光を照射する光源と、その光を直接受光しない位置に設けられた光検出部のみで構成されたパーティクル計数装置を用いる場合もある。 Here, the particle counting device used in the chamber of the semiconductor processing device has been described as an example, but the same problem as described above has occurred when the particle counting device is used in other than the semiconductor device. Although the above-mentioned particle counting device is provided with a housing, when counting particles flowing through a pipe, a light source that irradiates a measurement target area in the pipe with light and directly receives the light. In some cases, a particle counting device composed of only a light detection unit provided at a position not provided is used.

本発明が解決しようとする課題は、パーティクルによる散乱光の検出と、閾値を超える強度の迷光の検出を判別することができるパーティクル計数方法及びパーティクル計数装置を提供することである。 An object to be solved by the present invention is to provide a particle counting method and a particle counting device capable of discriminating between detection of scattered light by particles and detection of stray light having an intensity exceeding a threshold value.

上記課題を解決するために成された本発明の一態様は、測定対象領域に光を照射しつつ、該光を直接受光しない位置に配置された光検出器からの出力信号を受信し、該出力信号の大きさが予め決められた閾値を超えていることに基づいてパーティクルを検出して計数するパーティクル計数方法において、
前記測定対象領域に光を照射することなく、前記光検出器からの出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定する工程
を含む。 One aspect of the present invention made to solve the above problems is to irradiate a measurement target area with light and receive an output signal from a photodetector arranged at a position where the light is not directly received. In a particle counting method in which particles are detected and counted based on the magnitude of an output signal exceeding a predetermined threshold value.
The step includes determining whether or not the magnitude of the output signal from the photodetector exceeds the threshold value without irradiating the measurement target area with light.

上記課題を解決するために成された本発明の別の態様は、測定対象領域を通過するパーティクルを計数するパーティクル計数装置であって、
前記測定対象領域に光を照射する光源部と、
前記測定対象領域に面した、前記光源からの光を直接受光しない位置に設けられた光検出部と、
前記光源部を点灯させて前記光検出部からの出力信号を受信し、該出力信号の大きさが予め決められた閾値を超えていることに基づいてパーティクルを検出して計数する測定実行部と、
前記光源部を消灯して前記出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定する判定部と
を備える。 Another aspect of the present invention made to solve the above problems is a particle counting device that counts particles passing through a measurement target area.
A light source unit that irradiates the measurement target area with light,
A photodetector provided at a position facing the measurement target area and not directly receiving light from the light source.
A measurement execution unit that lights up the light source unit, receives an output signal from the light detection unit, and detects and counts particles based on the magnitude of the output signal exceeding a predetermined threshold value. ,
A determination unit for determining whether or not the magnitude of the output signal exceeds the threshold value by turning off the light source unit is provided.

前記閾値は、パーティクルが存在しない状態での光検出器からの出力信号よりも大きく、かつ、パーティクルによる散乱光が光検出器で検出されたときの該光検出器からの出力信号よりも小さい値に、予め（例えばパーティクル計数装置の製造段階で）設定される。 The threshold value is larger than the output signal from the photodetector in the absence of particles and smaller than the output signal from the photodetector when the scattered light by the particles is detected by the photodetector. Is set in advance (for example, at the manufacturing stage of the particle counting device).

本発明に係るパーティクル計数装置は、半導体製造装置のチャンバなどの測定対象部位に取り付けて用いられる。また、本発明に係るパーティクル計数方法は、該チャンバ内等の測定対象領域を通過するパーティクルを計数するために用いられる。このパーティクル計数方法及び装置では、測定対象領域に光を照射した状態で、光検出部からの出力信号の大きさが予め決められた閾値を超えていることに基づいてパーティクルを検出して計数する。また、測定対象領域に光を照射することなく、光検出器からの出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定する。この判定は、例えば、パーティクル計数装置を測定対象部位に取り付けた時点で行う。あるいは、測定対象領域を通過するパーティクルの計数を開始した後、所定の時間間隔で行うようにしてもよい。測定対象領域に光を照射していない状態でパーティクルによる散乱光が発生することはなく、本来、光検出部からの出力信号が前記閾値を超えることはない。つまり、測定対象領域に光を照射していないにもかかわらず光検出器からの出力信号が前記閾値を超えている場合には、装置外部から進入した光（迷光）が検出されていることになる。従って、測定対象領域に光を照射していない状態で光検出器からの出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定することにより、検出されている光がパーティクルによる散乱光であるか、装置外部から進入した光であるかを判別することができる。 The particle counting device according to the present invention is used by being attached to a measurement target portion such as a chamber of a semiconductor manufacturing device. Further, the particle counting method according to the present invention is used to count particles passing through a measurement target region such as in the chamber. In this particle counting method and apparatus, particles are detected and counted based on the magnitude of the output signal from the photodetector exceeding a predetermined threshold value in a state where the measurement target area is irradiated with light. .. Further, it is determined whether or not the magnitude of the output signal from the photodetector exceeds the threshold value without irradiating the measurement target area with light. This determination is performed, for example, when the particle counting device is attached to the measurement target portion. Alternatively, after starting the counting of the particles passing through the measurement target area, the counting may be performed at a predetermined time interval. Scattered light by the particles is not generated when the measurement target region is not irradiated with light, and the output signal from the photodetector originally does not exceed the threshold value. That is, when the output signal from the photodetector exceeds the threshold value even though the measurement target area is not irradiated with light, the light (stray light) entering from the outside of the device is detected. Become. Therefore, by determining whether or not the magnitude of the output signal from the photodetector exceeds the threshold value when the measurement target area is not irradiated with light, the detected light is scattered light by particles. It is possible to determine whether the light is present or the light enters from the outside of the device.

本発明に係るパーティクル計数装置の一実施例の要部構成を説明する図。The figure explaining the main part structure of the Example of the particle counting device which concerns on this invention. 本実施例のパーティクル計数装置の本体部の矢視断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view of the main body of the particle counting device of this embodiment. 本実施例のパーティクル計数装置における光検出部からの出力信号の一例An example of an output signal from a photodetector in the particle counting device of this embodiment 本発明に係るパーティクル計数方法を、パーティクル計数装置の取り付け時に行う一実施例のフローチャート。FIG. 5 is a flowchart of an embodiment in which the particle counting method according to the present invention is performed when the particle counting device is attached. 本発明に係るパーティクル計数方法を、パーティクルの測定（計数）中に行う一実施例のフローチャート。FIG. 5 is a flowchart of an embodiment in which the particle counting method according to the present invention is performed during particle measurement (counting).

本発明に係るパーティクル計数装置及びパーティクル計数方法の一実施例について、以下、図面を参照して説明する。本実施例のパーティクル計数装置及びパーティクル計数方法は、例えば、半導体製造装置のウエハの処理室（チャンバ）内を浮遊するパーティクルをリアルタイムで計数するために用いられる。もちろん、本実施例のパーティクル計数装置及びパーティクル計数方法は、この用途に限らず、他の装置等において測定対象領域を浮遊するパーティクルを計数するためにも使用されうる。 An embodiment of the particle counting device and the particle counting method according to the present invention will be described below with reference to the drawings. The particle counting device and the particle counting method of this embodiment are used, for example, to count particles floating in a wafer processing chamber (chamber) of a semiconductor manufacturing device in real time. Of course, the particle counting device and the particle counting method of this embodiment are not limited to this application, and can be used for counting particles floating in the measurement target area in other devices and the like.

本実施例のパーティクル計数装置１の要部構成を図１及び図２に示す。本実施例のパーティクル計数装置１は、大別して本体部２と制御・処理部４から構成される。図１はパーティクル計数装置１の本体部２の上面図、及び該本体部２に接続される制御・処理部４の構成を示す図である。図２は図１のパーティクル計数装置１の本体部２のＡ’−Ａ’矢視断面図である。本実施例のパーティクル計数装置１は、円筒形の筐体１０と、筐体１０の周面に互いに対向するように形成された一対の開口部１１ａ、１１ｂと、筐体１０の一端（基端）に設けられたレーザ光源１２と、レーザ光を集光及び成形するためのレンズ１３と、筐体１０の他端（先端）に設けられたビームストッパ１４と、筐体１０の内部に設けられた一対の光検出部２０ａ、２０ｂとを含んでいる。光検出部２０ａ、２０ｂは、それぞれフォトダイオード２１ａ、２１ｂと該フォトダイオード２１ａ、２１ｂを保護するためのカバーガラス２２ａ、２２ｂを備えており、レーザ光の光路Ｃを挟んで互いに対向するように配置されている。 The main components of the particle counting device 1 of this embodiment are shown in FIGS. 1 and 2. The particle counting device 1 of this embodiment is roughly divided into a main body unit 2 and a control / processing unit 4. FIG. 1 is a top view of the main body 2 of the particle counting device 1 and a diagram showing a configuration of a control / processing unit 4 connected to the main body 2. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line A'-A'of the main body 2 of the particle counting device 1 of FIG. The particle counting device 1 of the present embodiment includes a cylindrical housing 10, a pair of openings 11a and 11b formed so as to face each other on the peripheral surface of the housing 10, and one end (base end) of the housing 10. ), A lens 13 for collecting and molding the laser beam, a beam stopper 14 provided at the other end (tip) of the housing 10, and a beam stopper 14 provided inside the housing 10. It includes a pair of photodetectors 20a and 20b. The photodetectors 20a and 20b are provided with photodiodes 21a and 21b and cover glasses 22a and 22b for protecting the photodiodes 21a and 21b, respectively, and are arranged so as to face each other with the optical path C of the laser beam interposed therebetween. Has been done.

このパーティクル計数装置１において、いずれかの開口部１１ａ、１１ｂから筐体１０の内部に進入したパーティクルは、レーザ光源１２から照射されたレーザ光を散乱させる。この散乱光が光検出部２０ａ、２０ｂに入射してフォトダイオード２１ａ、２１ｂにより検出される。フォトダイオード２１ａ、２１ｂからの出力信号は、制御・処理部４に送出され、該制御・処理部４のパーティクル計数部４２１によりパーティクルが計数される。以下の説明では、２つの光検出部２０ａ、２０ｂをまとめて光検出部２０と呼ぶ。 In the particle counting device 1, the particles that have entered the inside of the housing 10 through any of the openings 11a and 11b scatter the laser light emitted from the laser light source 12. This scattered light enters the photodetectors 20a and 20b and is detected by the photodiodes 21a and 21b. The output signals from the photodiodes 21a and 21b are sent to the control / processing unit 4, and the particles are counted by the particle counting unit 421 of the control / processing unit 4. In the following description, the two photodetectors 20a and 20b are collectively referred to as the photodetector 20.

制御・処理部４は、記憶部４１を備えている。記憶部４１には、パーティクルを計数する際に用いられる閾値Vthが予め保存されている。また、記憶部４１には、光検出部２０からの出力信号が順次、保存される。制御・処理部４は、また、機能ブロックとして、測定制御部４２を備えている。測定制御部４２は、光検出部２０からの出力信号に基づいてパーティクルを計数するパーティクル計数部４２１、パーティクル計数装置１の本体部２の取り付け状態を判定する取り付け状態判定部４２２、測定実行部４２３、測定状態判定部４２４、及び異常通知部４２５を含む。制御・処理部４の実体は一般的なコンピュータであり、使用者が各種の指示を入力するための入力部５、及びパーティクル計数装置１の状態や測定結果などを表示するための表示部６が接続されている。測定制御部４２の各機能ブロックは、コンピュータのプロセッサにより予め該コンピュータにインストールされているパーティクル計数プログラムを実行することで具現化される。 The control / processing unit 4 includes a storage unit 41. The storage unit 41 stores in advance a threshold value V th used when counting particles. Further, the output signals from the photodetector 20 are sequentially stored in the storage unit 41. The control / processing unit 4 also includes a measurement control unit 42 as a functional block. The measurement control unit 42 includes a particle counting unit 421 that counts particles based on an output signal from the light detection unit 20, an attachment state determination unit 422 that determines the attachment state of the main body 2 of the particle counting device 1, and a measurement execution unit 423. , A measurement state determination unit 424, and an abnormality notification unit 425. The substance of the control / processing unit 4 is a general computer, and an input unit 5 for the user to input various instructions and a display unit 6 for displaying the state and measurement results of the particle counting device 1 are provided. It is connected. Each functional block of the measurement control unit 42 is embodied by executing a particle counting program pre-installed in the computer by a computer processor.

パーティクル計数部４２１によるパーティクルの計数について説明する。図３は、光検出部２０による出力信号の一例である。パーティクル計数部４２１は、こうした出力信号を所定のサンプリング間隔で光検出部２０から受信し、これを予め定められた閾値と比較して、出力信号が閾値を超えた部分をパーティクル由来の信号ピークと判定してパーティクルの計数を行う。本実施例における光検出部２０の出力信号は電圧値であり、閾値としても電圧値が設定されている。この閾値は、パーティクルが存在しない状態での光検出器２０からの出力信号よりも大きく、かつ、パーティクルによる散乱光が光検出器２０で検出されたときの該光検出器２０からの出力信号よりも小さい値に、予め（例えばパーティクル計数装置の製造段階で）設定されている。 The counting of particles by the particle counting unit 421 will be described. FIG. 3 is an example of an output signal by the photodetector 20. The particle counting unit 421 receives such an output signal from the photodetector 20 at a predetermined sampling interval, compares it with a predetermined threshold value, and sets a portion where the output signal exceeds the threshold value as a signal peak derived from the particle. Judge and count the particles. The output signal of the photodetector 20 in this embodiment is a voltage value, and the voltage value is also set as a threshold value. This threshold value is larger than the output signal from the photodetector 20 in the absence of particles, and is larger than the output signal from the photodetector 20 when the scattered light by the particles is detected by the photodetector 20. Is set to a small value in advance (for example, at the manufacturing stage of the particle counting device).

次に、本実施例のパーティクル計数装置１を用いたパーティクル計数方法について説明する。図４は、パーティクル計数装置１の本体部２の取り付け状態を判定する手順に関するフローチャートである。図５は、パーティクル計数装置１を用いて測定対象領域を通過するパーティクルを実際に測定（計数）する際の手順に関するフローチャートである。 Next, a particle counting method using the particle counting device 1 of this embodiment will be described. FIG. 4 is a flowchart relating to a procedure for determining the attachment state of the main body 2 of the particle counting device 1. FIG. 5 is a flowchart relating to a procedure for actually measuring (counting) particles passing through a measurement target area using the particle counting device 1.

測定対象領域を通過するパーティクルを測定する際、まず、パーティクル計数装置１の本体部２が測定対象部位（例えばウエハの処理チャンバ内の所定位置）に取り付けられる（ステップ１）。 When measuring particles passing through the measurement target area, first, the main body 2 of the particle counting device 1 is attached to the measurement target portion (for example, a predetermined position in the processing chamber of the wafer) (step 1).

使用者がパーティクル計数装置１の本体部２を測定対象部位に取り付けた後、取り付け状態の確認を指示すると、取り付け状態判定部４２２は、レーザ光源１２が消灯している状態で（レーザ光源１２が点灯している場合には該レーザ光源を消灯して）、光検出部２０からの出力信号Voutを受信し（ステップ２）、その値を記憶部４１に保存されている閾値Vthと比較する。レーザ光源１２が消灯しているため、この状態でパーティクルによる散乱光が光検出部２０で検出されることはなく、本来、出力信号Voutが閾値Vthを上回ることはない。従って、出力信号Voutが閾値Vthを上回っている場合には、パーティクル計数装置１の本体部２の外の光が該本体部２内に進入して光検出部２０で検出されていることになる。そこで、出力信号Voutが閾値Vthを上回っている場合には（ステップ３でＹＥＳ）、異常通知部４２５が、外部光が本体部２内に進入しており該本体部２の取り付け状態が適切でないこと（異常）を通知する（ステップ４）。この通知は、例えば表示部６の画面に取り付け状態が適切でないことを表示したり、本体部２に設けられたランプに所定の色（例えば赤色）を点灯あるいは点滅したりすることにより行われる。この通知を見た使用者は、本体部２の取り付け状態を確認し（ステップ５）、再度、取り付け状態の確認を指示する。 After the user attaches the main body 2 of the particle counting device 1 to the measurement target portion and then instructs to confirm the attached state, the attached state determination unit 422 is in a state where the laser light source 12 is turned off (the laser light source 12 is turned off). (If it is lit, turn off the laser light source), receive the output signal V out from the light detection unit 20 (step 2), and compare the value with the threshold value V th stored in the storage unit 41. To do. Since the laser light source 12 is turned off, the scattered light by the particles is not detected by the photodetector 20 in this state, and the output signal V out does not originally exceed the threshold value V th . Therefore, when the output signal V out exceeds the threshold value V th , the light outside the main body 2 of the particle counting device 1 enters the main body 2 and is detected by the photodetector 20. become. Therefore, when the output signal V out exceeds the threshold value V th (YES in step 3), the abnormality notification unit 425 has the external light entering the main body 2 and the attached state of the main body 2 is changed. Notify that it is not appropriate (abnormal) (step 4). This notification is performed, for example, by displaying on the screen of the display unit 6 that the mounting state is not appropriate, or by lighting or blinking a predetermined color (for example, red) on the lamp provided in the main body unit 2. The user who sees this notification confirms the mounting state of the main body 2 (step 5), and instructs the user to check the mounting state again.

一方、出力信号Voutが閾値Vth以下である場合には（ステップ３でＮＯ）、取り付け状態判定部４２２は、本体部２が適切に取り付けられていると判断し、取り付け完了（本体部２が正常に取り付けられていること）を通知する（ステップ６）。この通知も、例えば表示部６の画面に本体部２が適切に取り付けられたことを表示したり、本体部２に設けられたランプに所定の色（例えば緑色）を点灯したりすることにより行うことができる。こうして、パーティクルを計測する前の準備が完了する。 On the other hand, when the output signal V out is equal to or less than the threshold value V th (NO in step 3), the mounting state determination unit 422 determines that the main body 2 is properly mounted, and the mounting is completed (main body 2). Is installed normally) (step 6). This notification is also performed, for example, by displaying on the screen of the display unit 6 that the main body unit 2 is properly attached, or by lighting a predetermined color (for example, green) on the lamp provided in the main body unit 2. be able to. In this way, the preparation before measuring the particles is completed.

本体部２が測定対象部位に適切に取り付けられたあと、使用者が、パーティクルの計数開始を指示すると、測定実行部４２３は、レーザ光源１２を点灯させ、光検出部２０からの出力信号の受信、及び記憶部４１への保存を開始する。記憶部４１には光検出部２０からの出力信号が時系列で保存される。 After the main body 2 is properly attached to the measurement target portion, when the user instructs to start counting the particles, the measurement execution unit 423 turns on the laser light source 12 and receives the output signal from the light detection unit 20. , And start saving to the storage unit 41. The output signal from the photodetector 20 is stored in the storage unit 41 in chronological order.

測定開始後、測定状態判定部４２４は、所定時間t0が経過したかを確認する（ステップ１１）。所定時間t0が経過していれば（ステップ１１でＹＥＳ）、次に、受信した出力信号Voutが閾値Vthを超えているかを確認する（ステップ１２）。出力信号Voutが閾値Vthを超えている場合には（ステップ１２でＹＥＳ）、その状態が所定時間t1継続しているかを確認する（ステップ１３）。所定時間t1が経過するまでに出力信号Voutが閾値Vth以下となった場合には（ステップ１３でＮＯ）、ステップ１１に戻る。所定時間t0は、例えば24時間であり、また、所定時間t1は、例えば10秒である。これらの具体的な数値は一例に過ぎず、測定対象のパーティクルや測定環境に応じて適宜に変更される。 After the start of measurement, the measurement state determination unit 424 confirms whether or not the predetermined time t 0 has elapsed (step 11). If the predetermined time t 0 has elapsed (YES in step 11), then it is confirmed whether the received output signal V out exceeds the threshold value V th (step 12). If the output signal V out exceeds the threshold value V th (YES in step 12), it is confirmed whether the state continues for a predetermined time t 1 (step 13). If the output signal V out becomes equal to or less than the threshold value V th by the elapse of the predetermined time t 1 (NO in step 13), the process returns to step 11. The predetermined time t 0 is, for example, 24 hours, and the predetermined time t 1 is, for example, 10 seconds. These specific numerical values are only examples, and are appropriately changed according to the particles to be measured and the measurement environment.

一方、出力信号Voutが閾値Vthを超えている状態が所定時間t1継続した場合には（ステップ１３でＹＥＳ）、測定状態判定部４２４はレーザ光源１２を消灯する（ステップ１４）。そして、レーザ光源１２が消灯した状態で、光検出部２０からの出力信号Voutが閾値Vthを超えているかを確認する（ステップ１５）。 On the other hand, when the state in which the output signal V out exceeds the threshold value V th continues for a predetermined time t 1 (YES in step 13), the measurement state determination unit 424 turns off the laser light source 12 (step 14). Then, with the laser light source 12 turned off, it is confirmed whether the output signal V out from the photodetector 20 exceeds the threshold value V th (step 15).

パーティクル計数装置１の本体部２の取り付け状態を判定したときと同様に、レーザ光源１２が消灯した状態ではパーティクルによる散乱光は発生せず、従って、本来、この状態で光検出部２０からの出力信号Voutが閾値Vthを上回ることはない。レーザ光源１２が消灯した状態でも、依然、光検出部２０からの出力信号Voutが閾値Vthを上回っている場合には（ステップ１５でＹＥＳ）、本体部２の外の光が該本体部２内に入射し、光検出部２０で検出されていることになる。そこで、異常通知部４２５は、外部光が本体部２内に進入していること（異常）を通知する。この通知も、本体部２の取り付け状態を判定したときと同様に、例えば表示部６の画面に取り付け状態が適切でないことを表示したり、本体部２に設けられたランプに所定の色（例えば赤色）を点灯あるいは点滅したりすることにより行われる。この通知を見た使用者は、パーティクルの計数をいったん中止し、本体部２の取り付け状態を確認し、再度、取り付け状態の確認を指示する（図４参照）。 Similar to the case where the mounting state of the main body 2 of the particle counting device 1 is determined, the scattered light by the particles is not generated when the laser light source 12 is turned off. Therefore, the output from the photodetector 20 is originally in this state. The signal V out never exceeds the threshold V th . Even when the laser light source 12 is turned off, if the output signal V out from the photodetector 20 still exceeds the threshold value V th (YES in step 15), the light outside the main body 2 is the main body. It is incident inside 2 and is detected by the light detection unit 20. Therefore, the abnormality notification unit 425 notifies that the external light has entered the main body 2 (abnormality). In this notification as well, as in the case of determining the mounting state of the main body 2, for example, the screen of the display unit 6 indicates that the mounting state is not appropriate, or the lamp provided on the main body 2 has a predetermined color (for example). It is done by turning on or blinking (red). Upon seeing this notification, the user temporarily stops counting the particles, confirms the attached state of the main body 2, and instructs the user to confirm the attached state again (see FIG. 4).

一方、レーザ光源１２を消灯した状態で、光検出部２０からの出力信号Voutが閾値Vthを下回った場合には（ステップ１５）、測定状態判定部４２４は、レーザ光源１２の点灯時に、パーティクルによる散乱光が光検出部２０により検出されたことによって出力信号Voutが閾値Vthを上回った、即ち、正常にパーティクルの計数が行われていると判定する。その場合には、使用者により測定の終了が指示されたか（あるいは事前に設定された測定時間が経過したか）を確認する（ステップ３２）。測定が終了していない場合には（ステップ３２でＮＯ）、レーザ光源１２を点灯させて（ステップ３３）、ステップ１１に戻る。測定が終了した場合には（ステップ３２でＹＥＳ）、一連の処理を完了する。 On the other hand, when the output signal V out from the light detection unit 20 falls below the threshold value V th with the laser light source 12 turned off (step 15), the measurement state determination unit 424 determines when the laser light source 12 is turned on. It is determined that the output signal V out exceeds the threshold value V th because the scattered light by the particles is detected by the light detection unit 20, that is, the particles are counted normally. In that case, it is confirmed whether the end of the measurement is instructed by the user (or whether the preset measurement time has elapsed) (step 32). If the measurement is not completed (NO in step 32), the laser light source 12 is turned on (step 33), and the process returns to step 11. When the measurement is completed (YES in step 32), a series of processes is completed.

ステップ１２（測定開始後、所定時間t0が経過した時点）において、出力信号Voutが閾値Vth以下である場合には（ステップ１２でＮＯ）、その状態が所定時間t2継続するかを確認する（ステップ２１）。所定時間t2が経過する前に、出力信号Voutが閾値Vthを上回った場合には（ステップ２１でＮＯ）、ステップ１１に戻る。所定時間t2は、例えば10秒である。この具体的な数値も一例に過ぎず、測定対象のパーティクルや測定環境に応じて適宜に変更される。また、時間t1とt2は同じ時間であってもよく、あるいは時間t1とt2が異なる時間であってもよい。 If the output signal V out is equal to or less than the threshold value V th (NO in step 12) in step 12 (when a predetermined time t 0 has elapsed after the start of measurement), it is determined whether the state continues for a predetermined time t 2. Confirm (step 21). If the output signal V out exceeds the threshold value V th before the predetermined time t 2 elapses (NO in step 21), the process returns to step 11. The predetermined time t 2 is, for example, 10 seconds. This specific numerical value is only an example, and is appropriately changed according to the particles to be measured and the measurement environment. Also, the times t 1 and t 2 may be the same time, or the times t 1 and t 2 may be different times.

一方、出力信号Voutが閾値Vth以下である状態が所定時間t2継続した場合には（ステップ２１でＹＥＳ）、レーザ光源１２を消灯する（ステップ２２）。 On the other hand, when the state in which the output signal V out is equal to or less than the threshold value V th continues for a predetermined time t 2 (YES in step 21), the laser light source 12 is turned off (step 22).

そして、レーザ光源１２を消灯した状態で、出力信号Voutが、レーザ光源１２の点灯時よりも低下したかを判定する（ステップ２３）。レーザ光源１２の点灯時には、パーティクルが測定対象領域に流入していない場合であっても、光検出部２０からの出力信号にはバックグラウンド信号が含まれている。例えば、レーザ光源１２から発せられ、測定対象領域（2つの開口部１１ａ、１１ｂの間の空間）を通過したレーザ光はビームストッパ１４により吸収されるが、必ずしも完全に吸収されるわけではなく、その一部はビームストッパ１４で散乱し、光検出部２０で検出されうる。しかし、そうしたバックグラウンド信号も、レーザ光源１２を消灯すれば消失する。つまり、レーザ光源１２を消灯した状態での光検出部２０からの出力信号Voutは、本来、レーザ光源１２の点灯時よりも低くなるはずである。 Then, with the laser light source 12 turned off, it is determined whether the output signal V out is lower than when the laser light source 12 is turned on (step 23). When the laser light source 12 is lit, the output signal from the photodetector 20 includes a background signal even when the particles do not flow into the measurement target region. For example, the laser light emitted from the laser light source 12 and passing through the measurement target region (the space between the two openings 11a and 11b) is absorbed by the beam stopper 14, but is not necessarily completely absorbed. A part of it is scattered by the beam stopper 14, and can be detected by the light detection unit 20. However, such a background signal also disappears when the laser light source 12 is turned off. That is, the output signal V out from the photodetector 20 when the laser light source 12 is turned off should be lower than when the laser light source 12 is turned on.

レーザ光源１２を消灯しても光検出部２０からの出力信号Voutが低下しない場合には（ステップ２３でＮＯ）、レーザ光源１２が点灯していない、あるいは光検出部２０が光を正常に検出していないことが考えられる。そこで、レーザ光源１２を消灯しても光検出部２０からの出力信号Voutが低下しない場合には、異常通知部４２５が、レーザ光源１２や光検出部２０といった機器に異常が発生していることを通知して（ステップ２４）、測定実行部４２３によるパーティクルの計数を終了する。この通知は、例えば表示部６の画面に取り付け状態が適切でないことを表示したり、本体部２に設けられたランプに所定の色（例えば赤色）を点灯あるいは点滅したりすることにより行われる。この通知を見た使用者は、パーティクルの計数をいったん中止し、光源部１２や光検出器２０の動作を確認した上で、パーティクルの計数を再開する（ステップ１１に戻る）。 If the output signal V out from the photodetector 20 does not decrease even if the laser light source 12 is turned off (NO in step 23), the laser light source 12 is not lit or the photodetector 20 normally emits light. It is possible that it has not been detected. Therefore, if the output signal V out from the photodetector 20 does not decrease even when the laser light source 12 is turned off, the abnormality notification unit 425 has an abnormality in the device such as the laser light source 12 or the photodetector 20. Notifying that (step 24), the counting of particles by the measurement execution unit 423 is completed. This notification is performed, for example, by displaying on the screen of the display unit 6 that the mounting state is not appropriate, or by lighting or blinking a predetermined color (for example, red) on the lamp provided in the main body unit 2. Upon seeing this notification, the user temporarily stops counting the particles, confirms the operation of the light source unit 12 and the photodetector 20, and then restarts the counting of particles (returns to step 11).

一方、レーザ光源１２の消灯により、光検出部２０からの出力信号Voutが低下している場合には、レーザ光源１２や光検出部２０といった機器が正常に動作している。そこで、レーザ光源１２の消灯前の光検出部２０からの出力信号Voutを、その時点でのバックグラウンド信号の値V0として（ステップ３１）、記憶部４１に保存する。記憶部４１には、ステップ３１を経る毎に、その時点でのバックグラウンド信号V0の値が時系列で保存される。これらバックグラウンド信号V0の値は、光検出部２０からの出力信号Voutに基づいてパーティクルを計数する処理に用いられる。パーティクルの計数処理には、従来知られている適宜のアルゴリズム（例えば特許文献２に記載のもの）が用いられる。光検出部２０からの出力信号Voutからバックグラウンド信号V0の値を差し引いてパーティクルの計数処理を行うことにより、出力信号のS/N比を高め、パーティクルをより正確に計数することが可能となる。 On the other hand, when the output signal V out from the photodetector 20 is lowered due to the extinguishing of the laser light source 12, the devices such as the laser light source 12 and the photodetector 20 are operating normally. Therefore, the output signal V out from the photodetector 20 before the laser light source 12 is turned off is stored in the storage unit 41 as the value V 0 of the background signal at that time (step 31). Each time the step 31 is passed, the storage unit 41 stores the value of the background signal V 0 at that time in chronological order. These values of the background signal V 0 are used in the process of counting particles based on the output signal V out from the photodetector 20. A conventionally known appropriate algorithm (for example, that described in Patent Document 2) is used for the particle counting process. By subtracting the value of the background signal V 0 from the output signal V out from the photodetector 20 and performing the particle counting process, the S / N ratio of the output signal can be increased and the particles can be counted more accurately. It becomes.

バックグラウンド信号の値V0を保存すると、使用者により測定の終了が指示されたか（あるいは事前に設定された測定時間が経過したか）を確認する（ステップ３２）。測定が終了した場合には（ステップ３２でＹＥＳ）、一連の処理を完了する。測定が終了していない場合には（ステップ３２でＮＯ）、レーザ光源１２を点灯させて（ステップ３３）、最初のステップ１１に戻る。測定が終了した場合には（ステップ３２でＹＥＳ）、一連の処理を完了する。 When the background signal value V 0 is saved, it is confirmed whether the user has instructed the end of the measurement (or whether the preset measurement time has elapsed) (step 32). When the measurement is completed (YES in step 32), a series of processes is completed. If the measurement is not completed (NO in step 32), the laser light source 12 is turned on (step 33), and the process returns to the first step 11. When the measurement is completed (YES in step 32), a series of processes is completed.

従来のパーティクル計数装置やパーティクル計数方法では、装置を測定対象部位に取り付けたあと、測定開始前や測定中にパーティクルが計数されているときに、それがパーティクルによる散乱光が検出されたことによるものであるか、閾値を超える強度の迷光を検出したことによるものであるかを判別することが難しい場合があった。そのため、実際には、測定対象領域をパーティクルが通過していないにもかかわらず、パーティクルが誤って計数されてしまう場合があった。また、測定開始後に、レーザ光源１２や光検出部２０に異常が発生していたとしても、それを発見することが困難であった。 In the conventional particle counting device and particle counting method, after the device is attached to the measurement target part, when the particles are counted before the start of measurement or during the measurement, the scattered light by the particles is detected. In some cases, it was difficult to determine whether it was due to the detection of stray light with an intensity exceeding the threshold value. Therefore, in reality, the particles may be erroneously counted even though the particles have not passed through the measurement target area. Further, even if an abnormality occurs in the laser light source 12 or the photodetector 20 after the start of measurement, it is difficult to detect it.

これに対し、本実施例のパーティクル計数装置１及びパーティクル計数方法では、パーティクル計数装置１を測定対象部位に取り付けた時点で、光検出器２０の出力信号が閾値を超える強度の（パーティクルが計数される強度の）光が装置外部から進入していないかを確認することができ、さらに、パーティクルの測定（計数）開始後にも、定期的に、検出器２０の出力信号が閾値を超える強度の光が外部からパーティクル計数装置１に進入していないか（即ち光検出部２０で検出されていないか）を確認することができる。また、レーザ光源１２や光検出部２０に異常が発生していないかを確認することもできる。これにより、測定対象領域を通過するパーティクルを正確に計数することができる。 On the other hand, in the particle counting device 1 and the particle counting method of the present embodiment, when the particle counting device 1 is attached to the measurement target portion, the output signal of the photodetector 20 has an intensity exceeding the threshold value (particles are counted). It is possible to check whether light (of the same intensity) has entered from the outside of the device, and even after the start of particle measurement (counting), the output signal of the detector 20 periodically exceeds the threshold value. Can be confirmed from the outside whether or not has entered the particle counting device 1 (that is, is not detected by the photodetector 20). It is also possible to confirm whether or not an abnormality has occurred in the laser light source 12 or the photodetector 20. As a result, the particles passing through the measurement target area can be accurately counted.

上記実施例は一例であって、本発明の趣旨に沿って適宜に変更することができる。
上記実施例では、測定開始後に測定環境の光が定常的に入射する場合を想定して、ステップ１３において、光検出部２０からの出力信号Voutが閾値Vthを上回っている状態が、所定時間t1継続しているかを判定した。しかし、測定開始後に測定環境の光が間欠的に入射する（例えば、ウエハの処理チャンバや、処理中のウエハを撮影するカメラに設けられ、それらが動作中であることを示すランプの点滅光などが入射する）可能性がある場合には、上記実施例のステップ１３において、所定時間t1の間に予め決められた回数以上、光検出部２０からの出力信号Voutが、閾値Vthを上回ったか（即ち、予め決められた以上の頻度で光検出部２０からの出力信号Voutが閾値Vthを上回ったか）を確認するようにしてもよい。 The above embodiment is an example, and can be appropriately modified according to the gist of the present invention.
In the above embodiment, assuming that the light in the measurement environment is constantly incident after the start of measurement, the state in which the output signal V out from the photodetector 20 exceeds the threshold value V th is predetermined in step 13. Time t 1 Determined if it continued. However, after the start of measurement, the light of the measurement environment is intermittently incident (for example, a flashing light of a lamp provided in the processing chamber of the wafer or a camera for photographing the wafer being processed and indicating that they are in operation). In step 13 of the above embodiment, the output signal V out from the photodetector 20 sets the threshold value V th more than a predetermined number of times during the predetermined time t 1 when there is a possibility that the light is incident. It may be confirmed whether the output signal V out from the photodetector 20 exceeds the threshold value V th more frequently than the predetermined frequency (that is, whether the output signal V out exceeds the threshold value V th ).

また、上記実施例では、光検出部２０にフォトダイオード２１ａ、２１ｂを用いたが、光を検出して信号を出力することが可能なものであればよく、光電子増倍管やCCD検出器など、様々な種類のものを用いることが可能である。 Further, in the above embodiment, the photodiodes 21a and 21b are used for the light detection unit 20, but any photomultiplier tube, CCD detector, etc. may be used as long as it can detect light and output a signal. , Various types can be used.

さらに、上記実施例では予め設定された1つの閾値のみを使用する場合を説明したが、閾値は、パーティクルが存在しない状態での光検出器からの出力信号よりも大きく、かつ、パーティクルによる散乱光が光検出器で検出されたときの該光検出器からの出力信号よりも小さい値であればよく、パーティクル計数装置を測定対象部位に取り付けたあと、該装置の外部から進入しうる光の強度に応じて、予め用意された複数の閾値候補の中から選択可能に（あるいは任意の閾値を設定可能に）してもよい。 Further, in the above embodiment, the case where only one preset threshold value is used has been described, but the threshold value is larger than the output signal from the light detector in the absence of particles, and the scattered light by the particles is large. The value may be smaller than the output signal from the light detector when is detected by the light detector, and the intensity of light that can enter from the outside of the device after the particle counting device is attached to the measurement target site. Depending on the situation, it may be possible to select from a plurality of threshold candidates prepared in advance (or to set an arbitrary threshold value).

その他、上記実施例では、筐体１０を有する本体部２を備えたパーティクル計数装置について説明したが、配管を流れるパーティクルを計数する場合などには、該配管内の測定対象領域に光を照射する光源と、その光を直接受光しない位置に設けられた光検出部で構成された、筐体を有しないパーティクル計数装置を用いることもできる。 In addition, in the above embodiment, the particle counting device including the main body portion 2 having the housing 10 has been described, but when counting the particles flowing through the pipe, the measurement target area in the pipe is irradiated with light. It is also possible to use a particle counting device having no housing, which is composed of a light source and a light detection unit provided at a position where the light is not directly received.

以上、図面を参照して本発明における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本発明の種々の態様について説明する。 The various embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the drawings, and finally, various aspects of the present invention will be described.

本発明の第１態様は、測定対象領域を通過するパーティクルを計数するパーティクル計数装置であって、
前記測定対象領域に光を照射する光源部と、
前記測定対象領域に面した、前記光源からの光を直接受光しない位置に設けられた光検出部と、
前記光源部を点灯させて前記光検出部からの出力信号を受信し、該出力信号の大きさが予め決められた閾値を超えていることに基づいてパーティクルを検出して計数する測定実行部と、
前記光源部を消灯して前記出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定する判定部と
を備える。 The first aspect of the present invention is a particle counting device that counts particles passing through a measurement target area.
A light source unit that irradiates the measurement target area with light,
A photodetector provided at a position facing the measurement target area and not directly receiving light from the light source.
A measurement execution unit that lights up the light source unit, receives an output signal from the light detection unit, and detects and counts particles based on the magnitude of the output signal exceeding a predetermined threshold value. ,
A determination unit for determining whether or not the magnitude of the output signal exceeds the threshold value by turning off the light source unit is provided.

また、本発明の第６態様は、測定対象領域に光を照射しつつ、該光を直接受光しない位置に配置された光検出器からの出力信号を受信し、該出力信号の大きさが予め決められた閾値を超えていることに基づいてパーティクルを検出して計数するパーティクル計数方法であって、
前記測定対象領域に光を照射することなく、前記光検出器からの出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定する工程
を含む。 Further, in the sixth aspect of the present invention, while irradiating the measurement target area with light, an output signal is received from a photodetector arranged at a position where the light is not directly received, and the magnitude of the output signal is determined in advance. It is a particle counting method that detects and counts particles based on the fact that the threshold value is exceeded.
The step includes determining whether or not the magnitude of the output signal from the photodetector exceeds the threshold value without irradiating the measurement target area with light.

前記閾値は、パーティクルが存在せず、また装置外部からの光が光検出部に入射していない状態での光検出器からの出力信号よりも大きく、かつ、パーティクルによる散乱光が光検出器で検出されているときの該光検出器からの出力信号よりも小さい値に、予め（例えばパーティクル計数装置の製造段階で）設定される。 The threshold value is larger than the output signal from the photodetector when there are no particles and the light from the outside of the device is not incident on the photodetector, and the scattered light by the particles is the photodetector. A value smaller than the output signal from the photodetector at the time of detection is set in advance (for example, at the manufacturing stage of the particle counting device).

上記第１態様のパーティクル計数装置は、半導体製造装置のチャンバなどの測定対象部位に取り付けて用いられる。また、上記第６態様のパーティクル計数方法は、該チャンバ内等の測定対象領域を通過するパーティクルを計数するために用いられる。このパーティクル計数方法及び装置では、測定対象領域に光を照射した状態で、光検出部からの出力信号の大きさが予め決められた閾値を超えていることに基づいてパーティクルを検出して計数する。また、測定対象領域に光を照射することなく、光検出器からの出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定する。 The particle counting device of the first aspect is used by being attached to a measurement target portion such as a chamber of a semiconductor manufacturing device. Further, the particle counting method of the sixth aspect is used for counting particles passing through a measurement target region such as in the chamber. In this particle counting method and apparatus, particles are detected and counted based on the magnitude of the output signal from the photodetector exceeding a predetermined threshold value in a state where the measurement target area is irradiated with light. .. Further, it is determined whether or not the magnitude of the output signal from the photodetector exceeds the threshold value without irradiating the measurement target area with light.

測定対象領域に光を照射していない状態でパーティクルによる散乱光が発生することはなく、本来、光検出部からの出力信号が前記閾値を超えることはない。つまり、光検出器からの出力信号が前記閾値を超えている場合には、装置外部から進入した光が検出されていることになる。従って、測定対象領域に光を照射していない状態で光検出器からの出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定することにより、検出されている光がパーティクルによる散乱光であるか、装置外部から進入した光であるかを判別することができる。 Scattered light by particles is not generated when the measurement target region is not irradiated with light, and the output signal from the photodetector originally does not exceed the threshold value. That is, when the output signal from the photodetector exceeds the threshold value, the light entering from the outside of the device is detected. Therefore, by determining whether or not the magnitude of the output signal from the photodetector exceeds the threshold value when the measurement target area is not irradiated with light, the detected light is scattered light by particles. It is possible to determine whether the light is present or the light enters from the outside of the device.

本発明の第２態様に係るパーティクル計数装置は、第１態様のパーティクル計数装置において、
前記判定部は、前記測定実行部による測定開始後、前記光源部を点灯させた状態で、前記閾値を超える大きさの出力信号が所定時間、検出された場合に動作する。 The particle counting device according to the second aspect of the present invention is the particle counting device according to the first aspect.
The determination unit operates when an output signal having a magnitude exceeding the threshold value is detected for a predetermined time with the light source unit turned on after the measurement is started by the measurement execution unit.

上記第２態様に係るパーティクル計数装置では、測定開始後に、装置外部の光が進入した場合でも、検出されている光がパーティクルによる散乱光であるか、装置外部から進入した光であるかを判別することができる。なお、上記の、閾値を超える大きさの出力信号が所定時間、検出されるとは、必ずしも上記所定時間の間に光検出器から出力される信号の大きさが全て閾値を上回っている場合のみに限らず、所定時間の間に光検出器から出力される信号のうち、所定の割合以上の出力信号の大きさが閾値を上回っている場合を含みうる。 In the particle counting device according to the second aspect, even when light outside the device enters after the start of measurement, it is determined whether the detected light is scattered light by particles or light entering from outside the device. can do. It should be noted that the above-mentioned output signal having a magnitude exceeding the threshold value is detected for a predetermined time only when all the magnitudes of the signals output from the photodetector during the above-mentioned predetermined time exceed the threshold value. Not limited to this, it may include the case where the magnitude of the output signal of a predetermined ratio or more among the signals output from the photodetector during a predetermined time exceeds the threshold value.

本発明の第３態様に係るパーティクル計数装置は、第２態様のパーティクル計数装置において、
前記判定部は、前記測定実行部による測定開始後、前記光源部を点灯させた状態で、前記閾値以下の前記出力信号の大きさが所定時間、検出された場合に、前記光源部を消灯し、前記光源部を消灯したあとの前記出力信号の大きさが、該光源部の点灯時の前記出力信号の大きさから低下したか否かを判定する。 The particle counting device according to the third aspect of the present invention is the particle counting device according to the second aspect.
After the measurement is started by the measurement execution unit, the determination unit turns off the light source unit when the light source unit is turned on and the magnitude of the output signal below the threshold value is detected for a predetermined time. It is determined whether or not the magnitude of the output signal after the light source unit is turned off is reduced from the magnitude of the output signal when the light source unit is turned on.

上記第３態様に係るパーティクル計数装置では、光源部や光検出器などの機器の動作の異常を発見することができる。 In the particle counting device according to the third aspect, it is possible to detect an abnormality in the operation of a device such as a light source unit or a photodetector.

本発明の第４態様に係るパーティクル計数装置は、第３態様のパーティクル計数装置において、
前記判定部により、前記光源部を消灯したあとの前記出力信号の大きさが、該光源部の点灯時の前記出力信号の大きさから低下した、と判定された場合に、該光源部の点灯時の前記出力信号の大きさをバックグラウンド信号として保存する。 The particle counting device according to the fourth aspect of the present invention is the particle counting device according to the third aspect.
When it is determined by the determination unit that the magnitude of the output signal after the light source unit is turned off is lower than the magnitude of the output signal when the light source unit is lit, the light source unit is turned on. The magnitude of the output signal at the time is saved as a background signal.

上記第４態様に係るパーティクル計数装置では、光検出部からの出力信号からバックグラウンド信号を差し引く処理を行う等により、出力信号のS/N比を高め、パーティクルをより正確に計数することができる。 In the particle counting device according to the fourth aspect, the S / N ratio of the output signal can be increased and particles can be counted more accurately by performing a process of subtracting a background signal from the output signal from the photodetector. ..

本発明の第５態様に係るパーティクル計数装置は、第１態様から第４態様のいずれかのパーティクル計数装置において、
さらに、
前記判定部により、前記出力信号の大きさが前記閾値を超えている、と判定された場合に、異常情報を通知する異常通知部
を備える。 The particle counting device according to the fifth aspect of the present invention is the particle counting device according to any one of the first to fourth aspects.
further,
When the determination unit determines that the magnitude of the output signal exceeds the threshold value, the determination unit includes an abnormality notification unit that notifies abnormality information.

上記第５態様に係るパーティクル計数装置では、異常通知部により通知された異常情報を使用者が見ることにより、装置に異常が生じていることを簡便に把握することができる。 In the particle counting device according to the fifth aspect, the user can easily grasp that an abnormality has occurred in the device by viewing the abnormality information notified by the abnormality notification unit.

１…パーティクル計数装置
２…本体部
１０…筐体
１１ａ、１１ｂ…開口部
１２…レーザ光源
１３…レンズ
１４…ビームストッパ
２０（２０ａ、２０ｂ）…光検出部
２１ａ、２１ｂ…フォトダイオード
２２ａ、２２ｂ…カバーガラス
４…制御・処理部
４１…記憶部
４２…測定制御部
４２１…パーティクル計数部
４２２…状態判定部
４２３…測定実行部
４２４…測定状態判定部
４２５…異常通知部
５…入力部
６…表示部
Ｃ…光路 1 ... Particle counting device 2 ... Main body 10 ... Housing 11a, 11b ... Opening 12 ... Laser light source 13 ... Lens 14 ... Beam stopper 20 (20a, 20b) ... Light detectors 21a, 21b ... Photodiodes 22a, 22b ... Cover glass 4 ... Control / processing unit 41 ... Storage unit 42 ... Measurement control unit 421 ... Particle counting unit 422 ... Status determination unit 423 ... Measurement execution unit 424 ... Measurement status determination unit 425 ... Abnormality notification unit 5 ... Input unit 6 ... Display Part C ... Optical path

Claims (6)

測定対象領域を通過するパーティクルを計数するパーティクル計数装置であって、
前記測定対象領域に光を照射する光源部と、
前記測定対象領域に面した、前記光源からの光を直接受光しない位置に設けられた光検出部と、
前記光源部を点灯させて前記光検出部からの出力信号を受信し、該出力信号の大きさが予め決められた閾値を超えていることに基づいてパーティクルを検出して計数する測定実行部と、
前記光源部を消灯して前記出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定する判定部と
を備えるパーティクル計数装置。 A particle counting device that counts particles that pass through the measurement target area.
A light source unit that irradiates the measurement target area with light,
A photodetector provided at a position facing the measurement target area and not directly receiving light from the light source.
A measurement execution unit that lights up the light source unit, receives an output signal from the light detection unit, and detects and counts particles based on the magnitude of the output signal exceeding a predetermined threshold value. ,
A particle counting device including a determination unit that turns off the light source unit and determines whether or not the magnitude of the output signal exceeds the threshold value. 前記判定部は、前記測定実行部による測定開始後、前記光源部を点灯させた状態で、前記閾値を超える大きさの出力信号が所定時間、検出された場合に動作する、請求項１に記載のパーティクル計数装置。 The first aspect of the present invention, wherein the determination unit operates when an output signal having a magnitude exceeding the threshold value is detected for a predetermined time in a state where the light source unit is turned on after the start of measurement by the measurement execution unit. Particle counting device. 前記判定部は、前記測定実行部による測定開始後、前記光源部を点灯させた状態で、前記閾値以下の前記出力信号の大きさが所定時間、検出された場合に、前記光源部を消灯し、前記光源部を消灯したあとの前記出力信号の大きさが、該光源部の点灯時の前記出力信号の大きさから低下したか否かを判定する、請求項２に記載のパーティクル計数装置。 After the measurement is started by the measurement execution unit, the determination unit turns off the light source unit when the light source unit is turned on and the magnitude of the output signal below the threshold value is detected for a predetermined time. The particle counting device according to claim 2, wherein it is determined whether or not the magnitude of the output signal after the light source unit is turned off is reduced from the magnitude of the output signal when the light source unit is turned on. 前記判定部により、前記光源部を消灯したあとの前記出力信号の大きさが、該光源部の点灯時の前記出力信号の大きさから低下した、と判定された場合に、該光源部の点灯時の前記出力信号の大きさをバックグラウンド信号として保存する、請求項３に記載のパーティクル計数装置。 When it is determined by the determination unit that the magnitude of the output signal after the light source unit is turned off is lower than the magnitude of the output signal when the light source unit is lit, the light source unit is turned on. The particle counting device according to claim 3, wherein the magnitude of the output signal at the time is stored as a background signal. さらに、
前記判定部により、前記出力信号の大きさが前記閾値を超えている、と判定された場合に、異常情報を通知する異常通知部
を備える、請求項１から４のいずれかに記載のパーティクル計数装置。 further,
The particle count according to any one of claims 1 to 4, further comprising an abnormality notification unit for notifying abnormality information when the determination unit determines that the magnitude of the output signal exceeds the threshold value. apparatus. 測定対象領域に光を照射しつつ、該光を直接受光しない位置に配置された光検出器からの出力信号を受信し、該出力信号の大きさが予め決められた閾値を超えていることに基づいてパーティクルを検出して計数するパーティクル計数方法であって、
前記測定対象領域に光を照射することなく、前記光検出器からの出力信号の大きさが前記閾値を超えているか否かを判定する工程
を含むパーティクル計数方法。 While irradiating the measurement target area with light, the output signal from the photodetector arranged at a position where the light is not directly received is received, and the magnitude of the output signal exceeds a predetermined threshold value. A particle counting method that detects and counts particles based on
A particle counting method including a step of determining whether or not the magnitude of an output signal from the photodetector exceeds the threshold value without irradiating the measurement target area with light.
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