JP2020161319A - プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(実施形態1)
図1は実施形態1に係るプラズマ発生装置の構成を示すブロック図である。実施形態1に係るプラズマ発生装置は、誘導結合プラズマ(ICP:Inductively Coupled Plasma)型のプラズマ発生装置である。プラズマ発生装置は、プラズマ管1とコイル2とを備える。プラズマ管1は、例えば石英等の非導電性材料製の管であり、長さ方向の一端部に材料ガスの導入口1aを、他端部にプラズマ化したガスを送り出す送出口1bを備えている。コイル2は、例えば銅等の導電性材料製の導線を、プラズマ管1の長さ方向中央部に適長に亘って巻回して構成されており、インピーダンス整合回路4を介して高周波電源3に接続されている。
実施形態2に係るプラズマ発生装置は、実施形態1と伝熱膜8の形成態様が異なる。図5は実施形態2に係るプラズマ発生装置が備えるプラズマ管1の端部の構成を示す側断面図である。実施形態1と同様な構成については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
実施形態3に係るプラズマ発生装置は、実施形態1と伝熱膜8の形成態様が異なる。図6は実施形態3に係るプラズマ発生装置が備えるプラズマ管1の構成を示す側断面図である。実施形態1と同様な構成については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
実施形態4に係るプラズマ発生装置は、実施形態1と伝熱膜8の形成態様が異なる。図7は、実施形態4に係るプラズマ発生装置が備えるプラズマ管1の構成を示す側断面図である。実施形態1と同様な構成については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
実施形態5に係るプラズマ発生装置は、伝熱膜8の一部にスリット83が形成されている。図8は実施形態5に係るプラズマ発生装置が備えるプラズマ管1の構成を示す斜視図である。実施形態1と同様な構成については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
実施形態6に係るプラズマ発生装置は、伝熱膜8の一部にさらに保護膜10が形成されている。図9は、実施形態6に係るプラズマ発生装置が備えるプラズマ管1の端部の構成を示す側断面図である。実施形態1と同様な構成については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
2 コイル
5 冷却器
7 シール部材
8 伝熱膜
9 絶縁膜
10 保護膜
81 第1伝熱膜
82 第2伝熱膜
83 スリット
Claims (8)
- 材料ガスが導入され、内部にプラズマを発生するプラズマ管を備えるプラズマ発生装置であって、
前記プラズマ管の一部または全部には、外周面の全周に該プラズマ管の材料よりも熱伝導率の高い材料を含む伝熱膜が形成されている
プラズマ発生装置。 - 前記プラズマ管は、前記伝熱膜の外周に配設されたシール部材を備え、
前記伝熱膜は、前記シール部材の配設位置を含んで形成されている
請求項1に記載のプラズマ発生装置。 - 前記プラズマ管の端部には冷却器が周設され、
前記伝熱膜は、前記冷却器の周設位置の少なくとも一部を含んで形成されている
請求項1又は請求項2に記載のプラズマ発生装置。 - 前記プラズマ管は、外周に巻回され、該プラズマ管の内部に磁界を形成するコイルを備え、
前記伝熱膜は、前記プラズマ管の端部から前記コイルが巻回される部分までの間に形成されている
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプラズマ発生装置。 - 前記プラズマ管は、外周に巻回され、該プラズマ管の内部に磁界を形成するコイルを備え、
前記伝熱膜は、導電性を有し、前記プラズマ管の外周面の全長に形成されており、
該プラズマ管の前記コイルが巻回される部分には、前記伝熱膜を覆う絶縁膜が形成されている
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプラズマ発生装置。 - 前記プラズマ管は、外周に巻回され、該プラズマ管の内部に磁界を形成するコイルを備え、
前記伝熱膜は、導電性を有する第1伝熱膜と、非導電性を有する第2伝熱膜とを備え、前記プラズマ管の外周面の全長に形成されており、
前記第2伝熱膜は、前記プラズマ管の前記コイルが巻回される部分に形成されている
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプラズマ発生装置。 - 前記プラズマ管は、外周に巻回され、該プラズマ管の内部に磁界を形成するコイルを備え、
前記伝熱膜は導電性を有し、該伝熱膜には、周方向の一部に、長手方向に延びるスリットが形成されている
請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のプラズマ発生装置。 - 前記プラズマ管は、外周に巻回され、該プラズマ管の内部に磁界を形成するコイルを備え、
該プラズマ管の端部には、耐熱性および絶縁性を有する保護膜が、前記伝熱膜を周方向に覆うように形成されている
請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のプラズマ発生装置。
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CN114567958A (zh) * | 2022-03-14 | 2022-05-31 | 深圳市普瑞艾尔科技有限公司 | 一种多点式排布梳状放电极的等离子发生器 |
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