JP2020172050A - Head module, head unit, liquid discharge head and device for discharging liquid - Google Patents

Head module, head unit, liquid discharge head and device for discharging liquid Download PDF

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Abstract

To improve joint reliability between a nozzle plate and a cover member while preventing the nozzle plate from being broken.SOLUTION: A head module 100 includes: a head 1 including a nozzle plate 10 of which discharge surface 10 is provided with a liquid repellent film 14; and a cover member 103 for covering a peripheral edge part of a discharge surface 10a of the nozzle plate 10. The cover member 103 is joined to the nozzle plate 10 by an adhesive agent 12. Multiple recess parts 13 are provided in a region joined to the cover member 103 of the nozzle plate 10. Internal wall surfaces 13a of the recess parts 13 are not provided with the liquid repellent film 14.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明はヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置に関する。 The present invention relates to a head module, a head unit, a liquid discharge head, and a device for discharging a liquid.

液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、ノズルが形成されたノズル面の周縁部を覆うカバー部材を設けるものがある。 As a liquid discharge head that discharges a liquid, there is one provided with a cover member that covers the peripheral edge of the nozzle surface on which the nozzle is formed.

従来、ノズル板の周縁部に連続する環状の溝を形成し、溝内に設けた接着剤を介してカバー部材と接合したものが知られている(特許文献1)。また、フレーム部材にノズル板の表面周縁部を覆う保護部を有し、ノズル板の周縁部に複数の貫通穴を設け、保護部を溶かしてノズル板の周縁部に接着したものが知られている(特許文献2)。 Conventionally, it is known that a continuous annular groove is formed on the peripheral edge of a nozzle plate and is joined to a cover member via an adhesive provided in the groove (Patent Document 1). Further, it is known that the frame member has a protective portion that covers the surface peripheral edge of the nozzle plate, a plurality of through holes are provided in the peripheral edge of the nozzle plate, and the protective portion is melted and adhered to the peripheral edge of the nozzle plate. (Patent Document 2).

特開2009−034862号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-034862 特開2013−163303号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-163303

しかしながら、ノズル板に連続した環状の溝を形成する構成では、ノズル板の強度が低下して破損し易くなるという課題がある。また、フレーム部材の保護部を溶かしてノズル板の周縁部に設けた貫通穴内に入り込ませて接着する構成では、接着強度が得られてないという課題がある。 However, in the configuration in which a continuous annular groove is formed in the nozzle plate, there is a problem that the strength of the nozzle plate is lowered and the nozzle plate is easily damaged. Further, in the configuration in which the protective portion of the frame member is melted and inserted into the through hole provided in the peripheral portion of the nozzle plate to be bonded, there is a problem that the adhesive strength cannot be obtained.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ノズル板の破損を防止しつつ、ノズル板とカバー部材との接合信頼性を向上することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to improve the joint reliability between the nozzle plate and the cover member while preventing damage to the nozzle plate.

上記の課題を解決するため、本発明に係るヘッドモジュールは、
吐出面に撥液膜が設けられたノズル板を含むヘッドと、
前記ノズル板の吐出面の少なくとも一部の周縁部を覆うカバー部材と、を備え、
前記カバー部材は前記ノズル板に接着剤で接合され、
前記ノズル板の前記カバー部材と接合される領域には複数の凹部が設けられ、
前記凹部の内壁面には前記撥液膜がない
構成とした。
In order to solve the above problems, the head module according to the present invention
A head including a nozzle plate with a liquid repellent film on the discharge surface,
A cover member that covers at least a part of the peripheral edge of the discharge surface of the nozzle plate is provided.
The cover member is bonded to the nozzle plate with an adhesive.
A plurality of recesses are provided in the region of the nozzle plate to be joined to the cover member.
The inner wall surface of the recess does not have the liquid repellent film.

本発明によれば、ノズル板の破損を防止しつつ、ノズル板とカバー部材との接合信頼性を向上することができる。 According to the present invention, it is possible to improve the joint reliability between the nozzle plate and the cover member while preventing the nozzle plate from being damaged.

本発明の第1実施形態に係るヘッドモジュールの分解斜視説明図である。It is an exploded perspective explanatory view of the head module which concerns on 1st Embodiment of this invention. 同じく図1の更なる分解斜視説明図である。Similarly, it is a further exploded perspective explanatory view of FIG. 同ヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図である。It is an exploded perspective explanatory view seen from the nozzle surface side of the head module. 同ヘッドモジュールの1つのヘッド分のヘッド短手方向に沿う断面説明図である。It is sectional drawing which follows the head short side direction for one head of the head module. 同実施形態におけるカバー部材のうちの1つのノズル板を覆う部分をノズル板に接合した状態での平面説明図である。It is a plane explanatory view in the state which the part covering one nozzle plate of the cover member in the same embodiment is joined to a nozzle plate. 図5のA1−A1線に沿う断面説明図である。It is sectional drawing explanatory view which follows the A1-A1 line of FIG. 同実施形態におけるノズル板の平面説明図である。It is a plane explanatory view of the nozzle plate in the same embodiment. 図7のA2−A2線に沿う断面説明図である。It is sectional drawing which follows A2-A2 line of FIG. 本発明の第2実施形態におけるノズル板の要部断面説明図である。It is sectional drawing of the main part of the nozzle plate in 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態におけるカバー部材のうちの1つのノズル板を覆う部分をノズル板に接合した状態での図11のA3−A3線に相当する断面説明図である。FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view corresponding to line A3-A3 of FIG. 11 in a state where a portion covering one nozzle plate of the cover member according to the third embodiment of the present invention is joined to the nozzle plate. 同じくカバー部材を透過状態で示す要部平面説明図である。Similarly, it is a plan view of the main part which shows the cover member in a transparent state. 同じくカバー部材の接合面側の平面説明図である。Similarly, it is a plan explanatory view of the joint surface side of a cover member. 同じくカバー部材をノズル板に接合する前の状態での断面説明図である。Similarly, it is a cross-sectional explanatory view in the state before joining the cover member to the nozzle plate. 本発明の第4実施形態におけるカバー部材のうちの1つのノズル板を覆う部分をノズル板に接合した状態での図10と同様な要部断面説明図である。FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view of a main part similar to FIG. 10 in a state where a portion covering one nozzle plate of the cover member according to the fourth embodiment of the present invention is joined to the nozzle plate. 同じくカバー部材の接合面側の平面説明図である。Similarly, it is a plan explanatory view of the joint surface side of a cover member. 本発明の第5実施形態におけるカバー部材の接合面側の平面説明図である。It is a plane explanatory view of the joint surface side of the cover member in 5th Embodiment of this invention. 本発明の第6実施形態におけるノズル板のノズル面側の要部平面説明図である。It is explanatory drawing of the main part plane side of the nozzle surface side of the nozzle plate in 6th Embodiment of this invention. 本発明の第7実施形態におけるノズル板のノズル面側の要部平面説明図である。It is explanatory drawing of the main part plane side of the nozzle surface side of the nozzle plate in 7th Embodiment of this invention. 本発明の第8実施形態に係る液体吐出ヘッドの側面説明図である。It is a side explanatory view of the liquid discharge head which concerns on 8th Embodiment of this invention. 本発明の第9実施形態の異なる例に係る1つのヘッドの吐出面部分の平面説明図である。FIG. 5 is a plan explanatory view of a discharge surface portion of one head according to a different example of the ninth embodiment of the present invention. 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。It is the schematic explanatory drawing of an example of the apparatus which discharges a liquid which concerns on this invention. 同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。It is a plane explanatory view of an example of the head unit of this apparatus.

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第1実施形態について図1ないし図4を参照して説明する。図1は同実施形態に係るヘッドモジュールの分解斜視説明図、図2は同じく図1の更なる分解斜視説明図、図3は同ヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図である。図4は同ヘッドモジュールの1つのヘッド分のヘッド短手方向に沿う断面説明図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. 1 is an explanatory view of an exploded perspective of the head module according to the embodiment, FIG. 2 is an explanatory view of a further exploded perspective of FIG. 1, and FIG. 3 is an explanatory view of an exploded perspective of the head module as viewed from the nozzle surface side. FIG. 4 is a cross-sectional explanatory view of one head of the head module along the short side direction of the head.

ヘッドモジュール100は、液体を吐出する複数のヘッド1と、ベース部材102と、カバー部材103と、放熱部材104と、マニホールド105と、プリント基板(PCB)106と、モジュールケース107とを備えている。 The head module 100 includes a plurality of heads 1 for discharging liquid, a base member 102, a cover member 103, a heat radiating member 104, a manifold 105, a printed circuit board (PCB) 106, and a module case 107. ..

ヘッド1は、ノズル11を形成したノズル板10と、ノズル11に通じる圧力室21などを形成する個別流路板20と、圧電素子40を含む振動板30と、振動板30に積層した中間流路板50と、中間流路板50に積層した共通流路部材70などを備えている。 The head 1 includes a nozzle plate 10 on which a nozzle 11 is formed, an individual flow path plate 20 that forms a pressure chamber 21 leading to the nozzle 11, a diaphragm 30 including a piezoelectric element 40, and an intermediate flow laminated on the diaphragm 30. It includes a road plate 50, a common flow path member 70 laminated on the intermediate flow path plate 50, and the like.

個別流路板20は、圧力室21とともに、圧力室21に通じる個別供給流路22、圧力室21に通じる個別回収流路24を形成している。 The individual flow path plate 20 forms an individual supply flow path 22 leading to the pressure chamber 21 and an individual recovery flow path 24 leading to the pressure chamber 21 together with the pressure chamber 21.

中間流路板50は、個別供給流路22に振動板30の開口31を介して通じる中間供給流路51と、個別回収流路24に振動板30の開口32を介して通じる中間回収流路52とを形成している。 The intermediate flow path plate 50 has an intermediate supply flow path 51 that communicates with the individual supply flow path 22 through the opening 31 of the diaphragm 30, and an intermediate recovery flow path that communicates with the individual recovery flow path 24 through the opening 32 of the diaphragm 30. It forms with 52.

共通流路部材70は、中間供給流路51に通じる共通供給流路71と、中間回収流路52に通じる共通回収流路72を形成している。共通供給流路71はマニホールド105の流路151を介して供給ポート81に通じている。共通回収流路72はマニホールド105の流路152を介して回収ポート82に通じている。 The common flow path member 70 forms a common supply flow path 71 leading to the intermediate supply flow path 51 and a common recovery flow path 72 leading to the intermediate recovery flow path 52. The common supply flow path 71 leads to the supply port 81 via the flow path 151 of the manifold 105. The common recovery flow path 72 leads to the recovery port 82 via the flow path 152 of the manifold 105.

プリント基板106とヘッド1の圧電素子40とはフレキシブル配線部材90を介して接続され、フレキシブル配線部材90にはドライバIC(駆動回路)91が実装されている。 The printed circuit board 106 and the piezoelectric element 40 of the head 1 are connected via a flexible wiring member 90, and a driver IC (drive circuit) 91 is mounted on the flexible wiring member 90.

複数のヘッド1は、ベース部材102の開口部121に挿入され、ベース部材102に接合固定したカバー部材103にヘッド1のノズル板10の周縁部を接着剤で接合して固定している。カバー部材103にはノズル板10のノズル11の領域に対応する開口部121が設けられ、カバー部材103はヘッド1のノズル板10の周縁部を覆っている。 The plurality of heads 1 are inserted into the opening 121 of the base member 102, and the peripheral edge portion of the nozzle plate 10 of the head 1 is joined and fixed to the cover member 103 joined and fixed to the base member 102 with an adhesive. The cover member 103 is provided with an opening 121 corresponding to the region of the nozzle 11 of the nozzle plate 10, and the cover member 103 covers the peripheral edge of the nozzle plate 10 of the head 1.

また、ヘッド1の長手方向では、共通流路部材70の外部に設けたフランジ部70aをベース部材102に接合して固定している。 Further, in the longitudinal direction of the head 1, a flange portion 70a provided outside the common flow path member 70 is joined to and fixed to the base member 102.

次に、第1実施形態におけるノズル板及びカバー部材並びにそれらの接合について図5ないし図9を参照して説明する。図5は同実施形態におけるカバー部材のうちの1つのノズル板を覆う部分をノズル板に接合した状態での平面説明図、図6は図5のA1−A1線に沿う断面説明図である。図7は同実施形態におけるノズル板の平面説明図、図8は図7のA2−A2線に沿う断面説明図である。 Next, the nozzle plate and the cover member in the first embodiment and their joining will be described with reference to FIGS. 5 to 9. FIG. 5 is a plan explanatory view in a state where a portion of one of the cover members covering the nozzle plate in the same embodiment is joined to the nozzle plate, and FIG. 6 is a cross-sectional explanatory view taken along line A1-A1 of FIG. FIG. 7 is a plan explanatory view of the nozzle plate in the same embodiment, and FIG. 8 is a cross-sectional explanatory view taken along line A2-A2 of FIG.

ノズル板10と、ノズル板10の周縁部を覆うカバー部材103とは、接着剤12で接合されている。 The nozzle plate 10 and the cover member 103 that covers the peripheral edge of the nozzle plate 10 are joined by an adhesive 12.

ここで、ノズル板10に形成したノズル11は、ノズル基材10Aの吐出面(ノズル面)10a側の出口側穴部11aと、出口側穴部11aに通じる入口側穴部11bとで構成している。出口側穴部11aの径は入口側穴部11bの径よりも小さくしている。このノズル板10はノズル基材10Aの吐出面10aに撥液膜14を形成している。 Here, the nozzle 11 formed on the nozzle plate 10 is composed of an outlet side hole portion 11a on the discharge surface (nozzle surface) 10a side of the nozzle base material 10A and an inlet side hole portion 11b leading to the outlet side hole portion 11a. ing. The diameter of the outlet side hole portion 11a is smaller than the diameter of the inlet side hole portion 11b. The nozzle plate 10 has a liquid repellent film 14 formed on the discharge surface 10a of the nozzle base material 10A.

そして、ノズル板10のカバー部材103との接合領域にはそれぞれ独立した複数の凹部13が形成されている。 A plurality of independent recesses 13 are formed in the joint region of the nozzle plate 10 with the cover member 103.

この凹部13の内壁面13aには撥液膜14がない構成としている。また、凹部13の深さは、ノズル11の出口側穴部11aの深さと同じとし、ノズル11の入口側穴部11bと同じ深さの厚み相当分を残している。 The inner wall surface 13a of the recess 13 does not have the liquid repellent film 14. Further, the depth of the recess 13 is the same as the depth of the outlet side hole portion 11a of the nozzle 11, and the thickness corresponding to the same depth as the inlet side hole portion 11b of the nozzle 11 is left.

本実施形態では、カバー部材103は、ノズル板10の周縁部の全周に亘って接合され、複数の凹部13は、カバー部材103との接合領域の全周に亘って配置されている。 In the present embodiment, the cover member 103 is joined over the entire circumference of the peripheral edge of the nozzle plate 10, and the plurality of recesses 13 are arranged over the entire circumference of the joining region with the cover member 103.

このように構成したので、ノズル板10とカバー部材103とを接着剤12で接合するとき、接着剤12の一部は凹部13内に入り込む。このとき、凹部13の内壁面13aには撥液膜14がないので、接着剤12ははじかれることがない。 With this configuration, when the nozzle plate 10 and the cover member 103 are joined with the adhesive 12, a part of the adhesive 12 enters the recess 13. At this time, since the inner wall surface 13a of the recess 13 does not have the liquid repellent film 14, the adhesive 12 is not repelled.

これにより、接着剤12は凹部13内に保持され、ノズル板10とカバー部材103とは高い接合強度で接合され、接合信頼性が向上する。 As a result, the adhesive 12 is held in the recess 13, and the nozzle plate 10 and the cover member 103 are joined with high joining strength, and the joining reliability is improved.

このとき、複数の凹部13はそれぞれ独立しており、ノズル板10には環状溝を設けた場合のように一律に厚さが薄くなった箇所がないので、ノズル板10の強度も維持することができ、ノズル板10の破損を防止することができる。 At this time, since the plurality of recesses 13 are independent of each other and the nozzle plate 10 does not have a portion where the thickness is uniformly reduced as in the case where the annular groove is provided, the strength of the nozzle plate 10 is also maintained. It is possible to prevent the nozzle plate 10 from being damaged.

また、凹部13の開口形状は、平面形状で円形状に限るものではないが、円形状、楕円形状などの角部がない形状、又は、角部が曲線形状であることが好ましい。これにより、凹部13の角部から亀裂が生じて破損することを防止できる。 The opening shape of the recess 13 is not limited to a circular shape and is a planar shape, but it is preferably a shape having no corners such as a circular shape or an elliptical shape, or a curved shape at the corners. As a result, it is possible to prevent the concave portion 13 from being cracked and damaged.

次に、本発明の第2実施形態について図9を参照して説明する。図9は同実施形態におけるノズル板の要部断面説明図である。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is an explanatory cross-sectional view of a main part of the nozzle plate in the same embodiment.

本実施形態では、ノズル板10には、凹部13の内部を吐出面10aとは反対側の面に通じる貫通穴15を設けている。ここで、貫通穴15の開口面積は凹部13の開口面積よりも小さくしている。 In the present embodiment, the nozzle plate 10 is provided with a through hole 15 that leads the inside of the recess 13 to the surface opposite to the discharge surface 10a. Here, the opening area of the through hole 15 is smaller than the opening area of the recess 13.

このように構成することで、凹部13の内壁面の撥液膜14の除去プロセスが簡単になる。 With such a configuration, the process of removing the liquid repellent film 14 on the inner wall surface of the recess 13 is simplified.

例えば、ノズル板10のノズル基材10Aとしてシリコン材料を使用する場合、ノズル面側から出口側穴部11aを形成し、裏面(圧力室側)から入口側穴部11bを形成して貫通させることでノズル11を形成することができる。 For example, when a silicon material is used as the nozzle base material 10A of the nozzle plate 10, the outlet side hole portion 11a is formed from the nozzle surface side, and the inlet side hole portion 11b is formed and penetrated from the back surface (pressure chamber side). Can form the nozzle 11 with.

ノズル11を形成したノズル基材10Aには吐出面10aに撥液膜14を形成し、出口側穴部11aの開口を塞いだ状態で、入口側穴部11b(裏面)からプラズマ処理してノズル11の内壁面の撥液膜14を除去する。これは、ノズル11の内壁面に撥液膜14が形成されていると、メニスカス位置が安定しないためである。 A liquid repellent film 14 is formed on the discharge surface 10a of the nozzle base material 10A on which the nozzle 11 is formed, and plasma treatment is performed from the inlet side hole portion 11b (back surface) in a state where the opening of the outlet side hole portion 11a is closed. The liquid repellent film 14 on the inner wall surface of 11 is removed. This is because the meniscus position is not stable when the liquid repellent film 14 is formed on the inner wall surface of the nozzle 11.

ここで、凹部13の開口面積よりも貫通穴15の開口面積を小さくすることで、裏面側からプラズマ処理を行ったときに、プラズマが裏回りして凹部13の内壁面13aに形成されている撥液膜14を除去することができる。 Here, by making the opening area of the through hole 15 smaller than the opening area of the recess 13, when the plasma treatment is performed from the back surface side, the plasma reverses and is formed on the inner wall surface 13a of the recess 13. The liquid repellent film 14 can be removed.

このように、ノズル板10のノズル11内の撥液膜除去プロセスで、凹部13の内壁面13aの撥液膜14も除去することができ、凹部13の内壁面に撥液膜14がない状態を簡単に形成することができる。 As described above, in the liquid repellent film removing process in the nozzle 11 of the nozzle plate 10, the liquid repellent film 14 on the inner wall surface 13a of the recess 13 can also be removed, and there is no liquid repellent film 14 on the inner wall surface of the recess 13. Can be easily formed.

次に、本発明の第3実施形態について図10ないし図11を参照して説明する。図10は同実施形態におけるカバー部材のうちの1つのノズル板を覆う部分をノズル板に接合した状態での図11のA3−A3線に相当する断面説明図、図11は同じくカバー部材を透過状態で示す要部平面説明図、図12は同じくカバー部材の接合面側の平面説明図、図13は同じくカバー部材をノズル板に接合する前の状態での断面説明図である。 Next, the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 to 11. FIG. 10 is a cross-sectional explanatory view corresponding to line A3-A3 of FIG. 11 in a state where a portion of one of the cover members covering the nozzle plate in the same embodiment is joined to the nozzle plate, and FIG. 11 also transmits the cover member. The plan view of the main part shown in the state, FIG. 12 is a plan view of the joint surface side of the cover member, and FIG. 13 is a cross-sectional explanatory view of the cover member before being joined to the nozzle plate.

本実施形態では、カバー部材103には開口部131の周囲であるノズル板10との接合領域に、開口部131の周囲を取り囲む途切れない連続した環状溝132を設けている。 In the present embodiment, the cover member 103 is provided with an uninterrupted continuous annular groove 132 that surrounds the periphery of the opening 131 in the joint region with the nozzle plate 10 that is the periphery of the opening 131.

ここで、環状溝132はノズル板10の凹部13と少なくとも一部が対向する位置に設けている。さらに、本実施形態では、環状溝132はノズル板10の隣り合う複数の凹部13、13と対向する位置に設けている。 Here, the annular groove 132 is provided at a position where at least a part of the annular groove 132 faces the recess 13 of the nozzle plate 10. Further, in the present embodiment, the annular groove 132 is provided at a position facing the plurality of adjacent recesses 13 and 13 of the nozzle plate 10.

このように構成することで、接着剤12によって接合するとき、接着剤12が環状溝132内にも侵入することで、接着剤12の過不足が調整され、ノズル板10の吐出面10aでの接着剤12の途切れを防止することができる。 With this configuration, when the adhesive 12 is used for joining, the adhesive 12 also penetrates into the annular groove 132, so that the excess or deficiency of the adhesive 12 is adjusted, and the nozzle plate 10 is formed on the discharge surface 10a. It is possible to prevent the adhesive 12 from being interrupted.

また、ノズル板10とカバー部材103との間に液体が侵入してきた場合、環状溝132の方向に侵入経路を変えることで、ノズル板10や流路板20の外周部に液体が侵入することを防止できる。 Further, when the liquid invades between the nozzle plate 10 and the cover member 103, the liquid invades the outer peripheral portion of the nozzle plate 10 and the flow path plate 20 by changing the invasion path in the direction of the annular groove 132. Can be prevented.

次に、本発明の第4実施形態について図14及び図15を参照して説明する。図14は同実施形態におけるカバー部材のうちの1つのノズル板を覆う部分をノズル板に接合した状態での図10と同様な要部断面説明図、図15は同じくカバー部材の接合面側の平面説明図である。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 14 and 15. FIG. 14 is an explanatory cross-sectional view of a main part similar to FIG. 10 in a state where a portion of the cover member covering one nozzle plate in the same embodiment is joined to the nozzle plate, and FIG. 15 is the joint surface side of the cover member. It is a plan explanatory view.

本実施形態では、カバー部材103にはノズル板10との接合領域に2本の環状溝132(132a、132b)を同心状に設けている。つまり、カバー部材103の開口部131を囲む連続する途切れない環状溝132aを設け、この環状溝132aを囲む連続する途切れない環状溝132bを設けている。 In the present embodiment, the cover member 103 is provided with two annular grooves 132 (132a, 132b) concentrically in the joint region with the nozzle plate 10. That is, a continuous uninterrupted annular groove 132a surrounding the opening 131 of the cover member 103 is provided, and a continuous uninterrupted annular groove 132b surrounding the annular groove 132a is provided.

このように、環状溝132の本数を多くすることで、ノズル板10とカバー部材103との間に液体が侵入してきた場合、ノズル板10や流路板20の外周部に液体が侵入することをより確実に防止できる。 By increasing the number of the annular grooves 132 in this way, when the liquid invades between the nozzle plate 10 and the cover member 103, the liquid invades the outer peripheral portion of the nozzle plate 10 and the flow path plate 20. Can be prevented more reliably.

次に、本発明の第5実施形態について図16を参照して説明する。図16は同実施形態におけるカバー部材の接合面側の平面説明図である。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 16 is a plan explanatory view of the cover member on the joint surface side in the same embodiment.

本実施形態では、カバー部材103にはノズル板10との接合領域に3本の環状溝132(132a、132b、132c)を同心状に設けている。つまり、カバー部材103の開口部131を囲む連続する途切れない環状溝132aを設け、この環状溝132aを囲む連続する途切れない環状溝132bを設け、更に環状溝132bを囲む連続する途切れない環状溝132cを設けている。 In the present embodiment, the cover member 103 is provided with three annular grooves 132 (132a, 132b, 132c) concentrically in the joint region with the nozzle plate 10. That is, a continuous uninterrupted annular groove 132a surrounding the opening 131 of the cover member 103 is provided, a continuous uninterrupted annular groove 132b surrounding the annular groove 132a is provided, and a continuous uninterrupted annular groove 132c surrounding the annular groove 132b is further provided. Is provided.

このように、環状溝132の本数を更に多くすることで、ノズル板10とカバー部材103との間に液体が侵入してきた場合、ノズル板10や流路板20の外周部に液体が侵入することをより確実に防止できる。 By further increasing the number of the annular grooves 132 in this way, when the liquid invades between the nozzle plate 10 and the cover member 103, the liquid invades the outer peripheral portion of the nozzle plate 10 and the flow path plate 20. This can be prevented more reliably.

次に、本発明の第6実施形態について図17を参照して説明する。図17は同実施形態におけるノズル板のノズル面側の要部平面説明図である。 Next, the sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 17 is an explanatory plan view of a main part of the nozzle plate on the nozzle surface side in the same embodiment.

本実施形態では、ノズル板10には、平面形状で楕円形状の凹部13を設けている。 In the present embodiment, the nozzle plate 10 is provided with a flat and elliptical recess 13.

これにより、凹部13が円形状である場合に比べて、貫通穴15の数を減らしつつ、撥液膜14を除去した凹部13の面積を大きくすることができる。貫通穴15の数が少ないことで、ノズル板10の強度低下を抑制することができる。 As a result, the area of the recess 13 from which the liquid repellent film 14 has been removed can be increased while reducing the number of through holes 15 as compared with the case where the recess 13 has a circular shape. Since the number of through holes 15 is small, it is possible to suppress a decrease in strength of the nozzle plate 10.

次に、本発明の第7実施形態について図18を参照して説明する。図18は同実施形態におけるノズル板のノズル面側の要部平面説明図である。 Next, a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 18 is an explanatory plan view of a main part of the nozzle plate on the nozzle surface side in the same embodiment.

本実施形態では、ノズル板10には、平面形状で、円形状の凹部13(13A)と楕円形状の凹部13(13B)とを交互に設けている。 In the present embodiment, the nozzle plate 10 is provided with planar, circular recesses 13 (13A) and elliptical recesses 13 (13B) alternately.

これにより、すべての凹部13が円形状である場合に比べて、貫通穴15の数を減らしつつ、撥液膜14を除去した凹部13の面積を大きくすることができる。貫通穴15の数が少ないことで、ノズル板10の強度低下を抑制することができる。 As a result, the area of the recesses 13 from which the liquid repellent film 14 has been removed can be increased while reducing the number of through holes 15 as compared with the case where all the recesses 13 have a circular shape. Since the number of through holes 15 is small, it is possible to suppress a decrease in strength of the nozzle plate 10.

なお、上記第6実施形態、第7実施形態では、貫通穴15を設けた例で説明しているが、第1実施形態と同様に貫通穴を有しない構成とすることもできる。また、その他、開口面積の異なる円形状或いは楕円形状の凹部13を組み合わせたりすることもできる。 In the sixth and seventh embodiments, the example in which the through hole 15 is provided is described, but the configuration may not have the through hole as in the first embodiment. In addition, circular or elliptical recesses 13 having different opening areas can be combined.

次に、本発明の第8実施形態について図19を参照して説明する。図19は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの側面説明図である。 Next, an eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 19 is a side explanatory view of the liquid discharge head according to the same embodiment.

本実施形態は、1つのヘッド1に1つのカバー部材103が接合されている例であり、ヘッド1は、ノズル板10の周縁部を覆うカバー部材103が接着剤12で接合されている。ノズル板10及びカバー部材103は前記各実施形態で説明したと同様な構成を適用することができるので、説明を省略する。 This embodiment is an example in which one cover member 103 is bonded to one head 1, and in the head 1, the cover member 103 covering the peripheral edge of the nozzle plate 10 is bonded with an adhesive 12. Since the same configurations as those described in the above embodiments can be applied to the nozzle plate 10 and the cover member 103, the description thereof will be omitted.

次に、本発明の第9実施形態について図20を参照して説明する。図20は同実施形態に係る第1例及び第2例の1つのヘッドの吐出面部分の平面説明図である。 Next, a ninth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 20 is a plan explanatory view of a discharge surface portion of one head of the first example and the second example according to the same embodiment.

図21(a)に示す第1例は、ノズル板10の短辺10b、10bの周縁部を覆うカバー部材103を設けている。 In the first example shown in FIG. 21A, a cover member 103 that covers the peripheral edges of the short sides 10b and 10b of the nozzle plate 10 is provided.

図21(b)に示す第2例は、ノズル板10の長辺10c、10cの周縁部を覆うカバー部材103を設けている。 In the second example shown in FIG. 21B, a cover member 103 that covers the peripheral edges of the long sides 10c and 10c of the nozzle plate 10 is provided.

つまり、本実施形態では、カバー部材103は、ノズル板10の吐出面10aの対向する一対の辺の周縁部を覆う構成としている。 That is, in the present embodiment, the cover member 103 is configured to cover the peripheral edges of the pair of opposite sides of the discharge surface 10a of the nozzle plate 10.

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図21及び図22を参照して説明する。図21は同装置の概略説明図、図22は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。 Next, an example of the device for discharging the liquid according to the present invention will be described with reference to FIGS. 21 and 22. FIG. 21 is a schematic explanatory view of the device, and FIG. 22 is a plan explanatory view of an example of the head unit of the device.

この液体を吐出する装置である印刷装置500は、連続体510を搬入する搬入手段501と、搬入手段501から搬入された連帳紙や連続シートなどの連続体510を印刷手段505に案内搬送する案内搬送手段503と、連続体510に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段505と、連続体510を乾燥する乾燥手段507と、連続体510を搬出する搬出手段509などを備えている。 The printing device 500, which is a device for discharging the liquid, guides and conveys the carry-in means 501 for carrying in the continuous body 510 and the continuous body 510 such as the continuous book paper and the continuous sheet carried in from the carry-in means 501 to the printing means 505. Guidance transport means 503, printing means 505 that discharges liquid to the continuum 510 to form an image, drying means 507 that dries the continuum 510, carry-out means 509 that carries out the continuum 510, and the like. It has.

連続体510は搬入手段501の元巻きローラ511から送り出され、搬入手段501、案内搬送手段503、乾燥手段507、搬出手段509の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段509の巻取りローラ591にて巻き取られる。 The continuum 510 is sent out from the original winding roller 511 of the carrying-in means 501, guided and conveyed by the rollers of the carrying-in means 501, the guiding and transporting means 503, the drying means 507, and the carrying-out means 509, and is guided and conveyed by the winding roller 591 of the carrying-out means 509. It is wound up at.

この連続体510は、印刷手段505において、ヘッドユニット550に対向して搬送され、ヘッドユニット550から吐出される液体によって画像が印刷される。 The continuum 510 is conveyed in the printing means 505 facing the head unit 550, and an image is printed by the liquid discharged from the head unit 550.

ここで、ヘッドユニット550には、図22に示すように、本発明に係る3つのヘッドモジュール100A、100B、100Cを共通ベース部材552に備えている。 Here, as shown in FIG. 22, the head unit 550 includes three head modules 100A, 100B, and 100C according to the present invention in the common base member 552.

本願において、ヘッドが液体吐出ヘッドであるとき、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が30mPa・s以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、DNA、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、3次元造形用材料液等の用途で用いることができる。 In the present application, when the head is a liquid discharge head, the liquid to be discharged may have a viscosity and surface tension that can be discharged from the head, and is not particularly limited, but at room temperature, under normal pressure, or by heating and cooling. It is preferable that the viscosity is 30 mPa · s or less. More specifically, solvents such as water and organic solvents, colorants such as dyes and pigments, polymerizable compounds, resins, functionalizing materials such as surfactants, biocompatible materials such as DNA, amino acids and proteins, and calcium. , Solvents, suspensions, emulsions, etc. containing edible materials such as natural dyes, etc., for example, inks for inkjets, surface treatment liquids, constituents of electronic elements and light emitting elements, and formation of electronic circuit resist patterns. It can be used for applications such as liquids for three-dimensional modeling.

また、液体を吐出する装置には、ヘッドモジュール、ヘッドユニットなどを備え、ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。 Further, the device for discharging the liquid includes a device including a head module, a head unit, and the like, and driving the head to discharge the liquid. The device for discharging the liquid includes not only a device capable of discharging the liquid to a device to which the liquid can adhere, but also a device for discharging the liquid into the air or the liquid.

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。 The "device for discharging the liquid" can also include means for feeding, transporting, and discharging paper to which the liquid can adhere, and also includes a pretreatment device, a posttreatment device, and the like.

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物(三次元造形物)を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置(三次元造形装置)がある。 For example, as a "device that ejects a liquid", an image forming device that is a device that ejects ink to form an image on paper, and a powder is formed in layers in order to form a three-dimensional model (three-dimensional model). There is a three-dimensional modeling device (three-dimensional modeling device) that discharges the modeling liquid into the powder layer.

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。 Further, the "device for discharging a liquid" is not limited to a device in which a significant image such as characters and figures is visualized by the discharged liquid. For example, those that form patterns that have no meaning in themselves and those that form a three-dimensional image are also included.

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層(粉末層)、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。 The above-mentioned "material to which a liquid can adhere" means a material to which a liquid can adhere at least temporarily, such as one that adheres and adheres, and one that adheres and permeates. Specific examples include media such as paper, recording paper, recording paper, film, cloth and other recording media, electronic substrates, electronic components such as piezoelectric elements, powder layers (powder layers), organ models, and inspection cells. Yes, including anything to which liquid adheres, unless otherwise specified.

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。 The material of the above-mentioned "material to which liquid can be attached" may be paper, thread, fiber, cloth, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics or the like as long as the liquid can be attached even temporarily.

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。 Further, the "device for discharging the liquid" includes, but is not limited to, a device in which the liquid discharge head and the device to which the liquid can adhere move relatively. Specific examples include a serial type device that moves the liquid discharge head, a line type device that does not move the liquid discharge head, and the like.

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。 In addition, as a "device for ejecting a liquid", a treatment liquid coating device for ejecting a treatment liquid to the paper in order to apply the treatment liquid to the surface of the paper for the purpose of modifying the surface of the paper, etc. There is an injection granulator that injects a composition liquid in which a raw material is dispersed in a solution through a nozzle to granulate fine particles of the raw material.

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。 In addition, image formation, recording, printing, printing, printing, modeling, etc. in the terms of the present application are all synonymous.

1 ヘッド
10 ノズル板
11 ノズル
12 接着剤
13 凹部
14 撥液膜
15 貫通穴
20 流路板
30 振動板
70 共通流路部材
100 ヘッドモジュール
101 サブヘッドモジュール
102 ベース部材
103 カバー部材
500 印刷装置(液体を吐出する装置)
501 搬入手段
505 印刷手段
510 連続体
507 乾燥手段
509 搬出手段
550 ヘッドユニット
1 Head 10 Nozzle plate 11 Nozzle 12 Adhesive 13 Recession 14 Liquid repellent film 15 Through hole 20 Flow path plate 30 Diaphragm 70 Common flow path member 100 Head module 101 Sub head module 102 Base member 103 Cover member 500 Printing device (Liquid Discharge device)
501 Carry-in means 505 Printing means 510 Continuum 507 Drying means 509 Carry-out means 550 Head unit

Claims (13)

吐出面に撥液膜が設けられたノズル板を含むヘッドと、
前記ノズル板の吐出面の少なくとも一部の周縁部を覆うカバー部材と、を備え、
前記カバー部材は前記ノズル板に接着剤で接合され、
前記ノズル板の前記カバー部材と接合される領域には複数の凹部が設けられ、
前記凹部の内壁面には前記撥液膜がない
ことを特徴とするヘッドモジュール。
A head including a nozzle plate with a liquid repellent film on the discharge surface,
A cover member that covers at least a part of the peripheral edge of the discharge surface of the nozzle plate is provided.
The cover member is bonded to the nozzle plate with an adhesive.
A plurality of recesses are provided in the region of the nozzle plate to be joined to the cover member.
A head module characterized in that the inner wall surface of the recess does not have the liquid repellent film.
前記凹部は、貫通穴を介して、前記吐出面とは反対側の面に通じており、
前記貫通穴の開口面積は前記凹部の開口面積よりも小さい
ことを特徴とする請求項1に記載のヘッドモジュール。
The recess leads to a surface opposite to the discharge surface through a through hole.
The head module according to claim 1, wherein the opening area of the through hole is smaller than the opening area of the recess.
前記凹部は、平面形状で、円形状又は楕円形状、若しくは角部が曲線形状である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のヘッドモジュール。
The head module according to claim 1 or 2, wherein the concave portion has a planar shape, a circular shape or an elliptical shape, or a curved corner portion.
前記カバー部材は、前記ノズル板の周縁部の全周に亘って接合され、
前記複数の凹部は、前記カバー部材との接合領域の全周に亘って配置されている
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のヘッドモジュール。
The cover member is joined over the entire circumference of the peripheral edge of the nozzle plate.
The head module according to any one of claims 1 to 3, wherein the plurality of recesses are arranged over the entire circumference of a joint region with the cover member.
前記カバー部材には、前記ノズル板との接合領域に溝が形成されている
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のヘッドモジュール。
The head module according to any one of claims 1 to 4, wherein the cover member has a groove formed in a joint region with the nozzle plate.
前記溝は環状の途切れていない環状溝である
ことを特徴とする請求項5に記載のヘッドモジュール。
The head module according to claim 5, wherein the groove is an annular groove that is not interrupted.
前記環状溝は同心状に複数配置されている
ことを特徴とする請求項6に記載のヘッドモジュール。
The head module according to claim 6, wherein a plurality of the annular grooves are arranged concentrically.
前記環状溝と前記凹部とは少なくとも一部が対向し、前記環状溝及び前記凹部に跨って前記接着剤が入り込んでいる
ことを特徴とする請求項6又は7のいずれかに記載のヘッドモジュール。
The head module according to any one of claims 6 or 7, wherein at least a part of the annular groove and the recess face each other, and the adhesive has entered the annular groove and the recess.
前記環状溝は、隣接する2つの前記凹部に跨って対向している
ことを特徴とする請求項8に記載のヘッドモジュール。
The head module according to claim 8, wherein the annular groove straddles the two adjacent recesses and faces each other.
複数の前記ヘッドと、
1つの前記カバー部材と、を備えている
ことを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載のヘッドモジュール。
With multiple heads
The head module according to any one of claims 1 to 9, wherein the cover member is provided with one.
請求項1ないし10のいずれかに記載のヘッドモジュールを共通ベース部材に複数備えている
ことを特徴とするヘッドユニット。
A head unit characterized in that a plurality of head modules according to any one of claims 1 to 10 are provided in a common base member.
吐出面に撥液膜が設けられたノズル板と、
前記ノズル板の吐出面の少なくとも一部の周縁部を覆うカバー部材と、を備え、
前記カバー部材は前記ノズル板に接着剤で接合され、
前記ノズル板の前記カバー部材と接合される領域には複数の凹部が設けられ、
前記凹部の内壁面には前記撥液膜がない
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
A nozzle plate with a liquid repellent film on the discharge surface and
A cover member that covers at least a part of the peripheral edge of the discharge surface of the nozzle plate is provided.
The cover member is bonded to the nozzle plate with an adhesive.
A plurality of recesses are provided in the region of the nozzle plate to be joined to the cover member.
A liquid discharge head characterized in that the inner wall surface of the recess does not have the liquid repellent film.
請求項1ないし10のいずれかに記載のヘッドモジュール、又は、請求項11に記載のヘッドユニット、若しくは、請求項12に記載の液体吐出ヘッドを備えている
ことを特徴とする液体を吐出する装置。
A device for discharging a liquid, which comprises the head module according to any one of claims 1 to 10, the head unit according to claim 11, or the liquid discharge head according to claim 12. ..
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