JP2020170411A - Processing device - Google Patents

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Abstract

To facilitate analysis performed by logging in a processing device.SOLUTION: A processing device according to the present invention comprises: a chuck table that holds a workpiece; processing means that processes the workpiece held by the chuck table; a recording unit by which, for each monitoring item set in advance as an item for monitoring a processing situation, information indicating the processing situation chronologically recorded is recorded as log information; and a data processing unit. The data processing unit comprises a conversion unit that converts the log information recorded by the recording unit into analytical data that can be analyzed for each monitoring item.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、加工装置に関する。 The present invention relates to a processing apparatus.

半導体ウエーハやパッケージ基板等の被加工物をチャックテーブルで保持し、切削、レーザー加工、研削などを行う加工装置が各種存在する。これらの加工装置において、作業の効率化を図ることを目的として、装置の稼働状況などを示す文字及び数値データ等をログとして記録する技術が知られている。 There are various processing devices that hold workpieces such as semiconductor wafers and package substrates on a chuck table and perform cutting, laser processing, grinding, and the like. In these processing devices, there is known a technique of recording character and numerical data indicating the operating status of the device as a log for the purpose of improving work efficiency.

特開２０１８−４１１３６号公報JP-A-2018-41136

上述した技術では、加工装置の稼働状況などを解析するために、オペレータ自らが、ログから解析用のデータを作成する必要があり、手間が発生する。 In the above-mentioned technique, in order to analyze the operating status of the processing apparatus, the operator must create the data for analysis from the log, which is troublesome.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加工装置のログによる解析を容易に実行できる加工装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a processing apparatus capable of easily performing analysis by a log of the processing apparatus.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、加工状況を監視するための項目として事前に設定された監視項目ごとに時系列で記録された該加工状況を示す情報をログ情報として記録する記録部と、データ処理部とを備える加工装置であって、該データ処理部は、該記録部に記録された該ログ情報を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the present invention monitors a chuck table for holding a workpiece, a processing means for processing the workpiece held on the chuck table, and a processing status. A processing device including a recording unit that records information indicating the processing status recorded in time series for each monitoring item preset as an item for the purpose as log information, and a data processing unit, and the data processing. The unit is characterized by including a conversion unit that converts the log information recorded in the recording unit into analysis data that can be analyzed for each monitoring item.

本発明の構成によれば、記録されたログ情報（文字及び数値データ）を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換するので、オペレータ自らが解析用のデータを作成する必要がなく、加工装置のログによる解析を容易に実行できる。 According to the configuration of the present invention, since the recorded log information (character and numerical data) is converted into analysis data that can be analyzed for each monitoring item, it is not necessary for the operator to create the analysis data by himself / herself. Analysis by device logs can be easily performed.

また、本発明に係る加工装置は、ログ情報（文字及び数値データ）をグラフまたは表に変換してもよい。この構成によれば、監視項目に対応する加工装置の状況をオペレータに容易に把握させることができる。 Further, the processing apparatus according to the present invention may convert log information (character and numerical data) into a graph or a table. According to this configuration, the operator can easily grasp the status of the processing apparatus corresponding to the monitoring item.

また、本発明に係る加工装置において、監視項目は、加工装置の稼働状況、被加工物、加工手段、及び加工装置にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関するものであってよい。この構成によれば、加工装置の稼働状況、被加工物、加工手段、エラーに関する解析用データをオペレータに提供できる。 Further, in the processing apparatus according to the present invention, the monitoring item may be related to at least one of the operating status of the processing apparatus, the workpiece, the processing means, and the error signal generated in the processing apparatus. .. According to this configuration, it is possible to provide the operator with analysis data regarding the operating status of the processing apparatus, the workpiece, the processing means, and the error.

また、本発明に係る加工装置は、外部記録媒体を該加工装置に接続可能にする接続部を更に備え、データ処理部は、解析用データを外部記録媒体に出力する出力部をさらに備えてもよい。この構成によれば、加工装置のログによる解析用データを持ち運び容易な状態でオペレータに提供できる。 Further, the processing apparatus according to the present invention may further include a connection unit that enables the external recording medium to be connected to the processing apparatus, and the data processing unit may further include an output unit that outputs analysis data to the external recording medium. Good. According to this configuration, the analysis data obtained from the log of the processing apparatus can be provided to the operator in an easily portable state.

また、本発明に係る加工装置は、任意の情報機器にネットワークを経由して接続され、データ処理部は、解析用データの送信先を登録する送信先登録部と、該送信先に該解析用データを送信する自動送信部とを更に備えてもよい。この構成によれば、加工装置のログによる解析用データを、オペレータが希望する送信先に提供できる。 Further, the processing apparatus according to the present invention is connected to an arbitrary information device via a network, and the data processing unit is a destination registration unit for registering a destination of analysis data, and a destination for analysis at the destination. An automatic transmission unit for transmitting data may be further provided. According to this configuration, the data for analysis by the log of the processing apparatus can be provided to the destination desired by the operator.

また、本発明に係る加工装置において、データ処理部は、該解析用データの送信要求日時と、該解析用データの解析対象期間と、該解析用データの解析対象項目とを自動送信設定情報として事前に登録する自動送信設定登録部と、該自動送信設定登録部に登録されている該自動送信設定情報に従って、該記録部に記録された該ログ情報を該解析用データに変換する自動変換部とを更に備えてもよい。そして、該自動送信部は、該自動変換部により変換された該解析用データを該送信先登録部に登録された該送信先へ送信してもよい。この構成によれば、加工装置のログによる解析用データを、オペレータが希望する日時に、オペレータが希望する内容で自動的に提供できる。 Further, in the processing apparatus according to the present invention, the data processing unit sets the transmission request date and time of the analysis data, the analysis target period of the analysis data, and the analysis target item of the analysis data as automatic transmission setting information. An automatic transmission setting registration unit registered in advance and an automatic conversion unit that converts the log information recorded in the recording unit into the analysis data according to the automatic transmission setting information registered in the automatic transmission setting registration unit. And may be further provided. Then, the automatic transmission unit may transmit the analysis data converted by the automatic conversion unit to the transmission destination registered in the destination registration unit. According to this configuration, the analysis data by the log of the processing apparatus can be automatically provided at the date and time desired by the operator and the content desired by the operator.

本発明によれば、加工装置のログによる解析を容易に実行できるという効果を奏する。 According to the present invention, there is an effect that analysis by a log of a processing apparatus can be easily performed.

図１は、実施形態に係る加工装置を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a processing apparatus according to an embodiment. 図２は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。FIG. 2 is a diagram schematically showing an example of the functional configuration of the processing apparatus according to the embodiment. 図３は、実施形態に係る加工状況格納部に記憶される加工状況ログ情報の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of processing status log information stored in the processing status storage unit according to the embodiment. 図４は、実施形態に係るエラー発生状況格納部に記憶されるエラーログ情報の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of error log information stored in the error occurrence status storage unit according to the embodiment. 図５は、実施形態に係るログ解析ウィンドウの構成例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a configuration example of the log analysis window according to the embodiment. 図６は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of analysis data according to the embodiment. 図７は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of analysis data according to the embodiment. 図８は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an example of analysis data according to the embodiment. 図９は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an example of analysis data according to the embodiment. 図１０は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an example of analysis data according to the embodiment. 図１１は、実施形態に係る送信先情報の一例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing an example of destination information according to the embodiment. 図１２は、実施形態に係る加工装置による処理の手順の一例を示すフローチャートである。FIG. 12 is a flowchart showing an example of a processing procedure by the processing apparatus according to the embodiment. 図１３は、変形例に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。FIG. 13 is a diagram schematically showing an example of the functional configuration of the processing apparatus according to the modified example. 図１４は、変形例に係る自動送信設定情報の一例を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing an example of automatic transmission setting information according to a modified example.

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Further, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions or changes of the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

以下に説明する実施形態において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面は、水平面と平行である。ＸＹ平面と直交するＺ軸方向は、鉛直方向である。 In the embodiment described below, the XYZ Cartesian coordinate system is set, and the positional relationship of each part will be described with reference to the XYZ Cartesian coordinate system. One direction in the horizontal plane is the X-axis direction, the direction orthogonal to the X-axis direction in the horizontal plane is the Y-axis direction, and the directions orthogonal to each of the X-axis direction and the Y-axis direction are the Z-axis directions. The XY plane, including the X and Y axes, is parallel to the horizontal plane. The Z-axis direction orthogonal to the XY plane is the vertical direction.

図面を参照しつつ、実施形態に係る加工装置１の概要を説明する。図１は、実施形態に係る加工装置１を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。 The outline of the processing apparatus 1 according to the embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a processing apparatus 1 according to an embodiment. FIG. 2 is a diagram schematically showing an example of the functional configuration of the processing apparatus 1 according to the embodiment.

図１に示すように、実施形態に係る複数の加工装置１は、チャックテーブル１０と、切削ブレード２１を有する加工ユニット２０と、加工送り手段（移動ユニット）３０と、割り出し送り手段（移動ユニット）４０と、切り込み送り手段（移動ユニット）５０と、カセットエレベータ６０と、洗浄ユニット７０と、制御ユニット８０とを備えて構成される。加工装置１は、チャックテーブル１０で被加工物３０１を保持し、この被加工物３０１を加工ユニット２０で切削加工する。 As shown in FIG. 1, the plurality of processing devices 1 according to the embodiment include a chuck table 10, a processing unit 20 having a cutting blade 21, a processing feed means (moving unit) 30, and an indexing feed means (moving unit). It includes 40, a cutting feed means (moving unit) 50, a cassette elevator 60, a cleaning unit 70, and a control unit 80. The processing apparatus 1 holds the workpiece 301 on the chuck table 10 and cuts the workpiece 301 on the machining unit 20.

被加工物３０１は、たとえばシリコン、サファイア、ガリウムなどを基板とする半導体ウエーハや光デバイスウエーハであり、図１に示すように、例えば、円板形状に形成される。被加工物３０１の表面（上面）側は格子状に配列された分割予定ラインにより複数の領域に区画されており、各領域にデバイスが形成されている。また、被加工物３０１の裏面（下面）側には、被加工物３０１より径の大きいテープ３０３が貼り付けられている。テープ３０３の外周部分は、環状のフレーム３０５に固定されている。すなわち、被加工物３０１は、テープ３０３を介してフレーム３０５に支持されている。 The workpiece 301 is a semiconductor wafer or an optical device wafer whose substrate is, for example, silicon, sapphire, gallium, etc., and is formed in, for example, a disk shape as shown in FIG. The surface (upper surface) side of the workpiece 301 is divided into a plurality of regions by scheduled division lines arranged in a grid pattern, and devices are formed in each region. Further, a tape 303 having a diameter larger than that of the workpiece 301 is attached to the back surface (lower surface) side of the workpiece 301. The outer peripheral portion of the tape 303 is fixed to the annular frame 305. That is, the workpiece 301 is supported by the frame 305 via the tape 303.

チャックテーブル１０は、図１に示すように、装置本体２の上面に設けられた開口部２ａをＸ軸方向に沿って移動可能に配設されている。チャックテーブル１０は、保持面１１と、複数（４つ）のクランプ１２とを備えている。チャックテーブル１０は円板状に形成され、図示しない回転手段によりＺ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。保持面１１は、チャックテーブル１０の鉛直方向の上端面であり、水平面に対して平坦に形成されている。保持面１１は、例えばポーラスセラミック等で構成されており、図示しない真空吸引源の負圧により被加工物３０１を吸引保持する。複数のクランプ１２は、保持面１１の周囲に４箇所配設され、フレーム３０５を挟持して固定する。 As shown in FIG. 1, the chuck table 10 is arranged so that the opening 2a provided on the upper surface of the apparatus main body 2 can be moved along the X-axis direction. The chuck table 10 includes a holding surface 11 and a plurality (four) clamps 12. The chuck table 10 is formed in a disk shape, and is rotated around a rotation axis substantially parallel to the Z-axis direction (vertical direction) by a rotation means (not shown). The holding surface 11 is an upper end surface of the chuck table 10 in the vertical direction and is formed flat with respect to a horizontal plane. The holding surface 11 is made of, for example, porous ceramic or the like, and sucks and holds the workpiece 301 by the negative pressure of a vacuum suction source (not shown). The plurality of clamps 12 are arranged at four locations around the holding surface 11 and clamp and fix the frame 305.

加工ユニット２０は、たとえば切削ユニットであり、チャックテーブル１０に保持された被加工物３０１を切削加工する。装置本体２の上面には開口部２ａをＹ軸方向に跨ぐように支持構造３が設けられる。加工ユニット２０は、支持構造３に割り出し送り手段４０及び切り込み送り手段５０を介して固定されている。 The processing unit 20 is, for example, a cutting unit, and cuts the workpiece 301 held on the chuck table 10. A support structure 3 is provided on the upper surface of the apparatus main body 2 so as to straddle the opening 2a in the Y-axis direction. The processing unit 20 is fixed to the support structure 3 via the indexing feeding means 40 and the cutting feeding means 50.

加工ユニット２０は、回転駆動される図示しないスピンドルに装着された切削ブレード２１を備える。加工ユニット２０は、この切削ブレード２１が回転しつつ、チャックテーブル１０をＸ軸方向に加工送りすることにより、チャックテーブル１０に保持された被加工物３０１をＸ軸方向に沿って切削する。その後、加工ユニット２０は、割り出し送り手段４０によって、Ｙ軸方向に所定ピッチで順次割り出し送りされ、このピッチ間隔で被加工物３０１をＸ軸方向に沿って切削することを繰り返し実行する。 The machining unit 20 includes a cutting blade 21 mounted on a spindle (not shown) that is rotationally driven. The machining unit 20 cuts the workpiece 301 held by the chuck table 10 along the X-axis direction by machining and feeding the chuck table 10 in the X-axis direction while the cutting blade 21 rotates. After that, the machining unit 20 is sequentially indexed and fed at a predetermined pitch in the Y-axis direction by the indexing and feeding means 40, and the workpiece 301 is repeatedly cut along the X-axis direction at this pitch interval.

切削ブレード２１は、例えば、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材とからなり所定厚みに形成された切り刃を有する。被加工物３０１の種別（密度や硬さなど）によって、チッピングやクラックが適正値内の適切な切り刃（例えば、樹脂ボンドやメタルボンド、ポーラスボンドなど）を有する切削ブレード２１が選択される。 The cutting blade 21 has, for example, a cutting blade made of abrasive grains such as diamond and CBN (Cubic Boron Nitride) and a bonding material such as metal and resin, and formed to a predetermined thickness. Depending on the type of workpiece 301 (density, hardness, etc.), a cutting blade 21 having an appropriate cutting edge (for example, resin bond, metal bond, porous bond, etc.) with chipping or cracks within an appropriate value is selected.

また、加工ユニット２０には、被加工物３０１を撮像する撮像部２２が一体的に移動するように固定されている。撮像部２２は、チャックテーブル１０に保持された被加工物３０１の上面を撮像するＣＣＤカメラを備えて構成され、例えば、被加工物３０１の切削予定ラインと切削ブレード２１とのアライメントを行うための画像を取得する。加工ユニット２０は、加工手段の一例である。 Further, the imaging unit 22 for imaging the workpiece 301 is fixed to the processing unit 20 so as to move integrally. The imaging unit 22 is configured to include a CCD camera that images the upper surface of the workpiece 301 held by the chuck table 10, and for example, for aligning the planned cutting line of the workpiece 301 with the cutting blade 21. Get an image. The processing unit 20 is an example of processing means.

加工送り手段３０は、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とをＸ軸方向に相対移動させるものである。加工送り手段３０は、Ｘ軸方向に延在される図示しないボールねじやモータ等の駆動源を有しており、チャックテーブル１０を支持する移動基台３１をＸ軸方向に移動させる。また、加工送り手段３０は、開口部２ａに配設されて移動基台３１の前後に連結されてＸ軸方向に延在する蛇腹部材３２と備える。また、移動基台３１には、切削ブレード２１の刃先の切り込み送り方向での先端位置（下端位置）を検出する刃先検出ユニット３３が設けられている。 The machining feed means 30 moves the chuck table 10 and the machining unit 20 relative to each other in the X-axis direction. The machining feed means 30 has a drive source such as a ball screw or a motor (not shown) extending in the X-axis direction, and moves the moving base 31 supporting the chuck table 10 in the X-axis direction. Further, the processing feed means 30 is provided with a bellows member 32 arranged in the opening 2a, connected to the front and rear of the moving base 31, and extending in the X-axis direction. Further, the moving base 31 is provided with a cutting edge detection unit 33 that detects the tip position (lower end position) of the cutting edge 21 in the cutting feed direction.

割り出し送り手段４０は、チャックテーブル１０と加工ユニット２０とをＹ軸方向に相対移動させるものである。割り出し送り手段４０は、Ｙ軸方向に延在された一対のガイドレール４１と、ガイドレール４１と平行に配設されたボールねじ４２と、ボールねじ４２に螺合された図示しないナットに固定され、ガイドレール４１にスライド自在に配設されたＹ軸移動基台４３と、ボールねじ４２を回転させる図示しないモータとを備えている。割り出し送り手段４０は、モータによりボールねじ４２を回転させることにより、加工ユニット２０及び切り込み送り手段５０を支持するＹ軸移動基台４３をＹ軸方向に移動させる。 The indexing feed means 40 moves the chuck table 10 and the processing unit 20 relative to each other in the Y-axis direction. The indexing feed means 40 is fixed to a pair of guide rails 41 extending in the Y-axis direction, a ball screw 42 arranged in parallel with the guide rail 41, and a nut (not shown) screwed into the ball screw 42. A Y-axis moving base 43 slidably arranged on the guide rail 41 and a motor (not shown) for rotating the ball screw 42 are provided. The indexing feed means 40 moves the Y-axis moving base 43 supporting the processing unit 20 and the cutting feed means 50 in the Y-axis direction by rotating the ball screw 42 by a motor.

切り込み送り手段５０は、チャックテーブル１０の保持面１１と直交するＺ軸方向に加工ユニット２０を移動させるものである。切り込み送り手段５０は、Ｚ軸方向に延在され、Ｙ軸移動基台４３に固定された一対のガイドレール５１と、ガイドレール５１と平行に配設されたボールねじ５２と、ボールねじ５２に螺合された図示しないナットに固定され、ガイドレール５１にスライド自在に配設されたＺ軸移動基台５３と、ボールねじ５２を回転させるモータ５４とを備えている。切り込み送り手段５０は、モータ５４によりボールねじ５２を回転させることにより、加工ユニット２０を支持するＺ軸移動基台５３をＺ軸方向に移動させる。 The cutting feed means 50 moves the machining unit 20 in the Z-axis direction orthogonal to the holding surface 11 of the chuck table 10. The cut feed means 50 extends in the Z-axis direction and is fixed to the Y-axis moving base 43 by a pair of guide rails 51, a ball screw 52 arranged in parallel with the guide rail 51, and a ball screw 52. It includes a Z-axis moving base 53 fixed to a screwed nut (not shown) and slidably arranged on a guide rail 51, and a motor 54 for rotating the ball screw 52. The cutting feed means 50 moves the Z-axis moving base 53 that supports the machining unit 20 in the Z-axis direction by rotating the ball screw 52 by the motor 54.

カセットエレベータ６０は、装置本体２に対して、複数の被加工物３０１が収容されるカセット６１を鉛直方向に昇降可能に支持している。洗浄ユニット７０は、加工ユニット２０により切削加工された被加工物３０１をスピンナテーブル７１で保持して洗浄する。 The cassette elevator 60 supports the apparatus main body 2 so that the cassette 61 containing a plurality of workpieces 301 can be raised and lowered in the vertical direction. The cleaning unit 70 holds the workpiece 301 machined by the processing unit 20 on the spinner table 71 and cleans it.

制御ユニット８０は、プロセッサと、記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備え、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。制御ユニット８０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、システムＬＳＩ（Large Scale Integration）などのプロセッサを有する。制御ユニット８０は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）などの不揮発性または揮発性の半導体メモリなどの記憶装置を有する。 The control unit 80 is a computer that includes a processor, a storage device, and an input / output interface device, and can execute a computer program. The control unit 80 includes a processor such as a CPU (Central Processing Unit), a microprocessor, a microcomputer, a DSP (Digital Signal Processor), and a system LSI (Large Scale Integration). The control unit 80 is non-volatile or volatile such as RAM (Random Access Memory), ROM (Read Only Memory), flash memory, EPROM (Erasable Programmable Read Only Memory), EEPROM (registered trademark) (Electrically Erasable Programmable Read Only Memory). It has a storage device such as a sex semiconductor memory.

制御ユニット８０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）等によって、各種プログラムがＲＡＭを作業領域として実行されることにより実現される。制御ユニット８０は、各種プログラムにより提供される機能により、後述するデータ記録部８１及びデータ処理部８２による各種処理を実現又は実行する。各種プログラムは、制御ユニット８０が備える記憶装置に記憶される。各種プログラムは、後述する解析用データの変換ツールを含む。なお、制御ユニット８０は、例えば、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の集積回路により実現されてもよい。 The control unit 80 is realized by executing various programs with the RAM as a work area by a CPU (Central Processing Unit), an MPU (Micro Processing Unit), or the like. The control unit 80 realizes or executes various processes by the data recording unit 81 and the data processing unit 82, which will be described later, by the functions provided by various programs. The various programs are stored in the storage device included in the control unit 80. Various programs include a data conversion tool for analysis described later. The control unit 80 may be realized by, for example, an integrated circuit such as an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) or an FPGA (Field Programmable Gate Array).

制御ユニット８０は、図１に示すように、データ記録部８１とデータ処理部８２とを備え、以下に説明する加工装置１の処理の機能や作用を実現または実行する。 As shown in FIG. 1, the control unit 80 includes a data recording unit 81 and a data processing unit 82, and realizes or executes a processing function or operation of the processing apparatus 1 described below.

データ記録部８１は、加工装置１における加工に関する監視項目の状況を時系列で記録する。すなわち、データ記録部８１は、加工装置１の加工状況を監視するための項目としてオペレータにより事前に設定された監視項目ごとに、時系列で記録された加工状況を示す情報をログ情報として記録する。監視項目は、加工装置１にオペレータなどにより予め設定される。監視項目は、たとえば加工装置１の稼働状況、被加工物３０１、加工ユニット２０、及び加工装置１にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関する。ログ情報は、以下に説明するように、日時と、監視項目に対応する装置が行った動作や監視項目に関して測定した数値データ、並びに加工装置１において発生したエラー内容を示す文字データとが紐付いて、加工状況を示す情報として記録される。データ記録部８１は、記録部の一例である。 The data recording unit 81 records the status of monitoring items related to machining in the machining apparatus 1 in chronological order. That is, the data recording unit 81 records information indicating the machining status recorded in chronological order as log information for each monitoring item preset by the operator as an item for monitoring the machining status of the machining apparatus 1. .. The monitoring items are preset in the processing apparatus 1 by an operator or the like. The monitoring items relate to, for example, at least one of the operating status of the processing apparatus 1, the workpiece 301, the processing unit 20, and the error signal generated in the processing apparatus 1. As explained below, the log information is associated with the date and time, the numerical data measured for the operation performed by the device corresponding to the monitoring item and the monitoring item, and the character data indicating the error content that occurred in the processing device 1. , Recorded as information indicating the processing status. The data recording unit 81 is an example of a recording unit.

データ記録部８１は、図２に示すように、加工状況格納部８１１と、エラー発生状況格納部８１２とを備える。 As shown in FIG. 2, the data recording unit 81 includes a processing status storage unit 811 and an error occurrence status storage unit 812.

加工状況格納部８１１は、加工装置１の加工状況を示す情報として、稼働状況に関するログ情報、被加工物３０１に関するログ情報、加工ユニット２０に関するログ情報を記憶する。図３は、実施形態に係る加工状況格納部８１１に記憶される加工状況ログ情報の一例を示す図である。 The machining status storage unit 811 stores log information regarding the operating status, log information regarding the workpiece 301, and log information regarding the machining unit 20 as information indicating the machining status of the machining apparatus 1. FIG. 3 is a diagram showing an example of processing status log information stored in the processing status storage unit 811 according to the embodiment.

図３に示す加工状況ログ情報は、たとえばログ情報ＬＧ１−１，ＬＧ１−２、ログ情報ＬＧ２−１、及びログ情報ＬＧ３−１，ＬＧ３−２を含む。図３に示すように、ログ情報ＬＧ１−１，ＬＧ１−２、ログ情報ＬＧ２−１、及びログ情報ＬＧ３−１，ＬＧ３−２は、記録された日時と、かかる日時に紐付く文字データ及び数値データで構成される。 The processing status log information shown in FIG. 3 includes, for example, log information LG1-1, LG1-2, log information LG2-1, and log information LG3-1, LG3-2. As shown in FIG. 3, the log information LG1-1, LG1-2, the log information LG2-1, and the log information LG3-1, LG3-2 are the recorded date and time, and the character data and numerical values associated with the date and time. Consists of data.

ログ情報ＬＧ１−１，ＬＧ１−２は、加工装置１の稼働状況に関するログ情報の一例である。ログ情報ＬＧ１−１，ＬＧ１−２は、加工装置１の稼働状況を監視項目として設定することにより記録される。稼働状況に関するログ情報は、生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、スケジュールダウン時間、並びにエラーによる稼働停止時間及びエラーからの復旧時間等の各情報で構成される。ログ情報ＬＧ１−１に含まれる生産時間は、例えば被加工物３０１の加工開始から加工終了までの時間を示す。ログ情報ＬＧ１−１に含まれるスタンバイ時間は、加工開始までに要した時間を示す。ログ情報ＬＧ１−１に含まれるアンスケジュールダウン時間は、予期せずに加工処理が停止した時間を示す。ログ情報ＬＧ１−１に含まれるスケジュールダウン時間は、予定された装置点検等によって、加工処理が停止した時間を示す。 Log information LG1-11 and LG1-2 are examples of log information regarding the operating status of the processing apparatus 1. The log information LG1-11 and LG1-2 are recorded by setting the operating status of the processing apparatus 1 as a monitoring item. The log information related to the operation status is composed of each information such as production time, standby time, unscheduled down time, schedule down time, operation stop time due to an error, and recovery time from an error. The production time included in the log information LG1-1 indicates, for example, the time from the start of processing to the end of processing of the workpiece 301. The standby time included in the log information LG1-1 indicates the time required to start machining. The unscheduled down time included in the log information LG1-1 indicates the time when the machining process is unexpectedly stopped. The schedule down time included in the log information LG1-1 indicates the time when the processing is stopped due to the scheduled equipment inspection or the like.

ログ情報ＬＧ２−１は、被加工物３０１に関するログ情報の一例である。ログ情報ＬＧ２−１は、被加工物３０１を監視項目として設定することにより記録される。ログ情報ＬＧ２−１は、たとえば被加工物３０１の枚数、並びに被加工物３０１を収容するカセットの個数の情報等で構成される。被加工物３０１に関するログ情報は、被加工物３０１の種類を含んでよい。 The log information LG2-1 is an example of log information regarding the workpiece 301. The log information LG2-1 is recorded by setting the workpiece 301 as a monitoring item. The log information LG2-1 is composed of, for example, information on the number of workpieces 301 and the number of cassettes accommodating the workpieces 301. The log information regarding the work piece 301 may include the type of the work piece 301.

ログ情報ＬＧ３−１，ＬＧ３−２は、加工ユニット２０に関するログ情報の一例である。ログ情報ＬＧ２−１は、加工ユニット２０を監視項目として設定することにより記録される。ログ情報ＬＧ３−１，ＬＧ３−２は、ブレード交換回数、切削長さ、切削ライン数、並びに切削ブレード２１の使用開始時間及び使用終了時間等の情報で構成される。加工ユニット２０に関するログ情報は、所定の頻度で計測される切削ブレード２１の刃先出し量や、切削ブレード２１の交換開始時間及び交換終了時間等を含んでよい。 Log information LG3-1 and LG3-2 are examples of log information related to the machining unit 20. The log information LG2-1 is recorded by setting the machining unit 20 as a monitoring item. The log information LG3-1 and LG3-2 are composed of information such as the number of blade replacements, the cutting length, the number of cutting lines, and the use start time and use end time of the cutting blade 21. The log information regarding the processing unit 20 may include the cutting edge extension amount of the cutting blade 21 measured at a predetermined frequency, the replacement start time and the replacement end time of the cutting blade 21 and the like.

エラー発生状況格納部８１２は、加工装置１の加工状況を示す情報として、加工装置１におけるエラー発生状況を時系列で記録する。図４は、実施形態に係るエラー発生状況格納部８１２に記憶されるエラーログ情報の一例を示す図である。 The error occurrence status storage unit 812 records the error occurrence status in the machining apparatus 1 in chronological order as information indicating the machining status of the machining apparatus 1. FIG. 4 is a diagram showing an example of error log information stored in the error occurrence status storage unit 812 according to the embodiment.

図４に示すエラーログ情報は、日付の項目と、エラー名の項目とを備え、これらの項目が互いに対応付けられている。図４に示すエラーログ情報は、エラー内容に応じて異なるエラー信号の種類およびその時間を監視項目として設定することにより記録される。日付の項目には、エラー信号の発生日時が記憶される。エラー名の項目には、エラー信号が示すエラーの内容が記憶される。図４に示すように、エラー発生状況格納部８１２に記憶されるエラーログ情報は、エラー信号が発生した日時と、かかる日時に紐付くエラーの内容（文字データ）とで構成される。図４に示す例によれば、「２０１８年１２月１日１６時１４分１３秒」に「カーフ幅エラー（広い）」が発生したことがエラーログ情報として記録されている。 The error log information shown in FIG. 4 includes a date item and an error name item, and these items are associated with each other. The error log information shown in FIG. 4 is recorded by setting different error signal types and their times as monitoring items according to the error content. The date and time when the error signal occurred is stored in the date item. In the error name item, the content of the error indicated by the error signal is stored. As shown in FIG. 4, the error log information stored in the error occurrence status storage unit 812 is composed of the date and time when the error signal was generated and the content (character data) of the error associated with the date and time. According to the example shown in FIG. 4, it is recorded as error log information that a "calf width error (wide)" occurred at "16:14:13 on December 1, 2018".

図２に戻り、データ処理部８２は、変換部８２１と、出力部８２２と、送信先登録部８２３と、自動送信部８２４とを備える。 Returning to FIG. 2, the data processing unit 82 includes a conversion unit 821, an output unit 822, a transmission destination registration unit 823, and an automatic transmission unit 824.

変換部８２１は、データ記録部８１に記録されたログ情報（文字データ及び数値データ）を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する。変換部８２１は、オペレータの操作に応じて、タッチパネル１００にログ解析ウィンドウ１００Ｗを表示する。続いて、変換部８２１は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗを介して、たとえば解析用データの出力を要求する解析対象項目の選択をオペレータから受け付ける。そして、変換部８２１は、かかる解析対象項目に対応するログ情報（文字データ及び数値データ）をデータ記録部８１から取得し、オペレータによる解析が可能な解析用データに変換する。 The conversion unit 821 converts the log information (character data and numerical data) recorded in the data recording unit 81 into analysis data that can be analyzed for each monitoring item. The conversion unit 821 displays the log analysis window 100W on the touch panel 100 in response to the operation of the operator. Subsequently, the conversion unit 821 receives from the operator, for example, the selection of the analysis target item requesting the output of analysis data via the log analysis window 100W. Then, the conversion unit 821 acquires the log information (character data and numerical data) corresponding to the analysis target item from the data recording unit 81 and converts it into analysis data that can be analyzed by the operator.

図５は、実施形態に係るログ解析ウィンドウ１００Ｗの構成例を示す図である。図５に示すように、ログ解析ウィンドウ１００Ｗは、項目選択領域１０１と、期間設定領域１０２と、出力データ形式選択領域１０３と、実行ボタン１０４と、キャンセルボタン１０５とを備える。 FIG. 5 is a diagram showing a configuration example of the log analysis window 100W according to the embodiment. As shown in FIG. 5, the log analysis window 100W includes an item selection area 101, a period setting area 102, an output data format selection area 103, an execution button 104, and a cancel button 105.

項目選択領域１０１は、解析用データの出力を要求する解析対象項目の選択をオペレータから受け付けるための領域である。解析対象項目は、加工装置１の加工状況を監視するための項目としてオペレータにより事前に設定された監視項目にそれぞれ対応している。項目選択領域１０１は、解析対象項目ごとに、オペレータからの選択を受け付けるためのチェックボックスｂ１〜ｂ４をそれぞれ有する。たとえば、加工装置１の稼働状況に関する解析用データの出力を要求する場合、オペレータは、チェックボックスｂ１にチェックを入れる。解析用データの出力を実行する際、ログ情報からどのデータを抽出するかについては、解析用データの変換ツールの作成時にオペレータが任意に設定できる。たとえば、オペレータの設定により、生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、スケジュールダウン時間、エラーによる稼働停止時間及びエラーからの復旧時間を、稼働状況に関する解析用データに変換するログ情報として抽出できる。 The item selection area 101 is an area for receiving the selection of the analysis target item requesting the output of the analysis data from the operator. The analysis target items correspond to the monitoring items preset by the operator as the items for monitoring the processing status of the processing apparatus 1. The item selection area 101 has check boxes b1 to b4 for accepting selections from the operator for each analysis target item. For example, when requesting the output of analysis data regarding the operating status of the processing apparatus 1, the operator checks the check box b1. When executing the output of the analysis data, the operator can arbitrarily set which data to extract from the log information when creating the analysis data conversion tool. For example, according to the operator's settings, the production time, standby time, unscheduled down time, schedule down time, operation stop time due to an error, and recovery time from an error can be extracted as log information to be converted into analysis data related to the operation status.

期間設定領域１０２は、オペレータから解析用データの出力を要求する解析対象期間の設定を受け付けるための領域である。期間設定領域１０２は、解析期間の設定を実施する場合にオペレータが指定するチェックボックスｂ５と、開始日時入力ボックスｋ１と、終了日時入力ボックスｋ２とを有する。オペレータは、解析対象期間の設定を行う場合、チェックボックスｂ５にチェックを入れ、開始日時入力ボックスｋ１に期間の開始日時を入力し、終了日時入力ボックスｋ２に期間の終了日時を入力する。期間の設定は、日単位や月単位などの任意の単位で設定できる。期間の設定は、たとえば日を最小単位とすることができる。 The period setting area 102 is an area for receiving the setting of the analysis target period for which the operator requests the output of analysis data. The period setting area 102 has a check box b5 designated by the operator when the analysis period is set, a start date / time input box k1, and an end date / time input box k2. When setting the analysis target period, the operator checks the check box b5, inputs the start date and time of the period in the start date and time input box k1, and inputs the end date and time of the period in the end date and time input box k2. The period can be set in any unit such as daily or monthly. The period can be set, for example, in days as the minimum unit.

出力データ形式選択領域１０３は、オペレータから解析用データの出力データ形式の選択を受け付けるための領域である。出力データ形式選択領域１０３は、出力データ形式ごとに、出力データ形式を選択するためのチェックボックスｂ６〜ｂ８をそれぞれ有する。たとえば、円グラフでの出力を要求する場合、オペレータは、オペレータは、チェックボックスｂ６にチェックを入れる。 The output data format selection area 103 is an area for receiving the selection of the output data format of the analysis data from the operator. The output data format selection area 103 has check boxes b6 to b8 for selecting an output data format for each output data format. For example, when requesting output in a pie chart, the operator checks the check box b6.

実行ボタン１０４は、解析用データの変換処理を開始させるためのボタンである。変換部８２１は、少なくとも項目選択領域１０１における解析対象項目の選択、及び出力データ形式選択領域１０３における出力データ形式の選択が完了していることを、実行ボタン１０４を操作可能な状態に制御するための条件とできる。また、変換部８２１は、解析用データの変換を行う際、解析対象期間の設定が必要であるとき、期間の設定が必要である旨のポップアップを表示できる。たとえば解析対象項目として「稼働状況」が選択されている場合、期間の設定が必要である旨を表示できる。また、変換部８２１は、解析用データの変換を行う際、解析対象期間の設定が行われていない場合、記録された全期間のログを解析用データに変換してもよい。キャンセルボタン１０５は、解析用データの変換処理をキャンセルするためのボタンである。 The execution button 104 is a button for starting the conversion process of the analysis data. The conversion unit 821 controls at least the selection of the analysis target item in the item selection area 101 and the selection of the output data format in the output data format selection area 103 so that the execution button 104 can be operated. Can be the condition of. In addition, the conversion unit 821 can display a pop-up indicating that the period needs to be set when the analysis target period needs to be set when converting the analysis data. For example, when "operating status" is selected as the analysis target item, it can be displayed that the period needs to be set. Further, when converting the analysis data, the conversion unit 821 may convert the recorded log of the entire period into the analysis data if the analysis target period is not set. The cancel button 105 is a button for canceling the conversion process of the analysis data.

変換部８２１は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて実行ボタン１１４の操作を検出すると、データ記録部８１から対応するログ情報（文字データ及び数値データ）を読み込み、読み込んだログ情報を解析して、解析用データに変換する。図６〜図１０は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。 When the conversion unit 821 detects the operation of the execute button 114 in the log analysis window 100W, the conversion unit 821 reads the corresponding log information (character data and numerical data) from the data recording unit 81, analyzes the read log information, and analyzes the read data. Convert to. 6 to 10 are diagrams showing an example of analysis data according to the embodiment.

図６は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「稼働状況」が選択され、期間として２０１８年８月１日から２０１８年８月３１日が設定され、出力データ形式として円グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、加工状況格納部８１１から、たとえば２０１８年８月１日から８月３１日に記録された生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、スケジュールダウン時間のログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、及びスケジュールダウン時間を円グラフのデータ形式に変換する。図６に示す例では、２０１８年の８月１日〜８月３１までにおける各時間の占める割合が円グラフとして示されている。 In FIG. 6, in the log analysis window 100W, "operation status" is selected as the analysis target item, the period is set from August 1, 2018 to August 31, 2018, and the pie chart is selected as the output data format. An example of data for analysis is shown. The conversion unit 821 reads log information of the production time, the standby time, the unscheduled down time, and the schedule down time recorded from August 1st to August 31st, 2018, for example, from the processing status storage unit 811. Then, the conversion unit 821 analyzes the read log information (character data and numerical data), and converts the production time, the standby time, the unscheduled down time, and the schedule down time into the data format of the pie chart. In the example shown in FIG. 6, the ratio of each time from August 1st to August 31st, 2018 is shown as a pie chart.

図７は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「稼働状況」が選択され、期間として２０１８年１２月１日から１２月３日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、加工状況格納部８１１から、たとえば２０１８年１２月１日から１２月３日に記録されたエラーからの復旧時間のログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、エラーからの復旧時間を棒グラフのデータ形式に変換する。図７に示す例では、日付ごとにエラーからの復旧時間が示されている。 FIG. 7 shows a case where "operating status" is selected as the analysis target item, December 1st to December 3rd, 2018 is set as the analysis target item, and the bar graph is selected as the output data format in the log analysis window 100W. An example of data for analysis is shown. The conversion unit 821 reads, for example, log information of the recovery time from an error recorded from December 1st to December 3rd, 2018 from the processing status storage unit 811. Then, the conversion unit 821 analyzes the read log information (character data and numerical data), and converts the recovery time from the error into the data format of the bar graph. In the example shown in FIG. 7, the recovery time from an error is shown for each date.

なお、図６及び図７に示す解析用データは、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおける設定期間が同一である場合、対応するログ情報が記録されていれば、変換部８２１においてそれぞれ変換される場合も想定される。 It is assumed that the analysis data shown in FIGS. 6 and 7 may be converted by the conversion unit 821 if the set period in the log analysis window 100W is the same and the corresponding log information is recorded. To.

図８は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「被加工物」が選択され、期間として２０１８年１２月１日から１２月３日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、加工状況格納部８１１から、たとえば２０１８年１２月１日から１２月３日に記録された処理枚数のログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、処理枚数を棒グラフのデータ形式に変換する。図８に示す例では、日付ごとに被加工物３０１の処理枚数が示されている。 FIG. 8 shows a case where "workpiece" is selected as an analysis target item, December 1st to December 3rd, 2018 is set as an analysis target item, and a bar graph is selected as an output data format in the log analysis window 100W. An example of data for analysis is shown. The conversion unit 821 reads, for example, log information of the number of processed sheets recorded from December 1st to December 3rd, 2018 from the processing status storage unit 811. Then, the conversion unit 821 analyzes the read log information (character data and numerical data) and converts the number of processed sheets into a bar graph data format. In the example shown in FIG. 8, the number of processed workpieces 301 is shown for each date.

図９は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「加工ユニット」が選択され、期間として２０１８年１２月１日から１２月３日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、加工状況格納部８１１から、たとえば２０１８年１２月１日から１２月３日に記録されたブレード交換回数のログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、ブレード交換回数を棒グラフのデータ形式に変換する。図８に示す例では、日付ごとにブレード交換回数が示されている。 FIG. 9 shows a case where "machining unit" is selected as an analysis target item, December 1st to December 3rd, 2018 is set as an analysis target item, and a bar graph is selected as an output data format in the log analysis window 100W. An example of data for analysis is shown. The conversion unit 821 reads, for example, log information of the number of blade replacements recorded from December 1st to December 3rd, 2018 from the processing status storage unit 811. Then, the conversion unit 821 analyzes the read log information (character data and numerical data) and converts the number of blade replacements into a bar graph data format. In the example shown in FIG. 8, the number of blade replacements is shown for each date.

図７〜図９に示す解析用データは、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて設定された解析対象期間が同一である。このため、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、仮に、「稼働状況」、「被加工物」、及び「加工ユニット」がそれぞれ解析対象項目として選択された場合、加工装置１は、各解析対象項目に対応する解析用データを出力可能である。このとき、解析対象期間が同一であること、及び選択された解析対象項目に対応するログ情報が記録されていることを各解析対象項目に対応する解析用データを出力するための条件とできる。なお、加工装置１は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて解析対象項目ごとに解析対象期間を設定できるようにしてもよい。この場合、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて選択された複数の解析対象項目について、それぞれ異なる解析対象期間の解析用データを出力することも可能となる。 The analysis data shown in FIGS. 7 to 9 have the same analysis target period set in the log analysis window 100W. Therefore, if "operating status", "workpiece", and "machining unit" are selected as analysis target items in the log analysis window 100W, the machining apparatus 1 corresponds to each analysis target item. It is possible to output analysis data. At this time, it can be a condition for outputting the analysis data corresponding to each analysis target item that the analysis target period is the same and the log information corresponding to the selected analysis target item is recorded. The processing apparatus 1 may be able to set the analysis target period for each analysis target item in the log analysis window 100W. In this case, it is also possible to output analysis data for different analysis target periods for a plurality of analysis target items selected in the log analysis window 100W.

図１０は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて、解析対象項目として「エラー情報」が選択され、期間として２０１８年８月１日から１２月１日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部８２１は、エラー発生状況格納部８１２から、たとえば２０１８年８月１日から１２月１日に記録されたエラーログ情報を読み込む。そして、変換部８２１は、読み込んだエラーログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、たとえばカーフチェックに関するエラー情報を棒グラフのデータ形式に変換する。図１０に示す例では、対象期間（２０１８年８月１日から１２月１日）における各エラーの発生回数が示されている。変換部８２１は、エラーログ情報に種類の異なるエラー情報が含まれる場合、エラー種別ＩＤに基づいて、エラー種別ごとにエラーログ情報の解析を行い、エラーログ情報をエラー種別ごとの解析用データに変換できる。 FIG. 10 shows a case where "error information" is selected as an analysis target item, August 1st to December 1st, 2018 is set as an analysis target item, and a bar graph is selected as an output data format in the log analysis window 100W. An example of data for analysis is shown. The conversion unit 821 reads, for example, the error log information recorded from August 1st to December 1st, 2018 from the error occurrence status storage unit 812. Then, the conversion unit 821 analyzes the read error log information (character data and numerical data), and converts, for example, the error information related to the calf check into a bar graph data format. In the example shown in FIG. 10, the number of occurrences of each error during the target period (August 1, 2018 to December 1, 2018) is shown. When the error log information includes different types of error information, the conversion unit 821 analyzes the error log information for each error type based on the error type ID, and converts the error log information into analysis data for each error type. Can be converted.

図２に戻り、出力部８２２は、変換部８２１により変換された解析用データを出力する。出力部８２２は、コネクタ１１０を介して、外部記憶装置２００が接続中である場合、オペレータからの指示に応じて、外部記憶装置２００に解析用データを出力する。 Returning to FIG. 2, the output unit 822 outputs the analysis data converted by the conversion unit 821. When the external storage device 200 is connected via the connector 110, the output unit 822 outputs analysis data to the external storage device 200 in response to an instruction from the operator.

送信先登録部８２３は、オペレータにより予め設定される解析用データの送信先情報を登録する。図１１は、実施形態に係る送信先情報の一例を示す図である。図１１に示すように、送信先登録部８２３に登録される送信先情報は、オペレータＩＤの項目と、送信先の項目と、電子メールアドレスの項目とを備え、これらの項目が互いに対応付けられている。 The destination registration unit 823 registers the destination information of the analysis data preset by the operator. FIG. 11 is a diagram showing an example of destination information according to the embodiment. As shown in FIG. 11, the destination information registered in the destination registration unit 823 includes an operator ID item, a destination item, and an e-mail address item, and these items are associated with each other. ing.

オペレータＩＤの項目には、オペレータに一意に付与される識別情報を記憶される。送信先の項目には、オペレータが解析用データの送信先として設定するデバイスの種類が記憶される。電子メールアドレスの項目には、オペレータが解析用データの送信先として設定する電子メールのアドレスが記憶される。図１１に示す例によれば、オペレータＩＤが「ＯＰ００１」であるオペレータにより、ＰＣとタブレットの電子メールアドレスが送信先の電子メールアドレスが設定されている。 The identification information uniquely given to the operator is stored in the item of the operator ID. In the destination item, the type of device set by the operator as the destination of the analysis data is stored. In the e-mail address item, the e-mail address set by the operator as the destination of the analysis data is stored. According to the example shown in FIG. 11, the e-mail address of the PC and the tablet is set as the e-mail address of the destination by the operator whose operator ID is "OP001".

自動送信部８２４は、変換部８２１により変換された解析用データを自動送信する。自動送信部８２４は、送信先登録部８２３から、送信先情報を取得し、取得した送信先情報を宛先として解析用データを送信する。たとえば自動送信部８２４は、送信先情報により示される電子メールアドレスを送信先とする電子メールを生成し、生成した電子メールの添付ファイルとして解析用データを送信する。 The automatic transmission unit 824 automatically transmits the analysis data converted by the conversion unit 821. The automatic transmission unit 824 acquires the destination information from the destination registration unit 823, and transmits the analysis data to the acquired destination information as the destination. For example, the automatic transmission unit 824 generates an e-mail whose destination is the e-mail address indicated by the destination information, and transmits the analysis data as an attachment file of the generated e-mail.

通信ユニット９０は、通信ネットワークを介して、各種データの送受信を行う。通信ユニット９０は、解析用データを自動送信するための通信規格をサポートする。通信ネットワークは、例えば、被加工物３０１を量産する工場内及び事業所内の通信回線、公衆通信回線、及び専用通信回線等を含む。なお、通信ユニット９０は、無線または有線により通信ネットワークに接続して、情報を送受信できる。 The communication unit 90 transmits and receives various data via the communication network. The communication unit 90 supports a communication standard for automatically transmitting analysis data. The communication network includes, for example, communication lines, public communication lines, dedicated communication lines, and the like in factories and business establishments that mass-produce the workpiece 301. The communication unit 90 can transmit and receive information by connecting to a communication network wirelessly or by wire.

タッチパネル１００は、表示面を外側に向けた状態で加工装置１に設置される。タッチパネル１００は、加工装置１に関する各種情報を表示する。タッチパネル１００は、上述したログ解析ウィンドウ１００Ｗ（図５）が表示できる。タッチパネル１００は、加工条件の設定入力など、加工装置１に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける。タッチパネル１００は、上述したログ解析ウィンドウ１００Ｗ（図５）の操作をオペレータから受け付けることができる。タッチパネル１００は、表示手段の一例である。 The touch panel 100 is installed in the processing apparatus 1 with the display surface facing outward. The touch panel 100 displays various information about the processing apparatus 1. The touch panel 100 can display the log analysis window 100W (FIG. 5) described above. The touch panel 100 receives various operation inputs related to the processing device 1 from the operator, such as input for setting processing conditions. The touch panel 100 can accept the operation of the log analysis window 100W (FIG. 5) described above from the operator. The touch panel 100 is an example of display means.

コネクタ１１０は、外部記憶装置（外部記録媒体の一例）２００などの他の装置と物理的に接続するための接続機能を提供できる。加工装置１は、コネクタ１１０を介して接続される外部記憶装置２００に対して読み書きを実行できる。加工装置１は、たとえばコネクタ１１０を介して接続される外部記憶装置２００に対して解析用データを出力できる。オペレータは、たとえば解析用データを記録させる外部記憶装置２００をコネクタ１１０に接続した後、ログ解析ウィンドウ１００Ｗをタッチパネル１００に表示させて操作する。コネクタ１１０は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）、ＨＤＭＩ（登録商標）（High-Definition Multimedia Interface）などの汎用的な端子により構成できる。コネクタ１１０は、接続部の一例である。 The connector 110 can provide a connection function for physically connecting to another device such as an external storage device (an example of an external recording medium) 200. The processing device 1 can read and write to the external storage device 200 connected via the connector 110. The processing device 1 can output analysis data to, for example, the external storage device 200 connected via the connector 110. For example, the operator connects the external storage device 200 for recording analysis data to the connector 110, and then displays the log analysis window 100W on the touch panel 100 for operation. The connector 110 can be configured by general-purpose terminals such as USB (Universal Serial Bus) and HDMI (registered trademark) (High-Definition Multimedia Interface). The connector 110 is an example of a connecting portion.

図１２を用いて、実施形態に係る加工装置１による処理の手順を説明する。図１２は、実施形態に係る加工装置１による処理の手順の一例を示すフローチャートである。図１２に示す加工装置１による処理は、制御ユニット８０のデータ処理部８２の各部により実行される。 The procedure of processing by the processing apparatus 1 according to the embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a flowchart showing an example of the processing procedure by the processing apparatus 1 according to the embodiment. The processing by the processing apparatus 1 shown in FIG. 12 is executed by each unit of the data processing unit 82 of the control unit 80.

図１２に示すように、変換部８２１は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗ（図５参照）における実行ボタン１１４の操作を検出すると、データ記録部８１からログ情報を読み込む（ステップＳ１０１）。すなわち、変換部８２１は、データ記録部８１に記録されたログ情報（文字データ及び数値データ）の中から、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおいて選択された項目及び設定された期間に対応するログ情報を読み込む。 As shown in FIG. 12, when the conversion unit 821 detects the operation of the execution button 114 in the log analysis window 100W (see FIG. 5), the conversion unit 821 reads the log information from the data recording unit 81 (step S101). That is, the conversion unit 821 reads the log information corresponding to the item selected in the log analysis window 100W and the set period from the log information (character data and numerical data) recorded in the data recording unit 81.

続いて、変換部８２１は、ログ情報を解析用データに変換する（ステップＳ１０２）。すなわち、変換部８２１は、データ記録部８１から読み込んだログ情報（文字データ及び数値データ）を解析し、ログ解析ウィンドウ１００Ｗにおける出力データ形式の設定に従って、ログ情報を解析用データに変換する。 Subsequently, the conversion unit 821 converts the log information into analysis data (step S102). That is, the conversion unit 821 analyzes the log information (character data and numerical data) read from the data recording unit 81, and converts the log information into analysis data according to the setting of the output data format in the log analysis window 100W.

変換部８２１においてログ情報が解析用データに変換されると、出力部８２２は、オペレータからの指示に応じて、接続中の外部記憶装置２００に解析用データを出力する（ステップＳ１０３）。 When the log information is converted into analysis data in the conversion unit 821, the output unit 822 outputs the analysis data to the connected external storage device 200 in response to an instruction from the operator (step S103).

続いて、自動送信部８２４は、登録された送信先へ解析用データを自動送信して（ステップＳ１０４）、図１２に示す処理を終了する。自動送信部８２４は、たとえば加工装置１の制御ユニット８０のシステムにログイン中のオペレータＩＤに基づいて、送信先登録部８２３から送信先情報を取得する。そして、自動送信部８２４は、取得した送信先情報を宛先として、解析用データを添付した電子メールを自動的に送信する。 Subsequently, the automatic transmission unit 824 automatically transmits the analysis data to the registered destination (step S104), and ends the process shown in FIG. The automatic transmission unit 824 acquires transmission destination information from the transmission destination registration unit 823, for example, based on the operator ID logged in to the system of the control unit 80 of the processing device 1. Then, the automatic transmission unit 824 automatically transmits an e-mail with analysis data attached to the acquired destination information as a destination.

上述してきたように、実施形態に係る加工装置１は、チャックテーブル１０と、加工ユニット２０（加工手段の一例）と、データ記録部８１（記録部の一例）と、データ処理部８２（データ処理部の一例）とを備える。そして、データ処理部８２は、データ記録部８１に記録されたログ情報（文字データ及び数値データ）を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部８２１を備えることを特徴とする。 As described above, the processing apparatus 1 according to the embodiment includes a chuck table 10, a processing unit 20 (an example of processing means), a data recording unit 81 (an example of a recording unit), and a data processing unit 82 (data processing). (Example of part) and. The data processing unit 82 is characterized by including a conversion unit 821 that converts the log information (character data and numerical data) recorded in the data recording unit 81 into analysis data that can be analyzed for each monitoring item.

このように、実施形態に係る加工装置１は、記録されたログ情報（文字データ及び数値データ）を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換するので、オペレータ自らが解析用のデータを作成する必要がなく、加工装置１のログ情報に基づく解析を容易に実行できる。このため、オペレータの作業の効率化が図られる。 In this way, the processing apparatus 1 according to the embodiment converts the recorded log information (character data and numerical data) into analysis data that can be analyzed for each monitoring item, so that the operator himself creates the analysis data. It is not necessary to do this, and analysis based on the log information of the processing apparatus 1 can be easily executed. Therefore, the work efficiency of the operator can be improved.

また、実施形態に係る加工装置１は、ログ情報（文字データ及び数値データ）をグラフまたは表に変換できる。このため、実施形態に係る加工装置１は、監視項目に対応する加工装置１の状況をオペレータに容易に把握させることができる。 Further, the processing apparatus 1 according to the embodiment can convert log information (character data and numerical data) into a graph or a table. Therefore, the processing apparatus 1 according to the embodiment can easily make the operator grasp the status of the processing apparatus 1 corresponding to the monitoring item.

また、ログ情報を記録するために予め設定される監視項目は、加工装置１の稼働状況、被加工物３０１、加工ユニット２０、及び加工装置１にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関するものであってよい。このため、実施形態に係る加工装置１は、オペレータに対して、加工装置１の稼働状況、被加工物３０１、加工ユニット２０、及びエラーに関する解析をオペレータに提供できる。 Further, the monitoring item set in advance for recording the log information is at least one of the operating status of the processing device 1, the workpiece 301, the processing unit 20, and the error signal generated in the processing device 1. It may be about one. Therefore, the processing apparatus 1 according to the embodiment can provide the operator with an analysis of the operating status of the processing apparatus 1, the workpiece 301, the processing unit 20, and the error.

また、実施形態に加工装置１は、外部記憶装置２００（外部記録媒体の一例）を加工装置１に接続可能にするコネクタ１１０（接続部の一例）を更に備え、データ処理部８２は、解析用データを外部記憶装置２００に出力する出力部８２２をさらに備えてもよい。このため、実施形態に係る加工装置１は、加工装置１のログ情報による解析用データを持ち運び容易な状態でオペレータに提供できる。 Further, in the embodiment, the processing device 1 further includes a connector 110 (an example of a connection unit) that enables the external storage device 200 (an example of an external recording medium) to be connected to the processing device 1, and the data processing unit 82 is for analysis. An output unit 822 that outputs data to the external storage device 200 may be further provided. Therefore, the processing apparatus 1 according to the embodiment can provide the operator with the analysis data based on the log information of the processing apparatus 1 in an easily portable state.

また、実施形態に係る加工装置１は、通信ユニット９０を介して、任意の情報機器にネットワークを経由して接続されてもよい。そして、データ処理部８２は、送信先登録部８２３と、自動送信部８２４とを更に備えてもよい。送信先登録部８２３は解析用データの送信先を登録する。自動送信部８２４は、送信先登録部８２３に登録された送信先に対して、解析用データを自動送信する。このため、実施形態に係る加工装置１は、加工装置１のログ情報による解析用データを、オペレータの手動操作により変換されたタイミングで、オペレータが希望する送信先に自動的に提供できる。 Further, the processing apparatus 1 according to the embodiment may be connected to any information device via a network via a communication unit 90. Then, the data processing unit 82 may further include a transmission destination registration unit 823 and an automatic transmission unit 824. The destination registration unit 823 registers the destination of the analysis data. The automatic transmission unit 824 automatically transmits analysis data to the destinations registered in the destination registration unit 823. Therefore, the processing apparatus 1 according to the embodiment can automatically provide the analysis data based on the log information of the processing apparatus 1 to the destination desired by the operator at the timing converted by the manual operation of the operator.

また、上述した実施形態において、加工装置１は、外部記憶装置２００が接続されている場合、外部記憶装置２００に対する解析用データの出力とともに、解析用データの自動送信を行うか否かをオペレータに問い合わせてもよい。また、加工装置１は、外部記憶装置２００が接続されていない場合、外部記憶装置２００を接続するか否かをオペレータに問い合わせてもよい。また、加工装置１は、外部記憶装置２００が接続されていないことを条件として、オペレータが事前に設定した送信先に解析用データを自動的に送信する制御を実行してもよい。 Further, in the above-described embodiment, when the external storage device 200 is connected, the processing device 1 informs the operator whether or not to output the analysis data to the external storage device 200 and automatically transmit the analysis data. You may inquire. Further, when the external storage device 200 is not connected, the processing device 1 may ask the operator whether or not to connect the external storage device 200. Further, the processing device 1 may execute a control for automatically transmitting analysis data to a destination set in advance by the operator, provided that the external storage device 200 is not connected.

また、上述した実施形態において、データ処理部８２は、ログ解析ウィンドウ１００Ｗを介して、解析用データの出力を要求する項目の選択、解析対象期間の設定、及び出力データ形式の選択を受け付ける例を説明したが、この例に特に限定される必要はない。たとえばデータ処理部８２は、解析対象項目が、稼働状況、被加工物３０１、加工ユニット２０、又はエラー情報のいずれかであるかに応じて、解析対象期間及び出力データ形式がオペレータにより事前に設定されていてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the data processing unit 82 accepts the selection of the item requesting the output of the analysis data, the setting of the analysis target period, and the selection of the output data format via the log analysis window 100W. Although described, it is not necessary to be particularly limited to this example. For example, in the data processing unit 82, the analysis target period and the output data format are set in advance by the operator according to whether the analysis target item is the operation status, the workpiece 301, the processing unit 20, or the error information. It may have been done.

また、図５に示すログ解析ウィンドウ１００Ｗの構成は一例であり、出力データ形式設定領域において、折れ線グラフや散布図、回帰直線など、他のデータ形式が選択できてもよい。 Further, the configuration of the log analysis window 100W shown in FIG. 5 is an example, and other data formats such as a line graph, a scatter diagram, and a regression line may be selected in the output data format setting area.

また、自動送信部８２４は、解析用データを自動送信する際、解析用データを暗号化してもよい。自動送信部８２４は、解析用データの全てを暗号化するのではなく、秘匿性の高いデータなど、解析用データの一部を暗号化してもよい。また、自動送信部８２４が解析用データを自動送信する送信先として、オペレータは、ＰＣやタブレットなどの装置以外に、クラウドサーバなどを設定することもできる。 Further, the automatic transmission unit 824 may encrypt the analysis data when the analysis data is automatically transmitted. The automatic transmission unit 824 may not encrypt all of the analysis data, but may encrypt a part of the analysis data such as highly confidential data. Further, the operator can set a cloud server or the like in addition to a device such as a PC or a tablet as a transmission destination for which the automatic transmission unit 824 automatically transmits the analysis data.

［実施形態の変形例］
上述した実施形態では、オペレータによる操作に従って、加工装置１のログ情報による解析用データを外部記憶装置２００に出力するとともに、オペレータが事前に登録した送信先へ自動送信する例を説明した。しかしながら、本発明に係る加工装置１は、この例に特に限定される必要はなく、たとえば、オペレータが事前に登録した設定に従って、解析用データを自動的に変換し、送信するようにしてもよい。 [Modified example of the embodiment]
In the above-described embodiment, an example has been described in which the analysis data based on the log information of the processing device 1 is output to the external storage device 200 according to the operation by the operator, and is automatically transmitted to the destination registered in advance by the operator. However, the processing apparatus 1 according to the present invention is not particularly limited to this example, and for example, the analysis data may be automatically converted and transmitted according to the setting registered in advance by the operator. ..

図１３は、変形例に係る加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。図１３に示すように、変形例に係る加工装置１は、自動送信設定登録部８２５と自動変換部８２６とを備える。 FIG. 13 is a diagram schematically showing an example of the functional configuration of the processing apparatus 1 according to the modified example. As shown in FIG. 13, the processing apparatus 1 according to the modified example includes an automatic transmission setting registration unit 825 and an automatic conversion unit 826.

自動送信設定登録部８２５は、オペレータにより事前に設定される解析用データの自動送信設定情報を登録する。図１４は、変形例に係る自動送信設定情報の一例を示す図である。図１４に示すように、自動送信設定情報は、オペレータＩＤの項目と、送信要求日時の項目と、解析対象期間の項目と、解析対象項目の項目とを備え、これらの項目が互いに対応付けられている。 The automatic transmission setting registration unit 825 registers the automatic transmission setting information of the analysis data set in advance by the operator. FIG. 14 is a diagram showing an example of automatic transmission setting information according to a modified example. As shown in FIG. 14, the automatic transmission setting information includes an operator ID item, a transmission request date and time item, an analysis target period item, and an analysis target item item, and these items are associated with each other. ing.

送信要求日時には、オペレータが解析用データの自動送信を要求する日時が登録される。解析対象期間には、オペレータが解析用データの出力を要求する期間、すなわち解析用データへの変換を要求するログ情報の記録期間が登録される。解析対象項目には、オペレータが解析用データの出力を要求する項目、すなわち解析用データへの変換を要求する監視項目が登録される。図１４に示す例によれば、オペレータＩＤが「ＯＰ００１」であるオペレータにより、前月の初日から末日までを解析対象期間とし、エラー情報を解析対象項目とする解析用データを、毎月１日に送信するように要求する自動送信設定情報が登録されている。 The date and time when the operator requests the automatic transmission of analysis data is registered in the transmission request date and time. In the analysis target period, a period for which the operator requests the output of analysis data, that is, a recording period for log information for which conversion to analysis data is requested is registered. In the analysis target item, an item for which the operator requests the output of the analysis data, that is, a monitoring item for which the conversion to the analysis data is requested is registered. According to the example shown in FIG. 14, the operator whose operator ID is "OP001" transmits analysis data with the analysis target period from the first day to the last day of the previous month and the error information as the analysis target item on the first day of every month. The automatic transmission setting information to be requested is registered.

自動変換部８２６は、自動送信設定登録部８２５に登録された自動送信設定情報に基づいて、解析用データを自動変換する。自動変換部８２６は、自動送信設定登録部８２５の送信要求日時に合わせて、解析対象項目に対応するログ情報をデータ記録部８１から取得し、取得したログ情報を解析用データに自動変換する。自動変換部８２６は、変換した解析用データの送信を自動送信部８２４に依頼する。自動変換部８２６は、解析用データの送信を自動送信部８２４に依頼する際、オペレータＩＤを合わせて送付する。 The automatic conversion unit 826 automatically converts the analysis data based on the automatic transmission setting information registered in the automatic transmission setting registration unit 825. The automatic conversion unit 826 acquires log information corresponding to the analysis target item from the data recording unit 81 according to the transmission request date and time of the automatic transmission setting registration unit 825, and automatically converts the acquired log information into analysis data. The automatic conversion unit 826 requests the automatic transmission unit 824 to transmit the converted analysis data. When the automatic conversion unit 826 requests the automatic transmission unit 824 to transmit the analysis data, the automatic conversion unit 826 also sends the operator ID.

自動送信部８２４は、自動変換部８２６からの依頼を受けて、送信先登録部８２３に登録された送信先へ解析用データを送信する。自動送信部８２４は、自動変換部８２６からの依頼に含まれるオペレータＩＤに基づいて、送信先登録部８２３から送信先情報を取得できる。 The automatic transmission unit 824 receives a request from the automatic conversion unit 826 and transmits analysis data to the destination registered in the destination registration unit 823. The automatic transmission unit 824 can acquire the destination information from the destination registration unit 823 based on the operator ID included in the request from the automatic conversion unit 826.

このように、変形例に係る加工装置１によれば、たとえば毎月１日に前月一ヶ月分の解析データを自動で変換し、送信するというように、解析用データの変換から送信までが自動で行われる。すなわち、変形例に係る加工装置１は、加工装置１のログ情報による解析用データを、オペレータが希望するスケジュール及び希望する内容で自動的に提供できる。このため、変形例に係る加工装置１によれば、オペレータがログ解析ウィンドウ１００Ｗなどを使って解析用データの出力操作を行わずに、解析用データを取得することができ、オペレータの作業効率をさらに向上できる。 In this way, according to the processing apparatus 1 according to the modified example, the analysis data for the previous month is automatically converted and transmitted on the first day of each month, and the process from conversion to transmission of the analysis data is automatically performed. Will be done. That is, the processing apparatus 1 according to the modified example can automatically provide the analysis data based on the log information of the processing apparatus 1 with the schedule and the desired contents desired by the operator. Therefore, according to the processing apparatus 1 according to the modified example, the operator can acquire the analysis data without performing the analysis data output operation using the log analysis window 100W or the like, and the operator's work efficiency can be improved. It can be further improved.

なお、上述した変形例において、自動変換部８２６により実現される処理機能は、変換部８２１により実行されてもよい。この場合、変換部８２１は、自動送信設定登録部８２５に登録された自動送信設定情報に基づいて、解析用データを自動変換する。すなわち、変換部８２１は、自動送信設定登録部８２５の送信要求日時に合わせて、解析対象項目に対応するログ情報をデータ記録部８１から取得し、取得したログ情報を解析用データに自動変換する。そして、変換部８２１は、変換した解析用データの送信を自動送信部８２４に依頼する。 In the above-described modification, the processing function realized by the automatic conversion unit 826 may be executed by the conversion unit 821. In this case, the conversion unit 821 automatically converts the analysis data based on the automatic transmission setting information registered in the automatic transmission setting registration unit 825. That is, the conversion unit 821 acquires the log information corresponding to the analysis target item from the data recording unit 81 according to the transmission request date and time of the automatic transmission setting registration unit 825, and automatically converts the acquired log information into analysis data. .. Then, the conversion unit 821 requests the automatic transmission unit 824 to transmit the converted analysis data.

［その他の実施形態］
なお、本発明に係る加工装置１は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。たとえば、加工装置１は、切削装置以外の研削装置やレーザー加工装置であってもよい。 [Other Embodiments]
The processing apparatus 1 according to the present invention is not limited to the above embodiment, and can be variously modified and implemented without departing from the gist of the present invention. For example, the processing device 1 may be a grinding device or a laser processing device other than the cutting device.

また、上記の実施形態において説明した加工装置１の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、加工装置１の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。たとえばデータ処理部８２の変換部８２１と出力部８２２と自動送信部８２４とが機能的または物理的に統合されていてもよい。 Further, each component of the processing apparatus 1 described in the above embodiment is a functional concept, and does not necessarily have to be physically configured as shown in the figure. That is, the specific form of dispersion / integration of the processing apparatus 1 is not limited to the one shown in the drawing, and all or a part thereof is functionally or physically dispersed in an arbitrary unit according to various loads and usage conditions. -Can be integrated and configured. For example, the conversion unit 821 of the data processing unit 82, the output unit 822, and the automatic transmission unit 824 may be functionally or physically integrated.

１ 加工装置
１０ チャックテーブル
２０ 加工ユニット
８０ 制御ユニット
８１ データ記録部
８２ データ処理部
８２１ 変換部
８２２ 出力部
８２３ 送信先登録部
８２４ 自動送信部
８２５ 自動送信設定登録部
８２６ 自動変換部
９０ 通信ユニット
１００ タッチパネル
１１０ コネクタ 1 Processing device 10 Chuck table 20 Processing unit 80 Control unit 81 Data recording unit 82 Data processing unit 821 Conversion unit 822 Output unit 823 Destination registration unit 824 Automatic transmission unit 825 Automatic transmission setting registration unit 826 Automatic conversion unit 90 Communication unit 100 Touch panel 110 connector

Claims (6)

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、加工状況を監視するための項目として事前に設定された監視項目ごとに時系列で記録された該加工状況を示す情報をログ情報として記録する記録部と、データ処理部と
を備える加工装置であって、
該データ処理部は、
該記録部に記録された該ログ情報を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部を備えることを特徴とする加工装置。 It is recorded in chronological order for each of the chuck table that holds the workpiece, the machining means that processes the workpiece held on the chuck table, and the monitoring items that are preset as items for monitoring the machining status. A processing apparatus including a recording unit that records information indicating the processing status as log information and a data processing unit.
The data processing unit
A processing apparatus including a conversion unit that converts the log information recorded in the recording unit into analysis data that can be analyzed for each monitoring item. 該変換部は、
該ログ情報をグラフまたは表に変換することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。 The conversion unit
The processing apparatus according to claim 1, wherein the log information is converted into a graph or a table. 該監視項目は、
加工装置の稼働状況、被加工物、加工手段、及び加工装置にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。 The monitoring item is
The processing apparatus according to claim 1, wherein the processing apparatus relates to at least one of an operating status of the processing apparatus, a workpiece, a processing means, and an error signal generated in the processing apparatus. 該加工装置は、
外部記録媒体を該加工装置に接続可能にする接続部を更に備え、
該データ処理部は、
該解析用データを該外部記録媒体に出力する出力部を
更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の加工装置。 The processing device is
Further provided with a connection portion that enables the external recording medium to be connected to the processing apparatus.
The data processing unit
The processing apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising an output unit that outputs the analysis data to the external recording medium. 該加工装置は、任意の情報機器にネットワークを経由して接続され、
該データ処理部は、
該解析用データの送信先を登録する送信先登録部と、
該送信先に該解析用データを送信する自動送信部と
を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の加工装置。 The processing device is connected to any information device via a network.
The data processing unit
A destination registration unit that registers the destination of the analysis data,
The processing apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising an automatic transmission unit that transmits the analysis data to the transmission destination. 該データ処理部は、
該解析用データの送信要求日時と、該解析用データの解析対象期間と、該解析用データの解析対象項目とを自動送信設定情報として事前に登録する自動送信設定登録部と、
該自動送信設定登録部に登録されている該自動送信設定情報に従って、該記録部に記録された該ログ情報を該解析用データに変換する自動変換部とを更に備え、
該自動送信部は、
該自動変換部により変換された該解析用データを該送信先登録部に登録された該送信先へ送信することを特徴とする請求項５に記載の加工装置。 The data processing unit
An automatic transmission setting registration unit that registers in advance the transmission request date and time of the analysis data, the analysis target period of the analysis data, and the analysis target item of the analysis data as automatic transmission setting information.
Further provided with an automatic conversion unit that converts the log information recorded in the recording unit into the analysis data according to the automatic transmission setting information registered in the automatic transmission setting registration unit.
The automatic transmitter
The processing apparatus according to claim 5, wherein the analysis data converted by the automatic conversion unit is transmitted to the destination registered in the destination registration unit.
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